WO2009056328A1 - Active fiber-optic moisture sensor device - Google Patents

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WO2009056328A1
WO2009056328A1 PCT/EP2008/009200 EP2008009200W WO2009056328A1 WO 2009056328 A1 WO2009056328 A1 WO 2009056328A1 EP 2008009200 W EP2008009200 W EP 2008009200W WO 2009056328 A1 WO2009056328 A1 WO 2009056328A1
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WO
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sensor head
sensor
active fiber
fiber optic
light
Prior art date
Application number
PCT/EP2008/009200
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German (de)
French (fr)
Inventor
Jürgen BÜDDEFELD
Jan Consbruch
Josef Elsbrock
Heinz Hess
Andreas Joschko
Rainer Kufferath
Original Assignee
Hochschule Niederrhein
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Publication date
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/552Attenuated total reflection
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/56Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content
    • G01N25/66Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content by investigating dew-point
    • G01N25/68Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content by investigating dew-point by varying the temperature of a condensing surface
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/02Mechanical
    • G01N2201/023Controlling conditions in casing
    • G01N2201/0231Thermostating

Definitions

  • the invention is directed to an active fiber-optic condensation sensor device comprising an input optical waveguide operatively connected at one end to a light source and at the other end to an optically transparent sensor head having at least one optical interface, and an output optical waveguide connected at one end to a light detector and at the other end to the sensor head. which are connected to an electronic evaluation unit, wherein by means of the light source by means of the input optical waveguide in the sensor head introduced and after at least one reflection on the at least one optical interface from the sensor head by means of the output optical waveguide can be fed to the light detector.
  • the invention further relates to an active fiber-optic condensation sensor comprising an input optical waveguide operatively connected to a light source at one end and an optically transparent sensor head having at least one optical interface, and an output optical waveguide operably connected to a light detector at one end and to the sensor head at the other end ,
  • Optical measuring systems for level measurement, as described, for example, in GB 2 076 960 A and EP 0 450 175 A1, use a sensor head in the form of a liquid cone-facing circular cone, whose lateral surface forms the optical interface.
  • a raindrop sensor and from US 6,582,658 Bl fiber optic special fibers are known, which also operate on the principle of refraction.
  • a fiber-optic condensation sensor is known from DE 10 2005 016 640 A1.
  • a disadvantage of the measuring systems known from the prior art and the measurement methods carried out therewith is the poor thermal conductivity of the optical materials of the sensor head and the resulting thermal "inertia" of the measuring system due to the poor thermal conductivity of the optical materials and materials used for the Sensor head used in these optical sensors, this so-called passive fiber optic dew sensor is a thermally inert sensor that follows only slowly temperature changes.
  • the passive fiber optic dew sensor is generally coupled to an object in which a dew is to be detected then a warning signal is generated and countermeasures, such as heating of the object, are initiated A determination of the dew point generally does not take place with this type of sensor.
  • the invention has for its object to provide a fiber optic Betauungssensorvoriques, by which the above-mentioned disadvantage of the inertia of the measuring system is avoided and which has a high sensitivity with simultaneous noise immunity.
  • Betauungssensorvoriques of the type described above this object is achieved in that the at least one optical interface formed tempered and / or arranged.
  • the optical fiber-based condensation sensor device which is active on account of the possibility of temperature control of the optical interface, provides an optical measuring system with low susceptibility to electrostatic and magnetic interferences and with a high measuring sensitivity. Due to the temperature of the optical interface, a local condensation of the optical interface is actively brought about, without that the actual dew point sensor surrounding measuring medium itself has the dew point temperature.
  • the detected at the time of the detected by the light detector condensation at the interface and measured according to embodiment of the invention by the temperature sensor temperature of the interface corresponds to the dew point temperature of the condensed on the interface medium, which only selectively reaches this locally there. In this way, the dew point is actively determined even before the dew point is reached by the measuring medium surrounding the dew point sensor itself. This makes it possible to introduce countermeasures to prevent undesired condensation since the dew point temperature of the medium, with possibly unknown composition, can be measured or detected before the measuring medium has reached the dew point temperature outside in the environment of the condensation sensor.
  • the invention therefore provides that the light detector is in operative connection with a temperature sensor measuring the temperature of the temperature-controllable optical interface.
  • the invention provides that the input optical waveguide and the output optical waveguide and the at least one temperature-controllable optical interface are aligned with each other so that the transition from an undetected to a dewy state of at least one temperature-controllable optical interface is detectable.
  • the at least one boundary surface can be specifically temperature-controlled by means of a cooling system.
  • an insulating layer covers the surfaces of the sensor head with the exception of the at least one boundary surface, so that upon cooling, the at least one interface is the coldest outwardly directed element of the sensor head ,
  • cooling of the sensor head takes place by means of metal and / or semiconductor structures applied to at least one interface according to the functional principle of the Peltier effect, so that a temperature difference in the form of cooling is produced when current flows through.
  • the invention provides in a further embodiment that the sensor head can be tempered following a step-shaped temperature cycle.
  • the evaluation unit is in operative connection with a temperature sensor arranged in the measurement medium, so that further weather-related values can be determined by means of the electronic evaluation unit.
  • the invention provides in an embodiment that the thickness of the sensor head substantially equal to the diameter of the input and output optical waveguides used, so that the spatial spread of the divergently behaving light in Sensor head is limited.
  • the invention further provides for the sensor head to be divided into parallel sensor head substructures optically connected to the optical waveguides.
  • Specially shaped sensor head substructures may, for example, use the temperature-dependent refractive index of the sensor head material for temperature determination.
  • a particularly advantageous embodiment of the invention consists in that intermediate elements made of a thermally highly conductive material, in particular a metal material, are arranged between the sensor head substructures.
  • the sensor head and in particular the thermally poorly conductive sensor head substructures can be cooled down faster and more effectively.
  • the sensor head substructures have different functional properties, in particular for the detection of different substances in the measuring medium.
  • the active fiber optic Betauungssensorvoriques is universally applicable to detect and compensate for the presence of different substances or groups of substances.
  • forms of the sensor head that are outside of the influence of the measuring medium can be used as a reference for the undetached state as well as for the degree of surface contamination of the interface or interfaces.
  • the invention provides that the sensor head or the sensor head substructures consist of a permeable material for selectable wavelengths of light. Due to the selective spectral behavior, individual coupled-out light intensities of sensor head substructures with their specific wavelength can be selectively read out and determined, so that different analytical measuring processes, such as different condensation events of different substances or substance groups, sensor adjustments or also spectral analytical measurements of colored measuring medium or material, with only a single sensor head are possible.
  • the invention provides in an advantageous embodiment, that thermally conductive elements and optically conductive elements of the sensor head over a large area, in particular by juxtaposition, are coupled together.
  • thermally conductive elements and optically conductive elements of the sensor head are connected to each other in such a way that the thermal contact resistance between the two consisting of different materials elements is minimized.
  • a thermal compound can be used, which increases the sensitivity and thus the reaction speed of the Betauungssensorvortechnisch.
  • a further possibility for increasing the sensitivity of the active fiber-optic condensation sensor device is given in an embodiment of the invention by applying a partially transparent coating of a thermally highly conductive material, in particular an optically transparent metal coating, to the at least one interface of the sensor head or to the surface of the sensor head substructures is.
  • a uniform temperature distribution and a surface tension compensation of the condensate on, for example, an interface are achieved, which is configured in a mixed structure or consists of sensor head substructures with interposed thermally highly conductive intermediate elements.
  • the condensate formed during condensation forms primarily at the coldest point on the mixed-structured sensor head surface, ie the thermally better conductive structures.
  • each sensor head part structure is assigned in each case an output optical waveguide whose respective diameter substantially corresponds to the thickness of the respective sensor head part structure.
  • a condensation of the optical sensor head substructures takes place by means of a finely divided mixed structuring of optical sensor head substructures and thermally well-conducting intermediate elements.
  • the thickness of the individual optical sensor head substructures is dimensioned such that it is substantially smaller than a measurement-relevant condensate drop, so that condensation can already be detected on a microscopic scale.
  • the size of a measurement-relevant condensate drop is dependent on the field of application of the active fiber optic Betauungssensorvoriques, so that the thickness of the sensor head substructures is set in advance according to the application.
  • the sensor head or a respective sensor head part structure has a linear shape, a non-linear shape or a semicircular shape.
  • sensor head part structures it is also conceivable to use different shapes for individual sensor head partial structures mixed.
  • a possible embodiment of the invention also consists in the fact that a shape of the sensor head or of the sensor head part structures is selected and provided, which makes it possible to determine the dew point temperature without the temperature sensor.
  • This special shape then makes it possible to determine from the measured difference of the light coupled into the sensor head and the light coupled out of the sensor head by means of a mathematical calculation by solving a differential equation of n-th order to calculate the dew point temperature, so that a temperature of a tempered interface measuring temperature sensor can be omitted.
  • a particularly expedient embodiment of the invention consists in that, in the case of a semicircular shape of the sensor head, the light is coupled into a region of the sensor head close to the edge.
  • the effect is utilized that the light coupled into the sensor head propagates only in an optically conductive region close to the edge between an outer optical interface and an inner optical reflection surface.
  • the coupled-in light propagates only in an area close to the edge, it is an advantage of the invention if at least part of the sensor head in which light coupled in via the input optical waveguide does not propagate consists of a thermally highly conductive material, in particular a Metal material, consists. As a result, the sensor head can be cooled down more effectively and faster, and the dew point of the measuring medium surrounding the sensor head can be determined more quickly.
  • a near-edge region of the sensor head is formed of an optically conductive material whose thickness is reduced or reduced so far that the reflection of the coupled via the input fiber in the sensor head light between the outer optical interface and an inner optical reflection surface of the near-edge region takes place.
  • the signal transmission to the electronic evaluation unit in pressurized or separable measuring ranges such as in applications in the high pressure range, by optically transparent and / or permeable to selective wavelengths sealing materials.
  • a controller-based evaluation allows in the subject invention a self-calibration and error compensation of the active fiber optic Betauungssensorvorraum.
  • it is possible to use a non-electrical and potential-free measuring principle in the measuring medium ie no electrical components are arranged in the measuring medium during dew point determination.
  • the cooling system is designed for both Peltier elements and other cooling systems.
  • the active fiber-optic condensation sensor device for determining the dew point of a medium or measuring medium is characterized by a compact and miniaturized structure and has a high sensitivity with the possibility of quantitatively determining the wetted measuring surface.
  • a non-hygroscopic, smooth, robust interface allows stable long-term performance and ensures that no foreign matter or contamination can accumulate.
  • Impurities and / or small amounts of, for example, thin oil layers in the measuring medium, which would lead to failure in systems with hygroscopic materials, are compensated by the condensation sensor device.
  • the condensation sensor device is virtually maintenance-free.
  • the reasonably priced active fiber optic condensation sensor device is long-term stable and, due to the optical measuring principle, not susceptible to interference and is characterized by a robust construction, so that a broad field of applications is possible.
  • the above object is inventively achieved in that the at least one optical interface is designed to be tempered.
  • the condensation sensor in an advantageous development is further distinguished by the fact that the Sensor head has a temperature of the at least one optical interface measuring temperature sensor.
  • the dew point sensor can be used in a dewatering device, so that the invention further provides that the dew point sensor is part of a dew point sensor device according to one of claims 1 to 22.
  • the condensation sensor has the features of the sensor head of the condensation sensor device according to one of claims 1 to 22, which the invention also provides.
  • the dew point sensor according to the invention has the same advantages as described above in connection with the active fiber optic dew sensor device.
  • 1A is a side view of a first embodiment of the active fiber optic Betauungssensorvoriques
  • 1B is a front view of the active fiber optic Betauungssensorvortechnisch of the first embodiment
  • FIG. 1C is another front view of the active fiber optic dew sensor device of the first embodiment
  • FIG. ID is another front view of the active fiber optic dew sensor device of the first embodiment
  • 2A is a side view of a second embodiment of an active fiber optic dew sensor device
  • 3A is a side view of a third embodiment of an active fiber optic dew sensor device
  • 3B is a front view of the active fiber optic Betauungssensorvorraum of the third embodiment
  • FIG. 3C is a side view of the third embodiment of an active fiber optic Betauungssensorvoriques, FIG. 3D another side view of the third embodiment of an active fiber optic dew sensor device, FIG.
  • 3E is yet another side view of the third embodiment of an active fiber optic dew sensor sensor apparatus
  • 5A is a schematic representation of a controller-based evaluation
  • 5B is a schematic representation of another controller-based evaluation
  • FIG. 6 is a side view of an optical sensor head in the form of a prism
  • FIG. 8 is a side view of the active fiber optic dew sensor device of the second embodiment
  • Embodiment and Fig. 10 exemplary usable basic shapes of sensor heads.
  • the active fiber optic condensation sensor or the active fiber optic condensation sensor device (a-FoBt) according to the invention is based on a passive fiber optic condensation sensor (p-FoBt), which works on the principle of total reflection.
  • p-FoBt passive fiber optic condensation sensor
  • the light coupled into a sensor head 1 and originating, for example, from a light source 30 in the unexploded state of the sensor head 1 at an optical interface of two media, in the context of the invention as a contact surface between the surface of the sensor head 1 and the sensor head 1 surrounding Air (measuring medium) is defined, completely reflected.
  • a passive fiber-optic condensation sensor is a thermally inert sensor, which only follows the temperature changes in the measuring medium slowly or delayed passively.
  • FIG. 10 Illustrated in FIG. 10 are exemplary basic forms of an optical sensor head 1 of passive fiber optic condensation sensors, some of which are within the scope of the present invention
  • Invention of an active fiber optic Betauungssensor- device (a-foBt) can be used.
  • the input optical waveguide 2 and the output optical waveguide 5 are arranged in parallel with each other.
  • the coupled-in light is reflected at the interfaces in the unexploded state of the sensor head 1 and coupled out into the output optical waveguide 5.
  • the peculiarity of the semicircular shape is that the light divergently coupled into the sensor head 1 or the light beam is no longer distributed and propagated in the peripheral region of the sensor head 1 in the entire semicircle, but only reflected at shallow angles along the round boundary surface of the sensor head 1 becomes.
  • the propagation of the injected light takes place only in a narrow edge region in the manner of a skin effect, in which the current flowing through a line is displaced to the edge of the line. From this multiplicity of different reflection angles, sufficiently many are close to the optical limit angle (42 ° for glass / air), so that this shape of the sensor head 1 also indicates condensation.
  • the sensor head 1 should be as flat as the optical fibers 2, 5 for the sensor head shapes used in the invention.
  • the thickness of the sensor head 1 should correspond substantially to the diameter of the input and output optical waveguides 2 and 5 used, so that the light coupled into the sensor head 1 propagates divergently substantially only in one direction.
  • the above the input light wave propagates Head 2 coupled light divergent in the sensor head 1 off.
  • the light in the undetached state of the interfaces 3 and 4 is reflected on the latter in such a way that it is fed back into the output light waveguide 5 rotated through 180 °.
  • the angles of the prism-shaped sensor head 1 are selected so that the majority of the divergent light is just below the critical angle of total reflection.
  • onset of condensation of the sensor head 1 now occurs a media change from air to water at the optical interfaces 3 and 4.
  • the light difference occurring ie the increase in attenuation or the attenuation of the light intensity, is the actual measured variable that indicates a condensation.
  • the sensor head 1 formed in the form of a prism or a triangle of the first embodiment of the active fiber optic condensation sensor device is shown in FIGS. 1A to 1 and 7 and has two interfaces 3 and 4.
  • any other linear shape as well as a non-linear shape may be used for the sensor head 1.
  • the sensor head 1 of the first embodiment is divided into mutually parallel sensor head substructures 1.1 to ln.
  • Light is guided via an input optical waveguide 2 into an optical input coupler 17, which then propagates through its divergent propagation behavior into the six sensor head substructures 1.1 to ln connected to the optical input coupler 17, which are formed in the form of triangles.
  • the selected number of sensor head substructures is exemplary only and one of them may be different numbers of triangles are selected.
  • the six sensor head substructures 1.1 to ln are arranged one behind the other and adjacent to each other.
  • the coupled into the sensor head substructures 1.1 to ln light is reflected by 180 ° and rotated and passed through an optical output coupler 18 in a second optical waveguide, the output optical waveguide 5.
  • the output optical waveguide 5 collects the light coupled out of the sensor head substructures 1.1 to ln and transfers it in the form of a signal to an electronic or optoelectronic evaluation unit 31, which is shown in FIGS. 5a and 5b.
  • intermediate elements 8 Parallel to the plan side of the sensor head substructures 1.1 to ln are intermediate elements 8 in the form of triangles, which are thermally connected to a base plate 9.
  • the five illustrated intermediate elements 8 are made of a thermally highly conductive material, such as a metal material, and are disposed between the sensor head substructures 1.1 to ln.
  • the intermediate elements 8 are made of aluminum, which has a good or high thermal conductivity.
  • other materials with a high thermal conductivity can also be used. Accordingly, the sensor head 1 of the first embodiment is sandwiched with thermally highly conductive layers.
  • This sandwich-type construction of the sensor head 1 comprising sensor head substructures 1.1 to ln with intermediate elements 8 arranged therebetween leads to mixed-structured interfaces 3 and 4 which consist of alternately thermally well-conducting sections and optical sections which are arranged adjacent to one another and thus coupled to one another over a large area.
  • the base plate 9 is also made of a thermally highly conductive material.
  • the thermally connected to the base plate 9 five intermediate elements 8 can be specifically controlled via the base plate 9 by means of a cooling unit 10.
  • a Peltier element can be used for cooling, which generates a temperature difference when current flows through. Accumulating waste heat can be dissipated, for example via a heat sink 11.
  • the interface 3 thus represents an active interface of the sensor head 1, since it is due to the cooling down by means of the cooling unit 10 causes condensation, although in the measuring range of the dew point is not really reached.
  • This active interface 3 is then alternately with a thermally conductive layer, an intermediate element 8 consisting of, for example, aluminum, and an optical layer, a sensor head part structure 1.1 to ln consisting of polymethyl methacrylate (PMMA) or the like, designed.
  • PMMA polymethyl methacrylate
  • condensation first occurs on the surface of the thermally conductive intermediate elements 8, which then settles on the surfaces of the thermally inert sensor head substructures 1.1 to 1.n, i. of the optical PMMA layers.
  • the sensor head substructures 1.1 to 1.n between the struts-formed aluminum layers, i.
  • the surface of the interface 3 with an optically transparent metal coating 13 can be occupied.
  • thermally slower sensor head substructures 1.1 to 1 respond more quickly to a cooling down
  • An improvement in the reaction rate of the thermally inert sensor head substructures can be achieved, for example, by the intermediate elements 8 completely covering the side surfaces of the respective sensor head substructures 1.1 to ln.
  • a large-area coupling can also be realized in that by means of the cooling element 10 and the base plate 9, the cooling is introduced into the sensor head 1 on the entire surface of the interface 4.
  • the thickness of the respective sensor head substructures 1.1 to 1n and intermediate elements 8 should preferably be dimensioned such that they are smaller than a condensate droplet generated by the cooling down.
  • the presence of other substances or substance or condensate groups in the measuring medium can be detected or compensated by different forms of the individual sensor head substructures 1.1 to 1, ie by prior determination of the critical angle for a particular condensate.
  • Forms of sensor head substructures 1.1 to ln which are outside of an flow through the measuring medium, can be used as a reference for the undetached state and for the degree of surface contamination.
  • Specially shaped sensor head substructures 1.1 to 1 can, for example, use the temperature dependence of the material used to determine the temperature.
  • Materials with selective spectral behavior enable further analytical measurements.
  • plastics come into consideration, which cloud in moisture absorption and thus decrease in their translucency.
  • materials with dyes that change color when exposed to moisture or temperature changes.
  • the coupling-out and coupling-in of the light into the sensor head substructures 1.1 to ln can be done both via additional input optical fibers 5.1 to 5.n, as shown in FIG. 1C, and with the aid of filter masks 27, as shown schematically in FIGS. ID and 5B , respectively.
  • only a certain spectral region of the light can be coupled into the sensor head substructures 1.1 to ln, in which a sensor head substructure 28 consisting of a spectrally selective material itself acts as a kind of filter which transmits only a certain portion of the light and thus couples in, as in FIG Figures ID and 5B is shown.
  • the different spectral components that over the common output optical waveguide 5 are guided to the optoelectronic evaluation unit 31 can then be separated again by means of optical filter 34 or wavelength-specific filter 34 in front of the light detector 35 and evaluated individually by the evaluation unit 31, as shown schematically in Fig. 5B.
  • the second embodiment of the active fiber optic condensation sensor device is shown by way of example in FIGS. 2A, 2B and 8.
  • the illustrated sensor head 1 has a triangular shape or the shape of a prism.
  • light is coupled into the sensor head 1 via the input optical waveguide 2.
  • the light beam is rotated by 180 ° and passed into the output optical waveguide 5 and evaluated by an opto-electronic evaluation unit 31, which is shown in FIGS. 5A and 5B.
  • the sensor head 1 of the second embodiment is entirely made of an optically conductive material such as polymethyl methacrylate (PMMA) and has no sensor head part structures.
  • the thickness 20 of the sensor head 1 shown in FIG. 2B should substantially correspond to the diameter of the input and output optical waveguides 2 and 5 used, so that the light coupled into the sensor head 1 propagates divergently substantially only in one direction.
  • the cooling unit 10 of the second embodiment consists of a p-, n-doped semiconductor pair 6, which is connected via a metal strip 7 with the optical interface 3 of the sensor head 1.
  • a thermal paste can be used. This additionally prevents condensate 19 from getting under the contact surface.
  • the metal strip 7 may be a metal coating applied to the interface 3, the cross-section of which is designed for the corresponding current intensity of the cooling unit 10 or of a Peltier element.
  • the semiconductor pair 6 has at one of its two end faces 14 a contact surface (positive pole) to the n-doped semiconductor and at the end face 15 a contact surface (negative pole) to the p-doped semiconductor. If a current is now passed through the upper end faces 14 and 15 of the semiconductor pair 6, the coldest point in the system, at which condensate 19 forms when the dew point temperature is reached, is formed at the contact surface with the sensor head 1 in the form of a prism. When exceeding a certain amount of condensate and the interface 3 is wetted and parts of the injected light by refraction of the sensor head 1 withdrawn.
  • this wetting of the optical interface 3 is considerably improved on account of the same material, the dipole property of water and the same temperature level.
  • a condensation of the interface 4 will be delayed in time wetting of the interface 3, because the interface 3 is due to the cooling unit 10 arranged there in the form of the semiconductor pair 6, the coldest point in the measuring system.
  • Heatsink 11 are derived, which, for example by means of a holder for the semiconductor pair 6 can be made, which serves the heat dissipation and the power supply.
  • the arranged between the semiconductors of the semiconductor pair 6 insulating layer 12 prevents a metrologically unrecognizable condensate formation in the bottom region between the two semiconductors of the semiconductor pair 6.
  • the arrangement and number of heatsink 11 can be varied accordingly on both sides of the semiconductor pair 6.
  • a plurality of semiconductor pairs 6 may be arranged on an interface 3 or on both interfaces 3 and 4, so that a large-area coupling of thermal and optical elements of the Betauungssensorvoriques is achieved. It should be noted that this design is designed for both the high pressure and the normal pressure range.
  • a change of the optical measurement signal is caused by accumulation of condensate on at least one of the optical interfaces 3 and 4.
  • this condensation starts at the coldest point on the surface of the sensor head 1, ie the corresponding boundary surface 3 and / or 4.
  • the sensor surface and thus the boundary surface 3 and 4 consist of thermally differently conducting, mixed-structured materials (PMMA 1.1-ln and aluminum 8 or PMMA and metal plate 7) as in the first and second embodiments, only the better thermally conductive structures stiffen.
  • a signal change only starts when the amount of condensate is sufficient to wet adjacent optical structures as well.
  • This delay in wetting can be achieved by the application of optically semi-transparent, thermally conductive layers (eg by sputtering), which has only one exit into the Sensor head substructures 1.1 to 1-n coupled light and no entry of light from the measured medium in the sensor head substructures 1.1 to ln enable reduced.
  • optically semi-transparent, thermally conductive layers eg by sputtering
  • FIG. 4 shows the method for determining the dew point by means of the condensation sensor device of the first and second embodiment by the step-shaped measuring profile when the sensor head 1 or the sensor head partial structures 1.1 to 1 are cooled down.
  • the line 26 corresponds to the temperature that assumes the optical material of the sensor head 1 when cooling down, whereas the line 21, the temperature of the thermally highly conductive material when cooling down the sensor head 1 reflects.
  • the temperature T or the damping D of the thermally better conductive material decreases faster than that of the sensor head 1 or its sensor head substructures 1.1 to ln optical material (characteristic 26). If now the cooling unit 10 is switched off briefly after reaching a first stage 25, then the thermally better conductive material heats up faster than the optical material. If both materials have fallen below the characteristic curve of the dew point temperature 22 at this point in time, the condensate formed on the thermally better conducting structure is released by heating and can be absorbed by the briefly cooler optical structure drop. As a result, the fed back optical power characteristic 23 or optical attenuation characteristic 23 abruptly, because the onset of refraction reduces the amount of light returned.
  • the processor can control and / or regulate the step-shaped temperature cycle 25.
  • a fast but also rough determination of the dew point is possible by large temperature intervals or stages when cooling down.
  • a more precise determination of Dew point temperature is in contrast possible by small temperature intervals or temperature levels.
  • the temperature sensor 38 has the task of determining and / or measuring the temperature of the surface of the sensor head 1 at the moment of the condensation detected by the light detector 35 and determined optically. This determined and / or measured value of the temperature then corresponds to the dew point temperature of the substance condensed on the sensor surface. The dew point temperature determined in this way is an important measured value and specifies the condensation.
  • temperature sensor 38 is any measuring system into consideration, which can display and determine the surface temperature.
  • a sensible temperature sensor 38 is an electronic, semiconductor, or resistance change based temperature sensor 38 cooperating and operating with electronic evaluation 31 and the CPU. The terminals of such a temperature sensor 38 must be isolated from the condensate and air.
  • the quality of the mechanical and thermal connection and coupling of the temperature sensor 38 to the Betauungssensoroberflache or to the interfaces 3 and / or 4 is crucial for the accuracy of the dew point measurement and can be improved, for example by means of a thermal paste.
  • the third embodiment of the active fiber optic condensation sensor device is shown by way of example in FIGS. 3A to 3E and 9 and exploits the special optical effect which occurs only at roundish interfaces.
  • the injected light does not propagate in the entire semicircle when irradiated in the edge region of the sensor head 1, but is only propagated at shallow angles along the reflected round optical interface 29 of the sensor head 1.
  • the sensor head 1 shown in Fig. 3A is made of an optically conductive material such as polymethylmethacrylate (PMMA), and like the second embodiment has no sensor head part structures.
  • the input optical waveguide 2 and the output optical waveguide 5 are arranged in the region near the edge of the sensor head 1.
  • the light is thus coupled in via the input optical waveguide 2 in an area near the edge of the sensor head 1, so that the above-mentioned effect predominates and in the undetached state of the sensor head 1 the coupled light only in a narrow edge section along the interface 29 at shallow angles along the round boundary surface 29 is reflected and coupled via the output optical waveguide 5.
  • condensation of the interface 29 sets in the coupled-in light is refracted at the interface and comes out of the sensor head 16.
  • the right of the two condensate droplets 19 shown in FIG. 9 is small with respect to the left condensate droplet 19, so that the coupled-in light is only slightly refracted and the light intensity of the coupled-out light decreases only slightly.
  • the larger of the two condensate drops causes a stronger refraction of light of the coupled light at the optical interface 29, so that the intensity of the coupled-out light with respect to the coupled-in light decreases more.
  • the condensation sensor device of the third embodiment also has, for cooling down the sensor head 1, the cooling unit 10, resulting waste heat being dissipated via the cooling body 11. Cover insulating layers 12 the side surfaces and the base of the sensor head 1, so that a non-technically usable condensation is prevented at undesirable locations and the interface 29 is the coldest outwardly facing element of the Betauungssensorvorraum.
  • the thickness of the sensor head 1 should substantially correspond to the diameter of the input and output optical waveguides 2 and 5 used, so that the light coupled into the sensor head 1 propagates divergently substantially only in one direction.
  • a part 16 or the core 16 of the sensor head 1 in which the coupled light does not propagate and which consists of the thermally inert PMMA material, has been removed is shown in Fig. 3C.
  • the core 16 of the sensor head 1 is replaced by a thermally highly conductive material, such as aluminum, whereas the remaining edge region of the sensor head 1 consists of the optically highly conductive material (PMMA), as shown in Fig. 3D.
  • PMMA optically highly conductive material
  • the coupled into the sensor head 1 light propagates only in an optically conductive, near the edge region between the outer optical Interface 29 and an inner optical reflection surface 33 from.
  • the core 16 of the sensor head 1 can be specifically controlled via the cooling unit 10, for example by a Peltier element, so that the corresponding dew point temperature can be reached on the boundary surface 29.
  • the insulating layers 12 prevent condensation outside of the interface 29, whereby cooling-related waste heat is dissipated, for example via the heat sink 11.
  • this optically conductive surface structure or its thickness is reduced or reduced to such an extent that the reflection of the light coupled into the sensor head takes place between the outer optical interface 29 and the inner optical reflection surface 33. Furthermore, this embodiment has a simple and inexpensive construction. Also, the dew sensor is the third Easy to clean embodiment and used in high pressure areas.
  • the method for determining the dew point described for the first and second embodiments can of course also be used in the third embodiment, for which reason reference is made to the above explanations of the method.
  • the temperature sensor 38 used here corresponds to the temperature sensor 38 used in the first and second embodiments, so that reference is also made to the relevant explanations.
  • the evaluation of the measurement signals is based on the differential measurement of the light intensity of light coupled in and out of the sensor head between dew and non-dew.
  • the light detector 35 measures the light intensity and detects dewing when the light intensity decreases, the dew point temperature being detected by the temperature sensor 38 at the moment of the detected condensation. Due to the active cooling of the sensor head 1 or its sensor head substructures 1.1 to 1.n defined operating states are adjustable, which allow a recalibration of the sensor and a deduction of contamination or other influences.
  • the invention improves the thermal conductivity of the optical sensor head and the change behavior while maintaining the optical functionality for detecting incipient condensation by means of a specially structured construction of optical and thermally conductive elements.
  • the cooling system 10, 11 in the form of the Peltier element and the temperature sensor 38 coupled to the interface 3, 4 or 29, an accurate determination of the dew point is possible.
  • the sensor head 1 will be due to its structured structure of thermally highly conductive structures and optically conductive structures compared to a passive fiber optic Betauungssensor less thermal, because the sensor head by means of thermally well conductive structures "faster
  • further weather-related data such as, for example, the relative and the absolute humidity, the partial pressure of water vapor and the saturation vapor pressure.
  • the input optical waveguide 2 is fed by light emitted by the light source 30 or emitted electromagnetic radiation, in particular of human electromagnetic radiation visible.

Abstract

Disclosed is an active fiber-optic moisture sensor device comprising an input optical waveguide (2) that is effectively connected to a light source (30) at one end while being connected to an optically transparent sensor head (1) at the other end, said sensor head (1) being provided with at least one optical boundary surface (3, 4, 29). The moisture sensor device further comprises an output optical waveguide (5) which is effectively connected to a light detector (35) at one end and is connected to the sensor head (1) at the other end. The input optical waveguide (2) and the output optical waveguide (5) are connected to an electronic evaluation unit (31). The light source (30) allows light to be introduced into the sensor head (1) by means of the input optical waveguide (2). The light can be fed to the light detector (35) from the sensor head (1) by means of the output optical waveguide (5) after being reflected at least once on the at least one optical boundary surface (3, 4, 29). In order to do away with the drawback of thermal inertia in previously known measuring systems while designing the moisture sensor device in a highly sensitive and perturbation-insensitive manner, the at least one optical boundary surface (3, 4, 29) is designed and/or arranged in a temperature-controllable fashion.

Description

Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung Active fiber optic dew sensor device
Die Erfindung richtet sich auf eine aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung umfassend einen einenends mit einer Lichtquelle in Wirkverbindung stehenden und anderenends mit einem optisch transparenten, zumindest eine optische Grenzfläche aufweisenden Sensorkopf verbundenen Eingangslichtwellenleiter sowie einen einenends mit einem Lichtdetektor in Wirkverbindung stehenden und anderenends mit dem Sensorkopf verbundenen Ausgangslichtwellenleiter, welche mit einer elektronischen Auswerteeinheit verbunden sind, wobei mittels der Lichtquelle Licht mittels des Eingangslichtwellenleiters in den Sensorkopf einleitbar und nach mindestens einmaliger Reflexion an der zumindest einen optischen Grenzfläche aus dem Sensorkopf mittels des Ausgangslichtwellenleiters dem Lichtdetektor zuführbar ist.The invention is directed to an active fiber-optic condensation sensor device comprising an input optical waveguide operatively connected at one end to a light source and at the other end to an optically transparent sensor head having at least one optical interface, and an output optical waveguide connected at one end to a light detector and at the other end to the sensor head. which are connected to an electronic evaluation unit, wherein by means of the light source by means of the input optical waveguide in the sensor head introduced and after at least one reflection on the at least one optical interface from the sensor head by means of the output optical waveguide can be fed to the light detector.
Weiterhin richtet sich die Erfindung auf einen aktiven faseroptischen Betauungssensor umfassend einen einenends mit einer Lichtquelle in Wirkverbindung bringbaren und anderenends mit einem optisch transparenten, zumindest eine optische Grenzfläche aufweisenden Sensorkopf verbundenen Eingangslichtwellenleiter sowie einen einenends mit einem Lichtdetektor in Wirkverbindung bringbaren und anderenends mit dem Sensorkopf verbundenen Ausgangslichtwellenleiter.The invention further relates to an active fiber-optic condensation sensor comprising an input optical waveguide operatively connected to a light source at one end and an optically transparent sensor head having at least one optical interface, and an output optical waveguide operably connected to a light detector at one end and to the sensor head at the other end ,
Die meisten Messsysteme zur Bestimmung des Taupunktes bestehen aus porösen Strukturen, die Feuchtigkeit aufnehmen. Hierdurch gelangen unter anderem Verschmutzungen mit in das Messsystem, die zunehmend Einfluss auf die Kennlinienstabilität nehmen. Passive optische Messsysteme, die nach dem Prinzip der Lichtbrechung an einer Grenzfläche zwischen zwei Medien arbeiten und funktionieren, besitzen im Allgemeinen glatte, nicht hygroskopische Grenzflächen, die vergleichsweise geringfügig verschmutzen. Optische Messsysteme zur Füllstandsmessung, wie sie beispielsweise in der GB 2 076 960 A und der EP 0 450 175 Al beschrieben sind, verwenden einen Sensorkopf in Form eines dem Flüssigkeitsspiegel zugewandten Kreiskegels, dessen Mantelfläche die optische Grenzfläche bildet. Darüber hinaus sind aus der DE 100 41 729 Al ein Regentropfensensor und aus der US 6,582,658 Bl faseroptische Spezialfasern bekannt, die ebenfalls nach dem Prinzip der Lichtbrechung arbeiten. Ein faseroptischer Betauungssensor ist aus der DE 10 2005 016 640 Al bekannt.Most dew point measurement systems consist of porous structures that absorb moisture. Among other things, this leads to contamination in the measuring system, which increasingly influences the stability of the characteristic curve. Passive optical measuring systems that work and operate on the principle of refraction at an interface between two media generally have smooth, non-hygroscopic interfaces, which pollute comparatively slightly. Optical measuring systems for level measurement, as described, for example, in GB 2 076 960 A and EP 0 450 175 A1, use a sensor head in the form of a liquid cone-facing circular cone, whose lateral surface forms the optical interface. In addition, from DE 100 41 729 Al a raindrop sensor and from US 6,582,658 Bl fiber optic special fibers are known, which also operate on the principle of refraction. A fiber-optic condensation sensor is known from DE 10 2005 016 640 A1.
Nachteilig bei den aus dem Stand der Technik bekannten Messsystemen und den damit durchgeführten Messverfahren sind die schlechte thermische Leitfähigkeit der optischen Materialien des Sensorkopfes und die daraus resultierende thermische „Trägheit" des Messsystems. Aufgrund der schlechten thermischen Leitfähigkeit der optischen Materialien und Werkstoffe, die für den Sensorkopf bei diesen optischen Sensoren verwendet werden, ist dieser sogenannte passive faseroptische Betauungssensor ein thermisch träger Sensor, der nur langsam Temperaturänderungen folgt. Der passive faseroptische Betauungssensor ist im Allgemeinen mit einem Objekt gekoppelt, bei dem eine Betauung detektiert werden soll. Bei eingetretener und detektierter Betauung wird dann ein Warnsignal erzeugt und werden Gegenmaßnahmen, wie beispielsweise ein Aufheizen des Objekts, eingeleitet. Eine Bestimmung des Taupunktes findet im Allgemeinen bei diesem Sensortyp nicht statt.A disadvantage of the measuring systems known from the prior art and the measurement methods carried out therewith is the poor thermal conductivity of the optical materials of the sensor head and the resulting thermal "inertia" of the measuring system due to the poor thermal conductivity of the optical materials and materials used for the Sensor head used in these optical sensors, this so-called passive fiber optic dew sensor is a thermally inert sensor that follows only slowly temperature changes.The passive fiber optic dew sensor is generally coupled to an object in which a dew is to be detected then a warning signal is generated and countermeasures, such as heating of the object, are initiated A determination of the dew point generally does not take place with this type of sensor.
Es besteht das Bedürfnis, eine faseroptische Betauungssensor- vorrichtung zur Bestimmung des Taupunktes zu schaffen, die für Anwendungen sowohl im Normaldruckbereich bei Atmosphären- druck als auch im Hochdruckbereich bei einem Druck von mehreren hundert bar verwendbar ist. Insbesondere für Anwendungen im Hochdruckbereich ist eine druckstabile Ausführung der Sensorvorrichtung erforderlich. Weiterhin ist es wünschenswert, eine faseroptische Betauungssensorvorrich- tung, insbesondere einen faseroptischen Betauungssensor zu schaffen, die/der sich durch einen kompakten und miniaturisierten Aufbau auszeichnet und sich kostengünstig in hohen Stückzahlen herstellen und fertigen lässt.There is a need to provide a fiber optic dew point sensor device suitable for use in both atmospheric pressure and atmospheric pressure applications. pressure as well as in the high pressure range at a pressure of several hundred bar is usable. In particular, for applications in the high pressure area, a pressure-stable design of the sensor device is required. Furthermore, it is desirable to provide a fiber-optic condensation sensor device, in particular a fiber-optic condensation sensor, which is distinguished by a compact and miniaturized structure and can be produced and manufactured cost-effectively in high quantities.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine faseroptische Betauungssensorvorrichtung zu schaffen, durch die der vorstehend genannte Nachteil der Trägheit des Messsystems vermieden wird und die eine hohe Messempfindlichkeit bei gleichzeitiger Störungsunempfindlichkeit aufweist.The invention has for its object to provide a fiber optic Betauungssensorvorrichtung, by which the above-mentioned disadvantage of the inertia of the measuring system is avoided and which has a high sensitivity with simultaneous noise immunity.
Bei einer faseroptischen Betauungssensorvorrichtung der eingangs bezeichneten Art wird diese Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die zumindest eine optische Grenzfläche temperierbar ausgebildet und/oder angeordnet ist.In a fiber optic Betauungssensorvorrichtung of the type described above, this object is achieved in that the at least one optical interface formed tempered and / or arranged.
Vorteilhafte und zweckmäßige Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den entsprechenden Unteransprüchen .Advantageous and expedient refinements and developments of the invention will become apparent from the corresponding dependent claims.
Durch die erfindungsgemäße, aufgrund der Möglichkeit der Temperierung der optischen Grenzfläche aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung wird ein optisches Messsystem mit geringer Anfälligkeit gegenüber elektrostatischen und magnetischen Störeinflüssen und mit einer hohen Messempfindlichkeit bereitgestellt. Durch die Temperierung der optischen Grenzfläche wird eine örtliche Betauung der optischen Grenzfläche aktiv herbeigeführt, ohne dass das den eigentlichen Betauungssensor umgebende Messmedium selbst die Taupunkttemperatur aufweist. Die im Zeitpunkt der vom Lichtdetektor detektierten Betauung an der Grenzfläche herrschende und gemäß Ausgestaltung der Erfindung vom Temperatursensor gemessene Temperatur der Grenzfläche entspricht der Taupunkttemperatur des auf der Grenzfläche kondensierten Messmediums, die dieses lediglich dort örtlich gezielt erreicht. Auf diese Weise wird der Taupunkt aktiv bestimmt, noch bevor vom den Betauungssensor umgebenden Messmedium selbst der Taupunkt erreicht wird. Dadurch ist das Einleiten von Gegenmaßnahmen zur Vermeidung einer unerwünschten Betauung möglich, da die Taupunkttemperatur des Mediums mit gegebenenfalls unbekannter Zusammensetzung messbar bzw. detektierbar ist, bevor das Messmedium außerhalb in der Umgebung des Betauungssensors die Taupunkttemperatur erreicht hat.The optical fiber-based condensation sensor device according to the invention, which is active on account of the possibility of temperature control of the optical interface, provides an optical measuring system with low susceptibility to electrostatic and magnetic interferences and with a high measuring sensitivity. Due to the temperature of the optical interface, a local condensation of the optical interface is actively brought about, without that the actual dew point sensor surrounding measuring medium itself has the dew point temperature. The detected at the time of the detected by the light detector condensation at the interface and measured according to embodiment of the invention by the temperature sensor temperature of the interface corresponds to the dew point temperature of the condensed on the interface medium, which only selectively reaches this locally there. In this way, the dew point is actively determined even before the dew point is reached by the measuring medium surrounding the dew point sensor itself. This makes it possible to introduce countermeasures to prevent undesired condensation since the dew point temperature of the medium, with possibly unknown composition, can be measured or detected before the measuring medium has reached the dew point temperature outside in the environment of the condensation sensor.
In vorteilhafter Weiterbildung sieht die Erfindung daher vor, dass der Lichtdetektor mit einem die Temperatur der temperierbaren optischen Grenzfläche messenden Temperatur- sensor in Wirkverbindung steht.In an advantageous embodiment, the invention therefore provides that the light detector is in operative connection with a temperature sensor measuring the temperature of the temperature-controllable optical interface.
In zweckmäßiger Ausgestaltung sieht die Erfindung vor, dass der Eingangslichtwellenleiter und der Ausgangslichtwellenleiter sowie die zumindest eine temperierbare optische Grenzfläche so zueinander ausgerichtet sind, dass der Übergang von einem unbetauten zu einem betauten Zustand der zumindest einen temperierbaren optischen Grenzfläche detektierbar ist.In an advantageous embodiment, the invention provides that the input optical waveguide and the output optical waveguide and the at least one temperature-controllable optical interface are aligned with each other so that the transition from an undetected to a dewy state of at least one temperature-controllable optical interface is detectable.
In Weiterbildung der Erfindung ist es ferner von Vorteil, wenn die zumindest eine Grenzfläche mittels eines Kühlsystems gezielt temperierbar ist. Durch ein gezieltes Herabkühlen kann je nach Anwendungsgebiet und gewünschter Genauigkeit der zu ermittelnden Taupunkttemperatur die aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung gesteuert und geregelt werden.In a development of the invention, it is also advantageous if the at least one boundary surface can be specifically temperature-controlled by means of a cooling system. By deliberately cooling down, depending on the field of application and the desired accuracy of to be determined dew point temperature, the active fiber optic Betauungssensorvorrichtung be controlled and regulated.
Damit die Kühlung nicht auf das Messmedium wirkt, ist in weiterer Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen, dass eine Isolierschicht die Oberflächen des Sensorkopfes mit Ausnahme der zumindest einen Grenzfläche bedeckt, so dass bei erfolgender Kühlung die zumindest eine Grenzfläche das kälteste nach außen gerichtete Element des Sensorkopfes ist.So that the cooling does not act on the measuring medium, it is provided in another embodiment of the invention that an insulating layer covers the surfaces of the sensor head with the exception of the at least one boundary surface, so that upon cooling, the at least one interface is the coldest outwardly directed element of the sensor head ,
Besonders zweckmäßig bei der Verwendung eines Kühlsystems ist es, wenn die Temperierung, insbesondere Kühlung auf einer Fläche des Sensorkopfes erfolgt, die keine Grenzfläche ist, so dass ein Temperaturtransfer durch den thermisch gut leitenden Teil und die zumindest eine optische Grenzfläche hindurch erfolgt.It is particularly expedient for the use of a cooling system when the temperature control, in particular cooling, takes place on a surface of the sensor head which is not an interface, so that a temperature transfer takes place through the thermally highly conductive part and the at least one optical interface.
In Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass eine Kühlung des Sensorkopfes mittels auf zumindest einer Grenzfläche aufgebrachter Metall- und/oder Halbleiterstrukturen nach dem Funktionsprinzip des Peltiereffektes erfolgt, so dass bei Stromdurchfluss eine Temperaturdifferenz in Form der Kühlung erzeugt wird.In a further development of the invention, it is provided that cooling of the sensor head takes place by means of metal and / or semiconductor structures applied to at least one interface according to the functional principle of the Peltier effect, so that a temperature difference in the form of cooling is produced when current flows through.
Um die Taupunkttemperatur möglichst genau zu bestimmen, sieht die Erfindung in weiterer Ausgestaltung vor, dass der Sensorkopf einem stufenförmigen Temperaturzyklus folgend temperierbar ist.In order to determine the dew point temperature as accurately as possible, the invention provides in a further embodiment that the sensor head can be tempered following a step-shaped temperature cycle.
In Weiterbildung der Erfindung steht die Auswerteeinheit mit einem im Messmedium angeordneten Temperatursensor in Wirkverbindung steht, so dass weitere wettertechnische Werte mittels der elektronischen Auswerteeinheit bestimmbar sind. Zur Erhöhung der Kompaktheit und zur Ermöglichung der Miniaturisierung der aktiven faseroptischen Betauungssensor- vorrichtung sieht die Erfindung in Ausgestaltung vor, dass die Dicke des Sensorkopfes im Wesentlichen dem Durchmesser der verwendeten Eingangs- und Ausgangslichtwellenleiter entspricht, so dass die räumliche Ausbreitung des sich divergent verhaltenden Lichtes im Sensorkopf begrenzt ist.In a further development of the invention, the evaluation unit is in operative connection with a temperature sensor arranged in the measurement medium, so that further weather-related values can be determined by means of the electronic evaluation unit. To increase the compactness and to enable the miniaturization of the active fiber optic Betauungssensor- device, the invention provides in an embodiment that the thickness of the sensor head substantially equal to the diameter of the input and output optical waveguides used, so that the spatial spread of the divergently behaving light in Sensor head is limited.
Um die Empfindlichkeit der aktiven faseroptischen Betauungs- sensorvorrichtung zu erhöhen, sieht die Erfindung weiterhin vor, dass der Sensorkopf in parallele, optisch mit den Lichtwellenleitern verbundene Sensorkopfteilstrukturen aufgeteilt ist. Speziell geformte Sensorkopfteilstrukturen können dabei beispielsweise den temperaturabhängigen Brechungsindex des Sensorkopfmaterials zur Temperaturbestimmung nutzen.In order to increase the sensitivity of the active fiber optic condensation sensor device, the invention further provides for the sensor head to be divided into parallel sensor head substructures optically connected to the optical waveguides. Specially shaped sensor head substructures may, for example, use the temperature-dependent refractive index of the sensor head material for temperature determination.
Eine besonders günstige Ausgestaltung der Erfindung besteht darin, dass zwischen den Sensorkopfteilstrukturen Zwischen- elemente aus einem thermisch gut leitenden Material, insbesondere einem Metallmaterial, angeordnet sind. Dadurch kann der Sensorkopf und insbesondere die thermisch schlecht leitenden Sensorkopfteilstrukturen schneller und effektiver herabgekühlt werden.A particularly advantageous embodiment of the invention consists in that intermediate elements made of a thermally highly conductive material, in particular a metal material, are arranged between the sensor head substructures. As a result, the sensor head and in particular the thermally poorly conductive sensor head substructures can be cooled down faster and more effectively.
Weiter bevorzugt weisen die Sensorkopfteilstrukturen unterschiedliche Funktionseigenschaften auf, insbesondere zur Detektion von unterschiedlichen Stoffen im Messmedium. Damit ist die aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung universell einsetzbar, um die Anwesenheit von unterschiedlichen Stoffen oder Stoffgruppen zu erkennen und zu kompensieren. Insbesondere Formen des Sensorkopfes, die außerhalb einer Beeinflussung durch das Messmedium liegen, können als Referenz für den unbetauten Zustand sowie für den Grad der Oberflächenverschmutzung der Grenzfläche oder der Grenzflächen herangezogen werden.With further preference, the sensor head substructures have different functional properties, in particular for the detection of different substances in the measuring medium. Thus, the active fiber optic Betauungssensorvorrichtung is universally applicable to detect and compensate for the presence of different substances or groups of substances. In particular, forms of the sensor head that are outside of the influence of the measuring medium, can be used as a reference for the undetached state as well as for the degree of surface contamination of the interface or interfaces.
In weiterer Ausgestaltung sieht die Erfindung vor, dass der Sensorkopf oder die Sensorkopfteilstrukturen aus einem für selektierbare Wellenlängen des Lichts durchlässigen Material bestehen. Aufgrund des selektiv spektralen Verhaltens können gezielt einzelne ausgekoppelte Lichtintensitäten von Sensorkopfteilstrukturen mit ihrer spezifischen Wellenlänge ausgelesen und bestimmt werden, so dass unterschiedliche analytische Messvorgänge, wie zum Beispiel verschiedene Kondensationsereignisse unterschiedlicher Stoffe oder Stoffgruppen, SensorJustierungen oder auch spektralanalytische Messungen von farbigem Messmedium oder -gut, mit nur einem einzigen Sensorkopf möglich sind.In a further embodiment, the invention provides that the sensor head or the sensor head substructures consist of a permeable material for selectable wavelengths of light. Due to the selective spectral behavior, individual coupled-out light intensities of sensor head substructures with their specific wavelength can be selectively read out and determined, so that different analytical measuring processes, such as different condensation events of different substances or substance groups, sensor adjustments or also spectral analytical measurements of colored measuring medium or material, with only a single sensor head are possible.
Zur weiteren Erhöhung der Empfindlichkeit der aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung sieht die Erfindung in zweckmäßiger Ausgestaltung vor, dass thermisch leitende Elemente und optisch leitende Elemente des Sensorkopfes großflächig, insbesondere durch Aneinanderlage, miteinander gekoppelt sind. Somit sind thermisch leitende Elemente und optisch leitende Elemente des Sensorkopfes derart aneinander liegend miteinander verbunden, dass der thermische Übergangswiderstand zwischen den beiden aus unterschiedlichen Materialien bestehenden Elementen möglichst gering ist. Um dabei einen besseren thermischen Kontakt herzustellen, kann beispielsweise eine Wärmeleitpaste eingesetzt werden, was die Empfindlichkeit und somit die Reaktionsgeschwindigkeit der Betauungssensorvorrichtung erhöht . Eine weitere Möglichkeit zur Erhöhung der Empfindlichkeit der aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung ist in Ausgestaltung der Erfindung dadurch gegeben, dass eine teiltransparente Beschichtung aus einem thermisch gut leitenden Material, insbesondere eine optisch transparente Metallbeschichtung, auf die zumindest eine Grenzfläche des Sensorkopfes oder auf die Oberfläche der Sensorkopfteilstrukturen aufgebracht ist. Damit werden eine einheitliche Temperaturverteilung und ein Oberflächenspannungsausgleich des Kondensats auf beispielsweise einer Grenzfläche erzielt, die mischstrukturiert ausgebildet ist bzw. aus Sensorkopfteilstrukturen mit dazwischen angeordneten thermisch gut leitenden Zwischenelementen besteht. Das bei Betauung entstehende Kondensat bildet sich primär an der kältesten Stelle auf der mischstrukturierten Sensorkopfoberfläche, also den thermisch besser leitenden Strukturen. Auf diesen thermisch besser leitenden Strukturen muss sich zuerst eine ausreichende Menge von Kondensat ansammeln, damit auch ein Benetzungssprung auf das benachbarte optische Material stattfindet, d.h. damit sich die auf den thermisch besser leitenden Strukturen einsetzende Benetzung bis auf und über die benachbarte optische Struktur ausweitet und ausbreitet. Auf einer homogenen Oberfläche, wie zum Beispiel einer Metall-Beschichtung, mit gleichem Oberflächenmaterial und geringeren partiellen Temperaturunterschieden findet eine Benetzung bzw. deren flächenmäßige Ausbreitung über darunterliegende Strukturen zeitlich schneller und gleichförmiger statt, weil keine direkten Materialgrenzflächen mehr vorhanden sind, sondern von der Beschichtung abgedeckt und überdeckt sind.To further increase the sensitivity of the active fiber optic Betauungssensorvorrichtung the invention provides in an advantageous embodiment, that thermally conductive elements and optically conductive elements of the sensor head over a large area, in particular by juxtaposition, are coupled together. Thus, thermally conductive elements and optically conductive elements of the sensor head are connected to each other in such a way that the thermal contact resistance between the two consisting of different materials elements is minimized. In order to produce a better thermal contact, for example, a thermal compound can be used, which increases the sensitivity and thus the reaction speed of the Betauungssensorvorrichtung. A further possibility for increasing the sensitivity of the active fiber-optic condensation sensor device is given in an embodiment of the invention by applying a partially transparent coating of a thermally highly conductive material, in particular an optically transparent metal coating, to the at least one interface of the sensor head or to the surface of the sensor head substructures is. In this way, a uniform temperature distribution and a surface tension compensation of the condensate on, for example, an interface are achieved, which is configured in a mixed structure or consists of sensor head substructures with interposed thermally highly conductive intermediate elements. The condensate formed during condensation forms primarily at the coldest point on the mixed-structured sensor head surface, ie the thermally better conductive structures. On these thermally better conductive structures, a sufficient amount of condensate must first accumulate, so that a wetting jump takes place on the adjacent optical material, ie, so that wetting on the thermally better conductive structures expands and spreads to and across the adjacent optical structure , On a homogeneous surface, such as a metal coating, with the same surface material and lower partial temperature differences is a wetting or their areal distribution over underlying structures temporally faster and more uniform instead, because no more direct material interfaces are available, but covered by the coating and are covered.
Eine besonders günstige Ausgestaltung der Erfindung im Hinblick auf die Kompaktheit der Vorrichtung besteht darin, dass jeder Sensorkopfteilstruktur jeweils ein Ausgangslichtwellenleiter zugeordnet ist, dessen jeweiliger Durchmesser im Wesentlichen der Dicke der jeweiligen Sensorkopfteilstruktur entspricht .A particularly advantageous embodiment of the invention with regard to the compactness of the device is in that each sensor head part structure is assigned in each case an output optical waveguide whose respective diameter substantially corresponds to the thickness of the respective sensor head part structure.
In Weiterbildung der Erfindung findet durch eine fein- gliedrige Mischstrukturierung von optischen Sensorkopfteilstrukturen und thermisch gut leitenden Zwischenelementen eine Betauung der optischen Sensorkopfteilstrukturen statt. Bei dieser Mischstrukturierung ist die Dicke der einzelnen optischen Sensorkopfteilstrukturen so bemessen, dass sie im Wesentlichen kleiner als ein messrelevanter Kondensattropfen ist, so dass eine Kondensation bereits im mikroskopischen Maßstab detektierbar ist. Die Größe eines messrelevanten Kondensattropfens ist dabei von dem Anwendungsgebiet der aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung abhängig, so dass die Dicke der Sensorkopfteilstrukturen im Vorfeld entsprechend der Anwendung festzulegen ist.In a further development of the invention, a condensation of the optical sensor head substructures takes place by means of a finely divided mixed structuring of optical sensor head substructures and thermally well-conducting intermediate elements. In this mixed structuring, the thickness of the individual optical sensor head substructures is dimensioned such that it is substantially smaller than a measurement-relevant condensate drop, so that condensation can already be detected on a microscopic scale. The size of a measurement-relevant condensate drop is dependent on the field of application of the active fiber optic Betauungssensorvorrichtung, so that the thickness of the sensor head substructures is set in advance according to the application.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung weist der Sensorkopf oder eine jeweilige Sensorkopfteilstruktur eine lineare Form, eine nichtlineare Form oder eine halbkreisförmige Form auf. Bei Verwendung von Sensorkopfteilstrukturen ist es darüber hinaus denkbar, verschiedene Formen für einzelne Sensorkopf- teilstrukturen gemischt zu verwenden.In a further embodiment of the invention, the sensor head or a respective sensor head part structure has a linear shape, a non-linear shape or a semicircular shape. When using sensor head part structures, it is also conceivable to use different shapes for individual sensor head partial structures mixed.
Eine mögliche Ausgestaltung der Erfindung besteht auch darin, dass eine Form des Sensorkopfes oder der Sensorkopfteilstrukturen ausgewählt und vorgesehen ist, die eine Bestimmung der Taupunkttemperatur ohne den Temperatursensor ermöglicht. Diese besondere Form erlaubt es dann, aus der gemessenen Differenz des in den Sensorkopf eingekoppelten Lichtes und des aus dem Sensorkopf ausgekoppelten Lichtes mittels einer mathematischen Berechnung durch Lösung einer Differentialgleichung von n-ter Ordnung die Taupunkttemperatur zu berechnen, so dass ein die Temperatur einer temperierten Grenzfläche messender Temperatursensor entfallen kann.A possible embodiment of the invention also consists in the fact that a shape of the sensor head or of the sensor head part structures is selected and provided, which makes it possible to determine the dew point temperature without the temperature sensor. This special shape then makes it possible to determine from the measured difference of the light coupled into the sensor head and the light coupled out of the sensor head by means of a mathematical calculation by solving a differential equation of n-th order to calculate the dew point temperature, so that a temperature of a tempered interface measuring temperature sensor can be omitted.
Eine besonders zweckmäßige Ausgestaltung der Erfindung besteht darin, dass bei einer halbkreisförmigen Form des Sensorkopfes eine Einkopplung des Lichts in einen randnahen Bereich des Sensorkopfes erfolgt. Bei einer halbkreisförmigen Form des Sensorkopfes wird dabei der Effekt genutzt, dass sich das in den Sensorkopf eingekoppelte Licht nur in einem optisch leitenden, randnahen Bereich zwischen einer äußeren optischen Grenzfläche und einer inneren optischen Reflexionsfläche ausbreitet.A particularly expedient embodiment of the invention consists in that, in the case of a semicircular shape of the sensor head, the light is coupled into a region of the sensor head close to the edge. In the case of a semicircular shape of the sensor head, the effect is utilized that the light coupled into the sensor head propagates only in an optically conductive region close to the edge between an outer optical interface and an inner optical reflection surface.
Dadurch, dass sich das eingekoppelte Licht nur in einem randnahen Bereich ausbreitet, ist es in Weiterbildung der Erfindung von Vorteil, wenn zumindest ein Teil des Sensorskopfes, in dem sich über den Eingangslichtwellenleiter eingekoppeltes Licht nicht ausbreitet, aus einem thermisch gut leitenden Material, insbesondere einem Metallmaterial, besteht. Dadurch kann der Sensorkopf effektiver und schneller herabgekühlt und der Taupunkt des den Sensorkopf umgebenden Messmediums schneller bestimmt werden.Due to the fact that the coupled-in light propagates only in an area close to the edge, it is an advantage of the invention if at least part of the sensor head in which light coupled in via the input optical waveguide does not propagate consists of a thermally highly conductive material, in particular a Metal material, consists. As a result, the sensor head can be cooled down more effectively and faster, and the dew point of the measuring medium surrounding the sensor head can be determined more quickly.
Darüber hinaus ist es in weiterer Ausgestaltung der Erfindung schließlich von Vorteil, wenn ein randnaher Bereich des Sensorkopfes aus einem optisch leitenden Material ausgebildet ist, dessen Dicke soweit vermindert oder reduziert ist, dass die Reflexion des über den Eingangslichtwellenleiter in den Sensorkopf eingekoppelten Lichts zwischen der äußeren optischen Grenzfläche und einer inneren optischen Reflexionsfläche des randnahen Bereichs erfolgt. Dadurch ist eine kostengünstige und einfache Bauweise für einen nichtlinearen Sensorkopf gegeben, da der aus einem thermisch gut leitenden Material bestehende Teil oder Kern des Sensorkopfes mit einer Folie oder einer transparenten Lackschicht als Grenzfläche zu überziehen ist, in der sich das Licht ausbreiten kann.Moreover, it is in a further embodiment of the invention finally advantageous if a near-edge region of the sensor head is formed of an optically conductive material whose thickness is reduced or reduced so far that the reflection of the coupled via the input fiber in the sensor head light between the outer optical interface and an inner optical reflection surface of the near-edge region takes place. This is one low-cost and simple design for a non-linear sensor head given because the consisting of a thermally highly conductive material existing part or core of the sensor head with a film or a transparent lacquer layer as an interface in which the light can propagate.
Weiterhin kann die Signalübertragung an die elektronische Auswerteeinheit in druckbeaufschlagten oder abzutrennenden Messbereichen, wie beispielsweise bei Anwendungen im Hoch- druckbereich, durch optisch transparente und/oder für selektive Wellenlängen durchlässige Dichtmaterialien erfolgen.Furthermore, the signal transmission to the electronic evaluation unit in pressurized or separable measuring ranges, such as in applications in the high pressure range, by optically transparent and / or permeable to selective wavelengths sealing materials.
Eine controllergestützte Auswertung ermöglicht bei dem Erfindungsgegenstand eine Selbstkalibrierung und Fehlerkompen- sation der aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung. Darüber hinaus ist eine Verwendung eines nichtelektrischen und potenzialfreien Messprinzips im Messmedium möglich, d.h. es sind bei der Taupunktbestimmung keine elektrischen Bauteile im Messmedium angeordnet. Ferner ist das Kühlsystem sowohl für Peltierelemente als auch für andere Kühlsysteme ausgelegt. Durch die Verwendung eines speziellen Messverfahrens und Anwendung eines bestimmten Temperaturzyklus beim Herabkühlen des Sensorkopfes wird die Empfindlichkeit der Betauungs-sensorvorrichtung erhöht. Durch den speziell strukturierten Aufbau von optischen und thermisch leitenden Elementen, wie beispielsweise der Sensorkopfteilstrukturen mit dazwischen liegend angeordneten Zwischenelementen oder wie beispielsweise die auf den aus einem optisch leitenden Material bestehenden Sensorkopf aufgebrachte Metall-beschich- tung, ist das thermische Änderungsverhalten der aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung verbessert. Insgesamt zeichnet sich die erfindungsgemäße aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung zur Bestimmung des Taupunktes eines Mediums oder Messmediums durch einen kompakten und miniaturisierten Aufbau aus und weist eine hohe Empfind- lichkeit mit der Möglichkeit der quantitativen Bestimmung der benetzten Messfläche auf. Eine nicht hygroskopische, glatte, robuste Grenzfläche ermöglicht ein stabiles Langzeitverhalten und gewährleistet, dass sich keine Fremdstoffe oder Verschmutzungen anlagern können. Verunreinigungen und/oder Bei- mengungen von beispielsweise dünnen Ölschichten im Messmedium, was bei Systemen mit hygroskopischen Materialien zum Ausfall führen würde, werden von der Betauungssensorvorrichtung kompensiert. Es ist keinerlei Justierung bei der Herstellung und beim Betrieb der aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung notwendig, weil der messspezifische Winkel für eine bei Betauung einsetzende Lichtbrechung durch die Form des Sensorkopfes bei dessen Herstellung festgelegt ist. Somit ist die Betauungs-sensor- vorrichtung nahezu wartungsfrei. Die preiswert herzustellende aktive faseroptische Betauungssensor-vorrichtung ist lang- zeitstabil sowie aufgrund des optischen Messprinzips gegenüber Störungen unanfällig und zeichnet sich durch eine robuste Bauweise aus, so dass ein breites Feld von Anwendungsmöglichkeiten gegeben ist.A controller-based evaluation allows in the subject invention a self-calibration and error compensation of the active fiber optic Betauungssensorvorrichtung. In addition, it is possible to use a non-electrical and potential-free measuring principle in the measuring medium, ie no electrical components are arranged in the measuring medium during dew point determination. Furthermore, the cooling system is designed for both Peltier elements and other cooling systems. By using a special measuring method and applying a certain temperature cycle while cooling down the sensor head, the sensitivity of the dew sensor device is increased. Due to the specially structured construction of optical and thermally conductive elements, such as the sensor head substructures with interposed intermediate elements or as for example on the existing of an optically conductive material sensor head metal coating, the thermal change behavior of the active fiber optic Betauungssensorvorrichtung is improved , Overall, the active fiber-optic condensation sensor device according to the invention for determining the dew point of a medium or measuring medium is characterized by a compact and miniaturized structure and has a high sensitivity with the possibility of quantitatively determining the wetted measuring surface. A non-hygroscopic, smooth, robust interface allows stable long-term performance and ensures that no foreign matter or contamination can accumulate. Impurities and / or small amounts of, for example, thin oil layers in the measuring medium, which would lead to failure in systems with hygroscopic materials, are compensated by the condensation sensor device. There is no need for adjustment in the manufacture and operation of the active fiber optic dew sensor device, because the measurement-specific angle for refraction of light entering refraction is determined by the shape of the sensor head as it is manufactured. Thus, the condensation sensor device is virtually maintenance-free. The reasonably priced active fiber optic condensation sensor device is long-term stable and, due to the optical measuring principle, not susceptible to interference and is characterized by a robust construction, so that a broad field of applications is possible.
Bei einem aktiven faseroptischen Betauungssensor der eingangs bezeichneten Art wird die oben stehende Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die zumindest eine optische Grenzfläche temperierbar ausgebildet ist.In an active fiber optic condensation sensor of the type described, the above object is inventively achieved in that the at least one optical interface is designed to be tempered.
Hierbei zeichnet sich der Betauungssensor in einer vorteilhaften Weiterbildung ferner dadurch aus, dass der Sensorkopf einen die Temperatur der zumindest einen optischen Grenzfläche messenden Temperatursensor aufweist.In this case, the condensation sensor in an advantageous development is further distinguished by the fact that the Sensor head has a temperature of the at least one optical interface measuring temperature sensor.
In besonders vorteilhafter Weise ist der Betauungssensor in einer Betauungsvorrichtung einsetzbar, so dass die Erfindung weiterhin vorsieht, dass der Betauungssensor Bestandteil einer Betauungssensorvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 22 ist.In a particularly advantageous manner, the dew point sensor can be used in a dewatering device, so that the invention further provides that the dew point sensor is part of a dew point sensor device according to one of claims 1 to 22.
Um Bestandteil der erfindungsgemäßen Betauungssensorvorrichtung zu sein, ist es weiterhin zweckmäßig, wenn der Betauungssensor die Merkmale des Sensorkopfes der Betauungssensorvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 22 aufweist, was die Erfindung ebenfalls vorsieht.In order to be part of the condensation sensor device according to the invention, it is also expedient if the condensation sensor has the features of the sensor head of the condensation sensor device according to one of claims 1 to 22, which the invention also provides.
Der erfindungsgemäße Betauungssensor weist dieselben Vorteile auf, wie sie vorstehend im Zusammenhang mit der aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung dargestellt sind.The dew point sensor according to the invention has the same advantages as described above in connection with the active fiber optic dew sensor device.
Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen verwendbar sind. Der Rahmen der Erfindung ist nur durch die Ansprüche definiert.It goes without saying that the features mentioned above and those yet to be explained below can be used not only in the respectively specified combination but also in other combinations. The scope of the invention is defined only by the claims.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile des Gegenstandes der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung im Zusammenhang mit der Zeichnung, in der beispielhaft bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt sind. In der Zeichnung zeigt:Further details, features and advantages of the subject matter of the invention will become apparent from the following description taken in conjunction with the drawings in which exemplary preferred embodiments of the invention are shown. In the drawing shows:
Fig. IA eine Seitenansicht einer ersten Ausführungsform der aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung, Fig. IB eine Frontansicht auf die aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung der ersten Ausführungsform,1A is a side view of a first embodiment of the active fiber optic Betauungssensorvorrichtung, 1B is a front view of the active fiber optic Betauungssensorvorrichtung of the first embodiment,
Fig. IC eine weitere Frontansicht auf die aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung der ersten Ausführungsform,FIG. 1C is another front view of the active fiber optic dew sensor device of the first embodiment; FIG.
Fig. ID eine weitere Frontansicht auf die aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung der ersten Ausführungsform,FIG. ID is another front view of the active fiber optic dew sensor device of the first embodiment; FIG.
Fig. 2A eine Seitenansicht einer zweiten Ausführungsform einer aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung,2A is a side view of a second embodiment of an active fiber optic dew sensor device,
Fig. 2B eine Frontansicht auf die aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung der zweiten Ausführungs- form,2B is a front view of the active fiber optic Betauungssensorvorrichtung of the second embodiment,
Fig. 3A eine Seitenansicht einer dritten Ausführungsform einer aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung,3A is a side view of a third embodiment of an active fiber optic dew sensor device,
Fig. 3B eine Frontansicht auf die aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung der dritten Ausführungsform,3B is a front view of the active fiber optic Betauungssensorvorrichtung of the third embodiment,
Fig. 3C eine Seitenansicht der dritten Ausführungsform einer aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung, Fig. 3D eine weitere Seitenansicht der dritten Ausführungsform einer aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung,3C is a side view of the third embodiment of an active fiber optic Betauungssensorvorrichtung, FIG. 3D another side view of the third embodiment of an active fiber optic dew sensor device, FIG.
Fig. 3E eine noch weitere Seitenansicht der dritten Ausführungsform einer aktiven faseroptischen Be- tauungssensorVorrichtung,3E is yet another side view of the third embodiment of an active fiber optic dew sensor sensor apparatus;
Fig. 4 eine exemplarische Ansicht von Temperaturverläufen beim Herunterkühlen des Sensorkopfes,4 shows an exemplary view of temperature profiles during cooling down of the sensor head,
Fig. 5A eine schematische Darstellung einer controllergestützten Auswerteeinheit,5A is a schematic representation of a controller-based evaluation,
Fig. 5B eine schematische Darstellung einer weiteren controllergestützten Auswerteeinheit,5B is a schematic representation of another controller-based evaluation,
Fig. 6 eine Seitenansicht eines in Form eines Prismas ausgebildeten optischen Sensorkopfes,6 is a side view of an optical sensor head in the form of a prism,
Fig. 7 eine Seiten- und Frontansicht auf die aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung der ersten Ausführungsform,7 is a side and front view of the active fiber optic Betauungssensorvorrichtung of the first embodiment,
Fig. 8 eine Seitenansicht der aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung der zweiten Ausführungsform,FIG. 8 is a side view of the active fiber optic dew sensor device of the second embodiment; FIG.
Fig. 9 eine Seiten- und Frontansicht auf die aktive faser- optische Betauungssensorvorrichtung der dritten9 is a side and front view of the active fiber optic dew sensor device of the third embodiment
Ausführungsform und Fig. 10 beispielhaft verwendbare Grundformen von Sensorköpfen.Embodiment and Fig. 10 exemplary usable basic shapes of sensor heads.
Der aktive faseroptische Betauungssensor oder die aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung (a-FoBt) gemäß der Erfindung basiert auf einem passiven faseroptischen Betauungssensors (p-FoBt) , der nach dem Prinzip der Totalreflexion funktioniert. Bei diesem Prinzip wird das in einen Sensorkopf 1 eingekoppelte und beispielsweise aus einer Lichtquelle 30 stammende Licht im unbetauten Zustand des Sensorkopfes 1 an einer optischen Grenzfläche zweier Medien, die im Rahmen der Erfindung als Kontaktfläche zwischen der Oberfläche des Sensorkopfes 1 und der den Sensorkopf 1 umgebenden Luft (Messmedium) definiert ist, vollständig reflektiert. Bei einsetzender Betauung, d.h. bei Benetzung dieser optischen der Grenzfläche mit Flüssigkeitsmolekülen bzw. Kondensat, wird das in den Sensorkopf 1 eingekoppelte Licht nicht mehr vollständig an der Grenzfläche reflektiert, sondern an der Grenzfläche teilweise gebrochen und aus dem Sensorkopf 1 nach außen abgestrahlt. Dadurch nimmt das an einem Ausgangslichtwellenleiter 5 ankommende Licht in seiner Intensität ab und zeigt eine einsetzende Betauung der Grenzfläche des Sensorkopfes 1 an. Aufgrund der schlechten thermischen Leitfähigkeit der für den Sensorkopf 1 verwendeten optischen Materialien ist ein passiver faseroptischer Betauungssensor ein thermisch träger Sensor, der nur langsam bzw. verzögert den Temperaturänderungen im Messmedium passiv folgt.The active fiber optic condensation sensor or the active fiber optic condensation sensor device (a-FoBt) according to the invention is based on a passive fiber optic condensation sensor (p-FoBt), which works on the principle of total reflection. In this principle, the light coupled into a sensor head 1 and originating, for example, from a light source 30 in the unexploded state of the sensor head 1 at an optical interface of two media, in the context of the invention as a contact surface between the surface of the sensor head 1 and the sensor head 1 surrounding Air (measuring medium) is defined, completely reflected. At the onset of condensation, i. when wetting this optical of the interface with liquid molecules or condensate, the coupled into the sensor head 1 light is no longer completely reflected at the interface, but partially refracted at the interface and emitted from the sensor head 1 to the outside. As a result, the light arriving at an output optical waveguide 5 decreases in intensity and indicates incipient condensation on the interface of the sensor head 1. Due to the poor thermal conductivity of the optical materials used for the sensor head 1, a passive fiber-optic condensation sensor is a thermally inert sensor, which only follows the temperature changes in the measuring medium slowly or delayed passively.
In Fig. 10 sind beispielhafte Grundformen eines optischen Sensorkopfes 1 von passiven faseroptischen Betauungssensoren dargestellt, die zum Teil im Rahmen der vorliegenden Erfindung einer aktiven faseroptischen Betauungssensor- vorrichtung (a-foBt) verwendet werden.Illustrated in FIG. 10 are exemplary basic forms of an optical sensor head 1 of passive fiber optic condensation sensors, some of which are within the scope of the present invention Invention of an active fiber optic Betauungssensor- device (a-foBt) can be used.
Mit Ausnahme des ersten Sensorkopfes 1 (Rf=I) weisen alle anderen dargestellten Sensorköpfe 1 (Rf=2, Rf=3, Rf=4, ... Rf=n) eine parallele Anschlussweise von Eingangslichtwellenleiter 2 und Ausgangslichtwellenleiter 5 zur Ein- und Auskopplung des Lichts in den Sensorkopf 1 auf. Bei linearen Formen des Sensorkopfes 1 entspricht die Anzahl der Reflexionswinkel (Rf) der Anzahl der optischen Grenzflächen, an denen das in den Sensorkopf 1 eingekoppelte Licht reflektiert wird. Bei nur einem Reflexionswinkel (RF=I) sind der Eingangslichtwellenleiter 2 und der Ausgangslichtwellenleiter 5 unter einem bestimmten Winkel zueinander am Sensorkopf 1 angeordnet. Das eingekoppelte Licht wird im unbetauten Zustand des Sensorkopfes 1 an der einen Grenzfläche reflektiert und in den Ausgangslichtwellenleiter 5 ausgekoppelt. Bei einer Anzahl von mindestens zwei Reflexionswinkeln sind, wie vorstehend erwähnt, der Eingangs- lichtwellenleiter 2 und der Ausgangslichtwellenleiter 5 parallel zueinander angeordnet. Das eingekoppelte Licht wird im unbetauten Zustand des Sensorkopfes 1 an den Grenzflächen reflektiert und in den Ausgangslichtwellenleiter 5 ausgekoppelt.With the exception of the first sensor head 1 (Rf = I), all the other sensor heads 1 shown (Rf = 2, Rf = 3, Rf = 4,... Rf = n) have a parallel connection of input optical waveguide 2 and output optical waveguide 5 for input and output Coupling of the light in the sensor head 1 on. In the case of linear shapes of the sensor head 1, the number of reflection angles (Rf) corresponds to the number of optical boundary surfaces at which the light coupled into the sensor head 1 is reflected. With only one reflection angle (RF = I), the input optical waveguide 2 and the output optical waveguide 5 are arranged at a specific angle to one another on the sensor head 1. The coupled-in light is reflected in the unexploded state of the sensor head 1 at one boundary surface and coupled out into the output optical waveguide 5. At a number of at least two reflection angles, as mentioned above, the input optical waveguide 2 and the output optical waveguide 5 are arranged in parallel with each other. The coupled-in light is reflected at the interfaces in the unexploded state of the sensor head 1 and coupled out into the output optical waveguide 5.
Mit zunehmender Anzahl von Reflexionswinkeln nähert sich die Form des Sensorkopfes 1 einer Kreisform bzw. Halbkreisform (Rf=n) . Die Besonderheit der Halbkreisform ist, dass sich das in den Sensorkopf 1 divergent eingekoppelte Licht oder der Lichtstrahl bei einer Einstrahlung im Randbereich des Sensorkopfes 1 nicht mehr im ganzen Halbkreis verteilt und ausbreitet, sondern nur noch unter flachen Winkeln entlang der runden Grenzfläche des Sensorkopfes 1 reflektiert wird. Bei diesem optischen Effekt erfolgt die Ausbreitung des eingekoppelten Lichts nur in einem schmalen Randbereich nach Art eines Skin-Effekts, bei dem der durch eine Leitung fließende Strom an den Rand der Leitung verdrängt wird. Aus dieser Vielzahl von unterschiedlichen Reflexionswinkeln liegen ausreichend viele nahe am optischen Grenzwinkel (42° für Glas/Luft) , so dass auch diese Form des Sensorkopfes 1 eine Betauung anzeigt.As the number of reflection angles increases, the shape of the sensor head 1 approaches a circular shape (Rf = n). The peculiarity of the semicircular shape is that the light divergently coupled into the sensor head 1 or the light beam is no longer distributed and propagated in the peripheral region of the sensor head 1 in the entire semicircle, but only reflected at shallow angles along the round boundary surface of the sensor head 1 becomes. In this optical effect, the propagation of the injected light takes place only in a narrow edge region in the manner of a skin effect, in which the current flowing through a line is displaced to the edge of the line. From this multiplicity of different reflection angles, sufficiently many are close to the optical limit angle (42 ° for glass / air), so that this shape of the sensor head 1 also indicates condensation.
Es sei hierzu noch angemerkt, dass sich das Licht bei allen Formen des Sensorkopfes 1 divergent verteilt, wobei in den ersten vier Darstellungen von Fig. 10 (Rf=I bis Rf=4) exemplarisch nur ein Verlauf des reflektierten Lichtstrahls gezeigt ist.It should also be noted that the light is distributed divergently in all forms of the sensor head 1, wherein in the first four representations of FIG. 10 (Rf = I to Rf = 4) only one course of the reflected light beam is shown by way of example.
Der Sensorkopf 1 ist für die Sensorkopfformen, die im Rahmen der Erfindung verwendet werden, möglichst so flach wie die Lichtwellenleiter 2, 5 auszuführen. Die Dicke des Sensorkopfes 1 sollte im Wesentlichen dem Durchmesser der verwendeten Eingangs- und Ausgangslichtwellenleiter 2 und 5 entsprechen, so dass sich das in den Sensorkopf 1 eingekoppelte Licht im Wesentlichen nur in eine Richtung divergent ausbreitet .The sensor head 1 should be as flat as the optical fibers 2, 5 for the sensor head shapes used in the invention. The thickness of the sensor head 1 should correspond substantially to the diameter of the input and output optical waveguides 2 and 5 used, so that the light coupled into the sensor head 1 propagates divergently substantially only in one direction.
Als exemplarische Form für einen Sensorkopf 1 der ersten und der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird eine in Fig. 6 dargestellte Dreiecksform bzw. ein Prisma (Rf=2) verwendet. Die dritte Ausführungsform verwendet eine Halbkreisform für den Sensorkopf 1 und nutzt den bei dieser Rundform (Rf=n) auftretenden optischen Effekt aus.As an exemplary shape for a sensor head 1 of the first and second embodiments of the present invention, a triangular shape or a prism (Rf = 2) shown in FIG. 6 is used. The third embodiment uses a semicircular shape for the sensor head 1 and exploits the optical effect occurring in this round shape (Rf = n).
Bei der Dreiecksform des Sensorkopfes 1 mit zwei Reflexionswinkeln (Rf=2) breitet sich das über den Eingangslichtwellen- leiter 2 eingekoppelte Licht divergent im Sensorkopf 1 aus. Wie in Fig. 6 zu sehen ist, wird das Licht im unbetauten Zustand der Grenzflächen 3 und 4 derart an diesen reflektiert, dass es um 180° gedreht in den Ausgangslicht- Wellenleiter 5 zurückgekoppelt wird. Die Winkel des in Form eines Prismas ausgebildeten Sensorkopfes 1 sind so gewählt, dass der Hauptanteil des divergenten Lichts knapp unterhalb des Grenzwinkels der Totalreflexion liegt. Bei einsetzender Betauung des Sensorkopfes 1 tritt nun ein Medienwechsel von Luft zu Wasser an den optischen Grenzflächen 3 und 4 auf. Hierdurch verändert sich der Grenzwinkel der Totalreflexion und Anteile des Lichts verlassen aufgrund der einsetzenden Lichtbrechung den Sensorkopf 1. Die dabei auftretende Lichtdifferenz, d.h. die Dämpfungszunähme oder die Dämpfung der Lichtintensität, ist die eigentliche zu bestimmende Messgröße, die eine Betauung anzeigt.In the triangular shape of the sensor head 1 with two reflection angles (Rf = 2), the above the input light wave propagates Head 2 coupled light divergent in the sensor head 1 off. As can be seen in FIG. 6, the light in the undetached state of the interfaces 3 and 4 is reflected on the latter in such a way that it is fed back into the output light waveguide 5 rotated through 180 °. The angles of the prism-shaped sensor head 1 are selected so that the majority of the divergent light is just below the critical angle of total reflection. With onset of condensation of the sensor head 1 now occurs a media change from air to water at the optical interfaces 3 and 4. As a result, the limiting angle of the total reflection and parts of the light left due to the onset of refraction of the sensor head 1. The light difference occurring, ie the increase in attenuation or the attenuation of the light intensity, is the actual measured variable that indicates a condensation.
Der in Form eines Prismas oder eines Dreiecks ausgebildete Sensorkopf 1 der ersten Ausführungsform der aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung ist in den Figuren IA bis ID und 7 dargestellt und weist zwei Grenzflächen 3 und 4 auf. Es kann allerdings auch jede andere lineare Form sowie eine nichtlineare Form für den Sensorkopf 1 verwendet werden.The sensor head 1 formed in the form of a prism or a triangle of the first embodiment of the active fiber optic condensation sensor device is shown in FIGS. 1A to 1 and 7 and has two interfaces 3 and 4. However, any other linear shape as well as a non-linear shape may be used for the sensor head 1.
Der Sensorkopf 1 der ersten Ausführungsform ist in parallel zueinander angeordnete Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n aufgeteilt. Über einen Eingangslichtwellenleiter 2 wird Licht in einen optischen Eingangskoppler 17 geleitet, das sich dann durch sein divergentes Ausbreitungsverhalten in die sechs mit dem optischen Eingangskoppler 17 verbundenen Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n, die in Form von Dreiecken ausgebildet sind, ausbreitet. Die gewählte Anzahl von Sensorkopfteilstrukturen ist nur exemplarisch und es kann eine davon abweichende Anzahlen von Dreiecken gewählt werden. Die sechs Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n sind hintereinander und aneinander liegend angeordnet. Durch Reflexion des Lichtstrahls an den optischen Grenzflächen 3 und 4 wird das in die Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n eingekoppelte Licht um 180° reflektiert und gedreht und über einen optischen Ausgangskoppler 18 in einen zweiten Lichtwellenleiter, den Ausgangslichtwellenleiter 5, geleitet. Der Ausgangslichtwellenleiter 5 sammelt das aus den Sensorkopf- teilstrukturen 1.1 bis l.n ausgekoppelte Licht und überführt es in Form eines Signals zu einer elektronischen oder optoelektronischen Auswerteeinheit 31, die in den Figuren 5a und 5B dargestellt ist.The sensor head 1 of the first embodiment is divided into mutually parallel sensor head substructures 1.1 to ln. Light is guided via an input optical waveguide 2 into an optical input coupler 17, which then propagates through its divergent propagation behavior into the six sensor head substructures 1.1 to ln connected to the optical input coupler 17, which are formed in the form of triangles. The selected number of sensor head substructures is exemplary only and one of them may be different numbers of triangles are selected. The six sensor head substructures 1.1 to ln are arranged one behind the other and adjacent to each other. By reflection of the light beam at the optical interfaces 3 and 4, the coupled into the sensor head substructures 1.1 to ln light is reflected by 180 ° and rotated and passed through an optical output coupler 18 in a second optical waveguide, the output optical waveguide 5. The output optical waveguide 5 collects the light coupled out of the sensor head substructures 1.1 to ln and transfers it in the form of a signal to an electronic or optoelectronic evaluation unit 31, which is shown in FIGS. 5a and 5b.
Parallel zur Planseite der Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n befinden sich Zwischenelemente 8 in Form von Dreiecken, die thermisch mit einer Grundplatte 9 verbunden sind. Die fünf dargestellten Zwischenelemente 8 bestehen aus einem thermisch gut leitenden Material, wie beispielsweise einem Metallmaterial, und sind zwischen den Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n angeordnet. In dieser Ausführungsform bestehen die Zwischenelemente 8 aus Aluminium, das eine gute bzw. hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist. Es können aber auch andere Materialien mit einer hohen Wärmeleitfähigkeit verwendet werden. Demnach ist der Sensorkopf 1 der ersten Ausführungsform mit thermisch gut leitenden Schichten sandwichartig durchsetzt. Dieser sandwichartige Aufbau des Sensorkopfes 1 aus Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n mit dazwischen liegend angeordneten Zwischenelementen 8 führt zu mischstrukturierten Grenzflächen 3 und 4, die aus abwechselnd thermisch gut leitenden Abschnitten und optischen Abschnitten bestehen, die aneinander liegend angeordnet und somit großflächig miteinander gekoppelt sind. Die Grundplatte 9 besteht ebenfalls aus einem thermisch gut leitenden Material. Die thermisch mit der Grundplatte 9 verbundenen fünf Zwischenelemente 8 können über die Grundplatte 9 mittels einer Kühleinheit 10 gezielt temperiert werden. Beispielhaft kann zur Kühlung dabei ein Peltierelement verwendet werden, welches bei Stromdurchfluss eine Temperaturdifferenz erzeugt. Anfallende Abwärme kann beispielsweise über einen Kühlkörper 11 abgeführt werden. Um eine Kondensation ausschließlich auf der optischen Grenzfläche 3 hervorzurufen, müssen alle Elemente des Kühlsystems 10 und 11, die nicht auf der optischen Grenzfläche 3 liegen, luftdicht und thermisch versiegelt werden. Die Abbruchkante von in Fig. IA dargestellten Isolierschichten 12, die ganzflächig die Seitenfläche des Sensorkopfes 1 bzw. der außen liegenden Sensorkopf- teilstrukturen 1.1 und l.n bedecken, ist nur zur besseren Einsicht auf die darunter liegenden Strukturen entsprechend eingezeichnet. Die Isolierschichten 12 verhindern eine Kondensation an nicht erwünschten Stellen, so dass die auf der Grenzfläche 3 ausgebildete Metallstruktur den kältesten Punkt im System bildet, d.h. die Grenzfläche 3 ist das kälteste nach außen gerichtete Element der Betauungssensor- vorrichtung.Parallel to the plan side of the sensor head substructures 1.1 to ln are intermediate elements 8 in the form of triangles, which are thermally connected to a base plate 9. The five illustrated intermediate elements 8 are made of a thermally highly conductive material, such as a metal material, and are disposed between the sensor head substructures 1.1 to ln. In this embodiment, the intermediate elements 8 are made of aluminum, which has a good or high thermal conductivity. However, other materials with a high thermal conductivity can also be used. Accordingly, the sensor head 1 of the first embodiment is sandwiched with thermally highly conductive layers. This sandwich-type construction of the sensor head 1 comprising sensor head substructures 1.1 to ln with intermediate elements 8 arranged therebetween leads to mixed-structured interfaces 3 and 4 which consist of alternately thermally well-conducting sections and optical sections which are arranged adjacent to one another and thus coupled to one another over a large area. The base plate 9 is also made of a thermally highly conductive material. The thermally connected to the base plate 9 five intermediate elements 8 can be specifically controlled via the base plate 9 by means of a cooling unit 10. By way of example, a Peltier element can be used for cooling, which generates a temperature difference when current flows through. Accumulating waste heat can be dissipated, for example via a heat sink 11. In order to cause condensation only on the optical interface 3, all elements of the cooling system 10 and 11 which are not on the optical interface 3, must be airtight and thermally sealed. The demolition edge of insulating layers 12 shown in FIG. 1A, which cover the entire surface of the side surface of the sensor head 1 or of the outer sensor head partial structures 1. 1 and 1 n, is shown correspondingly only for a better insight into the underlying structures. The insulating layers 12 prevent condensation at undesired locations so that the metal structure formed on the interface 3 forms the coldest point in the system, ie, the interface 3 is the coldest outward element of the dew sensor device.
Durch den Verzicht auf die Grenzfläche 4 kann der Eintrag der Kühlung mittels der Kühleinheit 10 von dieser Stelle aus erfolgen, wobei der Sensorkopf 1 noch ausreichend empfindlich bleibt. Die Grenzfläche 3 stellt somit eine aktive Grenzfläche des Sensorkopfes 1 dar, da an ihr aufgrund des Herabkühlens mittels der Kühleinheit 10 eine Betauung herbeigeführt wird, obwohl im Messbereich der Taupunkt noch nicht wirklich erreicht ist. Diese aktive Grenzfläche 3 ist dann abwechselnd mit einer thermisch leitenden Schicht, einem Zwischenelement 8 bestehend aus beispielsweise Aluminium, und einer optischen Schicht, einer Sensorkopfteilstruktur 1.1 bis l.n bestehend aus Polymethylmethacrylat (PMMA) oder der- gleichen, ausgestaltet.By omitting the interface 4, the entry of the cooling by means of the cooling unit 10 can take place from this point, wherein the sensor head 1 still remains sufficiently sensitive. The interface 3 thus represents an active interface of the sensor head 1, since it is due to the cooling down by means of the cooling unit 10 causes condensation, although in the measuring range of the dew point is not really reached. This active interface 3 is then alternately with a thermally conductive layer, an intermediate element 8 consisting of, for example, aluminum, and an optical layer, a sensor head part structure 1.1 to ln consisting of polymethyl methacrylate (PMMA) or the like, designed.
Beim Herabkühlen des Sensorkopfes 1 mittels der Kühleinheit 10 tritt eine Kondensation zuerst auf der Oberfläche der thermisch leitenden Zwischenelemente 8 auf, die sich dann auf den Oberflächen der thermisch trägeren Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n, d.h. der optischen PMMA-Schichten, fortsetzt. Um bei der durch das Herabkühlen herbeigeführten Betauung eine bessere Verteilung des Kondensats auf den optischen PMMA-Schichten, d.h. den Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n, zwischen den als Streben ausgebildeten Aluminium-Schichten, d.h. den Zwischenelementen 8, auf der Grenzfläche 3 zu erreichen, kann die Oberfläche der Grenzfläche 3 mit einer optisch transparenten Metall- beschichtung 13 belegt werden.As the sensor head 1 cools down by means of the cooling unit 10, condensation first occurs on the surface of the thermally conductive intermediate elements 8, which then settles on the surfaces of the thermally inert sensor head substructures 1.1 to 1.n, i. of the optical PMMA layers. To improve the distribution of condensate on the optical PMMA layers, i.e., the condensation caused by the cooling down. the sensor head substructures 1.1 to 1.n, between the struts-formed aluminum layers, i. To reach the intermediate elements 8, on the interface 3, the surface of the interface 3 with an optically transparent metal coating 13 can be occupied.
Diesbezüglich wurden auf der Betauungsoberflache bzw. der Grenzfläche 3 erfolgreich Beschichtungsversuche mit Goldauflagen (durch das sogenannte Sputtern) auf der PMMA- Schicht durchgeführt. Dabei wurde erkannt, dass sich Strukturen durch vorheriges Abdecken sowie teiltransparente bis lichtdichte Beschichtungen aufbringen lassen. Am Beispiel eines an den Sensorflächen teiltransparent beschichteten Prismas wurden die Seitenflächen stärker vergoldet, um einen besseren thermischen Übergang für eine Fremdtemperierung zu schaffen.In this regard, coating trials with gold plating (by so-called sputtering) on the PMMA layer were successfully carried out on the dewing surface or the interface 3. It was recognized that structures can be applied by previously covering and partially transparent to light-tight coatings. Using the example of a prism transparent to the sensor surfaces coated prism, the side surfaces were gilded more to provide a better thermal transition for a foreign temperature.
Damit auch die thermisch trägeren Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n schneller auf ein Herabkühlen ansprechen, empfiehlt sich eine großflächige Kopplung von thermisch leitenden Elementen und optisch leitenden Elementen. Eine Verbesserung der Reaktionsgeschwindigkeit der thermisch trägeren Sensorkopfteilstrukturen kann beispielsweise dadurch erreicht werden, dass die Zwischenelemente 8 die Seitenflächen der jeweiligen Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n vollständig überdecken. Darüber hinaus oder alternativ kann eine großflächige Kopplung auch dadurch realisiert werden, dass mittels des Kühlelements 10 und der Grundplatte 9 die Kühlung auf der gesamten Oberfläche der Grenzfläche 4 in den Sensorkopf 1 eingebracht wird.So that the thermally slower sensor head substructures 1.1 to 1 respond more quickly to a cooling down, We recommend a large-scale coupling of thermally conductive elements and optically conductive elements. An improvement in the reaction rate of the thermally inert sensor head substructures can be achieved, for example, by the intermediate elements 8 completely covering the side surfaces of the respective sensor head substructures 1.1 to ln. In addition or alternatively, a large-area coupling can also be realized in that by means of the cooling element 10 and the base plate 9, the cooling is introduced into the sensor head 1 on the entire surface of the interface 4.
Um eine einheitliche Verteilung des beim Herabkühlen auf der Oberfläche der Grenzfläche 3 gebildeten Kondensats zu erzielen, so dass auch die thermisch trägeren Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n benetzt werden, ist eine feingliedrige Mischstrukturierung von optischen Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n und thermischen Zwischenelementen 8 anzustreben. Dabei sollte vorzugsweise die Dicke der jeweiligen Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n und Zwischenelemente 8 so bemessen sein, dass sie kleiner als ein durch das Herabkühlen erzeugter Kondensattropfen sind.In order to achieve a uniform distribution of the condensate formed on cooling down on the surface of the interface 3, so that the thermally inert sensor head substructures 1.1 to l.n are wetted, a fine-grained mixed structuring of optical sensor head substructures 1.1 to 1.n and thermal intermediate elements 8 is desirable. In this case, the thickness of the respective sensor head substructures 1.1 to 1n and intermediate elements 8 should preferably be dimensioned such that they are smaller than a condensate droplet generated by the cooling down.
Eine Aufteilung der aktiven faseroptischen Betauungssensor- Vorrichtung in Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n, wie in Fig. IC dargestellt, eröffnet die Möglichkeit, diese mit speziellen Eigenschaften zu versehen. So kann durch unterschiedliche Formen der einzelnen Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n, d.h. durch vorherige Festlegung des Grenzwinkels für ein bestimmtes Kondensat, die Anwesenheit anderer Stoffe oder Stoff- oder Kondensatgruppen im Messmedium erkannt bzw. kompensiert werden. Formen der Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n, die außerhalb einer Beein- flussung durch das Messmedium liegen, können als Referenz für den unbetauten Zustand sowie für den Grad der Oberflächenverschmutzung herangezogen werden. Speziell geformte Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n können beispielsweise die Temperaturabhängigkeit des verwendeten Materials zur Temperaturbestimmung nutzen. Materialien mit selektiv spektralem Verhalten ermöglichen weitere analytische Messvorgänge. Als Materialien kommen beispielsweise Kunststoffe in Betracht, die bei Feuchtigkeitsaufnahme eintrüben und die somit in ihrer Lichtdurchlässigkeit abnehmen. Ferner können Materialien mit Farbstoffen verwendet werden, die bei Feuchtigkeit oder Temperaturänderung die Farbe ändern bzw. wechseln. Wenn ein solches Material verwendet und zum Beispiel auf die Grenzfläche des Sensorkopfes oder einer Sensorkopfteilstruktur aufgebracht wird, reflektiert es bestimmte Wellenlängen, die es bei Farbänderung absorbiert. Somit erhält man mit verschiedenen Sensorkopfteilstrukturen eine Plattform, die mit anderen Funktionen erweitert werden kann, so dass der Sensor als Kombisensor oder Kombinationssensor verwendet werden kann.A division of the active fiber optic Betauungssensor- device in sensor head part structures 1.1 to ln, as shown in Fig. IC, opens up the possibility to provide them with special properties. Thus, the presence of other substances or substance or condensate groups in the measuring medium can be detected or compensated by different forms of the individual sensor head substructures 1.1 to 1, ie by prior determination of the critical angle for a particular condensate. Forms of sensor head substructures 1.1 to ln which are outside of an flow through the measuring medium, can be used as a reference for the undetached state and for the degree of surface contamination. Specially shaped sensor head substructures 1.1 to 1 can, for example, use the temperature dependence of the material used to determine the temperature. Materials with selective spectral behavior enable further analytical measurements. As materials, for example, plastics come into consideration, which cloud in moisture absorption and thus decrease in their translucency. It is also possible to use materials with dyes that change color when exposed to moisture or temperature changes. When such a material is used and applied, for example, to the interface of the sensor head or sensor head substructure, it reflects certain wavelengths which it absorbs upon color change. Thus, with different sensor head substructures, one obtains a platform which can be extended with other functions so that the sensor can be used as a combination sensor or combination sensor.
Darüber hinaus kann die Aus- und Einkopplung des Lichts in die Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n sowohl über zusätzliche Eingangslichtwellenleiter 5.1 bis 5.n, wie in Fig. IC gezeigt, als auch mit Hilfe von Filtermasken 27, wie schematisch in den Figuren ID und 5B dargestellt, erfolgen. Ferner kann nur ein bestimmter spektraler Bereich des Lichts in die Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n eingekoppelt werden, in dem eine aus einem spektral selektiven Material bestehende Sensorkopfteilstruktur 28 selbst als eine Art Filter wirkt, die nur einen bestimmten Anteil des Lichts durchlässt und somit einkoppelt, wie in den Figuren ID und 5B gezeigt ist. Die verschiedenen spektralen Anteile, die über den gemeinsamen Ausgangslichtwellenleiter 5 zur optoelektronischen Auswerteeinheit 31 geführt werden, können dann mittels optischer Filter 34 bzw. wellenlängenspezifischer Filter 34 vor dem Lichtdetektor 35 wieder getrennt und einzeln von der Auswerteeinheit 31 ausgewertet werden, wie schematisch in Fig. 5B dargestellt ist.In addition, the coupling-out and coupling-in of the light into the sensor head substructures 1.1 to ln can be done both via additional input optical fibers 5.1 to 5.n, as shown in FIG. 1C, and with the aid of filter masks 27, as shown schematically in FIGS. ID and 5B , respectively. Furthermore, only a certain spectral region of the light can be coupled into the sensor head substructures 1.1 to ln, in which a sensor head substructure 28 consisting of a spectrally selective material itself acts as a kind of filter which transmits only a certain portion of the light and thus couples in, as in FIG Figures ID and 5B is shown. The different spectral components that over the common output optical waveguide 5 are guided to the optoelectronic evaluation unit 31 can then be separated again by means of optical filter 34 or wavelength-specific filter 34 in front of the light detector 35 and evaluated individually by the evaluation unit 31, as shown schematically in Fig. 5B.
Die zweite Ausführungsform der aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung ist exemplarisch in den Figuren 2A, 2B und 8 dargestellt. Wie vorstehend erwähnt, weist der dargestellte Sensorkopf 1 eine Dreiecksform oder die Form eines Prismas auf. Auch bei der zweiten Ausführungsform wird Licht über den Eingangslichtwellenleiter 2 in den Sensorkopf 1 eingekoppelt. Durch Reflexionen an den optischen Grenzflächen 3 und 4 wird der Lichtstrahl um 180° gedreht und in den Ausgangslichtwellenleiter 5 geleitet und von einer optoelektronischen Auswerteeinheit 31, die in Fig. 5A und 5B dargestellt ist, ausgewertet.The second embodiment of the active fiber optic condensation sensor device is shown by way of example in FIGS. 2A, 2B and 8. As mentioned above, the illustrated sensor head 1 has a triangular shape or the shape of a prism. In the second embodiment as well, light is coupled into the sensor head 1 via the input optical waveguide 2. By reflections at the optical interfaces 3 and 4, the light beam is rotated by 180 ° and passed into the output optical waveguide 5 and evaluated by an opto-electronic evaluation unit 31, which is shown in FIGS. 5A and 5B.
Der Sensorkopf 1 der zweiten Ausführungsform besteht vollständig aus einem optisch leitenden Material, wie beispielsweise Polymethylmethacrylat (PMMA), und weist keine Sensorkopfteilstrukturen auf. Die in Fig. 2B dargestellte Dicke 20 des Sensorkopfes 1 sollte im Wesentlichen dem Durchmesser der verwendeten Eingangs- und Ausgangslichtwellenleiter 2 und 5 entsprechen, so dass sich das in den Sensorkopf 1 eingekoppelte Licht im Wesentlichen nur in eine Richtung divergent ausbreitet.The sensor head 1 of the second embodiment is entirely made of an optically conductive material such as polymethyl methacrylate (PMMA) and has no sensor head part structures. The thickness 20 of the sensor head 1 shown in FIG. 2B should substantially correspond to the diameter of the input and output optical waveguides 2 and 5 used, so that the light coupled into the sensor head 1 propagates divergently substantially only in one direction.
Die Kühleinheit 10 der zweiten Ausführungsform besteht aus einem p-, n-dotierten Halbleiterpaar 6, das über einen Metallstreifen 7 mit der optischen Grenzfläche 3 des Sensorkopfes 1 verbunden ist. Um einen besseren thermischen Kontakt von Grenzfläche 3 und Metallstreifen 7 herzustellen, kann beispielsweise eine Wärmeleitpaste eingesetzt werden. Dies verhindert zusätzlich, dass Kondensat 19 unter die Kontaktfläche gelangt. Alternativ kann der Metallstreifen 7 eine auf die Grenzfläche 3 aufgebrachte Metallbeschichtung sein, deren Querschnitt für die entsprechende Stromstärke der Kühleinheit 10 oder eines Peltierelements ausgelegt ist.The cooling unit 10 of the second embodiment consists of a p-, n-doped semiconductor pair 6, which is connected via a metal strip 7 with the optical interface 3 of the sensor head 1. To get a better thermal Contact of interface 3 and metal strip 7 produce, for example, a thermal paste can be used. This additionally prevents condensate 19 from getting under the contact surface. Alternatively, the metal strip 7 may be a metal coating applied to the interface 3, the cross-section of which is designed for the corresponding current intensity of the cooling unit 10 or of a Peltier element.
Das Halbleiterpaar 6 weist an einer seiner beiden Stirnflächen 14 eine Kontaktfläche (Pluspol) zum n-dotierten Halbleiter und an der Stirnfläche 15 eine Kontaktfläche (Minuspol) zum p-dotierten Halbleiter auf. Wird nun durch die oberen Stirnflächen 14 und 15 des Halbleiterpaares 6 hindurch ein Strom geleitet, so entsteht an der Kontaktfläche mit dem in Form eines Prismas ausgebildeten Sensorkopf 1 die kälteste Stelle im System, an der sich bei Erreichen der Taupunkttemperatur Kondensat 19 bildet. Bei Überschreitung einer bestimmten Kondensatmenge wird auch die Grenzfläche 3 benetzt und Anteile des eingekoppelten Lichts durch Lichtbrechung dem Sensorkopf 1 entzogen. Durch eine optisch transparente Metallbeschichtung 13 wird diese Benetzung der optischen Grenzfläche 3 aufgrund des gleichen Materials, der Dipoleigenschaft von Wasser und dem gleichen Temperaturniveau erheblich verbessert. Eine Betauung der Grenzfläche 4 wird zeitlich verzögert einer Benetzung der Grenzfläche 3 folgen, weil die Grenzfläche 3 infolge der dort angeordneten Kühleinheit 10 in Form des Halbleiterpaares 6 die kälteste Stelle im Messsystem ist.The semiconductor pair 6 has at one of its two end faces 14 a contact surface (positive pole) to the n-doped semiconductor and at the end face 15 a contact surface (negative pole) to the p-doped semiconductor. If a current is now passed through the upper end faces 14 and 15 of the semiconductor pair 6, the coldest point in the system, at which condensate 19 forms when the dew point temperature is reached, is formed at the contact surface with the sensor head 1 in the form of a prism. When exceeding a certain amount of condensate and the interface 3 is wetted and parts of the injected light by refraction of the sensor head 1 withdrawn. By means of an optically transparent metal coating 13, this wetting of the optical interface 3 is considerably improved on account of the same material, the dipole property of water and the same temperature level. A condensation of the interface 4 will be delayed in time wetting of the interface 3, because the interface 3 is due to the cooling unit 10 arranged there in the form of the semiconductor pair 6, the coldest point in the measuring system.
Die im Bereich der Stromzuführung an den Enden des Halbleiterpaares 6 entstehende Abwärme muss über denThe heat generated in the region of the power supply at the ends of the semiconductor pair 6 waste heat must over the
Kühlkörper 11 abgeleitet werden, was beispielsweise mittels einer Halterung für das Halbleiterpaar 6 erfolgen kann, die der Wärmeabfuhr sowie der Stromzufuhr dient.Heatsink 11 are derived, which, for example by means of a holder for the semiconductor pair 6 can be made, which serves the heat dissipation and the power supply.
Die zwischen den Halbleitern des Halbleiterpaares 6 angeordnete Isolierschicht 12 verhindert eine messtechnisch nicht verwertbare Kondensatbildung im Bodenbereich zwischen den beiden Halbleitern des Halbleiterpaares 6. Die Anordnung und Anzahl der Kühlkörper 11 können entsprechend auf beiden Seiten des Halbleiterpaares 6 variiert werden. Auch können mehrere Halbleiterpaare 6 auf einer Grenzfläche 3 oder auf beiden Grenzflächen 3 und 4 angeordnet sein, so dass eine großflächige Kopplung von thermischen und optischen Elementen der Betauungssensorvorrichtung erreicht wird. Anzumerken ist, dass diese Bauweise sowohl für den Hochdruck- als auch für den Normaldruckbereich konzipiert ist.The arranged between the semiconductors of the semiconductor pair 6 insulating layer 12 prevents a metrologically unrecognizable condensate formation in the bottom region between the two semiconductors of the semiconductor pair 6. The arrangement and number of heatsink 11 can be varied accordingly on both sides of the semiconductor pair 6. Also, a plurality of semiconductor pairs 6 may be arranged on an interface 3 or on both interfaces 3 and 4, so that a large-area coupling of thermal and optical elements of the Betauungssensorvorrichtung is achieved. It should be noted that this design is designed for both the high pressure and the normal pressure range.
Bei der ersten und zweiten Ausführungsform wird eine Änderung des optischen Messsignals durch Anlagerung von Kondensat auf zumindest einer der optischen Grenzflächen 3 und 4 hervorgerufen. Diese Kondensation setzt bei Erreichen der Taupunkttemperatur an der kältesten Stelle der Oberfläche des Sensorkopfes 1, also der entsprechenden Grenzfläche 3 und/oder 4, ein. Besteht die Sensoroberfläche und damit die Grenzfläche 3 und 4 wie bei der ersten und zweiten Ausführungsform aus thermisch unterschiedlich leitenden, mischstrukturierten Materialien (PMMA 1.1-l.n und Aluminium 8 bzw. PMMA und Metallplatte 7), so betauen nur die thermisch besser leitenden Strukturen. Eine Signaländerung setzt erst ein, wenn die Kondensatmenge ausreicht, um auch benachbarte optische Strukturen zu benetzen. Diese Verzögerung der Benetzung kann durch Aufbringung von optisch teiltransparenten, thermisch leitenden Schichten (z.B. durch Sputtern) , die nur einen Austritt des in die Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis 1-n eingekoppelten Lichts und keinen Eintritt von Licht aus dem Messmedium in die Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n ermöglichen, reduziert werden.In the first and second embodiments, a change of the optical measurement signal is caused by accumulation of condensate on at least one of the optical interfaces 3 and 4. When the dew point temperature is reached, this condensation starts at the coldest point on the surface of the sensor head 1, ie the corresponding boundary surface 3 and / or 4. If the sensor surface and thus the boundary surface 3 and 4 consist of thermally differently conducting, mixed-structured materials (PMMA 1.1-ln and aluminum 8 or PMMA and metal plate 7) as in the first and second embodiments, only the better thermally conductive structures stiffen. A signal change only starts when the amount of condensate is sufficient to wet adjacent optical structures as well. This delay in wetting can be achieved by the application of optically semi-transparent, thermally conductive layers (eg by sputtering), which has only one exit into the Sensor head substructures 1.1 to 1-n coupled light and no entry of light from the measured medium in the sensor head substructures 1.1 to ln enable reduced.
Eine weitere Verbesserung der Ansprechempfindlichkeit der mischstrukturierten Grenzflächen, sowie sie bei der ersten und zweiten Ausführungsform vorliegen, kann durch Ausnutzung der unterschiedlichen thermischen Trägheit der verwendeten Materialien erreicht werden. Fig. 4 gibt exemplarisch das mittels der Betauungssensorvorrichtung der ersten und zweiten Ausführungsform durchgeführte Verfahren zur Bestimmung des Taupunkts durch den stufenförmigen Messverlauf bei Herabkühlen des Sensorkopfes 1 bzw. der Sensorkopf- teilstrukturen 1.1 bis l.n wieder. Die Linie 26 entspricht dabei der Temperatur, die das optische Material des Sensorkopfes 1 beim Herunterkühlen annimmt, wohingegen die Linie 21 die Temperatur des thermisch gut leitenden Materials beim Herunterkühlen des Sensorkopfes 1 wiedergibt. Das Herunterkühlen des Sensorkopfes 1 bzw. seiner Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n erfolgt dabei anhand eines stufenförmigen Temperaturzyklus mit einzelnen Stufen 25. Durch Kühlung des Sensorkopfes 1 sinkt die Temperatur T bzw. die Dämpfung D des thermisch besser leitenden Materials (Kennlinie 21) schneller als die des optischen Materials (Kennlinie 26) . Wird nun die Kühleinheit 10 kurzzeitig nach Erreichen einer ersten Stufe 25 abgeschaltet, so erwärmt sich das thermisch besser leitende Material schneller als das optische Material. Haben zu diesem Zeitpunkt beide Materialien die Kennlinie der Taupunkttemperatur 22 unterschritten, wird das an der thermisch besser leitenden Struktur gebildete Kondensat durch Erwärmung frei gegeben und kann sich an der kurzzeitig kühleren optischen Struktur absetzen. Hierdurch fällt die rückgekoppelte optische Leistungskennlinie 23 oder optische Dämpfungskennlinie 23 sprunghaft ab, weil die einsetzende Lichtbrechung die rückgeführte Lichtmenge reduziert. Bei Herunterkühlen beider Materialien wird die fallende Temperatur des optischen Materials gegenüber dem thermisch besser leitenden Material in einem zeitlichen Abstand folgen. Wird nun die Kühlung ausgesetzt, nachdem beide Materialien den Taupunkt unterschritten haben, so erwärmt sich das thermisch besser leitende Material schneller. Dadurch wird das gebundeneFurther improvement of the responsiveness of the mixed-structured interfaces as they are in the first and second embodiments can be achieved by utilizing the different thermal inertia of the materials used. By way of example, FIG. 4 shows the method for determining the dew point by means of the condensation sensor device of the first and second embodiment by the step-shaped measuring profile when the sensor head 1 or the sensor head partial structures 1.1 to 1 are cooled down. The line 26 corresponds to the temperature that assumes the optical material of the sensor head 1 when cooling down, whereas the line 21, the temperature of the thermally highly conductive material when cooling down the sensor head 1 reflects. By cooling the sensor head 1, the temperature T or the damping D of the thermally better conductive material (characteristic curve 21) decreases faster than that of the sensor head 1 or its sensor head substructures 1.1 to ln optical material (characteristic 26). If now the cooling unit 10 is switched off briefly after reaching a first stage 25, then the thermally better conductive material heats up faster than the optical material. If both materials have fallen below the characteristic curve of the dew point temperature 22 at this point in time, the condensate formed on the thermally better conducting structure is released by heating and can be absorbed by the briefly cooler optical structure drop. As a result, the fed back optical power characteristic 23 or optical attenuation characteristic 23 abruptly, because the onset of refraction reduces the amount of light returned. When cooling down both materials, the falling temperature of the optical material will follow the thermally more conductive material at a time interval. Now, if the cooling is suspended after both materials have fallen below the dew point, the thermally better conductive material heats up faster. This will make the bound
Kondensat an dem thermisch besser leitenden Material frei gegeben und kondensiert augenblicklich an dem noch kälterenCondensate released at the thermally better conductive material and condenses instantaneously on the still colder
(trägeren) optischen Material. Dies ist der Moment, der durch den Abfall der rückgekoppelten optischen Leistungskennlinie 23 oder Dämpfungskennlinie 23 am Punkt 24 eine Betauung der Grenzfläche 3, 4 anzeigt, die vom Lichtdetektor 35 detektiert bzw. gemessen wird. Mittels eines mit der entsprechenden Grenzfläche 3, 4 gekoppelten und mit der Auswerteeinheit 31 und dem Lichtdetektor 35 in Wirkverbindung stehenden Temperatursensors 38, der in den Figuren 5A und 5B schematisch dargestellt ist, wird in diesem Moment die Taupunkttemperatur erfasst, die damit mittels des gezielten und gesteuerten/geregelten Herunterkühlens bestimmt ist. Der Temperatursensor 38 leitet die Information der Taupunkt- temperatur an die Auswerteeinheit 31 weiter. Ein Prozessor (CPU) der Auswerteeinheit 31 steuert und/oder regelt dabei beispielsweise die Zuführung von Kühlmittel von einer Kühlperipherie 32 zu der Kühleinheit 10. Ferner kann der Prozessor den stufenförmigen Temperaturzyklus 25 steuern und/oder regeln. Eine schnelle aber auch grobe Bestimmung des Taupunktes ist dabei durch große Temperaturintervalle bzw. - stufen beim Herabkühlen möglich. Eine genauere Bestimmung der Taupunkttemperatur ist demgegenüber durch kleine Temperaturintervalle bzw. Temperaturstufen möglich.(slower) optical material. This is the moment which, due to the drop of the feedback optical power characteristic 23 or attenuation characteristic 23 at point 24, indicates condensation of the interface 3, 4 which is detected by the light detector 35. By means of a coupled to the corresponding interface 3, 4 and in operative connection with the evaluation unit 31 and the light detector 35 temperature sensor 38, which is shown schematically in Figures 5A and 5B, the dew point temperature is detected at this moment, the thus by means of the targeted and controlled cooling. The temperature sensor 38 forwards the information of the dew point temperature to the evaluation unit 31. A processor (CPU) of the evaluation unit 31 controls and / or controls, for example, the supply of coolant from a cooling periphery 32 to the cooling unit 10. Further, the processor can control and / or regulate the step-shaped temperature cycle 25. A fast but also rough determination of the dew point is possible by large temperature intervals or stages when cooling down. A more precise determination of Dew point temperature is in contrast possible by small temperature intervals or temperature levels.
Der Temperatursensor 38 hat die Aufgabe, im Moment der durch den Lichtdetektor 35 detektierten und optisch ermittelten Betauung die Temperatur der Oberfläche des Sensorkopfes 1 zu bestimmen und/oder zu messen. Dieser bestimmte und/oder gemessene Wert der Temperatur entspricht dann der Taupunkttemperatur des auf der Sensoroberfläche kondensierten Stoffes. Die so bestimmte Taupunkttemperatur ist ein wichtiger Messwert und spezifiziert die Betauung. Als Temperatursensor 38 kommt jedes Messsystem in Betracht, das die Oberflächentemperatur anzeigen und ermitteln kann. Ein sinnvoller Temperatursensor 38 ist ein mit der elektronischen Auswertung 31 und der CPU zusammenwirkender und arbeitender elektrotechnischer, auf Halbleiter- oder Widerstandsänderung basierender Temperatursensor 38. Die Anschlüsse eines solchen Temperatursensors 38 müssen gegenüber dem Kondensat und der Luft isoliert sein. Die Qualität der mechanischen und thermischen Anbindung und Kopplung des Temperatursensors 38 an die Betauungssensoroberflache bzw. an die Grenzflächen 3 und/oder 4 ist für die Genauigkeit der Taupunktmessung ausschlaggebend und kann beispielsweise mittels einer Wärmeleitpaste verbessert werden.The temperature sensor 38 has the task of determining and / or measuring the temperature of the surface of the sensor head 1 at the moment of the condensation detected by the light detector 35 and determined optically. This determined and / or measured value of the temperature then corresponds to the dew point temperature of the substance condensed on the sensor surface. The dew point temperature determined in this way is an important measured value and specifies the condensation. As temperature sensor 38 is any measuring system into consideration, which can display and determine the surface temperature. A sensible temperature sensor 38 is an electronic, semiconductor, or resistance change based temperature sensor 38 cooperating and operating with electronic evaluation 31 and the CPU. The terminals of such a temperature sensor 38 must be isolated from the condensate and air. The quality of the mechanical and thermal connection and coupling of the temperature sensor 38 to the Betauungssensoroberflache or to the interfaces 3 and / or 4 is crucial for the accuracy of the dew point measurement and can be improved, for example by means of a thermal paste.
Die dritte Ausführungsform der aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung ist exemplarisch in den Figuren 3A bis 3E und 9 dargestellt und nutzt den speziellen optischen Effekt aus, der nur bei rundlichen Grenzflächen auftritt. Bei dieser halbrundförmigen Gestalt des Sensorkopfes 1 breitet sich das eingekoppelte Licht bei einer Einstrahlung im Randbereich des Sensorkopfes 1 nicht mehr im ganzen Halbkreis aus, sondern wird nur noch unter flachen Winkeln entlang der runden optischen Grenzfläche 29 des Sensorkopfes 1 reflektiert .The third embodiment of the active fiber optic condensation sensor device is shown by way of example in FIGS. 3A to 3E and 9 and exploits the special optical effect which occurs only at roundish interfaces. In this semi-circular shape of the sensor head 1, the injected light does not propagate in the entire semicircle when irradiated in the edge region of the sensor head 1, but is only propagated at shallow angles along the reflected round optical interface 29 of the sensor head 1.
Der in Fig. 3A dargestellte Sensorkopf 1 besteht aus einem optisch leitenden Material, wie beispielsweise Polymethylmethacrylat (PMMA), und weist wie die zweite Ausführungsform keine Sensorkopfteilstrukturen auf. Der Eingangslichtwellenleiter 2 und der Ausgangslichtwellenleiter 5 sind im randnahen Bereich des Sensorkopfes 1 angeordnet. Über den Eingangslichtwellenleiter 2 wird das Licht somit in einem randnahen Bereich des Sensorkopfes 1 eingekoppelt, so dass der vorstehend angesprochene Effekt vorherrscht und im unbetauten Zustand des Sensorkopfes 1 das eingekoppelte Licht nur in einem schmalen Randabschnitt entlang der Grenzfläche 29 unter flachen Winkeln entlang der runden Grenzfläche 29 reflektiert wird und über den Ausgangslichtwellenleiter 5 ausgekoppelt wird. Bei einsetzender Betauung der Grenzfläche 29 wird das eingekoppelte Licht an der Grenzfläche gebrochen und gelangt aus dem Sensorkopf 16 heraus. Der rechte der beiden in Fig. 9 dargestellten Kondensattropfen 19 ist gegenüber dem linken Kondensattropfen 19 klein, so dass das eingekoppelte Licht nur unwesentlich gebrochen wird und die Lichtintensität des ausgekoppelten Lichts nur geringfügig abnimmt. Demgegenüber bewirkt der größere der beiden Kondensattropfen eine stärkere Lichtbrechung des eingekoppelten Lichts an der optischen Grenzfläche 29, so dass die Intensität des ausgekoppelten Lichts gegenüber dem eingekoppelten Licht stärker abnimmt.The sensor head 1 shown in Fig. 3A is made of an optically conductive material such as polymethylmethacrylate (PMMA), and like the second embodiment has no sensor head part structures. The input optical waveguide 2 and the output optical waveguide 5 are arranged in the region near the edge of the sensor head 1. The light is thus coupled in via the input optical waveguide 2 in an area near the edge of the sensor head 1, so that the above-mentioned effect predominates and in the undetached state of the sensor head 1 the coupled light only in a narrow edge section along the interface 29 at shallow angles along the round boundary surface 29 is reflected and coupled via the output optical waveguide 5. When condensation of the interface 29 sets in, the coupled-in light is refracted at the interface and comes out of the sensor head 16. The right of the two condensate droplets 19 shown in FIG. 9 is small with respect to the left condensate droplet 19, so that the coupled-in light is only slightly refracted and the light intensity of the coupled-out light decreases only slightly. In contrast, the larger of the two condensate drops causes a stronger refraction of light of the coupled light at the optical interface 29, so that the intensity of the coupled-out light with respect to the coupled-in light decreases more.
Die Betauungssensorvorrichtung der dritten Ausführungsform weist darüber hinaus zum Herabkühlen des Sensorkopfes 1 die Kühleinheit 10 auf, wobei entstehende Abwärme über den Kühlkörper 11 abgeführt wird. Isolierschichten 12 bedecken die Seitenflächen und die Grundfläche des Sensorkopfes 1, so dass eine inesstechnisch nicht verwertbare Kondensation an nicht erwünschten Stellen verhindert wird und die Grenzfläche 29 das kälteste nach außen gerichtete Element der Betauungssensorvorrichtung ist. Auch bei dieser Ausführungs- form sollte die Dicke des Sensorkopfes 1 im Wesentlichen dem Durchmesser der verwendeten Eingangs- und Ausgangslichtwellenleiter 2 und 5 entsprechen, so dass sich das in den Sensorkopf 1 eingekoppelte Licht im Wesentlichen nur in eine Richtung divergent ausbreitet.The condensation sensor device of the third embodiment also has, for cooling down the sensor head 1, the cooling unit 10, resulting waste heat being dissipated via the cooling body 11. Cover insulating layers 12 the side surfaces and the base of the sensor head 1, so that a non-technically usable condensation is prevented at undesirable locations and the interface 29 is the coldest outwardly facing element of the Betauungssensorvorrichtung. In this embodiment as well, the thickness of the sensor head 1 should substantially correspond to the diameter of the input and output optical waveguides 2 and 5 used, so that the light coupled into the sensor head 1 propagates divergently substantially only in one direction.
Um die Reaktionsgeschwindigkeit des Sensors der dritten Ausführungsform beim Herabkühlen zu verbessern, ist zumindest ein Teil 16 bzw. der Kern 16 des Sensorkopfes 1, in dem sich das eingekoppelte Licht nicht ausbreitet und der aus dem thermisch trägen PMMA-Material besteht, entfernt worden, wie in Fig. 3C gezeigt ist. Der Kern 16 des Sensorkopfes 1 wird durch ein thermisch gut leitfähiges Material, wie beispielsweise Aluminium, ersetzt, wohingegen der verbliebene Randbereich des Sensorkopfes 1 aus dem optisch gut leitenden Material (PMMA) besteht, wie in Fig. 3D dargestellt ist. Dieser Aufbau des Sensorkopfes 1 aus optisch und thermisch leitenden Materialien oder Strukturen bezeichnet ebenfalls einen mischstrukturierten Sensorkopf 1. Wird nun Licht über den Eingangslichtwellenleiter 2 in die optische Randstruktur des Sensorkopfes 1, d.h. in einen randnahen Bereich in Nähe der optischen Grenzfläche 29, eingekoppelt, so wird dieses Licht entlang der optischen Grenzfläche 29 der Randstruktur reflektiert und gelangt über den Ausgangslichtwellenleiter 5 zu der optoelektronischen Auswerteeinheit 31, die in den Figuren 5A und 5B dargestellt ist. Somit breitet sich das in den Sensorkopf 1 eingekoppelte Licht nur in einem optisch leitenden, randnahen Bereich zwischen der äußeren optischen Grenzfläche 29 und einer inneren optischen Reflexionsfläche 33 aus. Der Kern 16 des Sensorkopfs 1 kann über die Kühleinheit 10, beispielsweise durch ein Peltierelement, gezielt temperiert werden, so dass auf der Grenzfläche 29 die entsprechende Taupunkttemperatur erreicht werden kann. Die Isolierschichten 12 verhindern eine Kondensatbildung außerhalb der Grenzfläche 29, wobei kühlungsbedingte Abwärme beispielsweise über den Kühlkörper 11 abgeführt wird.In order to improve the response speed of the sensor of the third embodiment in cooling down, at least a part 16 or the core 16 of the sensor head 1, in which the coupled light does not propagate and which consists of the thermally inert PMMA material, has been removed is shown in Fig. 3C. The core 16 of the sensor head 1 is replaced by a thermally highly conductive material, such as aluminum, whereas the remaining edge region of the sensor head 1 consists of the optically highly conductive material (PMMA), as shown in Fig. 3D. This structure of the sensor head 1 of optically and thermally conductive materials or structures also designates a mixed-structured sensor head 1. If now light via the input optical waveguide 2 in the optical edge structure of the sensor head 1, ie in a region near the edge in the vicinity of the optical interface 29, coupled this light is reflected along the optical interface 29 of the edge structure and passes via the output optical waveguide 5 to the optoelectronic evaluation unit 31, which is shown in Figures 5A and 5B. Thus, the coupled into the sensor head 1 light propagates only in an optically conductive, near the edge region between the outer optical Interface 29 and an inner optical reflection surface 33 from. The core 16 of the sensor head 1 can be specifically controlled via the cooling unit 10, for example by a Peltier element, so that the corresponding dew point temperature can be reached on the boundary surface 29. The insulating layers 12 prevent condensation outside of the interface 29, whereby cooling-related waste heat is dissipated, for example via the heat sink 11.
Anstatt den Kern 16 des Sensorkopfes 16 durch ein thermisch gut leitendes Material zu ersetzen ist es auch denkbar, stattdessen einen halbrundförmigen Grundkörper aus einem thermisch gut leitenden Material anzufertigen und diesen mit einer dünnen Folie oder einer transparenten Lackschicht als Grenzfläche 29, wie in Fig. 3E dargestellt, zu versehen. In der Folie oder dem Folienbereich sowie der transparenten Lackschicht kann sich das eingekoppelte Licht entsprechend den vorstehenden Ausführungen ausbreiten. Die Vorteile dieser alternativen Ausgestaltung der dritten Ausführungsform sind, dass die erzeugte Kälte beim Herabkühlen nur durch den dünnen Folienbereich oder durch die dünne Lackschicht hindurch entweichen kann, die den kältesten Bereich im Messfeld bildet. Durch die Verwendung einer Folie oder einer transparenten Lackschicht ist somit eine reflexionsfähige Oberflächenstruktur bereits gegeben. Diese optisch leitende Oberflächenstruktur bzw. deren Dicke ist hierbei soweit vermindert oder reduziert, dass die Reflexion des in den Sensorkopf eingekoppelten Lichts zwischen der äußeren optischen Grenzfläche 29 und der inneren optischen Reflexionsfläche 33 erfolgt. Ferner weist diese Ausführungsform eine einfache und kostengünstige Bauweise auf. Ebenfalls ist der Betauungssensor der dritten Ausführungsform leicht zu säubern und in Hochdruckbereichen einsetzbar.Instead of replacing the core 16 of the sensor head 16 with a thermally highly conductive material, it is also conceivable instead to make a semicircular base body of a thermally highly conductive material and this with a thin film or a transparent lacquer layer as an interface 29, as in Fig. 3E shown to be provided. In the film or the film area and the transparent lacquer layer, the coupled-in light can propagate in accordance with the above explanations. The advantages of this alternative embodiment of the third embodiment are that the cold created during cooling down can only escape through the thin film region or through the thin lacquer layer, which forms the coldest region in the measuring field. By using a film or a transparent lacquer layer, a reflective surface structure is thus already given. In this case, this optically conductive surface structure or its thickness is reduced or reduced to such an extent that the reflection of the light coupled into the sensor head takes place between the outer optical interface 29 and the inner optical reflection surface 33. Furthermore, this embodiment has a simple and inexpensive construction. Also, the dew sensor is the third Easy to clean embodiment and used in high pressure areas.
Das für die erste und zweite Ausführungsform beschriebene Verfahren zur Bestimmung des Taupunktes kann selbstverständlich auch bei der dritten Ausführungsform angewandt werden, weshalb auf die vorstehenden Ausführungen zum Verfahren verwiesen wird. Der dabei verwendete Temperatursensor 38 entspricht dem bei der ersten und zweiten Ausführungsform verwendeten Temperatursensor 38, so dass auf die diesbezüglichen Ausführungen ebenfalls verwiesen wird.The method for determining the dew point described for the first and second embodiments can of course also be used in the third embodiment, for which reason reference is made to the above explanations of the method. The temperature sensor 38 used here corresponds to the temperature sensor 38 used in the first and second embodiments, so that reference is also made to the relevant explanations.
Die von dem Lichtdetektor 35 der optoelektronischen Auswertung 31 durchgeführte Auswertung der Messsignale, die mittels einer der drei vorstehend beschriebenen Ausführungsformen der aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung ermittelt werden, beruht auf der Differenzmessung der Lichtintensität von in den Sensorkopf ein- und ausgekoppeltem Licht zwischen betautem und unbetautem Zustand. Der Lichtdetektor 35 misst die Lichtintensität und detektiert bei Abnahme der Lichtintensität eine Betauung, wobei im Moment der detektierten Betauung die Taupunkttemperatur von dem Temperatursensor 38 erfasst wird. Durch die aktive Kühlung des Sensorkopfes 1 oder seiner Sensorkopfteilstrukturen 1.1 bis l.n sind definierte Betriebszustände einstellbar, die ein Nachkalibrieren des Sensors und ein Herausrechnen von Verschmutzungen oder anderen Einflüssen ermöglichen.The evaluation of the measurement signals, which is carried out by the light detector 35 of the optoelectronic evaluation 31 and which is determined by means of one of the three embodiments of the active fiber optic condensation sensor device described above, is based on the differential measurement of the light intensity of light coupled in and out of the sensor head between dew and non-dew. The light detector 35 measures the light intensity and detects dewing when the light intensity decreases, the dew point temperature being detected by the temperature sensor 38 at the moment of the detected condensation. Due to the active cooling of the sensor head 1 or its sensor head substructures 1.1 to 1.n defined operating states are adjustable, which allow a recalibration of the sensor and a deduction of contamination or other influences.
Ebenfalls können bei allen drei vorstehend erläuterten Ausführungsbeispielen mittels eines zusätzlichen Temperatursensors 37, der wie in den Figuren 5A und 5B dargestellt im Messmedium angeordnet ist, aufgrund der Kenntnis von Temperatur und Taupunktemperatur weitere wettertechnische Werte mit Hilfe der optoelektronischen Auswertung 31 berechnet werden. Beispielhaft zu nennen wären relative und absolute Feuchtigkeit, Wasserdampfpartialdruck, Sättigungsdampfdruck.Likewise, in all three exemplary embodiments explained above, by means of an additional temperature sensor 37, which is arranged in the measuring medium as shown in FIGS. 5A and 5B, due to the knowledge of temperature and dew-point temperature, further weather-related Values can be calculated using the optoelectronic evaluation 31. Examples would be relative and absolute humidity, partial pressure of water vapor, saturation vapor pressure.
Durch die Erfindung werden die thermische Leitfähigkeit des optischen Sensorkopfes und das Änderungsverhalten unter Beibehaltung der optischen Funktionsfähigkeit zur Detektion einer einsetzenden Betauung mittels eines speziell strukturierten Aufbaus von optischen und thermisch leitenden Elementen verbessert. Mittels des Kühlsystems 10, 11 in Form des Peltierelements und des an die Grenzfläche 3, 4 oder 29 gekoppelten Temperatursensors 38 ist eine genaue Bestimmung des Taupunktes möglich. Aber auch ohne das beschriebene Kühlsystem 10, 11 wird der erfindungsgemäße Sensorkopf 1 aufgrund seines strukturierten Aufbaus aus thermisch gut leitenden Strukturen und optisch leitenden Strukturen im Vergleich zu einem passiven faseroptischen Betauungssensor weniger thermisch trag sein, weil der Sensorkopf mittels der thermisch gut leitenden Strukturen „schneller" die Temperatur des Messmediums annimmt, als ohne diese thermisch gut leitenden Strukturen. Darüber hinaus können mit Hilfe der controllergesteuerten elektrischen bzw. optoelektronischen Auswerteeinheit 31 weitere wettertechnische Daten, wie zum Beispiel die relative und die absolute Luftfeuchtigkeit, der Wasserdampfpartialdruck sowie der Sättigungsdampfdruck, berechnet werden. Die besonderen Eigenschaften der aktiven faseroptischen Betauungssensorvorrichtung als Messsystem sind die einfache und robuste Bauweise, so dass keinerlei Justierung bei Herstellung und Betrieb notwendig ist. Die preiswert herzustellende aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung mit Messsystem ist somit langzeitstabil und aufgrund ihres optischen Messprinzips gegenüber Störungen relativ unanfällig.The invention improves the thermal conductivity of the optical sensor head and the change behavior while maintaining the optical functionality for detecting incipient condensation by means of a specially structured construction of optical and thermally conductive elements. By means of the cooling system 10, 11 in the form of the Peltier element and the temperature sensor 38 coupled to the interface 3, 4 or 29, an accurate determination of the dew point is possible. But even without the described cooling system 10, 11, the sensor head 1 according to the invention will be due to its structured structure of thermally highly conductive structures and optically conductive structures compared to a passive fiber optic Betauungssensor less thermal, because the sensor head by means of thermally well conductive structures "faster In addition, with the aid of the controller-controlled electrical or optoelectronic evaluation unit 31, further weather-related data, such as, for example, the relative and the absolute humidity, the partial pressure of water vapor and the saturation vapor pressure, can be calculated The special features of the active fiber optic condensation sensor device as measuring system are the simple and robust construction, so that no adjustment during production and operation is necessary ive fiber optic Betauungssensorvorrichtung with measuring system is thus long-term stable and due to their optical measuring principle against interference relatively unreliable.
Mit Licht wird der Eingangslichtwellenleiter 2 durch von der Lichtquelle 30 ausgestrahltem Licht oder ausgestrahlter elektromagnetischer Strahlung, insbesondere von für den Menschen sichtbarer elektromagnetischer Strahlung, gespeist. With light, the input optical waveguide 2 is fed by light emitted by the light source 30 or emitted electromagnetic radiation, in particular of human electromagnetic radiation visible.

Claims

Patentansprüche claims
1. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung umfassend einen einenends mit einer Lichtquelle (30) in Wirkverbindung und anderenends mit einem optisch transparenten, zumindest eine optische Grenzfläche (3, 4, 29) aufweisenden Sensorkopf (1) verbundenen Eingangslichtwellenleiter (2) sowie einen einenends mit einem Lichtdetektor (35) in Wirkverbindung stehenden und anderenends mit dem Sensorkopf (1) verbundenen Ausgangslichtwellenleiter (5), welche mit einer elektronischen Auswerteeinheit (31) verbunden sind, wobei mittels der Lichtquelle (30) Licht mittels des Eingangslichtwellenleiters (2) in den Sensorkopf (1) einleitbar und nach mindestens einer einmaligen Reflexion an der zumindest einen optischen Grenzfläche (3, 4, 29) aus dem Sensorkopf (1) mittels des Ausgangslichtwellenleiters (5) dem Lichtdetektor (35) zuführbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine optische Grenzfläche (3, 4, 29) temperierbar ausgebildet und/oder angeordnet ist.1. Active fiber optic Betauungssensorvorrichtung comprising a one end with a light source (30) in operative connection and at the other end with an optically transparent, at least one optical interface (3, 4, 29) having sensor head (1) connected input optical waveguide (2) and one end with a light detector (35) in operative connection and at the other end with the sensor head (1) connected output optical waveguide (5), which are connected to an electronic evaluation unit (31), wherein by means of the light source (30) light by means of the input optical waveguide (2) in the sensor head (1 ) and after at least one single reflection at the at least one optical interface (3, 4, 29) from the sensor head (1) by means of the output optical waveguide (5) to the light detector (35) can be supplied, characterized in that the at least one optical interface (3, 4, 29) tempered trained and / or arranged.
2. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtdetektor (35) mit einem die Temperatur der temperierbaren optischen Grenzfläche (3, 4, 29) messenden Temperatursensor (38) in Wirkverbindung steht.2. Active fiber optic Betauungssensorvorrichtung, characterized in that the light detector (35) with a temperature of the temperature-controllable optical interface (3, 4, 29) measuring the temperature sensor (38) is in operative connection.
3. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Eingangslichtwellenleiter (2) und der Ausgangslichtwellenleiter (5) sowie die zumindest eine temperierbare optische Grenzfläche (3, 4, 29) so zueinander ausgerichtet sind, dass der Übergang von einem unbetauten zu einem betauten Zustand der zumindest einen temperierbaren optischen Grenzfläche (3, 4, 29) detektierbar ist.3. Active fiber optic Betauungssensorvorrichtung according to claim 1 or 2, characterized in that the input optical waveguide (2) and the output optical waveguide (5) and the at least one temperature-controlled optical interface (3, 4, 29) are aligned with each other so that the transition from an undetected to a dewy state of at least one temperature-controllable optical interface (3, 4, 29) is detectable.
4. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Grenzfläche (3, 4, 29) mittels eines Kühlsystems (10, 11) gezielt temperierbar ist.4. Active fiber optic Betauungssensorvorrichtung according to any one of the preceding claims, characterized in that the at least one boundary surface (3, 4, 29) by means of a cooling system (10, 11) is specifically temperature controlled.
5. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass eine Isolierschicht (12) die Oberflächen des Sensorköpfes (1) mit Ausnahme der zumindest einen Grenzfläche (3, 4, 29) bedeckt, so dass bei erfolgender Kühlung die zumindest eine Grenzfläche (3, 4, 29) das kälteste nach außen gerichtete Element des Sensorkopfes (1) ist.5. Active fiber optic condensation sensor device according to claim 4, characterized in that an insulating layer (12) covers the surfaces of the sensor head (1) with the exception of the at least one interface (3, 4, 29), so that upon cooling, the at least one interface ( 3, 4, 29) is the coldest outwardly directed element of the sensor head (1).
6. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperierung, insbesondere Kühlung auf einer Fläche des Sensorkopfes (1) erfolgt, die keine Grenzfläche (3, 4, 19) ist, so dass ein Temperaturtransfer durch den thermisch gut leitenden Teil (8, 16) und die zumindest eine optische Grenzfläche (3, 4 29) hindurch erfolgt.6. Active fiber optic Betauungssensorvorrichtung according to claim 4 or 5, characterized in that the temperature, in particular cooling on a surface of the sensor head (1), which is not an interface (3, 4, 19), so that a temperature transfer by the thermally good conducting part (8, 16) and the at least one optical interface (3, 4 29) is carried out therethrough.
7. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass eine Kühlung des Sensorkopfes (1) mittels auf zumindest einer Grenzfläche (3, 4) aufgebrachter Metall- und/oder Halbleiterstrukturen (6, 7) nach dem Funktionsprinzip des Peltiereffektes erfolgt. 7. Active fiber optic Betauungssensorvorrichtung according to one of claims 4 to 6, characterized in that a cooling of the sensor head (1) by means of at least one interface (3, 4) applied metal and / or semiconductor structures (6, 7) according to the principle of operation Peltier effect takes place.
8. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorkopf (1) einem stufenförmigen Temperatur- zyklus folgend temperierbar ist.8. Active fiber optic Betauungssensorvorrichtung according to one of claims 4 to 7, characterized in that the sensor head (1) following a step-shaped temperature cycle is temperature controlled.
9. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinheit mit einem im Messmedium angeordneten Temperatursensor (37) in Wirkverbindung steht, so dass weitere wettertechnische Werte mittels der elektronischen Auswerteeinheit (31) bestimmbar sind.9. Active fiber-optic condensation sensor device according to one of the preceding claims, characterized in that the evaluation unit is in operative connection with a temperature sensor (37) arranged in the measuring medium, so that further weather-related values can be determined by means of the electronic evaluation unit (31).
10. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke des Sensorkopfes (1) im Wesentlichen dem Durchmesser der verwendeten Eingangsund Ausgangslicht-wellenleiter (2, 5) entspricht.10. Active fiber optic Betauungssensorvorrichtung according to any one of the preceding claims, characterized in that the thickness of the sensor head (1) substantially corresponds to the diameter of the input and output light waveguides used (2, 5).
11. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorkopf (1) in parallele, optisch mit den Lichtwellenleitern (2, 5, 5.1-5.n) verbundene Sensorkopfteilstrukturen (1.1-l.n) aufgeteilt ist.11. Active fiber optic Betauungssensorvorrichtung according to any one of the preceding claims, characterized in that the sensor head (1) in parallel, optically with the optical waveguides (2, 5, 5.1-5.n) connected sensor head part structures (1.1-l.n) is divided.
12. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den Sensorkopfteilstrukturen (1.1-l.n) thermisch leitende Zwischenelemente (8) aus einem thermisch gut leitenden Material, insbesondere einem Metallmaterial, angeordnet sind. 12. An active fiber optic Betauungssensorvorrichtung according to claim 11, characterized in that between the sensor head part structures (1.1-ln) thermally conductive intermediate elements (8) made of a thermally highly conductive material, in particular a metal material, are arranged.
13. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorkopfteilstrukturen (1.1-l.n) unterschiedliche Funktionseigenschaften, insbesondere zur Detektion von unterschiedlichen Stoffen im Messmedium, aufweisen.13. Active fiber optic Betauungssensorvorrichtung according to claim 11 or 12, characterized in that the sensor head part structures (1.1-l.n) have different functional properties, in particular for the detection of different substances in the measuring medium.
14. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorkopf (1) oder die Sensorkopfteilstrukturen (1.1-l.n) aus einem für selektierbare Wellenlängen des Lichts durchlässigen Material bestehen.14. An active fiber optic condensation sensor device according to one of the preceding claims, characterized in that the sensor head (1) or the sensor head part structures (1.1-l.n) consist of a permeable to selectable wavelengths of light material.
15. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass thermisch leitende Elemente (7, 8, 9, 13) und optisch leitende Elemente (1.1-l.n) des Sensorkopfes (1) großflächig, insbesondere durch Aneinanderlage, miteinander gekoppelt sind.15. Active fiber optic Betauungssensorvorrichtung according to any one of the preceding claims, characterized in that thermally conductive elements (7, 8, 9, 13) and optically conductive elements (1.1-ln) of the sensor head (1) over a large area, in particular by juxtaposition, are coupled together ,
16. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass eine teiltransparente Beschichtung (13) aus einem thermisch gut leitenden Material, insbesondere eine Metallbeschichtung, auf die zumindest eine Grenzfläche (3) des Sensorkopfes (1) oder auf die Oberfläche der Sensorkopfteilstrukturen (1.1-l.n) aufgebracht ist.16. An active fiber-optic condensation sensor device according to claim 11, characterized in that a partially transparent coating (13) of a thermally highly conductive material, in particular a metal coating, on the at least one interface (3) of the sensor head (1) or on the Surface of the sensor head part structures (1.1-ln) is applied.
17. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Sensorkopfteilstruktur (1.1-l.n) jeweils ein Ausgangslichtwellenleiter (5.1-5.n) zugeordnet ist, dessen jeweiliger Durchmesser im Wesentlichen der Dicke der jeweiligen Sensorkopfteilstruktur (1.1-l.n) entspricht .17. An active fiber optic condensation sensor device according to one of claims 10 to 16, characterized in that each sensor head substructure (1.1-ln) is assigned in each case an output optical waveguide (5.1-5.n), the respective diameter of which substantially corresponds to the thickness of the respective sensor head substructure (1.1-ln).
18. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass durch eine feingliedrige Mischstrukturierung von optischen Sensorkopfteilstrukturen (1.1-l.n) und thermisch gut leitenden Zwischenelementen (8) eine Betauung der optischen Sensorkopfteilstrukturen (1.1- l.n) stattfindet.18. Active fiber-optic condensation sensor device according to one of claims 12 to 17, characterized in that a dewing of the optical sensor head substructures (1.1-1.n) takes place by a delicate mixed structuring of optical sensor head substructures (1.1-l.n) and thermally highly conductive intermediate elements (8).
19. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorkopf (1) oder eine jeweilige Sensorkopfteilstruktur (1.1-l.n) eine lineare Form, eine nichtlineare Form oder eine halbkreisförmige Form aufweist.An active fiber optic condensation sensor device according to any one of the preceding claims, characterized in that the sensor head (1) or a respective sensor head part structure (1.1-l.n) has a linear shape, a non-linear shape or a semicircular shape.
20. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei einer halbkreisförmigen Form des Sensorkopfes (1) eine Einkopplung des Lichts in einen randnahen Bereich des Sensorkopfes (1) erfolgt.20. An active fiber-optic condensation sensor device according to one of the preceding claims, characterized in that, in the case of a semicircular shape of the sensor head (1), the light is coupled into an area near the edge of the sensor head (1).
21. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil (16) des Sensorskopfes (1), in dem sich über den Eingangslichtwellenleiter (2) eingekoppeltes Licht nicht ausbreitet, aus einem thermisch gut leitenden Material, insbesondere einem Metallmaterial, besteht. 21. Active fiber-optic condensation sensor device according to claim 20, characterized in that at least a part (16) of the sensor head (1) in which light coupled in via the input optical waveguide (2) does not propagate, consists of a thermally highly conductive material, in particular a metal material, consists.
22. Aktive faseroptische Betauungssensorvorrichtung nach Anspruch 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, dass ein randnaher Bereich des Sensorkopfes (1) aus einem optisch leitenden Material ausgebildet ist, dessen Dicke soweit vermindert oder reduziert ist, dass die Reflexion des über den Eingangslichtwellenleiter (2) in den Sensorkopf (1) eingekoppelten Lichts zwischen der äußeren optischen Grenzfläche (29) und einer inneren optischen Reflexionsfläche (33) des randnahen Bereichs erfolgt.22. An active fiber optic Betauungssensorvorrichtung according to claim 20 or 21, characterized in that a near-edge region of the sensor head (1) is formed of an optically conductive material whose thickness is reduced or reduced so far that the reflection of the input via the optical waveguide (2) in the sensor head (1) coupled light between the outer optical interface (29) and an inner optical reflection surface (33) of the near-edge region takes place.
23. Aktiver faseroptischer Betauungssensor umfassend einen einenends mit einer Lichtquelle (30) in Wirkverbindung bringbaren und anderenends mit einem optisch transparenten, zumindest eine optische Grenzfläche (3, 4, 29) aufweisenden Sensorkopf (1) verbundenen Eingangslichtwellenleiter (2) sowie einen einenends mit einem Lichtdetektor (35) in Wirkverbindung bringbaren und anderenends mit dem Sensorkopf (1) verbundenen Ausgangslichtwellenleiter (5), dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine optische Grenzfläche (3, 4, 29) temperierbar ausgebildet ist.23. Active fiber-optic condensation sensor comprising a one-end with a light source (30) operatively connected and the other end with an optically transparent, at least one optical interface (3, 4, 29) having sensor head (1) connected input optical waveguide (2) and a one end with a Light detector (35) can be brought into operative connection and at the other end with the sensor head (1) connected output optical waveguide (5), characterized in that the at least one optical interface (3, 4, 29) is formed tempered.
24. Aktiver faseroptischer Betauungssensor nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorkopf (1) einen die Temperatur der zumindest einen optischen Grenzfläche (3, 4, 29) messenden Temperatursensor (38) aufweist.24. Active fiber-optic condensation sensor according to claim 23, characterized in that the sensor head (1) has a temperature of the at least one optical interface (3, 4, 29) measuring temperature sensor (38).
25. Aktiver faseroptischer Betauungssensor nach Anspruch 23 oder 24, dadurch gekennzeichnet, dass der Betauungs- sensor Bestandteil einer Betauungssensorvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 22 ist. 25. An active fiber optic condensation sensor according to claim 23 or 24, characterized in that the Betauungs- sensor is part of a Betauungssensorvorrichtung according to any one of claims 1 to 22.
26. Aktiver faseroptischer Betauungssensor, dadurch gekennzeichnet, dass der Betauungssensor die Merkmale des Sensorkopfes (1) der Betauungssensorvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 22 aufweist. 26. Active fiber-optic condensation sensor, characterized in that the condensation sensor has the features of the sensor head (1) of the condensation sensor device according to one of claims 1 to 22.
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