TWI809055B - 具有在積層期間形成的導電跡線之催化性積層板 - Google Patents

Abstract

電路板由催化性積層板形成，催化性積層板具有富含樹脂的表面，催化粒子係分散於表面排出深度的下方。跡線通道以及孔洞在催化性積層板中形成，用諸如銅的金屬進行無電電鍍，且為包含金屬粒子的導電膏所填充，接著熔融形成跡線。在一個變型中，多個電路板層具有形成在排除深度下方的表面中的通道，形成無電電鍍的孔，並且通道和孔填充有金屬顆粒。將幾個這樣的催化性積層板層放在一起並在高溫進行擠壓，直到催化性積層板層層壓在一起並且金屬粒子形成多層電路板的跡線。

Description

具有在積層期間形成的導電跡線之催化性積層板

本發明係有關於一種催化性積層板以及其用以形成跡線的用途。特別的是，積層板具有提供細間距電路互連的性質，而該電路互連可以在具有閃銅和焊膏的通道中形成以形成具有平的表面的電路板層，而該電路板層嵌有導體或帶有表面導體。

習知技術中，印刷電路板(PCB)係使用導電金屬互連(稱為「跡線」)來形成，該導電金屬互連形成於介電基材上，且其中每個載有導體的表面係稱為「層」。每個介電核心(dielectric core)具有形成在一個表面或兩個表面上的跡線，且藉由堆疊若干這樣散佈有裸露介電質層的介電核心(其之間形成跡線)，並在施加溫度和壓力將其層壓在一起，可以形成多層印刷電路。介電基材包含嵌入纖維基質的環氧樹脂，例如織成布料的玻璃纖維。在一習知的製造方法中，將銅層壓至介電層的外表面上，使用光阻或感光性膜將銅的表面圖案化以產生遮罩區以及非遮罩區，且接著進行蝕刻以在介電核心的一側或兩側上形成導電跡線層。可接著將具有導電跡線的介電核心的堆疊進行層壓以形層多層板，且通孔(鍍有銅的鑽孔)製成的任何層互連形成孔環(annular ring)，提供了層對層的連接。

印刷電路板(PCB)一般係用以提供安裝在其上的各種電子元 件之間的導電跡線。一種電子元件為通孔裝置，其藉由使導線穿過PCB的一或多個孔來安裝在PCB上，其中PCB的孔包含在每一跡線連接層上的導電孔環，且導線元件係焊接至PCB孔的孔環。通孔元件具有導線，這使其難以與相關的PCB安裝孔對準；然而表面黏著技術(SMT)提供了較佳的安裝系統，其中將導線元件簡單地放置在PCB焊墊的表面並焊接，而這在PCB的組裝是較佳的，這是因為其具有較高的密度以及易於機械化組裝。表面黏著元件僅需表面黏著焊墊於成品PCB層的外部。在雙層或多層的PCB中，利用通孔來完成由層對層之間的導電跡線的互連，其中一個跡線層上的導電跡線通向通孔，該通孔一般係穿過PCB的一或多個介電層且鍍有銅或其他導電金屬來完成跡線層的連接。穿過所有介電層的孔係稱為導通孔(thru-via)，僅穿過外層(一般作為單層製造的一部份)的孔係稱為微通孔(micro-via)，且穿過一或多層內層的孔稱為盲孔。對於這些通孔類型中的任何一種來說，將通孔圖案化以包含相對PCB的跡線層的孔環導體區，其中鑽孔襯有導電材料，該導電材料連接積層板或PCB的任一測上的孔環導體。

使用電鍍可以增加印刷電路板積層板上的預圖案化或後圖案化的銅厚，其中將具有跡線的PCB或介電層放置於電解質浴中，且DC電壓源連接在犧牲陽極導體(例如銅棒)和PCB的現有導電層之間。當PCB上不存在預先存在的導電銅層用以促進電鍍的情況時，例如不存在裸露的介電材料或鑽通孔的情況，則必須先沉積銅種子層。其係以「種子」催化材料(其提升特定導電材料的沉積)輔助並利用無電鍍方法來完成，其中該催化材料係沉積在介電質的表面上，且接著將電路板層放置於無電鍍浴中。對於諸如鈀的催化劑以及銅的無電鍍浴來說，溶液中的銅離子沉積於鈀上方，直到充分覆蓋鈀的表面以提供均勻的導電性，其後利用無電鍍沉積的銅來提供導電支架，以在隨後電鍍製程中用於加入材料。對於完成電鍍操作來說，較佳使用電鍍，因其沉積速率較 化學銅鍍製程的沉積速率來的快。

隨著電子組裝日益複雜，吾人意欲增加PCB組裝的元件密度，例如使用較小跡線寬度(稱為細間距跡線)以及越來越密集的集成電路(IC)導線圖案。習知表面黏著PCB製造以及組裝方法的其中一個問題為以下：因為跡線係形成於介電質的表面上，所以對於較窄的導體線寬(稱為細間距跡線)來說，銅跡線和下方的積層板之間的黏合力係減小的，這導致在元件更換操作期間細間距跡線和元件焊墊分離(提起)，而破壞了整個電路板的組裝以及昂貴的元件。細間距表面跡線的另一問題為以下：當製造多層電路板時，在高溫環境施加壓力將各個跡線層層壓在一起。在高溫層壓期間，當樹脂處於半液態時，細間距跡線傾向橫跨介電質的表面進行橫向位移。在高速電路設計中，意欲於跡線之間保持固定的阻抗，特別是對於差分對(邊緣耦合)傳輸線來說。層壓期間，跡線橫向位移會造成成品PCB傳輸線的阻抗隨跡線長度變化，這導致其與具有恆定間距的傳輸線(特徵為具有固定阻抗)相比，會有反射以及損耗。此外，形成跡線的步驟係與層壓步驟分開，這導致了需要很多步驟來製造多層電路板。以銅導體來製造電路板的另一個考量為：在電路板組裝之前(將元件焊接至成品印刷電路板)，氧化銅跡線會塗覆有非氧化鎳或其他材料，這些材料與隨後加入的焊膏相容，用於焊接放置在焊膏上的表面黏著元件，接著在足以熔融焊膏的溫度烘烤電路板，並完成電氣連接。

出於上述原因，吾人意欲提供能良好控制阻抗，且良好控制跡線幾何的電路板。吾人也意欲提供多層電路板，其中對層進行層壓以及形成跡線可以以單一步驟進行。另外吾人意欲在通道內形成跡線，以避免在層壓製程期間跡線位移。

本發明目的

本發明第一個目的是由催化粒子、樹脂以及纖維基質的混合物所形成的一或多層的催化預浸體，其在表面層的排除深度下方具有催化粒子分布，其中在排除深度下方的暴露的區域中具有足夠的催化粒子密度以提供無電鍍銅沉積(electroless copper deposition)，且其中在排除深度下方的跡線通道在催化性積層板的表面中形成，在通道中的無電鍍銅沉積足以允許藉由將導電材料填充通道以在通道內形成導電跡線，接著將金屬粒子以及跡線通道暴露在一烘烤溫度，該溫度高於金屬粒子的熔融溫度以使得由導電粒子來形成跡線，並選擇性地在層壓步驟中對其他層實施，以及將在彼此相鄰的通孔或通道位置處的層互連。

本發明第二個目的是由複數個催化性積層板所形成的多層電路板，每個催化性積層板具有富含樹脂的表面，其不具有足夠的催化粒子密度以支持無電鍍銅沉積，且每個催化性積層板在低於排除深度下方具有催化粒子，且其具有足夠密度以允許化學沉積，催化性積層板的表面具有通道和孔洞，其延伸至低於排除深度，通道具有由導電金屬粒子形成的跡線，其可在通道和孔洞中熔融以形成跡線。

本發明的第三個目的是一種由催化性積層板形成電路板層的方法，催化性積層板由與催化粒子以及選擇性的纖維網混合的樹脂，催化粒子僅在催化性積層板的催化粒子排除深度下方形成的通道中支持無電鍍銅沉積，電路板層選擇性地具有用以電路板層相對表面電氣互連的孔洞，以導電金屬粒子填充通道和選擇性的孔洞，將導電金屬粒子以及催化性積層板加熱至足以熔融導電金屬粒子的溫度，以在通道和孔洞中形成導體。

本發明的第四個目的是一種由分離的電路板層形成多層電路板的方法，每個電路板層係由催化性積層板形成，催化性積層板包含與催化粒子 和選擇性的纖維網混合的樹脂並固化(如圖1A和圖1B所繪示)，至少一個電路板層的催化粒子僅支持在通道(形成於催化性積層板的催化粒子排除深度下方)內的無電鍍銅沉積，至少一個電路板層選擇性地具有用以電路板層相對表面電氣互連的孔洞，以導電金屬粒子填充每個電路板層的通道和選擇性的孔洞，將至少兩個電路板層堆疊，且將導電金屬粒子以及催化性積層板加熱至足以使導電金屬粒子熔融的溫度，以在通道以及至少兩個電路板層中形成導電跡線以彼此結合。

在本發明的第一個具體實例中，催化預浸體係藉由以下來形成：混合樹脂、揮發性溶劑以及催化粒子以形成催化樹脂混合物；將催化樹脂注入諸如織造玻璃或其他纖維等纖維織物以形成「A階段」催化預浸體；以高溫烘烤纖維以及樹脂以除去大部分的揮發性溶劑並形成部分固化的「B階段」催化預浸體(例如為片狀)；接著將B階段預浸體放置於層壓機中，在凝膠點加熱B階段預浸體使得預浸體呈液/固平衡狀態；接著在高溫並施加壓力以足以使催化粒子由預浸體的外表面遷移出來的停留時間來固化預浸體，以形成表面富含樹脂的成品「C階段」預浸體，而該表面不含有暴露的表面催化粒子。機械移除該富含樹脂的表面會因此暴露下方的催化粒子，並形成適用溶液中的銅離子進行無電鍍的表面，或者形成任何適用溶液中的金屬離子進行無電鍍的表面。

在本發明的第二個具體實例中，藉由將暴露的表面圖案化至表面富含樹脂的預浸體上來形成單層PCB或多層PCB，該預浸體的表面排除不包含來自表面的催化粒子，其中催化粒子分布在富含樹脂表面下方的排除深度且不暴露出來。在第一步驟中，形成穿過催化性積層板的選擇性的通孔(孔洞)，在鑽孔表面暴露出催化粒子且催化性積層板的表面形成通道，這導致下方的催化粒子暴露出來。孔洞和通道可藉由使用任何移除手段來移除催化材料 的表面來形成，該移除手段包含雷射切割、電漿蝕刻、化學蝕刻、機械研磨或機械切割，其中在使用上述手段時，可利用圖案化遮罩也可不利用圖案化遮罩。在第二步驟中，將催化性積層板放置在無電鍍浴中，其中無電鍍金屬(例如銅)被吸引並黏合至圖案化區中暴露的催化粒子(例如鉑)，其中該在該圖案化區中富含樹脂的表面已移除。實施第二步驟直到無電電鍍蓋圖案化溝槽通道的側面和底部，以及覆蓋鍍有金屬的選擇性孔洞為止，但其厚度僅足以填充溝槽通道，例如無電鍍銅的厚度為介於0.05密耳至0.20密耳(約為1μm至約5μm)的範圍。在第三步驟中，塗覆導電膏以填充通道和通孔，例如藉由塗覆未圖案化(毯覆式覆蓋(blanket coverage))的表面，接著以表面刮刀來移除通道和通孔以外區域多餘的導電膏，上述導電膏包含具有相對低融化溫度(例如180℃)的金屬懸浮粒子，其與適合的潤濕劑混合並用於隨後粒子固結步驟。第二步驟無電鍍的厚度一般為用以維持導電金屬粒子黏合所需最少的量，所以在烘烤步驟之後，化學銅襯裡通道和通孔的內表面。

在本發明的一具體實例中，各自催化性積層板層具有形成至排除深度的通道和選擇性的孔洞，將催化性積層板進行無電鍍，使得當通道和孔洞填充金屬粒子並在金屬子粒燒結或熔化溫度烘烤時，足以形成跡線，但最終步驟包含將填充有導電膏的通道所製備的一個或多個催化層定位在一起並放入層壓機中，使得以一個步驟將層進行層壓以及對金屬粒子進行燒結和熔融形成跡線。

選擇性的額外步驟提供多層板的製造。在此種變體實施例中，額外的兩層以前述所製備的外層，其中形成選擇性的通孔和通道、閃銅(化學銅)，通道和通孔填充有相對低熔融溫度的金屬粒子，並放入層壓機中。導電膏中金屬粒子的熔融溫度係以低於層壓溫度來選擇，以確保將層彼此進行層壓時能夠固結金屬粒子。當層壓溫度高於跡線通道中金屬粒子的熔融溫度時，層 壓和形成跡線係在一個步驟中發生。接著，可在一系列的額外操作中塗覆額外的外層，以根據需要形成多個層。在一具體實例中，將層塗覆至每個外表面並層壓至先前已層壓的內核心層上。在另一具體實例中，在任何層壓步驟之前，所有層都在層壓壓機中一起定位，且在一步驟中將所有層進行層壓以及將金屬粒子熔化或燒結來形成導電跡線。在一選擇性的後續步驟中，塗覆阻焊劑(soldermask)以覆蓋催化性積層板的區域以及圖案化跡線的區域。

在本發明第三個具體實例中，第一具體實例的催化預浸體具有孔洞，其係藉由鑽孔或切割或其他移除材料的方法以產生由預浸體的一表面至相對表面的孔洞，孔洞鄰近焊墊區，其中在孔洞附近的預浸體的表面被移除，因此將預浸體下方的催化顆粒暴露在孔洞內表面以及預浸體外表面上。隨後將通道以及通孔暴露於閃無電鍍銅一段時間，以使得足以塗覆通道內表面和通孔以形成沉積層而用於黏附隨後塗覆的包含金屬粒子的導電膏，其中金屬粒子熔融至沉積層的表面上。在本發明的一個實例中，無電鍍銅的厚度為介於0.05密耳至0.15密耳(約為1μm至約4μm)的範圍，或者無電鍍銅的厚度約為2μm。在隨後的層壓步驟中，在無電鍍通道的金屬粒子熔融或燒結在一起至沉積層以形成導電跡線。層壓步驟可以在具有通孔或通道的單層上進行，或者可以在內層疊核心的外層上進行，或者可以一次在所有內層和外層上進行。閃無電鍍沉積層具有較隨後形成的導電跡線大至少10倍的電阻率。與替代的跡線形成方法相比，這節省了化學銅沉積的時間，以及在將元件組裝到板上時提供了元件黏著優勢。

102:織布

103:烤箱

104:滾輪

105:A階段預浸體

106:催化樹脂混合物

107:B階段預浸體

108:儲存槽

110:滾輪

111:滾輪

114:C階段預浸體材

124:腔室

126:層壓機

128:層壓機

130:催化樹脂注入的織物

134:板對準或堆疊

202:溫度曲線

204:溫度上升期間

205:凝膠點

206:停留時間

208:冷卻循環

302、304、306、307、308:步驟

402:預浸體

404:第一表面

406:第二表面

408:第一邊界

410:第二邊界

414:催化粒子

418:排除深度

502、504、506、508、510、514、516:步驟

602A、602B:外表面

604、606:雷射鑽孔

608A、608B:通道

620、622、624:層

626、630:通孔

701:通孔

702A、702B:外層

704、706:雷射鑽孔

708A、708B:通道

710A:跡線

724:通孔

728:焊盤/焊盤元件

730:焊盤728周圍的區域

A-A:剖面線

圖1A繪示了形成未加工的催化預浸體的方法的示意圖。

圖1B繪示了由未加工的催化預浸體形成成品催化預浸體的真空 層壓機。

圖1C繪示了在層壓期間，用以形成多層催化預浸料的真空層壓階段。

圖2繪示了圖1的真空層壓階段的製程時間。

圖3繪示了形成催化預浸體的製程步驟。

圖4繪示了預浸體材料中催化粒子分佈相對於預浸體材料的截面圖的圖。

圖5繪示了根據本發明一實例的形成單一電路板層的製程步驟。

圖6A至圖6G繪示了根據本發明的製程步驟。

圖7A至圖7F繪示了根據本發明的外層的製程步驟。

圖7G繪示了根據圖7A至圖7F的步驟製備的外層的上視圖。

圖1A繪示了製造預浸體(樹脂中結合的預浸漬纖維基質)的操作實例。預浸體的纖維可以使用許多不同的材料，包括編織玻璃纖維布、碳纖維或其他纖維，且樹脂可以使用各種不同的材料，包括環氧樹脂、聚醯亞胺樹脂、氰酸酯樹脂、PTFE(鐵氟龍)混合樹脂或其他樹脂。本發明的一個面向為印刷電路板基層，其能夠支持細間距的導電跡線，該導電跡線具有1密耳(25μm)的跡線寬度以及與其他跡線的邊緣分離。雖然描述了利用用於形成化學鍍銅的催化劑來形成銅跡線，但應理解的是，本發明的範圍可以延伸至其他適用於無電鍍和電鍍的金屬。對於無電鍍沉積銅通道來說，較佳使用元素鈀(Pd)作為催化劑，儘管也可選擇周期表過渡金屬元素，例如9到11族的鉑(Pt)、銠(Rh)、銥(Ir)、鎳(Ni)、金(Au)、銀(Ag)、鈷(Co)或銅(Cu)或其他上述元素的化合物，還包括鐵(Fe)、錳(Mn)、鉻 (Cr)、鉬(Mo)、鎢(W)、鈦(Ti)、錫(Sn)等其他金屬或者上述金屬的混合物或鹽，上述任何一種都可以作為催化粒子。本候選列表意欲為例示性的而非全面性的，這是因為本領域已知也可以使用在無電鍍間吸引銅離子的其他催化劑。在本發明的一個實例中，催化粒子為均相催化粒子。在本發明另一個實例中，催化粒子為無機粒子或可耐受高溫的塑膠粒子，其塗覆有數埃(Å)厚度的催化金屬，從而形成具有薄的催化外表面的非均相催化粒子，其包覆非催化內粒子。對於較大的催化粒子來說，例如最長尺寸為25μm的催化粒子，這樣的組成可能是可取的。此組成的非均相催化粒子可包含無機填充料、有機填充料或惰性填充料，例如二氧化矽(SiO₂)、無機黏土(如高嶺土)或者高溫塑膠填充料，其表面塗覆有吸附在其上諸如鈀等的催化劑(例如藉由氣相沉積或化學沉積而吸附於填充料表面的鈀)。催化粒子僅需數個原子層的催化劑以具有有利於無電鍍的理想性能。

在形成非均相催化粒子的一實例中，按尺寸對填充料(有機填充料或無機填充料)進行分類以包含尺寸小於25μm的粒子，將這些分類的無機粒子在槽的水浴中混合、攪拌，接著將諸如PdCl等的鈀鹽(或任何其他催化劑，如其他催化劑的銀鹽)、諸如氫氯酸等的酸以及諸如聯胺水合物等的還原劑一起引入，從而還原了塗覆無機粒子金屬鈀的混合物提供了幾埃厚度的鈀塗覆在填充料上，從而產生了具有均勻鈀顆粒的催化性能的非均相催化粒子，且與使用均相鈀金屬粒子相比，非均相催化粒子對於鈀的體積要求大大降低。然而，對於數奈米的極小催化粒子來說，較佳使用均相的催化粒子(例如純鈀)。

無機填充料的實例包含諸如水合葉矽酸鋁(hydrous aluminum phyllosilicates)等黏土礦物質，其可包含可變量的鐵、鎂、鹼金屬、鹼土金屬以及其他陽離子。這個家族的無機填充料包含二氧化矽、矽酸鋁、高嶺土 (Al₂Si₂O₅(OH)₄)、聚矽酸鹽或其他屬於該高嶺土或瓷黏土家族的黏土礦物質。有機填充料的實例包含PTFE(鐵氟龍)，以及其他具有耐高溫性的聚合物。

鈀鹽的實例如下：BrPd、CL₂Pd、Pd(CN)₂、I₂Pd、Pd(NO₃)₂*2H₂O、Pd(NO₃)₂、PdSO₄、Pd(NH₃)₄Br₂、Pd(NH₃)₄Cl₂H₂O。本發明的催化粉末也可包含非均相催化粒子的混合物(例如塗覆在無機填充材料粒子上的催化材料)、均相催化粒子(例如元素鈀)以及非催化粒子(選自無機填充材料的家族)。

在催化劑之中，較佳的催化劑為鈀，這是因為其較為經濟實惠、其可用性以及其機械性能，然而也可使用其他催化劑。

圖1A繪示一卷諸如編織玻璃纖維等的織布(fabric cloth)102，其通過一組滾輪而進料，滾輪引導織物進入槽108中，其中該槽充滿了與催化粒子混合的環氧樹脂，以及與揮發性液體混合以降低黏度，從而形成A階段(液體)的預浸體。

此樹脂可以為聚醯亞胺樹脂、環氧樹脂和氰化酯(cyanide ester)的混合物(其在高溫提供固化)或任何其他適合的樹脂組成物，使其能夠在塗覆時具有可選擇的黏度以及在冷卻之後具有熱固性質。可加入阻燃劑，舉例來說，使符合可燃性標準，或者與諸如FR-4或FR-10等的標準FR系列預浸體的其中一者相容。對於高速電路來說另一要求為介電常數ε(介電係數)，其通常約為4且控制了形成在介電值上傳輸線的特性阻抗(characteristic impedance)以及用以量測一定距離內頻率相關能量吸收的損耗正切δ，其中損耗正切係藉由傳輸線長度的每公分可計算量dB，來量測電介質是如何與高頻電場相互作用以不合需要地將訊號振幅減小。樹脂係與經尺寸分類過的催化粒子混合。在一組成的實例中，催化粒子包含下列至少一種：均相催化粒子(金屬 鈀)，或者非均相催化粒子(塗覆在無機粒子的鈀或塗覆在高溫塑料上的鈀)，且對於任一組成的催化粒子，較佳具有最大程度尺寸小於25μm，而50%的粒子尺寸介於12μm到25μm之間，或者介於1μm至25μm，或者更小。這些催化粒子尺寸的具體實例並非意欲限制本發明的範圍。在一具體實例中，催化粒子(均相催化粒子或非均相催化粒子)的尺寸介於1μm至25μm之間。在本發明的另一實例中，均相的催化粒子係藉由將金屬鈀研磨成粒子，並將所得粒子通過具有25μm矩形開口網格的篩。在另一實例中，催化樹脂混合物106係藉由重量比混合均相催化粒子或非均相催化粒子到預浸體樹脂中來形成，例如實質上對樹脂來說重量比為12%的催化粒子。又或者，樹脂混合物中的催化粒子的重量比可介於樹脂總重量的8%至16%的範圍內。應當理解的是，也可以使用其他的混合比，且較佳可使用較小的粒子。在本發明的一實例中，選擇催化粒子的密度以提供3μm至5μm的催化粒子之間的平均距離。

在將織物浸入具有滾輪104的催化樹脂浴106後，催化粒子浸漬的布被引導至滾輪110，其確立了未固化液體A階段的預浸體105的厚度，也確立了玻璃加上樹脂中樹脂的比例。接著，A階段預浸體105通過烤箱103，烤箱103驅除A階段預浸體的有機化合物和其他揮發性化合物，並大大降低液體含量，而形成由滾輪111輸送的不黏的(tack-free)的B階段預浸體107。在一具體實例中，烤箱103驅除約含有80%溶劑的A階段預浸體的揮發性化合物至約含有小於0.1%溶劑的B階段預浸體。將所得的B階段預浸體107提供予材料處理(material handling)111，並且可被切割成片狀而易於處理及儲存，隨後被放置於圖1B的層壓機126，其以抽真空方式對片材表面施加壓力，且當預浸體核心在層壓機中時改變改變溫度分布(其遵循圖2中的溫度曲線202)。在本發明的一實例中，為了產生富含樹脂的表面，選擇位於外表面處(後來將表面移除以暴露下面的催化粒子)附近的預浸體材以具有大於65%的樹脂，例如Glass 106(71%的樹脂)、Glass 1067或Glass 1035(65%的樹脂)，並且選擇內部預浸體材(其未經受表面移除)以具有小於65%的樹脂。此外，為了降低玻璃纖維存在於靠近催化預浸體表面的可能性，內部預浸體層可使用編織玻璃纖維，且外部富含樹脂的預浸體層可使用平坦非織造玻璃纖維。富含樹脂的預浸體和平坦的非織造玻璃纖維的組合在外表面層上產生了0.7密耳(17μm)至0.9密耳(23μm)的排除區，其介於外表面和包覆的玻璃纖維之間。較佳在富含樹脂的外表面使用玻璃樣式106、1035以及1067，因為這些玻璃纖維的厚度較一般預浸體材的玻璃纖維厚度小(1.3密耳至1.4密耳，換算為33μm至35μm)，一般預浸體材的基層中心區域使用了大於65%的樹脂，例如玻璃樣式2116，其具有3.7密耳(94μm)的纖維。給出這些值僅作為實例，可商購到的最小玻璃纖維直徑預期將繼續減小。本發明製作了溫度對時間取線以使催化粒子和玻璃纖維能自基層的外表面遷移出，其在凝膠點溫度的液態期間被環氧樹脂的表面張力排斥。在曲線202冷卻循環之後，將固化的C階段預浸體材卸載114。形成固化C階段預浸體材的製程可使用單片纖維織物或多片纖維織物來改變成品的厚度，其可在2密耳(51μm)至60密耳(1.5mm)之間做變化。

圖3繪示製作預浸體基層的製程流程圖，其中催化粒子被注入預浸體但排除在其外表面之外。步驟302為將催化粒子混合到樹脂中的步驟，通常會加入有機揮發物以降低混合物的黏度，這形成放置在儲存槽108中的催化樹脂106。步驟304為將催化樹脂注入織物的步驟，例如圖1的滾輪104可提供形成A階段預浸體；步驟306為將催化樹脂注入的織物進行初步滾壓，例如藉由滾輪110，而成B階段預浸體的步驟；步驟307為移除有機溶劑以形成B階段預浸體的烘烤步驟；且步驟308為將催化樹脂注入的織物130在層壓機126中壓製成催化C階段預浸體片的步驟，其遵循曲線202的溫度循環，真空幫浦128在整個層壓製程中排空腔室124以移除環氧樹脂中的氣泡，並減少可能在環氧樹脂中形 成的任何氣隙。將冷卻的成品催化C階段預浸體材切割並儲存作為後續使用。

圖2的溫度對時間的曲線202繪示了預浸體在層壓機112中的溫度分布，這對於形成催化預浸體是很關鍵的，催化預浸體具有催化粒子的表面性質，而催化粒子從富含樹脂的外表面排除，但正好存在於富含樹脂的外表面的下方。樹脂在儲存槽108中處於液體狀態，且在樹脂浸漬於玻璃纖維中並通過滾輪110後，預浸體係處於A階段。烘烤103過後，預浸體係處於B階段，其中揮發性有機物被烘烤並伴隨著樹脂初始硬化，其在層壓循環結束時，例如圖2的冷卻階段，將B階段預浸體轉變為C階段預浸體。將B階段預浸體放置在層壓機中並抽真空，以避免在層壓層與層壓層之間形成陷滯空氣(trapped air)。在溫度上升期間204施加熱量以達到由溫度和壓力所決定的持續10秒至15秒的預浸體凝膠點205(凝膠點定義為液態和固態彼此接近平衡的狀態)，這對於催化粒子遷移出表面的過程是很關鍵的，之後預浸體的溫度保持在停留溫度和停留時間206(可介於60分鐘至90分鐘之間)，接著為冷卻循環208。停留溫度和凝膠點溫度取決於壓力和樹脂，舉例來說介於120℃(對於樹脂)至350℃(對於鐵氟龍/聚亞醯胺樹脂)之間。預浸體保持在凝膠點205若太短，會導致纖維玻璃的催化粒子不利地存在於成品預浸體的表面。

圖4繪示了藉由圖1、圖2和圖3的製程形成的所得催化預浸體402，其中催化粒子414均勻地分布在預浸體402的中心區域，但不存在於第一表面404下方的邊界區域408下方，或者不存在於第二表面406下方的邊界區域410下方。舉例來說，對於小於25μm的粒子的粒子分布來說，催化粒子邊界一般在表面下方10μm至12μm(大約為粒子尺寸一半)，因此表面材料的此深度(或更深的深度)必須移除，以使嵌入的催化粒子可用於無電鍍。

習知技術的催化性積層板具有活化表面而必須將其遮蔽，以避免催化性積層板的活化表面進行不希望的無電鍍。相反地，本發明的催化性積 層板在第一表面404至第一邊界408的厚度範圍內，以及從第二表面406至第二邊界410的厚度範圍內排除催化粒子，這提供的優點為：與習知技術一樣，無電鍍不需要各別的遮蔽層來避免與催化粒子接觸。因此，將表面材料從第一表面404移除至第一邊界408的深度(或更深的深度)，或者將表面材料從第二表面406移除至第二邊界410的深度，會導致可用於無電鍍的催化材料暴露出來。也希望提供富含樹脂的表面的方法不僅僅排除了催化劑，也同時排除了纖維織物，因為在會導致纖維暴露的後續步驟中移除表面層會需要額外的清潔步驟，因此較佳僅去除表面的樹脂，以將下方的催化粒子暴露出來。此係藉由使用富含樹脂的外部預浸體層以及在外層上具有較小直徑纖維的平坦非織造玻璃纖維的組合來完成的。使用無電鍍在通道內形成跡線的額外好處在於，跡線在三個側面上係以機械支撐的，這提供介電質基層極大改善的跡線黏附力。

圖5繪示了使用催化性積層板形成單層電路板的製程，該催化性積層板可以形成502，或以具有如圖4所繪示的催化粒子分布形式提供，其具有排除深度418且在較排除深度418更深的通道中提供無電鍍沉積，並且不支持表面上的無電鍍或沒有移除表面材料的區域，此為藉由圖1A、圖2和圖3的製程形成並在圖5中的步驟502呈現的催化性積層板的基本特徵。催化性積層板502可具有在步驟504中形成選擇性的孔洞，之後在步驟506中形成延伸至排除深度下方的通道。可使用任何方法來形成通孔和通道，包含利用雷射鑽孔、機械鑽孔、化學蝕刻、使用遮罩進行電漿蝕刻或藉由直接施加到局部區域來形成。在一較佳的方法中，係利用雷射切割來形成通道和通孔，其中雷射沿著通道和通孔的圖案掃描並且調整振幅為矩形通道形狀。又或者，儘管較佳為形成矩形通道，但也可形成其他通道形狀(梯形、負邊緣斜率、正邊緣斜率)。

在步驟508中，將板放置於無電鍍銅浴中，這導致了通道和選擇性孔洞內無電鍍銅的沉積。進行此無電鍍沉積係以提供最薄的金屬層(例如銅 層)，其較佳在1μm至4μm之間的厚度，或者在2μm的厚度，以確保金屬粒子在通道和孔洞中熔融成跡線。

步驟508係以虛線繪示，作為相對於圖5的本發明另外的具體實例，步驟502使用非催化性積層板，且在步驟508中不進行無電鍍銅的沉積。對通孔孔洞進行鑽孔504且形成通道506，之後進行步驟510，且在通道和孔洞內提供金屬粉末，而先前形成的通道和孔洞內不存在任何先前沉積的金屬。在此沒有無電鍍銅沉積的另外具體實例中，任何導電金屬粉末可以與烘烤/燒結製程結合使用，然而，通常不使用導電膏的含鉛焊膏配方或不含鉛焊膏配方，因為其需要銅基板以成功地進行表面潤濕以及和導電膏黏合。商用不含鉛的導電膏可包含錫、銅、銀、鉍、銦、鋅、銻以及其他金屬的跡線。常規含鉛導電膏配方(錫/鉛)為60/40以及63/37，其提供了共熔性質。

為了與具有通道或孔洞的催化層或非催化層一起使用，在步驟510中，將金屬粒子引入到通道和孔洞中。在本發明的一實例中，作為金屬懸浮液的金屬粒子與潤濕劑一起提供，且以刮刀進行塗覆，確保金屬粒子僅存在於通道和選擇性的孔洞中，且確保金屬粒子不分布在電路板的表面上。刮刀金屬粒子注入可以一次在一側進行，或者在兩側一起進行，或者對僅在一側具有通道的單側板的單側進行，或者對兩側板的兩側進行。對於單板來說，烘烤步驟516係以足以導致金屬粒子在通道或任何孔洞中燒結在一起的溫度進行，以形成未固結多孔跡線，或者較佳熔融在一起並形成均勻而無間隙或空隙的跡線。

導電膏可為習知技術中已知的任何導電膏，例如平均尺寸為10μm的導電粒子的乳液，其中導電粒子包含銅、銀、金、鈀、鎳、銦、鉍、錫或鉛的至少一種，任選地以比例組合來形成具有較佳低的單一熔融溫度的共熔系統，或者粒子可由塗覆金、銀或鎳的銅形成，任一種類型的粒子與黏合劑(例 如酚醛塑料、酚醛環氧樹脂(一種在加熱時固化的預聚合樹脂))，或與溶劑混合的以下任一種樹脂來混合：二乙二醇二丁基醚、聚(甲醛/苯酚)2,3環氧丙基醚或乙基山梨醇乙酸酯(ethyl sorbitol acetate)，上述任一種提供了快速乾燥時間。又或者，導電粒子可與諸如脂肪酸或硬脂酸等黏合劑以及諸如醇類或丙酮等溶劑混合。市售導電粉末的實施例為由日立化成工業株式會社製造的鍍銀銅粉：GB05K(平均粒子尺寸為5.5μm)或者GB10K(平均粒子尺寸為10μm)，其縱橫比(aspect ratio)約為1.0。雖然這些是可獲得的實施例，但導電膏較佳包含1μm或更小的金屬粒子，儘管此要求會隨著相關通道的寬度和深度而改變。在一較佳的具體實例中，金屬粒子具有最大長度為通道或孔洞特徵寬度的百分之一或更小，又或者粒子尺寸可為通道深度的四分之一或更小。顯著小於通道深度四分之一的粒子尺寸來用以更好填充通道，例如為5μm，係較佳的。

在本發明的一個實施例中，市售導電膏為Tutsuta Corporation所製造的MP500(請參照以下網址：www.tatsuta.com)，其具有最大金屬粒子尺寸為25μm的例示性質，且在4μm至6μm的尺寸範圍內具有任何給定體積一半的金屬粒子。在本發明的另一個實施例中，導電膏以重量計或以體積計的至少一種組成：錫(40%-50%)、銅(20%-30%)，銀(1%-10%)、鎳(1%-10%)、鋅(1%-10%)、鉍(10%-20%)以及樹脂(4%-7%)。在本發明的另一個實施例中，市售導電膏為Ormet Circuits所製造的Ormet 701(請參照以下網址：www.ormetcircuits.com)。

在本發明的一較佳具體實例中，可各別進行步驟514以形成若干各別的板，並且可在層壓機中將板對準或堆疊，如圖1C的134，且接著加熱並擠壓直到各別的板層壓在一起為止，且形成了由通道內和孔洞內固結和熔融的跡線，包含從一個電路板到另一個電路板穿過層壓表面和穿過通孔的任何互 連。以此種方式，可以在一步製程中形成層壓電路板和將導電膏形成導電跡線。

圖6A至圖6G繪示了使用製程的若干步驟形成電路板的剖面圖。圖6A繪示了具有外表面602A和602B的催化性積層板，其不包含催化粒子，但在表面下方的排除深度具有催化粒子。圖6B繪示了選擇性雷射鑽孔604和606，其暴露了在鑽孔孔洞或通孔604和606內表面中的催化粒子。圖6C繪示了在頂部表面形成通道608A，以及在底部表面形成通道608B。選擇性的孔環通道可以圍繞每個通孔孔洞604而形成。圖6D繪示了無電鍍閃銅步驟，其中通道和通孔孔洞接收薄的無電鍍銅模，其支持黏附通道中稍後形成的跡線。圖6E繪示了塗覆金屬粒子，例如潤濕劑等的膏狀乳液，以及諸如銅、銀、金、鈀、鎳、銦、鉍、錫或鉛等的金屬粒子，選擇性地以比例組合以形成具有較佳低的單一熔融溫度的共熔體系，或者使用可由塗覆有金、銀或鎳任一者的銅形成的粒子。金屬粒子較佳小於通道最小尺寸的三分之一，例如深度為3μm的0.001英寸(約25μm)的通道會使用大約1μm或更小的金屬粒子。可以加熱具有導電膏的無電鍍層直到金屬粒子和可選擇的潤濕劑形成電路板跡線為止，圖6E的電路層可以塗覆到一或多層的其他層上，以在單一步驟中層壓並將金屬粒子熔融成跡線。圖6F繪示了一實例，其中將層622預先烘烤直到金屬粒子燒結或熔融成導電跡線為止，且將具有金屬粒子的層624和層620彼此相鄰對準並定位，接著將其加熱並擠壓在一起，以形成層壓的多層電路板。隨後可將通道中具有金屬粒子的額外的層塗覆至前一步驟層壓組裝的外層，以形成多層電路板。可在單一高溫層壓步驟中，使用電路板的所有層對金屬粒子進行層壓和熔融成跡線，或者可以在外層的連續層上進行，直到所有層被層壓並且由熔融金屬粒子形成跡線。圖6G繪示了具有通孔626和630的最終多層板，其提供從一個跡線層到另一個跡線層的連接以及層疊到層622的層624和620，藉由在一個步驟中或作為順序操 作對導電膏進行熔融來形成層壓和跡線。

圖7A繪示了根據本發明另一具體實例的外層處理。外層702A和702B為雷射鑽孔704和706，並如前所述，形成通道708A和708B，且如圖7D所繪示進行無電鍍。如圖中虛線701(壓縮且非按比例繪製)所繪示，將這些層層壓到內層，例如使用圖5和圖6A至圖6G所繪示的製程所形成的內層。層壓板經受焊料浸漬7E，其中板浸入焊料中，且提供連續熱空氣線的熱空氣刀被拉過板(例如通過氣刀運送板)，其驅除表面多餘的焊料並進入通道和通孔孔洞，並在焊盤(land)中以焊料而非金屬粒子來形成跡線。此係有利的，因為電子元件係黏著在外層上，且由於跡線係由和料所形成的緣故，因此圖7F的最終處理步驟之後不需要額外的處理步驟(錫膏和焊膏)。

圖7G圖繪示圖7F的上視圖724，其具有跡線710A、通孔724、過渡到由焊料形成的焊盤728的跡線且並準備應用於示例的8個引腳的表面安裝集成電路。由於焊盤(以及跡線)係由焊料所組成的緣故，該焊料係利用習知技術與板上的黏著元件相容，因此簡化了後續將元件放置在電路板上的組裝步驟。在習知技術中，塗覆各別錫膏工具，其具有對應於焊盤元件的孔洞，並且塗覆焊料/潤濕劑。在本結構中，僅需塗覆潤濕劑，將元件放置在焊盤的頂部，並且在高溫爐中進行焊料回流，從而與習知技術製程相比，節省了步驟以及工具。

在本發明另一個變體實施例中，對於板的外層來說，可增加額外的步驟7G，其中塗覆阻焊劑至除了焊盤728周圍的區域730以外所有的區域，如同習知技術中使用防焊工具以防止塗覆阻焊劑至焊盤元件。在本發明的一無模具的實例中，塗覆防焊劑至外電路層的整個表面，並且利用雷射切割來移除在焊盤元件728的區域730的防焊劑，從而暴露出下方的焊盤元件728。

在本發明的一具體實例，用於通孔元件(具有位於導電層壓板 組裝的導電孔洞內的導線元件)，在通孔黏著的孔洞處的層壓/熔融步驟之後，在通孔內實施第二次鑽孔元件黏著孔洞的二次操作。鑽孔直徑小於填充通孔孔洞的直徑，以形成圍繞鑽孔元件黏著孔洞的導電材料孔環。

前述說明僅用以提供本發明的實例，用於理解所使用的根本機制和結構，且不意欲將本發明的範圍僅限於所繪示的特定方法或結構。舉例來說，例如，圖6的順序可以與單面或雙面結構一起使用。圖6F和圖6G的通孔孔洞可以跨層偏移，或者對準以提供連續的堵塞孔，以用於鑽孔來形成通孔元件黏著孔環(如前述)，並且在不失一般性的情形，圖7A至圖7F中所繪示的製程可用於形成雙面(單層基層)板或多層板的外層。

在本說明書中，「大約(approximately)」應理解為小於或小於4倍，「基本上(substantially)」應理解為小於或小於2倍。「數量級(order of magnitude)」或「大約(on the order of)」的值包含介於0.1倍至10倍的值的範圍。

對於印刷電路板製造來說，若干普遍的後製程操作並未繪示出，因為這些操作是通用的，其可以在根據新方法製造出的板上使用習知方法來進行。這類的操作包含用於改善焊料流動的鍍錫、用於改善導電性以及減少腐蝕的金閃(gold flash)、阻焊劑的操作、板上的絲網印刷訊息(件號、部件名稱等)、對成品板進行刻痕(score)或提供分離片等。當在本發明的若干面向的平面板上進行若干這些操作時，可以提供改進的結果。舉例來說，由於板的表面上的跡線和通孔的厚度的緣故，會使得一般將符號絲網印刷在跡線或通孔上時產生破裂，然而上述操作將在平面上提供優異的結果。

502:步驟

504:步驟

506:步驟

508:步驟

510:步驟

514:步驟

516:步驟

Claims (24)

1. 一種由複數個催化預浸體層形成的電路板層，各該催化預浸體層在表層的排除深度下方具有催化粒子分佈，足以提供無電鍍銅沉積(electroless copper deposition)；各該催化預浸體層具有跡線通道，該等跡線通道的深度在該排除深度下方，至少一個催化預浸體層也具有連續穿過相應預浸體層的孔洞；其中該等跡線通道暴露的表面及該等孔洞的內表面具有暴露的催化粒子，該等跡線通道及孔洞在該等催化粒子暴露的區域中具有無電電鍍(electroless plating)，該無電電鍍具有保持該等連續孔洞穿過該催化預浸體層的厚度；該電路板層是藉由在該等通道及連續孔洞中放置導電膏，以足以使該等通道及連續孔洞中的該導電膏熔融的溫度及壓力使該等催化預浸體層層壓在一起而形成，從而形成由經熔融的導電膏形成的連續導體與該等通道及孔洞電氣互連的導電跡線。
2. 如申請專利範圍第1項所述之電路板層，其中該等催化粒子為均相的。
3. 如申請專利範圍第2項所述之電路板層，其中均相的該等催化粒子係以下至少一種：9至11族的過渡金屬元素的鈀(Pd)、鉑(Pt)，銠(Rh)，銥(Ir)，鎳(Ni)，金(Au)，銀(Ag)，鈷(Co)或銅(Cu)。
4. 如申請專利範圍第1項所述之電路板層，其中該等催化粒子包含塗覆有催化劑的填充粒子。
5. 如申請專利範圍第4項所述之電路板層，其中該等填充粒子係以下至少一種：黏土礦物質、水合葉矽酸鋁(hydrous aluminum phyllosilicate)、二氧化矽、高嶺土、聚矽酸鹽、該高嶺土或瓷黏土家族的成員或高溫塑膠。
6. 如申請專利範圍第1項所述之電路板層，其中該等催化粒子係塗覆有催化材料的二氧化矽或者高嶺土。
7. 如申請專利範圍第1項所述之電路板層，其中該無電電鍍係銅。
8. 如申請專利範圍第7項所述之電路板層，其中該無電電鍍具有介於0.2μm至20μm的厚度。
9. 如申請專利範圍第1項所述之電路板層，其中該導電膏包含該等銅、銀、金、鈀、鎳、銦、鉍、錫、鉛或塗覆金、銀或鎳的銅中至少一種的金屬粒子。
10. 如申請專利範圍第1項所述之電路板層，其中該導電膏具有以下以重量計或以體積計的至少一種組成：錫(40%-50%)、銅(20%-30%)，銀(1%-10%)、鎳(1%-10%)、鋅(1%-10%)、鉍(10%-20%)。
11. 如申請專利範圍第10項所述之電路板層，其中該導電膏包含以重量計或以體積計介於4%至7%的樹脂。
12. 如申請專利範圍第1項所述之電路板層，其中該等跡線通道僅形成於該催化預浸體層的一側上或是形成於該催化預浸體層的兩側上。
13. 一種自複數個催化性積層板形成電路板層的方法，各該催化性積層板在至少一表面的排除深度下方具有催化粒子，該方法包含：形成通道於該催化性積層板的至少一個表面中，該等通道形成到該至少一個表面的該排除深度下方的深度；由該催化性積層板的一個表面至該催化性積層板的相對表面形成連續孔洞；對該催化性積層板的該等通道及連續孔洞進行無電電鍍，以使得在熔融或燒結後足以黏合導電膏，該無電電鍍的厚度穿過該催化性積層板的厚度在該等連續孔洞中保持開口； 對該等通道和連續孔洞塗覆導電膏；以及對該複數個催化性積層板加熱以形成單一電路板層，實施該加熱直到該導電膏燒結或熔融到該等通道的無電電鍍沉積上，從而形成由經燒結或經熔融的該導電膏形成的連續導體與該等通道及連續孔洞電氣互連的導電跡線。
14. 如申請專利範圍第13項所述之方法，其中該催化性積層板係與均相粒子混合的樹脂，該等粒子係以下至少一種：9至11族的過渡金屬元素的鈀(Pd)、鉑(Pt)，銠(Rh)，銥(Ir)，鎳(Ni)，金(Au)，銀(Ag)，鈷(Co)或銅(Cu)。
15. 如申請專利範圍第13項所述之方法，其中該催化性積層板係與包含塗覆有催化劑的填充粒子的催化粒子混合的樹脂。
16. 如申請專利範圍第15項所述之電路板層，其中該填充粒子係以下至少一種：黏土礦物質、水合葉矽酸鋁、二氧化矽、高嶺土、聚矽酸鹽、該高嶺土或瓷黏土家族的成員或高溫塑膠。
17. 如申請專利範圍第13項所述之方法，其中該等通道係利用以下至少一種形成：雷射切割、機械研磨、機械切割、化學蝕刻或電漿蝕刻，從而將下方的該等催化粒子暴露在該排除深度以下。
18. 如申請專利範圍第13項所述之方法，其中該無電電鍍係銅，且具有介於0.2μm至20μm的厚度。
19. 如申請專利範圍第13項所述之方法，其中該導電膏具有以下以重量計或以體積計的至少一種組成：錫(40%-50%)、銅(20%-30%)、銀(1%-10%)、鎳(1%-10%)、鋅(1%-10%)、鉍(10%-20%)。
20. 如申請專利範圍第13項所述之方法，其中該導電膏包含金屬粒子，該等金屬粒子係銅、銀、金、鈀、鎳、銦、鉍、錫、鉛的至少一種。
21. 一種由複數個催化性積層板層形成多層電路板的方法，各該催 化性積層板層係由樹脂以及催化粒子所形成，各該催化性積層板層具有富含樹脂的表面，各該表面具有不足以支持無電鍍銅沉積的催化粒子，且各該催化性積層板層具有在該催化性積層板層的表面的排除深度下方的催化粒子，使得形成到該表面中的通道或通孔暴露足夠的催化粒子密度以允許無電鍍沉積；各該催化性積層板層具有通道以及通孔孔洞，該等通道由表面延伸至該排除深度下方，且該等孔洞延伸穿過催化性積層板層的整個厚度，該等通道和通孔孔洞具有無電鍍銅沉積於其中，該無電鍍銅沉積足以保持穿過該催化性積層板層的開通孔孔洞；各該催化性積層板層的該等通道以及該等開通孔孔洞填充有導電膏，該等催化性積層板層彼此相鄰放置並承受高壓和高溫，其中該高壓和高溫足以層壓該等催化性積層板層，且使該等通道及孔洞內的該導電膏熔融或燒結成包含經熔融的導電膏的導電連續跡線，該等跡線連續穿過該等通道及孔洞。
22. 如申請專利範圍第21項所述之方法，其中對該等通孔孔洞中的該等導電連續跡線的至少一者鑽孔以容納穿孔元件。
23. 一種由複數個催化性積層板形成電路板層的方法，各該催化性積層板係由與催化粒子和纖維網混合的樹脂所形成，該催化性積層板具有位在該催化性積層板外表面的排除深度下方的催化粒子，該方法包含：在該催化性積層板中形成通道和穿過該催化性積層板的孔洞，該等通道的深度超過該排除深度；利用無電沉積方法在該等通道和孔洞中沉積銅；以包含金屬粒子的導電膏填充該等通道和孔洞；對該等導電膏和該催化性積層板加熱至足以使該等導電金屬粒子燒結或熔融的溫度，以形成導電跡線，經熔融或經燒結的該等金屬粒子形成穿過相關通 道及通孔的連續電跡線。
24. 一種由複數個催化性積層板層形成多層電路板的方法，各該催化性積層板層係由與催化粒子和纖維網混合的樹脂所形成，至少一個催化性積層板層的該等催化粒子僅在形成於該催化性積層板的催化粒子排除深度下方的通道及形成在該等催化性積層板層中的穿孔孔洞的內表面中支持無電鍍銅沉積，該方法包含：在各該催化性積層板層中形成通道和穿孔孔洞；在各該催化性積層板層中的該等通道和穿孔孔洞中無電鍍銅，足以在各該孔洞中提供穿孔通道；以包含金屬粒子的導電膏填充該等通道和該等孔洞；將複數個具有填充有導電膏的通道及孔洞的催化性積層板層堆疊放置在層壓機中，並將該等導電粒子和該催化性積層板加熱至足以使該等導電粒子熔融或燒結的溫度及壓力以在該等通道中形成導電跡線並使該複數個電路板層彼此結合，經熔融或經燒結的該等金屬粒子形成穿過該等通孔及通道的連續電跡線。

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