UA106012C2 - Импульсный электродинамический клапан - Google Patents

Abstract

Импульсный электродинамический клапан расположен внутри корпуса вакуумной камеры и содержит: электромагнитную катушку, которая примыкает вакуумно-плотно к торцу вакуумной камеры; опорный элемент, выполненный в виде стакана с отбортованным от оси торцом, запорный орган цилиндрической формы с отбортованным от оси торцом, на котором расположены два кольцевых выступа. Кроме этого, в боковой стенке запорного органа выполнены отверстия, а в отбортованном торце опорного элемента – каналы для напуска газа в рабочий объем вакуумной камеры. Для увеличения объема напускного газа в рабочий объем вакуумной камеры в газовой полости размещен толкатель в виде стакана, масса которого в 2-4 раза больше массы запорного органа. Торец толкателя, противоположный его дну, примыкает к неотбортованному торцу запорного органа. Дно толкателя внешней поверхностью обращено к электромагнитной катушке и имеет отверстие, через которое проходит осевой шток, диаметр которого на 0,2-0,4 мм меньше диаметра этого отверстия. Часть дна толкателя возле осевого штока выгнута в сторону дна опорного элемента, с образованием дополнительной газовой полости, в которую выходит отверстие в боковой стенке осевого штока.