WO2008113505A1

WO2008113505A1 - Partikelsensor für strömende flüssige oder gasförmige medien

Info

Publication number: WO2008113505A1
Application number: PCT/EP2008/001995
Authority: WO
Inventors: Markus Klotz
Original assignee: Markus Klotz
Priority date: 2007-03-16
Filing date: 2008-03-13
Publication date: 2008-09-25
Also published as: DE102007013356B4; DE102007013356A1; EP2137510A1; EP2137510B1; DE102007013356B9

Abstract

Ein Partikelsensor hat einen miniaturisiert ausgebildeten zylindrischen Gehäusekörper (1). In je einem axialen Sackloch (6, 15) an seinen beiden Seitenflächen (5, 14) ist eine Standard-Laserdiode (2) bzw. eine Standard-Fotodiode (12) angeordnet. Zwischen ihren geringfügig voneinander beabstandeten Fenster-Stirnseiten ist eine membranähnlich dünne, senkrecht zur Körperachse ausgerichtete Art Lochblende (21) mit einer axialen Engpassöffnung (24) mit sehr geringer, vom zu untersuchenden Medium abhängiger Größe vorgesehen. Die dementsprechend sehr kleine Querschnittsfläche des die Engpassöffnung (24) passierenden Medienstroms wird vom Laserstrahl beleuchtet und seine durch einen im Medienstrom mitgeführten Partikel bewirkte Abschattung von der Fotodiode (12) erfasst.

Description

Beschreibung

Partikelsensor für strömende flüssige oder gasförmige Medien

Die Erfindung geht aus von einem Partikelsensor mit den im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmalen.

Partikelsensoren werden zur optischen Partikelerfassung in Partikelzählsystemen eingesetzt. Mit diesen wird vorrangig die Einhaltung von Reinheitsanforderungen bei diesbezüglich kritischen flüssigen und gasförmigen Medien kontrolliert, wie z. B. bei Trinkwasser, kontaminationsempfindlichen Lösungen der pharmazeutischen und chemischen Industrie, im medizinischen Bereich, aber auch bei Schmier- und Hydraulikölen, Raketentreibstoffen, bei der Raumluft von Reinräumen, Operationssälen usw. Dazu werden in solchen meistens aufgrund ständiger Reinigung mittels Filtervorrichtungen eigentlich sehr sauberen Medien die Größe und die jeweilige Anzahl der dennoch in ihnen enthaltenen, sie verunreinigenden Partikel ermittelt und dargestellt. Hierbei handelt es sich um kleinste Feststoffkörper im Mikrometerbereich, aber auch, wie z. B. in den Ölen, um z. B. demgegenüber sehr viel größere Wassertröpfchen und Luftblasen.

Mit diesen Partikelprüfungen werden auch z. B. Korngrößenanalysen zur Güteüberwachung, z. B. in der Wareneingangskontrolle, durchgeführt, z. B. bei Pulverlacken zur Ermittlung der unbekannten Größe von so genannten Überkörnern, und auch die Wirksamkeit von Filtervorrichtungen geprüft und überwacht, aber auch zu Testzwecken, z. B. mittels Multipass-Prüfständen, z. B. die Abscheideleistung von Filtern bzw. Filtermedien mittels einen Teststaub enthaltenden Testflüssigkeiten ermittelt. In diesen Fällen ist dann die maximal mögliche Größen- Ordnung der mit Partikelsensoren zu detektierenden Verunreinigungs-Partikel bekannt.

Ab einer Partikelgrößenordnung von etwa 1 μm wird, wie beim vorliegenden Anmeldungsgegenstand, ein mit dem Lichtblockadebzw. Lichtabschattungs-Messverfahren statt dem Streulicht- Messverfahren arbeitender Partikelsensor benutzt. Er besteht üblicherweise aus einer Lichtquelleneinheit zur Erzeugung eines gebündelten Lichtstrahls, einer vom zu untersuchenden Me- diumstrom durchströmten gläsernen Küvette bzw. Messzelle mit einem als Partikel-Messabschnitt kapillar verengt ausgebildeten, von dem Lichtstrahl seitlich beleuchteten Engpass, und einer Detektoreneinheit. Mit ihr wird zur Größenbestimmung eines Partikels das Ausmaß der im Messabschnitt entsprechend seiner Größe verursachten Lichtstrahl-Abschattung erfasst.

Passieren gleichzeitig zwei oder mehr einander angenäherte Partikel den vom Lichtstrahl beleuchteten Messabschnitt, wird die dadurch verursachte Abschattung als die eines einzigen, entsprechend großen Partikels erfasst, was zu einem das Untersuchungsergebnis verfälschenden Koinzidenzfehler führt.

Andere, die Einsatzmöglichkeiten wie auch die Mess-Genauig- keit und Mess-Zuverlässigkeit eines Partikelsensor beeinflus- sende Größen sind z. B. die Dimensionierung des Engpass-Mess- abschnitts, die Viskosität des zu prüfenden flüssigen Mediums, die in einer Zeiteinheit zu prüfenden Medium-Durchsatzmengen, die Konzentration der Partikel im jeweiligen Medium wie auch die maximale Partikel-Größenordnung, die mit ihm ge- messen werden können soll. Dabei können sich diese Einflüsse auch noch untereinander beeinflussen. Folglich gibt es keine universell einsetzbaren Partikelsensoren, sondern ist jeder konkret in ihnen ausgebildete Medien-Strömungsweg ein ihre Einsatzmöglichkeiten einschränkender Kompromiss.

Als Lichtstrahl wird vorzugsweise ein Laserstrahl eingesetzt. Dann umfasst die Lichtquelleneinheit üblicherweise drei in Reihe hintereinander auf der optischen Achse der Lichtquelleneinheit in einem Gehäuse, das ist z. B. ein viel Platz beanspruchender, z. B. 20 cm langer und 5 cm dicker Rohrabschnitt, angeordnete Bauteile: Eine handelsübliche miniaturi- siert ausgebildete, vorzugsweise in ihre auf einer Platine angeordneten Ansteuerelektronik integrierte Standard-Laserdiode, ein Kollimator und eine weitere Sammellinsenoptik. Mit dem Kollimator wird der homogene, elliptisch-keulenförmig divergierende Laserstrahl parallel gerichtet und dann von der bei der Montage der drei Bauteile zeit- und damit kostenauf- wändig zu justierenden Sammellinsenoptik rechtwinklig zur Strömungsrichtung des Mediumstroms von der Seite in den Messabschnitt der Messzelle projiziert.

Das nicht von Partikeln abgeschattete, den Messabschnitt der Messzelle durchquerende Laserstrahllicht trifft auf die fotoempfindliche Fläche einer üblicherweise als Lichtdetektor benutzten Fotodiode. Sie ist, standardmäßig ebenfalls miniaturisiert, auch in ihre auf einer Platine angeordnete Ansteuer- elektronik integriert, die sich hinter dem Messzellen-Messabschnitt in einem separaten scheibenartig flachen, von der Messzelle durchquerten, beidseits von Glasscheiben verschlossenen, am der Laserdiode gegenüberliegenden Ende des Sensor- Rohrgehäuses angeordneten Gehäuse befindet.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, einen nach dem Lichtblockade-Messverfahren arbeitenden Partikelsensor für - A -

strömende flüssige oder gasförmige Medien in einer möglichst kostengünstig ausgestaltbaren kompakt-miniaturisierten Bauform zu schaffen.

Die Erfindung löst diese Aufgabe mit den im Patentanspruch 1 angegebenen Merkmalen. Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand der Unteransprüche.

Der erfindungsgemäße Partikelsensor ist dadurch gekennzeich- net, dass ein Gehäusekörper mit zwei sich gegenüberliegenden Seitenflächen mit jeweils einer sich in ihn hinein erstreckend ausgebildeten Anordnungsausnehmung für eine miniaturisierte Lichtquelle bzw. einen miniaturisierten Lichtdetektor vorgesehen ist, dass diese beiden Anordnungsausnehmungen durch eine im Inneren des Gehäusekörpers zwischen ihnen vorgesehene membranähnlich dünne, zu der von der Lichtquelle definierten optischen Achse senkrecht ausgerichteten Art Lochblende voneinander getrennt sind, welche als Engpassausgestaltung eine lochförmige Engpassöffnung mit geringer, vom je- weiligen Sensor-Einsatzzweck abhängiger Größe in einer ihr

Durchqueren von dieser optischen Achse ermöglichende Position aufweist, dass sich die Lichtquelle in der in ihrer Anordnungsausnehmung wie vorgesehen eingenommenen Anordnungsposition mit zumindest einem Teilbereich ihrer Stirnseite und des an dieser vorgesehenen Lichtaustrittsfensters in einem zumindest an die jeweils ausgeführte Größe der Engpassöffnung an- gepasst geringen, die Ausbildung eines spaltartig-schmalen Mediumstrom-Zuführzwischenraums bewirkenden Abstand von der Vorderseite der Lochblende befindet, dass sich auch der Lichtdetektor in der in seiner Anordnungsausnehmung wie vorgesehen eingenommenen Anordnungsposition mit zumindest ebenfalls einem Teilbereich seiner Stirnseite und des an dieser vorgesehenen Lichteintrittsfensters in einem zumindest annähernd auch zumindest an die jeweils ausgeführte Größe der Engpassöffnung angepasst geringen, die Ausbildung eines spaltartig-schmalen Mediumstrom-Abführzwischenraums bewirkenden Abstand von der Rückseite der Lochblende befindet, und dass der Medien-Strömungsweg zumindest jeweils einen kanalartig ausgebildeten Abschnitt zur Verbindung sowohl des Medienstrom-Zuführanschlusses mit dem Zufuhr-Zwischenraum als auch des Abfuhr-Zwischenraumes mit dem Medienstrom-Abführanschluss aufweist.

Die Erfindung basiert auf der Idee, den auf Partikel zu untersuchenden Mediumstrom nicht mehr in einem, zusätzlich zum Sensorgehäuse, separaten Detektorengehäuse durch die von der Seite beleuchtete Engpassausgestaltung einer gläsernen Messzelle, sondern rechtwinklig durch eine nur noch lochförmige Engpassöffnung in einer membranähnlich, d. h. extrem dünnen Art Lochblende zu leiten. Dabei ist vorgesehen, dass ebenso auch die von der Lichtquelle definierte optische Achse durch die Engpassöffnung verläuft und folglich auch der von der

Lichtquelle ausgesendete Lichtstrahl. Er soll die grundsätzlich sehr kleine Querschnittsfläche der Engpassöffnung und damit ebenso auch die des sie passierenden Mediumstroms vollständig beleuchten, da es für die Partikeldetektion nur auf das durch diese Querschnittsflächen hindurchgehende Licht ankommt .

Da die Größe der grundsätzlich sehr kleinen Engpassöffnung vorrangig an das bestimmungsgemäß mit einem Partikelsensor zu prüfenden Partikelträgermedium und dessen Eigenschaften angepasst wird und sich danach jeweils auch der Abstand der Lichtquelle von der Lochblende richtet, kann der Abstrahl- bzw. Divergenzwinkel der Lichtquelle, vorrangig eine Laserdiode, zwischen z. B. 5° und 20°, ggf. auch bis zu 40° betragen. Dabei ist zu beachten, dass bei größer werdendem Winkel die Partikelgrößenauflösung schlechter wird.

Ideal wäre ein Licht-Abstrahlwinkel von 0°, was aber bei divergenten Lichtstrahlen, wie z. B. Laserstrahlen, nur durch eine kostenverursachende Kollimation erreicht werden könnte.

Bei einem derart parallelgerichteten Lichtstrahl würde ein sich z. B. im Mediumstrom in der Nähe des Lichtaustrittsfensters einer Laserdiode befindender, von dort zur Engpassöffnung hin mitgeführter Partikel nicht zu einem Messfehler führen. Bei einem divergenten Lichtstrahl wird dagegen der Mess- fehler umso größer, je näher er sich vor dem Lichtaustrittsfenster der Lichtquelle befindet, da sich dabei seine Licht- abschattungswirkung verstärkt. Ein solcher Messfehler könnte aber elektronisch kompensiert werden.

Werden aber gewisse Abstriche bei der Partikelgrößenauflösung durch Verwendung von einen divergierenden Lichtstrahl aussendenden Lichtquellen, wie z. B. Laserdioden, akzeptiert, dann können sie mit ihrer ein planes Lichtaustrittsfenster aufweisenden Stirnseite auf der einen und mit den ein planes Lichteintrittsfenster an der Stirnseite aufweisenden Lichtdetektoren auf der anderen Seite der Lochblende die Begrenzung für eine kostengünstige Messzelle bilden. Die bisher übliche gläserne Messzelle wird dadurch überflüssig.

Durch diese erfindungsgemäße Konfiguration eines Partikelsensors mit einer sehr dünnen Art Lochblende mit einer sehr kleinen lochförmigen Engpassöffnung und einem entsprechend spaltartig-schmalen Mediumstrom-Zuführ- und Abführ-Zwischen- raum können sowohl flüssige als auch gasförmige Medien auf in ihnen enthaltene Verunreinigungs-Partikel kontrolliert werden. Denn dieser Partikelsensor kann auf einfache Weise an die spezifischen Eigenschaften der flüssigen und gasförmigen Partikelträgermedien bzw. die erwartete maximale Größenordnung der darin erwarteten Partikel angepasst werden. Denn hierzu sind fertigungstechnisch nur einfache Bohr- und z. B. Fräsarbeiten erforderlich, die heute keinen besonderen Auf- wand mehr darstellen. Dabei gilt: Möglichst kleine Engpass- öffnungsgröße und möglichst schmale, sowohl vom zu prüfenden Medium zu durchströmende als auch vom Lichtstrahl zu durchquerende Zwischenräume, um auch bei hoher Partikelkonzentration Koinzidenzfehler möglichst auszuschließen. Es muss hier- bei jedoch auch z. B. die Viskosität des jeweiligen Partikelträgermediums berücksichtigt werden.

Kann der Abstand zwischen Lichtquelle und Lochblende klein sein, dann sind, wie schon keine gläserne Messzelle, bei Ver- wendung von z. B. Laserdioden mit den bereits erwähnten Lichtabstrahlwinkeln auch kein Kollimator und folglich keine zusätzliche Sammellinsen- bzw. Beleuchtungsoptik mehr erforderlich. Es können somit einerseits die Kosten für diese drei Bauteile sowie für ihren Montageaufwand gespart werden, ande- rerseits kann dadurch auch die Größe des Sensorgehäuses entsprechend verringert und sogar ebenfalls miniaturisiert werden.

Da die erfindungsgemäß - mediumabhängig - mögliche sehr klei- ne Größe der Engpassöffnung der Lochblende bei entsprechend kleinem Divergenzwinkel zu einer Lichtkegel-Begrenzung und damit zu einer sehr homogenen Beleuchtung der dementsprechend geringen Querschnittsfläche des Mediumstroms führt, wird in Verbindung mit der aufgrund des kurzen Abstandes von der Lichtquelle hohen Lichtstärke im Lichtkegel eine hohe Qualität bei der Erfassung der Partikelgröße und der Partikel- anzahl erreicht. Es können daher auch Medien mit hohen Partikelkonzentrationen sehr zuverlässig auf Partikel bis zu einer, z. B. einer vorausgehenden Filtrierung entsprechenden, maximal zu erwartenden Größenordnung kontrolliert werden.

Durch die erfindungsgemäß vorgesehene, je nach Partikelträgermedium ggf. extrem kleine Engpassöffnung in einer membranähnlich, d. h. extrem dünnwandigen Lochblende, mit einer Dicke von z. B. nur 0,1 mm, die somit selbst eigentlich keine räumliche Tiefe mehr hat, besteht unmittelbar beim Durchgang des Mediumstroms durch die Engpassöffnungsebene bzw. Lochblende nahezu keine Gefahr mehr von Koinzidenzfehlern. Diese ist stattdessen in den Zwischenräumen zwischen Lichtquelle und Lochblende bzw. Lochblende und Lichtdetektor gegeben, also im der lichten Weite der Engpassöffnung entsprechenden Zwischenraum-Bereich vor und nach der Lochblende, weshalb durch möglichst geringe Abstände zwischen diesen Teilen die dadurch ausgebildeten Zwischenräume ein möglichst geringes Volumen aufweisen sollen.

Außerdem wird so, in Verbindung mit der Beleuchtung der jeweils sehr kleinen bis extrem kleinen Engpassöffnungs-Fläche mit einem homogenen Lichtstrahl, sichergestellt, dass gleich große Partikel, unabhängig davon, an welcher Stelle sie die Engpassöffnungsebene passieren, die gleiche Lichtmenge ab- schatten, was sich ebenfalls vorteilhaft auf die Zuverlässigkeit der Partikelgrößenermittlung auswirkt. Zudem bewirkt eine derart dünne Lochblende auch eine Mediumstrom-Durchgangs- regelung, da der Durchfluss durch eine sehr dünne Lochblende konstant ist.

Auch könnte die Anordnung von transparenten Körpern im Licht- Strahlbereich, z. B. aus Glas oder Kunststoff, die Fließeigenschaften des jeweiligen Mediums im Strahlbereich verbessern helfen.

Denkbar wäre es auch, allerdings unter Inkaufnahme zusätzli- eher Kosten, zur Wirksamkeit eines zur Partikeldetektion verwendeten divergenten Lichtstrahls, auf der Innenseite des stirnseitigen Lichtaustrittsfensters seiner Lichtquelle einen Kollimator anzuordnen, um nicht die plane Fenster-Außenfläche im Hinblick auf die erfindungsgemäß angestrebte volumen- sparende spaltartig-schmale Ausbildung des Medienstrom-Zuführzwischenraums zwischen Lichtquellen-Stirnseite und Lochblende durch eine entsprechende Linsenoptik auf seiner Außenseite aufgeben zu müssen.

Durch die erfindungsgemäß im Inneren des Gehäusekörpers erreichten räumlichen Gegebenheiten können bei der Herstellung von dementsprechend ausgebildeten Durchström-Partikelsensoren Lichtquellen und Lichtdetektoren, vorzugsweise Laserlichtdioden und Fotodioden mit einem miniaturisierten zylindrischen Gehäuse mit einem Durchmesser und einer Bauhöhe in der Größenordnung von nur wenigen Millimetern, in handelsüblicher, d. h. kostengünstiger Standardqualität verwendet werden. Mit ihnen kann dann der Gehäusekörper selbst miniaturisiert werden, z. B. in einer kreiszylindrischen Ausgestaltung mit z. B. nur ca. 10 mm Länge und ca. 12 mm Durchmesser.

Die spaltartig schmalen Zwischenräume zwischen der Lichtquellen-Stirnseite mit dem planen Lichtaustrittsfenster und der Lochblende sowie der Lochblende und der Lichtdetektor-Stirnseite mit dem planen Lichteintrittsfenster weisen bereits ein entsprechend geringes Volumen auf, was sich auch günstig auf die Vorbereitung eines erfindungsgemäß ausgebildeten Parti- kelsensors für die nächste Partikeldetektion mit einem entsprechenden flüssigen oder gasförmigen Partikelträgermedium auswirkt. Denn ein geringeres Totvolumen erfordert weniger Spülaufwand für die jeweils notwendige Reinigung des Medienstrom-Durchleitungsweges durch den Gehäusekörper. Dieser Vor- teil kann noch dadurch erhöht werden, dass im Verlauf des Medien-Strömungswegs durch den Gehäusekörper blind endende, d. h. nicht durchströmte, zu Rückstau führende Wegabschnitte verschlossen werden.

Es könnte auch das Licht der Lichtquelle, statt es von ihr aus der Nähe der Lochblende zu deren Engpassöffnung aussenden zu lassen, z. B. mittels eines Lichtwellenleiters von einem entfernten Lichtquellen-Standort an diese Stelle im Gehäusekörper geleitet werden. Dementsprechend würde dann auf der Rückseite der Lochblende die durch Partikel verursachte

Lichtabschattung statt direkt an dieser Stelle durch einen Lichtdetektor zu erfassen, zunächst ebenfalls erst durch einen Lichtwellenleiter aufgenommen und zu einem räumlich davon entfernten Lichtdetektor geleitet werden. Dies könnte z. B. den Einsatz des erfindungsgemäßen Partikelsensors in explosi- onsgefährdeten Umgebungen vereinfachen, in denen sich dann die opto-elektronischen Bauteile, wie z. B. die Lichtquelle, der Lichtdetektor wie auch deren jeweilige Ansteuerelektronik, außerhalb einer derart kritischen Umgebung befinden.

Für ein Arbeiten direkt im Partikelträgermedium könnte es auch vorteilhaft sein, dass das Abdichten der Lichtwellen- leiter einfacher als das Abdichten elektrischer Sensor- Anschlusskabel sein könnte.

Anhand von schematischen Zeichnungen wird nachfolgend ein be- vorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben.

Es zeigen:

Fig. 1 einen axialen Längsschnitt durch den beidseits um eine Platine erweiterten Gehäusekörper eines erfin- dungsgemäßen Partikelsensors in einer 5-fachen Vergrößerung und

Fig. 2 etwas verkleinert den Gehäusekörper-Längsschnitt aus Fig. 1, versehen mit einem stilisiert dargestellten, Partikel enthaltenden Mediumstrom durch den Gehäuse- körper und, rechts daneben, den durch einen Kreis gekennzeichneten mittigen Bereich des Gehäusekörpers in einer zusätzlichen Vergrößerung, die außerdem auch zusätzliche Ausgestaltungen für eine weitere Totraumverringerung zeigt.

Der in den beiden Figuren im Längsschnitt gezeigte miniaturisierte kreiszylindrische Gehäusekörper 1 der erfindungsgemäßen Partikelsensoren, die im Grunde genommen eine neue Gattung bilden, hat nur noch eine Länge von ca. 10 mm und nur noch einen Durchmesser von ca. 12 mm. Zum Einsatz in den Partikelträgermedien Wasser und Chemikalien besteht er vorzugsweise aus rostfreiem Stahl, in Öl z. B. aus Aluminium.

Zur gezeigten bündigen Anordnung einer handelsüblichen minia- turisierten Standard-Laserdiode 2, die einen Laserchip 3 und eine Monitordiode 4 enthält, als Sensor-Lichtquelle in der Lichtquellenseite 5 des Gehäusekörpers 1, ist ein entsprechend ihrer gestuften Gehäuseausgestaltung sich gestuft ins Innere des Gehäusekörpers 1 verengendes Sackloch 6 als Anord- nungsausnehmung koaxial zur nicht dargestellten Längsachse des Gehäusekörpers 1 ausgebildet. Von der darin angeordneten, z. B. einklebten, Laserdiode 2 weist die plane Stirnseite 7 mit einem dementsprechend planen Lichtaustrittsfenster 8 ins Innere des Gehäusekörpers 1.

Die drei Anschlussdrähte 9 der Laserdiode 2 enden in einer hier vorzugsweise an den Durchmesser des zylindrischen Gehäu- sekörpers 1 angepasst, entsprechend kreisrunden Platine 10.

Sie ist mit den - stilisiert dargestellten - Bauteilen 11 für die Ansteuerungselektronik der Laserdiode 2 bestückt, die mit einem nicht gezeigten Anschlusskabel mit dem Steuer- und Auswertegerät des jeweiligen Partikelzählsystems verbunden ist.

Zur Anordnung einer handelsüblichen miniaturisierten Fotodiode 12, die eine fotoempfindliche Fläche 13 enthält, als Sensor-Lichtdetektor in der Detektorseite 14 des Gehäusekörpers 1, ist ein zweites Sackloch 15 als Anordnungsausnehmung eben- falls koaxial zur Längsachse des Gehäusekörpers 1 ausgebildet. Darin ist die Fotodiode 12 mit ins Innere des Gehäusekörpers 1 weisender, ebenfalls planer Stirnseite 16 mit einem dementsprechend planen Lichteintrittsfenster 17 mittels eines Halterings 18 aus Kunststoff zur elektrischen Isolation ihres metallenen Gehäuses gegenüber dem metallenen Gehäusekörper 1 im Sackloch 15 gehalten.

Auch ihre drei Anschlussdrähte 19 enden in einer hier ebenso vorzugsweise bündig mit dem Umfangsrand der Detektorseite 14 abschließend gezeigten kreisrunden Platine 20, die mit - auch stilisiert dargestellten - Bauteilen 11 für die Ansteuerungselektronik der Fotodiode 12 bestückt ist und auch mit einem nicht gezeigten Anschlusskabel mit dem Steuer- und Auswertegerät des jeweiligen Partikelzählsystems verbunden ist.

Beide Platinen 10, 20 können zudem z. B. durch jeweils eine in den Figuren nicht dargestellte, z. B. seitlich auf den

Gehäusekörper 1 aufgeschobene Kappe aus Kunststoff zusätzlich gehalten und geschützt sein, aus denen die externen Anschlusskabel der Platinen herausgeführt sind.

Im Inneren des Gehäusekörpers 1 ist eine die beiden Sacklöcher 6, 15 begrenzende bzw. voneinander trennende kreisrunde, senkrecht zur Längsachse des Gehäusekörpers 1 verlaufende Art Lochblende 21, z. B. mittels einer einfach ausführbaren Fräs- und Bohrwerkzeug-Bearbeitung, ausgebildet. Sie ist mem- branähnlich extrem dünn und weist sozusagen nur eine "Papierblatt-Dicke" zwischen ca. 0,1 mm und max. ca. 0,2 mm auf. Für den von links nach rechts vorgesehenen Durchgang eines Partikel 22 enthaltenden Mediumstroms 23 ist sie, um Koinzidenzfehler möglichst zu vermeiden, mit einer lochförmig-kreis- runden Engpassöffnung 24 versehen mit dem im Hinblick auf das jeweils vorgesehene Partikelträgermedium oder die im Mediumstrom 23 erwarteten größtmöglichen Partikelgrößenordnung kleinstmöglichen Durchmesser. Ihre Positionierung ist so gewählt, dass sie von der von der Laserdiode 2 definierten optischen Achse durchquert wird, die hier mit der Längsachse des Gehäusekörpers 1 zusammenfällt.

Als Lochblende 21 kann auch eine im Gehäusekörper 1 angeordnete, z. B. eingeklebte Einlochscheibe vorgesehen sein.

Die Abstände zwischen der Stirnseite 7 mit dem Lichtaustrittsfenster 8 der Laserdiode 2 und der Vorderseite der Lochblende 21 sowie deren Rückseite und der Stirnseite 16 mit dem Licht- eintrittsfenster 17 der Fotodiode 12 sollen sowohl einen nur spaltartig-schmalen, also möglichst geringvolumigen Zuführzwischenraum 25 als auch Abführzwischenraum 26 für den Mediumstrom 23 bewirken, da in beiden durch das sie entweder von der Laserdiode 2 zur Engpassöffnung 23 bzw. von dieser zur Fotodiode durchquerende Laserstrahl-Licht Koinzidenzfehler entstehen können.

Z. B. kann der vom Partikelträgermedium abhängige Durchmesser der üblicherweise kreisrunden Engpassöffnung 24 bei Wasser z.

B. ca. 0,3 mm, bei Öl z. B. ca. 0,5 mm und bei Luft z. B. ca.

1 bis 2 mm und mehr betragen. Dementsprechend betragen dann die überwiegend daran anpassbaren Abstände von Laserdiode 2 und Lochblende 21, zur Ausbildung des Zuführzwischenraums 25, bzw. von Lochblende 21 und Fotodiode 12, zur Ausbildung des Abführzwischenraums 26, ebenso bei Wasser ca. 0,3 mm, bei Öl ca. 0,5 mm und bei Luft ca. 1 bis 2 mm und mehr.

Der Gehäusekörper 1 der überwiegend jeweils nur zur Prüfung der in einer bestimmten Mediumgattung enthaltenen Partikel 22 ausgelegten und dementsprechend einsetzbaren erfindungsgemäßen Partikelsensoren ist herstellungsmäßig auf einfache Weise daran anpassbar. Nämlich z. B. durch Bohren entsprechend kleiner Engpassöffnungen 24 sowie durch entsprechend tiefe Ausbildung der und/oder entsprechende Montage der Laserdiode

2 und der Fotodiode 12 in entsprechender Entfernung von der Lochblende 21 in ihren Sacklöchern 6 bzw. 15. Demgemäß müssen die Partikelsensoren für ihren jeweiligen Prüf- oder Kontrolleinsatz in der richtigen, z. B. mediumkonformen Ausle- gung ausgewählt werden.

Außen am Gehäusekörper 1, d. h. auf seiner Mantelfläche, sind ein Zuführ-Schlauchanschlussstutzen 27 und ein Abführ-Schlauch- anschlussstutzen 28 für den jeweiligen Mediumstrom in annähernd einander gegenüberliegender, seitwärts voneinander versetzter Anordnung ausgebildet. Mit ihnen werden die jeweils auf Partikel 22 zu untersuchenden Medienströme 23 dem Gehäu- sekörper 1 mittels eines - entsprechend dünnen - Schlauches zugeführt und danach ebenso wieder aus dem Gehäusekörper 1 abgeführt. Von diesen beiden Stutzen 27, 28 führt jeweils rechtwinklig, also radial zur Längsachse des Gehäusekörpers 1, ein kurzer Stichkanal 29, 30 in dessen Inneres bis zur Wandung der beiden Sacklöcher 6, 15, wo er jeweils durch eine zum jeweils größeren Teil vom Gehäuse der Laserdiode 2 bzw. der Fotodiode 12 verdeckte Öffnung in den schmalen hohl- zylindrischen Medienstrom-Zuführ- bzw. Abführzwischenraum 24, 26 einmündet. Somit wird der den Gehäusekörper 1 durchströ- mende Mediumstrom 23 zweimal um jeweils 90° umgelenkt, was vorteilhaft für die kompakte Ausgestaltung des Gehäusekörpers 1 genutzt werden kann.

Auch trägt dazu bei, dass die beiden Stichkanäle 29, 30 nur durch die Breite der Lochblende 2, d. h., wie im Längsschnitt in Fig. 1 gezeigt, nur entsprechend äußerst geringfügig voneinander beabstandet sind und somit ihre Mündungsöffnungen in die Sacklöcher 6, 15 von Laserdiode 2 und Fotodiode 12 an jeweils einer Öffnungsrandstelle an die Vorder- bzw. Rückseite der Lochblende 21 angrenzen. D. h., diese beiden Seiten der Lochblende 2 gehen an diesen beiden Stellen platzsparend und totraumvermeidend jeweils unterbrechungsfrei in die Innenwandung des jeweiligen Stichkanals 29, 30 über.

Statt der in den beiden Figuren gezeigten jeweils radialen, etwa annähernd einer Durchmesserlinie entsprechenden Verlaufsrichtung der beiden Stichkanäle 29, 30, könnten diese auch anders gerichtet zu dem Zuführ- bzw. Abfuhr-Zwischenraum 24, 26 verlaufend ausgebildet sein und z. B. einen Winkel von z. B. nur 90° bilden.

Wie insbesondere in der Vergrößerung der Fig. 2 veranschau- licht, sendet der Laserchip 3 der Laserdiode 2 einen Laser- Lichtstrahl 31 durch deren planes Lichtaustrittsfenster 8 aus. Er trifft, je nach vorgesehenem Partikelträgermedium, nach der ggf. kurzen Entfernung von z. B. nur ca. 0,3 mm bis ca. 2 mm als geringfügig divergierter Lichtkegel auf die Lochblende 21 auf, deren Engpassöffnung 24 er folglich überdeckend beleuchtet. Allerdings dürfte das Ausmaß der Divergenz des in der Vergrößerung in Fig. 2 zur Veranschaulichung gezeigten Lichtkegels übertrieben sein.

In Abhängigkeit vom Abstrahlwinkels des Laserstrahls 31 vom Laserchip 3 nimmt zumeist nur ein relativ kleiner Teil, d. h. ein äußerer Kranz des erzeugten Lichtkegels, nicht an deren Beleuchtung teil. Eine Beleuchtungs-Optimierung könnte ggf. durch Anpassung der Querschnittsform der Engpassöffnung an die des keulenförmig divergierenden Laserstrahls 31 erfolgen.

Durch die membranartig extrem dünne Lochblende 21 von z. B. nur ca. 0,1 mm Dicke ist der Laserstrahl 31 im Durchgangsbereich durch die Engpassöffnung 24 annähernd konstant homogen. Die Größe eines, wie in Fig. 2 gezeigt, im Mediumstrom 23 die Engpassöffnung 24 passierenden Partikels 22 wird von der Fotodiode 12 durch Messen der von ihm durch Lichtabschattung 32 des Laserstrahls 31 im Vergleich zur Lichtmenge bei partikelfreier Engpassöffnung bewirkten Lichtmengendifferenz und deren Umsetzen in ein entsprechendes Spannungssignals für die anschließende Partikelzähl-Auswertung erfasst. Idealerweise erfolgt die Partikelgrößenmessung genau in der Ebene der Engpassöffnung 23 bzw. der Lochblende 21, d. h. im Zentrum des Lichtkegels.

Für eine weitere Verringerung der in den nicht über ihre gesamte Erstreckung durchströmten Zwischenräumen sich ausbildenden Toträume im Gehäusekörper 1, in denen sich sonst insbesondere z. B. Feststoffkörper-Partikel 22 aus flüssigen und gasförmigen Medienströmen bis hin zur Sensor-Verstopfung ab- lagern könnten, können, wie in der Ausschnitts-Vergrößerung in Fig. 2 gezeigt, sowohl von dem einen schmalen, scheibenartig kreiszylindrischen Hohlraum bildenden Zuführ-Zwischen- raum 25 unterhalb der Engpassöffnung 24 wie auch von dem überwiegend einen ebensolchen Hohlraum bildenden Abführ- Zwischenraum 26 zumindest ein segmentförmiger Abschnitt oberhalb der Engpassöffnung 24 verschlossen sein. Und zwar jeweils durch eine an die in diesem Bereich vom Gehäuse der Laserdiode 2 und dem Lichtaustrittsfenster 8 bzw. dem Gehäuse der Fotodiode 12 und dem Lichteintrittsfenster 17 vorgegebe- nen Kontur bündig daran anschließend ausgebildete Materialverdickungen 33, 34 der Lochblende 21.

Die das Segment des Abfuhr-Zwischenraums 25 verschließende Materialverdickung 33 könnte auch noch den davon betroffenen Randabschnitt des Gehäuses der Fotodiode 12 bis hin zum Haltering 18 umgreifend ausgebildet sein, um auch diesen Hohlraum zu verschließen.

Die in der Vergrößerung in Fig. 2 gezeigten Materialver- dickungen 33, 34 können, statt nur segmentartig ausgebildet zu sein, auch jeweils als eine rotationssymmetrische 3-dimen- sionale Materialverdickung mit kreisringförmiger Grundfläche mit der Engpassöffnung 24 im Zentrum ausgebildet sein. Der dadurch dann jeweils auf beiden Seiten der Lochblende 21 entstehende zentrische napfförmige Hohlraum könnte durch jeweils eine stirnseitige Nut in der Stirnseite der beiden Material- Verdickungen 33, 34 mit dem Zuführ-Stichkanal 29 bzw. dem Ab- führ-Stichkanal 30 in Verbindung stehen.

Die so zusätzlich verkleinerten Toträume verringerten nochmals den Spülaufwand für einen Partikelsensor bei seiner Vor- bereitung für die nächste Partikel-Kontrollprüfung.

Aufgrund des auch, wie in den beiden Figuren gezeigt, im Vergleich zum eingangs zitierten Stand der Technik nahezu miniaturisiert ausführbaren Gehäusekörpers 1 eines erfindungsgemä- ßen Partikelsensors, kann dieser z. B. auch unmittelbar in einer ein auf Partikel zu untersuchenden Mediumstrom weiterleitenden Leitung eingesetzt werden, also ohne z. B. einen Teilstrom des Mediums daraus abzweigen zu müssen.

Mit der erfindungsgemäßen neuen Partikelsensor-Gattung mit neuartig kompakt-miniaturisiert ausgebildeten Gehäusekörper 1 können somit ganz neue Einsatzbereiche für die Partikelzählung erschlossen werden.

Bezugszeichenliste

1 Gehäusekörper 2 Lichtquelle, Laserdiode

3 Laserchip

4 Monitordiode

5 Seitenfläche, Lichtquellenseite von 1

6 Anordnungsausnehmung, gestuftes Sackloch für 2 7 Stirnseite von 2

8 Lichtaustrittsfenster von 2

9 Anschlussdrähte von 2

10 Platine von 2

11 Bauteile von 10 und 20 12 Lichtdetektor, Fotodiode

13 fotoempfindliche Fläche von 12

14 Seitenfläche, Detektorseite von 1

15 Anordnungsausnehmung, Sackloch für 12

16 Stirnseite von 12 17 Lichteintrittsfenster von 12

18 Haltering

19 Anschlussdrähte von 12

20 Platine von 12

21 Lochblende 22 Partikel

23 Mediumstrom

24 Engpassöffnung

25 Zufuhr-Zwischenraum

26 Abfuhr-Zwischenraum 27 Zuführ-Anschluss, Zuführ-Schlauchanschlussstutzen

28 Abführ-Anschluss, Abführ-Schlauchanschlussstutzen

29 kanalartiger Abschnitt, Zuführ-Stichkanal

30 kanalartiger Abschnitt, Abführ-Stichkanal Lichtstrahl, Laserstrahl Lichtabschattung Materialverdickung Materialverdickung

Claims

Patentansprüche

1. Partikelsensor für stromende flussige oder gasformige

Medien mit - einem Mediumstromungsweg, der wenigstens einen Zufuhr- anschluss (27) für den Mediumstrom (23), eine Engpassausgestaltung (23) für die Partikeldetektion und einen Abfuhranschluss (28) für den Mediumstrom aufweist,

- einer miniaturisierten Lichtquelle (2) mit einer Stirn- seite (7) mit einem Lichtaustrittsfenster (8) zur Aussendung eines zur Beleuchtung der Engpassausgestaltung (23) bestimmten Lichtstrahls (31) und

- einem miniaturisierten Lichtdetektor (12) mit einer Stirnseite (16) mit einem Lichteintrittsfenster (17) zur Aufnahme des durch die Engpassausgestaltung (23) hindurchgegangene Lichtstrahl-Lichts, dadurch gekennzeichnet,

- dass ein Gehausekorper (1) mit zwei sich gegenüberliegenden Seitenflachen (5, 14) mit jeweils einer sich in ihn hinein erstreckend ausgebildeten Anordnungsaus- nehmung (6, 15) für die Lichtquelle (2) bzw. den Lichtdetektor (12) vorgesehen ist,

- dass diese beiden Anordnungsausnehmungen (6, 15) durch eine im Inneren des Gehausekorpers (1) zwischen ihnen vorgesehene membranahnlich dünne, zu der von der Lichtquelle (2) definierten optischen Achse senkrecht ausgerichteten Art Lochblende (21) voneinander getrennt sind, welche als Engpassausgestaltung (24) eine lochfόrmige Engpassoffnung mit geringer, vom jeweiligen Sensor-Ein- satzzweck abhangiger Große in einer ihr Durchqueren von der optische Achse ermöglichenden Position aufweist,

- dass sich die Lichtquelle (2) in der in ihrer Anord- nungsausnehmung (6) wie vorgesehen eingenommenen Anord- nungsposition mit zumindest einem Teilbereich ihrer Stirnseite (7) und des an dieser vorgesehenen Lichtaustrittsfensters (8) in einem zumindest an die jeweils ausgeführte Größe der Engpassöffnung (24) angepasst gerin- gen, die Ausbildung eines spaltartig-schmalen Zuführzwischenraums (25) für den Medienstrom (23) bewirkenden Abstand von der Vorderseite der Lochblende (21) befindet,

- dass sich auch der Lichtdetektor (12) in der in seiner Anordnungsausnehmung (15) wie vorgesehen eingenommenen Anordnungsposition mit zumindest ebenfalls einem Teilbereich seiner Stirnseite (16) und des an dieser vorgesehenen Lichteintrittsfensters (17) in einem zumindest annähernd auch zumindest an die jeweils ausgeführte Größe der Engpassöffnung (24) angepasst geringen, die Aus- bildung eines spaltartig-schmalen Abfuhr-Zwischenraums (26) für den Medienstrom (23) bewirkenden Abstand von der Rückseite der Lochblende (21) befindet und

- dass der Medien-Strömungsweg zumindest jeweils einen kanalartig ausgebildeten Abschnitt (29, 30) zur Verbin- düng sowohl des Zuführanschlusses (27) für den Mediumstrom (23) mit dem Zufuhr-Zwischenraum (24) als auch des Abfuhr-Zwischenraumes (26) mit dem Abführanschluss für den Medienstrom (28) aufweist.

2. Partikelsensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Gehäusekörper (1) als ein miniaturisierter kreiszylindrischer Körper ausgebildet ist.

3. Partikelsensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei den beiden kanalartig ausgebildeten Abschnitten (29, 30) des Mediumströmungswegs um zwei radial zur Längsachse des Gehäusekörpers (1) von dessen Außenwandung in dessen Inneres verlaufende, jeweils durch eine Öffnung in der Wandung der Anordnungsausnehmung (6 bzw. 15) der Lichtquelle (2) bzw. des Lichtdetektors (12) in diese einmündende Stichkanäle handelt.

4. Partikelsensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die einander benachbarten Wandungsränder der beiden Stichkanäle (29, 30) lediglich um die Breite der Lochblende (21) voneinander beabstandet sind, so dass deren Mündungsöffnungen mit jeweils einer Randstelle an die Vorder- seite bzw. Rückseite der Lochblende (20) angrenzen.

5. Partikelsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Lichtquelle (2) eine handelsübliche miniaturisierte Standard-Laserdiode mit einem zumindest auf ihrer Außenseite plan ausgebildeten Lichtaustrittsfenster (8) an ihrer planen Stirnseite (7) vorgesehen ist.

6. Partikelsensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Ansteuerelektronik für die Laserdiode (2) auf einer an der Lichtquellenseite (5) des Gehäusekörpers (1) vorgesehenen, durch eine sie umschließende Schutzvorrichtung geschützte Platine (10) angeordnet ist.

7. Partikelsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Lichtdetektor (12) eine handelsübliche miniaturisierte Standard-Fotodiode mit einem plan ausgebildeten Lichteintrittsfenster (17) an ihrer planen Stirnseite (16) vorgesehen ist.

8. Partikelsensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass auch die Ansteuerelektronik für die Fotodiode (12) auf einer an der Detektorseite (14) des Gehäusekörpers (1) vorgesehenen, durch eine sie umschließende Schutzvorrichtung geschützte Platine (20) angeordnet ist.

9. Partikelsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Innenseite des planen Lichtaustrittsfensters (8) der Laserdiode (2) ein Kollimator vorgesehen ist.

10. Partikelsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der ab einer geringen Entfernung von der Engpassöffnung (24) bis zu dem dem Zu- führanschluss (27) gegenüberliegenden Randbereich der Anordnungsausnehmung (6) der Laserdiode (2) einen seg- mentförmigen Totraum zwischen der Stirnseite (7) mit dem Lichtaustrittsfenster (8) der Laserdiode (2) und der Vorderseite der Lochblende (21) bildende Abschnitt des hohl- zylindrischen Zufuhr-Zwischenraums (24) durch eine an die in diesem Bereich vom Gehäuse der Laserdiode (2) und ihrem Lichtaustrittsfenster (8) bestimmte Kontur bündig an- schließend ausgebildete Materialverdickung (33) verschlossen ist.

11. Partikelsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass auch der ab einer geringen Entfernung von der Engpassöffnung (23) bis zu dem dem Abführanschluss (28) gegenüberliegenden Randbereich der Anordnungsausnehmung (15) der Fotodiode (12) einen segmentförmigen Totraum zwischen der Rückseite der Lochblende (21) und der Stirnseite (16) mit dem Licht- eintrittsfenster (17) der Fotodiode (12) bildende Abschnitt des hohlzylindrischen Abfuhr-Zwischenraum (26) durch eine ebenfalls an die in diesem Bereich zumindest vom Gehäuse der Fotodiode (12) und ihrem Lichteintritts- fenster (17) bestimmte Kontur bündig anschließend ausgebildete Materialverdickung (34) verschlossen ist.

12. Partikelsensor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass sich die segmentförmige Materialverdickung (34) bis zu dem die Fotodiode (12) haltenden Haltering (18) erstreckt.

13. Partikelsensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass anstelle einer Laserdiode (2) eine Leuchtdiode (LED) vorgesehen ist.

14. Partikelsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass an Stelle von Lichtquelle (2) und Lichtdetektor (12) jeweils ein in deren Anordnungsausneh- mungen (6, 15) endender Lichtwellenleiter vorgesehen ist.