WO2002008737A1 - Verfahren zur optischen vermessung einer oberfläche eines objektes - Google Patents

Verfahren zur optischen vermessung einer oberfläche eines objektes Download PDF

Info

Publication number
WO2002008737A1
WO2002008737A1 PCT/EP2001/008308 EP0108308W WO0208737A1 WO 2002008737 A1 WO2002008737 A1 WO 2002008737A1 EP 0108308 W EP0108308 W EP 0108308W WO 0208737 A1 WO0208737 A1 WO 0208737A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
imaging system
zone
light
light guide
image
Prior art date
Application number
PCT/EP2001/008308
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Michael Haen
Original Assignee
Mycrona Gesellschaft für innovative Messtechnik mbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=26006476&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=WO2002008737(A1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Priority claimed from DE10047270A external-priority patent/DE10047270A1/de
Application filed by Mycrona Gesellschaft für innovative Messtechnik mbH filed Critical Mycrona Gesellschaft für innovative Messtechnik mbH
Priority to DE10192962T priority Critical patent/DE10192962B4/de
Priority to AU2001289686A priority patent/AU2001289686A1/en
Publication of WO2002008737A1 publication Critical patent/WO2002008737A1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces

Definitions

  • the invention relates to a method for optically measuring at least one zone of a surface of an object with the aid of an imaging system of shallow depth of field, the method allowing the detection of structures with an extent of less than one micrometer and thereby creating a high-resolution three-dimensional topographic map of the Surface or a part thereof.
  • Another possibility for measuring a surface is to image the surface in plan view with an imaging optical system of such shallow depth of field that only topographical structures of the surface that lie within the depth of field are sharply imaged, while those structures that are above or are below the depth of field, are blurred.
  • an imaging optical system of such shallow depth of field By increasing or decreasing the distance between the imaging system and the surface, it is achieved that the depth of field moves up or down, so that structures of the surface that are higher or lower are sharply imaged.
  • the relative height of the structure on the surface can thus be determined by measuring the enlargement or reduction in the distance between the imaging system and the surface necessary for the sharp imaging of a specific structure. After a sharp mapping of all occurring altitudes, a topographic map of the surface under consideration can be created. Height resolutions down to micrometers can be achieved.
  • This method also has the disadvantage that a plan view image of the surface to be measured must be generated, so that the free headroom available above the surface to be measured must correspond at least to the overall length of the imaging system. The inside of a narrow gap, a narrow hole and other inaccessible surfaces can therefore also not be measured with this method for reasons of space.
  • Another disadvantage of this method is that several method steps are necessary to create a height profile, namely the successive sharp mapping of the individual height intervals.
  • Another possibility for measuring a surface is to mechanically scan the surface point by point with the aid of a probe. This method allows a very precise quantitative determination of the shape of surfaces including structures with an extension in the micrometer range.
  • a disadvantage is that a very large number of points on the surface have to be scanned individually in order to produce a high-resolution image thereof, this number and therefore also the time required for image generation naturally increasing rapidly with the required surface resolution.
  • Another disadvantage is that a very complex mechanism, including highly precise control, is required to guide the button from point to point over the surface to be measured.
  • a third disadvantage is that the surface to be measured must be mechanically accessible, which is for many surface shapes, e.g. the inside of a narrow gap or a narrow hole, is not available.
  • the invention is therefore based on the problem of providing a method for measuring a surface of an object, which, with little effort and within a short time, enables the high-resolution three-dimensional measurement of surfaces, e.g. to create a topographical map of the same, which enables surface structures of less than a micrometer in size to be resolved and the method in particular also for difficult to access surfaces such as e.g. the inside of a narrow gap or a narrow hole is applicable.
  • This object is achieved according to the invention by a method for optically measuring at least one zone of a surface of an object with the aid of an imaging system of low depth of field, with a) the imaging system being arranged in such a way that
  • the angle between the optical axis of the imaging system and the surface is a maximum of 45 degrees
  • a limited zone of the surface is located within the depth-of-field area of the imaging system and is sharply imaged by this as a real image, this zone being narrow due to the shallow depth of field of the imaging system in the direction of the projection of the optical axis onto the surface,
  • the drop angle based on the surface normal, for all light rays which emanate from the sharply imaged zone and enter the imaging system, is greater than 45 degrees, so that this zone is viewed at an elevation angle of less than 45 degrees and the real image of this Zone is essentially a curve whose
  • Course essentially corresponds to the height profile of this zone in the direction parallel to the surface and perpendicular to the optical axis
  • the surface to be measured is thus viewed at an elevation angle of at most 45 °.
  • x-direction direction perpendicular to the optical axis of the imaging
  • y-direction direction parallel to the projection of the optical axis onto the surface to be measured
  • z-direction direction perpendicular to the surface to be measured.
  • the imaging system is preferably a system of lenses and, according to the invention, has a shallow depth of field.
  • the depth of field preferably has a depth of only 1 micrometer to 50 micrometers.
  • the extent of the sharply imaged zone in the y direction results from the depth of the depth of field, multiplied by the cosine of the angle between the optical axis and the surface. Since this angle is between 0 ° and 45 °, the extent of the sharply imaged zone in the y direction is between 100% and approx. 71% of the depth of the depth of field.
  • the sharply depicted zone is therefore very narrow in the y direction.
  • the extent of the sharply imaged zone in the x direction is only limited by the size of the image field.
  • the extent of the sharply imaged zone in the x direction is referred to as x 0 , that in the y direction as y 0 .
  • this zone is sharply imaged. Since this zone is viewed by the imaging system at an elevation angle of less than 45 °, the real image generated by the imaging system is this Zone essentially a curve, which is referred to below as an image curve and the course of which is predetermined by the shape or the height profile of the surface of the narrow zone shown in the x direction, that is to say in the direction from one narrow side of the zone to the other.
  • the sharp real image of this zone produced by the imaging system is essentially a straight line, with deviations of the surface shape of the narrow zone from the plane, i.e. Deviations in the z direction, reflected in the image as deviations of the image curve from the straight line.
  • the sharp real image of this zone generated by the imaging system is essentially part of a circle. If the surface shape of the narrow zone deviates from the cylindrical shape, the image curve deviates from the circular shape.
  • the perspective distortion that arises when the sharply imaged zone is viewed at an elevation angle of more than zero degrees is corrected by software as a function of the elevation angle.
  • Parts of the surface outside the depth of field are either blurred or not at all, depending on the distance from the imaging system. The latter is the case for points on the surface which are so close to the imaging system that the light rays emanating from them no longer converge after passing through the imaging system, but run parallel or diverge.
  • the imaging system in order to measure an area of the surface, is gradually shifted relative to the surface or vice versa by at most the distance y 0 in the y direction, so that a plurality of image curves are obtained in succession.
  • the surface is measured line by line.
  • the family of image curves obtained in this way can be combined to form an overall image or, for example, also a topographical map of the measured surface.
  • the imaging system is shifted continuously relative to the surface or vice versa.
  • the imaging system can be moved back to the initial y position after the detection of a first family of curves relative to the surface or vice versa and then shifted in the x direction by, for example, the path x 0 , or vice versa, and Starting from this position, record a second family of curves. In this way, any areas of the surface can be measured.
  • the relative displacement between the imaging system and the surface in the x and y directions can advantageously be measured in each case, e.g. by one transducer each, so that the true dimensions of the detected area and all detected structures are possible.
  • surfaces that are difficult or impossible to access such as e.g. the inner surfaces of narrow gaps or narrow bores are measured.
  • the real image supplied by the imaging system 1 is captured by a CCD device or video camera. That from The signal supplied to the CCD device or video camera can advantageously be digitized and read into an electronic data processing device.
  • the electronic data processing device can display the curve shape formed by the real image of the sharply imaged zone 7, for example on a screen or by means of a printer.
  • the electronic data processing device determines the course of the curve formed by the real image of the sharply imaged zone with the aid of a program which subjects the image supplied by the imaging system to a sharpness detection.
  • This process can be supported by contrast enhancement and / or contour enhancement and / or any further image processing method to emphasize the image curve.
  • This process can also be supported in that the electronic data processing device determines the mean value of the image background and subtracts it in software from the image supplied by the imaging system.
  • the curve can be identified with the aid of mathematical algorithms or calculation methods.
  • the electronic data processing device uses software to parameterize the detected curve, so that the detected curve shape is expressed by mathematical parameters.
  • the electronic data processing device determines the deviation between the detected curve shape and a predetermined target curve shape by forming a difference.
  • the electronic data processing device can compile the results of the measurement of adjacent narrow zones to form an overall image or a topographic map or assign an x, a y and a z coordinate to each measured pixel and thus the topography of the measured area of the surface into a 3-dimensional one Implement coordinate field.
  • the values obtained in this way can be saved and used later, for example, for comparison purposes.
  • the area of the surface to be measured can be illuminated for the purpose of brightening it by an incoherent light source, for example a halogen lamp.
  • the light passes through a filter before entering the imaging system, which only allows a certain spectral range to pass, which can advantageously be used to observe surface structures of a particular size, shape or nature.
  • the lightening of the area of the surface to be measured can also be done by a coherent light emitting light source, e.g. a laser.
  • a coherent light emitting light source e.g. a laser.
  • An advantage here is the easy accessibility of a very high light intensity.
  • illumination with incoherent light can be advantageous due to the constantly very rapidly changing mutual phase position of the individual wave trains of the illuminating light beam for the detection and measurement of structures whose size is in the range of a light wavelength or below.
  • the recognizability of the image curve on the image background can be improved in that the lighting device e.g. is designed by means of a slit-shaped diaphragm so that the sharply imaged zone is illuminated with a higher intensity than the other parts of the surface.
  • the light from the light source enters the imaging system on the image side and exits from the object side and from there reaches the area of the surface to be measured.
  • the imaging system thus also serves as part of the illumination device, the observation and the illumination taking place from approximately the same direction.
  • the light source is arranged such that its light strikes the area of the surface to be measured from a direction which is essentially opposite to the direction of observation.
  • one or more light guides are used for the illumination, through which or through which light from the light source reaches the area of the surface to be measured, or at least the sharply imaged zone.
  • one or more light guides is particularly advantageous for illuminating areas that are difficult to access mechanically, e.g. the inside of a narrow gap or a narrow bore, which are to be measured with the method according to the invention.
  • the light guide (s) can advantageously be arranged and formed in the end area on the object side, e.g. bent that the light is essentially in a certain, e.g. conical solid angle range is emitted, the sharply imaged zone being within this solid angle range.
  • the individual light guides can be bent in different directions in the area of their ends on the object side in accordance with the desired shape of the solid angle area.
  • each light guide has an object-side end surface that extends obliquely to its axis, so that light is emitted asymmetrically to this axis due to refraction and / or reflection on the inclined end surface.
  • each light guide has a concavely curved end face on the object, so that the end face acts as a diverging lens.
  • a similar effect can be achieved with a sufficient distance between the end face and the surface to be measured by a convex curvature of the end face, since that which leaves the convex end face! Light initially converges and then diverges again after passing through a focal point.
  • the solid angle range can be reduced by a convex curvature of the end face if the distance between the end face and the surface to be measured is chosen to be sufficiently small.
  • each light guide can furthermore be spherical or drop-shaped for the purpose of light emission in all spatial directions.
  • each light guide can furthermore have the shape of a conical tip or the shape of a hollow cone.
  • the emerging light lies essentially only rotationally symmetrically on the outer surface of a cone, so that the emerging light forms a divergent ring light, which is particularly advantageous if the surface to be measured is the inside of a narrow bore, because in this way inside a concentration of the light can be achieved in the bore along a ring that completely encircles the central axis of the bore.
  • the object-side end of the light guide has the shape of a full cone projecting beyond the end face there, the base surface of which faces the light guide.
  • the rotationally symmetrical lateral light deflection takes place in this case essentially by reflection of the light on the outside of the lateral surface of the cone.
  • the light source is embedded in the light guide.
  • the light source can be an incandescent lamp, the bulb of which tapers further and further on one side and merges directly into a light guide 21.
  • the light source is a light-emitting diode, the head of which changes directly into an optical fiber.
  • the imaging scale of the imaging system and thus can be changed by exchanging an optical element or a zoom device.
  • the perspective distortion which arises when the sharply imaged zone is viewed at an elevation angle of more than zero degrees can be corrected by software as a function of the elevation angle. This correction is preferably carried out numerically by the electronic data processing device.
  • Typical parameters for operating a method according to the invention are, for example: dimensions of the image section: 570 x 760 ⁇ m,
  • Depth of depth of field 1 ... 50 ⁇ m, lateral resolution: 10nm ... l ⁇ m,
  • the imaging system (1) is an electron-optical system which, by means of electrons emanating from the surface to be measured (5, 9, 11, 12, 14), produces an image in which the focus is sharp illustrated zone (7, 7a) stands out clearly from an image background (18, 18a).
  • This variant involves a relatively large outlay.
  • this disadvantage is offset by the advantage of a greatly improved lateral resolution in the x and z directions. Since electron-optical imaging systems in many cases have an extremely shallow depth of field, this variant can also achieve a significantly increased resolution in the y direction.
  • FIG. 1 shows a schematic illustration of the imaging according to the invention of a zone of a surface of a cuboid according to a variant of the method according to the invention, viewed in the x direction,
  • FIG. 2 shows a schematic illustration of the imaging of the zone of the cuboid surface of FIG. 1, seen in the z-direction
  • FIG. 3 shows a schematic illustration, seen in the x-direction, of the mapping according to the invention of a zone of a side face of a long rod according to another variant of the method according to the invention
  • FIG. 4 shows a schematic illustration, seen in the x direction, of the inventive mapping of the side face of FIG. 3 according to another
  • FIG. 5 shows a schematic illustration of the imaging according to the invention of a zone of the inside of a narrow gap according to the invention in accordance with a further variant of the method according to the invention
  • FIG. 6 shows a schematic illustration of the imaging of a zone according to the invention looking downwards in the y direction 1
  • FIG. 7 shows a schematic representation of the surface obtained according to FIG. 6
  • FIG. 8 shows a schematic illustration of the imaging of a zone of the lateral surface of a according to the invention when viewed downward in the y direction
  • FIG. 9 is a schematic representation of that obtained according to FIG. 8
  • Figure 10 shows the arrangement of Fig.l, with additionally illuminating the surface to be measured according to a variant of the invention
  • FIG. 11 is the arrangement of FIG. 1, with an additional illumination of the surface to be measured according to a further variant of the
  • FIG. 13 shows the arrangement of FIG. 1, with additional illumination of the surface to be measured in accordance with a further variant of FIG Invention with the aid of a light guide, the object side
  • FIG. 14 is the arrangement of FIG. 1, the surface to be measured being additionally illuminated according to a further variant of the invention with the aid of a light guide, the object-side of which
  • End has a conical tip
  • Fig. 15 shows the arrangement of Fig.l, in addition lighting the surface to be measured according to a further variant of
  • Invention takes place with the aid of a light guide, the object-side end has the shape of a hollow cone,
  • FIG. 16 shows the arrangement of FIG. 1, wherein additionally the surface to be measured is illuminated in accordance with a further variant of the invention with the aid of a light guide, the object-side end of which has the shape of a hollow cone with a mirrored lateral surface, and
  • Fig. 17 shows the arrangement of Fig.l, wherein additionally the surface to be measured is illuminated according to a further variant of the invention with the aid of a light guide, the object-side end of which has the shape of a protruding cone, the base surface of which faces away from the light guide.
  • the imaging system 1 is preferably a system of lenses.
  • the imaging system can also be formed by mirrors or a combination of lenses and mirrors.
  • the depth y 0 of the depth of field of the imaging system 1 is shown in a greatly exaggerated manner in FIGS. 1-5.
  • FIG. 1 shows an imaging system 1, which is arranged over an edge 2 of a cuboid object 3 standing on a base 4, the surface 5 of which is to the right in FIG. 1 is to be measured.
  • the normal N of this surface 5 points in the z direction.
  • the angle of reflection ß related to the surface normal N for all light rays that Starting from the sharply imaged zone and falling into the imaging system is, according to the invention, greater than 45 degrees, so that this zone is viewed at an elevation angle of less than 45 degrees
  • the imaging system 1 is arranged such that a point P on the right surface 5 of the cuboid object 3 lies in the depth of field y 0 of the imaging system 1.
  • the point P is therefore shown sharply.
  • the plane which runs perpendicular to the optical axis of the imaging system and at the same time through the image point of point P generated by it is called the image plane below (not shown in the figures).
  • the depth of field has a depth of y 0 in the y direction.
  • the image of a point P 2 located below the depth of field lies in front of the image plane and is therefore out of focus in the image plane.
  • Points located outside the depth of field y 0 therefore only cause a blurred or diffuse image background of the image supplied by the imaging system 1.
  • FIG. 2 shows a schematic representation of the imaging of the zone of the cuboid surface from FIG. 1, seen from the z direction.
  • the right surface 5 of the cuboid 3 is therefore at the front.
  • the viewing direction of FIG. 2 in FIG. 1 is indicated by an arrow pointing to the left.
  • the sharply imaged zone 7 forms a section of the surface 5.
  • the extent of the sharply imaged zone 7 in the x direction is limited only by the width x 0 of the image field. According to the invention, only this zone is sharply imaged.
  • the points P 15 P 2 , P 3 , P 4 lying outside of this zone are imaged out of focus or not at all.
  • the maximum usable image field is generally limited by the imaging errors of the imaging system 1, but the image field can e.g. be further restricted by blinds.
  • the imaging system 1 is shifted relative to the surface 5 or vice versa with the aid of an electrical or electronic control.
  • the control can be operated automatically.
  • the imaging system 1 in FIGS. 1 and 2 is arranged above the edge 2 of the surface 5 to be measured.
  • Such an arrangement has the advantage that the elevation angle at which the sharply imaged zone 7 is viewed is small, so that the height profile of the sharply imaged zone is recorded with only slight perspective distortions.
  • FIG. 3 shows a schematic illustration, seen in the x direction, of the imaging according to the invention of a zone of the side face 9 on the right in FIG. 3 of a long rod-shaped object 8 according to another variant of the method according to the invention, the imaging system 1 not over but in e.g. -Direction is arranged next to the rod-shaped object 8, so that it can be moved down as far as desired in the y-direction relative to the rod-shaped object 8. In this way, any areas of the side surface 9 can be detected.
  • the optical axis of the imaging system 1 is aligned parallel to the side surface 9 in FIG. 3.
  • a disadvantage of your arrangement of this type is that the sharply imaged zone 7 lies completely outside the optical axis of the imaging system 1, which generally leads to a deterioration in the image quality, in particular the image sharpness.
  • optical axis A of the imaging system 1 in FIG. 4 is oriented such that an optical axis of the imaging system causes the surface 9 to be measured at an angle a> 0 ° in the area of the sharp imaged surface 7 intersects, whereby the image quality, in particular the image sharpness, is improved compared to the arrangement of FIG. 3.
  • the angle of reflection ⁇ based on the surface normal N, for all light rays which originate from the sharply imaged zone and which fall into the imaging system, is still greater than 45 degrees.
  • the perspective distortion arising according to the arrangements of FIGS. 3 and 4 can be corrected as a function of the elevation angle.
  • This correction is preferably carried out numerically by an electronic data processing device.
  • surfaces which are difficult to access such as the inner surfaces of narrow gaps or narrow bores, can advantageously be measured with a method according to the invention.
  • 5 shows, as an example of this, a schematic representation, seen in the x direction, of the imaging according to the invention of a zone of a first surface 11 of a narrow gap 10.
  • the imaging system is arranged such that the sharply imaged zone 7 on the first surface 11 of the gap 10 lies. With this arrangement, a corresponding zone of the opposite second surface 12 of the slit is sharply imaged (not shown in FIG. 5).
  • the imaging system 1 in the y direction the entire inner surfaces 11, 12 of the gap can be measured.
  • FIG. 6 shows a schematic illustration, seen in the y-direction downward, of the arrangement already illustrated in FIGS. 1 and 2 for imaging the surface 5 of the cuboid object 3 to be measured according to the invention.
  • the light-deflecting effect of the imaging system 1 is not taken into account in FIG. 6 for reasons of clarity.
  • FIG. 6 also shows an arbitrarily selected image section 15 of the area imaged by the imaging system, which includes the sharply imaged zone 7.
  • the real image of the sharply imaged zone 7 generated by the imaging system 1 is essentially a curve in the x direction, hereinafter referred to as the image curve.
  • the shape of the image curve is predetermined by the shape or the height profile of the surface of the sharply imaged zone 7. Elevations are reflected in the deflection of the image curve in the z direction.
  • FIG. 7 shows a schematic, enlarged representation of the image obtained according to FIG. 6.
  • the image curve 16 running through the image section 15 is essentially a straight line, since the sharply imaged zone 7 (FIGS. 1, 2, 6) is part of a flat surface 5.
  • a deviation of the surface of the sharply depicted zone 7 from a flat height profile in z Direction causes a deviation 19 of the image curve 16 from the shape of a straight line.
  • FIG. 7 also shows an unsharp or diffuse image background 18. As already explained above, this is caused by the light which comes from points outside of the sharply imaged zone 7 and therefore from non-sharply imaged points.
  • the image curve 16 stands out from an image difference 18 compared to the image background 18.
  • Topographic structures of the sharply imaged zone which do not project beyond this zone in the direction of the imaging system, lead to a recognizable thickening 20 of the image curve 16 in the direction of the surface normal.
  • the image curve 16, thickenings 20 of the same and irregularities, disturbances or deviations 19 of the height profile of the sharply imaged zone 7 thus manifest themselves as recognizable inhomogeneities in the intensity, e.g. of the gray value, against the background 18.
  • FIG. 8 shows a schematic illustration, seen in the y-direction downward, of the imaging according to the invention of a zone of the lateral surface of a cylindrical object 13.
  • FIG. 9 The image obtained according to the arrangement of FIG. 8 is shown schematically and enlarged in FIG. 9.
  • the sharply depicted zone 7a is part of the lateral surface 14 of the cylindrical object 13 and is therefore curved.
  • the image curve 16a running through the image section 15a is therefore essentially a circular section.
  • a deviation of the surface of the sharply imaged zone 7a from the cylindrical shape causes a deviation 19a of the image curve 16a from the circular shape.
  • the light which comes from points located outside the sharply imaged zone 7a and therefore not sharply imaged, creates an unsharp or diffuse image background 18a, from which the image curve 16a stands out.
  • FIGS. 10-17 show, by way of example, the arrangement of FIG.
  • light guide 21 can in particular be, for example, a glass fiber cable or an optical waveguide. Instead of one light guide 21, several light guides 21 can also be used simultaneously according to the invention.
  • the light guide 21 is preferably arranged and formed in the area of its object-side end, or the light guide 21 is arranged and formed in the area of its object-side ends so that the light is emitted essentially in a certain solid angle region 22, the sharply depicted Zone 7 lies within this solid angle range 22.
  • the light guide (s) 21 can be in the area of their object-side ends e.g. be arranged and designed such that the light emerges from them in a conically divergent manner, so that the solid angle region 22 essentially has the shape of a cone. In another variant, the light emerges approximately in parallel, so that the solid angle region 22 essentially has the shape of a cylinder.
  • the light guide 21 in the area of its object-side ends is e.g. arranged and designed so that the emerging light lies essentially only on the lateral surface of a cone or cylinder, so that the emerging light forms a ring light.
  • the solid angle region 22 essentially has the shape of a cone or cylinder jacket.
  • a radiation of the light in the direction of the sharply imaged zone 7 is achieved in a variant in that each light guide 21 is bent in the region of its object-side end so that the solid angle region 22 in which the light is emitted contains the sharply imaged zone 7. If the light passes through a plane perpendicular to the axis of the light guide 21 Extending object-side face 23a emerges, the light guide 21 is preferably bent so that normal of its object-side face 23A points in the direction of the sharply depicted zone 7. 10 shows an exemplary embodiment in which a single light guide 21 is used.
  • each light guide 21 is bent in the region of its object-side end in such a way that the normals of the object-side end faces 23A of the individual light guides 21 point in different directions.
  • a radiation of the light in the direction of the sharply imaged zone 7 can also be achieved in that the light guide 21 has end faces 23B extending obliquely to its axis, so that light is emitted mainly asymmetrically to this axis due to refraction.
  • 11 shows an exemplary embodiment in which a single light guide 21 is used.
  • End faces 23B mirrored so that light mainly due to i
  • Reflection is radiated asymmetrically to the side of the light guide.
  • 12 shows an exemplary embodiment in which a single light guide 21 is used.
  • each light guide 21 has a convex or concave curved end face 23C on the object side.
  • a concavely curved end face acts as a diverging lens
  • a convexly curved end face 23C acts as a converging lens, with the light diverges again after passing through the focal plane, whereby the solid angle region 22 is also enlarged.
  • 13 shows an exemplary embodiment for the latter case, in which individual light guide 21 bent in the end region is used.
  • each light guide 21 is spherical or drop-shaped for the purpose of light radiation in all spatial directions.
  • the isotropy of the radiation can be improved in that the spherical or drop-shaped object-side end of each light guide 21 is mirrored in places and or at least partially mirrored in places, so the directional distribution of the emerging light is determined by a diverse combination of single and multiple reflection and refraction ,
  • each light guide 21 has the shape of a conical tip 26.
  • the light emerges from the light guide 21 into a solid angle region 22 which essentially has the shape of a conical jacket.
  • 14 shows an exemplary embodiment in which a single light guide 21 is used.
  • a similar effect can be achieved if the object-side end of each light guide 21 is shaped as a hollow cone 24.
  • 15 shows an exemplary embodiment in which a single light guide 21 is used.
  • the outer surface of the hollow cone 24 of FIG. 15 is mirrored. In this way, a reflection of the light on the lateral surface of the hollow cone 24 results in an essentially rotationally symmetrical lateral light exit from the light guide 21 which is distributed around the axis of the light guide 21.
  • 16 shows an exemplary embodiment in which a single light guide 21 is used.
  • the object-side end of the light guide 21 is in the form of a full cone 25 projecting beyond the end face there, the base surface of which faces the light guide 21.
  • the outer surface of the full cone 25 can advantageously be mirrored. 17 shows an exemplary embodiment in which a single light guide 21 is used.
  • the invention is applicable in areas in which a measurement of small or microscopic structures of surfaces of objects is desired or required, in particular those surfaces which are difficult to access due to space constraints, such as the inner surfaces of narrow gaps or narrow bores , List of reference numerals:

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur optischen Vermessung einer Zone einer Oberfläche durch ein abbildendes System mit geringer Tiefenschärfe, wobei das Verfahren die Erstellung einer hochaufgelösten dreidimensionalen topographischen Karte der Oberfläche ermöglicht. Das abbildende System ist so angeordnet, dass eine schmale Zone der Oberfläche innerhalb des Tiefenschärfebereiches unter einem Elevationswinkel von weniger als 45° betrachtet und scharf in eine Bildkurve abgebildet wird. Diese Zone hebt sich gegen einen diffusen Bildhintergrund, der durch unscharf oder überhaupt nicht abgebildete Punkte verursacht wird, erkennbar ab. Die Beleuchtung der scharf abgebildeten Zone kann vorteilhaft mittels eines oder mehrerer Lichtleiter erfolgen.

Description

Verfahren zur optischen Vermessung einer Oberfläche eines Objektes
Technisches Gebiet:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur optischen Vermessung mindestens einer Zone einer Oberfläche eines Objektes mit Hilfe eines abbildenden Systems von geringer Tiefenschärfe, wobei das Verfahren die Erfassung von Strukturen mit einer Ausdehnung von weniger als einem Mikrometer erlaubt und dadurch die Erstellung einer hochaufgelösten dreidimensionalen topographischen Karte der Oberfläche oder eines Teiles davon ermöglicht.
Stand der Technik:
Für viele Anwendungen ist es wünschenswert oder erforderlich, Oberflächen von Festkörpern mit so großer Genauigkeit zu vermessen, daß auch Strukturen, Störungen oder Veränderungen der Oberfläche im Mikrometerbereich ungeachtet ihrer geometrischen Form erfaßt werden. Ein Beispiel ist die Kontrolle von Oberflächen, welche der Einwirkung von Kavitation, wie etwa Turbinenschaufeln, oder Dampf- und Wasserschlägen, wie etwa die Innenflächen von Dampf- und Kondensatleitungen, ausgesetzt sind. Weitere Beispiele sind die Untersuchung von Bruchflächen, die quantitative Prüfung der Schädigung von Rollen eines Rollenlagers aufgrund des Eindringens eines körnigen Fremdstoffes wie z.B. Staub oder die Überwachung der Einwirkung von Abbrand und Korrosion auf elektrische Kontaktflächen oder Elektroden. Ein Bedarf an geeigneten Verfahren besteht insbesondere auch im Bereich der Fein- und Mikromechanik, etwa zum Zweck der exakten Ausmessung von Präzisionsformteilen.
Es ist bekannt, eine Oberfläche optisch zu vermessen, indem mit Hilfe einer abbildenden Optik ein Draufsicht-Bild der zu vermessenden Oberfläche erzeugt wird, wobei oft eine CCD-Kamera und ein Bildverarbeitungssystem zum Einsatz kommen. Derartige Verfahren sind allerdings mit dem Nachteil behaftet, daß sie nur eine zweidimensionale Projektion der tatsächlichen räumlichen Struktur der Oberfläche liefern, wobei die Projektionsebene (x-y- Richtung) senkrecht zur optischen Achse der Optik (z-Richtung) steht. Kanten und Strukturen der Oberfläche werden anhand von Helligkeitsunterschieden erkannt. Eine Kante ist z.B. an einem steilen Helligkeitsgradienten erkennbar.
Jedoch können solche Strukturen in der Oberfläche, die sich weniger scharf von ihrer Umgebung absetzen, wie z.B. eine flache ausgerundete Mulde, oftmals nur schwer erkannt werden. Eine genaue Quantifizierung der erkannten Strukturen in z-Richtung ist in vielen Fällen ebenfalls schwierig. Daher ist mit derartigen Verfahren insbesondere auch die Abweichung einer gekrümmten Oberfläche von einer bestimmten Soll-Krümmung zahlenmäßig nur schwer erfaßbar.
Ein weiterer Nachteil derartiger Verfahren besteht in der Notwendigkeit, ein Draufsicht-Bild der zu vermessenden Oberfläche zu erzeugen, was bedeutet, daß die Optik in einer "Vogelperspektive" über der Oberfläche positioniert werden muß. Dies ist jedoch in vielen Fällen aus Platzgründen unmöglich, z.B. dann, wenn die zu vermessende Oberfläche die Innenseite eines schmalen Spaltes oder einer engen Bohrung ist.
Eine andere Möglichkeit zur Vermessung einer Oberfläche besteht darin, die Oberfläche in Draufsicht mit einem abbildenden optischen System von so geringer Tiefenschärfe abzubilden, daß nur solche topographische Strukturen der Oberfläche, die innerhalb des Tiefenschärfebereiches liegen, scharf abgebildet werden, während solche Strukturen, die oberhalb oder unterhalb des Tiefenschärfebereiches liegen, unscharf abgebildet werden. Durch Vergrößern oder Verringern des Abstandes zwischen dem abbildenden System und der Oberfläche wird erreicht, daß der Tiefenschärfebereich nach oben oder unten wandert, so daß höher oder tiefer gelegene Strukturen der Oberfläche scharf abgebildet werden. Durch Messung der zur scharfen Abbildung einer bestimmten Struktur notwendigen Vergrößerung oder Verringerung des Abstandes zwischen dem abbildenden System und der Oberfläche kann somit die relative Höhenlage der Struktur auf der Oberfläche bestimmt werden. Nach scharfer Abbildung aller vorkommenden Höhenlagen kann eine topographische Karte der betrachteten Oberfläche erstellt werden. Hierbei lassen sich Höhenauflösungen bis herab zu Mikrometer realisieren. Auch dieses Verfahren mit dem Nachteil behaftet, daß ein Draufsicht-Bild der zu vermessenden Oberfläche erzeugt werden muß, so daß die über der zu vermessenden Oberfläche verfügbare freie lichte Höhe mindestens der Baulänge des abbildenden Systems entsprechen muß. Die Innenseite eines schmalen Spaltes, einer engen Bohrung und andere unzugängliche Oberflächen können daher mit diesem Verfahren aus Platzgründen ebenfalls nicht vermessen werden. Ein weiterer Nachteil dieses Verfahrens besteht darin, daß zur Erstellung eines Höhenprofils mehrere Verfahrens schritte, notwendig sind, nämlich die sukzessive scharfe Abbildung der einzelnen Höhenintervalle.
Als weitere Möglichkeit zur optischen Vermessung einer Oberfläche ist bekannt, auf die zu vermessende Oberfläche ein Gitternetz zu projizieren. Durch die Topographie der Oberfläche wird das Gitternetz in einer Richtung parallel zur Oberflächennormalen verformt. Diese Verformungen werden durch eine schräg auf die Oberfläche blickende Kamera erfaßt und zur Ermittlung der Topographie benutzt. Die Innenseite eines schmalen Spaltes, einer engen Bohrung und andere unzugängliche Oberflächen können mit auch mit diesem Verfahren nicht vermessen werden. Des Weiteren ist die mit diesem Verfahren erreichte Auflösung für viele Anwendungen unbefriedigend.
Eine weitere Möglichkeit zur Vermessung einer Oberfläche besteht in der mechanischen Punkt-für-Punkt-Abtastung der Oberfläche mit Hilfe eines Tasters. Dieses Verfahren erlaubt eine sehr präzise quantitative Bestimmung der Form von Oberflächen einschließlich Strukturen mit einer Ausdehnung im Mikrometer-Bereich. Ein Nachteil besteht jedoch darin, daß eine sehr große Zahl von Punkten der Oberfläche einzeln abgetastet werden muß, um ein hochaufgelöstes Bild derselben zu erzeugen, wobei diese Zahl und damit auch die zur Bilderzeugung nötige Zeit selbstverständlich mit der geforderten Flächenauflösung schnell ansteigen. Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß zur Führung des Tasters von Punkt zu Punkt über die zu vermessende Oberfläche ein sehr aufwendiger Mechanismus einschließlich höchstpräziser Steuerung erforderlich ist. Ein dritter Nachteil besteht darin, daß die zu vermessende Oberfläche für den Taster mechanisch zugänglich sein muß, was für viele Oberflächenformen, z.B. die Innenseite eines schmalen Spaltes oder einer engen Bohrung, nicht gegeben ist.
Technische Aufgabe: Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zu Grunde, ein Verfahren zur Vermessung einer Oberfläche eines Objektes bereitzustellen, welches mit geringem Aufwand und innerhalb kurzer Zeit die hochauflösende dreidimensionale Vermessung von Oberflächen, z.B. zur Erstellung einer topographischen Karte derselben, ermöglicht, wobei noch Oberflächen- Strukturen von weniger als einem Mikrometer Ausdehnung auflösbar sind und das Verfahren insbesondere auch für schwer zugängliche Oberflächen wie z.B. die Innenseite eines schmalen Spaltes oder einer engen Bohrung anwendbar ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren zur optischen Vermessung mindestens einer Zone einer Oberfläche eines Objektes mit Hilfe eines abbildenden Systems von geringer Tiefenschärfe, wobei a) das abbildende System so angeordnet ist, daß
- der Winkel zwischen der optische Achse des abbildenden Systems und der Oberfläche maximal 45 Grad beträgt,
- sich eine begrenzte Zone der Oberfläche innerhalb des Tiefenscharfebereiches des abbildenden Systems befindet und durch dieses als reelles Bild scharf abgebildet wird, wobei diese Zone aufgrund der geringen Tiefenschärfe des abbildenden Systems in Richtung der Projektion der optischen Achse auf die Oberfläche schmal ist,
- der auf die Oberflächennormale bezogene Ausfallswinkel für alle Lichtstrahlen, die von der scharf abgebildeten Zone ausgehen und in das abbildende System einfallen, größer ist als 45 Grad, so daß diese Zone unter einem Elevationswinkel von weniger als 45 Grad betrachtet wird und das reelle Bild dieser Zone im wesentlichen eine Kurve ist, deren
Verlauf im wesentlichen dem Höhenprofil dieser Zone in der Richtung parallel zur Oberfläche und senkrecht zur optischen Achse entspricht,
- solche Teile der Oberfläche, die sich außerhalb des Tiefenschärfebereiches des abbildenden Systems und damit außerhalb der scharf abgebildeten Zone befinden, durch das abbildende System unscharf oder überhaupt nicht als reelles Bild abgebildet werden und einen Bildhintergrund liefern, gegen den sich die Kurve abzeichnet, b) der durch das reelle Bild der scharf abgebildeten Zone gebildete Kurvenverlauf zur Vermessung der Oberflächenform dieser Zone in deren Längsrichtung ausgewertet wird.
Erfindungsgemäß wird somit die zu vermessende Oberfläche unter einem Elevationswinkel von maximal 45° betrachtet.
Im folgenden werden folgende Richtungsbezeichnungen verwendet: x-Richtung: Richtung senkrecht zur optischen Achse des abbildenden
Systems und parallel zur zu vermessenden Oberfläche, y-Richtung: Richtung parallel zur Projektion der optischen Achse auf die zu vermessende Oberfläche, z-Richtung: Richtung senkrecht zur zu vermessenden Oberfläche.
Das abbildende System ist vorzugsweise ein System von Linsen und besitzt erfindungsgemäß eine geringe Tiefenschärfe. Der Tiefenschärfebereich weist vorzugsweise eine Tiefe von nur 1 Mikrometer bis 50 Mikrometer auf. Die Ausdehnung der scharf abgebildeten Zone in y-Richtung ergibt sich aus der Tiefe des Tiefenschärfebereiches, multipliziert mit dem Cosinus des Winkels zwischen optischer Achse und Oberfläche. Da dieser Winkel zwischen 0° und 45° beträgt, beträgt die Ausdehnung der scharf abgebildeten Zone in y- Richtung zwischen 100% und ca. 71% der Tiefe des Tiefenschärfebereiches. Die scharf abgebildete Zone ist daher in y-Richtung sehr schmal.
In x-Richtung hingegen ist die Ausdehnung der scharf abgebildeten Zone hingegen nur durch die Größe des Bildfeldes begrenzt.
Im folgenden wird die Ausdehnung der scharf abgebildeten Zone in x- Richtung als x0, diejenige in y-Richtung als y0 bezeichnet.
Erfindungsgemäß wird nur diese Zone scharf abgebildet. Da diese Zone durch das abbildende System unter einem Elevationswinkel von weniger als 45° betrachtet wird, ist das vom abbildenden System erzeugte reelle Bild dieser Zone im wesentlichen eine Kurve, die im folgenden als Bildkurve bezeichnet wird und deren Verlauf durch die Form bzw. das Höhenprofil der Oberfläche der abgebildeten schmalen Zone in x-Richtung, also in der Richtung von der einen Schmalseite der Zone zur anderen, vorgegeben ist.
Falls z.B. die scharf abgebildete Zone Teil einer ebenen Oberfläche ist, ist das vom abbildenden System erzeugte scharfe reelle Bild dieser Zone im wesentlichen eine Gerade, wobei sich Abweichungen der Oberflächenform der schmalen Zone von der Ebene, d.h. Abweichungen in z-Richtung, sich im Bild als Abweichungen der Bildkurve von der Geraden niederschlagen.
Falls z.B. die scharf abgebildete Zone ein Teil der Mantelfläche eines Zylinders ist, ist das vom abbildenden System erzeugte scharfe reelle Bild dieser Zone im wesentlichen ein Teil eines Kreises. Bei Abweichungen der Oberflächenform der schmalen Zone von der Zylinderform ergeben sich Abweichungen der Bildkurve von der Kreisform.
Durch die Betrachtung der Oberfläche unter einem Elevationswinkel von mehr als Null Grad entsteht jedoch eine perspektivische Verzerrung, welche für kleine Elevationswinkel vernachlässigbar ist und mit zunehmendem Elevationswinkel anwächst. Daher wird die bei einer Betrachtung der scharf abgebildeten Zone unter einem Elevationswinkel von mehr als Null Grad entstehende perspektivische Verzerrung softwaremäßig in Abhängigkeit vom Elevationswinkel korrigiert.
Außerhalb des Tiefenschärfebereiches liegende Teile der Oberfläche werden je nach Entfernung vom abbildenden System entweder unscharf oder überhaupt nicht reell abgebildet. Letzteres ist für solche Punkte der Oberfläche der Fall, die so nahe am abbildenden System liegen, daß die von ihnen ausgehenden Lichtstrahlen nach Durchgang durch das abbildende System nicht mehr konvergieren, sondern parallel verlaufen oder divergieren.
Daher liefern die außerhalb des Tiefenschärfebereiches liegenden Teile der
Oberfläche einen unscharfen oder diffusen Hintergrund des vom abbildenden System erzeugten Bildes, jedoch keinen Beitrag zum Verlauf der Bildkurve. Die Bildkurve hebt sich somit aufgrund ihrer Schärfe vom Bildhintergrund ab.
In einer bevorzugten Variante der Erfindung wird zur Vermessung eines flächenhaften Bereiches der Oberfläche das abbildende System schrittweise gegenüber der Oberfläche oder umgekehrt um je höchstens die strecke y0 in y- Richtung verschoben, so daß nacheinander eine Mehrzahl von Bildkurven gewonnen wird. Auf diese Weise wird die Oberfläche zeilenweise vermessen. Die so erhaltene Schar von Bildkurven kann zu einem Gesamtbild oder z.B. auch zu einer topographischen Karte der vermessenen Oberfläche kombiniert werden. In einer anderen Variante der Erfindung erfolgt die Verschiebung des abbildenden Systems gegenüber der Oberfläche oder umgekehrt kontinuierlich.
Zur Vergrößerung des insgesamt erfaßten Bereiches der Oberfläche kann das abbildende System nach der Erfassung einer ersten Kurvenschar gegenüber der Oberfläche oder umgekehrt zunächst in die anfängliche y-Position zurückversetzt und dann in x-Richtung um z.B. den Weg x0 verschoben werden, oder umgekehrt, und ausgehend von dieser Position eine zweite Kurvenschar erfassen. Auf diese Weise können beliebige Bereiche der Oberfläche vermessen werden .
Die relative Verschiebung zwischen dem abbildenden System und der Oberfläche in x- und y-Richtung kann vorteilhaft jeweils gemessen werden, z.B. durch je einen Wegaufnehmer, so daß die Angabe der wahren Abmessungen des erfaßten Bereiches und aller erfaßten Strukturen möglich ist.
Insbesondere können mit einem erfindungsgemäßen Verfahren vorteilhafter- weise auch für herkömmliche Verfahren schwer oder überhaupt nicht zugängliche Flächen wie z.B. die Innenflächen von engen Spalte oder engen Bohrungen vermessen werden.
In einer bevorzugten Variante wird das vom abbildenden System 1 gelieferte reelle Bild durch eine CCD-Einrichtung oder Video-Kamera erfaßt. Das von der CCD-Einrichtung oder Video-Kamera gelieferte Signal kann vorteilhaft digitalisiert und in eine elektronische Datenverarbeitungseinrichtung eingelesen werden. Die elektronische Datenverarbeitungseinrichtung kann den durch das reelle Bild der scharf abgebildeten Zone 7 gebildeten Kurvenverlauf z.B. auf einem Bildschirm oder mittels eines Druckers darstellen.
In einer weiteren bevorzugten Variante stellt die elektronische Datenverarbeitungseinrichtung den durch das reelle Bild der scharf abgebildeten Zone gebildeten Kurvenverlauf mit Hilfe eines Programmes fest, welches das vom abbildenden System gelieferte Bild einer Schärfeerkennung unterzieht. Dieser Vorgang kann durch Kontrastverstärkung und/oder Konturverstärkung und/oder jedes weitere Bildverarbeitungsverfahren zur Hervorhebung der Bildkurve unterstützt werden. Dieser Vorgang kann des weiteren dadurch unterstützt werden, daß die elektronische Datenverarbeitungseinrichtung den Mittelwert des Bildhintergrundes ermittelt und softwaremäßig von dem vom abbildenden System gelieferten Bild subtrahiert.
Mit Hilfe mathematischer Algorithmen oder Rechenverfahren kann eine Erkennung der Kurve erfolgen. In einer Variante eines erfindungsgemäßen Verfahrens führt die elektronische Datenverarbeitungseinrichtung mit Hilfe von Software eine Parametrisierung der erkannten Kurve durch, so daß die erkannte Kurvenform durch mathematische Parameter ausgedrückt wird. In einer weiteren Variante ermittelt die elektronische Datenverarbeitungs- einrichtung die Abweichung zwischen dem erkannten Kurvenverlauf und einem vorgegebenen Soll-Kurvenverlauf durch Differenzbildung.
Die elektronische Datenverarbeitungseinrichtung kann die Ergebnisse der Vermessung benachbarter schmaler Zonen zu einem Gesamtbild oder einer topographischen Karte zusammensetzen oder jedem vermessenen Bildpunkt eine x-, eine y- und eine z-Koordinate zuordnen und somit die Topographie des vermessenen Bereiches der Oberfläche in ein 3-dimensionales Koordinatenfeld umsetzen. Die so erhaltenen Werte können gespeichert und später z.B. zu Vergleichszwecken herangezogen werden. Der zu vermessende Bereich der Oberfläche kann zum Zwecke seiner Aufhellung durch eine inkohärentes Licht aussendende Lichtquelle, z.B. eine Halogenlampe, beleuchtet werden. In einer Variante der Erfindung passiert das Licht hierbei vor Eintritt in das abbildende System ein Filter, welches nur einen bestimmten Spektralbereich passieren läßt, was zur Beobachtung von Oberflächenstrukturen bestimmter Größe, Form oder Beschaffenheit vorteilhaft ein kann.
Die Aufhellung des zu vermessenden Bereiches der Oberfläche kann auch durch eine kohärentes Licht aussendende Lichtquelle, z.B. einen Laser, erfolgen. Ein Vorteil hierbei ist die leichte Erreichbarkeit einer sehr hohen Lichtintensität. Eine Beleuchtung mit inkohärentem Licht kann demgegenüber jedoch aufgrund der ständig sehr schnell wechselnden gegenseitigen Phasenlage der einzelnen Wellenzüge des beleuchtenden Lichtstrahls zur Erkennung und Vermessung von Strukturen, deren Größe im Bereich einer Lichtwellenlänge oder darunter liegt, von Vorteil sein.
Die Erkennbarkeit der Bildkurve auf dem Bildhintergrund kann dadurch verbessert werden, daß die Beleuchtungseinrichtung z.B. mittels einer schlitzförmigen Blende so ausgebildet ist, daß die scharf abgebildete Zone mit höherer Intensität beleuchtet wird als die übrigen Teile der Oberfläche.
In einer Variante der Erfindung tritt das Licht der Lichtquelle bildseitig in das abbildende System eintritt und objektseitig aus diesem aus und gelangt von dort auf den zu vermessenden Bereich der Oberfläche. In dieser Variante der Erfindung dient somit das abbildende System zugleich als Teil der Beleuchtungseinrichtung, wobei die Beobachtung und die Beleuchtung aus annähernd der gleichen Richtung erfolgen.
In einer anderen Variante der Erfindung ist die Lichtquelle so angeordnet, daß ihr Licht aus einer Richtung auf den zu vermessenden Bereich der Oberfläche auftrifft, welche der Beobachtungsrichtung im wesentlichen entgegengesetzt ist. In einer wiederum anderen Variante wird zur Beleuchtung ein oder mehrere Lichtleiter eingesetzt, durch welchen bzw. durch welche Licht von der Lichtquelle auf den zu vermessenden Bereich der Oberfläche, zumindest jedoch auf die scharf abgebildete Zone gelangt.
Die Verwendung eines oder mehrerer Lichtleiter eignet sich insbesondere sehr vorteilhaft zur Beleuchtung vom mechanisch nur schwer zugänglichen Flächen, z.B. die Innenseite eines schmalen Spaltes oder einer engen Bohrung, die mit dem erfindungsgemäßen Verfahren vermessen werden sollen.
Der bzw. die Lichtleiter können dabei vorteilhafterweise im objektseitigen Endbereich so angeordnet und ausgebildet sein,, z.B. gebogen, daß das Licht im Wesentlichen in einen bestimmten, z.B. kegelförmigen Raumwinkel- bereich abgestrahlt wird, wobei die scharf abgebildete Zone innerhalb dieses Raumwinkelbereiches liegt.
Bei Einsatz mehrerer Lichtleiter können die einzelnen Lichtleiter im Bereich ihrer objektseitigen Enden entsprechend der gewünschten Form des Raumwinkelbereiches in unterschiedliche Richtungen gebogen sein.
Zur Beleuchtung schwer zugänglicher Flächen kann es vorteilhaft sein, wenn jeder Lichtleiter eine schräg zu dessen Achse verlaufende objektseitige Stirnfläche aufweist, so daß Licht aufgrund von Refraktion und/oder Reflexion an der schrägen Stirnfläche asymmetrisch zu dieser Achse abgestrahlt wird.
Eine Möglichkeit, den Raumwinkelbrereich, in welchen Licht abgestrahlt wird, zu vergrößern, besteht darin, daß jeder Lichtleiter eine konkav gewölbte objektseitige Stirnfläche aufweist, so daß die Stirnseite als Zerstreuungslinse wirkt. Eine ähnliche Wirkung läßt sich bei hinreichendem Abstand zwischen Stirnfläche und zu vermessender Oberfläche durch eine konvexe Wölbung der Stirnfläche erzielen, da das die konvexe Stirnfläche verlassende! Licht zunächst konvergiert und nach Durchtritt durch einen Brennpunkt wieder divergiert. Umgekehrt läßt sich daher der Raumwinkelbereich durch eine konvexe Wölbung der Stirnfläche verkleinern, wenn Abstand zwischen Stirnfläche und zu vermessender Oberfläche hinreichend klein gewählt wird.
Das objektseitige Ende jedes Lichtleiters kann des Weiteren zum Zweck der Lichtabstrahlung in alle Raumrichtungen kugel- oder tropfenförmig ausgebildet ist.
Das objektseitige Ende jedes Lichtleiters kann des Weiteren die Form einer kegelförmigen Spitze oder die Form eines Hohlkegels aufweisen. In diesen Fällen liegt das austretende Licht rotationssymmetrisch im Wesentlichen nur auf der Mantelfläche eines Kegels, so daß das austretende Licht ein divergentes Ringlicht bildet, was besonders vorteilhaft ist, wenn die zu vermessende Oberfläche die Innenseite einer engen Bohrung ist, da auf diese Weise im Inneren der Bohrung eine Konzentration des Lichtes entlang eines die Zentralachse der Bohrung vollständig umlaufenden Ringes erzielt werden kann.
Eine ähnliche Wirkung kann erreicht werden, wenn das objektseitige Ende des Lichtleiters die Form eines über die dortige Stirnfläche hinausragenden Vollkonus aufweist, dessen Basisfläche dem Lichtleiter zugewandt ist. Die rotationsyymetrische seitliche Lichtablenkung erfolgt in diesem Fall im Wesentlichen durch Reflexion des Lichtes an der Außenseite der Mantelfläche des Konus.
Eine weitere Variante der Erfindung istdadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle in den Lichtleiter eingebettet ist. Beispielsweise kann die Lichtquelle eine Glühlampe sein, deren Kolben sich an einer Seite immer weiter verjüngt und unmittelbar in einen Lichtleiter 21 übergeht. In einer anderen Variante ist die Lichtquelle eine Leuchtdiode, deren Kopf unmittelbar in einen Lichtleiter übergeht.
In einer weiteren Variante der Erfindung kann der Abbildungsmaßstab des abbildenden Systems und damit durch Austausch eines optischen Elementes oder eine Zoom- Vorrichtung verändert werden. Wie oben bereits erwähnt wurde, kann die bei einer Betrachtung der scharf abgebildeten Zone unter einem Elevationswinkel von mehr als Null Grad entstehende perspektivische Verzerrung softwaremäßig in Abhängigkeit vom Elevationswinkel korrigiert werden. Diese Korrektur wird vorzugsweise durch die elektronische Datenverarbeitungseinrichtung numerisch durchgeführt.
Typische Parameter zum Betreiben eines erfindungsgemäßen Verfahrens sind z.B.: Maße des Bildausschnitts: 570 x 760 μm,
Vergrößerungsfaktor: 500-fach,
Tiefe des Tiefenschärfebereiches: 1...50μm, laterale Auflösung: 10nm...lμm,
Entfernung zwischen Objektiv des abbilden Systems und scharf abgebildeter Zone: 55 mm.
In einer anderen Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens ist das abbildende System (1) ein elektronenoptisches System, welches mittels Elektronen, die von der zu vermessenden Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14) ausgehen, ein Bild erzeugt, bei welchem sich die scharf abgebildete Zone (7, 7a) erkennbar von einem Bildhintergrund (18, 18a) abhebt. Diese Variante ist mit einem relativ großen Aufwand verbunden. Diesem Nachteil steht jedoch der Vorteil einer stark verbesserten lateralen Auflösung in x- und z-Richtung gegenüber. Da elektronenoptische Abbildungs Systeme in vielen Fällen eine extrem geringe Tiefenschärfe aufweisen, läßt sich mit dieser Variante auch eine wesentlich erhöhte Auflösung in y-Richtung erreichen.
In der Zeichnung sind bevorzugte Varianten des erfindungsgemäßen
Verfahrens schematisch dargestellt. Es zeigen: Fig. 1 eine in x-Richtung gesehene schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Abbildens einer Zone einer Oberfläche eines Quaders gemäß einer Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens,
Fig. 2 eine in z-Richtung gesehene schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Abbildens der Zone der Quaderoberfläche von Fig. 1, Fig. 3 eine in x-Richtung gesehene schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Abbildens einer Zone einer Seitenfläche einer langen Stange gemäß einer anderen Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens,
Fig. 4 eine in x-Richtung gesehene schematische Darstellung des erfiridungs- gemäßen Abbildens der Seitenfläche von Fig. 3 gemäß einer weiteren
Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens, . '
Fig. 5 eine in x-Richtung gesehene schematische Darstellung des erfindungs- i gemäßen Abbildens einer Zone der Innenseite eines engen Spaltes gemäß einer weiteren Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens, Fig. 6 eine in y-Richtung nach unten gesehene schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Abbildens einer Zone der Oberfläche des Quaders von Fig. 1, Fig. 7 eine schematische Darstellung der gemäß Fig. 6 gewonnenen
Abbildung, Fig.8 eine in y-Richtung nach unten gesehene schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Abbildens einer Zone der Mantelfläche eines
Zylinders, und Fig. 9 eine schematische Darstellung der gemäß Fig. 8 gewonnenen
Abbildung, Fig. 10 die Anordnung von Fig.l, wobei zusätzlich eine Beleuchtung der zu vermessenden Oberfläche gemäß einer Variante der Erfindung mit
Hilfe eines Lichtleiters erfolgt, dessen objektseitiger Endbereich gebogenen ist, Fig. 11 die Anordnung von Fig.l, wobei zusätzlich eine Beleuchtung der zu vermessenden Oberfläche gemäß einer weiteren Variante der
Erfindung mit Hilfe eines Lichtleiters erfolgt, dessen objektseitige
Stirnfläche schräg zur Achse des Lichtleiters verläuft, Fig. 12 die Anordnung von Fig.l, wobei zusätzlich eine Beleuchtung der zu vermessenden Oberfläche gemäß einer weiteren Variante der Erfindung mit Hilfe eines Lichtleiters erfolgt, dessen objektseitige
Stirnfläche schräg zur Achse des Lichtleiters verläuft und verspiegelt ist, Fig. 13 die Anordnung von Fig.l, wobei zusätzlich eine Beleuchtung der zu vermessenden Oberfläche gemäß einer weiteren Variante der Erfindung mit Hilfe eines Lichtleiters erfolgt, dessen objektseitige
Stirnfläche konvex gewölbt ist, Fig. 14 die Anordnung von Fig.l, wobei zusätzlich eine Beleuchtung der zu vermessenden Oberfläche gemäß einer weiteren Variante der Erfindung mit Hilfe eines Lichtleiters erfolgt, dessen objektseitiges
Ende eine kegelförmige Spitze aufweist,
Fig. 15 die Anordnung von Fig.l, wobei zusätzlich eine Beleuchtung der zu vermessenden Oberfläche gemäß einer weiteren Variante der
! Erfindung mit Hilfe eines Lichtleiters erfolgt, dessen objektseitiges Ende die Form eines Hohlkegels aufweist,
Fig. 16 die Anordnung von Fig.l, wobei zusätzlich eine Beleuchtung der zu vermessenden Oberfläche gemäß einer weiteren Variante der Erfindung mit Hilfe eines Lichtleiters erfolgt, dessen objektseitiges Ende die Form eines Hohlkegels mit verspiegelter Mantelfläche aufweist, und
Fig. 17 die Anordnung von Fig.l, wobei zusätzlich eine Beleuchtung der zu vermessenden Oberfläche gemäß einer weiteren Variante der Erfindung mit Hilfe eines Lichtleiters erfolgt, dessen objektseitiges Ende die Form eines überstehenden Konus aufweist, dessen Basisfläche vom Lichtleiter abgewandt ist.
Die Fig. 1-6 und Fig. 8 zeigen je ein abbildendes System 1, welches aus Gründen der Übersichtlichkeit lediglich schematisch als eine einzelne Linse dargestellt ist. Das abbildende System 1 ist jedoch ist vorzugsweise ein System von Linsen. Des weiteren kann das abbildende System auch durch Spiegel oder eine Kombination von Linsen und Spiegeln gebildet sein.
Die Tiefe y0 des Tiefenschärfebereiches des abbildenden Systems 1 ist in den Fig. 1-5 stark übertrieben eingezeichnet.
Fig. 1 zeigt ein abbildendes System 1, welches über einer Kante 2 eines auf einer Unterlage 4 stehenden quaderförmigen Objektes 3 angeordnet ist, dessen in Fig. 1 rechts gelegene Oberfläche 5 vermessen werden soll. Die Normale N dieser Oberfläche 5 weist in z-Richtung. Der auf die Oberflächennormale N bezogene Ausfallswinkel ß für alle Lichtstrahlen, die von der scharf abgebildeten Zone ausgehen und in das abbildende System einfallen, ist erfindungsgemäß größer als 45 Grad, so daß diese Zone unter einem Elevationswinkel von weniger als 45 Grad betrachtet wird
Das abbildende System 1 ist so angeordnet, daß ein Punkt P der in rechten Oberfläche 5 des quaderförmigen Objektes 3 im Tiefenschärfebereich y0 des abbildenden Systems 1 liegt. Der Punkt P wird daher scharf abgebildet. Diejenige Ebene, welche senkrecht zur optischen Achse des abbildenden Systems und zugleich durch den von diesem erzeugten Bildpunkt des Punktes P verläuft, wird im folgenden Bildebene genannt (in den Figuren nicht eingezeichnet).
Der Tiefenschärfebereich weist in y-Richtung eine Tiefe von y0 auf. Das Bild eines unterhalb des Tiefenschärfebereiches gelegenen Punktes P2 liegt vor der Bildebene und ist daher in der Bildebene unscharf. Für einen auf der Unterlage 4 gelegenen Punkt P3 gilt sinngemäß dasselbe.
Das Bild eines oberhalb des Tiefenscharfebereiches auf der rechten Quaderoberfläche 5 gelegenen Punktes Px liegt entweder hinter der Bildebene ist daher in der Bildebene unscharf, oder die vom Punkt P2 ausgehenden Lichtstrahlen werden durch das abbildende System nicht zur Konvergenz gebracht, so daß überhaupt kein reelles Bild des Punktes Pλ entsteht. Für einen auf der oberen Oberfläche 6 des quaderförmigen Objektes 3 gelegenen Punkt P3 gilt sinngemäß dasselbe.
Außerhalb des Tiefenschärfebereiches y0 gelegene Punkte verursachen daher nur einen unscharfen bzw. diffusen Bildhintergrund des vom abbildenden System 1 gelieferten Bildes.
Fig. 2 zeigt eine aus z-Richtung gesehene schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Abbildens der Zone der Quaderoberfläche von Fig. 1. In Fig. 2 liegt somit die rechte Oberfläche 5 des Quaders 3 vorne. Zur Verdeutlichung ist die Blickrichtung von Fig. 2 in Fig. 1 durch einen nach links weisenden Pfeil gekennzeichnet. Die scharf abgebildete Zone 7 bildet einen Ausschnitt der Oberfläche 5. In x- Richtung ist die Ausdehnung der scharf abgebildeten Zone 7 hingegen nur durch die Breite x0 des Bildfeldes begrenzt. Erfindungsgemäß wird nur diese Zone scharf abgebildet. Die außerhalb dieser Zone liegenden Punkte Pl5 P2, P3, P4 werden unscharf oder überhaupt nicht abgebildet.
Das maximal nutzbare Bildfeld ist i.a. durch die Abbildungsfehler des abbildenden Systems 1 begrenzt, das Bildfeld kann jedoch z.B. durch Blenden weiter eingeschränkt sein.
Durch Verändern der relativen Position zwischen abbildendem System 1 und zu vermessender Oberfläche 5 in y-Richtung können nacheinander verschiedene, parallel in y-Richtung gegeneinander versetzte Zonen scharf abgebildet werden. Durch Verändern der relativen Position zwischen abbildendem System 1 und zu vermessender Oberfläche 5 in x-Richtung kann der erfaßte Bereich der zu vermessenden Oberfläche 5 auch über die durch die Bildfeldbreite x0 hinaus vergrößert werden. Auf dieses Weise sind größere Bereiche der Oberfläche 5 erfaßbar.
In einer bevorzugten Variante erfolgt die Verschiebung des abbildenden Systems 1 gegenüber der Oberfläche 5 oder umgekehrt mit Hilfe einer elektrischen oder elektronischen Steuerung. Die Steuerung kann hierbei automatisch betrieben sein.
Das abbildende System 1 in Fig. 1 und 2 ist oberhalb der Kante 2 der zu vermessenden Oberfläche 5 angeordnet. Eine solche Anordnung besitzt den Vorteil, daß der Elevationswinkel, unter dem die scharf abgebildete Zone 7 betrachtet wird, klein ist, so daß das Höhenprofil der scharf abgebildeten Zone mit nur geringen perspektivischen Verzerrungen erfaßt wird.
Dem steht der Nachteil gegenüber, daß das abbildende System 1 nach Absenken in y-Richtung zur oberen Oberfläche 6 des quaderförmigen Objektes 3 um eine bestimmte Strecke auf der oberen Oberfläche 6 aufliegt und somit nicht weiter abgesenkt werden kann. Der erfaßbare Bereich der zu vermessenden Oberfläche 5 ist daher nach unten in y-Richtung begrenzt. Dieser Nachteil wird durch eine Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens beseitigt, die in Fig. 3 dargestellt ist. Fig. 3 zeigt eine in x-Richtung gesehene schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Abbildens einer Zone der in Fig. 3 rechts gelegenen Seitenfläche 9 eines langen stangenförmigen Objektes 8 gemäß einer anderen Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens, wobei das abbildende System 1 nicht über, sondern in z-Richtung neben dem stangenförmigen Objekt 8 angeordnet ist, so daß es in y-Richtung beliebig weit relativ zum stangenförmigen Objekt 8 nach unten verschoben werden kann. Auf dieses Weise sind beliebige Bereiche der Seitenfläche 9 erfaßbar.
Die optische Achse des abbildenden Systems 1 ist in Fig. 3 parallel zur Seitenfläche 9 ausgerichtet. Ein Nachteil deiner solchen Anordnung besteht darin, daß die scharf abgebildete Zone 7 vollständig außerhalb der optischen Achse des abbildenden Systems 1 liegt, was in der Regel zu einer Verschlechterung der Bildqualität, insbesondere der Bildschärfe, führt.
Dieser Nachteil ist in der in Fig. 4 gezeigten Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens beseitigt. Der Unterschied zu Fig. 3 besteht darin, daß die optische Achse A des abbildenden Systems 1 in Fig. 4 so ausgerichtet ist, daß ein die optische Achse des abbildenden Systems die zu vermessende Fläche 9 unter einem Winkel a > 0° im Bereich der scharf abgebildete Fläche 7 schneidet, wodurch die Bildqualität, insbesondere die Bildschärfe, gegenüber der Anordnung von Fig. 3 verbessert ist.
Der auf die Oberflächennormale N bezogene Ausfallswinkel ß für alle Lichtstrahlen, die von der scharf abgebildeten Zone ausgehen und in das abbildende System einfallen, ist weiterhin erfindungsgemäß größer als 45 Grad.
Die gemäß der Anordnungen von Fig. 3 und 4 entstehende perspektivische Verzerrung kann in Abhängigkeit vom Elevationswinkel korrigiert werden. Diese Korrektur wird vorzugsweise durch eine elektronische Datenverarbeitungseinrichtung numerisch durchgeführt. Insbesondere können vorteilhafterweise mit einem erfindungsgemäßen Verfahren auch schwer zugängliche Flächen wie z.B. die Innenflächen von engen Spalte oder engen Bohrungen vermessen werden. Fig. 5 zeigt als Beispiel hierfür eine in x-Richtung gesehene schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Abbildens einer Zone einer ersten Oberfläche 11 eines engen Spaltes 10. Das abbildende System ist so angeordnet, daß die scharf abgebildete Zone 7 auf der ersten Oberfläche 11 des Spaltes 10 liegt. Bei dieser Anordnung wird auf eine entsprechende Zone der gegenüberliegenden zweiten Oberfläche 12 des Spaltes scharf abgebildet (in Fig. 5 nicht dargestellt). Durch Verschieden des abbildenden Systems 1 in y-Richtung kann die gesamten inneren Oberflächen 11, 12 des Spaltes vermessen werden.
Nun wird auf Fig. 6 Bezug genommen, die eine in y-Richtung nach unten gesehene schematische Darstellung der bereits in Fig. 1 und 2 veranschaulichten Anordnung zum erfindungsgemäßen Abbilden der zu vermessenden Oberfläche 5 des quaderförmigen Objektes 3 zeigt. Die lichtablenkende Wirkung des abbildenden Systems 1 ist in Fig. 6 aus Gründen der Verständlichkeit nicht berücksichtigt. Fig. 6 zeigt ferner einen willkürlich gewählten Bildausschnitt 15 des vom abbildenden System abgebildeten Bereiches, welcher die scharf abgebildete Zone 7 einschließt.
Da die scharf abgebildete Zone 7, die ein Ausschnitt der zu vermessenden Oberfläche 5 ist, durch das abbildende System 1 erfindungsgemäß unter einem Elevationswinkel von weniger als 45° betrachtet wird, ist das vom abbildenden System 1 erzeugte reelle Bild der scharf abgebildeten Zone 7 im wesentlichen eine in x-Richtung Kurve, die im folgenden als Bildkurve bezeichnet wird. Der Verlauf der Bildkurve ist durch die Form bzw. das Höhenprofil der Oberfläche der scharf abgebildeten Zone 7 vorgegeben. Erhöhung schlagen sich als Auslenkung der Bildkurve in z-Richtung nieder.
Fig. 7 zeigt eine schematische, vergrößerte Darstellung der gemäß Fig. 6 gewonnenen Abbildung. Die durch den Bildausschnitt 15 verlaufende Bildkurve 16 ist im wesentlichen eine Gerade, da die scharf abgebildete Zone 7 (Fig. 1, 2, 6) Teil einer ebenen Oberfläche 5 ist. Eine Abweichung der Oberfläche der scharf abgebildete Zone 7 von einem ebenen Höhenprofil in z- Richtung bewirkt eine Abweichung 19 der Bildkurve 16 von der Form einer Geraden.
Fig. 7 zeigt ferner einen unscharfen bzw. diffusen Bildhintergrund 18. Dieser wird, wie bereits oben erläutert wurde, durch das Licht verursacht, welches i von außerhalb der scharf abgebildeten Zone 7 gelegenen und daher von nicht scharf abgebildeten Punkte stammt. Die Bildkurve 16 hebt sich erkennbar durch einen Intentsitätsunterschied gegenüber dem Bildhintergrund 18 ab.
Topographische Strukturen der scharf abgebildeten Zone, welche diese Zone nicht in Richtung des abbilden Systems überragen, führen zu einer erkennbaren Verdickung 20 der Bildkurve 16 in Richtung der Oberflächennormalen. Die Bildkurve 16, Verdickungen 20 derselben und Unregelmäßigkeiten, Störungen oder Abweichungen 19 des Höhenprofils der scharf abgebildeten Zone 7 schlagen sich somit als erkennbare Inhomogenitäten der Intensität, z.B. des Grauwertes, gegenüber dem Bildhintergrund 18 nieder.
Fig. 8 zeigt zur weiteren Erläuterung eines erfindungsgemäßen Verfahrens eine in y-Richtung nach unten gesehene schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Abbildens einer Zone der Mantelfläche eines zylinderförmigen Objektes 13.
Die gemäß der Anordnung von Fig. 8 gewonnene Abbildung ist in Fig. 9 schematisch und vergrößert dargestellt. Die scharf abgebildete Zone 7a ist Teil der Mantelfläche 14 des zylinderförmigen Objektes 13 und somit gewölbt. Die durch den Bildausschnitt 15a verlaufende Bildkurve 16a ist daher im wesentlichen ein Kreisabschnitt. Eine Abweichung der Oberfläche der scharf abgebildete Zone 7a von der Zylinderform bewirkt eine Abweichung 19a der Bildkurve 16a von der Kreisform. Durch das Licht, welches von außerhalb der scharf abgebildeten Zone 7a gelegenen und daher nicht scharf abgebildeten Punkte stammt, entsteht ein unscharfer bzw. diffuser Bildhintergrund 18a, von dem sich die Bildkurve 16a erkennbar abhebt. Die Figuren 10-17 zeigen beispielhaft anhand der Anordnung von Fig. 1 verschiedene bevorzugte Varianten der Erfindung, bei denen Licht durch einen Lichtleiter 21 auf die zu vermessende Oberfläche 5 des Objektes 3 und dort insbesondere auf die scharf abgebildete Zone gelangt. Der Lichtleiter 21 kann insbesondere z.B. ein Glasfaserkabel oder ein Lichtwellenleiter sein. Statt eines Lichtleiters 21 können erfindungsgemäß auch mehrere Lichtleiter 21 zugleich verwendet werden.
Dabei ist der Lichtleiter 21 bevorzugterweise im Bereich seines objektseitigen Endes so angeordnet und ausgebildet, bzw. dabei sind die Lichtleiter 21 im Bereich ihrer objektseitigen Enden so angeordnet und ausgebildet, daß das Licht im Wesentlichen in einen bestimmten Raumwinkelbereich 22 abgestrahlt wird, wobei die scharf abgebildete Zone 7 innerhalb dieses Raumwinkelbereiches 22 liegt.
Der bzw. die Lichtleiter 21 können im Bereich ihrer objektseitigen Enden z.B. so angeordnet und ausgebildet sein, daß das Licht kegelförmig divergierend aus ihnen austritt, so daß der Raumwinkelbereich 22 im Wesentlichen die Form eines Kegels aufweist. In einer anderen Variante tritt das Licht näherungsweise parallel aus, so daß der Raumwinkelbereich 22 im Wesentlichen die Form eines Zylinders aufweist.
In einer weiteren Varaiante ist der bzw. sind die Lichtleiter 21 im Bereich ihrer objektseitigen Enden z.B. so angeordnet und ausgebildet, daß das austretende Licht im Wesentlichen nur auf der Mantelfläche eines Kegels oder Zylinders liegt, das austretende Licht also ein Ringlicht bildet. Der Raumwinkelbereich 22 weist in diesem Fall im Wesentlichen die Form eines Kegel- oder Zylindermantels auf. Diese Variante ist z.B. dann vorteilhaft, wenn die zu vermessende Oberfläche die Innenfläche einer engen Bohrung ist.
Eine Abstrahlung des Lichtes in Richtung der scharf abgebildete Zone 7 wird in einer Variante dadurch erreicht, daß jeder Lichtleiter 21 im Bereich seines objektseitigen Endes so gebogen ist, daß der Raumwinkelbereich 22, in welchen das Licht abgestrahlt wird, die scharf abgebildete Zone 7 enthält. Wenn das Licht durch eine ebene, senkrecht zur Achse des Lichtleiters 21 verlaufende objektseitige Stirnfläche 23a austritt, ist der Lichtleiter 21 hierbei vorzugsweise so gebogen, daß Normale seiner objektseitigen Stirnfläche 23A in Richtung der scharf abgebildeten Zone 7 weist. Fig. 10 zeigt hierfür ein Ausführungsbeispiel, in welchem ein einzelner Lichtleiter 21 zum Einsatz kommt.
Bei Verwendung mehrerer Lichtleiter 21 kann der Raumwinkelbereich 22, in welchen Licht abgestrahlt wird, gemäß einer weiteren Variante (nicht gezeigt) der Erfindung dadurch vergrößert werden, daß daß jeder Lichtleiter 21 im Bereich seines objektseitigen Endes so gebogen ist, daß die Normalen der objektseitigen Stirnflächen 23A der einzelnen Lichtleiter 21 in verschiedene Richtungen weisen.
Eine Abstrahlung des Lichtes in Richtung der scharf abgebildete Zone 7 kann des Weiteren auch dadurch erreicht werden, daß der Lichtleiter 21 schräg zu dessen Achse verlaufende objektseitige Stirnflächen 23B aufweist, so daß Licht überwiegend aufgrund von Refraktion asymmetrisch zu dieser Achse abgestrahlt wird. Fig. 11 zeigt hierfür ein Ausführungsbeispiel, in welchem ein einzelner Lichtleiter 21 zum Einsatz kommt.
In dieser Variante wird - in Abhängigkeit vom Berechungsindex des Lichtleitermaterials - i.a. nur ein relativ kleiner Teil des Lichtes an der schräg verlaufenden objektseitigen Stirnfläche 23B des Lichtleiters 21 reflektiert und seitlich aus dem Lichtleiter 21 gestrahlt. In einer weiteren Variante sind daher die schräg zur Lichtleiter achse verlaufenden objektseitigen
Stirnflächen 23B verspiegelt, so daß Licht überwiegend aufgrund von i
Reflexion asymmetrisch zur Lichtleiterachse seitlich abgestrahlt wird. Fig. 12 zeigt hierfür ein Ausführungsbeispiel, in welchem ein einzelner Lichtleiter 21 zum Einsatz kommt.
Eine andere Möglichkeit, den Raumwinkelbrereich 22, in welchen Licht abgestrahlt wird, zu vergrößern, besteht darin, daß jeder Lichtleiter 21 eine konvex oder konkav gewölbte objektseitige Stirnfläche 23C aufweist. Eine konkav gewölbte Stirnfläche wirkt hiebei als Zerstreuungslinse, eine konvex gewölbte Stirnfläche 23C (Fig. 13) hingegen als Sammellinse, wobei das Licht nach Durchgang durch deren Brennebene wieder divergiert, wodurch der Raumwinkelbereich 22 ebenfalls vergrößert wird. Fig. 13 zeigt ein Ausführungsbeispiel für den letztgenannten Fall, wobei einzelner, im Endbereich gebogener Lichtleiter 21 zum Einsatz kommt.
Umgekehrt läßt sich bei Bedarf, z.B. zur Vergrößerung der Lichtintensität auf der scharf abgebildeten Zone 7, der Raumwinkelbereich 22 verkleinern, indem die objektseitige Stirnfläche jedes Lichtleiters 21 konvex mit einer solchen Krümmung gewölbt ist oder die Entfernung der Stirnfläche zur zu vermessenden Oberfläche 11 so gewählt ist, daß die scharf abgebildeten Zone 7 entweder im Bereich der Brennebene oder zwischen Stirnfläche und Brennebene liegt.
Eine weitere Möglichkeit, den Raumwinkelbereich 22, in welchen Licht abgestrahlt wird, zu vergrößern, besteht darin, daß das objektseitige Ende jedes Lichtleiters 21 zum Zweck der Lichtabstrahlung in alle Raumrichtungen kugel- oder tropfenförmig ausgebildet ist. Die Isotropie der Abstrahlung kann dadurch verbessert werden, daß das kugel- oder tropfenförmig ausgebildete objektseitige Ende jedes Lichtleiters 21 stellenweise verspiegelt und oder mindestens stellweise teildurchlässig verspiegelt ist, so die Richtungsverteilung des austretenden Lichtes durch vielfältiges Zusammenwirken von einfacher und mehrfacher Reflexion sowie von Refraktion bestimmt ist.
Eine Möglichkeit, den Lichtaustritt so zu beeinflussen, daß das austretende Licht im Wesentlichen nur auf der Mantelfläche eines Kegels liegt, das austretende Licht also ein divergentes Ringlicht bildet, besteht darin, daß das objektseitige Ende jedes Lichtleiters 21 die Form einer kegelförmigen Spitze 26 aufweist. Durch Refraktion an den Mantelflächen der kegelförmigen Spitze 26 tritt das Licht aus dem Lichtleiter 21 in einen Raumwinkelbereich 22 aus, welcher im Wesentlichen die Form eines Kegelmantels aufweist. Fig. 14 zeigt hierfür ein Ausführungsbeispiel, in welchem ein einzelner Lichtleiter 21 zum Einsatz kommt. Eine ähnliche Wirkung läßt sich erzielen, wenn daß das objektseitige Ende jedes Lichtleiters 21 als Hohlkegel 24 geformt ist. Fig. 15 zeigt hierfür ein Ausführungsbeispiel, in welchem ein einzelner Lichtleiter 21 zum Einsatz kommt.
In einer weiteren Variante ist die Mantelfläche des Hohlkegels 24 von Fig. 15 verspiegelt. Auf diese Weise wird mittels Reflexion des Lichtes an der Mantelfläche des Hohlkegels 24 ein im Wesentlichen rotationssymmetrisch um die Achse des Lichtleiters 21 verteilter seitlicher Lichtaustritt aus dem Lichtleiter 21 erreicht. Fig. 16 zeigt hierfür ein Ausführungsbeispiel, in welchem ein einzelner Lichtleiter 21 zum Einsatz kommt. Durch geeignete Wahl des Öffnungswinkels des Hohlkegels 24 kann selbstverständlich auch mit dieser Variante erreicht werden, daß der Raumwinkelbereich 22 des Lichtaustritts im Wesentlichen Form der Mantelfläche eines Kegels aufweist.
Eine ähnliche Wirkung wird erreicht, wenn das objektseitige Ende des Lichtleiters 21 die Form eines über die dortige Stirnfläche hinausragenden Vollkonus 25 aufweist, dessen Basisfläche dem Lichtleiter 21 zugewandt ist. Zur Erhöhung des Reflexionskoeffizienten kann dabei die Mantelfläche des Vollkonus 25 vorteilhafterweise verspiegelt sein. Fig. 17 zeigt hierfür ein Ausfuhrungsbeispiel, in welchem ein einzelner Lichtleiter 21 zum Einsatz kommt.
Gewerbliche Anwendbarkeit: Die Erfindung ist in Bereichen anwendbar, in denen eine Vermessung von kleinen oder mikroskopischen Strukturen von Oberflächen von Objekten gewünscht oder erforderlich ist, insbesondere solcher Oberflächen, welche aus Platzgründen nur schwer zugänglich sind, wie z.B. die Innenflächen von engen Spalten oder engen Bohrungen. Liste der Bezugszeichen:
1 abbildendes System
2 Kante von 3
3 quaderförmiges Objekt
4 Unterlage
5 zu vermessende Oberfläche von 3
6 obere Oberfläche von 3
7, 7a scharf abgebildete Zonen
8 stangenförmiges Objekt
9 Seitenfläche von 8
10 Spalt
11 erste Oberfläche von 10
12 zweite Oberfläche von 10
13 zylinderförmiges Objekt
14 Mantelfläche von 13
15, 15a Bildausschnitt
16, 16a Bildkurven
17 Kante von 14
18, 18a Hintergrund
19, 19a Abweichungen
20 Verdickung von 16
21 Lichtleiter
22 Raumwinkelbereich des Lichtaustritts aus 21
23A,B,C Stirnflächen von 21
24 Hohlkegel
25 Vollkonus
26 kegelförmige Spitze
A optische Achse von 1
N Normale zu 5, 9, 11, 12, 14

Claims

Patentansprüche:
1. Verfahren zur optischen Vermessung mindestens einer Zone einer Oberfläche eines Objektes mit Hilfe eines abbildenden Systems von geringer Tiefenschärfe, dadurch gekennzeichnet, daß a) das abbildende System so angeordnet ist, daß
- der Winkel (α) zwischen der optische Achse (A) des abbildenden Systems (1) und der Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14) maximal 45 Grad beträgt,
- sich eine begrenzte Zone (7, 7a) der Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14) innerhalb des Tiefenscharfebereiches des abbildenden Systems (1) befindet und durch dieses (1) als reelles Bild scharf abgebildet wird, wobei diese Zone (7, 7a) aufgrund der geringen Tiefenschärfe des abbildenden Systems (1) in Richtung der Projektion der optischen Achse (A) auf die Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14) schmal ist, - der auf die Oberflächennormale (N) bezogene Ausfallswinkel (ß) für alle Lichtstrahlen, die von der scharf abgebildeten Zone (7, 7a) ausgehen und in das abbildende System (1) einfallen, größer ist als 45 Grad, so daß diese Zone unter einem Elevationswinkel von weniger als 45 Grad betrachtet wird und das reelle Bild dieser Zone (7, 7a) im wesentlichen eine Kurve (16, 16a) ist, deren Verlauf im wesentlichen dem Höhenprofil dieser Zone
(7, 7a) in der Richtung parallel zur Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14) und senkrecht zur optischen Achse (A) entspricht,
- solche Teile der Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14), die sich außerhalb des Tiefenscharfebereiches des abbildenden Systems (1) und damit außerhalb der scharf abgebildeten Zone (7, 7a) befinden, durch das abbildende System (1) unscharf oder überhaupt nicht als reelles Bild abgebildet werden und einen Bildhintergrund (18, 18a) liefern, gegen den sich die Kurve (16, 16a) abzeichnet, b) der durch das reelle Bild der scharf abgebildeten Zone (7, 7a) gebildete Kurvenverlauf zur Vermessung der Oberflächenform dieser Zone (7,1 7a) in deren Längsrichtung ausgewertet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das abbildende System (1) gegenüber der Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14) oder umgekehrt schrittweise oder kontinuierlich so verschoben wird, daß nacheinander benachbarte schmale Zonen (7, 7a) der Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14) scharf abgebildet und einer Vermessung unterworfen werden, so daß ein beliebig großer Bereich der Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14) dreidimensional topographisch vermeßbar ist.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die scharfen Bilder benachbarter Zonen (7, 7a) zu einem Gesamtbild oder zu einer topographischen Karte zusammengesetzt werden.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die bei einer Betrachtung der scharf abgebildeten Zone (7, 7a) unter einem Elevationswinkel von mehr als Null Grad entstehende perspektivische Verzerrung des Höhenprofils in Abhängigkeit vom Elevationswinkel korrigiert wird.
5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Veränderung der relativen Position des abbildenden Systems (1) gegenüber der Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14) oder umgekehrt mit Hilfe einer elektrischen oder elektronischen Steuerung erfolgt.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß elektrische oder elektronische Steuerung automatisch betrieben ist.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das vom abbildenden System (1) gelieferte reelle Bild durch eine CCD- Einrichtung oder Video-Kamera erfaßt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das von der CCD-Einrichtung oder Video-Kamera gelieferte Signal digitalisiert und in eine elektronische Datenverarbeitungseinrichtung eingelesen wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die elektronische Datenverarbeitungseinrichtung das vom abbilden System (1) gelieferte Bild einschließlich dem durch das reelle Bild der scharf abgebildeten Zone (7, 7a) gebildeten Kurvenverlauf auf einem Bildschirm darstellt.
10. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die elektronische Datenverarbeitungseinrichtung den durch das reelle Bild der scharf abgebildeten schmalen Zone (7, 7a) gebildeten Kurvenverlauf softwaremäßig durch Schärfeerkennung feststellt und/oder mittels eines mathematischen Algorithmus oder Rechenverfahrens erkennt.
11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die elektronische Datenverarbeitungseinrichtung zur Verbesserung der Erkennbarkeit der Kurve (16, 16a) eine Kontrastverstärkung und/oder eine Konturverstärkung und/oder ein anderes Verfahren zur Hervorhebung der Kurve durchführt und/oder den Mittelwert des Bildhintergrundes (18, 18a) ermittelt und diesen softwaremäßig von dem vom abbildenden System (1) gelieferten Bild subtrahiert.
12. Verfahren nach AnspruchlO, dadurch gekennzeichnet, daß die elektronische Datenverarbeitungseinrichtung den festgestellten Kurvenverlauf softwaremäßig parametrisiert.
13. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die elektronische Datenverarbeitungseinrichtung die Abweichung zwischen dem erkannten Kurvenverlauf und einem vorgegebenen Soll- Kurvenverlauf durch Differenzbildung ermittelt.
14. Verfahren nach Anspruch 2 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß die elektronische Daten Verarbeitungseinrichtung die Ergebnisse der Vermessung benachbarter scharf abgebildeter Zonen (7, 7a) zu einem Gesamtbild oder einer topographischen Karte zusammensetzt.
15. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die elektronische Daten Verarbeitungseinrichtung jedem vermessenen Bildpunkt eine x-, eine y- und eine z-Koordinate zuordnet und somit die Topographie des vermessenen Bereiches der Oberfläche in ein 3- dimensionales Koordinatenfeld umsetzt.
16. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zu vermessende Bereich der Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14) zum Zwecke seiner Aufhellung durch eine inkohärentes Licht aussendende Lichtquelle, z.B. eine Halogenlampe, beleuchtet wird.
17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Licht vor Eintritt in das abbildende System ein Filter durchläuft, welches nur einen bestimmten Spektralbereich passieren läßt.
18. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zu vermessende Bereich der Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14) zum Zwecke seiner Aufhellung durch eine kohärentes Licht aussendende Lichtquelle, z.B. einen Laser, beleuchtet wird.
19. Verfahren nach Anspruch 16 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß die scharf abgebildete Zone (7, 7a) mit höherer Intensität beleuchtet wird als die restliche Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14).
20. Verfahren nach Anspruch 16 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Licht der Lichtquelle bildseitig in das abbildende System (1) eintritt und objektseitig aus diesem austritt und von dort auf den zu vermessenden Bereich der Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14) gelangt, so daß die Beobachtung und die Beleuchtung aus annähernd der gleichen Richtung erfolgen..
21. Verfahren nach Anspruch 16 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Licht der Lichtquelle aus einer Richtung auf den zu vermessenden Bereich der Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14) auftrifft, welche der Beobachtungsrichtung im wesentlichen entgegengesetzt ist.
22. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Licht durch einen Lichtleiter (21), z.B. Glasfaserkabel oder Lichtwellenleiter, auf die scharf abgebildete Fläche (7, 7a) gelangt.
23. Verfahren nach Anspruch 16 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Licht durch eine Mehrzahl von Lichtleitern (21), z.B. Glasfaserkabel oder Lichtwellenleiter, auf die scharf abgebildete Fläche (7, 7a) gelangt.
24. Verfahren nach Anspruch 22 oder 23, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtleiter (21) im Bereich seines objektseitigen Endes bzw. die Lichtleiter (21) im Bereich ihrer objektseitigen Enden so angeordnet und ausgebildet ist bzw. sind, daß das Licht im Wesentlichen in einen bestimmten Raumwinkelbereich (22) abgestrahlt wird, wobei die scharf abgebildete Zone (7, 7a) innerhalb dieses Raumwinkelbereiches (22) liegt.
25. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß der Raumwinkelbereich (22) im Wesentlichen die Form eines Kegels aufweist.
26. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß der Raumwinkelbereich (22) im Wesentlichen die Form eines Kegelmantels aufweist.
27. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Lichtleiter (21) im Bereich seines objektseitigen Endes so gebogen ist, daß der Raumwinkelbereich (22) die scharf abgebildete Zone (7, 7a) enthält.
28. Verfahren nach Anspruch 23 und 27, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Lichtleiter (12) im Bereich seines objektseitigen Endes so gebogen ist, daß zur Vergrößerung des Raumwinkelbereiches (22) die Normalen der objektseitigen Stirnflächen der einzelnen Lichtleiter (21) in verschiedene Richtungen weisen.
29. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Lichtleiter (21) eine schräg zu dessen Achse verlaufende objektseitige Stirnfläche (23b) aufweist, so daß Licht aufgrund von Refraktion und/oder Reflexion an dieser Stirnfläche (23b) asymmetrisch zu dieser Achse abgestrahlt wird.
30. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß die objektseitige Stirnfläche (23b) jedes Lichtleiters (21) verspiegelt ist.
31. Verfahren nach Anspruch 24 oder 27, dadurch gekennzeichnet, daß die objektseitige Stirnfläche jedes Lichtleiters (21) zum Zweck der Vergrößerung des Raumwinkelbereiches (22) konvex oder konkav gewölbt ist.
32. Verfahren nach Anspruch 24 oder 27, dadurch gekennzeichnet, daß die objektseitige Stirnfläche (23c) jedes Lichtleiters (21) zum Zweck der Verkleinerung des Raumwinkelbereiches (22) konvex gewölbt ist.
33. Verfahren nach Anspruch 22 oder 23, dadurch gekennzeichnet, daß das objektseitige Ende jedes Lichtleiters (21) zum Zweck der Lichtabstrahlung in alle Raumrichtungen kugel- oder tropfenförmig ausgebildet ist.
34. Verfahren nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, daß das kugel- oder tropfenförmig ausgebildete objektseitige Ende jedes Lichtleiters (21) stellenweise verspiegelt und/oder mindestens stellenweise teildurchlässig verspiegelt ist.
35. Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß das objektseitige Ende jedes Lichtleiters (21) die Form einer kegelförmigen Spitze (26) aufweist.
36. Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß das objektseitige Ende jedes Lichtleiters (21) die Form eines Hohlkegels (24) aufweist.
37. Verfahren nach Anspruch 36, dadurch gekennzeichnet, daß die Mantelfläche des Hohlkegels (24) oder Hohlkonus verspiegelt ist.
38. Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß das objektseitige Ende des Lichtleiters (21) die Form eines über die dortige Stirnfläche hinausragenden Vollkonus (25) aufweist, dessen Basisfläche vom Lichtleiter (21) abgewandt ist.
39. Verfahren nach Anspruch 38, dadurch gekennzeichnet, daß die Mantelfläche des Vollkonus (25) verspiegelt ist.
40. Verfahren nach Anspruch 22 , dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle in den Lichtleiter (21) eingebettet ist.
41. Verfahren nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle eine Leuchtdiode ist, deren Kopf in einen Lichtleiter (21) übergeht.
42. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Abbildungsmaßstab des abbildenden Systems (1) durch Austausch eines optischen Elementes oder eine Zoom- Vorrichtung veränderbar ist.
43. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das abbildende System (1) ein elektronenoptisches System ist, welches mittels Elektronen, die von der zu vermessenden Oberfläche (5, 9, 11, 12, 14) ausgehen, ein Bild erzeugt, bei welchem sich die scharf abgebildete Zone (7, 7a) erkennbar von einem Bildhintergrund (18, 18a) abhebt.
PCT/EP2001/008308 2000-07-20 2001-07-18 Verfahren zur optischen vermessung einer oberfläche eines objektes WO2002008737A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10192962T DE10192962B4 (de) 2000-07-20 2001-07-18 Verfahren zur optischen Vermessung einer Oberfläche eines Objektes
AU2001289686A AU2001289686A1 (en) 2000-07-20 2001-07-18 Method for the optical surveying of a surface of an object

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10035664.8 2000-07-20
DE10035664 2000-07-20
DE10047270.2 2000-09-23
DE10047270A DE10047270A1 (de) 2000-07-20 2000-09-23 Verfahren zur optischen Vermessung einer Oberfläche eines Objektes

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2002008737A1 true WO2002008737A1 (de) 2002-01-31

Family

ID=26006476

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2001/008308 WO2002008737A1 (de) 2000-07-20 2001-07-18 Verfahren zur optischen vermessung einer oberfläche eines objektes

Country Status (3)

Country Link
AU (1) AU2001289686A1 (de)
DE (1) DE10192962B4 (de)
WO (1) WO2002008737A1 (de)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3976382A (en) * 1972-11-14 1976-08-24 A/S Kongsberg Vapenfabrik Procedure and apparatus for determining the geometrical shape of a surface
US4863268A (en) * 1984-02-14 1989-09-05 Diffracto Ltd. Diffractosight improvements
EP0372241A2 (de) * 1988-11-17 1990-06-13 Siemens Aktiengesellschaft Optikanordnung zur dreidimensionalen Formerfassung
DE4415582A1 (de) * 1994-05-04 1995-11-09 Autec Gmbh Vorrichtung zur optischen Abstandsmessung an Innenwänden durch Einführung eines Meßkopfes
WO1996025659A1 (en) * 1995-02-14 1996-08-22 National Research Council Of Canada Surface topography enhancement
DE19708582A1 (de) * 1997-03-03 1998-09-10 Bauer Ernst & Sohn Gmbh Co Kg Qualitätskontrolle für Kunststeine
US5963328A (en) * 1997-08-28 1999-10-05 Nissan Motor Co., Ltd. Surface inspecting apparatus

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4413758C2 (de) * 1993-04-21 1998-09-17 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung und Verfahren zur Prüfung der Gestalt einer Oberfläche eines zu vermessenden Objektes
DE19944021A1 (de) * 1998-09-14 2000-05-04 Nikon Corp Interferometrische Vorrichtung und Verfahren zum Vermessen der Oberflächentopographie einer Testoberfläche

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3976382A (en) * 1972-11-14 1976-08-24 A/S Kongsberg Vapenfabrik Procedure and apparatus for determining the geometrical shape of a surface
US4863268A (en) * 1984-02-14 1989-09-05 Diffracto Ltd. Diffractosight improvements
EP0372241A2 (de) * 1988-11-17 1990-06-13 Siemens Aktiengesellschaft Optikanordnung zur dreidimensionalen Formerfassung
DE4415582A1 (de) * 1994-05-04 1995-11-09 Autec Gmbh Vorrichtung zur optischen Abstandsmessung an Innenwänden durch Einführung eines Meßkopfes
WO1996025659A1 (en) * 1995-02-14 1996-08-22 National Research Council Of Canada Surface topography enhancement
DE19708582A1 (de) * 1997-03-03 1998-09-10 Bauer Ernst & Sohn Gmbh Co Kg Qualitätskontrolle für Kunststeine
US5963328A (en) * 1997-08-28 1999-10-05 Nissan Motor Co., Ltd. Surface inspecting apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
AU2001289686A1 (en) 2002-02-05
DE10192962B4 (de) 2012-09-27
DE10192962D2 (de) 2003-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102006007172B4 (de) Verfahren und Anordnung zur schnellen, ortsaufgelösten, flächigen, spektroskopischen Analyse, bzw. zum Spectral Imaging oder zur 3D-Erfassung mittels Spektroskopie
EP0168643B1 (de) Gerät zur Wafer-Inspektion
DE102006050834A1 (de) Grabenmesssystem mit einem chromatischen konfokalen Höhensensor und einem Mikroskop
EP2437027A2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur dreidimensionalen optischen Abtastung einer Probe
WO1993011403A1 (de) Optischer abstandssensor
DE3309584A1 (de) Optisches inspektionssystem
DE102016200014B4 (de) Interferenz-Objektivlinse und Lichtinterferenzmessvorrichtung
EP2863167B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Ablenkung von Lichtstrahlen durch eine Objektstruktur oder ein Medium
DE10317078B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Analyse reflektierender Oberflächen
DE102015108912A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung von Oberflächentopographien
EP3569976B1 (de) Rauheitsmesstaster, vorrichtung mit rauheitsmesstaster und entsprechende verwendung
DE10056329B4 (de) Optisches Abstandsmeßverfahren und Abstandssensor
DE10047270A1 (de) Verfahren zur optischen Vermessung einer Oberfläche eines Objektes
DE102015009471B4 (de) Außenabmessungs-Messgerät, Außenabmessungs-Messverfahren und Computerprogrammprodukt
DE10192962B4 (de) Verfahren zur optischen Vermessung einer Oberfläche eines Objektes
EP3575741B1 (de) Verfahren zum berührungsfreien vermessen einer werkstückkante
DE102016203671A1 (de) Verfahren zum Bestimmen einer Höheninformationen einer Probe und Scanningmikroskop
DE102017007590B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von dreidimensionalen Objekten auf Basis des Lichtschnittverfahrens
DE102017009334B3 (de) Verfahren zum Prüfen eines optischen Systems
EP1794572B1 (de) Verfahren zum betrieb eines interferometrischen systems mit einem referenzelement mit einer oder mehreren verspiegelten zonen
EP0567981B1 (de) Verfahren zur Vermessung von Krümmungsprofilen von Kanten
EP1273878B1 (de) Verfahren zur Detektion eines Objektes mit unterschiedlichen Auflösungen
DE102022109577B4 (de) Verfahren und Messkamera zur zweidimensionalen Vermessung von Gegenständen
DE102019113975B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen des Fokuszustands eines Mikroskops sowie Mikroskop
DE102010000550A1 (de) Verfahren zum Fokussieren einer Objektebene und optische Anordnung

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AU BA BG BR BY CA CN CU CZ DE DZ EE HR HU ID IL IN IS JP KR LT LV MA MD MK MX NO NZ PL RO RU SG SI SK TR UA US YU ZA

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
REG Reference to national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: 8642

REF Corresponds to

Ref document number: 10192962

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20030821

Kind code of ref document: P

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10192962

Country of ref document: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase
ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2003134367

Country of ref document: RU

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP

REG Reference to national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: 8607