WO2011077153A3 - Procédé de dépôt - Google Patents

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WO2011077153A3
WO2011077153A3 PCT/GB2010/052189 GB2010052189W WO2011077153A3 WO 2011077153 A3 WO2011077153 A3 WO 2011077153A3 GB 2010052189 W GB2010052189 W GB 2010052189W WO 2011077153 A3 WO2011077153 A3 WO 2011077153A3
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Kevin David Sanderson
Troy Darrell Manning
Allan Stuart Dale
Simon James Hurst
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Pilkington Group Limited
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/453—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD

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Abstract

L'invention porte sur le dépôt par fusion de couches antireflets à une température relativement basse, lesquelles couches étant à la fois durables possédant d'excellentes propriétés antireflets. L'indice de réfraction est compris dans la plage de 1,25 à 1,40. Le mélange de couche contient un précurseur de couche, un oxydant (par exemple l'air) et facultativement un comburant (un hydrocarbure ou de l'hydrogène de façon à générer une flamme à une température plus élevée) et/ou un gaz porteur selon un rapport spécifié.
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