TWI845528B - 維護模式供電系統 - Google Patents

Abstract

揭示用於控制至電漿處理設備的電壓位準之雙模式供電裝置。雙模式供電裝置包含電源連接器和控制電路。電源連接器連接至第一電壓電源或第二電壓電源。控制電路連接在電源連接器之輸出與電漿處理設備的第一和第二電壓子系統之間。在電漿處理設備的第一操作模式中，控制電路基於第一電壓電源向第一電壓子系統提供第一電壓。在電漿處理設備之第二操作模式中，控制電路基於第二電壓電源向第二電壓子系統提供第二電壓。

Description

維護模式供電系統

[相關申請案]本申請案主張於2018年7月25日提交的美國專利申請案第16 / 045,644號之優先權，其全部內容以引用的方式併入本文中。

本申請案總體上有關供電系統的技術領域，且在諸多實施例中，有關用於給電漿處理設備供電和維護之雙模式供電系統。

半導體處理系統大致上用於處理製作積體電路用的半導體晶圓。例如，電漿增強之半導體製程通常用於蝕刻、氧化、和化學氣相沉積(CVD)。電漿增強的半導體製程典型藉著電漿處理系統來執行，且大致上包括電漿處理腔室，以提供控制下之設定。

傳統的電漿處理腔室通常包括靜電卡盤(ESC)，以將晶圓(例如，矽晶圓或基板)固持在適當位置中供處理。靜電卡盤利用靜電力將晶圓夾持到卡盤。傳統之電漿處理系統包括電漿處理腔室、射頻(RF)電源、和靜電卡盤電源。

於一示範實施例中，雙模式供電裝置包括電源連接器和控制電路。電源耦接至第一電壓電源或第二電壓電源的其中一者。控制電路耦接在電源連接器之輸出與電漿處理設備的第一和第二電壓子系統之間。於電漿處理設備的第一操作模式中，控制電路基於第一電壓電源向第一電壓子系統提供第一電壓。在電漿處理設備之第二操作模式中，控制裝置基於第二電壓電源向第二電壓子系統提供第二電壓。

在另一示範實施例中，第一操作模式包括使用第一電壓的電漿處理設備之操作模式。第二模式包括使用第二電壓的電漿處理設備之維護模式。操作模式建構為處理設置於電漿處理設備的腔室中之晶圓。維護模式建構為測試電漿處理設備的部件。

在另一示範實施例中，控制電路偵測第一電壓，在操作模式中將第一電壓提供至第一電壓子系統，將第一電壓轉換為第二電壓，並於操作模式中將第二電壓提供至第二電壓子系統。

在另一示範實施例中，電源連接器包括單一輸入連接器，其建構為接收第一電壓電源或第二電壓電源之其中一者。

於另一示範實施例中，控制電路包含第一電路和第二電路。第一電路連接在電源連接器之輸出和第一電壓子系統的輸入之間。第二電路連接於電源連接器之輸出和第二電壓子系統的輸入之間。

在另一示範實施例中，第二電路包含保險絲、初級防突波電路、次級防突波電路、湧流保護電路、直流(DC)至DC轉換器、第一模式電路、和基於二極體的開關電路。保險絲提供作為無源故障電流保護。初級防突波電路建構為回應於在第二電路上偵測到藉由第一電壓電源所產生之第一電壓而觸發。次級防突波電路耦接至初級防突波電路。次級防突波電路建構為回應於初級防突波電路無法操作而觸發保險絲。湧流保護電路耦接至初級和次級防突波電路。湧流保護電路限制來自初級和次級防突波電路的電流。DC至DC轉換器耦接至保險絲並將第一電壓轉換成第二電壓。第一模式電路耦接至初級防突波電路。第一模式電路回應於偵測藉由第一電壓電源所產生之第一電壓來使初級防突波電路失效。基於二極體的開關電路耦接至湧流保護電路和DC / DC轉換器。基於二極體之開關電路在湧流保護電路之輸出和DC / DC轉換器的輸出之間進行選擇。

於另一示範實施例中，保險絲建構為使至第二電路的電力失效。在另一示範實施例中，保險絲建構為使至維護電壓路徑之電力失效，使維護電壓路徑由初級防突波電路、次級防突波電路、和湧流保護電路所形成。

於另一示範實施例中，初級防突波電路包括以下的至少一者：具有自動重啟之基於自舉電流(bootstrap current)的突波抑制器、不具有自動重啟之基於自舉電流的突波抑制器、複數浮動閘極、帶接地參考控制電路之耗盡模式通道元件、耗盡模式通道元件、或機械式繼電器。

在另一示範實施例中，次級防突波電路包括箝位電路、分流穩壓器、或分流電晶體開關的至少一者。

於另一示範實施例中，DC-DC轉換器之輸出用於使初級防突波電路或湧流保護電路失效。

在另一示範實施例中，次級防突波電路的輸出用於使初級防突波電路或湧流保護電路失效。

在另一示範實施例中，回應於與第一電壓電源之第一電壓對應的輸入電壓，使用在保險絲之輸入電壓來關掉初級防突波電路。

於另一示範實施例中，雙模式供電裝置更包含RF濾波器和開關。RF濾波器設置在電源連接器的輸出和控制電路之間。RF濾波器過濾來自第一電壓電源的信號。開關耦接至第一電壓電源和第二電壓電源。開關於第一操作模式中將第一電壓電源連接至控制電路，並在第二操作模式中將第二電壓電源連接至控制電路。

於另一示範實施例中，第一電壓大於300伏特，其中第二電壓小於15伏特。

隨後之敘述包括體現說明性實施例的說明性系統、方法、技術、指令順序、和計算機器程式產品。於下面之敘述中，出於解釋之目的，闡述許多具體細節，以便提供對發明主題之諸多實施例的理解。然而，對於本領域技術人員而言將顯而易見的是，可在沒有這些具體細節之情況下實踐本發明主題的實施例。大致上，沒有詳細地顯示眾所周知之指令實例、協議、結構、和技術。

本揭示內容敘述雙模式供電裝置，用於控制至電漿處理設備(例如，用於處理晶圓的電漿處理腔室)之電壓位準。按照慣例，在電漿處理設備中，分開的電源連接器和配線用於維護模式(低電壓)和正常操作模式(高電壓)。因此，電漿處理設備可包括：第一電源輸入連接器，其連接至用於高電壓電力之第一組電線；及第二電源輸入連接器，其連接至用於低電壓電力的第二組電線。藉由利用電漿處理腔室中之有限的物理空間，額外之配線(來自結合的第一組和第二組電線及結合之第一和第二電源輸入連接器)增加電漿處理設備的物理複雜性。額外之配線亦可使設置在電漿處理腔室和電源輸入連接器之間的RF濾波器之性能降級。因為ESC和電源輸入連接器之間的RF濾波部件，可為難以合併分開之低電壓電線和連接器。來自RF濾波器的RF饋電棒利用額外之空間來敷設這些額外的電線。再者，如果絕緣故障造成高電壓洩漏至低電壓電線，則電漿處理設備之維護技術人員亦可暴露至低電壓連接器上的高電壓。

本揭示內容敘述雙模式控制電路，其能夠以更安全之低電壓電力而不是於正常操作期間所供應的高電壓電力來測試安裝在電漿處理腔室之ESC區域中的低電壓子系統(例如，加熱器元件)。於維護模式期間，低電壓使用相同之電線和連接器連接至單一電源連接器。這樣，可將相同的電源連接器連接至高電壓電源或低電壓電源之任一者。在一示範實施例中，開關可將高電壓電源和低電壓電源耦接至相同的電源連接器。開關可因此於高電壓電源或低電壓電源之間切換。

雙模式控制電路為正常的操作將高電壓提供至高電壓子系統(例如，天線線圈、加熱器元件、ESC)，並經過模式切換控制，在維護模式期間提供安全之低電壓。雙模型控制電路偵測維護模式所期望的低電壓，並以低電壓對電漿處理腔室之低電壓電源子系統供電。當控制電路在正常操作所期望的單一電源連接器處偵測到高電壓時，藉由將高電壓轉換為低電壓並藉由將低電壓提供至低電壓電源子系統，控制電路防止高電壓抵達電漿處理腔室之低電壓電源子系統。

圖1A為根據示範實施例的方塊圖，描述包含電漿腔室系統110之配置100，所述電漿腔室系統110具有連接至高電壓電源102的(單一)電源連接器105。高電壓電線101將高電壓電源102連接至電源連接器105之輸入。高電壓電源102建構為產生高電壓電源(例如，大於300伏特)。低電壓電源104連接至低電壓電線103。電源連接器105的輸入可為僅物理地連接至電線101或103之其中一者。圖1A說明僅連接至高電壓電源102而不是低電壓電源104的電源連接器105。因此，高電壓電線101物理地插入電源連接器105之輸入。為了切換電壓供應，電漿腔室系統110的操作者或使用者將從電源連接器105之輸入手動地拔下高電壓電線101，並將低電壓電線103手動地插入電源連接器105的輸入。

在另一示範實施例中，高電壓電源102和低電壓電源104兩者連接至開關(未示出)，所述開關連接至電源連接器105之輸入。開關將高電壓電源102或低電壓電源104連接至電源連接器105的輸入。

電漿腔室系統110包括RF濾波器106、雙模式控制電路108、高電壓電力子系統112、和低電壓電力子系統114。RF濾波器106連接至電源連接器105之輸出，並過濾來自藉由高電壓電源102所產生的高電壓電力之射頻。RF濾波器106的輸出連接至雙模控制電路108。

雙模式控制電路108偵測來自電源連接器105之高電壓電力，並將高電壓電力提供至高電壓電力子系統112。於另一示範實施例中，雙模式控制電路108偵測來自電源連接器105的高電壓電力，將高電壓電力轉換為低電壓電力，並將低電壓電力提供至低電壓電力子系統114。

雙模式控制電路108基於電漿腔室系統110之操作模式來控制是否向高電壓電力子系統112或向低電壓電力子系統114提供高電壓電力或低電壓電力。譬如，雙模式控制電路108能夠在正常操作模式下將高電壓電力提供至高電壓電力子系統112。高電壓電力子系統112包括高電壓部件，其能夠使電漿腔室系統110用電漿處理晶圓。例如，高電壓部件包括線圈、加熱器元件、和ESC。正常操作模式包括適合於給高電壓電力子系統112的高電壓部件供電以用電漿處理晶圓之模式。

雙模式控制電路108亦能夠使低電壓電力在維護模式中提供至低電壓電力子系統114。低電壓電力子系統114包括用於測試和校準低電壓分量的低電壓部件。例如，低電壓部件包括電漿腔室系統110之腔室中的加熱器控制電路和加熱器元件。維護模式包括例如適合於對低電壓電力子系統114之低電壓部件供電和測試的模式。在一示範實施例中，高電壓電力子系統112和低電壓電力子系統114共享一些相同的元件(例如，加熱器控制電路、加熱器元件)，其在正常操作模式和維護模式分別用於不同目的。於在另一範例中，來自低電壓電力子系統114之元件不同於來自高電壓電力子系統112的元件。

圖1B係方塊圖，描述根據示範實施例之包含電漿腔室系統110的配置150之方塊圖，所述電漿腔室系統110具有連接至低電壓電源104(而不是高電壓電源102)的(單一)電源連接器105。低電壓電線103將低電壓電源104連接至電源連接器105之輸入。低電壓電源104建構為產生低電壓電源(例如，小於15伏特)。

雙模式控制電路108偵測來自電源連接器105的低電壓電力，並將低電壓電力提供至低電壓電力子系統114。在一示範實施例中，當雙模式控制電路108偵測到低電壓電力時，雙模式控制電路108決定維護模式(基於測量低電壓電力)，且不會向高電壓電力子系統112提供任何電力。

圖2係描述雙模式控制電路108之示範實施例的方塊圖。雙模式控制電路108包括高電壓電路205和低電壓電路206。在正常操作模式期間，高電壓電路205將高電壓電力從高電壓電源102(經由RF濾波器106之輸出)提供至高電壓電力子系統112。低電壓電路206於正常工作模式下保護低電壓電力子系統114免受高電壓電力的影響。在維護模式期間，低電壓電路206(經由RF濾波器106之輸出)將低電壓電源104連接至低電壓電力子系統114。

於一示範實施例中，低電壓電路206包括保險絲208、第一低電壓路徑223、和第二低電壓路徑224。保險絲208建構為當在低電壓電路206上偵測到高電壓電力時斷開電路。於一示範實施例中，從第一低電壓路徑223和第二低電壓路徑224兩者移除高電壓電力。在另一示範實施例中，從第二低電壓路徑224移除高電壓電力，同時高電壓電力可流經第一低電壓路徑223至DC / DC轉換器210。

於另一示範實施例中，二極體或電路可用於向高和低電壓子系統兩者提供低維護模式輸入電壓。分開的高電壓電線和低電壓電線必須穿過濾波器，直至二極體電路。因此，濾波器106將具有高電壓和低電壓輸入和輸出兩者。

第一低電壓路徑223包括DC至DC轉換器210和基於二極體之切換電路218。DC至DC轉換器210將高電壓電力轉換為低電壓電力。在一示範實施例中，DC至DC轉換器210包括輸入電壓監控、過電流保護、和可程式化輸出電壓特徵。基於二極體的切換電路218包括切換電路(例如，基於低損耗二極體之切換電路)，其自動地選擇第一低電壓路徑223的輸出或第二低電壓路徑224之輸出的任一者，以向低電壓電力子系統114提供低電壓電力。

第二低電壓路徑224包括初級防突波電路212、次級防突波電路214、和湧流保護電路216。初級防突波電路212連接至保險絲208。初級防突波電路212在三種模式下操作：(1)其在維護模式下提供低電壓且損耗低；(2)其將中間電壓調低至更安全之較低電壓；(3)於正常操作期間，當存在高電壓時，它會關掉。於一示範實施例中，初級防突波電路212包括基於自舉電流的突波抑制器(例如，具有來自輸入電壓故障之自動重啟的整合浮動電荷泵閘極電壓產生器)。在其他示範實施例中，初級防突波電路212包括沒有自動重啟之整合浮動電荷泵閘極電壓產生器、分開的浮動閘極電壓產生器、過電壓比較器、電壓調整電路、帶有接地參考控制電路之耗盡模式N或P溝道FET或PNP通道元件、耗盡模式FET通道元件、機械式繼電器。

次級防突波電路214包括箝位電路，如果初級防突波電路212發生故障，則箝位電路汲取足夠大的電流以觸發保險絲208。於其他示範實施例中，次級防突波電路214之輸出用於重置或使初級防突波電路212失效。次級防突波電路214包括例如具有高電流能力的基於TVS之箝位，所述電流能力足以用可用的故障電流來觸發保險絲208。在其他示範實施例中，次級防突波電路214包括過電壓撬棒保護電路(基於SCR之撬棒)、分流穩壓器、或分流電晶體開關。

湧流保護電路216經過濾波器222連接至次級防突波電路214的輸出。當來自次級防突波電路214(例如，箝位電路)之輸出電壓於正常操作模式期間為太高時，所述湧流保護電路216限制電流並關掉電流。湧流保護電路216的輸出在維護模式期間提供低電壓電力。於一示範實施例中，湧流保護電路216包括電路斷路器功能、過電壓鎖定、欠電壓鎖定、和軟啟動特徵。在另一示範實施例中，次級防突波電路214之輸出用於經由其過電壓輸入或欠電壓輸入來關掉湧流保護電路216。在其他示範實施例中，不使用湧流保護電路216，且第二低電壓路徑224不包括湧流保護電路216。

圖3為流程圖，說明用於操作雙模式控制電路108的方法300之示範實施例。在操作302，雙模式控制電路108決定電漿腔室系統110正於正常操作模式下操作(例如，藉由測量輸入至雙模式控制電路108的高電壓位準)。在操作304，雙模式控制電路108將來自高電壓電源102之高電壓電力提供至高電壓電力子系統112。於操作308，藉由以電力轉換器(例如DC至DC轉換器210)將高電壓電力轉換至低電壓電力，雙模式控制電路108保護低電壓電力子系統114。在操作310，雙模式控制電路108向低電壓電力子系統114提供低電壓電力。於替代實施例中，藉由使用低電壓電路206的部件，雙模式控制電路108藉由防止任何電力抵達低電壓電力子系統114來保護低電壓電力子系統114。

圖4為流程圖，說明用於操作雙模式控制電路108之方法400的另一示範實施例。在操作402，雙模式控制電路108決定電漿腔室系統110正於維護模式下操作(例如，藉由測量輸入至雙模式控制電路108之低電壓)。在操作404，雙模式控制電路108將來自低電壓電源104的低電壓電力提供至低電壓電力子系統114。於一示範實施例中，雙模式控制電路108不會向高電壓電力子系統112提供任何電力。在另一示範實施例中，雙模式控制電路108將低電壓電力提供至低電壓電力子系統114和高電壓電力子系統112兩者。低電壓電力不足夠高，以在腔室內側產生電漿。因此，維護人員將不會因為低電壓電力而經歷危險狀態。

上面之敘述包括體現所揭示主題的說明性範例、裝置、系統、及方法。於此敘述中，出於解釋之目的，闡述許多具體細節以便提供所揭示主題之諸多實施例的理解。然而，對於本領域之普通技術人員顯而易見的是，可在沒有這些具體細節之情況下實踐本主題的諸多實施例。再者，未詳細地顯示公知之結構、材料和技術，以免混淆諸多所說明的實施例。

如本文所用，“或”一詞能以包含或排他之意義來解釋。再者，本領域中的普通技術人員於閱讀和理解所提供之揭示內容時將理解其他實施例。再者，於閱讀和理解本文所提供的揭示內容時，本領域中之普通技術人員將輕易理解，本文所提供的技術和範例之諸多組合都能以諸多組合應用。

儘管分開地討論諸多實施例，但是這些分開的實施例不意欲認為是獨立之技術或設計。如上面所指示，諸多部分的每一者可為相互關聯的，且每一部分可為分開地使用或與本文所討論之其他顆粒物質感測器校準系統實施例結合地使用。

因此，對本領域中的普通技術人員而言，在閱讀和理解本文所提供之揭示內容時將顯而易見的是，可做出許多修改和變動。除了本文所列舉之那些以外，於本揭示內容的範圍內之功能等效的方法和裝置對於本領域技術人員而言由先前敘述將為顯而易見的。一些實施例之諸多部分和特徵可包括在其他實施例的部分和特徵中、或由其所替代。此等修改和變動意欲落入所附申請專利之範圍內。因此，本揭示內容僅藉由所附申請專利範圍的諸項、以及此等申請專利範圍所賦予之同等項的全部範圍來限制。亦應理解，本文所使用之術語僅出於敘述特定實施例之目的，而無意欲進行限制。

提供本揭示內容之摘要以允許讀者快速地確定所述技術揭示內容的本質。提交摘要時應理解為將不會用於解釋或限制所述之申請專利範圍。另外，在前面的詳細敘述中，可看出，出於簡化本揭示內容之目的，可在單一實施例中將諸多特徵組合在一起。本揭示內容之方法不應解釋為限制所述申請專利範圍。因此，以下申請專利範圍據此併入詳細敘述中，使每一申請專利範圍獨立地作為分開的實施例。

100:配置 101:高電壓電線 102:高電壓電源 103:低電壓電線 104:低電壓電源 105:電源連接器 106:RF濾波器 108:雙模式控制電路 110:電漿腔室系統 112:高電壓電力子系統 114:低電壓電力子系統 150:配置 205:高電壓電路 206:低電壓電路 208:保險絲 210:DC / DC轉換器 212:初級防突波電路 214:次級防突波電路 216:湧流保護電路 218:切換電路 222:濾波器 223:第一低電壓路徑 224:第二低電壓路徑 300:方法 400:方法

在附圖之諸圖面中，通過範例而非限制的方式說明本發明之一些實施例，其中相像的參考數字指示類似之元件，且其中：

圖1A為方塊圖，描述根據示範實施例的連接至高電壓電源之電漿腔室系統；

圖1B為方塊圖，描述根據示範實施例的連接至低電壓電源之電漿腔室系統；

圖2為方塊圖，描述雙模式控制電路的示範實施例；

圖3為流程圖，說明用於在操作模式中操作控制電路之方法的示範實施例；和

圖4為流程圖，說明用於在維護模式中操作控制電路之方法的示範實施例。

100:配置

101:高電壓電線

103:低電壓電線

104:低電壓電源

105:電源連接器

106:RF濾波器

108:雙模式控制電路

110:電漿腔室系統

112:高電壓電力子系統

114:低電壓電力子系統

Claims (18)

1. 一種雙模式供電裝置，包含：電源連接器，建構為與第一電壓電源或第二電壓電源之其中一者耦接；及控制電路，其耦接在該電源連接器之輸出與電漿處理設備的第一和第二電壓子系統之間，該控制電路建構為：在使用第一電壓的該電漿處理設備的正常操作模式中，回應於該電源連接器被連接至該第一電壓電源，基於該第一電壓電源向該第一電壓子系統提供該第一電壓；及在使用第二電壓的該電漿處理設備之維護模式中，回應於該電源連接器被連接至該第二電壓電源，基於該第二電壓電源向該第二電壓子系統提供該第二電壓，其中該第一電壓高於該第二電壓。
2. 如申請專利範圍第1項之雙模式供電裝置，其中該正常操作模式建構為用於處理設置在該電漿處理設備的腔室中之晶圓，其中該維護模式建構為用於測試或校準該電漿處理設備的部件。
3. 如申請專利範圍第1項之雙模式供電裝置，其中該控制電路建構為：回應於該電源連接器被連接至該第一電壓電源偵測該第一電壓；在該正常操作模式下向該第一電壓子系統提供該第一電壓；將該第一電壓轉換為該第二電壓；及於該維護模式下將該第二電壓提供至該第二電壓子系統。
4. 如申請專利範圍第1項之雙模式供電裝置，其中該電源連接器包括建構為接收該第一電壓電源或該第二電壓電源的其中一者之單一輸入連接器。
5. 如申請專利範圍第1項之雙模式供電裝置，其中該控制電路更包含：第一電路，連接在該電源連接器之輸出和該第一電壓子系統的輸入之間；及第二電路，連接於該電源連接器之該輸出和該第二電壓子系統的輸入之間。
6. 如申請專利範圍第5項之雙模式供電裝置，其中該第二電路包含：保險絲，建構為回應於在該第二電路上偵測到藉由該第一電壓電源所產生的該第一電壓而斷開該第二電路；初級防突波電路，耦接至該保險絲，該初級防突波電路建構為在該正常操作模式下失效，並在該維護模式下賦能；次級防突波電路，耦接至該初級防突波電路；湧流保護電路，耦接至該初級和次級防突波電路，該湧流保護電路建構為限制來自該初級和次級防突波電路之電流；直流(DC)至DC轉換器，耦接至該保險絲，該DC至DC轉換器建構為將該第一電壓轉換為該第二電壓；第一模式電路，耦接至該初級防突波電路，該第一模式電路建構為回應於偵測到藉由該第一電壓電源所產生的該第一電壓而使該初級防突波電路失效；和基於二極體的開關電路，耦接至該湧流保護電路和該DC至DC轉換器，該基於二極體的開關電路建構為在該湧流保護電路之輸出和該DC至DC轉換器的輸出之間進行選擇。
7. 如申請專利範圍第6項之雙模式供電裝置，其中該保險絲建構為使至該第二電路的電力失效。
8. 如申請專利範圍第6項之雙模式供電裝置，其中在該正常操作模式中，該DC至DC轉換器藉由該第一電壓電源供電。
9. 如申請專利範圍第6項之雙模式供電裝置，其中該初級防突波電路包括以下的至少一者：具有自動重啟之基於自舉電流的突波抑制器、不具有自動重啟之基於自舉電流的突波抑制器、複數浮動閘極、帶接地參考控制電路之耗盡模式通道元件、耗盡模式通道元件、或機械式繼電器。
10. 如申請專利範圍第6項之雙模式供電裝置，其中該次級防突波電路包括箝位電路、分流穩壓器、或分流電晶體開關的至少一者。
11. 如申請專利範圍第6項之雙模式供電裝置，其中該DC至DC轉換器的輸出用於使該初級防突波電路或該湧流保護電路失效。
12. 如申請專利範圍第6項之雙模式供電裝置，其中該次級防突波電路的輸出用於使該初級防突波電路或該湧流保護電路失效。
13. 如申請專利範圍第6項之雙模式供電裝置，其中在該保險絲處的輸入電壓用以回應於與該第一電壓電源之該第一電壓對應的該輸入電壓而關掉該初級防突波電路。
14. 如申請專利範圍第5項之雙模式供電裝置，更包含：射頻(RF)濾波器，設置在該電源連接器的該輸出和該控制電路之間，該RF濾波器建構為過濾來自該第一電壓電源的信號；和開關，耦接至該第一電壓電源和該第二電壓電源，該開關建構為於該正常操作模式中將該第一電壓電源連接至該控制電路，並在該維護模式中將該第二電壓電源連接至該控制電路。
15. 如申請專利範圍第1項之雙模式供電裝置，其中該第一電壓大於300伏特，其中該第二電壓小於15伏特。
16. 一種雙模式供電裝置，包含： 第一電壓電源，用於產生為電漿處理設備的第一電壓子系統供電之第一電壓，該第一電壓子系統建構為在使用該第一電壓的該電漿處理設備的正常操作模式中基於該第一電壓而操作；第二電壓電源，用於產生為該電漿處理設備的第二電壓子系統供電之第二電壓，該第二電壓子系統建構為在使用該第二電壓的該電漿處理設備的維護模式中基於該第二電壓而操作，其中該第一電壓高於該第二電壓；和控制電路，具有建構為從該第一電壓電源和該第二電壓電源之其中一者接收信號的輸入，且該控制電路之輸出耦接至該第二電壓子系統，該控制電路建構為：在該正常操作模式期間，回應於從該第一電壓電源接收信號的該輸入，保護該第二電壓子系統免受該第一電壓電源；在該維護模式中，回應於從該第一電壓電源接收信號的該輸入，防止該第一電壓電源向該第二電壓子系統供電；和允許該第二電壓電源向該第一電壓子系統和該第二電壓子系統兩者供電。
17. 如申請專利範圍第16項之雙模式供電裝置，其中該正常操作模式建構為處理設置在該電漿處理設備的腔室中之晶圓，其中該維護模式建構為測試或校準該電漿處理設備的部件。
18. 如申請專利範圍第16項之雙模式供電裝置，其中該控制電路建構為：回應於從該第一電壓電源接收信號的該輸入偵測該第一電壓；在該正常操作模式中將該第一電壓提供至該第一電壓子系統；將該第一電壓轉換為該第二電壓；及於該正常操作模式中將該第二電壓提供至該第二電壓子系統。