WO2000000977A1 - Flying head slider and disk drive - Google Patents

Flying head slider and disk drive Download PDF

Info

Publication number
WO2000000977A1
WO2000000977A1 PCT/JP1999/003537 JP9903537W WO0000977A1 WO 2000000977 A1 WO2000000977 A1 WO 2000000977A1 JP 9903537 W JP9903537 W JP 9903537W WO 0000977 A1 WO0000977 A1 WO 0000977A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
head slider
disk
recording medium
shaped recording
flying
Prior art date
Application number
PCT/JP1999/003537
Other languages
French (fr)
Japanese (ja)
Inventor
Michio Yotsuya
Kazushige Kawazoe
Original Assignee
Sony Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corporation filed Critical Sony Corporation
Publication of WO2000000977A1 publication Critical patent/WO2000000977A1/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B21/00Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
    • G11B21/02Driving or moving of heads
    • G11B21/022Programmed access in sequence to indexed parts of operating record carriers
    • G11B21/025Programmed access in sequence to indexed parts of operating record carriers of rotating discs

Definitions

  • the present invention uses a disk-shaped recording medium such as a magnetic disk, an optical disk, and a magneto-optical disk as a recording medium, and uses the recording medium as a main body of the disk drive apparatus.
  • the present invention relates to a floating head slider used in a so-called rim-bubble type disk drive device which can be exchanged with respect to a disk drive, and a removable disk drive device using the floating head slider.
  • a floating type head slider for example, there is a type used for a built-in type or an external type hard disk drive device connected to a computer or the like.
  • the hard disk drive includes a magnetic disk 1 that is driven to rotate at a constant angular velocity by a spindle motor, a swing arm 2 that is swingably arranged with respect to the main body of the device, and a swing arm 2.
  • a floating head slider 3 and the like provided at the swing end of the moving arm 2 are provided.
  • the flying head slider 3 incorporates a magnetic head element 4 for writing and reading signals to and from the magnetic disk 1.
  • the swing arm 2 is swung, and a floating head slider 3 provided at the swing end of the swing arm 2 is moved in the radial direction of the magnetic disk 1.
  • a seek operation is performed, and a magnetic head element 4 incorporated in the flying head slider 3 writes and reads a signal to and from a predetermined recording track of the magnetic disk 1.
  • the magnetic disk 1 when the magnetic disk 1 is rotated by the spindle motor, an air flow is generated on the disk surface la of the magnetic disk 1.
  • This air flow enters between the disk surface 1 a of the magnetic disk 1 and the surface 3 a of the flying head slider 3 facing the magnetic disk 1, so that the flying head slider 3 is configured as shown in FIG.
  • the magnetic disk 1 floats on the disk surface 1a with a predetermined flying height.
  • the distance between the surface 3 a facing the magnetic disk 1 and the disk surface 1 a of the magnetic disk 1 is such that the end on the air inflow side where the air flow flows in has more air.
  • the magnetic disk 1 is stably levitated above the magnetic disk 1 by keeping the posture slightly larger than the end on the air outflow side where the flow flows out.
  • the flying type head slider 3 is floated on the magnetic disk 1 at a predetermined flying height by receiving the airflow generated by the rotation of the magnetic disk 1 and is moved to the floating type.
  • a magnetic head element 4 incorporated in the head slider 3 performs writing and reading of signals to and from the magnetic disk 1.
  • FIG. 3 shows an example of the flying head slider 3 used in the hard disk drive device described above.
  • the floating head shown in Fig. 3 The slider 3 is a so-called catamaran-type floating head slider, and air flows into both sides in the width direction of the facing surface 3a facing the magnetic disk 1 (both sides in the radial direction of the magnetic disk 1).
  • Two rails 5 and 6 functioning as an air bearing surface are provided from the side end to the air outflow side end.
  • the flying head slider 3 incorporates a magnetic head element 4 at the end on the air outflow side.
  • the flying head slider 3 when the flying head slider 3 approaches the disk surface 1a of the magnetic disk 1 rotating in the direction of arrow X, it receives the airflow generated by the rotation of the magnetic disk 1, A positive pressure is generated between the two rails 5 and 6 and the disk surface 1a of the magnetic disk 1 to obtain a levitation force.
  • the flying head slider 3 is magnetically moved by the magnetic head element 4 incorporated at the end on the air outflow side while flying above the disk surface 1a of the magnetic disk 1 by a predetermined flying height. Writes and reads signals to and from disk 1.
  • the rails 5 and 6 are provided on both sides in the width direction of the surface 3a facing the magnetic disk 1, respectively, because the rails 5 and 6 are provided on both sides in the width direction of the flying head slider 3. This is because it is more advantageous to generate a levitation force in stabilizing the flying head slider 3 in the width direction (roll direction).
  • the flying head slider 3 is formed at the end of the rails 5 and 6 on the air inflow side so as to be depressed at a predetermined depth from the surface of the rails 5 and 6 (the surface facing the magnetic disk 1). Step portions (hereinafter, referred to as steps) 7 and 8 are provided.
  • the floating type head slider 3 is provided with the rails 5 and 6. By providing steps 7 and 8 at the end on the air inflow side, the posture in the length direction (pitch direction) is stabilized.
  • the flying head slider 3 does not have the steps 7 and 8 at the ends of the rails 5 and 6 on the air inflow side, the distance between the rails 5 and 6 and the disk surface la of the magnetic disk 1 is increased.
  • the peak of the positive pressure (buoyancy) generated at one point in the lengthwise direction of the rail 5 and one point in the lengthwise direction of the rail 6 is generated. Then, the flying head slider 3 swings in a seesaw shape with the portion where the positive pressure peak occurs as a fulcrum, and the posture in the length direction (pitch direction) is not stable.
  • the steps 7 and 8 are generally formed as relatively shallow steps having a depth of about 0.1 to 0.3 ⁇ m. This is because peaks of positive pressure (levitation force) generated between the rails 5 and 6 and the disk surface 1a of the magnetic disk 1 are generated at two positions in the longitudinal direction of the rails 5 and 6, respectively. In steps 7 and 8, if the depth is about 0.1 to 0.3 m Because it is enough.
  • the flying head slider 3 will be in the position shown in FIG. 2 earlier, that is, the end on the air inflow side will be closer to the air outflow side. This is because the posture in which the distance between the magnetic disk 1 and the magnetic disk 1 is larger than that of the end cannot be maintained, and the posture in the longitudinal direction may be rather unstable. More specifically, when the angle (pitch angle) between the disk surface 1a of the magnetic disk 1 and the facing surface 3a of the flying head slider 3 facing the magnetic disk 1 is less than 20 ⁇ rad, the floating type The head slider 3 has very low flying stability.
  • the flying head slider 3 described above, if the depth of the steps 7 and 8 is small, if the dust or the like adheres to the steps 7 and 8, the flying height may be reduced. I have understood that.
  • the flying height of the floating head slider 3 has tended to be small in order to achieve high-density recording while minimizing the spacing opening.
  • the flying height of the head slider 3 is set to a very small value of 20 nm.
  • the flying head slider 3 comes into contact with the magnetic disk 1 and the flying head slider 3 or The magnetic disk 1 may be damaged.
  • a magneto-optical disk or the like as a recording medium is generally replaceable with the disk drive device body.
  • hard disk drive technology has been introduced into disk drive devices that use this magneto-optical disk or the like as a recording medium, and signals are written to and read from a magneto-optical disk or the like using a floating head slider. It is considered to do.
  • the present invention has been proposed in view of the above-described conventional situation, and is used in a disk drive device in which a disk-shaped recording medium can be exchanged with a disk drive device body. Even when dust is attached to the floating head slider, the amount of sudden floating It is an object of the present invention to provide a flying head slider which does not cause a decrease in the disk drive and a disk drive device using the same.
  • step In the case where dust or the like adheres to the flying head slider, it is effective to increase the depth of the step called “step” to some extent in order to suppress the sudden drop in the flying height of the flying head slider. I understand that. It has also been found that if the depth of the step called a step is made too deep, the attitude of the flying head slider becomes unstable.
  • the optimal value of the depth of the step called this step does not depend much on the size and shape of the flying head slider, and is almost constant for all types of flying head slider. I made it.
  • the present invention optimizes the depth of a step called a step of a flying head slider, and even if the flying head slider is attached with dust and the like, the flying height of the flying head slider is reduced. In addition to suppressing the sharp drop, the attitude of the flying head slider is stabilized.
  • the floating head slider according to the present invention is used in a disk drive device in which a disk-shaped recording medium is replaceable with respect to the disk drive device main body, and a disk mounted in the disk drive device main body.
  • a flying height of 100 nm or less by air flow generated by rotation of the disc-shaped recording medium, and write and / or read signals to and from the disc-shaped recording medium
  • a step is formed at an end of the surface facing the disk-shaped recording medium on the air inflow side, and the step is formed. Is characterized by a depth of 0.4 / m to l.2 mm.
  • the depth of the step formed at the end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium is set to 0.4 jum or more, so that dust and the like are removed. Even if it adheres, a decrease in the flying height is suppressed.
  • the depth of the step formed at the end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium is set to 1.2 m or less, so that the disk-shaped recording slider can be used.
  • the pitch angle which is the angle formed between the surface facing the medium and the disk-shaped recording medium, is 20 rad or more, and the attitude when flying is stabilized.
  • Another floating head slider according to the present invention is used in a disk drive device in which a disk-shaped recording medium is replaceable with respect to the disk drive device main body, and is mounted in the disk drive device main body.
  • the air flow generated by the rotation of the disk-shaped recording medium causes the disk-shaped recording medium to float from the disk-shaped recording medium with a flying height of 20 nm to 100 nm, and writes and / or writes a signal on the disk-shaped recording medium.
  • a step is formed at the end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium, and the depth of the step is from 0.3 ⁇ m to l.2. ⁇ M.
  • the depth of the step formed at the end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium is set to 0.3 ⁇ m or more. Even if the flying height is reduced, the rapid decrease in the flying height is suppressed, and However, since the amount of the decrease is slight, it falls within the allowable range of a flying head slider that flies at a flying height of 20 nm or more.
  • the pitch angle is formed by setting the depth of the step formed at the end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium to 1.2 m or less. It becomes 20 zrad or more, and the posture when ascending is stabilized.
  • the disk drive device is a disk drive device in which a disk-shaped recording medium is replaceable with respect to the disk drive device main body, wherein the disk-shaped recording medium mounted in the disk drive device main body is provided.
  • a disk rotation driving means for rotating the disk-shaped recording medium; and an airflow generated by the rotation of the disk-shaped recording medium.
  • a flying head slider for writing and / or reading signals through the disk, and an actuator for moving the flying head slider in the radial direction of the disk-shaped recording medium.
  • a step is formed at an end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium, and the step Saga 0. 4 ⁇ M ⁇ l. It that features a being in the range of 2 ⁇ M.
  • the depth of the step formed at the air inflow side end of the surface of the flying head slider facing the disk-shaped recording medium is set to 0.4 m or more. Even when dust or the like adheres to the floating head slider, a decrease in the floating amount of the floating head slider is suppressed.
  • the depth of a step formed at the air inflow side end of the surface of the floating head slider facing the disk-shaped recording medium is set to 1.2 m or less. Therefore, the pitch angle becomes 20 rad or more, and the attitude when the flying head slider is flying above the disk-shaped recording medium is stabilized.
  • this disk drive device it is possible to stably record and reproduce signals with respect to the disk-shaped recording medium while suppressing the fluctuation of the spacing.
  • Another disk drive device is a disk drive device in which a disk-shaped recording medium is replaceable with respect to the disk drive device main body, and is mounted inside the disk drive device main body.
  • a flying head slider that flies at a flying height of about 100 nm to write and / or read signals to and from the disk-shaped recording medium;
  • the floating head slider has a step formed at the end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium, and the depth of the step is increased.
  • 0.3 ⁇ rr! It is characterized by being within the range of ⁇ 1.2 ⁇ m.
  • the floating head slider is The depth of the step formed at the end of the surface facing the disk-shaped recording medium on the air inflow side is set to 0.3 m or more, so that dust or the like may adhere to the floating head slider.
  • the flying height of the floating type head slider is suddenly reduced, even if the flying height is reduced, the amount of the decrease is slight, so it is more than 20 nm. This is within the allowable range for a flying head slider that flies at a flying height of.
  • this disk drive device it is possible to effectively avoid the inconvenience of collision between the flying head slider and the disk-shaped recording medium, and to prevent damage to the flying head slider / disk-shaped recording medium. Can be prevented.
  • the depth of a step formed at the air inflow side end of the surface of the floating head slider facing the disk-shaped recording medium is set to 1.2 m or less. Therefore, the pitch angle becomes 20 rad or more, and the attitude of the flying head slider when flying above the disk-shaped recording medium is stabilized.
  • FIG. 1 is a perspective view schematically showing a main part of a conventional hard disk drive device.
  • FIG. 2 is a side view schematically showing a main part of a conventional hard disk drive.
  • FIG. 3 is a view showing an example of a flying head slider used in a conventional hard disk drive device, and is a perspective view showing the flying head slider viewed obliquely from below and forward.
  • FIG. 4 is a side view showing an example of a flying head slider used in a conventional hard disk drive.
  • FIG. 5 is a perspective view showing a schematic configuration of a hard disk drive device to which the present invention is applied.
  • FIG. 6 is a diagram showing an example of a flying head slider used in a hard disk drive device to which the present invention is applied, and is a perspective view showing the flying head slider viewed from obliquely downward and forward.
  • FIG. 7 is a side view showing an example of a flying head slider used in a hard disk drive device to which the present invention is applied.
  • FIG. 8 is a bottom view showing an example of a flying head slider used in a hard disk drive device to which the present invention is applied, showing an example of specific dimensions.
  • FIG. 9 is a side view showing an example of a flying head slider used in a hard disk drive device to which the present invention is applied, with specific examples of dimensions.
  • FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the step depth and the flying height of a flying head slider.
  • FIG. 11 is a bottom view showing the flying head slider in a state where dust adheres to the center of the step in the width direction (state A).
  • FIG. 12 is a side view showing the flying head slider in a state where dust adheres to the center of the step in the width direction (state A).
  • FIG. 13 shows a state where dust adheres to the entire area in the width direction of the step.
  • FIG. 4 is a bottom view showing the flying head slider in the (B state).
  • FIG. 14 is a side view showing the flying head slider in a state where dust adheres over the entire area in the width direction of the step (state B).
  • FIG. 15 is a diagram showing the relationship between the step depth of the flying head slider and the amount of change in the flying height.
  • FIG. 16 is a diagram showing the relationship between the step depth and the pitch angle of the flying head slider.
  • FIG. 17 is a diagram showing another example of a flying head slider used in a hard disk drive device to which the present invention is applied.
  • FIG. 17 is a perspective view showing this flying head slider as viewed obliquely from below and forward. is there.
  • FIG. 18 is a diagram for explaining a change in the skew angle.
  • FIG. 19 is a view showing still another example of the flying head slider used in the hard disk drive device to which the present invention is applied.
  • FIG. FIG. FIG. 20 is a view showing still another example of the flying head slider, and is a perspective view showing the flying head slider viewed obliquely from below and forward. .
  • FIG. 21 is a side view showing still another example of the flying head slider.
  • FIG. 22 is a diagram showing the relationship between the taper inclination angle of the flying head slider and the flying height.
  • FIG. 5 shows an example of a hard disk drive device to which the present invention is applied.
  • the hard disk drive 10 shown in FIG. 5 is a so-called removable hard disk drive in which the magnetic disk 30 is replaceable with respect to the hard disk drive main body 11.
  • the hard disk drive device main body 11 includes a housing 12 formed of an aluminum alloy or the like, and a magnetic disk 3 is mounted on a disk mounting portion 13 provided inside the housing 12. 0 is attached.
  • the housing 12 is provided with a spindle motor 14 which is located substantially at the center of the disk mounting portion 13 and rotates the magnetic disk 30 at a constant angular velocity.
  • a swing arm 15 is attached to the housing 12 so as to be swingable about a vertical axis 15a as a swing center.
  • a voice coil 16 is mounted near a portion supported by the vertical axis 15a of the swing arm 15.
  • a floating head slider 20 is attached to the swing end of the swing arm 15.
  • a pair of magnets 17 are provided in the housing 12 so as to sandwich the voice coil 16 attached to the swing arm 15 (only one of the magnets is shown in FIG. 1).
  • a voice coil motor 18 is formed by the pair of magnets 17 and voice coil 16.
  • a ramp 19 is provided in the vicinity of the side wall of the housing 12 along the swing trajectory of the swing arm 15. When the disk 30 is not mounted, the floating head slider 20 attached to the swing end of the swing arm 15 is supported by the ramp 19.
  • the magnetic disk 30 is housed in a cartridge 31, and is configured as a disk force cartridge 32.
  • the cartridge 31 for accommodating the magnetic disk 30 has, on one side surface, a floating type attached to the swing end of the swing arm 15 and the swing end of the swing arm 15.
  • An opening 33 is provided for letting the head slider 20 enter the inside of the force cartridge 31.
  • the force cartridge 31 is provided with a shirt 34 for opening and closing the opening 33, and the disk cartridge 32 is attached to the hard disk drive device body 11. If not, the opening 33 is closed by the shutter 34.
  • the hard disk drive 10 configured as described above is mounted in the cartridge 3 1.
  • the magnetic disk 30 is checked by the spindle motor 14 and the shirt motor 34 is moved by a shirt moving mechanism (not shown).
  • the swing arm 15 is driven by the force generated by the current flowing through the voice coil motor 18 and the magnetic field of the magnet 17.
  • the floating head slider 20 attached to the swinging end side of the swinging arm 15 and the swinging end thereof passes through an opening 33 provided in the cartridge 31.
  • the flying head slider 20 When the flying head slider 20 is loaded on the magnetic disk 30, the flying head slider 20 reads a servo signal previously recorded on the magnetic disk 30, and the result is read. The current value fed back to the voice coil module 18 is controlled. Then, the swing arm 17 is swung in accordance with the current value to perform a seek operation, and the flying head slider 20 is moved to a predetermined recording track, so that the flying head is moved. Signal writing and reading by the slider 20 are performed, and tracking control is performed.
  • FIGS An example of the flying head slider 20 used in the hard disk drive 10 is shown in FIGS.
  • the floating head slider 20 shown in FIGS. 6 and 7 is a so-called negative pressure utilizing type.
  • the flying type head slider 20 is entirely formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, and has a lower surface (a surface facing the magnetic disk 30) on both sides in a width direction (a direction along a radial direction of the magnetic disk 30). On both sides), two rails 21 and 22 functioning as an air bearing surface are provided from the end on the air inflow side to the end on the air outflow side. On the lower surface of the flying head slider 20, a rail (hereinafter referred to as a cross rail 23) formed at the end on the air inflow side so as to connect the two rails 21 and 22 is formed. ) Is provided.
  • the portion surrounded by these two rails 21 and 22 and the cross rail 23 is the surface of the two rails 21 and 22 and the cross rail 23 (for the magnetic disk 30).
  • the area is recessed from the opposite surface (hereinafter, this area is referred to as cavity 24).
  • the cavities 24 function as a negative pressure generating zone for generating a negative pressure by releasing the positive pressure generated in the cross rail 23. That is, when an air flow flows between the flying head slider 20 and the magnetic disk 30, the air flow first collides with the cross rail 23 and is compressed to generate a positive pressure. As a result, a floating force is applied to the flying head slider 20.
  • the air flow compressed by the cross rails 23 is rapidly expanded when flowing into the cavity 24 and becomes a negative pressure.
  • the negative pressure causes the floating head slider 20 and the magnetic disk 30 to move.
  • a suction force is generated between and.
  • the levitating head slider 20 is stably levitated on the magnetic disk 30 with a predetermined flying height by the levitating force and the attractive force.
  • This floating head slider 20 utilizing a negative pressure is known to suppress linear velocity dependence. That is, since the magnetic disk 30 is rotated at a constant angular velocity by the spindle motor 14, the linear velocity is different between the outer peripheral side and the inner peripheral side.
  • the airflow flowing between the flying head slider 20 and the magnetic disk 30 is larger than when the flying head slider 20 is flying on the inner peripheral side of the magnetic disk 30. It is faster when the flying head slider 20 is flying on the outer peripheral side of the magnetic disk 30. For this reason, in the case of a flying head slider that does not use a negative pressure, when flying on the outer peripheral side of the magnetic disk 30, it may sometimes fly on the inner peripheral side of the magnetic disk 30.
  • the flying height increases.
  • step 25 a step portion having a shape depressed by one step from the surface of the cross rail 23 is formed.
  • peaks of positive pressure (lifting force) generated between the flying head slider 20 and the magnetic disk 30 are generated at two positions in the longitudinal direction of the flying head slider 20.
  • it has a function of stabilizing the attitude in the length direction (pitch direction) of the flying head slider 20.
  • the above-described cavity 24 has a shape that is further depressed than in step 25.
  • a magnetic head element 26 is incorporated at the end of the floating head slider 20 on the air outflow side.
  • FIG. 7 shows an example in which the magnetic head element 26 is incorporated into the rear end surface of the flying head slider 20, the place where the magnetic head element 26 is incorporated is as follows.
  • the present invention is not limited to this example, and may be provided, for example, at the end of the surface of one rail 21 or the other rail 22 on the air outflow side.
  • FIGS. 8 and 9 show examples of specific dimensions of the flying head slider 20 configured as described above.
  • FIG. 8 is a plan view of the floating head slider 20 as viewed from below, and
  • FIG. 9 is a side view of the floating head slider 20.
  • the cavities 2 4 And the shape of step 25 is exaggerated than the actual size.
  • the depth D of step 25 is 0.3. ⁇ ! It was clarified that the range of 1.1.2 ⁇ m is effective, and the more preferable range is 0.4 ⁇ m ⁇ 1.2 ⁇ m.
  • FIG. 10 shows the result of calculating the relationship between the depth D of step 25 of the flying head slider 20 and the flying height by computer simulation.
  • the vertical axis represents the flying height of the flying head slider 20
  • the horizontal axis represents the value of the depth D of the step 25 of the flying head slider 20.
  • the solid line graph shows the case where no dust or the like is attached to the flying head slider 20
  • the dotted line graphs show the graphs as shown in FIGS. 11 and 12.
  • a state In the state where dust 27 adheres to the floating head slider 20 at the approximate center of the width direction in step 25 of the floating head slider 20 over a region of 100 m in length and 400 m in width ( Hereinafter, this is referred to as A state.)
  • the graphs indicated by two-dot chain lines are almost the same as those in the width direction of the step 25 of the flying head slider 20, as shown in FIGS.
  • Dust 27 is attached to the entire area over an area with a length of about 50 / m (hereinafter referred to as state B).
  • state B Each graph shown in FIG.
  • FIGS. 8 and 9 show that a floating head slider 20 having the dimensions shown in FIGS. 8 and 9 was mounted on a 2.5-inch hard disk drive, and the number of rotations was 450. This is the case when set to 0 rpm. From this figure 10, it can be seen that the flying head slider 20 is in the state (A state, B state) with dust 27 attached when the depth D of step 25 is about 0.4 / m or more. However, it can be seen that the flying height increased rather than when no dust or the like was attached. This result is almost the same regardless of the attached state of the dust 27 (A state or B state). Ma In addition, it was confirmed that the flying head slider 20 showed almost the same tendency even when its size and shape were changed.
  • the flying head slider 20 suppresses a decrease in flying height even when dust or the like adheres by setting the depth D of step 25 to 0.4 m or more. I knew I could do it.
  • the relationship between the depth D of step 25 of the flying head slider 20 and the change in the flying height when dust 27 adheres to the flying head slider 20 is calculated by computer simulation.
  • Figure 15 shows the results.
  • the vertical axis indicates the flying height obtained by comparing the flying height when dust 27 adheres to the floating head slider 20 with the flying height when dust 27 does not adhere.
  • the horizontal axis shows the value of the depth D of step 25 of the flying head slider 20.
  • the graph shown by the dotted line in FIG. 15 shows the state of the floating head slider 20 in the A state in which the dust 27 adheres to almost the center in the width direction of the step 25 of the flying head slider 20, and the two-dot chain line.
  • the graph indicated by indicates the state B in which the dust 27 adheres to almost the entire area in the width direction of the step 25 of the flying head slider 20.
  • each of the graphs shown in FIG. 15 also uses a 2.5-inch hard disk drive for the floating type head slider 20 having the dimensions shown in FIGS. 8 and 9. It is the one when mounted on the device and the rotation speed is set to 450 rpm.
  • the flying head slider 20 in the A state and the B state shows a positive change in the flying height when the depth D of step 25 is about 0.4 m or more.
  • the flying head slider 20 has a depth D of step 25 of 0.4 ⁇ m or more.
  • the flying head slider 20 has dust 27 if the depth D is about 0.3 m or more. It can be seen that the abrupt decrease in the flying height in this case is suppressed, and the decrease is suppressed to about 2 nm. This result is almost the same regardless of the adhesion state of the dust 27 (A state or B state). It was also confirmed that the flying head slider 20 exhibited almost the same tendency even when its size and shape were changed.
  • the flying height of a flying head slider is set as an allowable range of the flying height fluctuation. Therefore, when the flying head slider 20 is used in a hard disk drive device in which the flying height is set to 20 nm or more, the flying height is set by setting the depth D in step 25 to 0.3 zm or more. Even if there is a decrease, the amount of decrease can be kept within an allowable range.
  • the flying type head slider 20 is designed to prevent the dust or the like from adhering by setting the depth D of step 25 to 0.3 / m or more, preferably 0.4 ⁇ m or more. Even if it does, a decrease in the flying height can be suppressed, and even if the flying height is reduced, the decrease can be kept small. Accordingly, the flying head slider 20 having the depth D set in the step 25 as described above is used in an environment in which adhesion of dust and the like is expected, such as a removable hard disk drive 10. It can be used effectively below.
  • the flying type head slider 20 is, as shown in FIG.
  • the space between the magnetic disk 30 and the magnetic disk 30 is maintained such that the end on the air inflow side is slightly larger than the end on the air outflow side. It is made to float stably.
  • the pitch angle between the lower surface (the surface facing the magnetic disk 30) and the magnetic disk 30 becomes too small. Therefore, the posture in the length direction becomes unstable.
  • the pitch angle of the flying head slider 20 is less than 20 2 rad
  • the attitude in the length direction becomes very unstable.
  • the magnetic head element 26 built into the air outlet side end of the flying head slider 20 and the magnetic disk The interval between 30 and the spacing, that is, the spacing will fluctuate.
  • Figure 16 shows the result of calculating the relationship between the depth D of step 25 of this flying head slider 20 and the pitch angle by computer simulation.
  • the vertical axis indicates the pitch angle
  • the horizontal axis indicates the value of the depth D of step 25 of the flying head slider 20.
  • the pitch angle of the flying head slider 20 becomes less than 20 ° rad when the depth D of step 25 becomes 1.2 ⁇ m or more. That is, in the case of the flying head slider 20, when the depth D of the step 25 is 1.2 zm or more, the posture in the length direction becomes extremely unstable.
  • the depth D of the step 25 be 1.2 zm or less.
  • the flying head slider 20 stabilizes the posture in the length direction, suppresses the variation in spacing, and reduces the magnetic disc 3 A signal can be appropriately written to 0, and a signal can be appropriately read from the magnetic disk 30.
  • the flying type head slider 20 shown in FIG. 17 has the same basic structure as the above-mentioned floating type head slider 20 and has both ends in the width direction, that is, the width direction ends of the rails 21 and the rails.
  • the rails 21 and 22 are cut out at the ends in the width direction at a predetermined depth in the height direction of the rails 21 and 22, and are cut off from the surface of the rails 21 and 22 (the surface facing the magnetic disk 30). It is characterized by the formation of a stepped portion (hereinafter referred to as “side steps 28, 29”) having a concave shape.
  • the floating head slider 20 attached to the oscillating end of the oscillating arm 15 moves, as shown in FIG. It will move not in a straight line but in an arc direction with respect to the surface of 30. Therefore, the center line of the flying type head slider 20 is displaced from the tangential direction of the recording track of the magnetic disk 30, and a so-called skew angle of 0 s occurs.
  • the skew angle 0 s varies according to the position from the center o of the magnetic disk 30.
  • the skew angle SS increases, the efficiency of converting the positive pressure between the surface of the magnetic disk 30 and the floating head slider 20 into a floating force decreases. Therefore, in general, the flying height of the flying head slider tends to decrease as the skew angle 0 s increases.
  • the depth of the side steps 28 and 29 is set to 0 in the same manner as the depth D of the step 25 of the flying head slider 20 described above. It is effective to set it to 3 ⁇ m or more, and it is more preferable to set it to 0.4 / m or more.
  • the flying head slider 20 of this example is designed so that when the depth of the side steps 28, 29 is set as described above, dust or the like adheres to the side steps 28, 29. However, even if the decrease in the flying height is matched, the decrease in the flying height is suppressed. The lower volume can be kept small.
  • rails 21 and 2 are provided at both ends in the width direction of the flying head slider 20.
  • 2 has a predetermined inclination angle with respect to the surface (the surface facing the magnetic disk 30) of the floating head slider 20 as it goes to the widthwise end of the floating head slider 20. It is also effective to change the inclined surfaces (hereinafter referred to as side tapers 51 and 52) having a gradually reduced thickness into side steps 28 and 29.
  • the side tapers 51 and 52 need to be formed by polishing or the like, and it is difficult to precisely form them on the flying head slider 20 having a fine size.
  • the side steps 28 and 29 can be formed by etching or the like, they can be formed relatively simply and accurately, which is very advantageous.
  • the step 25 is formed at the end on the air inflow side, and the positive pressure generated between the floating head slider 20 and the magnetic disk 30 is formed. Is generated at two points in the length direction of the flying head slider 20 to stabilize the posture in the longitudinal direction of the flying head slider 20. By forming an inclined surface at the end on the air inflow side, the same effect as in the case of forming step 25 can be exhibited.
  • the flying head slider 40 has the same basic configuration as the flying head slider 20 described above, and has a step 25 at the end on the air inflow side. Instead of this, a taper 41 is formed.
  • the taper 41 has a predetermined inclination angle with respect to the surface of the cross rail 23 (the surface facing the magnetic disk 30), and the air of the flying head slider 40 has a predetermined inclination angle.
  • the flying head slider 40 is formed as an inclined surface such that the thickness of the flying head slider 40 gradually decreases toward the inflow end.
  • FIG. 22 shows the result of calculating the relationship between the inclination angle of the taper 41 of the flying head slider 40 and the flying height by computer simulation.
  • the vertical axis represents the flying height of the flying head slider 40
  • the horizontal axis represents the inclination angle of the taper 41 of the flying head slider 40.
  • the solid line graph shows the case where dust or the like does not adhere to the flying head slider 40
  • the dotted line graphs show the examples shown in FIGS. 11 and 12.
  • the flying head slider 40 is in the A state in which the dust 27 adheres substantially to the center of the taper 41 in the width direction.
  • the graphs shown in Fig. 22 are shown in Fig. 8 and Fig.
  • the flying head slider 40 which has the same dimensions as the flying head slider 20 shown in Fig. 9, is mounted on a 2.5-inch hard disk drive, and the rotation speed is set to 450 rpm. It is the case when it is done.
  • the flying head slider 40 has the dust A attached to the dust A 27 when the taper 41 has an inclination angle of about 5.5 degrees or less. It can be seen that the flying height has increased rather than the case where it has not been performed. It should be noted that the flying head slider 40 has almost the same tendency even when its dimensions and shape are changed.
  • the flying head slider 40 suppresses a decrease in flying height even when dust or the like adheres by setting the inclination angle of the taper 41 to 5.5 degrees or more. I knew I could do it.
  • the same effect as in the case of forming the step 25 can be exhibited.
  • the inclination angle of the taper 41 to 5.5 degrees or less, a decrease in the flying height can be suppressed even when dust or the like adheres.
  • the flying head slider is very fine, as shown in FIGS. 8 and 9 as an example of its dimensions. Then, it is difficult to accurately form the taper 41 on the fine flying head slider by polishing or the like.
  • the floating head slider can be formed relatively easily and with high accuracy, for example, by performing etching processing on the floating head slider.
  • the floating head slider it is desirable to use a floating head slider 20 having a step 25 formed at the end on the air inflow side.
  • the flying head slider 20 that can minimize the amount of reduction is used, it is possible to effectively avoid the inconvenience caused when the flying head slider 20 collides with the magnetic disk 30.
  • the flying head slider 20 and the magnetic disk 30 can be prevented from being damaged.
  • the hard disk drive device 10 even if dust or the like adheres to the floating head slider 20, damage to the floating head slider 20 and the magnetic disk 30 is prevented, so that the floating By removing dust and the like adhering to the head slider 20 by cleaning, the flying height of the flying head slider 20 can be restored to a normal value, and appropriate recording and reproduction can be performed.
  • the flying amount of the flying head slider 20, that is, the flying type can be set small.
  • setting the distance between the flying head slider 20 and the magnetic disk 30 small is very advantageous in achieving high-density recording. Therefore, the hard disk drive 10 to which the present invention is applied can realize high-density recording.
  • the hard disk drive 10 to which the present invention is applied As described above, since the flying head slider 20 that floats on the magnetic disk 30 while stably maintaining the posture in the length direction is used, fluctuation in spacing is suppressed. Thus, it is possible to stably record and reproduce a signal with respect to the magnetic disk 30.
  • the present invention is applied to a floating head slider 20 having two rails 21, 22 and a cross rail 23 formed on a surface facing the magnetic disk 30 has been described.
  • the present invention is not limited to the above-described example, and can be applied to a floating head slider having any shape.
  • the optimum value of the depth D in step 25 does not depend much on the size or shape of the flying head slider 20 as described above. Therefore, for example, those having three or more rails, those in which the rails are divided in the middle part in the longitudinal direction, those in which the rails are branched in a Y-shape, those in which the rails are bent, etc.
  • a floating head slider having a shape by providing a step at the end on the air inflow side and setting the value of this step to an optimal value, the same effect as the above-mentioned floating head slider 20 can be exhibited. Can be.
  • the present invention is not limited to this example. It is also possible to apply to an optical disk drive device using an optical disk as a medium.
  • an objective lens and a reflection mirror are incorporated in the flying head slider 20, and light from the laser light source is transferred onto the flying head slider 20 by an optical fiber or the like. guided by, The signal is reflected by the reflection mirror incorporated in the flying head slider 20, is focused by the objective lens, and is irradiated onto the optical disk, so that the signal recording / reproducing on the optical disk is performed.
  • INDUSTRIAL APPLICABILITY In the flying head slider according to the present invention, the depth of the step formed at the air inflow side end of the surface facing the disk-shaped recording medium is reduced.
  • the thickness is 0.4 mm or more, even if dust or the like adheres, a decrease in the flying height is suppressed.
  • the depth of the step formed at the air inflow side end of the surface facing the disk-shaped recording medium is set to 1.2 m or less, so that the pitch angle is reduced. 20 jr ⁇ d or more, and the posture when ascending is stabilized.
  • the depth of a step formed at the air inflow side end of the surface facing the disk-shaped recording medium is 0.3 m or more. Therefore, even when dust or the like is attached, a sharp decrease in the flying height is suppressed, and even if the flying height is reduced, the decrease is slight, so that 20 nm This is within the allowable range for a flying head slider that flies at the above flying height.
  • the depth of the step formed at the end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium is set to 1.2 ⁇ m or less. Becomes more than 20 irad, and the posture when ascending is stabilized.
  • the floating type Since the depth of the step formed at the end on the air inflow side of the surface of the head slider facing the disk-shaped recording medium is 0.4 / m or more, dust and the like are generated on the floating head slider. Even if it adheres, a decrease in the flying height of the flying head slider is suppressed.
  • this disk drive device it is possible to effectively avoid the inconvenience of collision between the flying head slider and the disk-shaped recording medium, and to prevent damage to the flying head slider / disk-shaped recording medium. Can be prevented.
  • the depth of a step formed at the air inflow side end of the surface of the floating head slider facing the disk-shaped recording medium is set to 1.2 m or less. Therefore, the pitch angle becomes 20 rad or more, and the attitude of the flying head slider when flying above the disk-shaped recording medium is stabilized.
  • this disk drive device it is possible to stably record and reproduce signals with respect to the disk-shaped recording medium while suppressing the fluctuation of the spacing.
  • the depth of a step formed at the air inflow side end of the surface of the flying head slider facing the disk-shaped recording medium has a depth of 0.3 ⁇ m.
  • the depth of the step formed at the air inflow side end of the surface of the floating head slider facing the disk-shaped recording medium is set to 1.2 m or less.
  • the pitch angle becomes 20 rad or more, and the attitude of the flying head slider when flying above the disk-shaped recording medium is stabilized.

Abstract

A flying head slider (20) is used in a disk drive device that uses a removable disk-recording medium. A step (25) of 0.4 - 1.2 microns in depth is formed at the edge on the air inlet side. This structure suppresses the decrease in flying height of the head slider (20) in the event of dust deposited on it, and keeps a stable posture in the lengthwise direction, thus keeping the spacing from changing.

Description

明 細 書 浮上型へッ ドスライダ及びデイスク ドライブ装置 技 術 分 野 本発明は、 例えば磁気ディスクや光ディスク、 光磁気ディスク等 のディスク状記録媒体を記録媒体として用い、 この記録媒体をディ スク ドライブ装置本体に対して交換可能とされた、 いわゆるリム一 バブル型のディスク ドライブ装置に用いられる浮上型へッ ドスライ ダ及びこの浮上型へッ ドスライダを用いたリムーバブル型のディス ク ドライブ装置に関する。 背 景 技 術 従来、 浮上型ヘッ ドスライダとして、 例えば、 コンピュータ等に 接続された内蔵型、 或いは外付型のハードディスク ドライブ装置に 用いられるものがある。  TECHNICAL FIELD The present invention uses a disk-shaped recording medium such as a magnetic disk, an optical disk, and a magneto-optical disk as a recording medium, and uses the recording medium as a main body of the disk drive apparatus. The present invention relates to a floating head slider used in a so-called rim-bubble type disk drive device which can be exchanged with respect to a disk drive, and a removable disk drive device using the floating head slider. BACKGROUND ART Conventionally, as a floating type head slider, for example, there is a type used for a built-in type or an external type hard disk drive device connected to a computer or the like.
ハードディスク ドライブ装置は、 図 1に示すように、 スピン ドル モー夕により角速度一定で回転駆動される磁気ディスク 1 と、 装置 本体に対して揺動自在に配設された揺動アーム 2と、 該揺動アーム 2の揺動端に設けられた浮上型へッ ドスライダ 3等を備えている。 そして、 この浮上型ヘッ ドスライダ 3には、 磁気ディスク 1に対し て信号の書き込み及び読み出しを行うための磁気へッ ド素子 4が組 み込まれている。 このハ一ドディスク ドライブ装置においては、 上記揺動アーム 2 が揺動され、 この揺動アーム 2の揺動端に設けられた浮上型へッ ド スライダ 3が磁気ディスク 1の半径方向に移動されることによって シーク動作が行われ、 浮上型へッ ドスライダ 3に組み込まれた磁気 へッ ド素子 4により、 磁気ディスク 1の所定の記録トラックに対す る信号の書き込み及び読み出しが行われる。 As shown in FIG. 1, the hard disk drive includes a magnetic disk 1 that is driven to rotate at a constant angular velocity by a spindle motor, a swing arm 2 that is swingably arranged with respect to the main body of the device, and a swing arm 2. A floating head slider 3 and the like provided at the swing end of the moving arm 2 are provided. The flying head slider 3 incorporates a magnetic head element 4 for writing and reading signals to and from the magnetic disk 1. In this hard disk drive, the swing arm 2 is swung, and a floating head slider 3 provided at the swing end of the swing arm 2 is moved in the radial direction of the magnetic disk 1. As a result, a seek operation is performed, and a magnetic head element 4 incorporated in the flying head slider 3 writes and reads a signal to and from a predetermined recording track of the magnetic disk 1.
ここで、 磁気ディスク 1がスピンドルモー夕によって回転操作さ れると、 磁気ディスク 1のディスク面 l a上に、 空気流が発生する。 そして、 この空気流が、 磁気ディスク 1のディスク面 1 aと浮上型 へッ ドスライダ 3の磁気ディスク 1に対する対向面 3 aとの間に入 り込むことにより、 浮上型ヘッ ドスライダ 3は、 図 2に示すように、 磁気ディスク 1のディスク面 1 a上を所定の浮上量で浮上すること になる。 このとき、 浮上型ヘッ ドスライダ 3は、 磁気ディスク 1に 対する対向面 3 aと磁気ディスク 1のディスク面 1 aとの間の間隔 が、 空気流が流入する空気流入側の端部の方が空気流が流出する空 気流出側の端部よりも若干大きくなるような姿勢に保たれ、 磁気デ イスク 1上を安定的に浮上する。  Here, when the magnetic disk 1 is rotated by the spindle motor, an air flow is generated on the disk surface la of the magnetic disk 1. This air flow enters between the disk surface 1 a of the magnetic disk 1 and the surface 3 a of the flying head slider 3 facing the magnetic disk 1, so that the flying head slider 3 is configured as shown in FIG. As shown in the figure, the magnetic disk 1 floats on the disk surface 1a with a predetermined flying height. At this time, in the flying head slider 3, the distance between the surface 3 a facing the magnetic disk 1 and the disk surface 1 a of the magnetic disk 1 is such that the end on the air inflow side where the air flow flows in has more air. The magnetic disk 1 is stably levitated above the magnetic disk 1 by keeping the posture slightly larger than the end on the air outflow side where the flow flows out.
ハードディスク ドライブ装置においては、 以上のように、 浮上型 へッ ドスライダ 3が磁気ディスク 1の回転に伴って生じる空気流を うけて磁気ディスク 1上を所定の浮上量で浮上した状態で、 浮上型 へッ ドスライダ 3に組み込まれた磁気へッ ド素子 4により、 磁気デ イスク 1に対する信号の書き込み及び読み出しが行われるようにな されている。  In the hard disk drive, as described above, the flying type head slider 3 is floated on the magnetic disk 1 at a predetermined flying height by receiving the airflow generated by the rotation of the magnetic disk 1 and is moved to the floating type. A magnetic head element 4 incorporated in the head slider 3 performs writing and reading of signals to and from the magnetic disk 1.
以上のようなハードディスク ドライブ装置に用いられる浮上型へ ッ ドスライダ 3の一例を図 3に示す。 この図 3に示す浮上型へッ ド スライダ 3は、 所謂、 カタマラン型の浮上型ヘッ ドスライダと呼ば れるもので、 磁気ディスク 1に対する対向面 3 aの幅方向の両側 (磁気ディスク 1の半径方向に沿った方向の両側) に、 空気流入側 の端部から空気流出側の端部に亘つて、 エアべァリングサ一フェイ スとして機能する 2本のレール 5 , 6が設けられている。 また、 こ の浮上型ヘッ ドスライダ 3には、 その空気流出側の端部に、 磁気へ ッ ド素子 4が組み込まれている。 FIG. 3 shows an example of the flying head slider 3 used in the hard disk drive device described above. The floating head shown in Fig. 3 The slider 3 is a so-called catamaran-type floating head slider, and air flows into both sides in the width direction of the facing surface 3a facing the magnetic disk 1 (both sides in the radial direction of the magnetic disk 1). Two rails 5 and 6 functioning as an air bearing surface are provided from the side end to the air outflow side end. The flying head slider 3 incorporates a magnetic head element 4 at the end on the air outflow side.
この浮上型ヘッ ドスライダ 3は、 図 4に示すように、 矢印 X方向 に回転する磁気ディスク 1のディスク面 1 aに接近すると、 この磁 気ディスク 1の回転に伴って生じる空気流をうけて、 2本のレール 5 , 6と磁気ディスク 1のディスク面 1 aとの間に正圧を発生させ、 浮揚力を得る。 そして、 この浮上型ヘッ ドスライダ 3は、 磁気ディ スク 1のディスク面 1 a上を所定の浮上量で浮上した状態で、 空気 流出側の端部に組み込まれた磁気へッ ド素子 4により、 磁気ディス ク 1に対して信号の書き込み及び読み出しを行う。  As shown in FIG. 4, when the flying head slider 3 approaches the disk surface 1a of the magnetic disk 1 rotating in the direction of arrow X, it receives the airflow generated by the rotation of the magnetic disk 1, A positive pressure is generated between the two rails 5 and 6 and the disk surface 1a of the magnetic disk 1 to obtain a levitation force. The flying head slider 3 is magnetically moved by the magnetic head element 4 incorporated at the end on the air outflow side while flying above the disk surface 1a of the magnetic disk 1 by a predetermined flying height. Writes and reads signals to and from disk 1.
なお、 この浮上型ヘッ ドスライダ 3において、 レール 5 , 6が磁 気ディスク 1に対する対向面 3 aの幅方向の両側にそれぞれ設けら れているのは、 浮上型へッ ドスライダ 3の幅方向の両側に浮揚力を 発生させた方が、 浮上型へッ ドスライダ 3の幅方向 (ロール方向) における安定化を図る上で有利だからである。  In this flying head slider 3, the rails 5 and 6 are provided on both sides in the width direction of the surface 3a facing the magnetic disk 1, respectively, because the rails 5 and 6 are provided on both sides in the width direction of the flying head slider 3. This is because it is more advantageous to generate a levitation force in stabilizing the flying head slider 3 in the width direction (roll direction).
また、 この浮上型ヘッ ドスライダ 3には、 レール 5 , 6の空気流 入側の端部に、 レール 5 , 6の表面 (磁気ディスク 1に対する対向 面) から所定の深さで窪むように形成された段差部 (以下、 ステツ プという。 ) 7 , 8が設けられている。  The flying head slider 3 is formed at the end of the rails 5 and 6 on the air inflow side so as to be depressed at a predetermined depth from the surface of the rails 5 and 6 (the surface facing the magnetic disk 1). Step portions (hereinafter, referred to as steps) 7 and 8 are provided.
この浮上型ヘッ ドスライダ 3は、 以上のように、 レール 5, 6の 空気流入側の端部にステップ 7 , 8が設けられることにより、 長さ 方向 (ピッチ方向) における姿勢の安定化が図られる。 As described above, the floating type head slider 3 is provided with the rails 5 and 6. By providing steps 7 and 8 at the end on the air inflow side, the posture in the length direction (pitch direction) is stabilized.
すなわち、 この浮上型ヘッ ドスライダ 3において、 レール 5 , 6 の空気流入側の端部にステツプ 7 , 8が設けられていない場合には、 レール 5, 6と磁気ディスク 1のディスク面 l aとの間に発生する 正圧 (浮揚力) のピークが、 レール 5の長さ方向における中途部の 1箇所、 及びレール 6の長さ方向における中途部の 1箇所に生じる ことになる。 そして、 浮上型ヘッ ドスライダ 3は、 この正圧のピー クが生じた部位を支点としてシーソー状に揺動してしまい、 長さ方 向 (ピッチ方向) における姿勢が安定しない。  That is, if the flying head slider 3 does not have the steps 7 and 8 at the ends of the rails 5 and 6 on the air inflow side, the distance between the rails 5 and 6 and the disk surface la of the magnetic disk 1 is increased. The peak of the positive pressure (buoyancy) generated at one point in the lengthwise direction of the rail 5 and one point in the lengthwise direction of the rail 6 is generated. Then, the flying head slider 3 swings in a seesaw shape with the portion where the positive pressure peak occurs as a fulcrum, and the posture in the length direction (pitch direction) is not stable.
これに対して、 レール 5 , 6の空気流入側の端部にステップ 7 , 8を設けた場合には、 レール 5, 6 と磁気ディスク 1のディスク面 l aとの間に発生する正圧 (浮揚力) のピークが、 ステップ 7の後 端側とレール 5の空気流出側の端部との 2箇所、 及びステツプ 8の 後端側とレール 6の空気流出側の端部との 2箇所にそれぞれ生じる ことになり、 レール 5, 6の長さ方向の両端側にそれぞれ支点が形 成されることになる。 これにより、 浮上型ヘッ ドスライダ 3は、 そ の長さ方向 (ピッチ方向) における姿勢の安定化が図られることに なる。  On the other hand, when steps 7 and 8 are provided at the ends of the rails 5 and 6 on the air inflow side, the positive pressure (levitation) generated between the rails 5 and 6 and the disk surface la of the magnetic disk 1 Force peaks at two points, the rear end of step 7 and the air outlet end of rail 5, and at the two points of the rear end of step 8 and the air outlet end of rail 6, respectively. As a result, fulcrums are formed at both ends of the rails 5 and 6 in the length direction. Thus, the attitude of the flying head slider 3 in the length direction (pitch direction) is stabilized.
ところで、 上述した浮上型へヅ ドスライダ 3において、 ステップ 7 , 8は、 一般的に、 深さが 0 . l〃m〜 0 . 3〃m程度の比較的 浅い段差として形成されていた。 これは、 レ一ル 5, 6と磁気ディ スク 1のディスク面 1 aとの間に発生する正圧 (浮揚力) のピーク をレール 5 , 6の長さ方向の 2箇所にそれぞれ生じさせるためには、 ステップ 7 , 8は、 その深さが 0 . l〃m〜 0 . 3 m程度あれば 十分だからである。 By the way, in the flying head slider 3 described above, the steps 7 and 8 are generally formed as relatively shallow steps having a depth of about 0.1 to 0.3 μm. This is because peaks of positive pressure (levitation force) generated between the rails 5 and 6 and the disk surface 1a of the magnetic disk 1 are generated at two positions in the longitudinal direction of the rails 5 and 6, respectively. In steps 7 and 8, if the depth is about 0.1 to 0.3 m Because it is enough.
また、 ステップ 7, 8の深さをあまり深く しすぎると、 浮上型へ ッ ドスライダ 3は、 先に図 2に示したような姿勢、 すなわち、 空気 流入側の端部の方が、 空気流出側の端部よりも磁気ディスク 1 との 間の間隔が大きくされた姿勢が保たれなくなり、 その長さ方向にお ける姿勢がかえって不安定になってしまう場合があるからである。 具体的には、 磁気ディスク 1のディスク面 1 aと浮上型へッ ドスラ ィダ 3の磁気ディスク 1に対する対向面 3 aとがなす角 (ピッチ 角) が 2 0〃 r a d未満となると、 浮上型ヘッ ドスライダ 3は、 浮 上安定性が非常に悪くなる。  Also, if the depth of steps 7 and 8 is made too deep, the flying head slider 3 will be in the position shown in FIG. 2 earlier, that is, the end on the air inflow side will be closer to the air outflow side. This is because the posture in which the distance between the magnetic disk 1 and the magnetic disk 1 is larger than that of the end cannot be maintained, and the posture in the longitudinal direction may be rather unstable. More specifically, when the angle (pitch angle) between the disk surface 1a of the magnetic disk 1 and the facing surface 3a of the flying head slider 3 facing the magnetic disk 1 is less than 20〃rad, the floating type The head slider 3 has very low flying stability.
しかしながら、 上述した浮上型ヘッ ドスライダ 3においては、 ス テツプ 7 , 8の深さが浅いと、 このステップ 7 , 8に麈埃等が付着 した場合に、 浮上量の低下を招いてしまう場合があることが分かつ てきた。  However, in the flying head slider 3 described above, if the depth of the steps 7 and 8 is small, if the dust or the like adheres to the steps 7 and 8, the flying height may be reduced. I have understood that.
ハードディスク ドライブ装置においては、 近年、 スペーシング口 スを極力抑えて高密度記録を実現するために、 浮上型へッ ドスライ ダ 3の浮上量を小さくする傾向にあり、 研究レベルにおいては、 浮 上型へッ ドスライダ 3の浮上量を 2 0 n mという非常に小さな値に 設定したものが実現されている。  In recent years, in hard disk drive devices, the flying height of the floating head slider 3 has tended to be small in order to achieve high-density recording while minimizing the spacing opening. The flying height of the head slider 3 is set to a very small value of 20 nm.
このような中で、 塵埃等の付着により浮上型へッ ドスライダ 3の 浮上量が極端に低下すると、 浮上型へッ ドスライダ 3と磁気ディス ク 1 とが接触して、 浮上型へッ ドスライダ 3や磁気ディスク 1の損 傷を招いてしまう場合がある。  Under these circumstances, if the flying height of the flying head slider 3 is extremely reduced due to the attachment of dust or the like, the flying head slider 3 comes into contact with the magnetic disk 1 and the flying head slider 3 or The magnetic disk 1 may be damaged.
特に、 近年、 記録媒体としての磁気ディスクをディスク ドライブ 装置本体に対して交換可能とした、 所謂、 リムーバブル型のハード ディスク ドライブ装置が提案され、 実用化されている。 このリム一 バブル型のハードディスク ドライブ装置においては、 磁気ディスク の交換時に大気中の塵埃等がディスク ドライプ装置本体内に侵入す る可能性が高い。 In particular, in recent years, a so-called removable hard disk, which has made it possible to replace a magnetic disk as a recording medium with the disk drive unit itself. Disk drive devices have been proposed and put into practical use. In the removable type hard disk drive, there is a high possibility that dust and the like in the air may enter the disk drive when the magnetic disk is replaced.
また、 光磁気ディスク等を記録媒体として用いるディスク ドライ ブ装置においては、 記録媒体としての光磁気ディスク等をディスク ドライブ装置本体に対して交換可能としたものが一般的である。 そ して、 近年、 この光磁気ディスク等を記録媒体として用いるデイス ク ドライブ装置にハードディスク ドライブ装置の技術を導入し、 浮 上型へッ ドスライダを用いて光磁気ディスク等に信号の書き込み及 び読み出しを行うことが検討されている。  Further, in a disk drive device using a magneto-optical disk or the like as a recording medium, a magneto-optical disk or the like as a recording medium is generally replaceable with the disk drive device body. In recent years, hard disk drive technology has been introduced into disk drive devices that use this magneto-optical disk or the like as a recording medium, and signals are written to and read from a magneto-optical disk or the like using a floating head slider. It is considered to do.
このようなディスク ドライブ装置においても、 光磁気デイスク等 の交換時には、 ディスク ドライブ装置本体内に塵埃等が侵入する可 能性が高い。  Also in such a disk drive device, when exchanging a magneto-optical disk or the like, there is a high possibility that dust or the like enters the disk drive device body.
以上のように塵埃等が侵入しやすい環境下で浮上型へッ ドスライ ダを用いることを想定すると、 浮上型ヘッ ドスライダは、 塵埃等が 付着した場合であっても、 浮上量の急激な低下を招かないことが望 ましい。 発 明 の 開 示 本発明は、 上述したような従来の実状に鑑みて提案されたもので あり、 ディスク ドライブ装置本体に対してディスク状記録媒体が交 換可能とされたディスク ドライプ装置に用いられる浮上型へッ ドス ライダにおいて、 塵埃等が付着した場合であっても、 急激な浮上量 の低下を招くことのない浮上型へッ ドスライダ及びこれを用いたデ イスク ドライブ装置を提供しょうとするものである。 Assuming that a flying head slider is used in an environment where dust and the like easily enter as described above, the flying head slider can reduce the flying height sharply even if dust etc. adhere. It is desirable not to invite. DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been proposed in view of the above-described conventional situation, and is used in a disk drive device in which a disk-shaped recording medium can be exchanged with a disk drive device body. Even when dust is attached to the floating head slider, the amount of sudden floating It is an object of the present invention to provide a flying head slider which does not cause a decrease in the disk drive and a disk drive device using the same.
浮上型へッ ドスライダに塵埃等が付着した場合に、 この浮上型へ ッ ドスライダの急激な浮上量の低下を抑制するためには、 ステップ といわれる段差の深さをある程度深くすることが有効であることが 分かってきた。 また、 ステップといわれる段差の深さをあまり深く すると、 浮上型へッ ドスライダの姿勢が不安定になることも分かつ てきた。  In the case where dust or the like adheres to the flying head slider, it is effective to increase the depth of the step called “step” to some extent in order to suppress the sudden drop in the flying height of the flying head slider. I understand that. It has also been found that if the depth of the step called a step is made too deep, the attitude of the flying head slider becomes unstable.
そして、 このステップといわれる段差の深さの最適値は、 浮上型 へッ ドスライダの大きさや形状にさほど依存せず、 あらゆるタイプ の浮上型へッ ドスライダにおいて、 ほぼ一定の値であることが分か つてきた。  It can be seen that the optimal value of the depth of the step called this step does not depend much on the size and shape of the flying head slider, and is almost constant for all types of flying head slider. I made it.
本発明は、 以上の知見に基づいて、 浮上型ヘッ ドスライダのステ ップといわれる段差の深さを最適化し、 浮上型へッ ドスライダに麈 埃等が付着した場合であっても、 その浮上量が急激に低下すること を抑制すると共に、 浮上型へッ ドスライダの姿勢の安定化を図るよ うにしている。  Based on the above findings, the present invention optimizes the depth of a step called a step of a flying head slider, and even if the flying head slider is attached with dust and the like, the flying height of the flying head slider is reduced. In addition to suppressing the sharp drop, the attitude of the flying head slider is stabilized.
すなわち、 本発明に係る浮上型ヘッ ドスライダは、 ディスク ドラ ィブ装置本体に対してディスク状記録媒体が交換可能とされたディ スク ドライプ装置に用いられ、 上記ディスク ドライブ装置本体内に 装着されたディスク状記録媒体の回転により発生する空気流により、 上記ディスク状記録媒体から 1 0 0 n m以下の浮上量で浮上して、 上記ディスク状記録媒体に対して信号の書き込み及び/又は読み出 しを行う浮上型へッ ドスライダにおいて、 上記ディスク状記録媒体 に対向する面の空気流入側の端部に段差部が形成され、 当該段差部 の深さが 0 . 4 / m〜 l . 2〃mの範囲内とされていることを特徴 としている。 That is, the floating head slider according to the present invention is used in a disk drive device in which a disk-shaped recording medium is replaceable with respect to the disk drive device main body, and a disk mounted in the disk drive device main body. Floating from the disc-shaped recording medium with a flying height of 100 nm or less by air flow generated by rotation of the disc-shaped recording medium, and write and / or read signals to and from the disc-shaped recording medium In the flying head slider, a step is formed at an end of the surface facing the disk-shaped recording medium on the air inflow side, and the step is formed. Is characterized by a depth of 0.4 / m to l.2 mm.
この浮上型へッ ドスライダにおいては、 ディスク状記録媒体に対 向する面の空気流入側の端部に形成された段差部の深さが 0 . 4 ju m以上とされることにより、 塵埃等が付着した場合であっても、 浮 上量の低下が抑制される。  In this flying head slider, the depth of the step formed at the end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium is set to 0.4 jum or more, so that dust and the like are removed. Even if it adheres, a decrease in the flying height is suppressed.
また、 この浮上型ヘッ ドスライダにおいては、 ディスク状記録媒 体に対向する面の空気流入側の端部に形成された段差部の深さが 1 . 2 m以下とされることにより、 ディスク状記録媒体に対向する面 とディスク状記録媒体とがなす角であるピッチ角が 2 0 r a d以 上となり、 浮上しているときの姿勢が安定する。  Also, in this flying head slider, the depth of the step formed at the end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium is set to 1.2 m or less, so that the disk-shaped recording slider can be used. The pitch angle, which is the angle formed between the surface facing the medium and the disk-shaped recording medium, is 20 rad or more, and the attitude when flying is stabilized.
また、 本発明に係る他の浮上型ヘッ ドスライダは、 ディスク ドラ ィブ装置本体に対してディスク状記録媒体が交換可能とされたディ スク ドライブ装置に用いられ、 上記ディスク ドライプ装置本体内に 装着されたディスク状記録媒体の回転により発生する空気流により、 上記ディスク状記録媒体から 2 0 n m〜 1 0 0 n mの浮上量で浮上 して、 上記ディスク状記録媒体に対して信号の書き込み及び/又は 読み出しを行う浮上型へッ ドスライダにおいて、 上記ディスク状記 録媒体に対向する面の空気流入側の端部に段差部が形成され、 当該 段差部の深さが 0 . 3〃m〜 l . 2〃mの範囲内とされていること を特徴としている。  Another floating head slider according to the present invention is used in a disk drive device in which a disk-shaped recording medium is replaceable with respect to the disk drive device main body, and is mounted in the disk drive device main body. The air flow generated by the rotation of the disk-shaped recording medium causes the disk-shaped recording medium to float from the disk-shaped recording medium with a flying height of 20 nm to 100 nm, and writes and / or writes a signal on the disk-shaped recording medium. In the flying head slider that performs reading, a step is formed at the end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium, and the depth of the step is from 0.3 μm to l.2. 〃M.
この浮上型へッ ドスライダにおいては、 ディスク状記録媒体に対 向する面の空気流入側の端部に形成された段差部の深さが 0 . 3 u m以上とされることにより、 塵埃等が付着した場合であっても、 浮 上量の急激な低下が抑制され、 仮りに浮上量が低下した場合であつ ても、 その低下量は僅かであるので、 2 0 n m以上の浮上量で浮上 する浮上型ヘッ ドスライダの許容範囲内となる。 In this flying head slider, the depth of the step formed at the end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium is set to 0.3 μm or more. Even if the flying height is reduced, the rapid decrease in the flying height is suppressed, and However, since the amount of the decrease is slight, it falls within the allowable range of a flying head slider that flies at a flying height of 20 nm or more.
また、 この浮上型ヘッ ドスライダにおいては、 ディスク状記録媒 体に対向する面の空気流入側の端部に形成された段差部の深さが 1 . 2 m以下とされることにより、 ピッチ角が 2 0 z r a d以上とな り、 浮上しているときの姿勢が安定する。  Also, in this flying head slider, the pitch angle is formed by setting the depth of the step formed at the end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium to 1.2 m or less. It becomes 20 zrad or more, and the posture when ascending is stabilized.
また、 本発明に係るディスク ドライブ装置は、 ディスク ドライブ 装置本体に対してディスク状記録媒体が交換可能とされたディスク ドライブ装置であって、 上記ディスク ドライブ装置本体内に装着さ れたディスク状記録媒体を回転駆動するディスク回転駆動手段と、 上記ディスク状記録媒体の回転により発生する空気流により、 上記 ディスク状記録媒体から 1 0 0 n m以下の浮上量で浮上して、 上記 ディスク状記録媒体に対して信号の書き込み及び/又は読み出しを 行う浮上型へッ ドスライダと、 上記浮上型へッ ドスライダを上記デ イスク状記録媒体の半径方向に移動させるァクチユエ一夕とを備え、 上記浮上型へッ ドスライダには、 上記ディスク状記録媒体に対向す る面の空気流入側の端部に段差部が形成され、 当該段差部の深さが 0 . 4〃m〜 l . 2〃mの範囲内とされていることを特徴としてい る。  Further, the disk drive device according to the present invention is a disk drive device in which a disk-shaped recording medium is replaceable with respect to the disk drive device main body, wherein the disk-shaped recording medium mounted in the disk drive device main body is provided. A disk rotation driving means for rotating the disk-shaped recording medium; and an airflow generated by the rotation of the disk-shaped recording medium. A flying head slider for writing and / or reading signals through the disk, and an actuator for moving the flying head slider in the radial direction of the disk-shaped recording medium. A step is formed at an end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium, and the step Saga 0. 4〃M~ l. It that features a being in the range of 2〃M.
このディスク ドライブ装置においては、 浮上型へヅ ドスライダの ディスク状記録媒体に対向する面の空気流入側の端部に形成された 段差部の深さが 0 . 4〃m以上とされているので、 浮上型ヘッ ドス ライダに塵埃等が付着した場合であっても、 この浮上型へッ ドスラ ィダの浮上量の低下が抑制される。  In this disk drive device, the depth of the step formed at the air inflow side end of the surface of the flying head slider facing the disk-shaped recording medium is set to 0.4 m or more. Even when dust or the like adheres to the floating head slider, a decrease in the floating amount of the floating head slider is suppressed.
したがって、 このディスク ドライブ装置においては、 浮上型へッ ドスライダとディスク状記録媒体とが衝突してしまうといった不都 合を有効に回避して、 浮上型へッ ドスライダゃディスク状記録媒体 の損傷を未然に防止することができる。 Therefore, in this disk drive device, It is possible to effectively avoid the inconvenience of collision between the slider and the disk-shaped recording medium, and to prevent damage to the floating head slider / disk-shaped recording medium.
また、 このディスク ドライブ装置においては、 浮上型ヘッ ドスラ ィダのディスク状記録媒体に対向する面の空気流入側の端部に形成 された段差部の深さが 1 . 2〃m以下とされているので、 ピッチ角 が 2 0 r a d以上となり、 浮上型ヘッ ドスライダがデイスク状記 録媒体上を浮上しているときの姿勢が安定する。  In this disk drive device, the depth of a step formed at the air inflow side end of the surface of the floating head slider facing the disk-shaped recording medium is set to 1.2 m or less. Therefore, the pitch angle becomes 20 rad or more, and the attitude when the flying head slider is flying above the disk-shaped recording medium is stabilized.
したがって、 このディスク ドライブ装置においては、 スぺ一シン グの変動を抑制して、 ディスク状記録媒体に対する信号の記録再生 を安定的に行うことができる。  Therefore, in this disk drive device, it is possible to stably record and reproduce signals with respect to the disk-shaped recording medium while suppressing the fluctuation of the spacing.
また、 本発明に係る他のディスク ドライブ装置は、 ディスク ドラ ィブ装置本体に対してディスク状記録媒体が交換可能とされたディ スク ドライブ装置であって、 上記ディスク ドライプ装置本体内に装 着されたディスク状記録媒体を回転駆動するディスク回転駆動手段 と、 上記ディスク状記録媒体の回転により発生する空気流により、 上記ディスク状記録媒体から 2 0 η π!〜 1 0 0 n mの浮上量で浮上 して、 上記ディスク状記録媒体に対して信号の書き込み及び/又は 読み出しを行う浮上型へッ ドスライダと、 上記浮上型へッ ドスライ ダを上記ディスク状記録媒体の半径方向に移動させるァクチユエ一 夕とを備え、 上記浮上型ヘッ ドスライダには、 上記ディスク状記録 媒体に対向する面の空気流入側の端部に段差部が形成され、 当該段 差部の深さが 0 . 3〃rr!〜 1 . 2〃 mの範囲内とされていることを 特徴としている。  Another disk drive device according to the present invention is a disk drive device in which a disk-shaped recording medium is replaceable with respect to the disk drive device main body, and is mounted inside the disk drive device main body. Means for rotating and driving the disc-shaped recording medium, and 20 ηπ! From the disc-shaped recording medium by an air flow generated by the rotation of the disc-shaped recording medium. A flying head slider that flies at a flying height of about 100 nm to write and / or read signals to and from the disk-shaped recording medium; The floating head slider has a step formed at the end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium, and the depth of the step is increased. 0.3〃rr! It is characterized by being within the range of ~ 1.2〜 m.
このディスク ドライブ装置においては、 浮上型へッ ドスライダの ディスク状記録媒体に対向する面の空気流入側の端部に形成された 段差部の深さが 0 . 3〃m以上とされているので、 浮上型ヘッ ドス ライダに塵埃等が付着した場合であっても、 この浮上型へッ ドスラ ィダの浮上量の急激な低下が抑制され、 仮りに浮上量が低下した場 合であっても、 その低下量は僅かであるので、 2 0 n m以上の浮上 量で浮上する浮上型へッ ドスライダの許容範囲内となる。 In this disk drive, the floating head slider is The depth of the step formed at the end of the surface facing the disk-shaped recording medium on the air inflow side is set to 0.3 m or more, so that dust or the like may adhere to the floating head slider. However, if the flying height of the floating type head slider is suddenly reduced, even if the flying height is reduced, the amount of the decrease is slight, so it is more than 20 nm. This is within the allowable range for a flying head slider that flies at a flying height of.
したがって、 このディスク ドライブ装置においては、 浮上型へッ ドスライダとディスク状記録媒体とが衝突してしまうといった不都 合を有効に回避して、 浮上型へッ ドスライダゃディスク状記録媒体 の損傷を未然に防止することができる。  Therefore, in this disk drive device, it is possible to effectively avoid the inconvenience of collision between the flying head slider and the disk-shaped recording medium, and to prevent damage to the flying head slider / disk-shaped recording medium. Can be prevented.
また、 このディスク ドライブ装置においては、 浮上型ヘッ ドスラ ィダのディスク状記録媒体に対向する面の空気流入側の端部に形成 された段差部の深さが 1 . 2〃m以下とされているので、 ピッチ角 が 2 0 r a d以上となり、 浮上型へッ ドスライダがデイスク状記 録媒体上を浮上しているときの姿勢が安定する。  In this disk drive device, the depth of a step formed at the air inflow side end of the surface of the floating head slider facing the disk-shaped recording medium is set to 1.2 m or less. Therefore, the pitch angle becomes 20 rad or more, and the attitude of the flying head slider when flying above the disk-shaped recording medium is stabilized.
したがって、 このディスク ドライブ装置においては、 スぺ一シン グの変動を抑制して、 ディスク状記録媒体に対する信号の記録再生 を安定的に行うことができる。 図面の簡単な説明 図 1は、 従来のハ一ドディスク ドライブ装置の要部を模式的に示 す斜視図である。  Therefore, in this disk drive device, it is possible to stably record and reproduce signals with respect to the disk-shaped recording medium while suppressing the fluctuation of the spacing. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view schematically showing a main part of a conventional hard disk drive device.
図 2は、 従来のハードディスク ドライブ装置の要部を模式的に示 す側面図である。 図 3は、 従来のハ一ドディスク ドライブ装置に用いられた浮上型 ヘッ ドスライダの一例を示す図であり、 この浮上型ヘッ ドスライダ を下斜め前方から見た様子を示す斜視図である。 FIG. 2 is a side view schematically showing a main part of a conventional hard disk drive. FIG. 3 is a view showing an example of a flying head slider used in a conventional hard disk drive device, and is a perspective view showing the flying head slider viewed obliquely from below and forward.
図 4は、 従来のハードディスク ドライブ装置に用いられた浮上型 へッ ドスライダの一例を示す側面図である。  FIG. 4 is a side view showing an example of a flying head slider used in a conventional hard disk drive.
図 5は、 本発明を適用したハードディスク ドライブ装置の概略構 成を示す斜視図である。  FIG. 5 is a perspective view showing a schematic configuration of a hard disk drive device to which the present invention is applied.
図 6は、 本発明を適用したハードディスク ドライブ装置に用いら れる浮上型へッ ドスライダの一例を示す図であり、 この浮上型へッ ドスライダを下斜め前方から見た様子を示す斜視図である。  FIG. 6 is a diagram showing an example of a flying head slider used in a hard disk drive device to which the present invention is applied, and is a perspective view showing the flying head slider viewed from obliquely downward and forward.
図 7は、 本発明を適用したハ一ドディスク ドライプ装置に用いら れた浮上型へッ ドスライダの一例を示す側面図である。  FIG. 7 is a side view showing an example of a flying head slider used in a hard disk drive device to which the present invention is applied.
図 8は、 本発明を適用したハードディスク ドライブ装置に用いら れる浮上型へッ ドスライダの一例を、 具体的寸法の一例を表記して 示す底面図である。  FIG. 8 is a bottom view showing an example of a flying head slider used in a hard disk drive device to which the present invention is applied, showing an example of specific dimensions.
図 9は、 本発明を適用したハ一ドディスク ドライブ装置に用いら れる浮上型へッ ドスライダの一例を、 具体的寸法の一例を表記して 示す側面図である。  FIG. 9 is a side view showing an example of a flying head slider used in a hard disk drive device to which the present invention is applied, with specific examples of dimensions.
図 1 0は、 浮上型へッ ドスライダのステツプの深さと浮上量との 関係を示す図である。  FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the step depth and the flying height of a flying head slider.
図 1 1は、 ステップの幅方向の中央部に塵埃が付着した状態 (A 状態) の浮上型へッ ドスライダを示す底面図である。  FIG. 11 is a bottom view showing the flying head slider in a state where dust adheres to the center of the step in the width direction (state A).
図 1 2は、 ステップの幅方向の中央部に塵埃が付着した状態 (A 状態) の浮上型へッ ドスライダを示す側面図である。  FIG. 12 is a side view showing the flying head slider in a state where dust adheres to the center of the step in the width direction (state A).
図 1 3は、 ステップの幅方向の全域に亘つて塵埃が付着した状態 ( B状態) の浮上型ヘッ ドスライダを示す底面図である。 Fig. 13 shows a state where dust adheres to the entire area in the width direction of the step. FIG. 4 is a bottom view showing the flying head slider in the (B state).
図 1 4は、 ステップの幅方向の全域に亘つて塵埃が付着した状態 ( B状態) の浮上型へッ ドスライダを示す側面図である。  FIG. 14 is a side view showing the flying head slider in a state where dust adheres over the entire area in the width direction of the step (state B).
図 1 5は、 浮上型へッ ドスライダのステツプの深さと浮上量の変 化量との関係を示す図である。  FIG. 15 is a diagram showing the relationship between the step depth of the flying head slider and the amount of change in the flying height.
図 1 6は、 浮上型へッ ドスライダのステップの深さとピッチ角と の関係を示す図である。  FIG. 16 is a diagram showing the relationship between the step depth and the pitch angle of the flying head slider.
図 1 7は、 本発明を適用したハードディスク ドライブ装置に用い られる浮上型へッ ドスライダの他の例を示す図であり、 この浮上型 へッ ドスライダを下斜め前方から見た様子を示す斜視図である。 図 1 8は、 スキュー角の変動を説明するための図である。  FIG. 17 is a diagram showing another example of a flying head slider used in a hard disk drive device to which the present invention is applied. FIG. 17 is a perspective view showing this flying head slider as viewed obliquely from below and forward. is there. FIG. 18 is a diagram for explaining a change in the skew angle.
図 1 9は、 本発明を適用したハ一ドディスク ドライブ装置に用い られる浮上型へッ ドスライダの更に他の例を示す図であり、 この浮 上型へッ ドスライダを下斜め前方から見た様子を示す斜視図である。 図 2 0は、 浮上型へッ ドスライダの更に他の例を示す図であり、 この浮上型へッ ドスライダを下斜め前方から見た様子を示す斜視図 である。 .  FIG. 19 is a view showing still another example of the flying head slider used in the hard disk drive device to which the present invention is applied. FIG. FIG. FIG. 20 is a view showing still another example of the flying head slider, and is a perspective view showing the flying head slider viewed obliquely from below and forward. .
図 2 1は、 浮上型へッ ドスライダの更に他の例を示す側面図であ る。  FIG. 21 is a side view showing still another example of the flying head slider.
図 2 2は、 浮上型へッ ドスライダのテーパの傾斜角と浮上量との 関係を示す図である。 発明を実施するための最良の形態 以下、 本発明を実施するための最良の形態について、 図面を参照 しながら詳細に説明する。 FIG. 22 is a diagram showing the relationship between the taper inclination angle of the flying head slider and the flying height. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. This will be described in detail.
本発明を適用したハ一ドディスク ドライブ装置の一例を図 5に示 す。 この図 5に示すハードディスク ドライブ装置 1 0は、 ハードデ イスク ドライブ装置本体 1 1に対して磁気ディスク 3 0が交換可能 とされた、 所謂、 リムーバブル型のハードディスク ドライブ装置で ある。  FIG. 5 shows an example of a hard disk drive device to which the present invention is applied. The hard disk drive 10 shown in FIG. 5 is a so-called removable hard disk drive in which the magnetic disk 30 is replaceable with respect to the hard disk drive main body 11.
このハードディスク ドライブ装置 1 0において、 ハードディスク ドライブ装置本体 1 1は、 アルミニウム合金等により形成された筐 体 1 2を備え、 この筐体 1 2の内部に設けられたディスク装着部 1 3に磁気ディスク 3 0が装着されるようになされている。  In this hard disk drive device 10, the hard disk drive device main body 11 includes a housing 12 formed of an aluminum alloy or the like, and a magnetic disk 3 is mounted on a disk mounting portion 13 provided inside the housing 12. 0 is attached.
筐体 1 2には、 ディスク装着部 1 3のほぼ中央部に位置して、 磁 気ディスク 3 0を角速度一定で回転操作するスピン ドルモ一夕 1 4 が取り付けられている。  The housing 12 is provided with a spindle motor 14 which is located substantially at the center of the disk mounting portion 13 and rotates the magnetic disk 30 at a constant angular velocity.
また、 この筐体 1 2には、 揺動アーム 1 5が、 垂直軸 1 5 aを揺 動中心として揺動可能に取り付けられている。 そして、 この揺動ァ —ム 1 5の垂直軸 1 5 aにて支持された部分の近傍には、 ボイスコ ィル 1 6が取り付けられている。 また、 この揺動アーム 1 5の揺動 端には、 浮上型へッ ドスライダ 2 0が取り付けられている。  Further, a swing arm 15 is attached to the housing 12 so as to be swingable about a vertical axis 15a as a swing center. A voice coil 16 is mounted near a portion supported by the vertical axis 15a of the swing arm 15. Further, a floating head slider 20 is attached to the swing end of the swing arm 15.
さらに、 筐体 1 2には、 揺動アーム 1 5に取り付けられたボイス コイル 1 6を挟持するように一対のマグネッ ト 1 7 (図 1において は、 一方のマグネッ トのみを図示している) が取り付けられており、 これら一対のマグネッ ト 1 7 とボイスコイル 1 6とにより、 ボイス コイルモー夕 1 8が構成されている。  Further, a pair of magnets 17 are provided in the housing 12 so as to sandwich the voice coil 16 attached to the swing arm 15 (only one of the magnets is shown in FIG. 1). A voice coil motor 18 is formed by the pair of magnets 17 and voice coil 16.
また、 筐体 1 2の側壁部近傍には、 揺動アーム 1 5の揺動軌跡に 沿ってランプ 1 9が設けられており、 ディスク装着部 1 3に磁気デ イスク 3 0が装着されていないときは、 揺動アーム 1 5の揺動端に 取り付けられた浮上型へッ ドスライダ 2 0が、 このランプ 1 9に支 持されるようになされている。 A ramp 19 is provided in the vicinity of the side wall of the housing 12 along the swing trajectory of the swing arm 15. When the disk 30 is not mounted, the floating head slider 20 attached to the swing end of the swing arm 15 is supported by the ramp 19.
また、 このハードディスク ドライブ装置 1 0において、 磁気ディ スク 3 0は、 カート リ ッジ 3 1内に収容され、 ディスク力一卜 リツ ジ 3 2 として構成されている。  Further, in the hard disk drive 10, the magnetic disk 30 is housed in a cartridge 31, and is configured as a disk force cartridge 32.
磁気ディスク 3 0を収容するカート リ ッジ 3 1には、 一方の側面 部に、 揺動アーム 1 5の揺動端側及びこの揺動アーム 1 5の揺動端 に取り付けられた浮上型へッ ドスライダ 2 0を力一ト リ ッジ 3 1の 内部に進入させるための開口部 3 3が設けられている。 また、 力一 ト リ ッジ 3 1には、 この開口部 3 3を開閉するためのシャツ夕 3 4 が取り付けられており、 ディスクカート リ ッジ 3 2がハードデイス ク ドライブ装置本体 1 1に装着されないときは、 開口部 3 3がシャ ッ夕 3 4により閉塞されるようになされている。  The cartridge 31 for accommodating the magnetic disk 30 has, on one side surface, a floating type attached to the swing end of the swing arm 15 and the swing end of the swing arm 15. An opening 33 is provided for letting the head slider 20 enter the inside of the force cartridge 31. The force cartridge 31 is provided with a shirt 34 for opening and closing the opening 33, and the disk cartridge 32 is attached to the hard disk drive device body 11. If not, the opening 33 is closed by the shutter 34.
以上のように構成されるハードディスク ドライブ装置 1 0は、 ノヽ 一ドディスク ドライブ装置本体 1 1のディスク装着部 1 3にデイス クカート リ ッジ 3 2が装着されると、 カート リ ッジ 3 1内の磁気デ イスク 3 0がスピン ドルモー夕 1 4にチヤッキングされると共に、 図示しないシャツ夕移動機構によりシャツ夕 3 4が移動操作される。 そして、 ボイスコイルモ一夕 1 8に外部から電流が供給されるこ とにより、 揺動アーム 1 5が、 このボイスコイルモー夕 1 8に流れ る電流とマグネッ ト 1 7の磁界とによって生ずる力に基づいて回動 し、 揺動アーム 1 5の揺動端側及びその揺動端に取り付けられた浮 上型へッ ドスライダ 2 0が、 カート リ ッジ 3 1に設けられた開口部 3 3を介して力一ト リ ヅジ 3 1内に進入し、 磁気ディスク 3 0上に ロードされる。 When the disk cartridge 3 2 is mounted on the disk mounting portion 13 of the main disk drive main body 11, the hard disk drive 10 configured as described above is mounted in the cartridge 3 1. The magnetic disk 30 is checked by the spindle motor 14 and the shirt motor 34 is moved by a shirt moving mechanism (not shown). When current is externally supplied to the voice coil motor 18, the swing arm 15 is driven by the force generated by the current flowing through the voice coil motor 18 and the magnetic field of the magnet 17. And the floating head slider 20 attached to the swinging end side of the swinging arm 15 and the swinging end thereof passes through an opening 33 provided in the cartridge 31. Into the power cartridge 31 and onto the magnetic disk 30 Loaded.
磁気ディスク 3 0上に浮上型へッ ドスライダ 2 0がロードされる と、 浮上型へッ ドスライダ 2 0により、 磁気ディスク 3 0に予め記 録されたサ一ボ信号が読みとられ、 その結果がフィ一ドバックされ てボイスコイルモ一夕 1 8に供給する電流値が制御される。 そして、 この電流値に応じて揺動アーム 1 7が揺動されることにより、 シー ク動作が行われ、 浮上型へッ ドスライダ 2 0が所定の記録トラック へと移動されて、 浮上型へッ ドスライダ 2 0による信号の書き込み 及び読み出しが行われると共に、 トラッキング制御が行われる。 このハードディスク ドライブ装置 1 0に用いられる浮上型へッ ド スライダ 2 0の一例を図 6及び図 7に示す。 この図 6及び図 7に示 す浮上型ヘッ ドスライダ 2 0は、 所謂、 負圧利用型と呼ばれるもの である。  When the flying head slider 20 is loaded on the magnetic disk 30, the flying head slider 20 reads a servo signal previously recorded on the magnetic disk 30, and the result is read. The current value fed back to the voice coil module 18 is controlled. Then, the swing arm 17 is swung in accordance with the current value to perform a seek operation, and the flying head slider 20 is moved to a predetermined recording track, so that the flying head is moved. Signal writing and reading by the slider 20 are performed, and tracking control is performed. An example of the flying head slider 20 used in the hard disk drive 10 is shown in FIGS. The floating head slider 20 shown in FIGS. 6 and 7 is a so-called negative pressure utilizing type.
この浮上型へッ ドスライダ 2 0は、 全体略直方体状に成形されて なり、 その下面 (磁気ディスク 3 0に対する対向面) には、 幅方向 の両側 (磁気ディスク 3 0の半径方向に沿った方向の両側) に、 空 気流入側の端部から空気流出側の端部に亘つて、 エアベアリングサ 一フェイスとして機能する 2本のレール 2 1 , 2 2が設けられてい る。 また、 この浮上型ヘッ ドスライダ 2 0の下面には、 空気流入側 の端部に位置して、 2本のレール 2 1 , 2 2を連結するように形成 されたレール (以下、 クロスレール 2 3 という。 ) が設けられてい る。 そして、 これら 2本のレ一ル 2 1 , 2 2とクロスレール 2 3 と に囲まれた部分が、 これら 2本のレール 2 1 , 2 2とクロスレール 2 3の表面 (磁気ディスク 3 0に対する対向面) よりも窪んだ領域 (以下、 この領域をキヤビティ 2 4という。 ) とされている。 この浮上型ヘッ ドスライダ 2 0において、 キヤビティ 2 4は、 ク ロスレール 2 3で生じた正圧を開放することにより負圧を発生させ る負圧発生帯として機能する。 即ち、 浮上型へッ ドスライダ 2 0と 磁気ディスク 3 0との間に空気流が流入すると、 この空気流は、 先 ず、 クロスレール 2 3に衝突して圧縮され、 正圧が発生する。 これ により、 浮上型へッ ドスライダ 2 0に浮揚力が与えられる。 The flying type head slider 20 is entirely formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, and has a lower surface (a surface facing the magnetic disk 30) on both sides in a width direction (a direction along a radial direction of the magnetic disk 30). On both sides), two rails 21 and 22 functioning as an air bearing surface are provided from the end on the air inflow side to the end on the air outflow side. On the lower surface of the flying head slider 20, a rail (hereinafter referred to as a cross rail 23) formed at the end on the air inflow side so as to connect the two rails 21 and 22 is formed. ) Is provided. The portion surrounded by these two rails 21 and 22 and the cross rail 23 is the surface of the two rails 21 and 22 and the cross rail 23 (for the magnetic disk 30). The area is recessed from the opposite surface (hereinafter, this area is referred to as cavity 24). In the flying head slider 20, the cavities 24 function as a negative pressure generating zone for generating a negative pressure by releasing the positive pressure generated in the cross rail 23. That is, when an air flow flows between the flying head slider 20 and the magnetic disk 30, the air flow first collides with the cross rail 23 and is compressed to generate a positive pressure. As a result, a floating force is applied to the flying head slider 20.
そして、 クロスレール 2 3により圧縮された空気流は、 キヤビテ ィ 2 4内に流入した際に急激に膨張されて負圧となり、 この負圧に より浮上型へッ ドスライダ 2 0と磁気ディスク 3 0との間に吸引力 が発生する。  The air flow compressed by the cross rails 23 is rapidly expanded when flowing into the cavity 24 and becomes a negative pressure. The negative pressure causes the floating head slider 20 and the magnetic disk 30 to move. A suction force is generated between and.
浮上型へッ ドスライダ 2 0は、 この浮揚力及び吸引力により、 磁 気ディスク 3 0上を所定の浮上量をもって安定的に浮上走行するよ うになされている。  The levitating head slider 20 is stably levitated on the magnetic disk 30 with a predetermined flying height by the levitating force and the attractive force.
この負圧利用型の浮上型へッ ドスライダ 2 0は、 線速依存性を抑 制するものとして知られている。 即ち、 磁気ディスク 3 0は、 スピ ンドルモー夕 1 4により角速度一定で回転操作されているので、 そ の外周側と内周側とでは、 線速度が異なったものとなっている。 そ して、 浮上型へッ ドスライダ 2 0と磁気ディスク 3 0との間に流入 する空気流は、 浮上型へッ ドスライダ 2 0が磁気ディスク 3 0の内 周側を浮上しているときよりも浮上型へッ ドスライダ 2 0が磁気デ イスク 3 0の外周側を浮上しているときの方が速い。 このため、 負 圧を利用しない浮上型へッ ドスライダにおいては、 磁気ディスク 3 0の外周側を浮上しているときの方が、 磁気ディスク 3 0の内周側 を浮上しているときょりも浮上量が大きくなつてしまう。  This floating head slider 20 utilizing a negative pressure is known to suppress linear velocity dependence. That is, since the magnetic disk 30 is rotated at a constant angular velocity by the spindle motor 14, the linear velocity is different between the outer peripheral side and the inner peripheral side. The airflow flowing between the flying head slider 20 and the magnetic disk 30 is larger than when the flying head slider 20 is flying on the inner peripheral side of the magnetic disk 30. It is faster when the flying head slider 20 is flying on the outer peripheral side of the magnetic disk 30. For this reason, in the case of a flying head slider that does not use a negative pressure, when flying on the outer peripheral side of the magnetic disk 30, it may sometimes fly on the inner peripheral side of the magnetic disk 30. The flying height increases.
これに対して、 負圧利用型の浮上型へッ ドスライダ 2 0において は、 磁気ディスク 3 0の外周側を浮上しているときの方が浮揚力は 大きくなるが、 線速が速い分、 負圧帯にて発生する負圧も大きくな り、 これら浮揚力の上昇が負圧の発生により相殺され、 線速依存性 が抑制されることになる。 On the other hand, in the case of the floating head slider 20 using negative pressure, The levitation force is higher when the magnetic disk 30 is levitating on the outer peripheral side, but the higher the linear velocity, the greater the negative pressure generated in the negative pressure zone. Is offset by the generation of the negative pressure, and the linear velocity dependency is suppressed.
この浮上型へッ ドスライダ 2 0下面の空気流入側の端部、 即ち、 クロスレール 2 3の空気流側の端部には、 クロスレール 2 3の高さ 方向に所定の深さで切り欠かれ、 クロスレール 2 3の表面から一段 窪んだ形状とされた段差部 (以下、 ステップ 2 5という。 ) が形成 されている。 このステップ 2 5は、 浮上型へッ ドスライダ 2 0と磁 気ディスク 3 0との間に発生する正圧 (浮揚力) のピークを浮上型 へヅ ドスライダ 2 0の長さ方向の 2箇所に生じさせて、 浮上型へッ ドスライダ 2 0の長さ方向 (ピッチ方向) における姿勢の安定化を 図る機能を有する。 なお、 上述したキヤビティ 2 4は、 このステツ プ 2 5よりもさらに窪んだ形状とされている。  The end of the lower surface of the flying head slider 20 on the air inflow side, that is, the end of the cross rail 23 on the air flow side is cut out at a predetermined depth in the height direction of the cross rail 23. In addition, a step portion (hereinafter, referred to as step 25) having a shape depressed by one step from the surface of the cross rail 23 is formed. In this step 25, peaks of positive pressure (lifting force) generated between the flying head slider 20 and the magnetic disk 30 are generated at two positions in the longitudinal direction of the flying head slider 20. In addition, it has a function of stabilizing the attitude in the length direction (pitch direction) of the flying head slider 20. The above-described cavity 24 has a shape that is further depressed than in step 25.
また、 この浮上型へッ ドスライダ 2 0の空気流出側の端部には、 磁気ヘッ ド素子 2 6が組み込まれている。 なお、 図 7においては、 磁気へッ ド素子 2 6を浮上型へッ ドスライダ 2 0の後端面に組み込 んだ例を図示しているが、 磁気へッ ド素子 2 6を組み込む場所は、 この例に限定されるものではなく、 例えば、 一方のレール 2 1又は 他方のレール 2 2の表面の空気流出側の端部に設けるようにしても よい。  A magnetic head element 26 is incorporated at the end of the floating head slider 20 on the air outflow side. Although FIG. 7 shows an example in which the magnetic head element 26 is incorporated into the rear end surface of the flying head slider 20, the place where the magnetic head element 26 is incorporated is as follows. The present invention is not limited to this example, and may be provided, for example, at the end of the surface of one rail 21 or the other rail 22 on the air outflow side.
以上のように構成される浮上型へッ ドスライダ 2 0の具体的な寸 法の一例を図 8及び図 9に示す。 なお、 図 8は、 浮上型ヘッ ドスラ イダ 2 0を下面側から見た平面図であり、 図 9は、 浮上型ヘッ ドス ライダ 2 0の側面図である。 また、 図 9において、 キヤビティ 2 4 やステップ 2 5の形状は、 実際の寸法よりも誇張して示している。 この浮上型ヘッ ドスライダ 2 0は、 その全体が、 前後方向の長さ L = 20 5 0 ja 幅 W= 1 600 m、 厚さ T = 430 mとさ れた直方体状を呈しており、 ここに、 上記キヤビティ 24が切削形 成されることにより、 2本のレール 2 1 , 2 2及びクロスレール 2 3が形成される。 FIGS. 8 and 9 show examples of specific dimensions of the flying head slider 20 configured as described above. FIG. 8 is a plan view of the floating head slider 20 as viewed from below, and FIG. 9 is a side view of the floating head slider 20. In FIG. 9, the cavities 2 4 And the shape of step 25 is exaggerated than the actual size. The flying head slider 20 has a rectangular parallelepiped shape with a length L = 2050 en in the front-rear direction, a width W = 1600 m, and a thickness T = 430 m. By cutting the cavity 24, two rails 21 and 22 and a cross rail 23 are formed.
キヤビティ 24は、 前後方向の長さ L = 1 64 5〃m、 幅 W= 1 2 0 0〃m、 深さ D二 4 mとされ、 浮上型へッ ドスライダ 20全 体の長さ方向の後端側であって且つ幅方向の中央部に形成されてい る。 したがって、 2本のレール 2 1 , 2 2は、 それぞれ、 前後方向 の長さ L = 1 64 5 m、 幅 W= 2 00〃mとされる。 また、 クロ スレール 2 3は、 前後方向の長さ 1^ = 4 0 5〃111、 幅 W= 1 600 〃 mとされる。  The cavity 24 has a front-rear length L = 164 5 m, a width W = 1200 m, and a depth D 24 m, and is located after the entire length of the floating head slider 20. It is formed on the end side and at the center in the width direction. Therefore, each of the two rails 21 and 22 has a length L of 1645 m and a width W of 200 m in the front-rear direction. The cross rail 23 has a length in the front-rear direction 1 ^ = 405 4111 and a width W = 1600 1m.
また、 クロスレール 2 3の空気流入側の端部には、 前後方向の長 さ L二 2 0 5〃m、 幅 W= 1 6 00 m、 深さ Dが所定の値に設定 されたステップ 2 5が形成されている。  In addition, at the end of the cross rail 23 on the air inflow side, the length L 205 mm, the width W = 1600 m and the depth D are set to predetermined values in the front-rear direction. 5 are formed.
ここで、 ステップ 2 5の深さ Dについて考察した結果、 浮上型へ ッ ドスライダ 2 0をリムーバブル型のハードディスク ドライブ装置 1 0に用いることを想定すると、 ステップ 2 5の深さ Dは、 0. 3 〃π!〜 1. 2〃mの範囲内が有効であり、 0. 4〃m〜 l . 2〃m の範囲内であればより望ましいことが解明された。  Here, as a result of considering the depth D of step 25, assuming that the flying head slider 20 is used for the removable hard disk drive 10, the depth D of step 25 is 0.3. 〃Π! It was clarified that the range of 1.1.2〃m is effective, and the more preferable range is 0.4〃m〜1.2〃m.
浮上型へッ ドスライダ 20をリム一バブル型のハ一ドディスク ド ライブ装置 1 0に用いた場合、 ハードディスク ドライブ装置 1 0の 筐体 1 2内に侵入した麈埃等が浮上型へッ ドスライダ 2 0に付着す る可能性が高い。 そこで、 浮上型ヘッ ドスライダ 20としては、 塵 埃等が付着した場合であっても、 浮上量の低下を生じさせず、 また、 仮に、 浮上量の低下が生じた場合であっても、 その低下量が許容範 囲内に抑えられることが要求される。 When the floating head slider 20 is used in a rim-bubble type hard disk drive device 10, dust or the like that has entered the housing 12 of the hard disk drive device 10 can be used as a floating head slider 2. It is highly likely that it will adhere to zero. Therefore, as the floating head slider 20, dust It is required that the flying height does not decrease even when dust or the like adheres, and that even if the flying height decreases, the reduction should be kept within an allowable range. Is done.
浮上型へッ ドスライダ 2 0のステップ 2 5の深さ Dと浮上量との 関係をコンピュータシュミレーシヨンによって計算した結果を図 1 0に示す。 この図 1 0において、 縦軸は浮上型ヘッ ドスライダ 2 0 の浮上量を示し、 横軸は浮上型へッ ドスライダ 2 0のステップ 2 5 の深さ Dの値を示している。  FIG. 10 shows the result of calculating the relationship between the depth D of step 25 of the flying head slider 20 and the flying height by computer simulation. In FIG. 10, the vertical axis represents the flying height of the flying head slider 20, and the horizontal axis represents the value of the depth D of the step 25 of the flying head slider 20.
また、 図 1 0中、 実線で示すグラフは、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0に麈埃等が付着していない場合のものであり、 点線で示すグラフ は、 図 1 1及び図 1 2に示すように、 浮上型へッ ドスライダ 2 0の ステップ 2 5の幅方向のほぼ中央部に、 長さが 1 0 0 z m、 幅が 4 0 0〃mの領域に亘つて塵埃 2 7が付着した状態 (以下、 A状態と いう。 ) のものであり、 2点鎖線で示すグラフは、 図 1 3及び図 1 4に示すように、 浮上型へッ ドスライダ 2 0のステップ 2 5の幅方 向のほぼ全域に、 長さが 5 0 / m程度の領域に亘つて塵埃 2 7が付 着した状態 (以下、 B状態という。 ) のものである。 なお、 この図 1 0に示す各グラフは、 図 8及び図 9に示す寸法で形成された浮上 型ヘッ ドスライダ 2 0を、 2 . 5インチハードディスク ドライブ装 置に搭載し、 回転数を 4 5 0 0 r p mに設定した場合のものである。 この図 1 0から、 浮上型へッ ドスライダ 2 0は、 ステップ 2 5の 深さ Dが約 0 . 4 / m以上のときは、 塵埃 2 7が付着した状態 (A 状態、 B状態) の方が、 塵埃等が付着していない場合よりもかえつ て浮上量が増加していることが分かる。 この結果は、 塵埃 2 7の付 着状態 (A状態か B状態か) にかかわらず、 ほぼ一致している。 ま た、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0は、 その寸法や形状が変わった場合 であっても、 ほぼ同様の傾向がみられることが確認された。 Also, in FIG. 10, the solid line graph shows the case where no dust or the like is attached to the flying head slider 20, and the dotted line graphs show the graphs as shown in FIGS. 11 and 12. In the state where dust 27 adheres to the floating head slider 20 at the approximate center of the width direction in step 25 of the floating head slider 20 over a region of 100 m in length and 400 m in width ( Hereinafter, this is referred to as A state.) The graphs indicated by two-dot chain lines are almost the same as those in the width direction of the step 25 of the flying head slider 20, as shown in FIGS. Dust 27 is attached to the entire area over an area with a length of about 50 / m (hereinafter referred to as state B). Each graph shown in FIG. 10 shows that a floating head slider 20 having the dimensions shown in FIGS. 8 and 9 was mounted on a 2.5-inch hard disk drive, and the number of rotations was 450. This is the case when set to 0 rpm. From this figure 10, it can be seen that the flying head slider 20 is in the state (A state, B state) with dust 27 attached when the depth D of step 25 is about 0.4 / m or more. However, it can be seen that the flying height increased rather than when no dust or the like was attached. This result is almost the same regardless of the attached state of the dust 27 (A state or B state). Ma In addition, it was confirmed that the flying head slider 20 showed almost the same tendency even when its size and shape were changed.
以上の結果から、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0は、 ステップ 2 5の 深さ Dを 0 . 4 m以上とすることにより、 塵埃等が付着した場合 であっても、 浮上量の低下を抑制することができることが分かった。 また、 浮上型へッ ドスライダ 2 0のステップ 2 5の深さ Dと、 浮 上型へッ ドスライダ 2 0に塵埃 2 7が付着した場合の浮上量の変化 量との関係をコンピュータシュミ レーシヨンによって計算した結果 を図 1 5に示す。 この図 1 5において、 縦軸は浮上型ヘッ ドスライ ダ 2 0に麈埃 2 7が付着した場合の浮上量を、 塵埃 2 7が付着しな い場合の浮上量と比較して求めた浮上量の変化量を示しており、 横 軸は浮上型へッ ドスライダ 2 0のステップ 2 5の深さ Dの値を示し ている。  From the above results, the flying head slider 20 suppresses a decrease in flying height even when dust or the like adheres by setting the depth D of step 25 to 0.4 m or more. I knew I could do it. The relationship between the depth D of step 25 of the flying head slider 20 and the change in the flying height when dust 27 adheres to the flying head slider 20 is calculated by computer simulation. Figure 15 shows the results. In Fig. 15, the vertical axis indicates the flying height obtained by comparing the flying height when dust 27 adheres to the floating head slider 20 with the flying height when dust 27 does not adhere. The horizontal axis shows the value of the depth D of step 25 of the flying head slider 20.
また、 図 1 5中、 点線で示すグラフは、 浮上型へッ ドスライダ 2 0のステップ 2 5の幅方向のほぼ中央部に麈埃 2 7が付着した A状 態のものであり、 2点鎖線で示すグラフは、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0のステップ 2 5の幅方向のほぼ全域に塵埃 2 7が付着した B状 態のものである。 なお、 この図 1 5に示す各グラフも、 図 1 0に示 した各グラフと同様に、 図 8及び図 9に示す寸法で形成された浮上 型ヘッ ドスライダ 2 0を、 2 . 5インチハードディスク ドライブ装 置に搭載し、 回転数を 4 5 0 0 r p mに設定した場合のものである。 この図 1 5から、 A状態及び B状態の浮上型へッ ドスライダ 2 0 は、 ステップ 2 5の深さ Dが約 0 . 4 m以上となると、 浮上量の 変化量がプラスに転じていることが分かる。 すなわち、 浮上型へッ ドスライダ 2 0は、 ステップ 2 5の深さ Dが 0 . 4〃m以上の場合 は、 塵埃 2 7が付着するとかえって浮上量が増加することになる。 また、 この図 1 5から、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0は、 ステップ 2 5の深さ Dが 0 . 4 m以下の場合でも、 約 0 . 3 m以上であ れば、 塵埃 2 7が付着した場合の浮上量の急激な低下が抑えられ、 その低下量が 2 n m程度に抑えられることが分かる。 この結果は、 塵埃 2 7の付着状態 (A状態か B状態か) にかかわらず、 ほぼ一致 している。 また、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0は、 その寸法や形状が 変わった場合であっても、 ほぼ同様の傾向がみられることが確認さ れた。 The graph shown by the dotted line in FIG. 15 shows the state of the floating head slider 20 in the A state in which the dust 27 adheres to almost the center in the width direction of the step 25 of the flying head slider 20, and the two-dot chain line. The graph indicated by indicates the state B in which the dust 27 adheres to almost the entire area in the width direction of the step 25 of the flying head slider 20. In addition, similarly to the graphs shown in FIG. 10, each of the graphs shown in FIG. 15 also uses a 2.5-inch hard disk drive for the floating type head slider 20 having the dimensions shown in FIGS. 8 and 9. It is the one when mounted on the device and the rotation speed is set to 450 rpm. From this Figure 15, it can be seen that the flying head slider 20 in the A state and the B state shows a positive change in the flying height when the depth D of step 25 is about 0.4 m or more. I understand. In other words, the flying head slider 20 has a depth D of step 25 of 0.4 μm or more. When the dust 27 adheres, the flying height increases. In addition, as shown in FIG. 15, even if the depth D of the step 25 is less than 0.4 m, the flying head slider 20 has dust 27 if the depth D is about 0.3 m or more. It can be seen that the abrupt decrease in the flying height in this case is suppressed, and the decrease is suppressed to about 2 nm. This result is almost the same regardless of the adhesion state of the dust 27 (A state or B state). It was also confirmed that the flying head slider 20 exhibited almost the same tendency even when its size and shape were changed.
一般的に、 ハードディスク ドライブ装置においては、 浮上型へッ ドスライダの浮上量の約 1 0 %が浮上量変動の許容範囲とされてい る。 したがって、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0は、 浮上量が 2 0 n m 以上に設定されたハードディスク ドライブ装置に用いる場合には、 ステップ 2 5の深さ Dを 0 . 3 z m以上とすることにより、 浮上量 の低下があった場合でも、 その低下量を許容範囲内に抑えることが できる。  Generally, in a hard disk drive, about 10% of the flying height of a flying head slider is set as an allowable range of the flying height fluctuation. Therefore, when the flying head slider 20 is used in a hard disk drive device in which the flying height is set to 20 nm or more, the flying height is set by setting the depth D in step 25 to 0.3 zm or more. Even if there is a decrease, the amount of decrease can be kept within an allowable range.
以上説明したように、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0は、 ステップ 2 5の深さ Dを 0 . 3 / m以上、 好ましくは、 0 . 4〃m以上とする ことにより、 塵埃等が付着した場合であっても、 浮上量の低下を抑 制し、 また、 仮に、 浮上量の低下が合った場合であっても、 その低 下量を小さく抑えることができる。 したがって、 ステップ 2 5の深 さ Dが以上のように設定された浮上型へッ ドスライダ 2 0は、 例え ばリムーバブル型のハードディスク ドライブ装置 1 0のように、 麈 埃等の付着が予測される環境下でも有効に用いることが可能である。  As described above, the flying type head slider 20 is designed to prevent the dust or the like from adhering by setting the depth D of step 25 to 0.3 / m or more, preferably 0.4 μm or more. Even if it does, a decrease in the flying height can be suppressed, and even if the flying height is reduced, the decrease can be kept small. Accordingly, the flying head slider 20 having the depth D set in the step 25 as described above is used in an environment in which adhesion of dust and the like is expected, such as a removable hard disk drive 10. It can be used effectively below.
ところで、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0は、 先に図 7に示したよう に、 磁気ディスク 3 0との間の間隔が、 空気流入側の端部の方が空 気流出側の端部よりも若干大きくなるような姿勢を維持することに より、 磁気ディスク 3 0上を安定的に浮上するようになされている。 しかしながら、 浮上型へッ ドスライダ 2 0は、 ステップ 2 5の深さ があまり大きいと、 下面 (磁気ディスク 3 0に対する対向面) と磁 気ディスク 3 0 とがなす角であるピッチ角が小さくなりすぎて、 長 さ方向における姿勢が不安定になってしまう。 一般に、 浮上型へッ ドスライダ 2 0は、 ピッチ角が 2 0〃 r a d未満となると、 長さ方 向における姿勢が非常に不安定になる。 そして、 浮上型ヘッ ドスラ イダ 2 0の長さ方向における姿勢が不安定になると、 浮上型へッ ド スライダ 2 0の空気流出側の端部に組み込まれた磁気へッ ド素子 2 6と磁気ディスク 3 0との間の間隔、 即ちスペーシングに変動を生 じさせてしまう。 By the way, the flying type head slider 20 is, as shown in FIG. In addition, the space between the magnetic disk 30 and the magnetic disk 30 is maintained such that the end on the air inflow side is slightly larger than the end on the air outflow side. It is made to float stably. However, in the case of the flying head slider 20, if the depth of step 25 is too large, the pitch angle between the lower surface (the surface facing the magnetic disk 30) and the magnetic disk 30 becomes too small. Therefore, the posture in the length direction becomes unstable. Generally, when the pitch angle of the flying head slider 20 is less than 20 2 rad, the attitude in the length direction becomes very unstable. When the attitude of the flying head slider 20 in the longitudinal direction becomes unstable, the magnetic head element 26 built into the air outlet side end of the flying head slider 20 and the magnetic disk The interval between 30 and the spacing, that is, the spacing will fluctuate.
この浮上型へッ ドスライダ 2 0のステップ 2 5の深さ Dとピッチ 角との関係をンピュー夕シユミレーションによって計算した結果を 図 1 6に示す。 この図 1 6において、 縦軸はピッチ角を示しており、 横軸は浮上型へッ ドスライダ 2 0のステップ 2 5の深さ Dの値を示 している。  Figure 16 shows the result of calculating the relationship between the depth D of step 25 of this flying head slider 20 and the pitch angle by computer simulation. In FIG. 16, the vertical axis indicates the pitch angle, and the horizontal axis indicates the value of the depth D of step 25 of the flying head slider 20.
この図 1 6から、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0は、 ステップ 2 5の 深さ Dが 1 . 2〃m以上となると、 ピッチ角が 2 0〃 r a d未満と なることが分かる。 すなわち、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0は、 ステ ップ 2 5の深さ Dが 1 . 2 z m以上の場合は、 長さ方向における姿 勢が非常に不安定になる。  It can be seen from FIG. 16 that the pitch angle of the flying head slider 20 becomes less than 20 ° rad when the depth D of step 25 becomes 1.2 μm or more. That is, in the case of the flying head slider 20, when the depth D of the step 25 is 1.2 zm or more, the posture in the length direction becomes extremely unstable.
この結果は、 浮上型へッ ドスライダ 2 0の大きさや形状にさほど 依存せず、 あらゆるタイプの浮上型ヘッ ドスライダにおいて、 ほぼ 同様の結果が得られることが分かった。 This result is almost independent of the size and shape of the flying head slider 20, and is almost the same for all types of flying head sliders. It was found that similar results were obtained.
したがって、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0は、 ステップ 2 5の深さ Dを 1 . 2 z m以下とすることが望ましい。 浮上型へッ ドスライダ 2 0は、 ステップ 2 5の深さ Dを 1 . 2 m以下とすることにより、 長さ方向の姿勢の安定化を図り、 スペーシング変動を抑制して、 磁 気ディスク 3 0に対して信号を適切に書き込み、 また、 磁気ディス ク 3 0から信号を適切に読み出すことができる。  Therefore, in the flying head slider 20, it is desirable that the depth D of the step 25 be 1.2 zm or less. By setting the depth D of step 25 to 1.2 m or less, the flying head slider 20 stabilizes the posture in the length direction, suppresses the variation in spacing, and reduces the magnetic disc 3 A signal can be appropriately written to 0, and a signal can be appropriately read from the magnetic disk 30.
本発明を適用したハードディスク ドライブ装置 1 0に用いられる 浮上型へッ ドスライダ 2 0の他の例を図 1 7に示す。 この図 1 7に 示す浮上型へッ ドスライダ 2 0は、 基本構成を上述した浮上型へッ ドスライダ 2 0と同様とし、 幅方向の両端部、 即ち、 レール 2 1の 幅方向の端部及びレール 2 2の幅方向の端部に、 これらレール 2 1, 2 2の高さ方向に所定の深さで切り欠かれ、 レール 2 1, 2 2の表 面 (磁気ディスク 3 0に対する対向面) から一段窪んだ形状とされ た段差部 (以下、 サイ ドステップ 2 8 , 2 9という。 ) が形成され ていることを特徴としている。  Another example of the flying head slider 20 used in the hard disk drive 10 to which the present invention is applied is shown in FIG. The flying type head slider 20 shown in FIG. 17 has the same basic structure as the above-mentioned floating type head slider 20 and has both ends in the width direction, that is, the width direction ends of the rails 21 and the rails. The rails 21 and 22 are cut out at the ends in the width direction at a predetermined depth in the height direction of the rails 21 and 22, and are cut off from the surface of the rails 21 and 22 (the surface facing the magnetic disk 30). It is characterized by the formation of a stepped portion (hereinafter referred to as “side steps 28, 29”) having a concave shape.
なお、 以下の説明においては、 この特徴点のみを説明し、 上述し た浮上型へッ ドスライダ 2 0と同様の構成については、 図面に同一 の符号を付して、 詳細な説明を省略する。  In the following description, only this feature will be described, and the same components as those of the above-mentioned flying head slider 20 will be denoted by the same reference numerals in the drawings, and detailed description thereof will be omitted.
揺動アーム 1 5の揺動端に取り付けられた浮上型へッ ドスライダ 2 0は、 揺動アーム 1 5が垂直軸 1 5 aを中心として回動すると、 図 1 8に示すように、 磁気ディスク 3 0の表面に対して、 直線的に ではなく、 円弧方向に移動することになる。 したがって、 浮上型へ ヅ ドスライダ 2 0は、 その中心線が磁気デイスク 3 0の記録トラッ クの接線方向からずれて、 所謂スキュー角 0 sが生じることになる。 このスキュ一角 0 sは、 磁気ディスク 3 0の中心 oからの位置に応 じて変動する。 そして、 スキュ一角 S Sが大きくなると、 磁気ディ スク 3 0の表面と浮上型へッ ドスライダ 2 0との間の正圧の浮揚力 への変換効率が低下する。 したがって、 一般的には、 浮上型ヘッ ド スライダは、 スキュー角 0 sが大きくなると、 浮上量が小さくなる 傾向にある。 When the oscillating arm 15 rotates about the vertical axis 15a, the floating head slider 20 attached to the oscillating end of the oscillating arm 15 moves, as shown in FIG. It will move not in a straight line but in an arc direction with respect to the surface of 30. Therefore, the center line of the flying type head slider 20 is displaced from the tangential direction of the recording track of the magnetic disk 30, and a so-called skew angle of 0 s occurs. The skew angle 0 s varies according to the position from the center o of the magnetic disk 30. When the skew angle SS increases, the efficiency of converting the positive pressure between the surface of the magnetic disk 30 and the floating head slider 20 into a floating force decreases. Therefore, in general, the flying height of the flying head slider tends to decrease as the skew angle 0 s increases.
しかしながら、 本例の浮上型へッ ドスライダ 2 0においては、 幅 方向の両端部にサイ ドステップ 2 8 , 2 9が形成されており、 この サイ ドステップ 2 8 , 2 9により、 レール 2 1 , 2 2の側方から浮 上型ヘッ ドスライダ 2 0に当たる空気流に対しても浮揚力を発生さ せることができる。 したがって、 この浮上型ヘッ ドスライダ 2 0に おいては、 スキュ一角 0 sが大きくなつて、 クロスレール 2 3の前 側、 すなわち、 通常の空気流入側の端部から流入する空気流による 浮揚力が低下しても、 この浮揚力の低下分を、 レール 2 1 , 2 2の 側方からの空気流による浮揚力で補うことができ、 全体としてスキ ユー角 0 sの変動に依存しない、 安定な浮上量特性を得ることがで きる。  However, in the flying head slider 20 of this example, side steps 28 and 29 are formed at both ends in the width direction, and the rails 21 and 29 are formed by the side steps 28 and 29. The levitation force can also be generated with respect to the airflow impinging on the flying head slider 20 from the side of 22. Therefore, in this flying type head slider 20, as the skew angle 0 s becomes larger, the levitation force due to the air flow flowing from the front side of the cross rail 23, that is, the end on the normal air inflow side, is increased. Even if it drops, this drop in buoyancy can be compensated for by the buoyancy due to the airflow from the sides of the rails 21 and 22, and as a whole, it does not depend on the fluctuation of the skew angle 0 s Flying height characteristics can be obtained.
ここで、 本例の浮上型ヘッ ドスライダ 2 0において、 サイ ドステ ップ 2 8, 2 9の深さは、 上述した浮上型ヘッ ドスライダ 2 0のス テツプ 2 5の深さ Dと同様に、 0 . 3〃m以上とすることが有効で あり、 0 . 4 / m以上とすることがより好ましい。  Here, in the flying head slider 20 of the present example, the depth of the side steps 28 and 29 is set to 0 in the same manner as the depth D of the step 25 of the flying head slider 20 described above. It is effective to set it to 3 μm or more, and it is more preferable to set it to 0.4 / m or more.
本例の浮上型へッ ドスライダ 2 0は、 サイ ドステップ 2 8 , 2 9 の深さが以上のように設定されることにより、 このサイ ドステップ 2 8 , 2 9に塵埃等が付着した場合であっても、 浮上量の低下を抑 制し、 また、 仮に、 浮上量の低下が合った場合であっても、 その低 下量を小さく抑えることができる。 The flying head slider 20 of this example is designed so that when the depth of the side steps 28, 29 is set as described above, dust or the like adheres to the side steps 28, 29. However, even if the decrease in the flying height is matched, the decrease in the flying height is suppressed. The lower volume can be kept small.
なお、 この浮上型ヘッ ドスライダ 2 0において、 スキュー角依存 性を抑制するためには、 図 1 9に示すように、 浮上型ヘッ ドスライ ダ 2 0の幅方向の両端部に、 レール 2 1 , 2 2の表面 (磁気デイス ク 3 0に対する対向面) に対して所定の傾斜角を有し、 浮上型へッ ドスライダ 2 0の幅方向の最端部に向かうに従って浮上型へッ ドス ライダ 2 0の厚みを次第に小さくするような傾斜面 (以下、 サイ ド テ一パ 5 1 , 5 2という。 ) を、 サイ ドステップ 2 8 , 2 9に変え て形成することも有効である。  In order to suppress the skew angle dependence of the flying head slider 20, as shown in FIG. 19, rails 21 and 2 are provided at both ends in the width direction of the flying head slider 20. 2 has a predetermined inclination angle with respect to the surface (the surface facing the magnetic disk 30) of the floating head slider 20 as it goes to the widthwise end of the floating head slider 20. It is also effective to change the inclined surfaces (hereinafter referred to as side tapers 51 and 52) having a gradually reduced thickness into side steps 28 and 29.
但し、 このサイ ドテ一パ 5 1 , 5 2は、 研磨加工等により形成す る必要があり、 微細寸法とされる浮上型へッ ドスライダ 2 0に精密 に形成することが困難である。 これに対して、 サイ ドステップ 2 8 , 2 9は、 エッチング加工等により形成することができるので、 比較 的簡便且つ精度よく形成することができ、 非常に有利である。  However, the side tapers 51 and 52 need to be formed by polishing or the like, and it is difficult to precisely form them on the flying head slider 20 having a fine size. On the other hand, since the side steps 28 and 29 can be formed by etching or the like, they can be formed relatively simply and accurately, which is very advantageous.
ところで、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0においては、 上述したよう に、 空気流入側の端部にステップ 2 5を形成し、 浮上型ヘッ ドスラ イダ 2 0と磁気ディスク 3 0との間に発生する正圧のピークを浮上 型へッ ドスライダ 2 0の長さ方向の 2箇所に生じさせて、 浮上型へ ッ ドスライダ 2 0の長さ方向における姿勢の安定化を図るようにし ているが、 浮上型ヘッ ドスライダは、 空気流入側の端部に傾斜面を 形成することにより、 ステップ 2 5を形成した場合と同様の効果を 発揮することができる。  By the way, in the floating head slider 20, as described above, the step 25 is formed at the end on the air inflow side, and the positive pressure generated between the floating head slider 20 and the magnetic disk 30 is formed. Is generated at two points in the length direction of the flying head slider 20 to stabilize the posture in the longitudinal direction of the flying head slider 20. By forming an inclined surface at the end on the air inflow side, the same effect as in the case of forming step 25 can be exhibited.
以下、 浮上型ヘッ ドスライダにおいて、 空気流入側の端部に、 ス テツプに変えて傾斜面 (以下、 テ一パという。 ) を形成した例につ いて説明する。 この浮上型へッ ドスライダ 4 0は、 図 2 0及び図 2 1に示すよう に、 基本構成を上述した浮上型へッ ドスライダ 2 0と同様とし、 空 気流入側の端部に、 ステップ 2 5に変えて、 テーパ 4 1が形成され ていることを特徴としている。 Hereinafter, an example in which an inclined surface (hereinafter, referred to as a taper) is formed at the end of the floating head slider on the air inflow side instead of a step will be described. As shown in FIGS. 20 and 21, the flying head slider 40 has the same basic configuration as the flying head slider 20 described above, and has a step 25 at the end on the air inflow side. Instead of this, a taper 41 is formed.
なお、 以下の説明においては、 この特徴点のみを説明し、 上述し た浮上型へッ ドスライダ 2 0と同様の構成については、 図面に同一 の符号を付して、 詳細な説明を省略する。  In the following description, only this feature will be described, and the same components as those of the above-mentioned flying head slider 20 will be denoted by the same reference numerals in the drawings, and detailed description thereof will be omitted.
この浮上型ヘッ ドスライダ 4 0において、 テーパ 4 1は、 クロス レール 2 3の表面 (磁気ディスク 3 0に対する対向面) に対して所 定の傾斜角を有し、 浮上型へッ ドスライダ 4 0の空気流入側の最端 部に向かうに従って浮上型へッ ドスライダ 4 0の厚みを次第に小さ くするような傾斜面として形成されている。  In this flying head slider 40, the taper 41 has a predetermined inclination angle with respect to the surface of the cross rail 23 (the surface facing the magnetic disk 30), and the air of the flying head slider 40 has a predetermined inclination angle. The flying head slider 40 is formed as an inclined surface such that the thickness of the flying head slider 40 gradually decreases toward the inflow end.
ここで、 テーパ 4 1の傾斜角の最適値について考察した結果、 こ のテーパ 4 1の傾斜角は、 5 . 5度以下であることが、 テ一パ 4 1 に塵埃等が付着した場合であっても有効であることが解明された。 浮上型へッ ドスライダ 4 0のテ一パ 4 1の傾斜角と浮上量との関 係をコンピュータシユミ レーシヨンによって計算した結果を図 2 2 に示す。 この図 2 2において、 縦軸は浮上型ヘッ ドスライダ 4 0の 浮上量を示し、 横軸は浮上型ヘッ ドスライダ 4 0のテ一パ 4 1の傾 斜角を示している。  Here, as a result of studying the optimum value of the inclination angle of the taper 41, the inclination angle of the taper 41 is 5.5 degrees or less, when the dust or the like adheres to the taper 41. It turned out to be effective. FIG. 22 shows the result of calculating the relationship between the inclination angle of the taper 41 of the flying head slider 40 and the flying height by computer simulation. In FIG. 22, the vertical axis represents the flying height of the flying head slider 40, and the horizontal axis represents the inclination angle of the taper 41 of the flying head slider 40.
また、 図 2 2中、 実線で示すグラフは、 浮上型ヘッ ドスライダ 4 0に塵埃等が付着していない場合のものであり、 点線で示すグラフ は、 図 1 1及び図 1 2に示した例と同様に、 浮上型ヘッ ドスライダ 4 0のテーパ 4 1の幅方向のほぼ中央部に麈埃 2 7が付着した A状 態のものである。 なお、 この図 2 2に示す各グラフは、 図 8及び図 9に示した浮上型へッ ドスライダ 2 0と同様の寸法で形成された浮 上型へッ ドスライダ 4 0を、 2 . 5インチハードディスク ドライブ 装置に搭載し、 回転数を 4 5 0 0 r p mに設定した場合のものであ る。 In FIG. 22, the solid line graph shows the case where dust or the like does not adhere to the flying head slider 40, and the dotted line graphs show the examples shown in FIGS. 11 and 12. Similarly to the above, the flying head slider 40 is in the A state in which the dust 27 adheres substantially to the center of the taper 41 in the width direction. The graphs shown in Fig. 22 are shown in Fig. 8 and Fig. The flying head slider 40, which has the same dimensions as the flying head slider 20 shown in Fig. 9, is mounted on a 2.5-inch hard disk drive, and the rotation speed is set to 450 rpm. It is the case when it is done.
この図 2 2から、 浮上型ヘッ ドスライダ 4 0は、 テ一パ 4 1の傾 斜角が約 5 . 5度以下のときは、 塵埃 2 7が付着した A状態の方が、 塵埃等が付着していない場合よりもかえって浮上量が増加している ことが分かる。 なお、 浮上型ヘッ ドスライダ 4 0は、 その寸法や形 状が変わった場合であっても、 ほぼ同様の傾向がみられることが確 ii、 れ,こ。  From Fig. 22, it can be seen that the flying head slider 40 has the dust A attached to the dust A 27 when the taper 41 has an inclination angle of about 5.5 degrees or less. It can be seen that the flying height has increased rather than the case where it has not been performed. It should be noted that the flying head slider 40 has almost the same tendency even when its dimensions and shape are changed.
以上の結果から、 浮上型ヘッ ドスライダ 4 0は、 テーパ 4 1の傾 斜角を 5 . 5度以上とすることにより、 塵埃等が付着した場合であ つても、 浮上量の低下を抑制することができることが分かった。 以上説明したように、 浮上型ヘッ ドスライダにおいては、 空気流 入側の端部にテ一パ 4 1を形成することにより、 ステップ 2 5を形 成した場合と同様の効果を発揮することができ、 また、 テーパ 4 1 の傾斜角を 5 . 5度以下とすることにより、 塵埃等が付着した場合 であっても浮上量の低下を抑制することができる。  Based on the above results, the flying head slider 40 suppresses a decrease in flying height even when dust or the like adheres by setting the inclination angle of the taper 41 to 5.5 degrees or more. I knew I could do it. As described above, in the floating head slider, by forming the taper 41 at the end on the air inlet side, the same effect as in the case of forming the step 25 can be exhibited. Further, by setting the inclination angle of the taper 41 to 5.5 degrees or less, a decrease in the flying height can be suppressed even when dust or the like adheres.
しかしながら、 浮上型ヘッ ドスライダは、 図 8及び図 9にその寸 法の一例を示したように、 非常に微細なものである。 そして、 この 微細な浮上型へッ ドスライダに研磨加工等によりテーパ 4 1を精度 よく形成することは困難である。 これに対して、 ステップ 2 5は、 例えば、 浮上型へッ ドスライダにエツチング加工を施す等により、 比較的簡便且つ精度よく形成することができる。  However, the flying head slider is very fine, as shown in FIGS. 8 and 9 as an example of its dimensions. Then, it is difficult to accurately form the taper 41 on the fine flying head slider by polishing or the like. On the other hand, in step 25, the floating head slider can be formed relatively easily and with high accuracy, for example, by performing etching processing on the floating head slider.
したがって、 上述したハードディスク ドライプ装置 1 0に用いる 浮上型へッ ドスライダとしては、 空気流入側の端部にステップ 2 5 が形成された浮上型へッ ドスライダ 2 0を用いることが望ましい。 本発明を適用したハードディスク ドライブ装置 1 0は、 以上のよ うに、 塵埃等が付着しても浮上量の低下が抑制され、 また、 仮に、 浮上量の低下が合った場合であっても、 その低下量を極めて少なく 抑えることができる浮上型へッ ドスライダ 2 0を用いるようにして いるので、 浮上型へッ ドスライダ 2 0と磁気ディスク 3 0 とが衝突 するといつた不都合を有効に回避して、 浮上型へッ ドスライダ 2 0 や磁気ディスク 3 0の損傷等を未然に防止することができる。 Therefore, it is used for the hard disk drive device 10 described above. As the floating head slider, it is desirable to use a floating head slider 20 having a step 25 formed at the end on the air inflow side. As described above, in the hard disk drive device 10 to which the present invention is applied, even if dust or the like adheres, the decrease in the flying height is suppressed, and even if the flying height is reduced, Since the flying head slider 20 that can minimize the amount of reduction is used, it is possible to effectively avoid the inconvenience caused when the flying head slider 20 collides with the magnetic disk 30. The flying head slider 20 and the magnetic disk 30 can be prevented from being damaged.
また、 このハードディスク ドライブ装置 1 0においては、 浮上型 ヘッ ドスライダ 2 0に麈埃等が付着しても、 浮上型へッ ドスライダ 2 0や磁気ディスク 3 0の損傷等が防止されるので、 浮上型へッ ド スライダ 2 0に付着した塵埃等をクリーニングにより除去すること により、 浮上型へッ ドスライダ 2 0の浮上量を正規の値に回復させ、 適切な記録再生を行うことができる。  Further, in the hard disk drive device 10, even if dust or the like adheres to the floating head slider 20, damage to the floating head slider 20 and the magnetic disk 30 is prevented, so that the floating By removing dust and the like adhering to the head slider 20 by cleaning, the flying height of the flying head slider 20 can be restored to a normal value, and appropriate recording and reproduction can be performed.
また、 このハードディスク ドライブ装置 1 0においては、 塵埃等 が付着した場合の浮上型へッ ドスライダ 2 0の浮上量の低下が抑制 されるので、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0の浮上量、 即ち、 浮上型へ ッ ドスライダ 2 0と磁気ディスク 3 0との間の距離を小さく設定す ることができる。 ハードディスク ドライブ装置 1 0において、 浮上 型へッ ドスライダ 2 0と磁気ディスク 3 0との間の距離を小さく設 定することは、 高密度記録化を図る上で非常に有利である。 したが つて、 本発明を適用したハードディスク ドライブ装置 1 0は、 高密 度記録化を実現することが可能となる。  Further, in the hard disk drive device 10, since the decrease in the flying height of the flying head slider 20 when dust or the like adheres is suppressed, the flying amount of the flying head slider 20, that is, the flying type The distance between the head slider 20 and the magnetic disk 30 can be set small. In the hard disk drive 10, setting the distance between the flying head slider 20 and the magnetic disk 30 small is very advantageous in achieving high-density recording. Therefore, the hard disk drive 10 to which the present invention is applied can realize high-density recording.
また、 本発明を適用したハードディスク ドライブ装置 1 0におい ては、 上述したように、 長さ方向における姿勢を安定的に維持して 磁気ディスク 3 0上を浮上する浮上型へッ ドスライダ 2 0を用いる ようにしているので、 スペーシングの変動を抑制して、 磁気ディス ク 3 0に対する信号の記録再生を安定的に行うことができる。 なお、 以上は、 磁気ディスク 3 0に対する対向面に 2本のレール 2 1 , 2 2及びクロスレール 2 3が形成された浮上型へッ ドスライ ダ 2 0に本発明を適用した例について説明したが、 本発明は、 以上 の例に限定されるものではなく、 あらゆる形状の浮上型へッ ドスラ イダに適用することができる。 In addition, the hard disk drive 10 to which the present invention is applied As described above, since the flying head slider 20 that floats on the magnetic disk 30 while stably maintaining the posture in the length direction is used, fluctuation in spacing is suppressed. Thus, it is possible to stably record and reproduce a signal with respect to the magnetic disk 30. In the above description, an example in which the present invention is applied to a floating head slider 20 having two rails 21, 22 and a cross rail 23 formed on a surface facing the magnetic disk 30 has been described. However, the present invention is not limited to the above-described example, and can be applied to a floating head slider having any shape.
即ち、 ステップ 2 5の深さ Dの最適な値は、 上述したように、 浮 上型ヘッ ドスライダ 2 0の大きさや形状にあまり依存しない。 した がって、 例えば 3本以上のレールを有するものやレールが長手方向 の中間部において分割されているもの、 レールが Y字状に分岐して いるもの、 或いはレールが屈曲したもの等、 あらゆる形状の浮上型 ヘッ ドスライダにおいて、 空気流入側の端部にステップを設け、 こ のステツプの値を最適な値に設定することにより、 上述した浮上型 ヘッ ドスライダ 2 0 と同様の効果を発揮することができる。  That is, the optimum value of the depth D in step 25 does not depend much on the size or shape of the flying head slider 20 as described above. Therefore, for example, those having three or more rails, those in which the rails are divided in the middle part in the longitudinal direction, those in which the rails are branched in a Y-shape, those in which the rails are bent, etc. In a floating head slider having a shape, by providing a step at the end on the air inflow side and setting the value of this step to an optimal value, the same effect as the above-mentioned floating head slider 20 can be exhibited. Can be.
また、 以上は、 磁気ディスク 3 0を記録媒体として用いたハード ディスク ドライブ装置 1 0に本発明を適用した例について説明した が、 本発明は、 この例に限定されるものではなく、 例えば、 記録媒 体として光ディスクを用いた光ディスク ドライブ装置等に適用する ことも可能である。  In the above, the example in which the present invention is applied to the hard disk drive device 10 using the magnetic disk 30 as a recording medium has been described. However, the present invention is not limited to this example. It is also possible to apply to an optical disk drive device using an optical disk as a medium.
この場合は、 浮上型ヘッ ドスライダ 2 0に、 磁気ヘッ ド素子 2 6 に変えて対物レンズや反射ミラー等が組み込まれ、 レーザ光源から の光が光ファイバ等により浮上型へッ ドスライダ 2 0上に導かれ、 浮上型へッ ドスライダ 2 0に組み込まれた反射ミラーにより反射さ れ、 対物レンズにより集束されて光ディスク上に照射されることに より、 光ディスクに対する信号の記録再生が行われることになる。 産業上の利用可能性 本発明に係る浮上型へッ ドスライダにおいては、 ディスク状記録 媒体に対向する面の空気流入側の端部に形成された段差部の深さがIn this case, instead of the magnetic head element 26, an objective lens and a reflection mirror are incorporated in the flying head slider 20, and light from the laser light source is transferred onto the flying head slider 20 by an optical fiber or the like. guided by, The signal is reflected by the reflection mirror incorporated in the flying head slider 20, is focused by the objective lens, and is irradiated onto the optical disk, so that the signal recording / reproducing on the optical disk is performed. INDUSTRIAL APPLICABILITY In the flying head slider according to the present invention, the depth of the step formed at the air inflow side end of the surface facing the disk-shaped recording medium is reduced.
0 . 4〃m以上とされているので、 塵埃等が付着した場合であって も、 浮上量の低下が抑制される。 Since the thickness is 0.4 mm or more, even if dust or the like adheres, a decrease in the flying height is suppressed.
また、 この浮上型ヘッ ドスライダにおいては、 ディスク状記録媒 体に対向する面の空気流入側の端部に形成された段差部の深さが 1 . 2 m以下とされているので、 ピッチ角が 2 0 j r Ά d以上となり、 浮上しているときの姿勢が安定する。  In this flying head slider, the depth of the step formed at the air inflow side end of the surface facing the disk-shaped recording medium is set to 1.2 m or less, so that the pitch angle is reduced. 20 jr Ά d or more, and the posture when ascending is stabilized.
また、 本発明に係る他の浮上型ヘッ ドスライダにおいては、 ディ スク状記録媒体に対向する面の空気流入側の端部に形成された段差 部の深さが 0 . 3 m以上とされているので、 塵埃等が付着した場 合であっても、 浮上量の急激な低下が抑制され、 仮りに浮上量が低 下した場合であっても、 その低下量は僅かであるので、 2 0 n m以 上の浮上量で浮上する浮上型へッ ドスライダの許容範囲内となる。 また、 この浮上型ヘッ ドスライダにおいては、 ディスク状記録媒 体に対向する面の空気流入側の端部に形成された段差部の深さが 1 . 2〃m以下とされているので、 ピッチ角が 2 0 i r a d以上となり、 浮上しているときの姿勢が安定する。  In another flying head slider according to the present invention, the depth of a step formed at the air inflow side end of the surface facing the disk-shaped recording medium is 0.3 m or more. Therefore, even when dust or the like is attached, a sharp decrease in the flying height is suppressed, and even if the flying height is reduced, the decrease is slight, so that 20 nm This is within the allowable range for a flying head slider that flies at the above flying height. In this flying head slider, the depth of the step formed at the end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium is set to 1.2 μm or less. Becomes more than 20 irad, and the posture when ascending is stabilized.
また、 本発明に係るディスク ドライブ装置においては、 浮上型へ ッ ドスライダのディスク状記録媒体に対向する面の空気流入側の端 部に形成された段差部の深さが 0 . 4 / m以上とされているので、 浮上型へッ ドスライダに麈埃等が付着した場合であっても、 この浮 上型へッ ドスライダの浮上量の低下が抑制される。 Further, in the disk drive device according to the present invention, the floating type Since the depth of the step formed at the end on the air inflow side of the surface of the head slider facing the disk-shaped recording medium is 0.4 / m or more, dust and the like are generated on the floating head slider. Even if it adheres, a decrease in the flying height of the flying head slider is suppressed.
したがって、 このディスク ドライブ装置においては、 浮上型へッ ドスライダとディスク状記録媒体とが衝突してしまうといった不都 合を有効に回避して、 浮上型へッ ドスライダゃディスク状記録媒体 の損傷を未然に防止することができる。  Therefore, in this disk drive device, it is possible to effectively avoid the inconvenience of collision between the flying head slider and the disk-shaped recording medium, and to prevent damage to the flying head slider / disk-shaped recording medium. Can be prevented.
また、 このディスク ドライブ装置においては、 浮上型ヘッ ドスラ ィダのディスク状記録媒体に対向する面の空気流入側の端部に形成 された段差部の深さが 1 . 2〃m以下とされているので、 ピッチ角 が 2 0 r a d以上となり、 浮上型へッ ドスライダがディスク状記 録媒体上を浮上しているときの姿勢が安定する。  In this disk drive device, the depth of a step formed at the air inflow side end of the surface of the floating head slider facing the disk-shaped recording medium is set to 1.2 m or less. Therefore, the pitch angle becomes 20 rad or more, and the attitude of the flying head slider when flying above the disk-shaped recording medium is stabilized.
したがって、 このディスク ドライブ装置においては、 スぺ一シン グの変動を抑制して、 ディスク状記録媒体に対する信号の記録再生 を安定的に行うことができる。  Therefore, in this disk drive device, it is possible to stably record and reproduce signals with respect to the disk-shaped recording medium while suppressing the fluctuation of the spacing.
また、 本発明に係る他のディスク ドライブ装置においては、 浮上 型へッ ドスライダのディスク状記録媒体に対向する面の空気流入側 の端部に形成された段差部の深さが 0 . 3〃m以上とされているの で、 浮上型ヘッ ドスライダに塵埃等が付着した場合であっても、 こ の浮上型へッ ドスライダの浮上量の急激な低下が抑制され、 仮りに 浮上量が低下した場合であっても、 その低下量は僅かであるので、 2 0 n m以上の浮上量で浮上する浮上型へッ ドスライダの許容範囲 内となる。  Further, in another disk drive device according to the present invention, the depth of a step formed at the air inflow side end of the surface of the flying head slider facing the disk-shaped recording medium has a depth of 0.3 μm. As described above, even if dust or the like adheres to the flying head slider, a sudden decrease in the flying amount of the flying head slider is suppressed, and if the flying amount is reduced. Even so, the amount of decrease is small, and thus is within the allowable range of a flying type head slider that floats with a flying height of 20 nm or more.
したがって、 このディスク ドライブ装置においては、 浮上型へッ ドスライダとディスク状記録媒体とが衝突してしまうといった不都 合を有効に回避して、 浮上型へッ ドスライダゃディスク状記録媒体 の損傷を未然に防止することができる。 Therefore, in this disk drive device, It is possible to effectively avoid the inconvenience of collision between the slider and the disk-shaped recording medium, and to prevent damage to the floating head slider / disk-shaped recording medium.
また、 このディスク ドライブ装置においては、 浮上型ヘッ ドスラ イダのディスク状記録媒体に対向する面の空気流入側の端部に形成 された段差部の深さが 1 . 2 m以下とされているので、 ピッチ角 が 2 0 r a d以上となり、 浮上型ヘッ ドスライダがディスク状記 録媒体上を浮上しているときの姿勢が安定する。  Also, in this disk drive device, the depth of the step formed at the air inflow side end of the surface of the floating head slider facing the disk-shaped recording medium is set to 1.2 m or less. The pitch angle becomes 20 rad or more, and the attitude of the flying head slider when flying above the disk-shaped recording medium is stabilized.
したがって、 このディスク ドライブ装置においては、 スぺーシン グの変動を抑制して、 ディスク状記録媒体に対する信号の記録再生 を安定的に行うことができる。  Therefore, in this disk drive device, fluctuations in spacing can be suppressed, and signal recording and reproduction on the disk-shaped recording medium can be performed stably.

Claims

請 求 の 範 囲 The scope of the claims
1 . ディスク ドライブ装置本体に対してディスク状記録媒体が交換 可能とされたディスク ドライブ装置に用いられ、 上記ディスク ドラ ィブ装置本体内に装着されたディスク状記録媒体の回転により発生 する空気流により、 上記ディスク状記録媒体から 1 0 0 n m以下の 浮上量で浮上して、 上記ディスク状記録媒体に対して信号の書き込 み及び/又は読み出しを行う浮上型へッ ドスライダにおいて、 上記ディスク状記録媒体に対向する面の空気流入側の端部に段差 部が形成され、 当該段差部の深さが 0 . 4 / m〜 l . 2〃mの範囲 内とされていること 1. Used in a disk drive device in which the disk-shaped recording medium can be exchanged with respect to the disk drive device main body, the air flow generated by the rotation of the disk-shaped recording medium mounted in the disk drive device main body. A flying head slider that floats from the disk-shaped recording medium with a flying height of 100 nm or less and writes and / or reads signals to and from the disk-shaped recording medium; A step is formed at the end of the surface facing the medium on the air inflow side, and the depth of the step is set to be in the range of 0.4 / m to 1.2 μm.
を特徴とする浮上型へッ ドスライダ。  A flying head slider characterized by:
2 . 上記ディスク状記録媒体に対向する面の空気が流入する方向に 略直交する幅方向の両端部に段差部が形成され、 当該段差部の深さ が 0 . 4 m以上とされていること  2. A step is formed at both ends in the width direction of the surface facing the disk-shaped recording medium that is substantially perpendicular to the direction in which the air flows, and the depth of the step is set to 0.4 m or more.
を特徴とする請求の範囲第 1項記載の浮上型へッ ドスライダ。 The flying type head slider according to claim 1, wherein:
3 . ディスク ドライブ装置本体に対してディスク状記録媒体が交換 可能とされたディスク ドライブ装置に用いられ、 上記ディスク ドラ ィブ装置本体内に装着されたディスク状記録媒体の回転により発生 する空気流により、 上記ディスク状記録媒体から 2 0 n m〜 1 0 0 n mの浮上量で浮上して、 上記ディスク状記録媒体に対して信号の 書き込み及び/又は読み出しを行う浮上型へッ ドスライダにおいて、 上記ディスク状記録媒体に対向する面の空気流入側の端部に段差 部が形成され、 当該段差部の深さが 0 . 3 111〜 1 . 2〃mの範囲 内とされていること を特徴とする浮上型へッ ドスライダ。 3. Used in a disk drive device in which the disk-shaped recording medium can be exchanged with respect to the disk drive device main body, due to the air flow generated by the rotation of the disk-shaped recording medium mounted in the disk drive device main body. A flying head slider that floats from the disc-shaped recording medium at a flying height of 20 nm to 100 nm and writes and / or reads signals to and from the disc-shaped recording medium; A step is formed at the end of the surface facing the recording medium on the air inflow side, and the depth of the step is within the range of 0.3111 to 1.2 μm. A flying head slider characterized by:
4 . 上記ディスク状記録媒体に対向する面の空気が流入する方向に 略直交する幅方向の両端部に段差部が形成され、 当該段差部の深さ が 0 . 3 / m以上とされていること  4. Steps are formed at both ends in the width direction of the surface facing the disk-shaped recording medium that are substantially perpendicular to the direction in which air flows, and the depth of the steps is 0.3 / m or more. thing
を特徴とする請求の範囲第 3項記載の浮上型へッ ドスライダ。 4. The flying head slider according to claim 3, wherein:
5 . ディスク ドライブ装置本体に対してディスク状記録媒体が交換 可能とされたディスク ドライブ装置であって、 5. A disk drive device in which a disk-shaped recording medium is replaceable with respect to the disk drive device body,
上記ディスク ドライブ装置本体内に装着されたディスク状記録媒 体を回転駆動するディスク回転駆動手段と、  Disk rotation driving means for driving the disk-shaped recording medium mounted in the disk drive device main body;
上記ディスク状記録媒体の回転により発生する空気流により、 上 記ディスク状記録媒体から 1 0 0 n m以下の浮上量で浮上して、 上 記ディスク状記録媒体に対して信号の書き込み及び/又は読み出し を行う浮上型へッ ドスライダと、  Due to the air flow generated by the rotation of the disk-shaped recording medium, the disk-shaped recording medium floats above the disk-shaped recording medium with a flying height of 100 nm or less, and writes and / or reads signals to and from the disk-shaped recording medium. A floating head slider that performs
上記浮上型へッ ドスライダを上記ディスク状記録媒体の半径方向 に移動させるァクチユエ一夕とを備え、  Actuating the slider to move the flying head slider in the radial direction of the disk-shaped recording medium;
上記浮上型へッ ドスライダには、 上記ディスク状記録媒体に対向 する面の空気流入側の端部に段差部が形成され、 当該段差部の深さ が 0 . !〜 1 . 2 / mの範囲内とされていること  In the flying head slider, a step is formed at an end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium, and the depth of the step is 0. Within the range of ~ 1.2 / m
を特徴とするディスク ドライブ装置。  A disk drive device characterized by the above-mentioned.
6 . 上記浮上型ヘッ ドスライダには、 上記ディスク状記録媒体に対 向する面の空気が流入する方向に略直交する幅方向の両端部に段差 部が形成され、 当該段差部の深さが 0 . 4 / m以上とされているこ と  6. In the flying head slider, steps are formed at both ends in the width direction of the surface facing the disk-shaped recording medium that are substantially perpendicular to the direction in which air flows, and the depth of the steps is 0. 4 / m or more
を特徴とする請求の範囲第 5項記載のディスク ドライブ装置。  6. The disk drive device according to claim 5, wherein:
7 . ディスク ドライブ装置本体に対してディスク状記録媒体が交換 可能とされたディスク ドライプ装置であって、 7. Replace the disk-shaped recording medium with the disk drive unit An enabled disk drive,
上記ディスク ドライブ装置本体内に装着されたディスク状記録媒 体を回転駆動するディスク回転駆動手段と、  Disk rotation driving means for driving the disk-shaped recording medium mounted in the disk drive device main body;
上記ディスク状記録媒体の回転により発生する空気流により、 上 記ディスク状記録媒体から 2 0 n m〜 1 0 0 n mの浮上量で浮上し て、 上記ディスク状記録媒体に対して信号の書き込み及び/又は読 み出しを行う浮上型へッ ドスライダと、  By the air flow generated by the rotation of the disk-shaped recording medium, the disk-shaped recording medium floats from the disk-shaped recording medium with a flying height of 20 nm to 100 nm, and writes and / or writes signals on the disk-shaped recording medium. Or a floating head slider for reading,
上記浮上型へッ ドスライダを上記ディスク状記録媒体の半径方向 に移動させるァクチユエ一夕とを備え、  Actuating the slider to move the flying head slider in the radial direction of the disk-shaped recording medium;
上記浮上型へッ ドスライダには、 上記ディスク状記録媒体に対向 する面の空気流入側の端部に段差部が形成され、 当該段差部の深さ が 0 . 3 / m〜 l . 2 mの範囲内とされていること  In the flying head slider, a step portion is formed at an end on the air inflow side of the surface facing the disk-shaped recording medium, and the depth of the step portion is 0.3 / m to 1.2 m. Within the range
を特徴とするディスク ドライブ装置。  A disk drive device characterized by the above-mentioned.
8 . 上記浮上型ヘッ ドスライダには、 上記ディスク状記録媒体に対 向する面の空気が流入する方向に略直交する幅方向の両端部に段差 部が形成され、 当該段差部の深さが 0 . 3〃m以上とされているこ と 8. In the floating head slider, steps are formed at both ends in the width direction of the surface facing the disk-shaped recording medium that are substantially perpendicular to the direction in which air flows, and the depth of the steps is zero. 3m or more
を特徴とする請求の範囲第 7項記載のディスク ドライブ装置。  8. The disk drive device according to claim 7, wherein:
PCT/JP1999/003537 1998-06-30 1999-06-30 Flying head slider and disk drive WO2000000977A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10/185222 1998-06-30
JP18522298 1998-06-30

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2000000977A1 true WO2000000977A1 (en) 2000-01-06

Family

ID=16167023

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP1999/003537 WO2000000977A1 (en) 1998-06-30 1999-06-30 Flying head slider and disk drive

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO2000000977A1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002037496A1 (en) * 2000-10-31 2002-05-10 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Slider and disk device
WO2003063142A1 (en) * 2002-01-22 2003-07-31 Fujitsu Limited Floating slider, and magneto-optical storage device comprising it
US6744601B2 (en) * 2000-10-04 2004-06-01 Seagate Technology Llc Slider having leading surface for contaminant deflection
WO2005008635A1 (en) * 2003-07-23 2005-01-27 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Slider and magnetic disk device using the slider

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06325530A (en) * 1993-05-18 1994-11-25 Hitachi Ltd Slider, transducer support and magnetic memory
JPH0721718A (en) * 1993-06-30 1995-01-24 Tdk Corp Magnetic head and magnetic disk device
JPH0785623A (en) * 1993-09-06 1995-03-31 Commiss Energ Atom Slider for magnetic recording
JPH11144418A (en) * 1997-11-10 1999-05-28 Sony Corp Levitation head slider and magnetic disk device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06325530A (en) * 1993-05-18 1994-11-25 Hitachi Ltd Slider, transducer support and magnetic memory
JPH0721718A (en) * 1993-06-30 1995-01-24 Tdk Corp Magnetic head and magnetic disk device
JPH0785623A (en) * 1993-09-06 1995-03-31 Commiss Energ Atom Slider for magnetic recording
JPH11144418A (en) * 1997-11-10 1999-05-28 Sony Corp Levitation head slider and magnetic disk device

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6744601B2 (en) * 2000-10-04 2004-06-01 Seagate Technology Llc Slider having leading surface for contaminant deflection
WO2002037496A1 (en) * 2000-10-31 2002-05-10 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Slider and disk device
US7061721B2 (en) 2000-10-31 2006-06-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Slider having a stable flying posture and disk device including the slider
CN1293565C (en) * 2000-10-31 2007-01-03 松下电器产业株式会社 Slider and disk device
WO2003063142A1 (en) * 2002-01-22 2003-07-31 Fujitsu Limited Floating slider, and magneto-optical storage device comprising it
CN1308924C (en) * 2002-01-22 2007-04-04 富士通株式会社 Floating slider, and magneto-optical storage device therewith
WO2005008635A1 (en) * 2003-07-23 2005-01-27 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Slider and magnetic disk device using the slider
US7715148B2 (en) 2003-07-23 2010-05-11 Panasonic Corporation Negative pressure slider with groove

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001344724A (en) Floating head slider
US20070195461A1 (en) Head apparatus and disc drive having the same
KR20030091958A (en) Air bearing slider
US6275467B1 (en) Positive pressure optical slider having trailing end side pads
WO2012153421A1 (en) Magnetic head slider, and magnetic disk and support body thereof
WO2000000977A1 (en) Flying head slider and disk drive
US5253232A (en) Magneto-optical recording apparatus having a magnetic slider with increased rail width
JPH1064034A (en) Floating head slider and magnetic disk device
JP4228514B2 (en) Optical head device and optical recording / reproducing device
JP2004164685A (en) Flying head slider and disk storage using the same
JP2007048343A (en) Magnetic head slider and magnetic disk device
JPH11144418A (en) Levitation head slider and magnetic disk device
JP2001167417A (en) Head slider and disk driving device
JPWO2005004152A1 (en) Magnetic head slider and manufacturing method thereof
US6563767B1 (en) Connecting unit for connecting the head unit to a head slider in a head actuator for recording and/or reproducing apparatus
JP4153490B2 (en) Head slider and recording medium driving apparatus
JP3873770B2 (en) Optical head device and optical recording / reproducing device
JP2004234804A (en) Disk device and head suspension assembly
JP2006048747A (en) Head, head suspension assembly, and disk device equipped with the same
JPWO2003063142A1 (en) Levitation slider and magneto-optical storage device provided with the levitation slider
Kim et al. PCMCIA like ultra small form factor optical drive
JP3833550B2 (en) Floating head holding device, information recording device, and information reproducing device
WO2007132501A1 (en) Method of manufacturing head slider and head slider
JP2000021109A (en) Magnetic head slider and magnetic disk loading the same
JP2002288959A (en) Head slider, head supporting part, and disk recording and reproducing device

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): JP US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 09486595

Country of ref document: US