UA127201C2

UA127201C2 - SENSITIVE ELEMENT OF VIBRATING GYROSCOPE

Info

Publication number: UA127201C2
Application number: UAA201912076A
Authority: UA
Inventors: Валерій Валеріанович Чіковані; Валерий Валерианович Чиковани; Сергій Володимирович Головач; Володимир Костянтинович Автономов; Володимир Сергійович Скок; Роман Миколайович Редька
Original assignee: Акціонерне Товариство "Елміз"
Priority date: 2019-12-20
Filing date: 2019-12-20
Publication date: 2023-06-07

Abstract

Винахід належить до гіроскопічних датчиків кутової швидкості і кута обертання і може бути використаний в системах орієнтації, навігації, стабілізації та управління рухом. Заявлений чутливий елемент вібраційного гіроскопа містить основу з виступаючою частиною у вигляді ніжки та з щонайменше чотирма струмопроводами для обміну інформацією, резонатор у вигляді тонкостінного циліндра з верхнім робочим кільцем та отворами на ніжній частині його стінки, між якими прикріплені п’єзоелектроди збудження коливань та знімання інформації, ковпак для ізоляції порожнини, де знаходиться резонатор. При цьому всередині дна резонатора виконаний елемент кріплення резонатора до ніжки основи. Дно циліндричного резонатора виконано товще, ніж нижня частина стінки резонатора, а п’єзоелектроди, за кількістю щонайменше чотири, закріплені нижньою частиною до торця потовщеного дна резонатора та з’єднані струмопроводами з потовщеним дном резонатора. При цьому елемент кріплення резонатора до основи виконаний у вигляді циліндра із суцільним дном, де ніжка основи має циліндричну форму, діаметр якої менше діаметра елемента кріплення резонатора так, що між двома циліндрами кріплення утворений простір, який заповнений демпфуючим матеріалом для механічної ізоляції резонатора від основи, яка зовні має отвір, який одним або декількома повітряними каналами з'єднаний з внутрішньою частиною чутливого елемента і запаяний або закладений для збереження вакууму після відкачки повітря. Винахід полягає у підвищенні чутливості і точності вимірювання кутової швидкості при дії зовнішніх збурень.The invention belongs to gyroscopic sensors of angular velocity and angle of rotation and can be used in orientation, navigation, stabilization and motion control systems. The disclosed sensitive element of the vibration gyroscope contains a base with a protruding part in the form of a leg and with at least four current conduits for information exchange, a resonator in the form of a thin-walled cylinder with an upper working ring and holes on the lower part of its wall, between which piezo electrodes are attached to excite oscillations and remove information , a cap for insulating the cavity where the resonator is located. At the same time, an element for fastening the resonator to the base leg is made inside the bottom of the resonator. The bottom of the cylindrical resonator is made thicker than the lower part of the wall of the resonator, and the piezo electrodes, at least four in number, are fixed with the lower part to the end of the thickened bottom of the resonator and connected by current leads to the thickened bottom of the resonator. At the same time, the element of fastening the resonator to the base is made in the form of a cylinder with a solid bottom, where the leg of the base has a cylindrical shape, the diameter of which is smaller than the diameter of the element of fastening the resonator, so that a space is formed between the two fastening cylinders, which is filled with a damping material for the mechanical isolation of the resonator from the base. which externally has a hole that is connected to the inner part of the sensitive element by one or more air channels and is soldered or sealed to maintain a vacuum after pumping out the air. The invention consists in increasing the sensitivity and accuracy of angular velocity measurement under the influence of external disturbances.

Description

Винахід належить до гіроскопічних датчиків кутової швидкості і кута обертання, заснованим на виникненні сили Коріоліса, що діє на вібраційну структуру при її обертанні і може бути використаний в системах орієнтації, навігації, стабілізації та управління рухом.The invention belongs to gyroscopic sensors of angular velocity and angle of rotation, based on the emergence of the Coriolis force acting on a vibrating structure during its rotation and can be used in orientation, navigation, stabilization and motion control systems.

Відомі аналоги чутливих елементів вібраційних гіроскопів, що описані у патентах України (на корисну модель) Мо 22153 (501С 19/56), патент України Ме 79166 (501С 19/56), а також патентKnown analogues of sensitive elements of vibrating gyroscopes described in Ukrainian patents (for a useful model) Mo 22153 (501С 19/56), Ukrainian patent Me 79166 (501С 19/56), as well as patent

США Мо 7281425, в яких описані циліндричні резонатори з отворами на дні циліндра, а електроди кріпляться на спицях, утворених в результаті виконання отворів, при цьому дно циліндра та нижня частина його стінки має меншу товщину, ніж його обід. Недоліки цих технічних рішень полягають у тому, що дно резонатора має товщину значно (в 2-3 рази) менше, ніж його обід і при дії зовнішніх збурень таких, як удар і/або вібрація, що діють уздовж осі симетрії резонатора, важкий обід впливає на тонке дно резонатора, викликаючи його згинальні коливання, які призводять до згинальних коливань електродів збудження і знімання, закріплених на дні резонатора. Як наслідок цього з'являється великий сигнал перешкоди, що значно погіршує точність вимірювань кутової швидкості.US Mo 7281425, which describe cylindrical resonators with holes in the bottom of the cylinder, and the electrodes are mounted on spokes formed as a result of the holes, while the bottom of the cylinder and the lower part of its wall is less thick than its rim. The disadvantages of these technical solutions are that the bottom of the resonator has a thickness significantly (2-3 times) less than its rim and under the influence of external disturbances such as impact and/or vibration acting along the axis of symmetry of the resonator, the heavy rim affects on the thin bottom of the resonator, causing its bending vibrations, which lead to bending vibrations of the excitation and removal electrodes fixed on the bottom of the resonator. As a result, a large interference signal appears, which significantly impairs the accuracy of angular velocity measurements.

У патенті України Мо 97783 (501С 19/56), який автори вибрали за прототип були видалені електроди з тонкого дна і їх закріпили на стійках, на які зверху було посаджене важке кільце. В результаті цього утворився також циліндр з тонким дном, в центрі якого розташувався вузол кріплення резонатора до основи з ніжкою, виконаної у вигляді конуса, для того, щоб використовувати властивості методу конусної посадки. Однак кріплення конус в конус в даній конструкції має низку недоліків. По-перше, при конусній посадці площа зіткнення конусів мала, на рівні смуги шириною З мм, по-друге, в реальній конструкції площа зіткнення зменшувалася за рахунок похибок виготовлення конусів. В результаті цього резонатор нещільно сидів на ніжці і основне навантаження при фіксації резонатора на ніжці припадало на різьбу та головку гвинта, який фіксував резонатор на ніжці і при зовнішніх збуреннях резонатор зміщувався відносно ніжки, що призводило до похибок кутової швидкості. Крім цього, жорстке кріплення резонатора і ніжки сприяло передачі зовнішніх збурень на резонатор без демпфірування, а корисні коливання на резонансній частоті передавалися через ніжку на основу і далі на корпус приладу, зменшуючи добротність резонатора. У конструкції з тонким дном була також знижена чутливість електродів до деформацій резонатора, бо нижні та верхні кінці електродів при деформації місцяIn the Ukrainian patent No. 97783 (501С 19/56), which the authors chose as a prototype, the electrodes were removed from the thin bottom and they were fixed on racks, on which a heavy ring was placed on top. As a result, a cylinder with a thin bottom was also formed, in the center of which there was a node for attaching the resonator to the base with a leg made in the form of a cone, in order to use the properties of the conical landing method. However, cone-to-cone fastening in this design has a number of disadvantages. Firstly, with a conical fit, the contact area of the cones was small, at the level of a strip with a width of 3 mm, and secondly, in the real design, the contact area was reduced due to errors in the manufacture of the cones. As a result, the resonator sat loosely on the leg and the main load when fixing the resonator on the leg fell on the thread and the head of the screw, which fixed the resonator on the leg, and in case of external disturbances, the resonator shifted relative to the leg, which led to angular velocity errors. In addition, the rigid attachment of the resonator and the leg contributed to the transmission of external disturbances to the resonator without damping, and useful oscillations at the resonance frequency were transmitted through the leg to the base and further to the device body, reducing the Q factor of the resonator. In the design with a thin bottom, the sensitivity of the electrodes to the deformations of the resonator was also reduced, because the lower and upper ends of the electrodes during the deformation of the place

Зо кріплення електродів змішувалися в одну сторону, зменшуючи деформацію електродів, що призводило до помітного зменшення чутливості приладу до кутової швидкості.From the attachment of the electrodes, they were mixed in one direction, reducing the deformation of the electrodes, which led to a noticeable decrease in the sensitivity of the device to the angular velocity.

Перед авторами стояло завдання підвищення чутливості і точності вимірюванні кутової швидкості при дії зовнішніх збурень, таких як вібрації, удари та звукові збудження.The authors faced the task of increasing the sensitivity and accuracy of angular velocity measurement under the influence of external disturbances, such as vibrations, shocks, and sound excitation.

Поставлена задача вирішується тим, що чутливий елемент вібраційного гіроскопа, що містить резонатор у вигляді тонкостінного циліндра з отворами на ніжній частині його стінки, між якими кріпляться п'єзоелектроди збудження коливань та знімання інформації, а на дні резонатора виконаний конусоподібний пристрій кріплення резонатора до ніжки, дно циліндричного резонатора виконується значно товще, ніж нижня частина стінки резонатора так, що нижня частина п'єзоелектродів, за кількістю щонайменше чотири, покриває торець товстого дна резонатора, а струмопроводи з'єднуються з п'єзоелектродами в місці, де вони кріпляться до торця товстого дна, всередині товстого дна виконується пристрій кріплення резонатора до основи у вигляді циліндра меншого діаметра із суцільним дном та такою висотою, що центр циліндра меншого діаметра співпадає з центром ваги резонатора, основа має виступаючу частину, на кінці якої виконують відповідну циліндричну форму, діаметр якої менше діаметра пристрою кріплення резонатора так, що між двома циліндрами кріплення утворюється простір, який заповнюється демпфуючим матеріалом, для механічної ізоляції резонатора від основи, а основа має не менше, ніж чотири штирі для обміну інформацією з зовнішніми електронними блоками, а також зовні може мати отвір, який одним або декількома повітряними каналами з'єднується з внутрішньою частиною, де знаходиться резонатор і, який запаюється або закладається для збереження вакууму тривалий час, ковпак, що ізолює резонатор, п'єзоелектроди, струмопроводи і внутрішні частини штирів від зовнішнього середовища для забезпечення вакуумування порожнини, де знаходиться резонатор.The task is solved by the fact that the sensitive element of the vibrating gyroscope, which contains a resonator in the form of a thin-walled cylinder with holes on the lower part of its wall, between which piezoelectrodes for exciting oscillations and recording information are attached, and at the bottom of the resonator, a cone-shaped device for attaching the resonator to the leg is made, the bottom of the cylindrical resonator is made much thicker than the lower part of the wall of the resonator so that the lower part of the piezo electrodes, at least four in number, covers the end of the thick bottom of the resonator, and the current leads are connected to the piezo electrodes in the place where they are attached to the end of the thick bottom, inside the thick bottom, a device for attaching the resonator to the base is made in the form of a cylinder of smaller diameter with a solid bottom and such a height that the center of the cylinder of smaller diameter coincides with the center of gravity of the resonator, the base has a protruding part, at the end of which a corresponding cylindrical shape is made, the diameter of which is smaller diameter of the resonator mounting device so that a space is formed between the two mounting cylinders, which is filled with damping material, for mechanical isolation of the resonator from the base, and the base has at least four pins for exchanging information with external electronic units, and may also have a hole on the outside, which is connected by one or more air channels to the internal part where the resonator is located and which is sealed or laid to maintain a vacuum for a long time, a cap that isolates the resonator, piezo electrodes, current leads and internal parts of the pins from the external environment to ensure vacuuming of the cavity , where the resonator is located.

Для пояснення суті винаходу представлені наступні фігури: фіг. 1 а, б представляють тонкостінний циліндричний резонатор з товстим дном, отворами на нижній частині стінки циліндра, між якими розміщені п'єзоелектроди (а) та чутливий елемент (б) з тим же самим резонатором, закріпленим на основі та ізольованим від зовнішнього середовища ковпаком; на фіг. 2 а, б показані основа з виступаючою частиною, на кінці якої виконана циліндрична форма з розширенням до площини основи і маленькими отворами для забезпечення бо вакуумування (а) та зовнішнє дно основи (б);To explain the essence of the invention, the following figures are presented: fig. 1 a, b represent a thin-walled cylindrical resonator with a thick bottom, holes on the lower part of the cylinder wall, between which are placed piezo electrodes (a) and a sensitive element (b) with the same resonator fixed on the base and isolated from the external environment by a cap; in fig. 2 a, b show a base with a protruding part, at the end of which a cylindrical shape is made with an extension to the plane of the base and small holes to ensure vacuuming (a) and the outer bottom of the base (b);

фіг. З представляє ковпак, який охоплює усю верхню частину чутливого елемента та забезпечує утримання вакууму довгий час; на фіг. 4 представлений другий варіант виконання чутливого елемента з резонатором, закріпленим у вигляді гриба.fig. C represents the cap, which covers the entire upper part of the sensitive element and ensures vacuum retention for a long time; in fig. 4 shows the second version of the sensitive element with a resonator fixed in the form of a mushroom.

У резонаторі (фіг. 1 а), з робочим резонуючим кільцем 1 та електродами 2, розташованими на нижній частині стінки циліндра, необхідно мати товсте дно 3, для того, щоб при наклейці п'єзоелектродів 2 їх нижня частина була закріплена на торці товстого дна. У такого кріплення є дві переваги. По перше, воно призводить до збільшення деформації п'єзоелектродів порівняно з прототипом тому, що товстий торець дна практично не переміщається і утримує від переміщення нижні кінці п'єзоелектродів, а верхні кінці п'єзоелектродів, що розташовані під робочим верхнім кільцем, переміщуються на максимальну амплітуду, збільшуючи деформацію п'єзоелектродів і, отже, призводить до зростання сигналу, що знімається з електродів і, як наслідок, до збільшення чутливості до деформації, викликаної кутовою швидкістю. По друге, при з'єднанні струмопроводів 4 (фіг. 1. б) з п'єзоелектродами 2 на їх нижніх кінцях, де електроди практично не переміщуються, мінімізується шкідливий момент сил, діючий від струмопроводу на резонатор, що призводить до зменшення гальмуючих сил, що діють на резонатор, тобто до збільшення добротності резонатора і, як наслідок, до збільшення його чутливості і точності. В середині товстого дна виконується пристрій кріплення резонатора до основи у вигляді циліндра 5 (фіг. 1, а та б) із суцільним дном, діаметр якого менше діаметра верхнього робочого кільця 1.In the resonator (Fig. 1 a), with a working resonating ring 1 and electrodes 2 located on the lower part of the cylinder wall, it is necessary to have a thick bottom 3, so that when piezo electrodes 2 are glued, their lower part is fixed on the end of the thick bottom . This attachment has two advantages. Firstly, it leads to an increase in the deformation of the piezo electrodes compared to the prototype, because the thick end of the bottom practically does not move and keeps the lower ends of the piezo electrodes from moving, and the upper ends of the piezo electrodes, which are located under the working upper ring, move to the maximum amplitude, increasing the deformation of the piezo electrodes and, therefore, leads to an increase in the signal removed from the electrodes and, as a result, to an increase in sensitivity to the deformation caused by the angular velocity. Secondly, when the current conductors 4 (Fig. 1.b) are connected to the piezo electrodes 2 at their lower ends, where the electrodes practically do not move, the harmful moment of forces acting from the current conductor to the resonator is minimized, which leads to a decrease in braking forces, that act on the resonator, that is, to increase the Q factor of the resonator and, as a result, to increase its sensitivity and accuracy. In the middle of the thick bottom, a device for attaching the resonator to the base is made in the form of a cylinder 5 (Fig. 1, a and b) with a solid bottom, the diameter of which is smaller than the diameter of the upper working ring 1.

Висота циліндра 5 виконується такою, що центр циліндра кріплення 5 співпадає з центром ваги всього циліндричного резонатора, що представлений на фіг. 1 а. Таке кріплення не викликає виникнення додаткових моментів сил при дії зовнішніх збурень.The height of the cylinder 5 is such that the center of the mounting cylinder 5 coincides with the center of gravity of the entire cylindrical resonator shown in Fig. 1 a. Such fastening does not cause the emergence of additional moments of force under the action of external disturbances.

Дійсно, зовнішні механічні збурюючі сили, що діють на прилад, концентруються в точці підвісу циліндричного резонатора і, якщо центр мас резонатора не збігається з точкою підвісу, виникає момент сил, який спрямований на розворот резонатора щодо ніжки, викликаючи деформацію чутливого елемента, що призводить до зміни зміщення нуля, напрямку осі чутливості і значення масштабного коефіцієнта, а, отже до зниження точності вимірювань при роботі в умовах дії зовнішніх механічних збурень.Indeed, the external mechanical disturbing forces acting on the device are concentrated at the point of suspension of the cylindrical resonator and, if the center of mass of the resonator does not coincide with the point of suspension, a moment of force appears, which is aimed at turning the resonator relative to the leg, causing deformation of the sensitive element, which leads to changes in the offset of the zero, the direction of the sensitivity axis and the value of the scale factor, and, therefore, to a decrease in the accuracy of measurements when working under the influence of external mechanical disturbances.

Основа, що представлена на фіг. 2 а, має виступаючу частину у вигляді ніжки, на кінці якоїThe base shown in fig. 2 a, has a protruding part in the form of a leg, at the end of which

Зо виконують відповідну циліндричну форму 7, діаметр якої менше діаметра пристрою кріплення 5 (фіг. 1 б) резонатора до основи так, що між двома циліндрами кріплення утворюється простір 6 (фіг. 1 б), який заповнюється демпфуючим матеріалом, для механічної ізоляції резонатора від основи. Демпфуючий матеріал у даному випадку буде фіксувати резонатор до основи та одночасно виконувати роль демпфуючої втулки. Як демпфуючий матеріал можуть бути використані, наприклад, припої на основі сплавів індію, сплавів вісмуту, срібла або полімери, такі як поліуретанова піна або інші полімери.They make a suitable cylindrical shape 7, the diameter of which is smaller than the diameter of the device for fastening 5 (Fig. 1 b) of the resonator to the base so that a space 6 (Fig. 1 b) is formed between the two fastening cylinders, which is filled with a damping material for mechanical isolation of the resonator from foundations. The damping material in this case will fix the resonator to the base and at the same time act as a damping sleeve. As a damping material can be used, for example, solders based on indium alloys, bismuth alloys, silver or polymers such as polyurethane foam or other polymers.

Основа має не менше, ніж чотири струмопровідних штиря 8 (фіг. 2 а, б) для обміну інформацією з зовнішніми електронними блоками, а також зовні може мати отвір 9 (фіг. 2 б), який одним або декількома повітряними каналами, що виконані всередині матеріалу основи, виходи яких 10 показані на фіг. 2 а, забезпечують повітряне з'єднання з внутрішньою частиною чутливого елемента, де знаходиться резонатор. Отвір 9 (фіг. 2 б) запаюється або закладається для збереження вакууму тривалий час, після відкачки повітря.The base has no less than four conductive pins 8 (Fig. 2 a, b) for exchanging information with external electronic units, and can also have an opening 9 (Fig. 2 b) on the outside, which can be opened by one or more air channels made inside base material, the outputs of which 10 are shown in fig. 2 a, provide an air connection with the inner part of the sensitive element, where the resonator is located. Hole 9 (Fig. 2 b) is sealed or laid to maintain a vacuum for a long time, after pumping out the air.

Верхня частина чутливого елемента, що складається з резонатора, п'єзоелектродів, струмопроводів і внутрішніх частин штирів, закривається ковпаком (фіг. 3), який забезпечує ізоляцію від зовнішнього середовища для того, щоб можливо було вакуумування порожнини, де знаходиться резонатор, через отвір 9 (фіг. 2 б), шляхом з'єднання його з відкачним постом. Таке вакуумування забезпечує зростання добротності резонатора і, як наслідок, зростання чутливості датчика до кутових швидкостей, а також до зростання точності вимірювання кутової швидкості.The upper part of the sensitive element, which consists of a resonator, piezo electrodes, current leads and the inner parts of the pins, is closed by a cap (Fig. 3), which provides isolation from the external environment so that it is possible to vacuum the cavity where the resonator is located, through hole 9 (Fig. 2 b), by connecting it to the pumping station. Such vacuuming provides an increase in the Q-factor of the resonator and, as a result, an increase in the sensitivity of the sensor to angular velocities, as well as an increase in the accuracy of measuring the angular velocity.

Слід відмітити, що на фіг. З ковпак представлений у вигляді циліндра тільки як приклад. Ковпак може бути виконаний у вигляді паралелепіпеда, призми, піраміди, зрізаної піраміди та інших геометричних фігур, що дозволяють забезпечити ізолювання резонатора від зовнішнього середовища для забезпечення вакуумування.It should be noted that in fig. The cap is shown as a cylinder only as an example. The cap can be made in the form of a parallelepiped, a prism, a pyramid, a truncated pyramid and other geometric shapes, which allow you to isolate the resonator from the external environment to ensure vacuuming.

Фіг. 4 представляє чутливий елемент, де резонатор кріпиться на основі у вигляді гриба, а не чашки, як було представлено на фіг. 1 б. Таке кріплення доцільно в разі, коли високий і товстий обід значно важче дна і центр ваги резонатора занадто високо розташований над основою, збільшуючи, тим самим, вплив бічних вібрації і ударів на точність вимірювання кутової швидкості.Fig. 4 shows a sensitive element where the resonator is mounted on a mushroom base instead of a cup as shown in FIG. 1 b. Such mounting is advisable in the case when the high and thick rim is much heavier than the bottom and the center of gravity of the resonator is located too high above the base, thereby increasing the influence of lateral vibration and shocks on the accuracy of angular velocity measurement.

Пропонований чутливий елемент має низьку чутливість до зовнішніх збурень типу вібрацій і ударів та звукових збуджень, за рахунок того, що пристрій кріплення, по-перше, має значно бо більшу площину дотику, ніж у кріпленні прототипу, по друге, у пропонованому чутливому елементі з'єднання резонатора до основи виконується через демпфуючий матеріал. Крім цього, кріплення п'єзоелектродів так, що їх нижня частина з'єднується з торцем товстого дна, який практично не переміщується, призводить до зростання деформації п'єзоелектродів і, відповідно до зростання чутливості до кутової швидкості порівняно з прототипом, а з'єднання струмопроводів з п'єзоелектродами у місці, де він кріпиться до нерухомого торця, не викликає додаткових гальмуючих моментів сил, що діють на резонатор. Останнє призводить до зростання добротності і, як наслідок, до зростання чутливості і точності.The proposed sensitive element has a low sensitivity to external disturbances such as vibrations and shocks and sound excitations, due to the fact that the mounting device, firstly, has a much larger contact plane than in the mounting of the prototype, and secondly, in the proposed sensitive element with the resonator is connected to the base through a damping material. In addition, mounting the piezo electrodes so that their lower part is connected to the end of the thick bottom, which practically does not move, leads to an increase in the deformation of the piezo electrodes and, accordingly, to an increase in sensitivity to angular velocity compared to the prototype, and the connection current leads with piezo electrodes in the place where it is attached to the fixed end does not cause additional braking moments of the forces acting on the resonator. The latter leads to an increase in Q-factor and, as a result, to an increase in sensitivity and accuracy.

Таким чином, показано досягнення мети винаходу - підвищення чутливості і точності чутливого елемента при дії зовнішніх збурень.Thus, the achievement of the goal of the invention is shown - increasing the sensitivity and accuracy of the sensitive element under the action of external disturbances.

Claims

FORMULA OF THE INVENTION A sensitive element of a vibrating gyroscope, containing a base with a protruding part in the form of a leg, a resonator in the form of a thin-walled cylinder with an upper working ring and holes on the lower part of its wall, between which are attached piezo electrodes (2) for excitation of oscillations and removal of information, a cap to isolate the cavity of the element where the resonator is located, while in the center of the bottom (3) of the resonator, there is an element of fastening (4) of the resonator to the leg of the base, which differs in that the bottom (3) of the cylindrical resonator has a thickness greater than the thickness of the wall of the resonator, and piezoelectrodes (2), at least four in number, are fixed with the lower part to the end of the thickened bottom of the resonator and are connected by current leads to the thickened bottom of the resonator, while the element of fastening the resonator to the base is made in the form of a cylinder with a solid bottom (4), and the leg of the base has the shape of a cylinder, the diameter of which is smaller than the diameter of the resonator mounting element, with the formation of a space between the two cylinders, which is filled with a damping material for mechanical isolation of the resonator from the base, on which at least four current conductors (5) are installed for information exchange, and a hole is made, which connected to the inner part of the sensitive element by one or more air channels and soldered or laid to maintain a vacuum after pumping out the air. 4 and 4 xx m Ох х р х х A КК п ж х TIM v | claim 0» Z Z | z o u 6 Z a b

Fig. 1

7 10 5

M. Y and / ! Directed by At 00 B -

p. her " b

Fig. 2

Fig. WITH