TWI827176B - 切割輪的狀態偵測系統及切割輪的狀態偵測方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 230000036541 health Effects 0.000 claims abstract description 59
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 32
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 282
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 49
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 34
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 238000010801 machine learning Methods 0.000 claims description 9
- 238000013450 outlier detection Methods 0.000 claims description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 5
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 5
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 3
- 238000013473 artificial intelligence Methods 0.000 description 2
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 238000012549 training Methods 0.000 description 2
- 238000013024 troubleshooting Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000012800 visualization Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Electric Propulsion And Braking For Vehicles (AREA)
Abstract
一種切割輪的狀態偵測系統及切割輪的狀態偵測方法。所述系統包括包括第一感測器、第一控制器、第二感測器、第三感測器、第二控制器以及主機裝置。第一感測器配置於玻璃夾具上，且第一控制器基於氣壓缸開合狀態訊號提供夾具狀態訊號。第二感測器及第三感測器配置於具有切割輪的切割刀頭上，且第二控制器基於切割刀頭的震動提供切割刀頭的震動資料且基於壓入馬達的電流提供壓入馬達的電流資料。主機裝置基於夾具狀態訊號接收震動資料及電流資料，且透過一切割輪健康度模型分析震動資料及電流資料，以切割輪健康度資訊。
Description
本發明是有關於一種偵測系統，且特別是有關於一種切割輪的狀態偵測系統及切割輪的狀態偵測方法。
在使用玻璃基板的製程中，需要對玻璃基材應用切割製程，以使玻璃基板呈現所需的大小。但是，於切割製程中，切割輪可能因為撞擊、老化等因素而出現崩齒損壞的現象。但是，一般的切割輪的更換方式為人為檢測異常、或達到更換刀輪里程數(例如25000米)即更換。然而，透過人力進行切割輪的檢查，較費時，效率不佳，並且異常風險的管控不易。並且，在切割輪尚未損壞時因達到里程數更換，會增加刀具成本。
本發明提供一種切割輪的狀態偵測系統及切割輪的狀態偵測方法，可即時監控切割輸的狀態，以預測切割輪的健康度，
藉此使生產成本最佳化，以及降低切割輪異常的風險。
本發明的切割輪的狀態偵測系統包括，包括第一感測器、第一控制器、第二感測器、第三感測器、第二控制器以及主機裝置。第一感測器配置於玻璃夾具上，以偵測玻璃夾具的氣壓缸開合狀態訊號。第一控制器耦接第一感測器，以基於氣壓缸開合狀態訊號提供夾具狀態訊號。第二感測器配置於具有切割輪的切割刀頭上，以偵測切割刀頭的震動。第三感測器配置於驅動切割輪的壓入馬達，以偵測壓入馬達的電流。第二控制器耦接第二感測器及第三感測器，以基於切割刀頭的震動提供切割刀頭的震動資料且基於壓入馬達的電流提供壓入馬達的電流資料。主機裝置耦接第一控制器及第二控制器，主機裝置基於夾具狀態訊號接收震動資料及電流資料，並且透過一切割輪健康度模型分析震動資料及電流資料，以提供包含切割輪的至少一健康度預估的一切割輪健康度資訊。
本發明的切割輪的狀態偵測方法，包括下列步驟。經由配置於玻璃夾具上的第一感測器偵測玻璃夾具的氣壓缸開合狀態訊號，以提供夾具狀態訊號。經由配置於具有切割輪的切割刀頭上的第二感測器及第三測器提供切割刀頭的震動資料及驅動切割輪的壓入馬達的電流資料。經由主機裝置基於夾具狀態訊號接收震動資料及電流資料。透過切割輪健康度模型分析震動資料及電流資料，以提供包含切割輪的至少一健康度預估的一切割輪健康度資訊。
基於上述，本發明實施例的切割輪的狀態偵測系統及切割輪的狀態偵測方法，透過第二感測器及第三感測器即時監控切割刀頭的震動及壓入馬達的電流，以擷取切割時的震動資料。接著，對切割時的震動資料進行分析以產生包含切割輪的至少一健康度預估的切割輪健康度資訊。藉此，由於切割輪健康度資訊是透過系統即時產生的，因此可以即時監控切割輪的狀態。
為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。
10:製程設備監控系統
11:製程設備
13:製程控制電腦
15:資料庫
17:機器學習模組
19:本地端介面
21:遠端介面
100:狀態偵測系統
110:第一控制器
120:第二控制器
130:主機裝置
CTH:切割刀頭
CTW:切割輪
DCU:電流資料
DCV:震動特徵資料
DMT:壓入馬達
DVT:震動資料
DVTX:經切割的震動資料
GDX:氣量資料
GFX:玻璃夾具
MH:切割輪健康度模型
ICH:切割輪健康度資訊
PCT:切割期間
PNC:非切割期間
PPX:製程參數
SFX:夾具狀態訊號
SR1:第一感測器
SR2:第二感測器
SR3:第三感測器
S510-S550:步驟
圖1為依據本發明一實施例的製程設備監控系統的系統示意圖。
圖2為依據本發明一實施例的切割輪的切割輪健康度資訊的模擬示意圖。
圖3為依據本發明一實施例的電流資料的分析示意圖。
圖4為依據本發明一實施例的震動資料的分離示意圖。
圖5為依據本發明一實施例的切割輪的狀態偵測方法的流程圖。
除非另有定義，本文使用的所有術語(包括技術和科學術
語)具有與本發明所屬領域的普通技術人員通常理解的相同的含義。將進一步理解的是，諸如在通常使用的字典中定義的那些術語應當被解釋為具有與它們在相關技術和本發明的上下文中的含義一致的含義，並且將不被解釋為理想化的或過度正式的意義，除非本文中明確地這樣定義。
應當理解，儘管術語”第一”、”第二”、”第三”等在本文中可以用於描述各種元件、部件、區域、層及/或部分，但是這些元件、部件、區域、及/或部分不應受這些術語的限制。這些術語僅用於將一個元件、部件、區域、層或部分與另一個元件、部件、區域、層或部分區分開。因此，下面討論的”第一元件”、”部件”、”區域”、”層”或”部分”可以被稱為第二元件、部件、區域、層或部分而不脫離本文的教導。
這裡使用的術語僅僅是為了描述特定實施例的目的，而不是限制性的。如本文所使用的，除非內容清楚地指示，否則單數形式”一”、”一個”和”該”旨在包括複數形式，包括”至少一個”。”或”表示”及/或”。如本文所使用的，術語”及/或”包括一個或多個相關所列項目的任何和所有組合。還應當理解，當在本說明書中使用時，術語”包括”及/或”包括”指定所述特徵、區域、整體、步驟、操作、元件的存在及/或部件，但不排除一個或多個其它特徵、區域整體、步驟、操作、元件、部件及/或其組合的存在或添加。
圖1為依據本發明一實施例的製程設備監控系統的系統示意圖。請參照圖1，在本發明實施例中，製程設備監控系統10
包括製程設備11、製程控制電腦13、資料庫15、機器學習模組17、本地端介面19、遠端介面21及切割輪CTW的狀態偵測系統100。製程設備11例如至少包括具有切割輪CTW的切割刀頭CTH、驅動切割輪CTW且配置於切割刀頭CTH上的壓入馬達DMT以及用於固定玻璃基材的玻璃夾具GFX，其中壓入馬達DMT控制切割輪CTW對玻璃基材的壓入程度，但沒有主動帶動切割輪CTW進行轉動。
切割輪的狀態偵測系統100包括第一感測器SR1、第一控制器110、第二感測器SR2、第三感測器SR3、第二控制器120以及主機裝置130。第一感測器SR1配置於玻璃夾具GFX上以偵測玻璃夾具GFX的氣量資料GDX，其中氣量資料GDX可包含指示玻璃夾具GFX的氣壓缸(未繪示)的開合狀態的氣壓缸開合狀態訊號。第一控制器110耦接第一感測器SR1以基於氣量資料GDX(或者基於氣壓缸開合狀態訊號)提供夾具狀態訊號SFX。
第二感測器SR2配置於具有切割輪CTW的切割刀頭CTH上，以偵測切割刀頭CTH的震動。第三感測器SR3配置於驅動切割輪CTW的壓入馬達DMT，以偵測壓入馬達DMT的電流。第二控制器120耦接第二感測器SR2及第三感測器SR3以基於切割刀頭CHT的震動提供切割刀頭CHT的震動資料DVT且基於壓入馬達DMT的電流提供壓入馬達DMT的電流資料DCU。
主機裝置130耦接第一控制器110及第二控制器120，主機裝置130基於夾具狀態訊號SFX接收震動資料DVT及電流資料
DCU，基於電流資料DCU判斷至少一面板長邊與至少一面板短邊的一切割順序是否符合一預設順序，基於切割順序符合預設順序透過切割輪健康度模型MH分析震動資料DVT及電流資料DCU，以提供包含切割輪CTW的至少一健康度預估的切割輪健康度資訊ICH。
圖2為依據本發明一實施例的切割輪的切割輪健康度資訊的模擬示意圖。請參照圖1及圖2，在本實施例中，切割輪健康度資訊ICH可儲存於資料庫中，以透過本地端介面19及遠端介面21傳達切割輪CTW的健康度給本地端的操作人員以及遠端的系統管理人員。本地端的操作人員可自行或根據系統管理人員的通知進行相關的替換機制，例如確認切割輪的使用是否達到里程限制(例如50,000米)；切割輪刀壓是否達上限(如0.1牛頓(0.1N))；切割輪健康度連續低下(如50%一小時)且清潔後仍無改善；以及，發生異常且確認切割輪已損壞。
藉此，由於切割輪健康度資訊ICH是透過系統即時產生的，因此可以即時監控切割輪的狀態。如果監控到切割輪健康度異常低落，即可立即停機進行排查，有效避免切割輪的異常影響面板的切割品質。並且，可使用切割輪的健康度指標取代傳統的切割距離(里程)來管理與衡量切割輪的使用標準。此外，使用切割輪的健康度來作為切割輪是否更換的指標，可以讓每一把切割輪都使用到自身體質的極限，有效避免浪費的發生。再者，使用切割輪的健康度來作為切割輪是否更換的指標，也可以有效的
避免臨時發生的切割輪的異常影響產品品質。
請再參照圖1，在本實施例中，預設順序基於來自具有切割刀頭CHT的製程設備11的至少一製程參數PPX所判定。進行步來說，製程參數PPX包括對玻璃基材施加的至少一切割壓力、至少一切割位置、至少一切割位移量、至少一切割速度、至少一切割起始等待時間以及至少一切割結束等待時間，因此主機裝置130可藉由製程參數PPX藉此判斷切割輪CTW的預設切割順序。
並且，在本發明實施例中，主機裝置130基於夾具狀態訊號SFX與夾具臨界值的比較判斷是否接收震動資料DVT及電流資料DCU。換言之，主機裝置130可基於夾具狀態訊號SFX與夾具臨界值的比較判斷玻璃夾具GFX是否夾持玻璃基材，在玻璃夾具GFX夾持玻璃基材時才接收接收震動資料DVT及電流資料DCU，反之，則不接收接收震動資料DVT及電流資料DCU。
在本發明實施例中，主機裝置130分析電流資料DCU以判斷切割輪CTW壓入玻璃基材的至少一切割期間PCT及切割輪CTW未壓入玻璃基材的至少一非切割期間PNC。舉例來說，主機裝置130對電流資料DCU進行移動平均，基於移動平均後的電流資料DCU判斷至少一切割期間PCT及至少一非切割期間PNC。並且，主機裝置130可更基於製程設備11提供的一切割起始等待時間及一切割結束等待時間判斷至少一切割期間PCT及至少一非切割期間PNC。
接著，主機裝置130基於至少一切割期間PCT擷取震動
資料DVT以產生至少一震動特徵資料DCV，並且分析至少一震動特徵資料DCV以提供切割輪健康度資訊ICH。在本發明實施例中，主機裝置130可以對至少一切割期間PCT內的震動資料DVT進行帶通濾波，接著對至少一切割期間PCT內經帶通濾波的震動資料DVT進行基本統計特徵提取、傅立葉轉換、小波包特徵提取、以及希爾伯特-黃轉換(Hilbert-Huang Transform)的至少其一來進行特徵提取，以產生震動特徵資料DCV。
在本發明實施例中，基本統計特徵提取包括一最大值提取、一最小值提取、一平均值提取、一中位數提取、標準差一提取、一方差提取、一偏態提取、一峰度提取的其中之一。
在本發明實施例中，主機裝置130對至少一切割期間PCT內的震動資料DVT的資料長度來判斷各個切割期間PCT的一切割動作的切割方向並進行標記對應的震動特徵資料DCV。並且，主機裝置130將基於至少一製程參數PPX標記至少一震動特徵資料DCV。
在本發明實施例中，主機裝置130可透過一物聯網(IoT)與第一控制器110及第二控制器120進行通訊。並且，主機裝置130採用離群值檢測(Outlier Detection)演算法清理切割輪健康度資訊ICH中的至少一離群資料。
在本發明實施例中，主機裝置130將至少一震動特徵資料DCV儲於至一資料庫15，以經由機器學習模組17基於儲存於資料庫15的多個過去的震動特徵資料DCV建立切割輪健康度模
型MH。進步一來說，切割輪健康度模型MH的訓練與預測流程包括：針對每一次的製程動作的震動特徵資料DCV進行進行標記，標記的條件為當下使用的切割輪為「正常刀輪」或是「異常刀輪」；使用資料擴增技術讓正常資料與異常資料的震動特徵資料DCV的數量比例相等；依照切割輪轉速(透過切割速度換算)，挑選適合的頻域特徵，例如0.5倍頻、1倍頻、2倍頻、3倍頻、4倍頻、5倍頻等等；挑選切割方向相同的震動特徵資料DCV，確保不會因為方向的關係造成差異性過大；使用序列向前選擇(Sequential feature selection)進行特徵篩選；並且，使用機器學習模組17，讓人工智慧(Artificial Intelligence，AI)學習切割輪CTW在不同切割狀態下的震動特徵資料DCV，藉此訓練出具有預測切割輪狀態的能力的切割輪健康度模型MH。
在在本發明實施例中，可使用分散式超參數最佳化技術(Distributed Hyperparameter Optimization)得到最大化的曲線下面積(Area Under the Curve，AUC)分數的切割輪健康度模型MH。預測結果會依照人工智慧(例如切割輪健康度模型MH)所帶出的相似度來轉換為切割輪CTW的健康度預估，作為評估切割輪CTW的效度的指標。機器學習模組17的資料來源為儲存已完成資料前處理的震動特徵資料DCV的資料庫15。機器學習模組17會不斷的偵測是否有新的震動特徵資料DCV產生，如果有的話會依照條件進行預測並輸出結果至資料庫15儲存，提供後續的視覺化與設備調整使用。
圖3為依據本發明一實施例的電流資料的分析示意圖。請參照圖1及圖3，在本實施例中，(A)部分為電流資料DCU，(B)部分為移動平均後的電流資料DCU，(C)部分為標示出進行切割的時段。根據(C)部分，可將進行切割的時段標示為切割期間PCT，而其他時段標示為非切割期間PNC。其中，切割期間PCT及非切割期間PNC可基於製程設備11提供的切割起始等待時間及切割結束等待時間來校準。
圖4為依據本發明一實施例的震動資料的分離示意圖。請參照圖1及圖4，在本實施例中，當夾具狀態訊號SFX轉態時(例如上升至高準位)，主機裝置130接收震動資料DVT及電流資料DCU(如(a)部分所示)。接著，依據電流資料DCU判斷切割期間PCT及非切割期間PNC(如圖3所示)。其中，非切割期間PNC中的震動資料DVT會被遮罩，亦即僅會擷取切割期間PCT的震動資料DVT，因而產生多個經切割的震動資料DVTX。主機裝置130可對經切割的震動資料DVTX進行處理來產生震動特徵資料DCV。
圖5為依據本發明一實施例的切割輪的狀態偵測方法的流程圖。請參照圖5，在本實施例中，切割輪的狀態偵測方法包括下列步驟。在步驟S510中，經由配置於玻璃夾具上的第一感測器偵測玻璃夾具的氣量資料(亦即氣壓缸開合狀態訊號)，以提供夾具狀態信號。在步驟S520中，經由配置於具有切割輪的切割刀頭上的第二感測器及第三感測器提供切割刀頭的震動資料及驅動切
割輪的壓入馬達的電流資料。在步驟S530中，經由主機裝置基於夾具狀態信號接收震動資料及電流資料。在步驟S540中，經由主機裝置基於電流資料判斷至少一面板長邊與至少一面板短邊的切割順序是否符合預設順序。在步驟S550中，經由主機裝置基於切割順序符合預設順序透過切割輪健康度模型分析震動資料及電流資料，以提供包含切割輪的至少一健康度預估的切割輪健康度資訊。其中，在步驟S510-S550的順序為用以說明，本發明實施例不以此為限。並且步驟S510-S550的細節可參照圖1至圖4實施例所示，在此則不再贅述。
綜上所述，本發明實施例的切割輪的狀態偵測系統及切割輪的狀態偵測方法，透過第二感測器及第三感測器即時監控切割刀頭的震動及壓入馬達的電流，以擷取切割時的震動資料。接著，對切割時的震動資料進行分析以產生包含切割輪的至少一健康度預估的切割輪健康度資訊。藉此，由於切割輪健康度資訊是透過系統即時產生的，因此可以即時監控切割輪的狀態。在切割輪健康度異常低落的情況下，可立即停機進行排查，以有效避免切割輪的異常影響面板的切割品質。並且，使用切割輪的健康度來作為切割輪是否更換的指標，可以讓每一把切割輪都使用到自身體質的極限，有效避免浪費的發生。
雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明的保護範圍
當視後附的申請專利範圍所界定者為準。
10:製程設備監控系統
11:製程設備
13:製程控制電腦
15:資料庫
17:機器學習模組
19:本地端介面
21:遠端介面
100:狀態偵測系統
110:第一控制器
120:第二控制器
130:主機裝置
CTH:切割刀頭
CTW:切割輪
DCU:電流資料
DCV:震動特徵資料
DMT:壓入馬達
DVT:震動資料
GDX:氣量資料
GFX:玻璃夾具
ICH:切割輪健康度資訊
MH:切割輪健康度模型
PPX:製程參數
SFX:夾具狀態訊號
SR1:第一感測器
SR2:第二感測器
SR3:第三感測器
Claims (32)
- 一種切割輪的狀態偵測系統，包括：一第一感測器，配置於一玻璃夾具上，以偵測該玻璃夾具的一氣壓缸開合狀態訊號；一第一控制器，耦接該第一感測器，以基於該氣壓缸開合狀態訊號提供一夾具狀態訊號；一第二感測器，配置於具有該切割輪的一切割刀頭上，以偵測該切割刀頭的震動；一第三感測器，配置於驅動該切割輪的一壓入馬達，以偵測該壓入馬達的電流；一第二控制器，耦接該第二感測器及該第三感測器，以基於該切割刀頭的震動提供該切割刀頭的一震動資料且基於該壓入馬達的電流提供該壓入馬達的一電流資料；一主機裝置，耦接該第一控制器及該第二控制器，該主機裝置基於該夾具狀態訊號接收該震動資料及該電流資料，並且透過一切割輪健康度模型分析該震動資料及該電流資料，以提供包含該切割輪的至少一健康度預估的一切割輪健康度資訊。
- 如請求項1所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該壓入馬達控制該切割輪對一玻璃基材的一壓入程度。
- 如請求項1所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該主機裝置基於該電流資料判斷至少一面板長邊與至少一面板短邊 的一切割順序是否符合一預設順序，且基於該切割順序符合該預設順序透過該切割輪健康度模型分析該震動資料及該電流資料。
- 如請求項3所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該預設順序基於來自具有該切割刀頭的一製程設備的至少一製程參數所判定。
- 如請求項4所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該主機裝置基於一夾具狀態訊號與一夾具臨界值的比較判斷是否接收該震動資料及該電流資料。
- 如請求項4所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該主機裝置分析該電流資料以判斷至少一切割期間及至少一非切割期間，基於該至少一切割期間擷取該震動資料以產生至少一震動特徵資料，並且分析該至少一震動特徵資料以提供該切割輪健康度資訊。
- 如請求項6所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該主機裝置對該電流資料進行移動平均，並且基於移動平均線後的該電流資料判斷該至少一切割期間及該至少一非切割期間。
- 如請求項6所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該主機裝置對該至少一切割期間內的該震動資料進行帶通濾波以產生該至少一震動特徵資料。
- 如請求項8所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該主機裝置對該至少一切割期間內經帶通濾波的該震動資料進行一基本統計特徵提取、一傅立葉轉換、一小波包特徵提取、以及一 希爾伯特-黃轉換(Hilbert-Huang Transform)的至少其一以產生該至少一震動特徵資料。
- 如請求項9所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該基本統計特徵提取包括一最大值提取、一最小值提取、一平均值提取、一中位數提取、標準差一提取、一方差提取、一偏態提取、一峰度提取的其中之一。
- 如請求項6所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該主機裝置更基於該製程設備提供的一切割起始等待時間及一切割結束等待時間判斷該至少一切割期間及該至少一非切割期間。
- 如請求項6所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該主機裝置對該至少一切割期間內的該震動資料的一資料長度來判斷各個切割期間的一切割動作的切割方向並進行標記對應的震動特徵資料。
- 如請求項6所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該主機裝置將該至少一震動特徵資料儲於至一資料庫，以經由一機器學習基於儲存於該資料庫的多個過去的震動特徵資料建立該切割輪健康度模型。
- 如請求項6所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該主機裝置將基於該至少一製程參數標記該至少一震動特徵資料。
- 如請求項4所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該至少一製程參數包括對一玻璃基材施加的至少一切割壓力、至 少一切割位置、至少一切割位移量、至少一切割速度、至少一切割起始等待時間以及至少一切割結束等待時間。
- 如請求項1所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該主機裝置採用離群值檢測(Outlier Detection)演算法清理該切割輪健康度資訊中的至少一離群資料。
- 如請求項1所述的切割輪的狀態偵測系統，其中該主機裝置透過一物聯網(IoT)與該第一控制器及該第二控制器進行通訊。
- 一種切割輪的狀態偵測方法，包括：經由配置於一玻璃夾具上的一第一感測器偵測該玻璃夾具的一氣壓缸開合狀態訊號，以提供一夾具狀態訊號；經由配置於具有該切割輪的一切割刀頭上的一第二感測器及一第三測器提供該切割刀頭的一震動資料及驅動該切割輪的一壓入馬達的一電流資料；經由一主機裝置基於該夾具狀態訊號接收該震動資料及該電流資料；以及經由該主機裝置透過一切割輪健康度模型分析該震動資料及該電流資料，以提供包含該切割輪的至少一健康度預估的一切割輪健康度資訊。
- 如請求項18所述的切割輪的狀態偵測方法，更包括：經由該主機裝置基於該電流資料判斷至少一面板長邊與至少 一面板短邊的一切割順序是否符合一預設順序；以及經由該主機裝置基於該切割順序符合該預設順序透過該切割輪健康度模型分析該震動資料及該電流資料。
- 如請求項19所述的切割輪的狀態偵測方法，更包括：基於來自具有該切割刀頭的一製程設備的至少一製程參數判斷該預設順序。
- 如請求項20所述的切割輪的狀態偵測方法，更包括：經由該主機裝置基於一夾具狀態訊號與一夾具臨界值的比較判斷是否接收該震動資料及該電流資料。
- 如請求項20所述的切割輪的狀態偵測方法，更包括：經由該主機裝置分析該電流資料以判斷至少一切割期間及至少一非切割期間；經由該主機裝置基於該至少一切割期間擷取該震動資料以產生至少一震動特徵資料；以及經由該主機裝置分析該至少一震動特徵資料以提供該切割輪健康度資訊。
- 如請求項22所述的切割輪的狀態偵測方法，更包括：經由該主機裝置對該電流資料進行移動平均；以及 經由該主機裝置基於移動平均後的該電流資料判斷該至少一切割期間及該至少一非切割期間。
- 如請求項22所述的切割輪的狀態偵測方法，更包括：經由該主機裝置對該至少一切割期間內的該震動資料進行帶通濾波以產生該至少一震動特徵資料。
- 如請求項24所述的切割輪的狀態偵測方法，更包括：經由該主機裝置對該至少一切割期間內經帶通濾波的該震動資料進行一基本統計特徵提取、一傅立葉轉換、一小波包特徵提取、以及一希爾伯特-黃轉換(Hilbert-Huang Transform)的至少其一以產生該至少一震動特徵資料。
- 如請求項25所述的切割輪的狀態偵測方法，其中該基本統計特徵提取包括一最大值提取、一最小值提取、一平均值提取、一中位數提取、標準差一提取、一方差提取、一偏態提取及一峰度提取的其中之一。
- 如請求項22所述的切割輪的狀態偵測方法，更包括：經由該主機裝置更基於該製程設備提供的一切割起始等待時間及一切割結束等待時間判斷該至少一切割期間及該至少一非切割期間。
- 如請求項22所述的切割輪的狀態偵測方法，更包括：經由該主機裝置對該至少一切割期間內的該震動資料的一資料長度來判斷各個切割期間的一切割動作的切割方向並進行標記對應的震動特徵資料。
- 如請求項22所述的切割輪的狀態偵測方法，其中該主機裝置將該至少一震動特徵資料儲於至一資料庫，以經由一機器學習基於儲存於該資料庫的多個過去的震動特徵資料建立該切割輪健康度模型。
- 如請求項22所述的切割輪的狀態偵測方法，更包括：經由該主機裝置將基於該至少一製程參數標記該至少一震動特徵資料。
- 如請求項20所述的切割輪的狀態偵測方法，其中該至少一製程參數包括對一玻璃基材施加的至少一切割壓力、至少一切割位置、至少一切割位移量、至少一切割速度、至少一切割起始等待時間以及至少一切割結束等待時間。
- 如請求項18所述的切割輪的狀態偵測方法，更包括：經由該主機裝置採用離群值檢測演算法清理該切割輪健康度資訊中的至少一離群資料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211093598.4A CN115597803A (zh) | 2022-04-13 | 2022-09-08 | 切割轮的状态检测系统及切割轮的状态检测方法 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW111113989 | 2022-04-13 | ||
| TW111113989 | 2022-04-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW202340690A TW202340690A (zh) | 2023-10-16 |
| TWI827176B true TWI827176B (zh) | 2023-12-21 |
Family
ID=89856016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW111128638A TWI827176B (zh) | 2022-04-13 | 2022-07-29 | 切割輪的狀態偵測系統及切割輪的狀態偵測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TWI827176B (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW323795U (en) * | 1997-05-16 | 1997-12-21 | Yen Sun Technology Corp | Shaft detecting and measuring device for brushless motor |
| CN1477690A (zh) * | 2002-08-21 | 2004-02-25 | 南茂科技股份有限公司 | 复数个半导体封装结构的测试方法 |
| US20050247175A1 (en) * | 2002-04-19 | 2005-11-10 | Cooper Christopher W | Compliant cutoff saw assembly |
| US8356641B2 (en) * | 2007-11-02 | 2013-01-22 | Band-It-Idex, Inc. | Stationary band clamping apparatus |
-
2022
- 2022-07-29 TW TW111128638A patent/TWI827176B/zh active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US8356641B2 (en) * | 2007-11-02 | 2013-01-22 | Band-It-Idex, Inc. | Stationary band clamping apparatus |
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| Publication number | Publication date |
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| TW202340690A (zh) | 2023-10-16 |
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