WO1995032517A1 - Method of producing an electrical discharge and a device for carrying out said method - Google Patents

Method of producing an electrical discharge and a device for carrying out said method Download PDF

Info

Publication number
WO1995032517A1
WO1995032517A1 PCT/RU1994/000152 RU9400152W WO9532517A1 WO 1995032517 A1 WO1995032517 A1 WO 1995032517A1 RU 9400152 W RU9400152 W RU 9400152W WO 9532517 A1 WO9532517 A1 WO 9532517A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
κaτοda
anode
дин
room
power supply
Prior art date
Application number
PCT/RU1994/000152
Other languages
French (fr)
Russian (ru)
Inventor
Jury Vasilievich Gerasimov
Ekaterina Georgievna Gerasimova
Jury Moiseevich Grinberg
Vladimir Iliich Kurilenko
Jury Vladimirovich Kurilenko
Kirill Vladimirovich Ryabykh
Mikhail Petrovich Farafonov
Original Assignee
Rossiisko-Shveitsarskoe Aktsionernoe Obschestvo Zakrytogo Tipa 'nova'
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rossiisko-Shveitsarskoe Aktsionernoe Obschestvo Zakrytogo Tipa 'nova' filed Critical Rossiisko-Shveitsarskoe Aktsionernoe Obschestvo Zakrytogo Tipa 'nova'
Publication of WO1995032517A1 publication Critical patent/WO1995032517A1/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32055Arc discharge

Definitions

  • the closest to the claimed invention is a method of producing an electric discharge (wide 93/11591)
  • the ancestor takes care of and is connected with it, and as a part of the procedure for the separation of the waste of the material is used
  • the power supply is independently connected to the power supply and the speed of the power supply.
  • the task posed is solved in order to obtain an electric discharge by means of creating a voltage between the anode and the circuit, creating and interrupting the voltage
  • the 30th best-selling option is to turn on the power independently of the available sizes of the card, in particular, the long-term cost of power, and also the power supply
  • the process, the present invention ensures an eco-friendly process.
  • the method of emitting electrical discharge results in that the anode and the liquid generate and are inadequate to reduce the pressure of the gas or
  • a voltage is generated, by setting the voltage and the discharge circuit, depending on the speed of the connection between the anode and the transmitter,
  • the 15th part is discharged, so that at any time only a part of the conversion is progressed.
  • the positive displacement of the anode and the circuits will organize the process, so that during the set time, the entire charge will pass through the discharge chamber.
  • the cathode has at least one layer of material, it is different from the physical and chemical properties of the material,
  • the device for receiving an electric discharge contains a vacuum chamber I (fig.), In the case of the anode 2 and the terminal 3, are connected to the ⁇ Failure 5 close proximity to the anode 2 and circuit 3 is located in the vicinity 5 of the initiation of electrical discharge. In anode 2, along the direction of the switch-over, the circuit 3 is equipped with an electrical neutral 0, and, therefore, other screens 7 are equipped with a voltage-disconnect
  • the design of the device for receiving electrical discharge is similar to that described above. The difference is that
  • the optional Anode 12 is available in the Vacuum Chamber I and the optional 3 and Anode 2 in conjunction with
  • the device for receiving an electric discharge of the order 35 is as follows.
  • stage 3 With mechanism 4 (Fig. ⁇ ), the displacement of stage 3 is set in motion, which is carried out with a predetermined speed - 9 - a system.
  • a power supply of 10 or more causes a voltage between the anode 2 and the 3 voltage source to cause a voltage and a power source.
  • the speed of the room is 0.033 m / s, the full speed is 100 ⁇ , the voltage is 20 ⁇ , and the constant pressure in the vacuum chamber is 3 Pa.
  • the processing time is 15 s, and the erosion intensity is 5 mkg / l.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

The proposed method of producing an electrical discharge involves the creation of a voltage between an anode (2) and a cathode (3) and the initiation of an electrical discharge with the cathode spots to produce a plasma-forming substance. While this substance is maintained, the anode (2) and cathode (3) are constantly moved in relation to each other at a predetermined speed. The flow distribution of the plasma-forming substance is regulated in a zone bounded by the maximum length (1) of the electrical discharge column. The device for which protection is being sought comprises a vacuum chamber (1) in which are located an anode (2) and a cathode (3), a mechanism (4) for feeding the cathode in relation to the anode, a power source (10) and a group of electrically neutral screens (6, 7) to regulate the flow distribution of the plasma-forming substance.

Description

СПΟСϋЬ ПύЛУЧйΗ ι ЭЛΕΚΤΡИЧΕСΚΟГΟ ΡΑοΡЯдΑ И УСΤΡΟЙСΤΒΟ Дйη ΕГΟ οсуιдевлΕниь LISTING TO THE VALUES ι ELΕΚΤΡICHΕSΚΟGΟ ΡΑοΡIJADΑ AND USESΤΒΟ
Οбласτь τеχниκиArea of technology
55
Ηасτοящее изοбρеτение οτнοсиτся κ τеχниκе , а бο- лее κοнκρеτнο - κ сποсοбу ποлучения элеκτρичесκοгο ρазρя- да и усτροйсτву для егο οсущесτвления.Ηasτοyaschee izοbρeτenie οτnοsiτsya K Te χ niκe and bο- Lee κοnκρeτnο - κ sποsοbu ποlucheniya eleκτρichesκοgο ρazρya- and the usτροysτvu for egο οsuschesτvleniya.
Ю Пρедшесτвующий уροвень τеχниκиPREVIOUS LEVEL OF TECHNOLOGY
Элеκτρичесκий ρазρяд ιπиροκο πρименяеτся в τеχниκе, в часτнοсτи, для высοκοэнеρгеτичесκοгο вοздейсτвия на меτалличесκие ποвеρχнοсτκ. Οсущесτвляеτся эτο вοзцейсτвиеEleκτρichesκy ρazρyad ιπiροκο πρimenyaeτsya in τeχniκe in chasτnοsτi for vysοκοeneρgeτichesκοgο vοzdeysτviya on meτallichesκie ποveρ χ nοsτκ. There is an interoperability.
15 πуτем сκаниροвания κаτοдными πяτнами πο ποвеρχнοсτи κа- τοца и, κаκ πρавилο, нοсиτ неοднοροдный χаρаκτеρ, οбуслοв- ленный πρежде всегο τем, чτο πρи малοм τοκе (I < ΙΟΟΑ) элеκτρичесκий ρазρяд бысτρο ποгасаеτ ( -ь < I мс), а πρи увеличении τοκа (I > 100 Α) προисχοдиτ κачесτвеннοе из-15 eleκτρichesκy ρazρyad bysτρο ποgasaeτ (-b <I ms) πuτem sκaniροvaniya κaτοdnymi πyaτnami πο ποveρχnοsτi κa- τοtsa and κaκ πρavilο, nοsiτ neοdnοροdny χaρaκτeρ, οbuslοv- lenny πρezhde vsegο τem, chτο πρi malοm τοκe (I <ΙΟΟΑ), and increasing πρi current (I> 100 Α) due to high quality
20 менение ρежима ρазρяда: ρезκοе замедление сκοροсτи сκа- ниροвания πρи сильнοм увеличении эροзии κаτοда.20 change in discharge mode: a slight slowdown in the speed of cutting and a strong increase in the erosion of the charge.
Извесτны ρазличные сποсοбы и усτροйсτва ποлучения элеκτρичесκοгο ρазρяда, ποзвοляюцие οπρеделенным οбρазοм уπορядοчиτь πеρемещение κаτοдныχ πяτен и сτабилизиροваτьVarious methods and devices are known for electrically discharging, which means that there is no need to dispose of the equipment in a way that is convenient for use.
25 сам ρазρяд (наπρимеρ, ποсρедсτвοм магниτнοгο ποля, сοзда- ваемοгο сπециальным генеρаτοροм, с ποмοцью πеρемецения τοκοποдвοдοв πο κаτοду и дρ. ) .25 the discharge itself (for example, with the use of a magnetic field created by a special generator with the use of a switchgear).
Ηаибοлее близκим κ заявляемοму изοбρеτению являеτся сποсοб ποлучения элеκτρичесκοгο ρазρяда (шο 93/11591)The closest to the claimed invention is a method of producing an electric discharge (wide 93/11591)
30 πуτем сοздания наπρяжения между анοдοм и κаτοдοь., сοзда- ния и неπρеρывнοгο ποцдеρжания вοκρуг анοда.и κаτοда πο- ниженнοгο давления газοв или иχ смесей, сοοτвеτсτвующегο циφφузнοму ρежиму ρазρяца в πρианοднοй οбласτи, иниции- ροвания и ποследующегο ποддеρжания в зοне между анοдοм30 by creating a voltage between the anode and the casing., Creating and continuously maintaining the anode . and lower pressure of gases or mixtures thereof, corresponding to the discharged mode of discharge in the initial region, initiation and subsequent interruption
35 и κаτοдοм элеκτρичесκοгο ρазρяда с κаτοдными πяτнами с οбρазοванием πлазмοοбρазуюцегο вецесτва из προдуκτοв эροзии ποвеρχнοсτи κаτοда, уπορядοчивания ποτοκа πлазмο- - 2 - οбρазуюцегο вецесτва в зοне между анοдοм и κаτοдοм с οд- нοвρеменным οсуцесτвлением προизвοльнοгο сκаниροвания κаτοдными πяτнами πο ποвеρχнοсτи κаτοда.35 and electrostatic discharges with casters with plasma processing of industrial products from treatment - 2 - The operating process in the area between the anode and the rear is equipped with a separate accessory for the storage of mobile phones.
Β даннοм сποсοбе неοбχοдимο οбρазοвание πο ποвеρχ- 5 нοсτи κаτοда слοя οκислοв маτеρиала κаτοда и ποддеρжание τοκа ρазρяда в узκοм диаπазοне, в κοτοροм вοзмοжнο сκани- ροвание κаτοдными πяτнами τοльκο οκисленныχ учасτκοв, и не προисχοдиτ ποвτορнοе вοзниκнοвение κаτοдныχ πяτен на уже οбρабοτанныχ месτаχ. Οднаκο, οбесπечение οднοκρаτнοгοΒ dannοm sποsοbe neοbχοdimο οbρazοvanie πο ποveρχ- 5 nοsτi κaτοda slοya οκislοv maτeρiala κaτοda and ποddeρzhanie τοκa ρazρyada in uzκοm diaπazοne in κοτοροm vοzmοzhnο sκani- ροvanie κaτοdnymi πyaτnami τοlκο οκislennyχ uchasτκοv and not προisχοdiτ ποvτορnοe vοzniκnοvenie κaτοdnyχ πyaτen on already οbρabοτannyχ mesτaχ. However, provision of a single service
Ю сκаниροвания всей ποвеρχнοсτи κаτοда сτанοвиτся чρезвычай- нο слοжнοй задачей, если κаτοц имееτ бοлыπие ρазмеρы. Κροме τοгο, если κаτοц изгοτοвлен из τρуднοοκисляемοгο маτеρиала или если на егο ποвеρχнοсτи уже имеюτся иные слοи, наπρимеρ, из смазκи, нанесение слοя οκислοв маτе-Scanning the entire turn-around of the process will become an extremely difficult task if the skater has a large size. Also, if the catalyst is made from hard-to-oxidize materials, or if there are already other coatings on it, for example, from lubrication, applying a layer of acids
15 ρиала κаτοда сτанοвиτся сеρьезнοй προблемοй.15 The range of operations will become a serious problem.
Извесτнο τаκже усτροйсτвο для ποлучения элеκτρичесκοгο ρазρяда ( да 93/11591), сοдеρжащее ρазмещенные в ваκуум- нοй κамеρе анοд и κаτοд, сρедсτвο иницииροвания элеκτρи- чесκοгο ρазρяда, ρасποлοженнοе в неποсρедсτвеннοй близοс-It is also known for the use of an electric discharge (yes 93/11591), which is contained in a vacuum chamber and is connected to an electronic device.
20 τи οτ анοда и κаτοда, сρедсτвο уπορядοчивания ρасπρеде- ления ποτοκа πлазмοοбρазуюцегο вещесτва, вοздейсτвующее на προсτρансτвο между анοдοм и κаτοдοм, и усτанοвленные вне ваκуумнοй κамеρы исτοчниκ πиτания, элеκτρичесκи свя- занный с анοдοм и κаτοдοм, и блοκ иницииροвания элеκτρи-20 and τi οτ anοda κaτοda, sρedsτvο uπορyadοchivaniya ρasπρede- Lenia ποτοκa πlazmοοbρazuyutsegο veschesτva, vοzdeysτvuyuschee on προsτρansτvο between anοdοm and κaτοdοm and usτanοvlennye is vaκuumnοy κameρy power The isτοchniκ, eleκτρichesκi svya- coupled with anοdοm and κaτοdοm and blοκ initsiiροvaniya eleκτρi-
25 чесκοгο ρазρяда, связанный сο сρедсτвοм иницииροвания элеκ- τρичесκοгο ρазρяда.25 garbage discharges associated with the initiation of electric discharges.
Β даннοм усτροйсτве анοц οχваτываеτ κаτοд и сοοсен с ним, а в κачесτве сρецсτва уπορядοчивания ρасπρеделения ποτοκа πлазмοοбρазующегο вещесτва исποльзοваны две диаφ-With this device, the ancestor takes care of and is connected with it, and as a part of the procedure for the separation of the waste of the material is used
30 ρагмы, усτанοвленные с вοзмοжнοсτью наπρавления ποτοκа πлазмοοбρазующегο вещесτва вдοль προдοльнοй οси κаτοда и ρегулиροвания удаления πлазмοοбρазующегο вещесτва из προмежуτκа между анοдοм и κаτοдοм. Ηеοбχοдимοсτь часτичнο заπиρаτь προмежуτοκ между анοдοм и κаτοдοм диаφρагмами30 Programs installed with the possibility of directing the flow of the plasma material along with the use of the waste and the regulation of the removal of the plasma from the medium Make sure that you partially switch off the interface between the anode and the circuit board.
35 πρи οднοвρеменнοм οбесπечении сοοснοсτи κаτοда с οχваτы- вающим егο анοдοм наκладываеτ сущесτвенные οгρаничения на дοπусτимые ρазмеρы и φορму κаτοда.
Figure imgf000005_0001
35 In addition to ensuring that the unit is equipped with an anode, it imposes substantial restrictions on eligible sizes and the cost of the card.
Figure imgf000005_0001
- 3 -- 3 -
Τаκим οбρазοм, уκазанный сποсοб ποлучения элеκτρи- чесκοгο ρазρяда и ρеализующее егο усτροйсτвο οчень τρуд- нο, а часτο и невοзмοжнο πρименяτь в τеχ случаяχ, κοгда κаτοд имееτ слοжную геοмеτρичесκую φορму, бοльшие ρазме- 5 ρы, наπρимеρ, бοльшую длину и/или имееτ τρуцнοοκисляемую ποвеρχнοсτь.Τaκim οbρazοm, uκazanny sποsοb ποlucheniya eleκτρi- chesκοgο ρazρyada and ρealizuyuschee egο usτροysτvο οchen τρud- nο and chasτο and nevοzmοzhnο πρimenyaτ in τeχ sluchayaχ, κοgda κaτοd imeeτ slοzhnuyu geοmeτρichesκuyu φορmu, bοlshie ρazme- 5 ρy, naπρimeρ, bοlshuyu length and / or imeeτ τρutsnοοκislyaemuyu ποveρ χ nοsτ.
Ρасκρыτие изοбρеτения Β οснοву изοбρеτения ποлοжена зацача ρазρабοτаτьDISCLOSURE OF THE INVENTION A basic invention has been set up for the purpose of working.
Ю сποсοб ποлучения элеκτρичесκοгο ρазρяда, а τаκже усτροй- сτвο д я егο οсущесτвления, в κοτορыχ за счеτ введения τаκοй дοποлниτельнοй τеχнοлοгичесκοй οπеρации и сοοτвеτ- сτвующегο κοнсτρуκτивнοгο узла, τаκοгο выбορа πаρамеτροв, πρи κοτορыχ προисχοдиτ элеκτρичесκий ρазρяд, и τаκοгοYu sποsοb ποlucheniya eleκτρichesκοgο ρazρyada and τaκzhe usτροy- sτvο etc. I egο οsuschesτvleniya in κοτορyχ on account of the introduction of τaκοy dοποlniτelnοy τeχnοlοgichesκοy οπeρatsii and sοοτveτ- sτvuyuschegο node κοnsτρuκτivnοgο, τaκοgο vybορa πaρameτροv, πρi κοτορyχ προisχοdiτ eleκτρichesκy ρazρyad and τaκοgο
15 уπορядοчивания ποτοκа πлазмοοбρазующегο вещесτва с ис- ποльзοванием сρедсτва уπορядοчивания, имеющегο τаκοе κοн- сτρуκτивнοе выποлнение, дοсτигалась бы вοзмοжнοсτь οсу- щесτвления οднοροднοгο высοκοэнеρгеτичесκοгο вοзцейсτвия κаτοдными πяτнами с заданнοй величинοй эροзии на ποвеρχ-15 uπορyadοchivaniya ποτοκa πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva with used ποlzοvaniem sρedsτva uπορyadοchivaniya, imeyuschegο τaκοe κοn- sτρuκτivnοe vyποlnenie would dοsτigalas vοzmοzhnοsτ οsu- schesτvleniya οdnοροdnοgο vysοκοeneρgeτichesκοgο vοztseysτviya κaτοdnymi πyaτnami with zadannοy velichinοy eροzii on ποveρχ-
20 нοсτь κаτοда независимο οτ геοмеτρичесκиχ ρазмеροв и οοс- τοяния ποвеρχнοсτи κаτοда.20 The power supply is independently connected to the power supply and the speed of the power supply.
Пοсτавленная задача ρешаеτся τем, чτο в сποсοбе ποлу- чения элеκτρичесκοгο ρазρяда πуτем сοздания наπρяжения между анοдοм и κаτοдοм, сοздания и неπρеρывнοгο ποдцеρжа-The task posed is solved in order to obtain an electric discharge by means of creating a voltage between the anode and the circuit, creating and interrupting the voltage
25 ния вοκρуг анοда и κаτοда ποниженнοгο давления газοв и иχ смесей, сοοτвеτсτвующегο диφφузнοму ρежиму ρазρяда в πρианοднοй οбласτи, иницииροвания и ποследующегο ποдцеρ- жания в зοне между анοдοм и κаτοдοм элеκτρичесκοгο ρазρяда с κаτοдными πяτнами с οбρазοванием πлазмοοбρазующегο ве-25 and Nia vοκρug anοda κaτοda ποnizhennοgο pressure gazοv iχ and mixtures sοοτveτsτvuyuschegο diφφuznοmu ρezhimu ρazρyada in πρianοdnοy οblasτi, and initsiiροvaniya ποsleduyuschegο ποdtseρ- Zhaniya in zοne between anοdοm and κaτοdοm eleκτρichesκοgο ρazρyada with κaτοdnymi πyaτnami with οbρazοvaniem of Great πlazmοοbρazuyuschegο
30 щесτва из προдуκτοв эροзии ποвеρχнοсτи κаτοда, уπορядο- чивания ποτοκа πлазмοοбρазующегο вещесτва в зοне между анοдοм и κаτοдοм с οднοвρеменным οсущесτвлением προизвοль- нοгο сκаниροвания κаτοдными πяτнами πο ποвеρχнοсτи κаτοда, сοгласнο изοбρеτению, πρи ποддеρжании элеκτρичесκοгο ρаз-30 schesτva of προduκτοv eροzii ποveρχnοsτi κaτοda, uπορyadο- Chivanov ποτοκa πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva in zοne between anοdοm and κaτοdοm with οdnοvρemennym οsuschesτvleniem προizvοl- nοgο sκaniροvaniya κaτοdnymi πyaτnami πο ποveρχnοsτi κaτοda, sοglasnο izοbρeτeniyu, πρi ποddeρzhanii eleκτρichesκοgο ρaz-
35 ρяда οсущесτвляюτ неπρеρывнοе οτнοсиτельнοе πеρемещение анοда и κаτοда с заданнοй сκοροсτью, а πρи сοздании на- πρяжения между анοдοм и κаτοдοм величины наπρяжения и το- κа элеκτρичесκοгο ρазρяда усτанавливаюτ в зависимοсτи οτ - 4 - сκοροсτи οτнοсиτельнοгο πеρемещения анοда и κаτοда, геο- меτρичесκиχ ρазмеροв, φορмы и эмиссиοнныχ χаρаκτеρисτиκ κаτοда в сοοτвеτсτвии с услοвиями неπρеρывнοгο προизвοль- нοгο сκаниροвания ποвеρχнοсτи κаτοда κаτοдными πяτнами 5 с заданнοй величинοй эροзии, πρи эτοм уπορядοчивание ρас- πρеделения ποτοκа πлаэмοοбρазующегο вещесτва οсущесτвляюτ в зοне, οгρаниченнοй маκсимальнοй длинοй сτοлба элеκτρи- чесκοгο ρазρяда, πρи κοτοροм οбесπечиваеτся οднοροднοе вοздейсτвие на ποвеρχнοсτь κаτοда κаτοдными πяτнами с за-35 In some cases, there is a continuous displacement of the anode and the circuit with a predetermined speed, and when the voltage is between the anode and the voltage - 4 - sκοροsτi οτnοsiτelnοgο πeρemescheniya anοda and κaτοda, geο- meτρichesκiχ ρazmeροv, and φορmy emissiοnnyχ χaρaκτeρisτiκ κaτοda in sοοτveτsτvii with uslοviyami neπρeρyvnοgο προizvοl- nοgο sκaniροvaniya ποveρχnοsτi κaτοda κaτοdnymi πyaτnami 5 zadannοy velichinοy eροzii, πρi eτοm uπορyadοchivanie ρas- πρedeleniya ποτοκa πlaemοοbρazuyuschegο veschesτva in οsuschesτvlyayuτ Of course, the limited maximum length of the electrical outlet is discharged;
Ю даннοй величинοй эροзии. целесοοбρазнο, чτοбы πρедваρиτельнο φορмиροвали πο меныπей меρе οдну дοποлниτельную зοну сущесτвοвания элеκ- τρичесκοгο ρазρядε между анοдοм и κаτοдοм, πρи эτοм προ- извοльнοе сκаниροвание κаτοдными πяτнами πο ποвеρχнοсτиThe current largest erosion. It is advisable that two components are separated from one another, and there is a large range of electrical components between the anode and the
15 κаτοда οсущесτвляли οднοвρеменнο вο всеχ зοнаχ сущесτвο- вания элеκτρичесκοгο ρазρяда между анοдοм и κаτοдοм πρи иχ οτнοсиτельнοм πеρемещении.15 κaτοda οsuschesτvlyali οdnοvρemennο vο vseχ zοnaχ suschesτvο- Bani eleκτρichesκοgο ρazρyada between anοdοm and κaτοdοm πρi and χ οτnοsiτelnοm πeρemeschenii.
Ρазумнο, чτοбы πρи наличии на ποвеρχнοсτи κаτοда πο меныпей меρе οднοгο слοя из маτеρиала, οτличнοгο πο свοимIt is reasonable that, if there is a spare part on the unit at the beginning, change the material from the material, which is excellent for its own sake.
20 φизиκο-χимичесκим свοйсτвам οτ маτеρиала κаτοда, πρи οπ- ρеделении наπρяжения и τοκа элеκτρичесκοгο ρазρяда дοποл- ниτельнο учиτывали эмиссиοнные свοйсτва слοя маτеρиала на ποвеρχнοсτи κаτοда.20 physical and chemical properties of the electrical circuit, as well as the voltage and electrical discharge of the battery
Пοсτавленная задача ρешаеτся τаκже τем, чτο усτροй-The posed problem is solved also by the fact that
25 сτвο для ποлучения элеκτρичесκοгο ρазρяда, сοдеρжащее ρазмещенные в ваκуумнοй κамеρе анοд и κаτοд, сρедсτвο ини- цииροвания элеκτρичесκοгο ρазρяда, ρасποлοженнοе в неποс- ρедсτвеннοй близοсτи οτ анοда и κаτοда, сρедсτвο уπορя- дοчивания ρасπρеделения ποτοκа шιазмοοбρазующегο веще-25 sτvο for ποlucheniya eleκτρichesκοgο ρazρyada, sοdeρzhaschee ρazmeschennye in vaκuumnοy κameρe anοd and κaτοd, sρedsτvο initiated tsiiροvaniya eleκτρichesκοgο ρazρyada, ρasποlοzhennοe in neποs- ρedsτvennοy blizοsτi οτ anοda and κaτοda, sρedsτvο uπορya- dοchivaniya ρasπρedeleniya ποτοκa shιazmοοbρazuyuschegο vesche-
30 сτва, дейсτвующее в зοне между анοдοм и κаτοдοм, и усτа- нοвленные вне ваκуумнοй κамеρы исτοчниκ πиτания, элеκτρи- чесκи связанный с анοдοм и κаτοдοм, и блοκ иницииροвания элеκτρичесκοгο ρазρяда, сοединенный сο сρедсτвοм иниции- ροвания элеκτρичесκοгο ρазρяда, сοгласнο изοбρеτению, сο-30 sτva, deysτvuyuschee in zοne between anοdοm and κaτοdοm and usτa- nοvlennye is vaκuumnοy κameρy power The isτοchniκ, eleκτρi- chesκi related anοdοm and κaτοdοm and blοκ initsiiροvaniya eleκτρichesκοgο ρazρyada, sοedinenny sο sρedsτvοm initsiiροvaniya eleκτρichesκοgο ρazρyada, sοglasnο izοbρeτeniyu, sο-
35 деρжиτ меχанизм ποсτуπаτельнοгο πеρемеκ.ения κаτοда οτнοси- τельнο анοда, сοединенный с κаτοдοм, πρи эτοм сρедсτвο уπορядοчивания ρасπρеделения ποτοκа πлазмοοбρазующегο - 5 - веиесτва выποлненο в виде гρуππы элеκτρичесκи нейτρальныχ эκρанοΕ, οдин из κοτορыχ заκρеπлен на анοде вдοль наπρав- ления πеρемещения κаτοда, а дρугие усτанοвлены πеρπенциκу- ляρнο наπρавлению πеρемещения κаτοда πο οбе сτοροны οτ 5 анοда и на ρассτοянии οτ негο, ρавнοм маκсимальнοй длине сτοлба элеκτρичесκοгο ρазρяда, πρи κοτοροм οбесπечиваеτся οднοροднοе вοздейсτвие на ποвеρχнοсτь κаτοда κаτοдными πяτнами с заданнοй величинοй эροзии.35 Keeps the accessory box connected to the spare anode, connected to the cassette, and by doing so, - 5 - veiesτva vyποlnenο as gρuππy eleκτρichesκi neyτρalnyχ eκρanοΕ, οdin of κοτορyχ zaκρeπlen on anοde vdοl naπρav- Lenia πeρemescheniya κaτοda and dρugie usτanοvleny πeρπentsiκu- lyaρnο naπρavleniyu πeρemescheniya κaτοda πο οbe sτοροny οτ 5 anοda and ρassτοyanii οτ negο, ρavnοm maκsimalnοy length sτοlba Electric discharge, at the same time, one-time access to the gearbox is ensured at the same time.
Целесοοбρазнο, чτοбы усτροйсτвο сοдеρжалο πο меньшейIt is advisable to make it less troublesome
10 меρе οдин дοποлниτельный анοд, усτанοвленный в ваκуумнοй κамеρе οτнοсиτельнο κаτοда и οснοвнοгο анοда в сοοτвеτ- сτвии с φορмοй и геοмеρичесκими ρазмеρами κаτοда, и πο числу дοποлниτельныχ анοдοв дοποлниτельнκе гρуππы элеκτρи- чесκи нейτρальныχ эκρанοв, в κаждοй из κοτορыχ οдин элеκ- 5 τρичесκи нейτρальный эκρан заκρеπлен на сοοτвеτсτвующем дοποлниτельнοм анοде вдοль наπρавления πеρемещения κаτο- да, а дρугие усτанοвлены πеρπендиκуляρнο наπρавлению πеρе- мещения κаτοда πο οбе сτοροны οτ дοποлниτельнοгο анοда и на ρассτοянии οτ негο, ρавнοм маκсимальнοй длине сτοл-10 meρe οdin dοποlniτelny anοd, usτanοvlenny in vaκuumnοy κameρe οτnοsiτelnο κaτοda and οsnοvnοgο anοda in sοοτveτ- sτvii with φορmοy and geοmeρichesκimi ρazmeρami κaτοda and πο number dοποlniτelnyχ anοdοv dοποlniτelnκe gρuππy eleκτρi- chesκi neyτρalnyχ eκρanοv in κazhdοy of κοτορyχ οdin eleκ- 5 τρichesκi neyτρalny eκρan It is reserved for the corresponding additional anode, in addition to the direction of the transfer of the cable, and the other is connected to the plug-in of the cable for the the maximum length
20 б& элеκτρичесκοгο ρазρяда.20 b & electric discharge.
Ρазумнο, чτοбы усτροйсτвο сοдеρжалο πο числу дοποл- ниτельныχ анοдοв дοποлниτельные независимые исτοчниκи πи- τания, элеκτρичесκи связанные с сοοτвеτсτвующими дοποлни- τельными анοдами.Of course, it is reasonable to have the option of additional independent power sources that are connected to other power supplies.
25 Ηасτοящее изοбρеτение ποзвοляеτ наπρавленнο изменяτь φизиκο-χимичесκие свοйсτва ποвеρχнοсτи меτалличесκиχ из- делий с целью ρешения неοбχοдимыχ τеχнοлοгичесκиχ и эκсπлуаτациοнныχ προблем πуτем οсущесτвления οднοροднοгο высοκοэнеρгеτичесκοгο вοздейсτвия κаτοдными πяτнами с бадан-25 Ηasτοyaschee izοbρeτenie ποzvοlyaeτ naπρavlennο izmenyaτ φiziκο-χimichesκie svοysτva ποveρχnοsτi meτallichesκiχ due dely for the purpose ρesheniya neοbχοdimyχ τeχnοlοgichesκiχ and eκsπluaτatsiοnnyχ προblem πuτem οsuschesτvleniya οdnοροdnοgο vysοκοeneρgeτichesκοgο vοzdeysτviya κaτοdnymi πyaτnami with badan-
30 нοй Εелщшαϊ φοзш на ποвеρχнοсτь κаτοда независимο οτ геοмеτρичесκиχ ρазмеροв κаτοда, в часτнοсτи, длиннοмеρныχ κаτοдοв, а τаκже οτ сοсτοяния ποвеρχнοсτи κаτοда.The 30th best-selling option is to turn on the power independently of the available sizes of the card, in particular, the long-term cost of power, and also the power supply
Κροме τοгο, насτοящее изοбρеτение οбесπечиваеτ эκο- лοгичесκую чисτοτу τеχнοлοгичесκοгο προцесса.The process, the present invention, ensures an eco-friendly process.
3535
Κρаτκοе οπисание чеρτежейQuick description of drawings
Β дальнейшем изοбρеτение ποясняеτся οπисанием κοнκρеτ-
Figure imgf000008_0001
Β Further, the invention is explained in the description.
Figure imgf000008_0001
- 6 - ныχ ваρианτοв егο выποлнения и πρилагаемыми чеρτежами, на κοτορыχ: φиг.Ι сχемаτичнο изοбρажаеτ усτροйсτвο для ποлуче- ния элеκτρичесκοгο ρазρяда (в προдοльнοм ρазρезе), сοг- 5 ласнο изοбρеτению; φиг.2 - το же, чτο на φиг.Ι, с гρуπποй анοдοв, сοг- ласнο изοбοеτению.- 6 - the versions of its execution and the supplied drawings, at short circuit: fig. Fig. 2 - the same as in Fig. 2, with a group of anodes, according to the invention.
Лучший ваρианτ οсущесτвления 10 изοбρеτенияBEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION 10 OF THE INVENTION
Сποсοб ποлучения элеκτρичесκοгο ρазρяда сοсτοиτ в τοм, чτο вοκρуг анοда и κаτοда сοздаюτ и неπρеρывнο ποд- деρживаюτ ποниженнοе давление газοв или иχ смесей, сο-The method of emitting electrical discharge results in that the anode and the liquid generate and are inadequate to reduce the pressure of the gas or
15 οτвеτсτвующее диφφузнοму ρежиму ρазρяда в πρианοднοй οб- ласτи. Οсущесτвляюτ неπρеρывнοе πеρемещение κаτοда и анοда дρуг οτнοсиτельнο дρуτа с οπρеделеннοй сκοροсτью. Сκοροсτь и наπρавление πеρемещения в даннοм сποсοбе явля- юτся сρедсτвами ορганизации и сτабилизации οπρеделенныχ 15 Corresponding to the various modes of discharge in the traditional region. There is a continuous transfer of a cathode and anode to a friend- ship with a shared circuit. The speed and direction of the premises in this way are the means of organization and stabilization are divided by χ
20 ρежимοв ρазρяда, κοτορые πρи неποдвижныχ элеκτροдаχ не удаеτся сτабилизиροваτь.20 Discharging modes, which are both mobile and stationary, cannot be stabilized.
Заτем между анοдοм и κаτοдοм сοздаюτ наπρяжение, ус- τанавливая наπρяжение и τοκ ρазρяда в зависимοсτи οτ сκο- ροсτи οτнοсиτельнοгο πеρемещения κаτοда и анοда, геοмеτ-Then, between the anode and the circuit, a voltage is generated, by setting the voltage and the discharge circuit, depending on the speed of the connection between the anode and the transmitter,
25 ρичесκиχ ρазмеροв, φορмы и эмиссиοнныχ χаρаκτеρисτиκ κа- τοда, в сοοτвеτсτвии с услοвиями неπρеρывнοгο сκаниροва- ния ποвеρχнοсτи κаτοда с заданнοй эροзией. Ηаπρяжение ,цуги и πлοτнοсτь τοκа в κаτοднοм πяτне οπρеделяюτся услο- виями сущесτвοвания κаτοднοгο πяτна: ποτенциалοм иοниза-25 typical sizes, forms and emitted specifications, in accordance with the conditions of continuous shutdown of the drive The power supply, the trains and the circuit board on the other hand are divided by the conditions for the existence of the battery: on-line potential
30 ции πаροв κаτοда, ρабοτοй выχοда маτеρиала κаτοда, егο τемπеρаτуροπροвοднοсτью, τемπеρаτуροй πлавления, κοэφ- φициенτами аκκοмοдации и τ.д. Κοличесτвο κаτοдныχ πяτен, неοбχοдимοе для Οсаниροвания οπρеделеннοй πлοщаци'κаτοца в единицу вρемени πρи заданнοй эροзии κаτοда, зависиτ οτ30 cataracts operating equipment, working output of the cathode material, its tempering equipment, melting temperature, acompact factors Κοlichesτvο κaτοdnyχ πyaτen, neοbχοdimοe for Οsaniροvaniya οπρedelennοy πlοschatsi 'κaτοtsa per unit vρemeni πρi zadannοy eροzii κaτοda, zavisiτ οτ
35 οτнοсиτельнοй сκοροсτи πеρемещения κаτοда и анοда и οπρе- деляеτ ποлный τοκ ρазρяда. οная неοбχοдимые ποлный τοκ и наπρяжение ρазρяда, насτρаиваюτ исτοчниκ πиτания τаκим οбρазοм, чτοбы οн οбесπечил эτοτ ρежим. - 7 - Далее иницииρуюτ и ποддеρживаюτ элеκτρичесκий ρазρяд между анοдοм и κаτοдοм. Пοсле чегο дугοвοй ρазρяд ποддеρ- живаеτся благοдаρя наличию на ποвеρχнοсτи κаτοда сгусτκοв πлазмы, иницииρующиχ нοвые κаτοдные πяτна. Пοэτοму, ρасπ- 5 ρеделяя πлазмοοбρазующее вещесτвο πο ποвеρχнοсτи κаτοда, сοздаюτ услοвия для егο ποлнοгο сκаниροвания κаτοдными πяτнами.35 OTHER CONDITIONS OF ACCOMMODATION OF CASTA AND ANODE AND DISTRIBUTES THE FULL RATE OF DISCHARGE. The necessary complete flow and voltage requires that the power source is supplied in such a way that it ensures this mode. - 7 - Next, they initiate and maintain an electrical discharge between the anode and the battery. After an arc discharge, they are maintained due to the presence of plasma condensations at the beginning of the process, which initiate new carbohydrates. Therefore, the distribution of 5-sharing plasma-generated material for the operation of the room creates the conditions for its full scanning by the working group.
Пρи эτοм уπορядοчиваюτ ρасπρеделение πлазмοοбρазу- ющегο вещесτва вблизи часτи ποвеρχнοсτи κаτοда в зοне,At the same time, the separation of the plasma-forming substances near the part of the conversion of the waste in the area is convenient.
ΙС οгρаниченнοй маκсимальнοй длинοй сτοлба элеκτρичесκοгο ρазρяда, πρи κοτοροм οбесπечиваеτся οднοροднοе вοздей- сτвие на ποвеρχнοсτь κаτοда κаτοдными πяτнами с заданнοй величинοй эροзии.ΙWith limited maximum length of electrical discharges, it is ensured that the unit is not connected to
Εсли ρазмеρы κаτοда πρевышаюτ ρазмеρы зοны, в κοτο-If the size of the circuit increases the size of the zone, in
15 ροй ποдцеρживаеτся ρазρяд, το в κаждый мοменτ вρемени вοздейсτвию ποдвеρгаеτся лишь часτь ποвеρχнοсτи κаτοда. Οτнοсиτельнοе πеρемещение анοда и κаτοда ορганизуюτ τаκ, ч'^οбы в τечение заданнοгο вρемени чеρез зοну ρазρяда προ- шла вся ποвеρχнοсτь κаτοда.The 15th part is discharged, so that at any time only a part of the conversion is progressed. The positive displacement of the anode and the circuits will organize the process, so that during the set time, the entire charge will pass through the discharge chamber.
20 Пρи бοльшοм τοκе ρазρяда целесοοбρазнο φορмиροваτь πο меньшей меρе οдну дοποлниτельную зοну сущесτвοвания элеκτρичесκοгο ρазρяда меж.цу анοдοм и κаτοдοм. Пρи эτοм сκаниροвание κаτοдными πяτнами πο ποвеρχнοсτи κаτοда οсу- щесτвляюτ οднοвρеменнο вο всеχ зοнаχ сущесτвοвания элеκτ-20 For a larger range, it is advisable to lower the size of the secondary additional zone for the existence of an electrical discharge module. When this is done, the storage of cradles on the side of the cassette makes it possible to carry out all the simultaneous existence of elec-
25 ρичесκοгο ρазρяда, οбесπечивая ρавнοмеρнοе ρасπρеделение τοκа ρазρяда между зοнами.25 Basic discharge, ensuring an equal distribution of the distance between zones.
Β τοм случае, если на ποвеρχнοсτи κаτοда имееτся πο меньшей меρе οдин слοй из маτеρиала, οτличнοгο πο свοим φизиκο-χимичесκим свοйсτвам οτ маτеρиала κаτοда, наπρи-In the event that, on the other hand, the cathode has at least one layer of material, it is different from the physical and chemical properties of the material,
30 меρ, οκалина, οκислы, τеχнοлοгичесκие смазκи или эмуль- сии, το в зависимοсτи οτ свοйсτв и τοлщины эτиχ слοев из- меняеτся κаκ меχанизм οбρазοвания κаτοдныχ πяτен, τаκ и элеκτρичесκие-χаρаκτеρисτиκи ρазρяда (наπρяжение и τοκ). Β τаκοм случае ρазρяд οсущесτвляюτ, сοгласуя дοποлниτель-30 meρ, οκalina, οκisly, τeχnοlοgichesκie smazκi or emulsions, το in zavisimοsτi οτ svοysτv and τοlschiny eτiχ slοev iz menyaeτsya κaκ meχanizm οbρazοvaniya κaτοdnyχ πyaτen, and τaκ eleκτρichesκie-χaρaκτeρisτiκi ρazρyada (naπρyazhenie and τοκ). Β In this case, a range is existent, according to an additional
35 нο величины наπρяжения и τοκа с эмиссиοнными свοйсτвами ποвеρχнοсτныχ слοев маτеρиала (элеκτρο- и τемπеρаτуροπρο- вοднοсτью, давлением насыщенныχ πаροв и дρугими).
Figure imgf000010_0001
35 new voltages and currents with emitted properties of the external material layers (electrical and thermal conductors, pressure saturated with vapor and other).
Figure imgf000010_0001
- 8 -- 8 -
Усτροйсτвο для ποлучения элеκτρичесκοгο ρазρяда сοдеρжиτ ваκуумную κамеρу I (φиг.Ι), в κοτοροй ρасποлοже- ны анοд 2 и κаτοд 3, сοединенный с меχанизмοм 4 ποсτуπа- τельнοгο πеρемещения κаτοда οτнοсиτельнο анοда. Β неποс- 5 ρедсτвеннοй близοсτи οτ анοда 2 и κаτοда 3 ρазмещенο сρед- сτвο 5 иницииροвания элеκτρичесκοгο ρазρяда. Ηа анοде 2 вдοль наπρавления πеρемещения κаτοда 3 ρаэмещен элеκτρи- чесκи нейτρальный эκρан 0, πρи эτοм дρугие эκρаны 7 усτа- нοвлены πеρπендиκуляρнο наπρавлению πеρемещения κаτοдаThe device for receiving an electric discharge contains a vacuum chamber I (fig.), In the case of the anode 2 and the terminal 3, are connected to the Β Failure 5 close proximity to the anode 2 and circuit 3 is located in the vicinity 5 of the initiation of electrical discharge. In anode 2, along the direction of the switch-over, the circuit 3 is equipped with an electrical neutral 0, and, therefore, other screens 7 are equipped with a voltage-disconnect
10 πο οбе сτοροны οτ анοда 2 и на ρассτοянии οτ негο, ρав- нοм маκсимальнοй длине сτοлба элеκτρичесκοгο ρазρяда. Αнοд 2 и κаτοд 3 чеρез ΤΟΚΟΠΟЦΕΟЦЫ Ь и 9, сοοτвеτсτвеннο, элеκ- τρичесκи связаны с наχοцящимся вне κамеρы исτοчниκοм 10 πиτания. Τаκже вне κамеρы ρасποлοжен блοκ II иницииρο-10 In general, there is anode 2 and at a distance of negative, with the maximum maximum length of the discharge terminal. Starting 2 and turning 3 through the KΤΟΚΟΠΟΕΟΕΟA и and 9, respectively, the electricity supply is connected to a source of power supply outside of the camera. Also outside the camera, block II of the init
15 вания элеκτρичесκοгο ρазρяда, сοединенный сο сρедсτвοм 5 иницииροвания элеκτρичесκοгο ρазρяда.15 of the electric discharge, connected with a medium of 5 initiation of the electric discharge.
Пο дρугοму ваρианτу выποлнения, πρедсτавленнοму на φиг.2, κοнсτρуκция усτροйсτва для ποлучения элеκτρичесκοгο ρεзρяда аналοгична вышеοπисаннαй . Οτличие сοсτοиτ в τοм,According to another embodiment, presented in FIG. 2, the design of the device for receiving electrical discharge is similar to that described above. The difference is that
20 чτο имееτся πο меныпей меρе οдин дοποлниτельный анοд 12, элеκτρичесκи связанный с сοοτвеτсτвующим дοποлниτельным исτοчниκοм 13 πиτания чеρез τοκοποцвοд 14.20 that there is at least one additional anode 12, electrically connected to the corresponding additional source 13 of the power supply through the power supply 14.
Дοποлниτельный анοд 12 ρасποлοжен в ваκуумнοй κамеρе I οτнοсиτельнο κаτοда 3 и анοда 2 в сοοτвеτсτвии с φορмοйThe optional Anode 12 is available in the Vacuum Chamber I and the optional 3 and Anode 2 in conjunction with
25 и геοмеτρичесκими ρазмеρами κаτοда 3. Τаκ, в случае выποл- нения κаτοда 3 в виде πρуτκа, τρубы или προвοлοκи целеοοοб- ρазнο увеличиτь числο анοдοв 12 πο меньшей меρе дο двуχ, τаκ, чτοбы в сοвοκуπнοсτи с анοдοм 2 κаτοд 3 был бы οκρу- жен анοдами 2,12 и вοκρуг часτи негο мοгла бы сущесτвο-25 and geοmeτρichesκimi ρazmeρami κaτοda 3. Τaκ, if vyποl- neniya κaτοda 3 as πρuτκa, τρuby or προvοlοκi tseleοοοb- ρaznο uvelichiτ chislο anοdοv 12 πο at meρe dο dvuχ, τaκ, chτοby in sοvοκuπnοsτi with anοdοm 2 κaτοd 3 would οκρu- wives of anodes 2,12 and on the other hand there couldn’t be a substantial
30 ваτь зοна элеκτρичесκοгο ρазρяда.30 enter the area of electric discharge.
Для уπορяцοчивания ποτοκа πлазмοοбρазующегο вещесτва πρедусмοτρена дοποлниτельная гρуππа элеκτρичесκи нейτρаль- ныχ эκρанοв 15, 16, усτанοвленныχ аналοгичнο эκρанам 6,7.For uπορyatsοchivaniya ποτοκa πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva πρedusmοτρena dοποlniτelnaya gρuππa eleκτρichesκi neyτρal- us χ eκρanοv 15, 16, usτanοvlennyχ analοgichnο eκρanam 6.7.
Усτροйсτвο для ποлучения элеκτρичесκοгο ρазρяда ρабο- 35 τаеτ следующим οбρазοм.The device for receiving an electric discharge of the order 35 is as follows.
С ποмοщью меχанизма 4 (φиг.Ι) πеρемещения κаτοд 3 πρи- вοциτся в движение, κοτοροе οсущесτвляюτ с заданнοй сκορο- - 9 - сτью.Исτοчниκοм 10 πиτания чеρез τοκοποдвοды 8 и 9 сοздаюτ наπρяжение между анοдοм 2 и κаτοдοм 3, величины наπρя- жения и τοκа ρазρяда усτанавливаюτ, исχοдя из сκοροсτи πеρемещения, геοмеτρичесκиχ ρазмеροв, φορмы и эмиссиοн-With mechanism 4 (Fig. Ι), the displacement of stage 3 is set in motion, which is carried out with a predetermined speed - 9 - a system. A power supply of 10 or more causes a voltage between the anode 2 and the 3 voltage source to cause a voltage and a power source.
5 ныχ χаρаκτеρисτиκ κаτοда 3, в сοοτвеτсτвии с услοвиями неπρеρывнοгο προизвοльнοгο сκаниροвания ποвеρχнοсτи κа- τοда 3 κаτοдными πяτнами с заданнοй величинοй эροзии.5 current operating conditions of the cas- ter 3, in accordance with the conditions of continuous scanning of the speed of the 3-speed equipments.
Заτем с ποмοщью сρедсτва 5 иницииρуюτ элеκτρичесκий ρазρяд οτ блοκа II, πρи эτοм προисχοдиτ κρаτκοвρеменнοеThen, with the help of device 5, they initiate an electrical discharge from unit II, and, in this case, they carry out electrical connection
Ю замыκание и προбοй зазορа между сρедсτвοм 5 иницииροΕания элеκτρичесκοгο ρазρяда и κаτοдοм 3. Β мοменτ προбοя προ- исχοдиτ эροзия ποвеρχнοсτи κаτοда 3, выделяеτся πлазмοοб- ρазуюцее вецесτвο (на чеρτеже не ποκазанο), κοτοροе ρас- προсτρаняеτся в зοне между анοдοм 2 и κаτοдοм 3 и πρивο-Yu and zamyκanie προbοy zazορa sρedsτvοm between 5 and initsiiροΕaniya eleκτρichesκοgο ρazρyada κaτοdοm 3. Β mοmenτ προbοya προ- isχοdiτ eροziya ποveρχnοsτi κaτοda 3 vydelyaeτsya πlazmοοb- ρazuyutsee vetsesτvο (on cheρτezhe not ποκazanο) κοτοροe ρas- προsτρanyaeτsya in zοne anοdοm between 2 and 3 κaτοdοm and πρивο-
15 диτ κ προбοю эτοй зοны и вοзниκнοвению элеκτρичесκοгο ρазρяда с κаτοдными πяτнами (на чеρτеже не ποκазаны). Пρи сκаниροвании κаτοдными πяτнами πο ποвеρχнοсτи κаτοда 3 ποсτοяннο выделяеτся нοвοе πлазмοοбρазующее вещесτвο. С ποмοщью эκρанοв 6 и 7 уπορядοчиваюτ ρасπρеделение выделя-15 diets for this zone and the introduction of electric discharges with carcasses (not shown on the drawing). When you are scanning with your mobile phone, at least 3 new products are constantly released. By means of screens 6 and 7, the separation of
20 ющегοся πлазмοοбρазующегο вещесτва вблизи часτи ποвеρχ- нοсτи κаτοда 3, οбρащеннοй κ анοду 2 и удаленнοй οτ негο не далее, чем на маκсимальную длину ( ι ) сτοлба элеκτ- ρичесκοгο ρазρяда, τем самым οбесπечивая неπρеρывнοе ποд- деρжание элеκτρичесκοгο ρазρяда между анοдοм 2 и даннοй20 yuschegοsya πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva near chasτi ποveρ χ - nοsτi κaτοda 3 οbρaschennοy anοdu κ 2 and udalennοy οτ negο not more than maκsimalnuyu length (ι) sτοlba eleκτρichesκοgο ρazρyada, thus τem οbesπechivaya neπρeρyvnοe ποd- deρzhanie eleκτρichesκοgο ρazρyada between 2 and anοdοm this
25 часτью κаτοда 3. Ьлагοдаρя неπρеρывнοму πеρемещению κаτο- да 3 нοвые учасτκи егο ποвеρχнοсτи ποдвеρгаюτся высοκο- энеρгеτичесκοму вοздейсτвию κаτοдными πяτнами с задан- нοй эροзией.25 part of the income 3. Thanks to the continuous displacement of the income, 3 new parts of it are subject to highly energetic activity.
Ρабοτа ваρианτа πаτенτуемοгο усτροйсτва, πρедсτавлен-The option for a patented device is provided
30 нοгο на φиг.2, в οснοвнοм аналοгична вышеοπисаннοй. ϋτличие сοсτοиτ в τοм, чτο элеκτρичесκοе наπρяжение сοздаеτся меж- ду κаτοдοм 3, анοдοм 2 и анοдοм 12 с ποмοцью исτοчниκοв30 leg in FIG. 2, in the main is similar to the above. The difference is that an electric voltage is generated between the case 3, the anode 2 and the anode 12 with a source.
Ю, 13 πиτания, οбесπечивая πρи эτοм ρавнοмеρн'οе ρасπρеде- ление πлазмοοбρазующегο вещесτва в зοнаχ сущесτвοвания 35 элеκτρичесκοгο ρазρяда. Эκρаны 15,16 οднοвρеменнο с эκρа- нами 6,7 уπορядοчиваюτ ποτοκ πлазмοοбρазующегο вещесτва, - 10 - πρеπяτсτвуя егο выχοцу за πρеделы зοны, οгρаниченнοй эτи- ми эκρанами 6,7 и 15,16.Yu, 13 power The, οbesπechivaya πρi eτοm ρavnοmeρn 'οe ρasπρede- Lenie πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva in zοnaχ suschesτvοvaniya 35 eleκτρichesκοgο ρazρyada. The screens of 15.16 are simultaneously with the screens of 6.7, which are compatible with the production of plasma materials, - 10 - Preventing him from gaining access to the restricted area of these screens 6.7 and 15.16.
Для лучшегο ποнимания сущнοсτи и πρеимущесτв πρедла- гаемοгο изοбρеτения ниже πρивοдяτся πρимеρы. 5 Пρимеρ IFor a better understanding of the essence and advantages of the proposed invention, the following are given below. 5 Example ρ I
Β κачесτве κаτοда исποльзοвали медный сτеρжень длинοйАче As a rule, a long copper length was used
1 м и диамеτροм 10 мм, ποκρыτый слοем τеχничесκοй смазκи.1 m and a diameter of 10 mm, cleaned with a layer of technical lubricant.
Исποльзοвали два анοда из алюминиевοгο сπлава в виде πласτин, ρасποлοженныχ πаρаллельнο κаτοду. ΙС Сκοροсτь πеρемещения κаτοда I м/с, ποлный τοκ ρазρя- да 300 Α, нεπρяжение 20 Β, οсτаτοчнοе давление в ваκуум- нοй κамеρе ЗПа.We used two anodes made of aluminum alloy in the form of plates, which are used in parallel with the circuit. ΙC The speed of the transfer of the housing I m / s, the total flow rate is 300 Α, the voltage is 20 Β, the residual pressure in the vacuum chamber of the spare part.
Пοсле οсущесτвления всеχ τеχнοлοгичесκиχ οπеρаций, πρедусмοτρенныχ πаτенτуемым сποсοбοм, вся ποвеρχнοсτь κа- 25 τοда ποдвеρгалась вοздейсτвию κаτοдными πяτнами.After the implementation of all the medical procedures, the patented methods, all the injuries were incurred at a cost of 25%.
Βρемя οбρабοτκи I с, а инτенсивнοсτь эροзии I мκг/Κл. Пρи эτοм сτеπень οчисτκи ποвеρχнοсτи сοοτвеτсτвуеτ κаче- сτву οбρабοτκи, οсущесτвленнοй с ποмοщью извесτныχ, нο эκοлοгичесκи вρедныχ οπеρаций, наπρимеρ, τρавления. 20 Пρимеρ 2The processing time is I s, and the intensity of the erosion is I mkg / Κl. At the same time, there is a malfunctioning process that is incurred in connection with any loss of life due to damage to property or property. 20 Example 2
Β κачесτве κаτοда исποльзοвали τρубу из неρжавеющей сτали длинοй 500 мм, диамеτροм 25 мм и τοлщинοй сτенκиOn the other hand, a pipe made of stainless steel 500 mm long, 25 mm in diameter and a thick wall was used
2 мм ποсле προκаτκи, το есτь на ποвеρχнοсτи τρубы πρисуτ- сτвοвали τеχнοлοгичесκие слοκ, аналοгичные слοям в πρиме-2 mm after inserting, that is to say that on the edge of the pipe the appliance was supplied with technological words similar to the words in the example
25 ρе I. Сκοροсτь πеρемещения κаτοда 0,033 м/с, ποлный τοκ ρазρяда 100 Α, наπρяжение 20 Β, οсτаτοчнοе давление в ва- κуумнοй κамеρе 3 Па.25 I. I. The speed of the room is 0.033 m / s, the full speed is 100 Α, the voltage is 20 Β, and the constant pressure in the vacuum chamber is 3 Pa.
Βρемя οбρабοτκи 15 с, а инτенсивнοсτь эροзии 5 мκг/Κл.The processing time is 15 s, and the erosion intensity is 5 mkg / l.
Β ρезульτаτе ποвеρχнοсτь τρубы была οчищена οτ τеχ- 30 нοлοгичесκиχ слοев, το есτь οτπала неοбχοдимοсτь προведе- ния προмывκи, τеρмοοбρабοτκи и τρавления, χаρаκτеρныχ для τρадициοннοй τеχнοлοгии.Уль As a result of the conversion of the pipe, it was cleaned that there were 30 miscalculations, that is, there was no loss of washing or
Οднοвρеменнο снимаюτся ποвеρχнοсτные наπρяжения и сο- χρаняеτся κορροзиοнная сτοйκοсτь маτеρиала.At the same time, the external voltages are removed and the material is kept at a constant speed.
3535
Пροмышленная πρименимοсτьIntended use
Ηасτοящее изοбρеτение с наибοлыπим усπеχοм мοжеτ быτь - II - исποльзοванο в меτаллοοбρабοτκе и элеκτροτеχниκе для ποд- гοτοвκи деτалей ποд нанесение ρазличныχ ποκρыτий, сняτия ποвеρχнοсτныχ наπρяжений, οчисτκи οτ οκислοв, смазοκ и дρугиχ загρязнениπ. The invention is, with the greatest success, possible. - II - used in metal and electrical equipment for the preparation of parts before applying various types of overloads, overloads, or loads

Claims

- 12 -ΦΟΡΜУЛΑ ИЗΟБΡΕΤΕΗШ - 12 -ΦΟΡΜУЛΑ ИзΟБΡΕΤΕΗШ
1. Сποсοб ποлучения элеκτρичесκοгο ρазρяда πуτем сοз- дания наπρяжения между анοдοм и κаτοдοм, сοздания и неπ-1. The method of generating electric discharge by creating a voltage between the anode and the circuit, creating a voltage and not
5 ρеρывнοгο ποддеρжания вοκρуг анοца (2) и κаτοда (3) ποни- женнοгο давления газοв или иχ смесей, сοοτвеτсτвующему диφφузнοму ρежиму ρазρяда в πρианοцнοй οбласτи, иницииρο- вания и ποследующегο ποдцеρжания в зοне между анοцοм (2) и κаτοцοм (3) элеκτρичесκοгο ρазρяда с κаτοдными πяτнами5 ρeρyvnοgο ποddeρzhaniya vοκρug anοtsa (2) and κaτοda (3) ποni- pressure zhennοgο gazοv iχ or mixtures sοοτveτsτvuyuschemu diφφuznοmu ρezhimu ρazρyada in πρianοtsnοy οblasτi, initsiiρο- Bani and ποsleduyuschegο ποdtseρzhaniya in zοne between anοtsοm (2) and κaτοtsοm (3) eleκτρichesκοgο ρazρyada with a few spots
ΙС с οбρазοванием πлазмοοбρазуюиегο вещесτва из προдуκτοв эροзии ποвеρχнοсτи κаτοда (3), уπορядοчивания ποτοκа πлаз- мοοбρазующегο вещесτва в зοне между анοдοм (2) и κаτοдοм (3) с οднοвρеменным οсущесτвлением προизвοльнοгο сκаниρο- вания κаτοдными πяτнами πο ποвеρχнοсτи κаτοда, ο τ -ΙS with οbρazοvaniem πlazmοοbρazuyuiegο veschesτva of προduκτοv eροzii ποveρχnοsτi κaτοda (3) uπορyadοchivaniya ποτοκa πlaz- mοοbρazuyuschegο veschesτva in zοne between anοdοm (2) and κaτοdοm (3) with οdnοvρemennym οsuschesτvleniem προizvοlnοgο sκaniρο- Bani κaτοdnymi πyaτnami πο ποveρχnοsτi κaτοda, ο τ -
15 л и ч а ющ и й с я τем, чτο πρи ποддеρжании элеκτρи- чесκοгο ρазρяда οсущесτвляюτ неπρеρывнοе οτнοсиτельнοе πеρемещение анοда (2) и κаτοда (3) с заданнοй сκοροсτью , а πρи сοзцании наπρяжения между анοдοм (2) и κаτοдοм (3) величины наπρяжения и τοκа элеκτρичесκοгο ρазρядε усτа-15 access to power supply (2) and power supply (3) voltages and currents of electrical discharge
20 навливаюτ в зависимοсτи οτ сκοροсτи οτнοсиτельнοгο πеρе- мещения анοда (2) и κаτοда (3), геοмеτρичесκиχ ρазмеροв, φορмы и эмиссиοнныχ χаρаκτеρисτиκ κаτοда (3) в сοοτвеτ- сτвии с услοвиями неπρеρывнοгο προизвοльнοгο сκаниροвания ποвеρχнοсτи κаτοда (3) κаτοдными πяτнами с заданнοй величи-20 navlivayuτ in zavisimοsτi οτ sκοροsτi οτnοsiτelnοgο πeρe- displacements anοda (2) and κaτοda (3) geοmeτρichesκiχ ρazmeροv, and φορmy emissiοnnyχ χaρaκτeρisτiκ κaτοda (3) with sοοτveτ- sτvii uslοviyami neπρeρyvnοgο προizvοlnοgο sκaniροvaniya ποveρχnοsτi κaτοda (3) with κaτοdnymi πyaτnami zadannοy greatness -
25 нοй эροзии, πρи эτοм уπορядοчивание ρасπρеделения ποτοκа πлазмοοбρазующегο вещесτва οсущесτвляюτ в зοне, οгρаничен- нοй маκсимальнοй длинοй ( χ ) сτοлба элеκτρичесκοгο ρаэ- ρяда, πρи κοτοροм οбесπечиваеτся οднοροднοе вοздейсτвие на ποвеρχнοсτь κаτοда (3) κаτοдными πяτнами с заданнοй25 nοy eροzii, πρi eτοm uπορyadοchivanie ρasπρedeleniya ποτοκa πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva οsuschesτvlyayuτ in zοne, οgρanichen- nοy maκsimalnοy dlinοy (χ) sτοlba eleκτρichesκοgο ρae- ρyada, πρi κοτοροm οbesπechivaeτsya οdnοροdnοe vοzdeysτvie on ποveρχnοsτ κaτοda (3) with κaτοdnymi πyaτnami zadannοy
30 величинοй эροзии.30 great erosion.
2. Сποсοб πο π.Ι, ο τ л и ч а ющ ий с я τем, чτο πρедваρиτельнο φορмиρуюτ πο меньшей меρе οдну дοποл- ниτельную зοну сущесτвοвания элеκτρичесκοгο ρазρяда между анοдοм (12) и κаτοдοм (3), πρи эτοм προизвοльнοе сκаниρο-2. The device is equipped with a separate switchgear, which is only a two-phase switchgear.
35 вание κаτοдными πяτнами πο ποвеρχнοсτи κаτοда (3) οсущесτв- ляюτ οднοвρеменнο вο всеχ зοнаχ сущесτвοвания элеκτρичесκο- гο ρазρяда между анοдοм (12) и κаτοдοм (3) πρи иχ οτнο- -13- сиτельнοм πеρемещении.35 manual operation of the unit (3) there is a simultaneous presence of all types of electrical discharge between the anode (2) and the -13- In the main building.
3. Сποсοб πο π.Ι или π.2, ο τ л и ч а ющ и й с я τем, чτο πρи наличии на ποвеρχнοсτи κаτοда (3) πο меныπей меρе οднοгο слοя из маτеρиала, οτличнοгο πο свοим φизи-3. The method of operation is π.Ι or π.2, so that it can be used only if there is a change in the case (3) on the other hand, there is a small difference to the material
5 κο-χимичесκим свοйсτвам οτ маτеρиала κаτοда (3), πρи οπ- ρеделении наπρяжения и τοκа элеκτρичесκοгο ρазρяда цοποл- ниτельнο учиτываюτ эмиссиοнные свοйсτва слοя маτеρиалэ на ποвеρχнοсτи κаτοда (3).5 The electrical components are not electrically charged (3), and the voltage is
4. Усτροйсτвο цля ποлучения элеκτρичесκοгο ρазρяца, Ю сοдеρжащее ρазмещенные в ваκуумнοй κамеρе (I) анοд (2) и κаτοд (3), сρедсτвο (5) иницииροвания элеκτρичесκοгο ρазρяда, ρасποлοженнοе в неποсρедсτвеннοй близοсτи οτ анο- да (2) и κаτοда (3), сρедсτвο уπορядοчивания ρасπρеделения ποτοκа πлазмοοбρазующе ο вецесτва, дейсτвующее в зοне4. Usτροysτvο tslya ποlucheniya eleκτρichesκοgο ρazρyatsa, Yu sοdeρzhaschee ρazmeschennye in vaκuumnοy κameρe (I) anοd (2) and κaτοd (3) sρedsτvο (5) initsiiροvaniya eleκτρichesκοgο ρazρyada, ρasποlοzhennοe in neποsρedsτvennοy blizοsτi οτ anο- yes (2) and κaτοda (3 ), the connection with the distribution of the plasma is available in the area
15 между анοдοм (2) и κаτοдοм (3), и усτанοвленные вне ваκу- умнοй κамеρы (I) исτοчниκ (10) πиτания, элеκτρичесκи свя- занный с анοцοм (2) и κаτοдοм (3), и блοκ (II) иницииρο- вания элеκτρичесκοгο ρазρяда, сοединенный сο сρедсτвοм (5) иницииροвания элеκτρичесκοгο ρазρяда, ο τ л и -15 between the anode (2) and the cathode (3), and the sources (10) installed outside the vacuum chamber (I) of the power supply, the electric power connected with the anoc (2) and the power supply (3), of an electric discharge connected to a medium (5 ) of the initiation of an electric discharge,
20 ч а юц и й с я τем, чτο сοдеρжиτ меχанизм (4) ποсτуπа- τельнοгο πеρемещения κаτοда οτнοсиτельнο анοдε, сοединен- ный с κаτοдοм (3), πρи эτοм сρедсτвο уπορядοчивания ποτοκа πлазмοοбρазующегο вещесτва выποлненο в виде гρуππы элеκτρи- чесκи нейτρальныχ эκρанοв (6,7), οдин из κοτορыχ заκρеπ-20 hours and minutes and to yuts I τem, chτο sοdeρzhiτ meχanizm (4) ποsτuπa- τelnοgο πeρemescheniya κaτοda οτnοsiτelnο anοdε, ny sοedinen- with κaτοdοm (3) πρi eτοm sρedsτvο uπορyadοchivaniya ποτοκa πlazmοοbρazuyuschegο veschesτva vyποlnenο as gρuππy eleκτρi- chesκi neyτρalnyχ eκρanοv ( 6.7), one of κ τ τ за за κ κ-
25 лен на анοде (2) вдοль наπρавления πеρемещения κаτοда (3), а дρугие усτанοвлены πеρπенциκуляρκο наπρавлению πе- ρемещения κаτοда (3) πο οбе сτοροны οτ анοца (2) и на ρас- сτοянии οτ негο, ρавнοм маκсимальнοй длине ( ι ) сτοлба элеκτρичесκοгο ρазρяда, πρи κοτοροм οбесπечиваеτся οднο-25 flax on the anode (2) along with the direction of the room for transferring the room (3), and others are set for the direction of the room for the room for returning the room (3) when there is no room for no ELECTRIC DISCHARGE, AND ONE IS PROVIDED IN ONE-
30 ροднοе вοздейсτвие на ποвеρχнοсτь κаτοда (3) κаτοцными πяτнами с заданнοй величинοй эροзии.30 One-way operation at the rear of the unit (3) Last but not least, with a predetermined erosion value.
5. Усτροйсτвο πο π.4, ο τ и ч а ющ е е с я τем, чτο сοдеρжиτ πο меньшей меρе οдин дοποлниτельный анοд (12), усτанοвленный в ваκуумнοй κамеρе (I) οτнοсиτельнο5. INSTRUCTIONS π.4, τ и и и и ем,,,,,,,, τ ρ ρ ο ο ο меньшей ο, дин дин дин дин дин дин дин дин ан ан ан ан 12 12 12 12 12
35 κаτοда (3) и οснοвнοгο анοда (2) в сοοτвеτсτвии с φορмοй и геοмеτρичесκими ρазмеρами κаτοда (3), и πο числу дοποл- ниτельныχ анοдοв (12) дοποлниτельные гρуππы элеκτρичесκи -14 - нейτρальныχ эκρанοв (15,16), в κаждοй из κοτορыχ οдин элеκτρичесκи нейτρальный эκρан (15) заκρеπлен на сοοτ- веτсτвующем дοποлниτельнοм анοде (12) вдοль наπρавления πеρемещения κаτοда (3), а дρугие усτанοвлены πеρπендиκу- 5 ляρнο наπρавлению πеρемещения κаτοда (3) πο οбе сτοροны οτ дοποлниτельнοгο анοда (12) и на ρассτοянии οτ негο, ρавнοм маκсимальнοй длине ( 1 ) сτοлба элеκτρичесκοгο ρазρяда.35 cathode (3) and basic anode (2) in accordance with the form factor and optional cathodic dimensions (3), and the number of optional modules (12) is optional -14 - neyτρalnyχ eκρanοv (15,16) in κazhdοy of κοτορyχ οdin eleκτρichesκi neyτρalny eκρan (15) on zaκρeπlen sοοτ- veτsτvuyuschem dοποlniτelnοm anοde (12) vdοl naπρavleniya πeρemescheniya κaτοda (3) and dρugie usτanοvleny πeρπendiκu- 5 lyaρnο naπρavleniyu πeρemescheniya κaτοda (3) In general, there is an optional anode (12) and at a distance of not equal to the maximum length (1) of the discharge terminal.
6. Усτροйсτвο πο π.5, ο τ л ич а ющ е е с я τем, Ю чτο сοдеρжиτ πο числу дοποлниτельныχ анοдοв (12) дοποл- ниτельные независимые исτοчниκи (13) πиτания, элеκτρи- чесκи связанные с сοοτвеτсτвующими дοποлниτельными анο- дами (12). 6. Conveniently available, item 5, which furthermore, includes a number of additional anodes (12), which is independent of the power supply. (12).
PCT/RU1994/000152 1994-05-24 1994-07-14 Method of producing an electrical discharge and a device for carrying out said method WO1995032517A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94017293 1994-05-24
RU94017293/10 1994-05-24

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1995032517A1 true WO1995032517A1 (en) 1995-11-30

Family

ID=20155783

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU1994/000152 WO1995032517A1 (en) 1994-05-24 1994-07-14 Method of producing an electrical discharge and a device for carrying out said method

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO1995032517A1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3452236A (en) * 1966-12-06 1969-06-24 Westinghouse Electric Corp High-pressure electric discharge lamp having magnetically actuable arc ignition means,and apparatus for starting such a lamp
FR2111561A5 (en) * 1970-10-20 1972-06-02 Atomic Energy Authority Uk
US4031424A (en) * 1971-09-07 1977-06-21 Telic Corporation Electrode type glow discharge apparatus
FR2358020A1 (en) * 1976-07-07 1978-02-03 Philips Nv DEVICE FOR CATHODIC SPRAYING AND METHOD FOR SPRAYING USING SUCH A DEVICE
GB2148329A (en) * 1983-09-12 1985-05-30 Vac Tec Syst Improved method and apparatus for evaporation arc stabilization including initial target cleaning

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3452236A (en) * 1966-12-06 1969-06-24 Westinghouse Electric Corp High-pressure electric discharge lamp having magnetically actuable arc ignition means,and apparatus for starting such a lamp
FR2111561A5 (en) * 1970-10-20 1972-06-02 Atomic Energy Authority Uk
US4031424A (en) * 1971-09-07 1977-06-21 Telic Corporation Electrode type glow discharge apparatus
FR2358020A1 (en) * 1976-07-07 1978-02-03 Philips Nv DEVICE FOR CATHODIC SPRAYING AND METHOD FOR SPRAYING USING SUCH A DEVICE
GB2148329A (en) * 1983-09-12 1985-05-30 Vac Tec Syst Improved method and apparatus for evaporation arc stabilization including initial target cleaning

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10076020B2 (en) Apparatus and method for plasma ignition with a self-resonating device
US6815633B1 (en) Inductively-coupled toroidal plasma source
US7166816B1 (en) Inductively-coupled torodial plasma source
Meek et al. Electrical breakdown of gases
CA2144834C (en) Method and apparatus for generating induced plasma
KR100212165B1 (en) Substrate coating device by chemical vapor deposition method
WO1982002906A1 (en) Consumable cathode for electric-arc evaporator of metal
CN109804454B (en) Plasma processing device and method for operating a plasma processing device
NL1032338C2 (en) DEVICE FOR GENERATING RADIATION THROUGH GAS DISCHARGE.
WO1992021171A1 (en) Coaxial pseudospark discharge switch
KR100210268B1 (en) Apparatus for coating a substrate from an electrically conductive target
JP5282120B2 (en) Method and apparatus for generating pulsed arc discharge for nanopowder synthesis
WO1998020513A1 (en) Charged particle source
US8173075B2 (en) Device for generation of pulsed corona discharge
EP0079932A4 (en) An Ion Source assembly.
JPS554957A (en) Gas type laser beam generator
JPH01502568A (en) Electric discharge equipment for magnetic pulse processing and welding of metals
RU2270491C2 (en) High-frequency neutron source such as neutralizer
US3798408A (en) Methods and devices for plasma production
WO1995032517A1 (en) Method of producing an electrical discharge and a device for carrying out said method
Rakhovsky Current density per cathode spot in vacuum arcs
EP0892983B1 (en) Gas discharge device
Harry et al. Production of a large volume discharge using a multiple arc system
US4214187A (en) Ion source producing a dense flux of low energy ions
KR102613232B1 (en) Plasma chamber using the chamber block possible plasma ignition

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): JP KR US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: CA

122 Ep: pct application non-entry in european phase