WO2010046552A1 - Procede de commande d'un capteur a resonateur vibrant a demarrage rapide - Google Patents

Procede de commande d'un capteur a resonateur vibrant a demarrage rapide Download PDF

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Vincent Ragot
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    • G01C19/5691Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially three-dimensional vibrators, e.g. wine glass-type vibrators
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    • G01C25/005Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass initial alignment, calibration or starting-up of inertial devices

Definitions

  • the invention relates to a method for controlling an inertial rotation sensor with a vibrating resonator.
  • an anisotropic vibrating gyroscope consists of an axisymmetric resonator with two degrees of freedom.
  • the position of the vibration is identified by two detection channels comprising electrostatic detectors consisting of transducers associated with the vibrating resonator.
  • Controls controlling the vibration are applied by two control channels by transducers associated with the vibrating resonator.
  • Document EP-AI 541 967 discloses a control method comprising an operating phase during which each control channel is implemented during a control period and each detection channel is implemented for a period of time. detection according to an operating ratio between the control duration and the detection time.
  • To operate the resonator it is necessary to first put the resonator in vibration. Given the low control times, the vibration is long, for example of the order of a hundred seconds.
  • control voltage is already high (generally of the order of 400 V) so that to obtain a significant reduction in the vibration time it would be necessary to apply very high control voltages making it necessary to use a control electronics having a low accuracy in the operating phase.
  • An object of the invention is to provide a method for reducing the vibrating resonator time of vibration without changing the accuracy of the sensor during the operating phase.
  • a method for controlling an inertial rotation sensor with vibrating resonator comprising control channels and detection channels, the method comprising an operating phase during which each channel of control is implemented during a control period and each detection channel is implemented during a detection period, according to an operating ratio between the control duration and the detection time, and a starting phase in which the ratio between the control duration and the detection time is changed in a direction of an increase of the control time by reference to the operating ratio.
  • the relative control and detection times are modified without modifying the other operating parameters of the rotation sensor so that the accuracy is maintained during the operating phase.
  • the detection time is reduced to a value just sufficient to allow a control of an evolution of the vibration. The ratio of the control duration to the detection time is then maximal and the start time is therefore minimal.
  • FIG. 1 is a diagrammatic representation of a sensor enabling implementation of the method according to the invention
  • FIG. 2 is a schematic representation of the control and detection times during the operating phase
  • FIG. 3 is a schematic representation similar to that of FIG. 2, during the start-up phase.
  • the inertial rotation sensor comprises, in a manner known per se, a vibrating resonator 1 symbolized in the figure by a vibrating bell, although the vibrating resonator may also have other shapes. especially a form of quapason.
  • the vibrating resonator 1 is associated with transducers defining a pair of control channels C1, C2, and a pair of detection channels D1, D2.
  • each path is represented in the figure by a single block, each path generally has several transducers.
  • each channel in the case of a vibrating bell, generally comprises at least two transducers formed by air gaps between a metal layer carried by the vibrating bell and polarized by a DC voltage and electrodes disposed opposite the edge of the vibrating bell, while in a sensor comprising a quapason, each channel generally comprises four piezoelectric transducers.
  • Each pair of channels is associated with a multiplexer 2, more precisely a demultiplexer for the control channels C1, C2 and a multiplexer for the detection channels D1, D2.
  • Each multiplexing unit 2 is connected to a processing chain 3.
  • the processing chain 3 associated with the control channels C1, C2 generates from a single generator a multiplexed control signal which is transmitted to the corresponding demultiplexer 2 while the processing chain 3 associated with the detection channels D1, D2, demultiplexes the signal received from the multiplexer 2 and a processing thereof to develop a digital processing signal.
  • the processing chains 3 are connected to a processing unit 4 which ensures an exploitation of the detection signals to calculate the movements to which the sensor is subjected, and a development of the control signals as well as the timing signals of the multiplexing members.
  • the vibrating resonator 1 is vibrated by means of the control signals until it reaches the reference amplitude of the vibrating resonator.
  • the control signals and the detection signals are then operated in a manner known per se to determine the rotational movements to which the sensor is subjected.
  • FIG. 2 illustrates an exemplary cycle generated by the processing unit.
  • each cycle comprises a control action time on the first control channel C1 during a duration c, followed by a control time on the control channel C2 for a period of time.
  • control C1 the two control times c2 being separated by a relaxation time.
  • the cycle comprises a detection time on the detection channel D1 during a detection time d1, followed by a detection time on the detection channel D2 during a detection time d2, the two cycles detection being separated by a relaxation time.
  • a new cycle is started.
  • the control times have a duration of 50 ⁇ s, the detection times a duration of 130 ⁇ s and the relaxation times a duration of 2 ⁇ s.
  • FIG. 3 illustrates the modification of cycles which, according to the invention, is carried out during the start-up phase, that is to say to carry out a progressive vibrating of the vibrating resonator.
  • the ratio between the control duration and the detection time is changed in a direction of an increase of the control time.
  • each control time has a duration of 160 ⁇ s while the duration of the detection times is reduced to 20 ⁇ s only.
  • the detection time is therefore preferably reduced to a value just sufficient to ensure the control of a change in the operation of the sensor.
  • the invention has been illustrated with a sensor having control channels and separate detection channels, the method according to the invention can be implemented in a sensor of which all the transducers operate alternately in control and control. detection and are associated with a single multiplexing unit for all the control and detection channels.
  • the invention has been illustrated in relation to a sensor operating in a cycle comprising two control times followed by two detection times, the method according to the invention can also be implemented in cycles comprising for each see a command time immediately followed by a detection time.

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Abstract

Procédé de commande d'un capteur de rotation inertiel à résonateur vibrant (1) comportant des voies de commande (C1, C2) et des voies de détection (D1, D2) comporte une phase de fonctionnement au cours de laquelle chaque voie de commande (C1, C2) est mise en œuvre pendant une durée de commande et chaque voie de détection (D1, D2) est mise en œuvre pendant une durée de détection selon un rapport de fonctionnement entre la durée de commande et la durée de détection, et une phase de démarrage dans laquelle le rapport entre la durée de commande et la durée de détection est modifié par référence au rapport de fonctionnement dans un sens d'une augmentation de la durée de commande.

Description

Procédé de commande d'un capteur à résonateur vibrant à démarrage rapide .
L'invention concerne un procédé de commande d'un capteur de rotation inertiel à résonateur vibrant. ARRIERE PLAN DE L'INVENTION
On sait qu'un gyromètre vibrant anisotrope est constitué d'un résonateur axisymétrique à deux degrés de liberté.
La position de la vibration est repérée par deux voies de détection comprenant des détecteurs électrostatiques constitués de transducteurs associés au résonateur vibrant .
Les commandes permettant le contrôle de la vibration sont appliquées par deux voies de commande par des transducteurs associés au résonateur vibrant.
On connaît, notamment du document EP-A-I 541 967, un procédé de commande comportant une phase de fonctionnement au cours de laquelle chaque voie de commande est mise en œuvre pendant une durée de commande et chaque voie de détection est mise en œuvre pendant une durée de détection selon un rapport de fonctionnement entre la durée de commande et la durée de détection. Afin d'obtenir une bonne précision des mesures effectuées, il est préférable dans la phase de fonctionnement, de faire fonction- ner le capteur avec des durées de détection largement supérieures au durées de commande, par exemple une durée de commande de l'ordre de 50 μs et une durée de détection de l'ordre de 130 μs séparée par des temps de relaxation de quelques μs. Pour faire fonctionner le résonateur, il est toutefois nécessaire de mettre tout d'abord le résonateur en vibration. Compte tenu des faibles durées de commande, la mise en vibration est longue, par exemple de l'ordre d'une centaine de secondes. Afin de réduire le temps de mise en vibration, il a été envisagé d'augmenter la tension de commande. Toutefois, la tension de commande est déjà élevée (généralement de l'ordre de 400 V) de sorte que pour obtenir une réduction significative du temps de mise en vibration il serait nécessaire d'appliquer des tensions de commande très élevées rendant nécessaire l'utilisation d'une électronique de commande présentant une faible précision dans la phase de fonctionnement. OBJET DE L'INVENTION
Un but de 1 ' invention est de proposer un procédé permettant de réduire le temps de mise en vibration du résonateur vibrant sans modifier la précision du capteur pendant la phase de fonctionnement. RESUME DE L'INVENTION
En vue de la réalisation de ce but, on propose un procédé de commande d'un capteur de rotation inertiel à résonateur vibrant comportant des voies de commande et des voies de détection, le procédé comportant une phase de fonctionnement au cours de laquelle chaque voie de commande est mise en œuvre pendant une durée de commande et chaque voie de détection est mise en œuvre pendant une durée de détection, selon un rapport de fonctionnement entre la durée de commande et la durée de détection, et une phase de démarrage dans laquelle le rapport entre la durée de commande et la durée de détection est modifié dans un sens d'une augmentation de la durée de commande par référence au rapport de fonctionnement.
Ainsi, lors du démarrage, il suffit de modifier les durées relatives de commande et de détection. Un tel réglage est effectué sans modifier les autres paramètres de fonctionnement du capteur de rotation de sorte que la précision est conservée lors de la phase de fonctionnement . De préférence, la durée de détection est réduite à une valeur juste suffisante pour permettre d'assurer un contrôle d'une évolution de la vibration. Le rapport de la durée de commande à la durée de détection est alors maximal et le temps de démarrage est donc minimal .
BREVE DESCRIPTION DES DESSINS
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront encore à la lecture de la description qui suit d'un mode de mise en oeuvre particulier non limitatif, en référence aux figures ci-jointes parmi lesquelles :
- la figure 1 est une représentation schématique d'un capteur permettant la mise en œuvre du procédé selon 1 ' invention, - la figure 2 est une représentation schématique des durées de commande et de détection pendant la phase de fonctionnement,
- la figure 3 est une représentation schématique analogue à celle de la figure 2, pendant la phase de dé- marrage .
DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION En référence à la figure 1, le capteur de rotation inertiel comprend de façon connue en soi un résonateur vibrant 1 symbolisé sur la figure par une cloche vi- brante bien que le résonateur vibrant puisse avoir également d'autres formes notamment une forme de quapason. Le résonateur vibrant 1 est associé à des transducteurs définissant une paire de voies de commande Cl, C2 , et une paire de voies détection Dl, D2. Bien que chaque voie soit représentée sur la figure par un seul bloc, chaque voie comporte généralement plusieurs transducteurs. En particulier, dans le cas d'une cloche vibrante, chaque voie comporte en général au moins deux transducteurs formés par des entrefers entre une couche métallique portée par la cloche vibrante et polarisée par une tension continue et des électrodes disposées en regard du bord de la cloche vibrante, tandis que dans un capteur comportant un quapason, chaque voie comporte généralement quatre transducteurs piézo- électriques.
Chaque paire de voies est associée à un organe de multiplexage 2, plus précisément un démultiplexeur pour les voies de commande Cl, C2 et un multiplexeur pour les voies de détection Dl, D2. Chaque organe de multiplexage 2 est relié à une chaîne de traitement 3. La chaîne de traitement 3 associée aux voies de commande Cl, C2 élabore à partir d'un générateur unique un signal de commande multiplexe qui est transmis au démultiplexeur 2 correspondant tandis que la chaîne de traitement 3 asso- ciée aux voies de détection Dl, D2 , assure un démultiplexage du signal reçu du multiplexeur 2 et un traitement de celui-ci pour élaborer un signal de traitement numérique. Les chaînes de traitement 3 sont reliées à une unité de traitement 4 qui assure une exploitation des signaux de détection pour calculer les mouvements auxquels le capteur est soumis, et une élaboration des signaux de commande ainsi que les signaux de cadencement des organes de multiplexage.
Lors d'une mise en œuvre du capteur, le résona- teur vibrant 1 est mis en vibration au moyen des signaux de commande jusqu'à ce qu'il atteigne l'amplitude de consigne du résonateur vibrant. Les signaux de commande et les signaux de détection sont ensuite exploités de façon connue en soi pour déterminer les mouvements de rota- tion auxquels le capteur est soumis.
La figure 2 illustre un exemple de cycle généré par l'unité de traitement. Dans cet exemple, chaque cycle comprend un temps d'action de commande sur la première voie de commande Cl pendant une durée cl suivi d'un temps de commande sur la voie de commande C2 pendant une durée de commande cl, les deux temps de commande c2 étant séparés par un temps de relaxation. Après un nouveau temps de relaxation, le cycle comprend un temps de détection sur la voie de détection Dl pendant une durée de détection dl, suivi d'un temps de détection sur la voie de détection D2 pendant une durée de détection d2 , les deux cycles de détection étant séparés par un temps de relaxation. Après un nouveau temps de relaxation, un nouveau cycle est entamé . Pour avoir une bonne précision de la mesure de la rotation à laquelle le capteur est soumis, il est préférable pendant le fonctionnement du capteur d'avoir des temps de détection d'une durée aussi longue que possible. Dans l'exemple illustré par la figure 2, les temps de commande ont une durée de 50 μs, les temps de détection une durée de 130 μs et les temps de relaxation une durée de 2 μs .
La figure 3 illustre la modification de cycles qui, selon l'invention, est effectuée pendant la phase de démarrage, c'est-à-dire pour réaliser une mise en vibration progressive du résonateur vibrant. Par rapport à la phase de fonctionnement le rapport entre la durée de commande et la durée de détection est modifié dans un sens d'une augmentation de la durée de commande. Dans 1 ' exera- pie illustré, chaque temps de commande a une durée de 160 μs tandis que la durée des temps de détection est ramenée à 20 μs seulement. En pratique, il est préférable d'avoir pendant la phase de démarrage des temps de commande d'une durée aussi longue que possible tout en assurant un contrôle de l'évolution de la vibration. La durée de détection est donc de préférence réduite à une valeur juste suffisante pour permettre d'assurer le contrôle d'une évolution du fonctionnement du capteur.
Bien entendu, l'invention n'est pas limitée au mode de réalisation décrit et on peut y apporter des va- riantes de réalisation sans sortir du cadre de 1 ' invention tel que défini par les revendications.
En particulier, bien que l'invention ait été illustrée avec un capteur comportant des voies de commande et des voies de détection séparées, le procédé selon 1 ' invention peut être mis en œuvre dans un capteur dont tous les transducteurs fonctionnent alternativement en commande et en détection et sont associés à un organe de multiplexage unique pour l'ensemble des voies de commande et de détection.
En outre, bien que l'invention ait été illustrée en relation avec un capteur fonctionnant selon un cycle comportant deux temps de commande suivis de deux temps de détection, le procédé selon l'invention peut également être mis en œuvre dans des cycles comportant pour chaque voie un temps de commande immédiatement suivi d'un temps de détection.

Claims

REVENDICATIONS
1. Procédé de commande d'un capteur de rotation inertiel à résonateur vibrant (1) comportant des voies de commande (Cl, C2) et des voies de détection (Dl, D2) , le procédé comportant une phase de fonctionnement au cours de laquelle chaque voie de commande (Cl, C2) est mise en œuvre pendant une durée de commande et chaque voie de détection (Dl, D2) est mise en œuvre pendant une durée de détection selon un rapport de fonctionnement entre la durée de commande et la durée de détection, caractérisé en ce qu'il comporte une phase de démarrage dans laquelle le rapport entre la durée de commande et la durée de détection est modifié par référence au rapport de fonctionne- ment dans un sens d'une augmentation de la durée de commande .
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la durée de détection (dl, d2) est juste suffisante pour permettre d'assurer un contrôle d'une mise en vibration du résonateur vibrant.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2697031C1 (ru) * 2018-10-31 2019-08-08 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Система управления микромеханического гироскопа

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2789170A1 (fr) * 1999-02-01 2000-08-04 Salaberry Bernard Lucien Charl Gyroscope vibrant
EP1031815A1 (fr) * 1998-09-16 2000-08-30 Matsushita Electronics Corporation Capteur de vitesse angulaire
EP1541967A1 (fr) * 2003-12-11 2005-06-15 Sagem S.A. Capteur de rotation inertiel à traitement isotrope

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3719074A (en) * 1970-10-01 1973-03-06 Gen Motors Corp Rotating-wave rotation detector and method of operating same
US4157041A (en) * 1978-05-22 1979-06-05 General Motors Corporation Sonic vibrating bell gyro
GB2266149B (en) * 1992-04-10 1995-08-16 British Aerospace Single axis rate sensor noise reduction
US5646346A (en) * 1994-11-10 1997-07-08 Okada; Kazuhiro Multi-axial angular velocity sensor
US6282956B1 (en) * 1994-12-29 2001-09-04 Kazuhiro Okada Multi-axial angular velocity sensor
US5643646A (en) * 1993-08-11 1997-07-01 Spence; David R. Tinted bottles for food or drugs
US5763780A (en) * 1997-02-18 1998-06-09 Litton Systems, Inc. Vibratory rotation sensor with multiplex electronics
GB2329471B (en) * 1997-09-18 2001-08-15 British Aerospace A digital control system for a vibrating structure gyroscope
US20020020219A1 (en) * 2000-03-13 2002-02-21 Deroo David W. Method of driving MEMS sensor with balanced four-phase comb drive
US6791424B2 (en) * 2000-07-17 2004-09-14 Toyo Communication Equipment Co., Ltd. Piezoelectric oscillator
US8347718B2 (en) * 2007-09-18 2013-01-08 Atlantic Inertial Systems Limited Angular velocity sensors

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1031815A1 (fr) * 1998-09-16 2000-08-30 Matsushita Electronics Corporation Capteur de vitesse angulaire
FR2789170A1 (fr) * 1999-02-01 2000-08-04 Salaberry Bernard Lucien Charl Gyroscope vibrant
EP1541967A1 (fr) * 2003-12-11 2005-06-15 Sagem S.A. Capteur de rotation inertiel à traitement isotrope

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