WO2011046986A3 - Procédé et appareil de réalisation de dispositifs à système micro-électromécanique - Google Patents

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Corinne E. Packard
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Abstract

L'invention porte sur des étapes de fabrication et sur des principes de fonctionnement de transducteurs à système micro-électromécanique. Dans un certain mode de réalisation, l'invention porte sur un dispositif de métamorphose de texture. Le dispositif de métamorphose de texture comprend : une pluralité de supports disposés sur un substrat pour porter un miroir déformable, une couche d'oxyde d'indium-étain (ITO), et une couche répartie à réflecteur de Bragg (DBR). Une paire de supports adjacents forment une cavité avec la couche d'ITO et le miroir déformable. Lorsque la hauteur de la cavité se modifie en réponse à une pression extérieure, la réflexion interne à l'intérieur de la cavité est modifiée. La modification de hauteur de la cavité amène la texture extérieure à se modifier par métamorphose. On présente des principes similaires pour réaliser un capteur et des actionneurs.
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