WO2006067317A2 - Procede pour augmenter l'hydrophobicite d'un revetement externe d'un dispositif d'analyse, tel qu'une biopuce, un tel dispositif et procedes pour sa fabrication. - Google Patents

Procede pour augmenter l'hydrophobicite d'un revetement externe d'un dispositif d'analyse, tel qu'une biopuce, un tel dispositif et procedes pour sa fabrication. Download PDF

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    • B01L2300/161—Control and use of surface tension forces, e.g. hydrophobic, hydrophilic
    • B01L2300/165—Specific details about hydrophobic, oleophobic surfaces

Definitions

  • BIOPUCE SUCH A DEVICE AND METHODS FOR MANUFACTURING THE SAME
  • the present invention relates to a method for increasing the hydrophobicity of an outer coating of a chemical and / or biological analysis device, such as a biochip, such a device and methods for its manufacture.
  • Chemical and / or biological analysis devices such as microreactor chips, are especially designed to provide a high density of sites for this analysis.
  • These devices typically comprise a substrate provided with microcuvettes, each of which is intended to contain and to locate a determined volume of a specific reagent, typically delivered in the form of drops of an oligonucleotide-based reagent, in order to a chemical and / or biological reaction implemented during the analysis.
  • a specific reagent typically delivered in the form of drops of an oligonucleotide-based reagent
  • each microcuvette for example by depositing thick photosensitive polymers on the biochip, or by fixing on the latter etched plates of glass, silicon or plastic.
  • This increase in the height of the microcuvettes has the disadvantage of potentially generating there air bubbles and unwanted capillary effects during their filling, which penalizes the aforementioned fixing and also the rinsing and emptying of these microcuvettes.
  • this increase in height contributes to slowing down the diffusion of the "target" species reacting specifically during the analysis with the reagents fixed in the bottom of the microcuvettes.
  • hydrophobic materials and hydrophilic materials have been deposited in the past on the edges of the microcuvettes, on the one hand, and on the other hand. their side walls and their bottoms, on the other hand, as indicated in the patent document FR-A-2 783 179 in the name of the Applicant.
  • These hydrophobic materials are obtained by a silanization process using various solvents for a period of several hours and a chemical treatment of the surfaces to be treated, for example by means of soda or boiling water.
  • silanization process A potential disadvantage of this silanization process lies in the fact that these solvents and this chemical treatment are likely to damage the structure of the bio-chip, in particular the metal electrical contacts and any photosensitive polymers that it contains.
  • silane fixation inherent in this process requires the prior addition of an intermediate layer of silica or silicon nitride on the edges of the microcuvettes, when these edges are of polymeric type.
  • An object of the present invention is to overcome these disadvantages, and this object is achieved in that the Applicant has surprisingly discovered that, if subjected to treatment with an organic plasma selected from the group consisting of fluorocarbon plasmas and plasmas with siloxane groups, a biocompatible and perforated external coating of a chemical and / or biological analysis device, such as a biochip, comprising a substrate covered by this coating, which surrounds a plurality of cuvettes, for the determination of chemical and / or biological reagents to constitute test sites, the hydrophobicity of this coating can be significantly increased by depositing a hydrophobic film thereon, so that optimizing the volume of the reagent located around said film in each cuvette.
  • an organic plasma selected from the group consisting of fluorocarbon plasmas and plasmas with siloxane groups
  • this hydrophobic film forming the outer edges of the cuvettes makes it possible to ensure simultaneous and optimized filling of a multitude of micro-cuvettes (typically several thousand), by soaking and removal of the analysis device in a single reagent, for example based on oligonucleotides for a "Polymerase Chain Reaction” type reaction (PCR).
  • PCR Polymerase Chain Reaction
  • this plasma treatment according to the invention makes it possible to directly deposit said hydrophobic film on said coating, without prior deposition of an intermediate layer based on silica or silicon nitride, for example, such as that mentioned above. relationship with a hydrophobic silanization treatment.
  • a substrate that can be used in said analysis device mention may be made of any mineral or organic, biocompatible and typically hydrophilic substrate that may be of the active or passive type (ie with or without an integrated electronic system, respectively).
  • a material that can be used to form said coating partially covering said substrate mention may also be made of any mineral or organic material that is biocompatible and typically hydrophilic.
  • materials that can be used to independently form said substrate and said coating mention may for example be made of materials based on glass, silicon or a polymer such as a thermoplastic polymer, thermosetting polymer or an elastomer.
  • the hydrophilic material which is used to constitute said coating is based on at least one crosslinked photosensitive polymer which may be for example:
  • thermoplastic polymer preferably a polyimide, such as a crosslinked polyimide of "probimide” name, or a thermosetting polymer, such as a positive or negative photoresist which is sensitive to ultraviolet radiation, advantageously an epoxy naming resin "Su8”.
  • said organic plasma used for the surface treatment is advantageously chosen from the group consisting of C 4 Fe, CF 4 , C 2 F 6 and C 3 F 8 plasmas. of CsFs, for obtaining said hydrophobic film which then comprises CF 2 groups.
  • said organic plasma is an octamethyltetrasiloxane plasma (OMCTS), for obtaining said hydrophobic film which then comprises SiO x C y groups .
  • OCTS octamethyltetrasiloxane plasma
  • said organic plasma is used cold in the field of radio frequencies, and it is for a period of time which may for example vary from 30 seconds to about 1 minute in a plasma reactor preferably operating in the field of radio frequencies.
  • Said hydrophobic film obtained by this plasma treatment may consist of one or more monolayers having a total thickness ranging from 50 nm to 1 ⁇ m.
  • Another aspect of the present invention is to provide a chemical and / or biological analysis device, such as a biochip, that is obtainable by the method mentioned above for increasing the hydrophobicity of the outer coating of the invention. analysis device.
  • said device comprises: an organic or mineral substrate, an organic or inorganic biocompatible coating, such as a plate, which covers said substrate with perforations, each perforation defining a bowl including a side wall and a bottom are respectively formed by said coating and said substrate, each cuvette being intended to fix a chemical and / or biological reagent in order to constitute an analysis site, and - a hydrophobic film which covers said coating, with the exception of said side walls of cuvettes, and which has CF 2 groups or SiO x C y groups , so as to optimize the volume of said reagent located around said film in each cuvette.
  • an organic or mineral substrate an organic or inorganic biocompatible coating, such as a plate, which covers said substrate with perforations, each perforation defining a bowl including a side wall and a bottom are respectively formed by said coating and said substrate, each cuvette being intended to fix a chemical and / or biological reagent in order to constitute an analysis site, and - a hydrophobic film which covers said coating, with
  • each cuvette may have, in a nonlimiting manner, a shape, for example cylindrical, frustoconical or prismatic, the cylindrical geometry being preferred.
  • said coating is advantageously based on at least one crosslinked photosensitive polymer of thermoplastic or thermosetting type, such as a polyimide or an epoxy resin, and said hydrophobic film advantageously has a thickness ranging from 50 nm to 1 ⁇ m.
  • a manufacturing method according to the invention of said analysis device comprises the following successive steps:
  • said protective layer may be deposited in step (ii) by "spoting", and it is preferably based on at least one compound selected from the group consisting of polyvinyl alcohol, photosensitive resins, such as epoxy resins, and sugars, such as sucrose or trehalose; and - said protective layer is removed in step (iv) by the technique of "lift off” by means of a bath of acetone, alcohol or water.
  • a manufacturing method according to the invention of said analysis device comprises the following successive steps:
  • (iii) is insole then develops, on a portion of said hydrophobic film which covers said plate, a protective layer which is intended to protect the film vis-à-vis an oxygen plasma and which is based on at least one photosensitive resin, such as an epoxy resin,
  • said protective layer is removed by means of a bath of acetone, alcohol or water.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an analysis device according to the invention in a first phase of its manufacturing method according to a first exemplary embodiment of the invention
  • FIG. 2 is a diagrammatic view in section. transverse of the analysis device of FIG. 1 in a second phase of its manufacturing method according to said first example
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the analysis device of FIG. 1 in a third phase of its method; according to said first example, FIG.
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of an analysis device according to the invention in a first phase of its manufacturing method according to a second exemplary embodiment of the invention
  • FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of the analysis device of FIG. 4 in a second phase of its manufacturing method according to said second example
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of the analysis device of FIG. 4 in a third phase of its manufacturing method according to said second example
  • FIG. 7 is a diagrammatic cross-sectional view of the analysis device of FIG. 4. in a fourth phase of its manufacturing method according to said second example
  • FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of the analysis device of FIG. 4 in a second phase of its manufacturing method according to said second example
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of the analysis device of FIG. 4 in a third phase of its manufacturing method according to said second example
  • FIG. 7 is a diagrammatic cross-sectional view of the analysis device of FIG. 4. in a fourth phase of its manufacturing method according
  • FIG. 8 is a bar graph illustrating the contact angles (in degrees) obtained for drops of water deposited on two untreated hydrophilic coatings and on these two same hydrophobized coatings according to the invention
  • FIG. 9 is a bar graph illustrating the volumes of water deposited before overflow (in ⁇ L) in three microcaps of different capacities (in ⁇ L), for an analysis device. not according to the invention and for another analysis device according to the invention. As illustrated in FIGS.
  • a chemical and / or biological analysis device 1 such as a biochip, comprises: a substrate 2, a biocompatible plate 3 which covers the substrate 2 with perforations, each perforation defining a microcuvette 4 including a cylindrical side wall 5 and a bottom 6 are respectively formed by the plate 3 and the substrate 2, each microcuvette 4 being intended to fix a chemical and / or biological reagent in order to to constitute an analysis site, and a hydrophobic film 7 which covers the plate 3, with the exception of the side walls 5 of the microcuvettes 4.
  • a method of manufacturing the analysis device 1 according to a first exemplary implementation of the invention comprises the following successive steps:
  • a "spoting" apparatus 8 is deposited on the bottom 6 of each microcuvette 4, a protective layer 9 (see FIG. 1) which is intended to protect the substrate 2 from the plasma used in step (ii) and which is preferably based on polyvinyl alcohol, a photoresist or a sugar,
  • the hydrophobic film 7, T is deposited on both the plate 3 and on the protective layer 9 covering the bottoms 6 (see FIG. 2), by a surface treatment using a cold fluorocarbon plasma or by siloxane groups; this treatment is carried out in a "NEXTRAL NE110" commercial plasma reactor which uses, in a vacuum chamber maintained at a pressure of 60 mTorr, a radio frequency generator, and then
  • a method of manufacturing the analysis device 1 according to a second exemplary implementation of the invention comprises the following successive steps:
  • each microcuvette 4 by a surface treatment which is carried out as described in the first example above by means of a cold fluorocarbon or siloxane-containing plasma,
  • the protective film 10 (see FIG. 5), which is intended to protect the film 7 against a plasma of which the film 3 is covered, is developed on the part of the film 7 which covers the plate 3; oxygen P 02 and which is based on a photoresist,
  • NEXTRAL NE110 which uses, in a vacuum chamber maintained at a pressure of 10 mTorr, a radiofrequency generator, then
  • the layer 10 deposited in (ii) is removed by means of a bath of acetone, alcohol or water to obtain the device 1 illustrated in FIG. 7 which comprises the hydrophobic film 7 covering only the plate 3.
  • the first "control" hydrophilic coating T1 is based on an annealed "probimide” type polyimide, which is marketed by the company OLIN MATERIALS under the name "Polyimide 7520".
  • the second "control" hydrophilic coating T2 is based on an epoxy resin marketed by MICROCHEM under the name "SU-8".
  • the first laminate according to the invention 11 consists of said coating T1 having been treated with a cold fluorocarbon CF 4 (octafluorocyclobutane) plasma for about 1 minute in said "NEXTRAL NE110" plasma reactor which uses, in a vacuum chamber maintained at 60 mTorr, a radio frequency generator set at 512 MHz.
  • This laminate 11 is thus provided with a hydrophobic film according to the invention having CF 2 groups and a thickness of a few hundred nm.
  • the second laminate according to the invention 12 consists of said coating T2 having been treated under the same conditions by this same cold CF 4 plasma, in order to obtain a hydrophobic film also having CF 2 groups and a thickness similar to that from the movie of 11.
  • the wetting of coatings T1, T2 and laminates 11, 12 was quantified by the so-called water drop method, well known to those skilled in the art. This method consists in depositing a drop of water on the surface to be tested by means of a micro-syringe and measuring, with a camera incorporated in a "DIGIDROP" device, the contact angle between the base of the drop on the surface and the outer tangent to this surface.
  • a surface is considered hydrophobic if the contact angle measured is greater than 90 °, and hydrophilic if this contact angle is less than 90 °.
  • the graph of FIG. 8 illustrates the average contact angles ⁇ obtained (in degrees °) for each coating T1, T2 and laminate 11, 12. This graph shows that the contact angles relating to the "control" coatings T1 and T2 are included between 60 ° and 80 °, testifying to the hydrophilicity of these coatings based on photosensitive polymers, while the average contact angles relative to the laminates 11 and 12 incorporating the hydrophobic film deposited by CF 4 plasma are greater than 100 °.
  • the plasma treatment according to the invention makes it possible to make a coating plate 3 very hydrophobic for an analysis device 1, such as a biochip.
  • the optimization of the volume of water Ve actually localized before overflow has been quantified in three types of microcuvettes 4 of different volumes Vc which are formed on the surface of biochips BH according to the invention, which are manufactured according to the first or second examples and thus each incorporate a hydrophobic film 7 on the edges of the micropits 4 formed on the coating plate 3.
  • the plate 3, type "probimide”, and the film 7 groups CF 2 are identical to those of said laminate 11 according to the invention.
  • the hydrophobic film 7 deposited according to the invention makes it possible to ensure simultaneous and optimized filling of thousands of microcuvettes 4, by partial soaking and removal of the biochip 1 in a reagent, because of this high hydrophobicity aforementioned edges 7. It is thus possible to dispense with a micro-dispenser-type robot for a controlled delivery of the reagent into the microcuvettes 4, and the presence of residual drops of reagent on these edges 7 which is capable of contaminating micrometers is avoided. 4 adjacent bowls by "bridging".

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Abstract

La présente invention concerne un procédé pour augmenter l'hydrophobicité d'un revêtement externe ajouré (3) d'un dispositif d'analyse (1) chimique et/ou biologique, tel qu'une biopuce, un tel dispositif comportant un substrat (2) et ce revêtement qui recouvre le substrat en entourant une pluralité de cuvettes (4) destinées à fixer des réactifs chimiques et/ou biologiques en vue de constituer des sites d'analyse. L'invention concerne également des procédés de fabrication de ce dispositif d'analyse. Le procédé selon l'invention pour augmenter l'hydrophobicité de ce revêtement externe (3) comprend un traitement dudit revêtement au moyen d'un plasma organique choisi dans le groupe constitué par les plasmas fluorocarbonés et les plasmas à groupes siloxanes, pour le dépôt d'un film hydrophobe (7) sur ledit revêtement, de sorte à optimiser le volume dudit réactif localisé autour dudit film dans chaque cuvette.

Description

PROCEDE POUR AUGMENTER L'HYDROPHOBICITE D'UN
REVÊTEMENT EXTERNE D'UN DISPOSITIF D'ANALYSE, TEL QU'UNE
BIOPUCE, UN TEL DISPOSITIF ET PROCEDES POUR SA FABRICATION.
La présente invention concerne un procédé pour augmenter l'hydrophobicité d'un revêtement externe d'un dispositif d'analyse chimique et/ou biologique, tel qu'une biopuce, un tel dispositif et des procédés pour sa fabrication.
Les dispositifs d'analyse chimique et/ou biologique, tels que des puces à microréacteurs, sont notamment conçus pour procurer une densité élevée de sites pour cette analyse. Ces dispositifs comportent typiquement un substrat pourvu de micro-cuvettes, dont chacune est destinée à contenir et à localiser un volume déterminé d'un réactif déterminé, typiquement délivré sous forme de gouttes d'un réactif à base d'oligonucléotides, en vue d'une réaction chimique et/ou biologique mise en œuvre lors de l'analyse. On peut par exemple citer le document de Brevet FR- A-2 781 886 au nom de la Demanderesse pour la description d'un tel dispositif.
Or, ces réactions chimiques et/ou biologiques, par exemple de type PCR (« Polymerase Chain Reaction »), imposent de disposer d'un volume de goutte minimum dans chaque micro-cuvette pour que la polymerase puisse agir. On sait que la fixation des oligonuléotides est d'autant plus importante que le volume de réactif déposé dans chaque cuvette est plus élevé, ce qui a conduit à augmenter ce volume sans modifier la densité surfacique de sites sur la biopuce.
A cet effet, on a cherché à augmenter la hauteur de chaque micro-cuvette, par exemple en déposant des polymères photosensibles épais sur la biopuce, ou bien en fixant sur cette dernière des plaques gravées de verre, de silicium ou de plastique. Cette augmentation de la hauteur des micro-cuvettes présente l'inconvénient d'y générer potentiellement des bulles d'air et des effets de capillarité indésirables lors de leur remplissage, ce qui pénalise la fixation précitée et également le rinçage et la vidange de ces micro-cuvettes. De plus, cette augmentation de hauteur contribue à ralentir la diffusion des espèces « cibles » venant réagir spécifiquement lors de l'analyse avec les réactifs fixés dans le fond des micro-cuvettes. Afin d'augmenter le volume de réactif introduit dans les microcuvettes sans modifier la hauteur de celles-ci, on a déposé par le passé des matériaux hydrophobes et des matériaux hydrophiles respectivement sur les bords des micro-cuvettes, d'une part, et sur leurs parois latérales et leurs fonds, d'autre part, comme indiqué dans le document de Brevet FR-A- 2 783 179 au nom de la Demanderesse. Ces matériaux hydrophobes sont obtenus par un procédé de silanisation utilisant divers solvants pendant une durée de plusieurs heures et un traitement chimique des surfaces à traiter, par exemple au moyen de soude ou d'eau bouillante.
Un inconvénient potentiel de ce procédé de silanisation réside dans le fait que ces solvants et ce traitement chimique sont susceptibles d'endommager la structure de la bio-puce, notamment les contacts électriques en métal et les éventuels polymères photosensibles qu'elle comporte. De plus, la fixation de silanes inhérente à ce procédé requiert l'ajout préalable d'une couche intermédiaire de silice ou de nitrure de silicium sur les bords des micro-cuvettes, lorsque ces bords sont de type polymérique.
Un but de la présente invention est de remédier à ces inconvénients, et ce but est atteint en ce que la Demanderesse a découvert d'une manière surprenante que, si l'on soumet à un traitement par un plasma organique choisi dans le groupe constitué par les plasmas fluorocarbonés et les plasmas à groupes siloxanes, un revêtement externe biocompatible et ajouré d'un dispositif d'analyse chimique et/ou biologique, tel qu'une biopuce, comportant un substrat recouvert par ce revêtement, lequel entoure une pluralité de cuvettes d'analyse destinées à fixer des réactifs chimiques et/ou biologiques en vue de constituer des sites d'analyse, alors on parvient à augmenter d'une manière significative l'hydrophobicité de ce revêtement en y déposant un film hydrophobe, de sorte que l'on optimise le volume du réactif localisé autour dudit film dans chaque cuvette.
On notera que cette hydrophobicité nettement accrue permet d'augmenter très nettement le volume de réactif effectivement localisé dans chaque cuvette, de par l'accentuation de la courbure supérieure de la goutte de réactif ancrée dans chaque cuvette du fait de la forte hydrophobicité des bords externes de cette dernière, en comparaison du volume du même réactif qui aurait été localisé dans des cuvettes identiques entourées par le même revêtement non traité.
On notera également que ce film hydrophobe formant les bords externes des cuvettes permet d'assurer un remplissage simultané et optimisé d'une multitude de micro-cuvettes (typiquement plusieurs milliers), par trempage et retrait du dispositif d'analyse dans un unique réactif, par exemple à base d'oligonucléotides en vue d'une réaction de type « Polymerase Chain Reaction » (PCR).
En effet, la forte hydrophobicité des bords externes des cuvettes se traduit par le fait que le réactif ne mouille pratiquement pas ces bords, ce qui a pour effet de le repousser immédiatement vers l'intérieur des cuvettes adjacentes en évitant la présence de toute goutte résiduelle sur ces bords qui pourrait contaminer des cuvettes voisines par « pontage ». On peut ainsi se passer d'un robot de type micro-dispenseur pour un versement contrôlé du réactif dans chaque cuvette.
On notera en outre que ce traitement par plasma selon l'invention permet de déposer directement ledit film hydrophobe sur ledit revêtement, sans dépôt préalable d'une couche intermédiaire à base de silice ou de nitrure de silicium, par exemple, telle que celle précitée en relation avec un traitement hydrophobe par silanisation. A titre de substrat utilisable dans ledit dispositif d'analyse, on peut citer tout substrat minéral ou organique, biocompatible et typiquement hydrophile pouvant être de type actif ou passif (i.e. avec ou sans système électronique intégré, respectivement). A titre de matériau utilisable pour constituer ledit revêtement recouvrant partiellement ledit substrat, on peut également citer tout matériau minéral ou organique, biocompatible et typiquement hydrophile.
A titre de matériaux utilisables pour constituer indépendamment ledit substrat et ledit revêtement, on peut par exemple citer des matériaux à base de verre, de silicium ou d'un polymère tel qu'un polymère thermoplastique, thermodurcissable ou un élastomère.
Selon un mode particulièrement avantageux de réalisation de l'invention, le matériau hydrophile qui est utilisé pour constituer ledit revêtement est à base d'au moins un polymère photosensible réticulé qui peut être par exemple:
- un polymère thermoplastique, de préférence un polyimide, tel qu'un polyimide réticulé de dénomination « probimide », ou un polymère thermodurcissable, tel qu'une résine photosensible positive ou négative qui est sensible à des rayonnements ultraviolets, avantageusement une résine époxy de dénomination « Su8 ».
Selon un mode de réalisation de l'invention, ledit plasma organique utilisé pour le traitement de surface est avantageusement choisi dans le groupe constitué par des plasmas de C4Fe, de CF4, de C2F6, de C3F8 et de CsFs, pour l'obtention dudit film hydrophobe qui comprend alors des groupes CF2.
Selon un autre mode de réalisation de l'invention, ledit plasma organique est un plasma d'octaméthyltétrasiloxane (OMCTS), pour l'obtention dudit film hydrophobe qui comprend alors des groupes SiOxCy.
Selon une autre caractéristique de l'invention, ledit plasma organique est utilisé à froid dans le domaine des radiofréquences, et il est mis en œuvre pendant une durée pouvant par exemple varier de 30 secondes à environ 1 minute dans un réacteur à plasma fonctionnant de préférence dans le domaine des radiofréquences.
Ledit film hydrophobe obtenu grâce à ce traitement par plasma peut être constitué d'une ou plusieurs monocouches présentant une épaisseur totale allant de 50 nm à 1 μm.
Un autre aspect de la présente invention est de proposer un dispositif d'analyse chimique et/ou biologique, tel qu'une biopuce, qui soit susceptible d'être obtenu par le procédé mentionné ci-dessus pour augmenter l'hydrophobicité du revêtement externe du dispositif d'analyse.
Selon cet aspect de l'invention, ledit dispositif comporte : un substrat organique ou minéral, un revêtement biocompatible organique ou minéral, tel qu'une plaque, qui recouvre ledit substrat en présentant des perforations, chaque perforation définissant une cuvette dont une paroi latérale et un fond sont respectivement formés par ledit revêtement et ledit substrat, chaque cuvette étant destinée à fixer un réactif chimique et/ou biologique en vue de constituer un site d'analyse, et - un film hydrophobe qui recouvre ledit revêtement, à l'exception desdites parois latérales de cuvettes, et qui présente des groupes CF2 ou des groupes SiOxCy, de sorte à optimiser le volume dudit réactif localisé autour dudit film dans chaque cuvette.
On notera que la présence de ces groupes CF2 ou SiOxCy dans le film hydrophobe recouvrant le revêtement permet à elle seule d'augmenter d'une manière significative l'hydrophobicité de ce revêtement, lequel est prévu de préférence hydrophile à l'instar du substrat, de sorte que l'on peut optimiser le volume dudit réactif localisé dans chaque cuvette. On notera également que ladite paroi latérale de chaque cuvette peut présenter, à titre non limitatif, une forme par exemple cylindrique, tronconique ou prismatique, la géométrie cylindrique étant préférée. Selon d'autres caractéristiques du dispositif selon l'invention : ledit revêtement est avantageusement à base d'au moins un polymère photosensible réticulé de type thermoplastique ou thermodurcissable, tel qu'un polyimide ou une résine époxy, et ledit film hydrophobe présente avantageusement une épaisseur allant de 50 nm à 1 μm.
Selon un premier exemple de mise en œuvre de l'invention, un procédé de fabrication selon l'invention dudit dispositif d'analyse comprend les étapes successives suivantes :
(i) on recouvre ledit substrat par ladite plaque, (ii) on dépose sur ledit fond de chaque cuvette une couche de protection qui est destinée à protéger ledit substrat vis-à-vis d'un plasma organique choisi dans le groupe constitué par les plasmas fluorocarbonés et les plasmas à groupes siloxanes,
(iii) on dépose ledit film hydrophobe à la fois sur ladite plaque et sur ladite couche de protection recouvrant chaque fond de cuvette, par un traitement de surface au moyen dudit plasma organique, puis (iv) on élimine ladite couche de protection revêtue dudit film, pour obtenir ledit dispositif comportant ledit film uniquement sur une face externe de ladite plaque.
Conformément à ce premier exemple selon l'invention : - ladite couche de protection peut être déposée à l'étape (ii) par « spoting », et elle est de préférence à base d'au moins un composé choisi dans le groupe constitué par l'alcool polyvinylique, des résines photosensibles, telles que des résines époxy, et des sucres, tels que le saccharose ou un tréhalose ; et - ladite couche de protection est éliminée à l'étape (iv) par la technique de « lift off », au moyen d'un bain d'acétone, d'alcool ou d'eau. Selon un second exemple de mise en œuvre de l'invention, un procédé de fabrication selon l'invention dudit dispositif d'analyse comprend les étapes successives suivantes :
(i) on recouvre ledit substrat par ladite plaque, (ii) on dépose ledit film hydrophobe à la fois sur ladite plaque et sur ledit fond de chaque cuvette, par un traitement de surface mis en œuvre au moyen d'un plasma organique choisi dans le groupe constitué par les plasmas fluorocarbonés et les plasmas à groupes siloxanes,
(iii) on insole puis on développe, sur une partie dudit film hydrophobe qui recouvre ladite plaque, une couche de protection qui est destinée à protéger ce film vis-à-vis d'un plasma d'oxygène et qui est à base d'au moins une résine photosensible, telle qu'une résine époxy,
(iv) on élimine l'autre partie dudit film hydrophobe qui recouvre le fond de chaque cuvette, par un traitement de l'ensemble obtenu en (iii) au moyen dudit plasma d'oxygène, puis
(v) on élimine ladite couche de protection déposée en (iii), pour obtenir ledit dispositif comportant ledit film uniquement sur une face externe de ladite plaque.
Conformément à ce second exemple selon l'invention, ladite couche de protection est éliminée au moyen d'un bain d'acétone, d'alcool ou d'eau.
Les caractéristiques précitées de la présente invention, ainsi que d'autres, seront mieux comprises à la lecture de la description suivante de plusieurs exemples de réalisation de l'invention, donnés à titre illustratif et non limitatif, ladite description étant réalisée en relation avec les dessins joints, parmi lesquels : la figure 1 est une vue schématique en section transversale d'un dispositif d'analyse selon l'invention dans une première phase de son procédé de fabrication selon un premier exemple de réalisation de l'invention, la figure 2 est une vue schématique en section transversale du dispositif d'analyse de la figure 1 dans une seconde phase de son procédé de fabrication selon ledit premier exemple, la figure 3 est une vue schématique en section transversale du dispositif d'analyse de la figure 1 dans une troisième phase de son procédé de fabrication selon ledit premier exemple, la figure 4 est une vue schématique en section transversale d'un dispositif d'analyse selon l'invention dans une première phase de son procédé de fabrication selon un second exemple de réalisation de l'invention, la figure 5 est une vue schématique en section transversale du dispositif d'analyse de la figure 4 dans une seconde phase de son procédé de fabrication selon ledit second exemple, la figure 6 est une vue schématique en section transversale du dispositif d'analyse de la figure 4 dans une troisième phase de son procédé de fabrication selon ledit second exemple, la figure 7 est une vue schématique en section transversale du dispositif d'analyse de la figure 4 dans une quatrième phase de son procédé de fabrication selon ledit second exemple, la figure 8 est un graphique à barres illustrant les angles de contact (en degrés) obtenus pour des gouttes d'eau déposées sur deux revêtements hydrophiles non traités et sur ces deux mêmes revêtements rendus hydrophobes conformément à l'invention, et la figure 9 est un graphique à barres illustrant les volumes d'eau déposés avant débordement (en μL) dans trois micro-cuvettes de capacités différentes (en μL), pour un dispositif d'analyse non conforme à l'invention et pour un autre dispositif d'analyse conforme à l'invention. Comme illustré aux figures 3 et 7, un dispositif d'analyse 1 chimique et/ou biologique selon l'invention, tel qu'une biopuce, comporte : un substrat 2, une plaque 3 biocompatible qui recouvre le substrat 2 en présentant des perforations, chaque perforation définissant une micro-cuvette 4 dont une paroi latérale 5 de forme cylindrique et un fond 6 sont respectivement formés par la plaque 3 et le substrat 2, chaque micro-cuvette 4 étant destinée à fixer un réactif chimique et/ou biologique en vue de constituer un site d'analyse, et un film hydrophobe 7 qui recouvre la plaque 3, à l'exception des parois latérales 5 des micro-cuvettes 4.
Comme illustré aux figures 1 à 3, un procédé de fabrication du dispositif d'analyse 1 selon un premier exemple de mise en œuvre de l'invention comprend les étapes successives suivantes :
(i) on dépose par un appareil de « spoting » 8, sur le fond 6 de chaque micro-cuvette 4, une couche de protection 9 (voir figure 1) qui est destinée à protéger le substrat 2 vis-à-vis du plasma utilisé à l'étape (ii) et qui est de préférence à base d'alcool polyvinylique, d'une résine photosensible ou d'un sucre,
(ii) on dépose le film hydrophobe 7, T à la fois sur la plaque 3 et sur la couche de protection 9 recouvrant les fonds 6 (voir figure 2), par un traitement de surface au moyen d'un plasma froid fluorocarboné ou à groupes siloxanes ; ce traitement est mis en œuvre dans un réacteur à plasma de dénomination commerciale « NEXTRAL NE110 » qui utilise, dans une enceinte sous vide maintenue à une pression de 60 mTorr, un générateur de radiofréquences, puis
(iii) on élimine par « lift off », au moyen d'un bain d'acétone, d'alcool ou d'eau, la couche de protection 9 revêtue du film 7', pour obtenir le dispositif 1 illustré à la figure 3 qui comporte le film 7 recouvrant uniquement la plaque 3. Comme illustré aux figures 4 à 7, un procédé de fabrication du dispositif d'analyse 1 selon un second exemple de mise en œuvre de l'invention comprend les étapes successives suivantes :
(i) on dépose le film hydrophobe 7, 7" à la fois sur la plaque
3 et sur le fond 6 de chaque micro-cuvette 4 (voir figure 4), par un traitement de surface qui est mis en œuvre comme décrit dans le premier exemple ci- dessus au moyen d'un plasma froid fluorocarboné ou à groupes siloxanes,
(ii) on insole puis on développe, sur la partie du film 7 qui recouvre la plaque 3, une couche de protection 10 (voir figure 5) qui est destinée à protéger ce film 7 vis-à-vis d'un plasma d'oxygène P02 et qui est à base d'une résine photosensible,
(iii) on élimine l'autre partie du film hydrophobe 7" qui recouvre les fonds 6, par un traitement de l'ensemble obtenu en (ii) au moyen du plasma d'oxygène P02 (voir figure 6) mis en oeuvre dans un réacteur
« NEXTRAL NE110 » qui utilise, dans une enceinte sous vide maintenue à une pression de 10 mTorr, un générateur de radiofréquences, puis
(iv) on élimine au moyen d'un bain d'acétone, d'alcool ou d'eau la couche 10 déposée en (ii), pour obtenir le dispositif 1 illustré à la figure 7 qui comporte le film hydrophobe 7 recouvrant uniquement la plaque 3.
Essais de mouillage et de remplissage des micro-cuvettes :
1 ) Essais de mouillage :
Pour les essais décrits ci-après en relation avec la figure 8, on a procédé à des mesures de mouillage :
- de deux différents revêtements hydrophiles « témoin » T1 et T2 à base de polymères photosensibles qui sont utilisables dans le dispositif d'analyse 1 selon l'invention et qui n'ont pas été traités (chacun de ces deux revêtements étant dépourvu de tout film hydrophobe à sa surface), et
- de ces deux mêmes revêtements ayant été traités par un plasma selon l'invention, de sorte à être tous deux recouverts du film hydrophobe de l'invention pour donner respectivement deux stratifiés 11 et 12.
Le premier revêtement hydrophile « témoin » T1 est à base d'un polyimide de type « probimide » recuit, qui est commercialisé par la société OLIN MATERIALS sous la dénomination « Polyimide 7520 ».
Le second revêtement hydrophile « témoin » T2 est à base d'une résine époxy commercialisée par la société MICROCHEM sous la dénomination « SU-8 ».
Le premier stratifié selon l'invention 11 est constitué dudit revêtement T1 ayant été traité par un plasma froid fluorocarboné de CF4 (octafluorocyclobutane) pendant environ 1 minute dans ledit réacteur à plasma « NEXTRAL NE110 » qui utilise, dans une enceinte sous vide maintenue à 60 mTorr, un générateur de radiofréquences réglé à 512 MHz. Ce stratifié 11 est ainsi pourvu d'un film hydrophobe selon l'invention présentant des groupes CF2 et une épaisseur de quelques centaines de nm.
Le second stratifié selon l'invention 12 est constitué dudit revêtement T2 ayant été traité dans les mêmes conditions par ce même plasma froid de CF4, pour l'obtention d'un film hydrophobe présentant également des groupes CF2 et une épaisseur analogue à celle du film de 11. On a quantifié le mouillage des revêtements T1 , T2 et des stratifiés 11 , 12 par la méthode dite de la goutte d'eau, bien connue de l'homme du métier. Cette méthode consiste à déposer une goutte d'eau sur la surface à tester au moyen d'une micro-seringue et à mesurer, avec une caméra de prise de vue incorporée à un dispositif de marque « DIGIDROP », l'angle de contact entre la base de la goutte sur la surface et la tangente extérieure à cette surface. De manière connue, une surface est considérée comme hydrophobe si l'angle de contact mesuré est supérieur à 90°, et hydrophile si cet angle de contact est inférieur à 90°. Le graphique de la figure 8 illustre les angles de contact moyens θ obtenus (en degrés °) pour chaque revêtement T1 , T2 et stratifié 11, 12. Ce graphique montre que les angles de contact relatifs aux revêtements « témoin » T1 et T2 sont compris entre 60° et 80°, témoignant du caractère hydrophile de ces revêtements à base de polymères photosensibles, alors que les angles de contact moyens relatifs aux stratifiés 11 et 12 incorporant le film hydrophobe déposé par plasma de CF4 sont supérieurs à 100°.
En d'autres termes, le traitement par plasma selon l'invention permet de rendre très hydrophobe une plaque de revêtement 3 pour un dispositif d'analyse 1 , tel qu'une biopuce.
2) Essais de remplissage :
On a quantifié l'optimisation du volume d'eau Ve effectivement localisé avant débordement dans trois types de micro-cuvettes 4 de différents volumes Vc qui sont formées à la surface de biopuces BH selon l'invention, lesquelles sont fabriquées selon les premier ou second exemples précités et incorporent ainsi chacune un film hydrophobe 7 sur les bords des microcuvettes 4 formés sur la plaque de revêtement 3. La plaque 3, de type « probimide », et le film 7 à groupes CF2 sont identiques à ceux dudit stratifié 11 selon l'invention.
On a comparé les résultats de volumes Ve = f(Vc) obtenus avec ces trois biopuces BM , aux résultats correspondants obtenus avec trois biopuces « témoin » BT1 , lesquelles se différencient uniquement des biopuces BH en ce qu'elles ne comportent pas de film hydrophobe 7 à la surface hydrophile de la plaque 3, à l'instar dudit revêtement « témoin » T1 à base de « probimide ». Le graphique de la figure 9 illustre les volumes d'eau moyens
Ve (en μl_) localisés avant débordement dans chaque micro-cuvette 4 de biopuce « témoin » BT1 et selon l'invention BH , lorsque les micro-cuvettes 4 présentent chacune une capacité Vc de 0,1 μL, de 0,5 μL et de 1 μL.
Ce graphique montre que le traitement par plasma selon l'invention permet de multiplier au moins par deux, voire par trois, le volume d'eau Ve localisé dans chaque micro-cuvette 4 (Ve passe de 5 à environ 15 μL lorsque Vc = 1 μL), de par l'accentuation de la courbure supérieure des gouttes d'eau en forme de dôme qui sont respectivement ancrées dans les micro-cuvettes 4 en raison de la forte hydrophobicité des bords externes 7 de ces dernières, en comparaison du volume d'eau Ve localisé dans chaque micro-cuvette 4 entourée par la plaque 3 non traitée.
On notera en outre que le film hydrophobe 7 déposé selon l'invention permet d'assurer un remplissage simultané et optimisé de milliers de micro-cuvettes 4, par trempage partiel et retrait de la biopuce 1 dans un réactif, du fait de cette forte hydrophobicité des bords 7 précités. On peut ainsi se passer d'un robot de type micro-dispenseur pour un versement contrôlé du réactif dans les micro-cuvettes 4, et l'on évite la présence de gouttes résiduelles de réactif sur ces bords 7 qui est susceptible de contaminer des micro-cuvettes 4 voisines par « pontage ».

Claims

REVENDICATIONS
1. Procédé pour augmenter l'hydrophobicité d'un revêtement externe (3) biocompatible et ajouré d'un dispositif d'analyse (1) chimique et/ou biologique, tel qu'une biopuce, ledit dispositif comportant un substrat (2) et ledit revêtement qui recouvre ledit substrat en entourant une pluralité de cuvettes d'analyse (4) destinées à fixer des réactifs chimiques et/ou biologiques en vue de constituer des sites d'analyse, caractérisé en ce qu'il comprend un traitement dudit revêtement au moyen d'un plasma organique choisi dans le groupe constitué par les plasmas fluorocarbonés et les plasmas à groupes siloxanes, pour le dépôt d'un film hydrophobe (7) sur ledit revêtement, de sorte à optimiser le volume dudit réactif localisé autour dudit film dans chaque cuvette.
2. Procédé selon la revendication 1 , caractérisé en ce que ledit plasma organique est choisi dans le groupe constitué par les plasmas de
C4F8, de CF4, de C2F6, de C3F8 et de C5F8, pour l'obtention dudit film (7) qui comprend des groupes CF2.
3. Procédé selon la revendication 1 , caractérisé en ce que ledit plasma organique est un plasma d'octaméthyltétrasiloxane, pour l'obtention dudit film (7) qui comprend des groupes SiOxCy.
4. Procédé selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit revêtement (3) est à base d'au moins un polymère photosensible réticulé de type thermoplastique ou thermodurcissable, tel qu'un polyimide ou une résine époxy.
5. Procédé selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit plasma est utilisé à froid dans le domaine des radiofréquences.
6. Procédé selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit film hydrophobe (7) présente une épaisseur allant de 50 nm à 1 μm.
7. Dispositif d'analyse (1) chimique et/ou biologique, tel qu'une biopuce, susceptible d'être obtenu par un procédé selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte : un substrat (2), - un revêtement (3) biocompatible, tel qu'une plaque, qui recouvre ledit substrat en présentant des perforations, chaque perforation définissant une cuvette (4) dont une paroi latérale (5) et un fond (6) sont respectivement formés par ledit revêtement et ledit substrat, chaque cuvette étant destinée à fixer un réactif chimique et/ou biologique en vue de constituer un site d'analyse, et un film (7) qui présente une hydrophobicité supérieure à celle(s) dudit substrat et dudit revêtement et qui recouvre ledit revêtement, à l'exception desdites parois latérales de cuvettes, caractérisé en ce que ledit film présente des groupes CF2 ou des groupes SiOxCy, de sorte à optimiser le volume dudit réactif localisé autour dudit film dans chaque cuvette.
8. Dispositif d'analyse (1) selon la revendication 7, caractérisé en ce que ledit revêtement (3) est à base d'au moins un polymère photosensible réticulé de type thermoplastique ou thermodurcissable, tel qu'un polyimide ou une résine époxy.
9. Dispositif d'analyse (1) selon la revendication 7 ou 8, caractérisé en ce que ledit film hydrophobe (7) présente une épaisseur allant de 50 nm à 1 μm.
10. Procédé de fabrication d'un dispositif d'analyse (1) selon une des revendications 7 à 9, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes successives suivantes :
(i) on recouvre ledit substrat (2) par ledit revêtement (3),
(ii) on dépose sur ledit fond (6) de chaque cuvette (4) une couche de protection (9) qui est destinée à protéger ledit substrat vis-à-vis d'un plasma organique choisi dans le groupe constitué par les plasmas fluorocarbonés et les plasmas à groupes siloxanes, (iii) on dépose ledit film hydrophobe (7, 7') à la fois sur ledit revêtement et sur ladite couche de protection recouvrant chaque fond de cuvette, par un traitement de surface au moyen dudit plasma organique, puis
(iv) on élimine ladite couche de protection revêtue dudit film (7'), pour obtenir ledit dispositif comportant ledit film (7) uniquement sur une face externe dudit revêtement.
11. Procédé de fabrication selon la revendication 10, caractérisé en ce que ladite couche de protection (9) déposée à l'étape (ii) est à base d'au moins un composé choisi dans le groupe constitué par l'alcool polyvinylique, des résines photosensibles et des sucres.
12. Procédé de fabrication d'un dispositif d'analyse (1 ) selon une des revendications 7 à 9, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes successives suivantes :
(i) on recouvre ledit substrat (2) par ledit revêtement (3), (ii) on dépose ledit film hydrophobe (7, 7") à la fois sur ledit revêtement et sur ledit fond (6) de chaque cuvette (4), par un traitement de surface mis en œuvre au moyen d'un plasma organique choisi dans le groupe constitué par les plasmas fluorocarbonés et les plasmas à groupes siloxanes, (iii) on insole puis on développe, sur une partie dudit film hydrophobe (7) qui recouvre ledit revêtement, une couche de protection (10) qui est destinée à protéger ce film vis-à-vis d'un plasma d'oxygène et qui est à base d'au moins une résine photosensible,
(iv) on élimine l'autre partie dudit film hydrophobe (7") qui recouvre ledit fond de chaque cuvette, par un traitement de l'ensemble obtenu en (iii) au moyen dudit plasma d'oxygène, puis
(v) on élimine ladite couche de protection déposée en (iii), pour obtenir ledit dispositif comportant ledit film (7) uniquement sur une face externe dudit revêtement.
13. Procédé de fabrication selon une des revendications 10 à 12, caractérisé en ce que ladite couche de protection (9 ou 10) est éliminée au moyen d'un bain d'acétone, d'alcool ou d'eau.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2179267A2 (fr) * 2007-07-18 2010-04-28 SiliconFile Technologies Inc. Dispositif de diagnostic et procédé de fabrication du dispositif de diagnostic
US9339770B2 (en) 2013-11-19 2016-05-17 Applied Membrane Technologies, Inc. Organosiloxane films for gas separations
US10384153B2 (en) 2012-01-24 2019-08-20 Minicare B.V. Filter unit for a cartridge
CN112639162A (zh) * 2018-03-27 2021-04-09 Sio2医药产品公司 涂覆有水阻挡涂层的器皿、容器和表面

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102020206696A1 (de) * 2020-05-28 2021-12-02 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren und Steuergerät zum Herstellen eines Trägerelements zum Aufnehmen einer Probenflüssigkeit, Trägerelement, Trägermodul und Verfahren zum Verwenden eines Trägerelements

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2324866A (en) * 1997-04-21 1998-11-04 Randox Lab Ltd Device for multianalyte assays.
WO2000016082A1 (fr) * 1998-09-16 2000-03-23 Commissariat A L'energie Atomique Dispositif comprenant une pluralite de sites d'analyse sur un support
EP1260863A1 (fr) * 2001-05-23 2002-11-27 Scandinavian Micro Biodevices Création de microstructures dans des revêtements polymérisés par voie plasma

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2324866A (en) * 1997-04-21 1998-11-04 Randox Lab Ltd Device for multianalyte assays.
WO2000016082A1 (fr) * 1998-09-16 2000-03-23 Commissariat A L'energie Atomique Dispositif comprenant une pluralite de sites d'analyse sur un support
EP1260863A1 (fr) * 2001-05-23 2002-11-27 Scandinavian Micro Biodevices Création de microstructures dans des revêtements polymérisés par voie plasma

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DENES F: "Synthesis and Surface Modification by Macromolecular Plasma Chemistry" TRENDS IN POLYMER SCIENCE, ELSEVIER SCIENCE PUBLISHERS B.V. AMSTERDAM, NL, vol. 5, no. 1, janvier 1997 (1997-01), pages 23-31, XP004016848 ISSN: 0966-4793 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2179267A2 (fr) * 2007-07-18 2010-04-28 SiliconFile Technologies Inc. Dispositif de diagnostic et procédé de fabrication du dispositif de diagnostic
EP2179267A4 (fr) * 2007-07-18 2010-09-29 Siliconfile Technologies Inc Dispositif de diagnostic et procédé de fabrication du dispositif de diagnostic
US10384153B2 (en) 2012-01-24 2019-08-20 Minicare B.V. Filter unit for a cartridge
US9339770B2 (en) 2013-11-19 2016-05-17 Applied Membrane Technologies, Inc. Organosiloxane films for gas separations
CN112639162A (zh) * 2018-03-27 2021-04-09 Sio2医药产品公司 涂覆有水阻挡涂层的器皿、容器和表面

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