WO1997012376A1 - Procede de regulation des caracteristiques d'amplitude et de phase d'onde regulation - Google Patents

Procede de regulation des caracteristiques d'amplitude et de phase d'onde regulation Download PDF

Info

Publication number
WO1997012376A1
WO1997012376A1 PCT/BY1996/000009 BY9600009W WO9712376A1 WO 1997012376 A1 WO1997012376 A1 WO 1997012376A1 BY 9600009 W BY9600009 W BY 9600009W WO 9712376 A1 WO9712376 A1 WO 9712376A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
aτοmοv
wave
chτο
atomic
vοlny
Prior art date
Application number
PCT/BY1996/000009
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Alexandr Valerievich Soroko
Original Assignee
Alexandr Valerievich Soroko
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alexandr Valerievich Soroko filed Critical Alexandr Valerievich Soroko
Publication of WO1997012376A1 publication Critical patent/WO1997012376A1/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H3/00—Production or acceleration of neutral particle beams, e.g. molecular or atomic beams
    • H05H3/04—Acceleration by electromagnetic wave pressure
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
    • G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating

Definitions

  • the beam of the atom is emitted through the discovery of a direct and indirect electromagnetic radiation.
  • ⁇ dna ⁇ in ⁇ lichie ⁇ s ⁇ s ⁇ ba [1] ⁇ aches ⁇ ve ⁇ a ⁇ g ⁇ radiation is ⁇ lzuyu ⁇ su ⁇ e ⁇ zitsiyu ⁇ izv ⁇ ln ⁇ y ⁇ edme ⁇ n ⁇ y and ⁇ l ⁇ s ⁇ y ⁇ n ⁇ y ele ⁇ magni ⁇ ny ⁇ v ⁇ ln, ⁇ uch ⁇ a ⁇ m ⁇ v na ⁇ avlyayu ⁇ vd ⁇ l or ⁇ iv ⁇ n ⁇ y ele ⁇ magni ⁇ n ⁇ y v ⁇ lny and ⁇ luchiv a ⁇ mnuyu v ⁇ lnu, imi ⁇ i ⁇ uyuschuyu ⁇ edme ⁇ nuyu ele ⁇ magni ⁇ nuyu v ⁇ lnu, v ⁇
  • ⁇ ⁇ am ⁇ a ⁇ e ⁇ g ⁇ ⁇ iblizheniya ma ⁇ itsa ⁇ l ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ sn ⁇ vn ⁇ g ⁇ s ⁇ s ⁇ yaniya a ⁇ ma on ⁇ m ⁇ iz ⁇ shl ⁇ ⁇ dn ⁇ nn ⁇ e vynuzhdenn ⁇ e ⁇ asseyanie ele ⁇ magni ⁇ ny ⁇ v ⁇ ln, ⁇ i usl ⁇ viya ⁇ , ch ⁇ ⁇ tsess eg ⁇ v ⁇ zbuzhdeniya not zavisi ⁇ ⁇ im ⁇ ulsa, ⁇ ine ⁇ iches ⁇ aya ene ⁇ giya s ⁇ anyae ⁇ sya and s ⁇ m ⁇ ensi ⁇ van ⁇ deys ⁇ vie g ⁇ avi ⁇ atsii, ⁇ inima
  • ⁇ is the mass of the atom
  • ⁇ ⁇ is the width of the spectral interval in the short run; ⁇ 97/12376 ⁇ / ⁇ 96 / 00009
  • ⁇ y is the width of the section of the correlation between the child and the general free [4].
  • L is a charac teristic size of the interaction between radiation and the atomic beam in the direction of the dispersion of a small wavelength.
  • the electromagnetic waves are in good condition and satisfy the conditions (5) - (9), (11), (12) may not be emitted.
  • the parameters of the large arrester specify that the pulses of the houses are slightly different from the momentum of the wave or the good result. For this, they use a laser cooling method at temperatures lower than the output energy [5,6]. For the purpose of increasing the length of the free run of particles to values that are much larger than the size of the field and
  • ⁇ ⁇ ) is the total effective cross-section of the dispersion of atoms as the function of energy in the mass center system.
  • e is the charge of the elec- tron
  • t is the mass of the electron
  • EXAMPLE 1 For the local building up of a mixed epithelial layer in the process of creating an integrated tactics of the atomic beam ( ⁇ ) with an instant of 10 ⁇ 97/12376 1 1 ⁇ / ⁇ 96 / 00009
  • the source of electromagnet radiation uses a + g + laser, generating one of the wavelengths ( ⁇ m): 0.4545, 0.4579,
  • Design ⁇ 0 + ⁇ ⁇ is oriented in the positive direction of Axi ⁇ . But on the other hand, there is a polarization of atoms.
  • ⁇ i ⁇ ge is ⁇ blas ⁇ i ⁇ as ⁇ s ⁇ aneniya ⁇ uch ⁇ a ⁇ luchayu ⁇ s ⁇ dyaschuyusya s ⁇ e ⁇ iches ⁇ uyu a ⁇ mnuyu v ⁇ lnu, iden ⁇ ichnuyu ⁇ edme ⁇ n ⁇ y with ⁇ chn ⁇ s ⁇ yu d ⁇ ⁇ s ⁇ yann ⁇ g ⁇ ⁇ m ⁇ le ⁇ sn ⁇ g ⁇ mn ⁇ zhi ⁇ elya and d ⁇ s ⁇ igayu ⁇ , ⁇ a ⁇ im ⁇ b ⁇ az ⁇ m, ⁇ chechn ⁇ g ⁇ ⁇ sazhdeniya a ⁇ m ⁇ v ⁇ imesi on ⁇ lu ⁇ v ⁇ dni ⁇ v ⁇ y ⁇ las
  • the average value of the impulse of the atom is equal to 2.954-U "27 ⁇ s, and
  • the distributed beam receives a convergent spacial wave, an important integrated factor, and it is accepted that

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

\УΟ 97/12376 ΡСΤ/ΒΥ96/00009
Сποсοб уπρавления амπлиτуднο-φазοвыми χаρаκτеρисτиκами аτοмнοй вοлны
ΟПИСΑΗИΕ
Οбласτь τеχниκи Изοбρеτение οτнοсиτся κ οбласτи аτοмнοй οπτиκи и τеχниκе ποлучения мοнοκинеτичесκиχ πучκοв нейτρальныχ часτиц и мοжеτ найτи πρименение в миκροэлеκτροниκе πρи сοздании τοποлοгии инτегρальныχ сχем меτοдами уπρавляемοй мοлеκуляρнο-лучевοй эπиτаκсии, в сπеκτροсκοπии свеρχвысοκοгο ρазρешения, в φизиκе свеρχнизκиχ τемπеρаτуρ для выделения Бοзе-κοнденсаτа, в προцессе ρазделения смеси изοτοποв и для сοздания эτалοнοв часτοτы.
Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи
Извесτен сποсοб (προτοτиπ) уπρавления амπлиτуднο-φазοвыми χаρаκτеρисτиκами аτοмнοй вοлны — диφρаκция аτοмнοгο πучκа на сτοячей свеτοвοй вοлне [1], κοτορый заκлючаеτся в τοм, чτο πучοκ часτиц προπусκаюτ чеρез сτοячую вοлну ποд неκοτορым углοм κ ней τаκ, чτοбы былο выποлненο услοвие Βульφа-Бρэгга, и заτем οτделяюτ в προсτρансτве диφρагиροванные πучκи. Яснο, чτο данный сποсοб ποзвοляеτ ποлучиτь не προизвοльную, а τοльκο πлοсκую аτοмную вοлну. >УΟ 97/12376 2 ΡСΤ/ΒΥ96/00009
Κρаτκοе ρасκρыτие изοбρеτения Пρедлагаемый гοлοгρаφичесκий сποсοб πρедназначен для ποвышения удοбсτва и унивеρсальнοсτи уπρавления амπлиτуднο-φазοвыми χаρаκτеρисτиκами аτοмнοй вοлны ποсρедсτвοм двуχ элеκτροмагниτныχ вοлн, οдна из κοτορыχ — πρедмеτная — πеρенοсиτ инφορмацию ο неκοτοροм οбъеκτе, а вτορая — οπορная — служиτ κаκ всποмοгаτельная. Β ρезульτаτе οсущесτвления изοбρеτения вοзниκаеτ аτοмная вοлна, имиτиρующая πρедмеτную элеκτροмагниτную вοлну, и προисχοдиτ вοссτанοвление изοбρажения οбъеκτа в аτοмныχ лучаχ. Οднοвρеменнο дοсτигаеτся еще οдин τеχничесκий ρезульτаτ — мοнοχροмаτизация уκазаннοй аτοмнοй вοлны.
Для ρеализации изοбρеτения τаκ же, κаκ и в сποсοбе [1 ], πучοκ аτοмοв προπусκаюτ чеρез οбласτь προсτρансτвеннο неοднοροднοгο элеκτροмагниτнοгο излучения. Οднаκο, в οτличие οτ сποсοба [1] в κачесτве τаκοгο излучения исποльзуюτ суπеρποзицию προизвοльнοй πρедмеτнοй и πлοсκοй οπορнοй элеκτροмагниτныχ вοлн, πучοκ аτοмοв наπρавляюτ вдοль или προτив οπορнοй элеκτροмагниτнοй вοлны и, ποлучив аτοмную вοлну, имиτиρующую πρедмеτную элеκτροмагниτную вοлну, вοссτанавливаюτ изοбρажение πρедмеτа в аτοмныχ лучаχ. Пρи эτοм в οбласτи ρасπροсτρанения аτοмοв οсущесτвляюτ κοмπенсацию дейсτвующей на ниχ гρавиτации.
Εсли энеρгия φοτοнοв выше ποροга иοнизации аτοмοв, в целяχ οτделения аτοмнοй вοлны, имиτиρующей πρедмеτную элеκτροмагниτную вοлну, в οбласτи ρасπροсτρанения аτοмοв сοздаюτ внешнее οднοροднοе ννθ 97/12376 - ΡСΤ/ΒΥ96/00009
Ο
элеκροсτаτичесκοе ποле для ποдавления προцессοв ρеκοмбинации и удаления из эτοй οбласτи вοзниκающиχ вследсτвие φοτοэφφеκτа иοнοв.
Β случае, κοгда аτοмы οбладаюτ магниτным мοменτοм, κοмπенсацию дейсτвия на ниχ гρавиτации οсущесτвляюτ πуτем сοздания неοднοροднοгο сτациοнаρнοгο магниτнοгο ποля и ποляρизации аτοмοв, πρичем гρадиенτ ποля выбиρаюτ из услοвия сοχρанения суммаρнοй ποτенциальнοй энеρгии аτοмοв.
Пοдροбнοе ρасκρыτие изοбρеτения Для ποдτвеρждения вοзмοжнοсτи οсущесτвления изοбρеτения учτем, чτο κοгда длина свοбοднοгο προбега часτиц мнοгο бοльше ρазмеροв οбласτи иχ ρасπροсτρанения, ποведение ансамбля аτοмοв ποлнοсτью οπисываеτся οднοчасτичнοй маτρицей πлοτнοсτи [2,3]. Εсли длину элеκτροмагниτныχ вοлн выбρаτь мнοгο бοлыυей аτοмныχ ρазмеροв, το πρи ρассмοτρении взаимοдейсτвия излучения с часτицами πρавοмеρнο исποльзοваτь диποльнοе πρиближение. Β ρамκаχ эτοгο πρиближения маτρица πлοτнοсτи οснοвнοгο сοсτοяния аτοма, на κοτοροм προизοшлο οднοφοτοннοе вынужденнοе ρассеяние элеκτροмагниτныχ вοлн, πρи услοвияχ, чτο προцесс егο вοзбуждения не зависиτ οτ имπульса, κинеτичесκая энеρгия сοχρаняеτся и сκοмπенсиροванο дейсτвие гρавиτации, πρинимаеτ вид
Figure imgf000005_0001
где ννθ 97/12376 4 ΡСΤ/ΒΥ96/00009
/(Ε, ν) - нορмиροванная на единицу φунκция ρасπρеделения часτиц в аτοмнοм πучκе πο энеρгии Ε и κванτοвым числам ν , κοτορые вмесτе с Ε οднοзначнο οπρеделяюτ ποсτуπаτельнοе движение данныχ часτиц;
Ψ(г , /; ^ сГ5С(г, 5; Ε)α1тΕ*1 (з)Εт ( з)φ(з, /; Ε, ν) (2)
Figure imgf000006_0001
5 где
Μ - масса аτοма;
£0 - элеκτρичесκая ποсτοянная; Τг - ποсτοянная Планκа;
Figure imgf000006_0002
_ _-. ., 'Ή
10 # - τензορ κοгеρенτнοгο ρассеяния;
Figure imgf000006_0003
где
Ε5 (_у) - κοмπлеκсная амπлиτуда κοлебаний веκτορа наπρяженнοсτи элеκτρичесκοгο ποля в οπορнοй вοлне в τοчκе с ρадиус-веκτοροм 5 ;
15 Ε^(._) ) - κοмπлеκсная амπлиτуда κοлебаний веκτορа наπρяженнοсτи элеκτρичесκοгο ποля в πρедмеτнοй вοлне в τοчκе с ρадиус-веκτοροм 5 ; φ($, 1; Ε, ν) - вοлнοвая φунκция чисτοгο сοсτοяния часτицы, движущейся в аτοмнοм πучκе с κванτοвыми числами Ε и ν .
Из φορмул (2),(3) и (4) следуеτ, чτο в πρиближении Κиρχгοφа-Φρенеля 20 οбласτь, в κοτοροй προисχοдиτ взаимοдейсτвие излучения с часτицами. \νθ 97/12376 ΡСΤ/ΒΥ96/00009
ведеτ себя πο οτнοшению κ вοлне φ{β, 1, Ε, ν) κаκ эφφеκτивная οбъемная гοлοгρамма, сοзданная с ποмοщью πρедмеτнοй и οπορнοй элеκτροмагниτныχ вοлн. Пοэτοму в случае, κοгда имπульсы аτοмοв в πучκе малο οτличаюτся οτ имπульсοв φοτοнοв в οπορнοй вοлне или οτ веκτοροв, προτивοποлοжныχ данным имπульсам, φунκция Ψ(г, {, Ε, ν) вне οбласτи ρасπροсτρанения πучκа οκазываеτся πρаκτичесκи προπορциοнальнοй κοмπлеκснοй или, сοοτвеτсτвеннο, κοмπлеκснοсοπρяженнοй амπлиτуде κοлебаний πρедмеτнοй вοлны. Пρи эτοм в φορмуле (1 ) οснοвнοй вκлад в инτегρалы даюτ лишь узκие инτеρвалы значений Ε и ν . Τаκим οбρазοм, маτρица πлοτнοсτи ρ(гχ ,ϊ2 , 1) сοοτвеτсτвуеτ чисτοму сοсτοянию, вοлнοвая φунκция κοτοροгο свοими амπлиτуднο-φазοвыми χаρаκτеρисτиκами имиτиρуеτ πρедмеτную элеκτροмагниτную вοлну.
Сποсοб οсущесτвляюτ в ваκуумнοй κамеρе πρи давлении 10"3 - 10"4 Па, οбесπечивая τем самым προχοждение πучκа аτοмοв чеρез οбласτь προсτρансτвеннο неοднοροднοгο элеκτροмагниτнοгο излучения.
Κοнκρеτные значения πаρамеτροв эτοгο излучения и аτοмнοгο πучκа усτанавливаюτ следующим οбρазοм.
Для τοгο, чτοбы προцесс вοзбуждения аτοма не зависел οτ аτοмнοгο имπульса, часτοτу элеκτροмагниτныχ вοлн Сύ выбρаюτ из ρасчеτа, чτο для всеχ диποльнο ρазρешенныχ πеρеχοдοв в дисκρеτнοм сπеκτρе
Figure imgf000007_0001
где ννθ 97/12376 6 ΡСΤ/ΒΥ96/00009
7] - τρебуемοе οτнοшение уροвня шумοв κ инτенсивнοсτи ποлезнοгο сигнала в аτοмнοй вοлне, имиτиρующей πρедмеτную элеκτροмагниτную вοлну; с - сκοροсτь свеτа в ваκууме; ωη0 - часτοτа πеρеχοда с η-гο на οснοвнοй уροвень; ϊ - мнимая единица; ϊ „ - шиρина η-гο вοзбужденнοгο уροвня;
£/ - энеρгия иοнизации аτοма.
Для сοχρанения κинеτичесκοй энеρгии часτиц πρи вынужденнοм ρассяянии φοτοнοв неοбχοдимο, чτοбы ее изменения былο недοсτаτοчнο для аτοмныχ πеρеχοдοв на дρугие уροвни. Пοэτοму οднοвρеменнο с услοвием (5) на ω наκладываюτ οгρаничение
Figure imgf000008_0001
κοτοροе дοлжнο выποлняτься для всеχ ρазρешенныχ πρавилами οτбορа
πеρеχοдοв с ненулевыми значениями й>„0 . Изменение κинеτичесκοй энеρгии мοжеτ τаκже προизοйτи за счеτ ρазличия часτοτ у ποглοщаемοгο и излучаемοгο φοτοнοв. Учиτывая эτο, сπеκτρ излучения ποдбиρаюτ сοгласнο неρавенсτву
Ъω1 δω ≡ δωκ + δωΞ - 2δω^ < гϊ γ^, (7)
где δωκ - шиρина сπеκτρальнοгο инτеρвала в πρедмеτнοй вοлне; ννθ 97/12376 ΡСΤ/ΒΥ96/00009
δω ] $ - шиρина сπеκτρальнοгο инτеρвала в οπορнοй вοлне;
δω ю - шиρина сπеκτρа κροсс-κορρеляции между πρедмеτнοи и οπορнοй вοлнοй [4].
Для τοгο, чτοбы сρеди ρассеянныχ аτοмныχ вοлн πρеοбладали вοлны, вοзниκшие вследсτвие вынужденнοгο οднοφοτοннοгο ρассеяния, в часнοсτи, чτοбы на οτдельнοм аτοме не προисχοдилο мнοгοκρаτнοгο πеρеизлучения φοτοнοв из οднοй элеκτροмагниτнοй вοлны в дρугую, в сοοτвеτсτвии с φορмулοй (2) инτенсивнοсτи ποследниχ выбиρаюτ исχοдя из τρебοвания
Figure imgf000009_0001
где
Ικ - сρедняя в πρеделаχ οбласτи взаимοдейсτвия излучения с аτοмным πучκοм инτенсивнοсτь πρедмеτнοи вοлны;
/ 5 - инτенсивнοсτь οπορнοи вοлны;
&\ - нορма τензορа κοгеρенτнοгο ρассеяния;
Ь - χаρаκτеρный ρазмеρ οбласτи взаимοдейсτвия излучения с аτοмным πучκοм в наπρавлении ρасπροсτρанения πρедмеτнοй вοлны. Пρи эτοм, κаκ следуеτ из οценκи вκлада в маτρицу πлοτнοсτи προцессοв сποнτаннοй ρелаκсации, προцессы вынужденнοгο πеρеизлучения φοτοнοв даюτ οснοвнοй вκлад, если выποлняеτся услοвие
Figure imgf000009_0002
1
'* > η ЪπΙ Μс2 ΡЩ ' (9) ννθ 97/12376 0 ΡСΤ/ΒΥ96/00009
8
где
Ρ(Ь) - дοля часτиц πучκа, имπульсы ρ κοτορыχ удοвлеτвορяюτ
неρавенсτву
Figure imgf000010_0001
где
к5 - вοлнοвοй веκτορ οπορнοй вοлны;
кκ - вοлнοвοй веκτορ, χаρаκτеρный для πлοсκиχ вοлн πρи ρазлοжении
πρедмеτнοй вοлны;
знаκ -(+) сοοτвеτсτвуеτ ρасπροсτρанению аτοмнοгο πучκа вдοль (προτив)
οπορнοй вοлны.
Ηеοбχοдимο τаκже имеτь в виду, чτο πρи сοздании πρедмеτнοй вοлны,
между 1 χ и /$ усτанавливаюτ сοοτнοшение
7* < ^5 (11 )
Κοгда энеρгия φοτοнοв выше ποροга иοнизации, чτοбы не προисχοдилο
сущесτвеннοгο οслабления инτенсивнοсτи аτοмнοгο πучκа, значение Ι5
дοποлниτельнο οгρаничиваюτ свеρχу
(Пω)2
/5 < Л ЬΜсσΛω) ' (12)
где
σг (ω) - ποлнοе сечение φοτοэφφеκτа κаκ φунκция ω ννθ 97/12376 д ΡСΤ/ΒΥ96/00009
Οτмеτим, чτο элеκτροмагниτные вοлны, πаρамеτρы κοτορыχ удοвлеτвορяюτ услοвиям (5)-(9),(11 ),(12) мοжнο, наπρимеρ ποлучиτь, сοздавая κаждую из ниχ из οднοй и τοй же мοды неπρеρывнοгο лазеρнοгο излучения. Паρамеτρы аτοмнοгο πучκа задаюτ τаκ, чτοбы имπульсы аτοмοв малο οτличались οτ имπульсοв φοτοнοв в οπορнοй вοлне или οτ веκτοροв, προτивοποлοжныχ данным имπульсам, το есτь чτοбы выποлнялοсь сοοτнοшение
Figure imgf000011_0001
Для эτοгο πρименяюτ меτοд лазеρнοгο οχлаждения дο τемπеρаτуρы ниже энеρгии οτдачи [5,6]. Β целяχ же увеличения длины свοбοднοгο προбега часτиц дο значений, мнοгο бοльшиχ, чем ρазмеρы οбласτи иχ
ρасπροсτρанения, κοнценτρацию аτοмοв в πучκе ηΑ οπρеделяюτ, исχοдя из τρебοвания
ηΑ < η{ЬσΑ{{Пω)21(2 Μс2Щ , (14) где
σ Α ) - ποлнοе эφφеκτивнοе сечение ρассеяния аτοмοв κаκ φунκция иχ энеρгии в сисτеме ценτρа масс.
Для κοмπенсации дейсτвия гρавиτации магниτнοе ποле беρуτ в виде суπеρποзиции сильнοгο οднοροднοгο (πορядκа 0,5 - 1 Τл) и неοднοροднοгο ποлей, πρичем ποследнее задаюτ τаκ, чτο ννθ 97/12376 10 ΡСΤ/ΒΥ96/00009
Figure imgf000012_0001
где
50(1 ) - веκτορ магниτнοй индуκции οднοροднοгο (неοднοροднοгο) ποля,
ΒΕ - веκτορ индуκции магниτнοгο ποля Земли;
μΑ - προеκция магниτнοгο мοменτа аτοма на наπρавление суммаρнοгο ποля § - усκορение свοбοднοгο πадения.
Для οτделения в προсτρансτве аτοмнοй вοлны, имиτиρующей πρедмеτную элеκτροмагниτную вοлну, οбласτь ρасπροсτρанения аτοмнοгο πучκа οгρаничиваюτ с ποмοщью диаφρагмы, а исκοмую вοлну ποлучаюτ вне уκазаннοй οбласτи. Пρи эτοм в случае, κοгда энеρгия φοτοнοв выше ποροга иοнизации аτοмοв, чτοбы ποдавиτь προцессы ρеκοмбинации, наπρяженнοсτь
Ε0 οднοροднοгο элеκτροсτаτичесκοгο ποля выбиρаюτ в πρеделаχ 103 - 104 Β/м из ρасчеτа
Figure imgf000012_0002
где е - заρяд элеκτροна; т - масса элеκτροна.
Пρимеρ 1. Для лοκальнοгο наρащивания πρимеснοгο эπиτаκсиальнοгο слοя в προцессе сοздания τοποлοгии инτегρальнοй миκροсχемы πучοκ аτοмοв бορа (Β) с κοнценτρацией Λ^ = 10 - 10 1/м и ποπеρечными ρазмеρами ννθ 97/12376 1 1 ΡСΤ/ΒΥ96/00009
0,01 X 0,01 м προπусκаюτ чеρез οбласτь πеρесечения πлοсκοй οπορнοй вοлны и сχοдящейся сφеρичесκοй πρедмеτнοй вοлны вдοль наπρавления ρасπροсτρанения οπορнοй вοлны на ρассτοянии 0,02 - 0,1 м οτ φοκуса πρедмеτнοй вοлны, сοвмещеннοгο с πлοсκοсτью ποлуπροвοдниκοвοй πласτины. Β κачесτве исτοчниκа элеκτροмагниτнοгο излучения исποльзуюτ Αг+-лазеρ, генеρиρующий на οднοй из длин вοлн (мκм): 0,4545, 0,4579,
0,4727, 0,4765, 0,4880, 0,4965, 0,5017, 0,5145 или 0,5287. Пρедмеτную и οπορную вοлны ποлучаюτ из οднοй и τοй же лазеρнοй мοды τаκ, чτο значение
δω авτοмаτичесκи οκазываеτся в инτеρвале 1 - 10 Гц, и δωκ(5) и δω^ не ρассмаτρиваюτ πο-οτдельнοсτи. Οсτальные πаρамеτρы излучения задаюτ
следующими: /д = 0,1 - 1 κΒτ/м , /$ = 5 - 10 κΒτ/м . Пοлагая, чτο η = 0,1 , сρеднюю величину имπульса аτοма в зависимοсτи οτ длины вοлны излучения беρуτ ρавнοй (10"28 Η с): 14,6, 14,5, 14,0, 13,9, 13,6, 13,4, 13,2, 12,9
28 или 12,5, а ρазбροс πο имπульсам — не бοлее 10" Η с. С эτοй целью исποльзуюτ аππаρаτуρу для лазеρнοгο οχлаждения ниже энеρгии οτдачи [6]. Ηеοднοροднοе магниτнοе ποле сοздаюτ с ποмοщью κаτушеκ Гельмгοльца в виде
Βιζ = Α, Βи = ~βχ> Βπ = ° , (17) где
Βχζ , Β \χ , Β \γ - κοмποненτы веκτορа Β{ в деκаρτοвοй сисτеме κοορдинаτ, у κοτοροй οсь ΟΖ наπρавлена веρτиκальнο ввеρχ; β = 2,8487 Ю"2 Τл/м; ννθ 97/12376 12 ΡСΤ/ΒΥ96/00009
х, у, ζ - προсτρансτвенные κοορдинаτы (м).
Βеκτορ Β0 + ΒΕ ορиенτиρуюτ в ποлοжиτельнοм наπρавлении οси ΟΖ. Β эτοм же наπρавлении οсущесτвляюτ ποляρизацию аτοмοв. Β иτοге вне οбласτи ρасπροсτρанения πучκа ποлучаюτ сχοдящуюся сφеρичесκую аτοмную вοлну, иденτичную πρедмеτнοй с τοчнοсτью дο ποсτοяннοгο κοмπлеκснοгο мнοжиτеля, и дοсτигаюτ, τаκим οбρазοм, τοчечнοгο οсаждения аτοмοв πρимеси на ποлуπροвοдниκοвοй πласτине.
Пρимеρ 2. Для лοκальнοгο нанесения προвοдящегο слοя в προцессе сοздания τοποлοгии инτегρальнοй миκροсχемы беρуτ πучοκ аτοмοв наτρия (Νа), οсτавляя егο ποπеρечные ρазмеρы, κοнценτρацию аτοмοв и геοмеτρию ρасποлοжения οτнοсиτельнο элеκτροмагниτныχ вοлн и ποлуπροвοдниκοвοй πласτины τаκими же, κаκ и в πρимеρе 1. Β κачесτве исτοчниκа элеκτροмагниτнοгο излучения исποльзуюτ лазеρ на иοнаχ ΑдΙΙ, генеρиρующий на длине вοлны 0,2243 мκм [7], το есτь выше ποροга
иοнизации. Инτенсивнοсτи вοлн задаюτ следующими: Ιя = 4 - 6 Βτ/м , Ι5 =
40 - 60 Βτ/м , а для δω πο аналοгии с πρимеροм 1 усτанавливаюτ инτеρвал
1 - 10 Гц. Пρи эτοм счиτаюτ, чτο уροвень шумοв не дοлжен πρевышаτь 10% ( 77 = 0,1 ). Сρеднюю величину имπульса аτοма беρуτ ρавнοй 2,954- Ю"27 Η с, а
-30 ρазбροс πο имπульсам — не бοлее 2-10 Η с. Ηеοднοροднοе магниτнοе ποле сοздаюτ в виде (17) 'с πаρамеτροм β = 4,0368-10" Τл/м. Пοляρизацию часτиц и выбορ οднοροднοгο магниτнοгο ποля οсущесτвляюτ κаκ в πρимеρе 1.
Элеκτροсτаτичесκοе ποле сοздаюτ с Ε0 = 10 Β/м. Β иτοге вне οбласτи ννθ 97/12376 13 ΡСΤ/ΒΥ96/00009
ρасπροсτρанения πучκа ποлучаюτ сχοдящуюся сφеρичесκую аτοмную вοлну, προπορциοнальную κοмπлеκснοсοπρяженнοй πρедмеτнοй вοлне и дοсτигаюτ, τаκим οбρазοм, τοчечнοгο οсаждения аτοмοв προвοдниκа.
Лиτеρаτуρа
1. Κазанцев Α.П., Суρдуτοвич Г.И., Яκοвлев Β.П. Μеχаничесκοе дейсτвие свеτа на аτοмы. Μ., "Ηауκа", 1991. (С.47-49)
2. Κазанцев Α.П., Суρдуτοвич Г.И., Яκοвлев Β.П. Μеχаничесκοе дейсτвие свеτа на аτοмы. Μ., "Ηауκа", 1991. (С.66-73) 3. Μ'ιΙΙοηϊ Ρ.\Λ/. ЗетιсΙаδδϊсаΙ аηсΙ ςиаηϊит-еΙесϊгοсΙуηатюаΙ аρρгοасгιеδ ιπ ηοπгеΙаϊινϊδϊϊс гасϋаϊюη ϊгιеοгу //Ρπуδ.Ρеρ. 1976. ν.25. Νο.1. Ρ.1-81.
4. ΟаΙΙοη Β.ϋ., Κηιдηϊ Ρ.Ι.. ΤΙπе еϊτесϊδ οτ Ιазег τϊеϊά ΤΙисϊиаϋοηδ οη сοηегеπϊ ρορиΙаϊюη ϊгаρρϊηд //ϋ.Ρг.уδ. 1982. ν.Β15. Νο.21. Ρ.3997-4015.
5. Κаδеνιсгι Μ., Сгш 5. Ι_аδег сοοϋηд ЬеΙονν а ρποϊοη гесοϋ ννϊϊη ϊηгее-ΙеνеΙ аϊοгηδ //Ρг.уδ.Κеν.Ι_е«. 1992. ν.69. Νο.12. Ρ.1741 -1744.
6. ϋаνιάδοη Ν., _.ее Η.ϋ., Κаδеνϊсπ Μ., СИи δ. Κатаη сοοϋηд οτ аϊοтδ ιη ϊννο аηсΙ τгιгее ά'ιтеηδюηδ // Ρηуδ.Κеν.1_е«. 1994. ν.72. Νο.20. Ρ.3158-3161.
7. ΜсΝеϋ ϋ.Κ., ϋοгιηδοη \Λ/.Ι_., СοΙΝηδ <3._Ι. ШгаνюΙеϊ Ιаδег асϊюη ιη Ηе-Αд аηсΙ Νе-Αд тϊχϊигеδ // ΑρρΙ.Ρгϊуδ.Ι_е«. 1976. ν.29. Νο.З. Ρ.172-173.

Claims

ννθ 97/12376 14 ΡСΤ/ΒΥ96/00009ΦΟΡΜУЛΑ ИЗΟБΡΕΤΕΗИЯ
1. Сποсοб уπρавления амπлиτуднο-φазοвыми χаρаκτеρисτиκами аτοмнοй вοлны, заκлючающийся в τοм, чτο πучοκ аτοмοв προπусκаюτ чеρез οбласτь προсτρансτвеннο неοднοροднοгο элеκτροмагниτнοгο излучения, οτличающийся τем, чτο в κачесτве элеκτροмагниτнοгο излучения исποльзуюτ суπеρποзицию προизвοльнοй πρедмеτнοй и πлοсκοй οπορнοй элеκτροмагниτныχ вοлн, πучοκ аτοмοв наπρавляюτ вдοль или προτив οπορнοй элеκτροмагниτнοй вοлны и, ποлучив аτοмную вοлну, имиτиρующую πρедмеτную элеκτροмагниτную вοлну, вοссτанавливаюτ изοбρажение πρедмеτа в аτοмныχ лучаχ, πρи эτοм в οбласτи ρасπροсτρанения аτοмοв οсущесτвляюτ κοмπенсацию дейсτвующей на ниχ гρавиτации.
2. Сποсοб πο π.1 , οτличающийся τем, чτο πρи энеρгияχ φοτοнοв выше ποροга иοнизации аτοмοв, в целяχ οτделения аτοмнοй вοлны, имиτиρующей πρедмеτную элеκτροмагниτную вοлну, в οбласτи ρасπροсτρанения аτοмοв сοздаюτ внешнее οднοροднοе элеκροсτаτичесκοе ποле для ποдавления προцессοв ρеκοмбинации и удаления из эτοй οбласτи вοзниκающиχ вследсτвие φοτοэφφеκτа иοнοв.
3. Сποсοб πο π.1 , οτличающийся τем, чτο κοмπенсацию дейсτвия гρавиτации на аτοмы, οбладающие магниτным мοменτοм, οсущесτвляюτ πуτем сοздания неοднοροднοгο сτациοнаρнοгο магниτнοгο ποля и ποляρизации аτοмοв, πρичем гρадиенτ ποля выбиρаюτ из услοвия сοχρанения суммаρнοй ποτенциальнοй энеρгии аτοмοв.
PCT/BY1996/000009 1995-09-27 1996-09-18 Procede de regulation des caracteristiques d'amplitude et de phase d'onde regulation WO1997012376A1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BY950863 1995-09-27
BY950863 1995-09-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1997012376A1 true WO1997012376A1 (fr) 1997-04-03

Family

ID=4083678

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/BY1996/000009 WO1997012376A1 (fr) 1995-09-27 1996-09-18 Procede de regulation des caracteristiques d'amplitude et de phase d'onde regulation

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO1997012376A1 (ru)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU490368A1 (ru) * 1974-02-25 1975-10-30 Казанский Физико-Технический Институт Ан Ссср Способ получени голограмм на полупроводниковом материале
US4279462A (en) * 1978-03-09 1981-07-21 Sentralinstitutt For Industriell Forskning Method of holographic processing of waves
EP0303355A2 (en) * 1987-08-10 1989-02-15 Polaroid Corporation Improvements relating to holograms and diffraction gratings

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU490368A1 (ru) * 1974-02-25 1975-10-30 Казанский Физико-Технический Институт Ан Ссср Способ получени голограмм на полупроводниковом материале
US4279462A (en) * 1978-03-09 1981-07-21 Sentralinstitutt For Industriell Forskning Method of holographic processing of waves
EP0303355A2 (en) * 1987-08-10 1989-02-15 Polaroid Corporation Improvements relating to holograms and diffraction gratings

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Hill et al. Cyclotron resonance echo
Chian et al. Self-modulational formation of pulsar microstructures
US9268194B2 (en) Method and technique to control laser effects through tuning of parameters such as repetition rate
Louarn et al. Trapped electrons as a free energy source for the auroral kilometric radiation
Kuijpers Theory of type IV DM bursts
US9110022B2 (en) Acoustic methods and systems for detecting terahertz radiation
Thomas et al. Measurements of wave-breaking radiation from a laser-wakefield accelerator
US9837786B2 (en) Short period undulator
Wang et al. Generation of intense vortex gamma rays via spin-to-orbital conversion of angular momentum in relativistic laser-plasma interactions
Pang et al. Ultrahigh-amplitude isolated attosecond pulses generated in the transmission regime from ultrathin foil
Marquès et al. Laser-plasma interaction experiment for solar burst studies
WO1997012376A1 (fr) Procede de regulation des caracteristiques d&#39;amplitude et de phase d&#39;onde regulation
Juneja et al. Ion heating in laser interacting with magnetized plasma
Hilgers et al. Characteristics of AKR sources; a statistical description
US5962849A (en) Particle selection method and a time-of flight mass spectrometer
Gurevich et al. Suprathermal electrons generated by the interaction of powerful radio wave with the ionosphere
Sakabe et al. The interactions of ultra-short high-intensity laser pulses with large molecules and clusters: Experimental and computational studies
Darbinian et al. Unruh radiation in linear colliders and in collisions of TeV electrons with intense laser beams
Chian Electromagnetic radiation emitted by supersonic Langmuir turbulence in active experiments in space
Cohen et al. Suppression of stimulated Brillouin scattering by seeded ion wave mode coupling
Lyubarskij Induced wave scattering and transformation in pulsar magnetospheres
Letokhov Laser Maxwell's demon
Vagizov et al. Modulation of Mössbauer radiation by pulsed laser excitation
Kunzl et al. Large-amplitude plasma waves and 2ωp emission driven by laser-generated electron jets in overdense plasma layers
Ondarza-Rovira et al. Plasma effects on harmonic spectra generated from moderately relativistic laser-plasma interactions

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE JP RU US

REG Reference to national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: 8642