UA117402C2 - Пристрій для гасіння дуг в електронній гарматі - Google Patents
Пристрій для гасіння дуг в електронній гарматіInfo
- Publication number
- UA117402C2 UA117402C2 UAA201611370A UAA201611370A UA117402C2 UA 117402 C2 UA117402 C2 UA 117402C2 UA A201611370 A UAA201611370 A UA A201611370A UA A201611370 A UAA201611370 A UA A201611370A UA 117402 C2 UA117402 C2 UA 117402C2
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- nominal value
- signal
- node
- coil
- circuit
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/98—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/02—Details
- H01J2237/0203—Protection arrangements
- H01J2237/0206—Extinguishing, preventing or controlling unwanted discharges
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/06—Sources
- H01J2237/063—Electron sources
- H01J2237/06325—Cold-cathode sources
- H01J2237/06366—Gas discharge electron sources
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/31—Processing objects on a macro-scale
- H01J2237/3132—Evaporating
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Emergency Protection Circuit Devices (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
Винахід стосується пристрою (1) для гасіння дуг в електронній гарматі (2), який включає в себе такі частини: перший вузол (3); другий вузол (4), який включає в себе придатну для напруги щонайменше 10 кВ котушку (5), а також щонайменше один гасильний діод (6), який підключається паралельно до котушки (5); третій вузол (7) для виявлення дуг, який складається з першого елемента схеми (8), за допомогою якого визначається перша номінальна величина для електричної напруги і виробляється перший сигнал, якщо перше номінальне значення не досягає рівня першої заданої величини, другого елемента схеми (9), за допомогою якого встановлюється друга номінальна величина для електричного струму і виробляється другий сигнал, якщо друге номінальне значення перевищує другу задану величину, а також логічного елемента, за допомогою якого можуть поєднуватись перший та другий сигнали на вибір, і залежно від цього вироблятись вихідний сигнал напівпровідникового комутатора (12), розрахованого на високу напругу у щонайменше 10 кВ, який відкривається при створенні вихідного сигналу.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102015119455.4A DE102015119455B3 (de) | 2015-11-11 | 2015-11-11 | Vorrichtung zum Unterdrücken von Arcs in einem Elektronenstrahlerzeuger |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
UA117402C2 true UA117402C2 (uk) | 2018-07-25 |
Family
ID=57231822
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
UAA201611370A UA117402C2 (uk) | 2015-11-11 | 2016-11-10 | Пристрій для гасіння дуг в електронній гарматі |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9875874B2 (uk) |
DE (1) | DE102015119455B3 (uk) |
UA (1) | UA117402C2 (uk) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3117511B1 (de) * | 2014-04-25 | 2020-12-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur erkennung eines zusammenbruchs einer spannung |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3442252A (en) * | 1965-07-22 | 1969-05-06 | Varian Associates | High voltage d.c. converter cathode supply circuit having means for controlling the voltage to the cathode |
US5177402A (en) | 1992-01-03 | 1993-01-05 | Etec Systems, Inc. | Arc suppressor for electron gun |
CH689767A5 (de) * | 1992-03-24 | 1999-10-15 | Balzers Hochvakuum | Verfahren zur Werkstueckbehandlung in einer Vakuumatmosphaere und Vakuumbehandlungsanlage. |
US5347571A (en) * | 1992-10-06 | 1994-09-13 | Picker International, Inc. | X-ray tube arc suppressor |
US6524455B1 (en) * | 2000-10-04 | 2003-02-25 | Eni Technology, Inc. | Sputtering apparatus using passive arc control system and method |
US7663319B2 (en) * | 2004-02-22 | 2010-02-16 | Zond, Inc. | Methods and apparatus for generating strongly-ionized plasmas with ionizational instabilities |
WO2006047564A2 (en) * | 2004-10-25 | 2006-05-04 | Epion Corporation | Method and apparatus for arc suppression in scanned ion beam processing equipment |
US7507977B2 (en) * | 2006-03-14 | 2009-03-24 | Axcelis Technologies, Inc. | System and method of ion beam control in response to a beam glitch |
GB2437080B (en) * | 2006-04-11 | 2011-10-12 | Hauzer Techno Coating Bv | A vacuum treatment apparatus, a bias power supply and a method of operating a vacuum treatment apparatus |
US20140091060A1 (en) * | 2012-09-28 | 2014-04-03 | Arc Suppression Technologies | Arc suppression control and methods therefor |
EP2963145B1 (en) * | 2014-06-30 | 2018-01-31 | IHI Hauzer Techno Coating B.V. | Coating and method for its deposition to operate in boundary lubrication conditions and at elevated temperatures |
-
2015
- 2015-11-11 DE DE102015119455.4A patent/DE102015119455B3/de active Active
-
2016
- 2016-11-02 US US15/341,699 patent/US9875874B2/en active Active
- 2016-11-10 UA UAA201611370A patent/UA117402C2/uk unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102015119455B3 (de) | 2016-11-24 |
US9875874B2 (en) | 2018-01-23 |
US20170133191A1 (en) | 2017-05-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
MX2018008397A (es) | Circuitos limitados de corriente. | |
EP4358330A3 (en) | Solid-state line disturbance circuit interrupter | |
TR201910884T4 (tr) | Devre kesici şalter. | |
ZA201903010B (en) | Low-voltage circuit breaker device | |
TW201612673A (en) | Device and method for generating bandgap reference voltage | |
ZA201901461B (en) | Circuit breaker | |
KR20130055499A (ko) | 단락 검출 회로 및 단락 검출 방법 | |
PH12018550199A1 (en) | Energy harvesting apparatus and current control circuit | |
TWM490688U (en) | Output short circuit protecting device | |
TW201614405A (en) | Voltage generating circuit | |
GB2568643A (en) | Fuse state sensing circuits, devices and methods | |
WO2016122977A3 (en) | Low dropout regulator bleeding current circuits and methods | |
CA2991433C (en) | Interrupter device for interrupting a direct current | |
WO2014138693A3 (en) | Low threshold voltage comparator | |
WO2018104440A3 (de) | Schaltschrank mit schutzschalteinrichtung | |
WO2017011547A8 (en) | Switching circuits having multiple operating modes and associated methods | |
GB2577794A8 (en) | Voltage detector system | |
IN2014CH02031A (uk) | ||
MX2018006573A (es) | Circuito de deteccion de puesto neutro a tierra e interruptor de circuito que incluye el mismo. | |
TR201910355T4 (tr) | Doğru akımın galvanik olarak kesilmesi için ayırma şalteri. | |
MX2017016812A (es) | Circuito de generacion de voltaje piloto de alta precision aislado y equipo de suministro de vehiculo electrico que incluye el mismo. | |
WO2014115017A3 (en) | Inverter | |
UA117402C2 (uk) | Пристрій для гасіння дуг в електронній гарматі | |
MX2020001192A (es) | Aparato y método para la protección contra arcos eléctricos en sistemas de energía eléctrica. | |
WO2017202569A3 (de) | Primärgetaktetes schaltnetzeil |