WO1996042113A1 - Cathode stratifiee composite a emission de champ laterale et son procede de fabrication - Google Patents

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    • H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/022—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
    • H01J9/025—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes of field emission cathodes

Abstract

L'invention concerne un dispositif (10) d'émission latérale d'électrons par effet de champ qui comprend une structure émettrice (50) stratifiée composite formée de deux ou de plusieurs couches ultraminces (70, 80, 90) composées de matières présentant des vitesses d'attaque différentes. L'émetteur stratifié composite le plus simple est formé de deux couches ultraminces (70 et 80 ou 90) attaquées de manière différente de telle sorte qu'une partie saillante résiduelle de la couche (70) la plus résistante à l'attaque dépasse de la couche (80 ou 90) la moins résistante à l'attaque pour former une pointe (100) de petit rayon. De préférence, la couche la plus résistante à l'attaque (70) est du diamant dopé N qui présente un travail de sortie proche de zéro. La structure émettrice peut être une structure à trois couches avec une couche supérieure et/ou une couche inférieure (80, 90) agissant comme support physique et comme milieu conducteur électrique intégré. On préfére le procédé de fabrication du dispositif qui consiste à former d'abord dans l'émetteur stratifié composite (50) une tranchée directionnelle par attaque. Pendant ou après la réalisation de la tranchée (140), l'émetteur stratifié composite (50) est attaqué de manière différentielle, comme il est décrit plus haut, par attaque chimique ou électro-chimique, par électropolissage différentiel, ou par ablation différentielle, de sorte, qu'après cette opération, une pointe (100) d'émetteur ultramince fasse saillie.
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