Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Харківський Фізико-Технічний Інститут, Харьковский физико-технический институтfiledCriticalХарківський Фізико-Технічний Інститут
Priority to UA4106775ApriorityCriticalpatent/UA14385A1/uk
Publication of UA14385A1publicationCriticalpatent/UA14385A1/uk
Пристрій для обробки підкладок у вакуумі містить підкладкотримач, робочу камеру, випарник електродуги, анод несамостійного газового розряду, джерело живлення випарника електродуги, регулятор температури підкладкотримача і оптично непрозорий екран, що розділяє робочу камеру на два відсіки. В одному з відсіків встановлений випарник електродуги, а в іншому - підкладкотримач. З метою спрощення конструкції як катод несамостійного газового розряду використаний катод випарника електродуги.
UA4106775A1986-08-041986-08-04Пристрій для обробки виробів у вакуумі
UA14385A1
(uk)