TWI804745B

TWI804745B - 機台管理系統

Info

Publication number: TWI804745B
Application number: TW109123239A
Authority: TW
Inventors: 吳紹穎; 羅淑芬; 曾紀寧; 鄭念中
Original assignee: 鼎華智能系統股份有限公司
Priority date: 2020-07-09
Filing date: 2020-07-09
Publication date: 2023-06-11
Also published as: TW202203076A

Abstract

本發明提出一種機台管理系統，其包括多個機台、製造執行系統資料庫以及至少一資料解析裝置。多個機台用以生產多個產品，並對多個產品進行檢測，以產生多個測量資料。製造執行系統資料庫用以儲存多個格式檔。以及至少一資料解析裝置連接多個機台與製造執行系統資料庫，並用以：接收多個測量資料與多個格式檔，以偵測多個測量資料的至少一資料格式，依據至少一資料格式從多個格式檔選擇至少一資料格式對應的至少一目標格式檔，以及依據至少一目標格式檔從多個測量資料產生多個目標資料。此外，另一種機台管理系統亦在此揭露。

Description

機台管理系統

本發明是有關於一種機台管理系統，且特別是有關於一種基於自動載入格式檔的技術的機台管理系統。

因應全球智慧製造的快速需求，製造執行系統(manufacturing execution system，MES)已是智慧工廠管理的核心。此外，隨著工廠自動化程度的大幅提高，機台所產出的資料為生產現場上極其重要資訊。因此如何正確、完整、快速地將裝置產生的資料導入至製造執行系統中是相當重要課題。

由於受限於機台的製造廠商所設定的檔案格式，縱使是廠內同一種生產類型的機台，其檔案格式也會因製造廠商而不盡相同，且跨生產類型的機台的檔案格式更是差異甚大。此外，外部供應廠商所提供的檔案格式也無法進行有效的整合。基於上述，面對機台的檔案格式的多樣性與多變性，要如何有效處理各種種類的檔案格式，是本領域急需解決的問題。

本發明提供一種機台管理系統，包括多個機台、製造執行系統資料庫以及至少一資料解析裝置。多個機台用以生產多個產品，並對多個產品進行檢測，以產生多個測量資料；製造執行系統資料庫用以儲存多個格式檔；以及至少一資料解析裝置連接多個機台與製造執行系統資料庫，並用以：接收多個測量資料與多個格式檔，以偵測多個測量資料的至少一資料格式，依據至少一資料格式從多個格式檔選擇至少一資料格式對應的至少一目標格式檔，以及依據至少一目標格式檔從多個測量資料產生多個目標資料。

本發明提供一種機台管理系統，包括多個機台、製造執行系統資料庫以及檔案伺服器。多個機台用以生產多個產品，並對多個產品進行檢測，以產生多個測量資料；製造執行系統資料庫用以儲存多個格式檔；以及檔案伺服器連接多個機台，並用以：接收多個測量資料與多個格式檔，以偵測多個測量資料的至少一資料格式，依據至少一資料格式從多個格式檔選擇至少一資料格式對應的至少一目標格式檔，其中至少一格式檔包括至少一自定義函式，以及利用至少一格式檔中的至少一自定義函式從多個測量資料產生多個目標資料。

基於上述，本發明提出的機台管理系統可採用一種自動載入格式檔的技術，以讀取由不同或相同的裝置所產生的不同類型格式之檔案。如此一來，本發明更可以利用自定義涵式計算功能與自定義擷取資料內容的方法，進行裝置的資料採集。此外，本發明更提供在讀取失敗時重新採集的機制與即時發送異常通知給對應的操作人員。

100、300、400:機台管理系統

110(1)~110(M):機台

120(1)~120(N):資料解析裝置

130:製造執行系統資料庫

1201:待解析檔案資料夾

1203、1203(1)~1203(S):檔案類型資料夾

1205、1205(1)~1205(S):檔案源資料夾

1207、1207(1)~1207(S):檔案隊列資料夾

1209、1209(1)~1209(S):檔案目的資料夾

12011、12011(1)~12011(S):檔案解析失敗資料夾

S201~S207:機台管理方法的步驟

第1圖根據本發明的實施例繪示機台管理系統的方塊圖。

第2圖根據本發明的實施例繪示機台管理方法的流程圖。

第3圖根據本發明的另一實施例繪示機台管理系統的示意圖。

第4圖根據本發明的另一實施例繪示機台管理系統的示意圖。

第1圖根據本發明的實施例繪示機台管理系統的方塊圖。請參照第1圖，機台管理系統100包括多個機台110(1)~110(M)、至少一資料解析裝置120(1)~120(N)以及製造執行系統(manufacturing execution system，MES)資料庫130，其中M與N為任意正整數，並沒有特別的限制。在一些實施例中，M可以等於N，且機台110(1)~110(M)可分別連接至資料解析裝置120(1)~120(N)。在另一些實施例中，N可以等於1，且機台110(1)~110(M)皆可連接至一個資料解析裝置120(1)，且資料解析裝置120(1)還可以是一個檔案伺服器(file server)。

再者，機台110(1)~110(M)可生產多個產品，並對多個產品進行檢測，以產生多個測量資料。資料解析裝置120(1)~120(N)可以有線或無線的方式連接多個機台110(1)~110(M)與製造執行系統資料庫130。對於有線方式而言，連接裝置可以是通用序列匯流排(universal serial bus，USB)、RS232、通用非同步接收器/傳送器(universal asynchronous receiver/transmitter，UART)、內部整合電路(I2C)、序列周邊介面(serial peripheral interface，SPI)、顯示埠(display port)、雷電埠(thunderbolt)或區域網路(local area network，LAN)介面，並沒有特別的限制。對於無線方式而言，連接裝置可以是無線保真(wireless fidelity，Wi-Fi)模組、無線射頻識別(radio frequency identification，RFID)模組、藍芽模組、紅外線模組、近場通訊(near-field communication，NFC)模組或裝置對裝置(device-to-device，D2D)模組，亦沒有特別的限制。

此外，製造執行系統資料庫130可儲存由系統的操作人員預先設置的多個格式檔與多個程式(例如，利用程式檔對測量資料進行解析的資料採集轉換程式)。

在一些實施例中，機台110(1)~110(M)可以是用以生產、加工產品或執行製程步驟的硬體製程設備(例如，半導體晶圓製程的機台或製造組裝零件的機台等機台)，且機台110(1)~110(M)可連接製造執行系統(未繪示)，並可從製造執行系統接收用以執行機台110(1)~110(M)的多個製程指令(一般而言，產品製造系統都會包括一個製造執行系統以必須確保機台的排程(scheduling))。

在一些實施例中，資料解析裝置120(1)~120(N)例如是包括記憶體及處理器的裝置。記憶體例如是任何型態的隨機存取記憶體(random access memory，RAM)、唯讀記憶體(read-only memory，ROM)、快閃記憶體(flash memory)、硬碟或類似元件或上述元件的組合。處理器例如是中央處理單元(central processing unit，CPU)，或是其他可程式化之一般用途或特殊用途的微處理器(microprocessor)、數位訊號處理器(digital signal processor，DSP)、可程式化控制器、特殊應用積體電路(application specific integrated circuits，ASIC)或其他類似裝置或這些裝置的組合。進一步而言，處理器可從記憶體載入電腦程式，以執行本發明實施例的機台管理系統的操作方法。此外，資料解析裝置120(1)~120(N)更可以包括用以輸入指令的週邊裝置或軟體，例如鍵盤、滑鼠與桌面程式(Desktop Application)等等。

在一些實施例中，製造執行系統資料庫130例如是管理多個機台的製程的製造執行系統的資料庫。

第2圖根據本發明的實施例繪示機台管理方法的流程圖。請參照第2圖，本實施例的方法適用於第1圖的機台管理系統100，但不以此為限。任何可應用第2圖所示方法的機台管理系統均在本案思及範圍內。為清楚說明起見，以下即搭配第1圖所示機台管理系統100中各裝置之間的作動關係來說明第2圖所示之機台管理方法的詳細步驟。

首先，於步驟S201中，機台110(1)~110(M)生產多個產品，並對多個產品進行檢測，以產生多個測量資料。詳細而言，在機台110(1)~110(M)進行生產、加工產品或執行製程步驟以生產出多個產品後，機台110(1)~110(M)中的每一者可對各自生產出來的所有產品進行檢測以產生多個測量資料，其中多個測量資料可以是以表格的形式表示的檔案，並沒有特別的限制。

舉例而言，機台110(1)可生產多個晶圓，並檢測生產出來的多個晶圓中的每一者上的所有晶粒的厚度，以產生多個晶圓對應的多個測量表格的檔案，其中各測量表格包括各晶圓中的所有晶粒的厚度。此外，機台110(2)~110(M)也可以相同的方式產生對應的多個測量表格。以下以表一作為對一個晶圓進行厚度測量所產生的資料表格為例子。

在一些實施例中，多個測量資料可以是以不同的檔案格式表示，例如是excel檔、word檔或txt文字檔等。進一步而言，同一個機台在測量不同資料類型時可能產生不同的檔案格式(例如，excel檔、word檔或txt文字檔等)，且不同的機台也可能產生不同的檔案格式。

再者，於步驟S203中，資料解析裝置120(1)~120(N)可接收多個測量資料與多個格式檔，以偵測多個測量資料的至少一資料格式。詳細而言，資料解析裝置120(1)~120(N)可從機台110(1)~110(M)接收多個測量資料，並從製造執行系統資料庫130接收多個格式檔。藉此，資料解析裝置120(1)~120(N)可對多個測量資料進行分析，以判斷出多個測量資料對應的至少一資料格式。

在一些實施例中，資料解析裝置120(1)~120(N)可分析出多個測量資料分別對應於哪些檔案格式(例如，excel檔、word檔或txt文字檔等)、檔案內的格式(例如，檔案內的表格的第一行是多個晶粒的厚度，且第一行的欄位名稱為「thickness」等)以及檔案中的資料類別 (例如，檔案內的表格的第一行的類別為晶粒的厚度等)，以產生對應的至少一資料格式。

舉例而言，以N=1為例子，資料解析裝置120(1)可從機台110(1)接收所生產的多個晶圓分別對應的多個測量表格的檔案，並對這些檔案進行分析，其中各測量表格為一行多列的表格，且各測量表格中的列的數量是對應於各晶圓的晶粒數量。

藉此，當資料解析裝置120(1)判斷出這些檔案中的第一部分屬於excel檔、這些檔案中的第一部分的各者對應的表格的第一行是對應於多個晶粒的厚度、第一行的欄位名稱為「晶粒厚度」以及這些檔案中的第一部分中的表格的第一行的資料類別為晶粒的厚度時，資料解析裝置120(1)可產生多個檔案第一部分是對應於第一資料格式。

相似地，當資料解析裝置120(1)判斷出這些檔案中的第一部分屬於word檔、這些檔案中的第二部分的各者對應的表格的第一行是對應於多個晶粒的寬度、第一行的欄位名稱為「width」以及這些檔案中的第二部分中的表格的第一行的資料類別為晶粒的寬度時，資料解析裝置120(1)可產生多個檔案第二部分是對應於第二資料格式。

此外，資料解析裝置120(1)也可對機台110(2)~110(M)所產生的多個測量資料以相同的方式判斷出對應的資料格式。

再者，於步驟S205中，資料解析裝置120(1)~120(N)可依據至少一資料格式從多個格式檔選擇至少一資料格式對應的至少一目標格式檔。詳細而言，資料解析裝置120(1)~120(N)可從製造執行系統接收所有預先由系統的操作人員設定好的多個格式檔，並依據所判斷出的至少一資料格式從這些格式檔中挑選出至少一資料格式對應的至少一目標格式檔。

舉例而言，接續上個例子，資料解析裝置120(1)可從製造執行系統接收多個格式檔，並從這些格式檔挑選出分別匹配第一資料格式與第二資料格式的第一目標格式檔與第二目標格式檔。此外，資料解析裝置120(1)也可對機台110(2)~110(M)所產生的多個測量資料以相同的方式判斷出對應的至少一目標格式檔。

在一些實施例中，多個格式檔可包括多個固定參數、多個動態參數以及多個自定義函式。資料解析裝置120(1)~120(N)可判斷多個格式檔中的多個自定義函式是否對應至少一資料格式。如此一來，當資料解析裝置120(1)~120(N)判斷多個格式檔中的至少一者的至少一自定義函式對應於至少一資料格式時，資料解析裝置120(1)~120(N)可選擇多個格式檔中的至少一者以產生至少一目標格式檔。

在進一步的實施例中，固定參數可包括格式檔中的必要資訊，即，機台編號、測試時間、資料欄位擷取起始位置等。動態參數可包括格式檔中的選擇性設定參數，即，其他需額外收集之參數(例如，晶圓的尺寸的各種相關參數)。自定義函式可包括函式編號、參數編號以及參數值。函式編號為自定義函式的編號，並對應於參數編號。參數編號為欲收集資料值項目的命名，並對應於參數值。參數值為結構化查詢語言(structured query language，SQL)的自定義公式(例如，此自定義公式可從多個量測資料擷取出特定資料類別對應的多個量測資料，並利用所擷取的多個量測資料產生至少一資料值)，並包括驗證結構化查詢語言的正確性的機制。舉例而言，以下表二為格式檔的例子。

在上述表二中，「公式1」與「公式2」為函式編號，且「thickness_min」與「thickness_max」為參數編號。而「select(thickness)from(table)」與「select(thickness)from(table)」為參數值，且「select()from()」為結構化查詢語言的自定義公式，其中「thickness」與「table」分別為測量資料中的晶圓厚度與測量資料對應的測量表格。

最後，於步驟S207中，資料解析裝置120(1)~120(N)可依據至少一目標格式檔從多個測量資料產生多個目標資料。詳細而言，資料解析裝置120(1)~120(N)可利用至少一目標格式檔對多個測量資料進行計算，以產生系統的操作人員所需要的多個目標資料。

在一些實施例中，資料解析裝置120(1)~120(N)可依據至少一目標格式檔中的至少一自定義函式從多個測量資料產生多個目標資料。

在一些實施例中，資料解析裝置120(1)~120(N)可依據多個自定義函式中的多個資料類別從多個測量資料擷取多個計算資料(例如，晶圓的測試資料的資料表格中的所有晶粒的厚度)，並依據多個計算資料以利用多個自定義函式產生多個目標資料。此外，多個目標資料也可以是以表格的形式表示。

舉例而言，當資料解析裝置120(1)接收到機台110(1)所產生的多個測量資料對應的測量表格的一個檔案時，資料解析裝置120(1)可從所接收的多個格式檔取出此檔案對應的目標格式檔，並依據目標格式檔中的至少一自定義函式對應的至少一資料類別從多個測量資料擷取出多個計算資料，進而依據多個計算資料以利用至少一自定義函式計算出至少一目標資料對應的目標資料表格。

在一些實施例中，當資料解析裝置120(1)~120(N)依據至少一目標格式檔從多個測量資料無法產生多個目標資料時，資料解析裝置120(1)~120(N)可依據多個測量資料更新至少一目標格式檔，並將至少一目標格式檔傳送至製造執行系統資料庫130。

在進一步的實施例中，當資料解析裝置120(1)~120(N)依據至少一目標格式檔從多個測量資料無法產生多個目標資料時，資料解析裝置120(1)~120(N)可通知系統的操作人員，以讓操作人員依據多個測量資料對至少一目標格式檔進行調整。藉此，資料解析裝置120(1)~120(N)可依據調整過後的至少一目標格式檔從多個測量資料產生多個目標資料。

在一些實施例中，當資料解析裝置120(1)~120(N)依據多個設定檔從多個測量資料成功產生多個目標資料時，資料解析裝置120(1)~120(N)可將多個目標資料傳送至製造執行系統資料庫130。

藉由上述步驟，本發明實施例的機台管理系統100可因應不同或相同機台針對多個測試資料產生的不同的檔案格式，使用不同檔案格式對應的格式檔，以從多個測量資料產生所需要的所有目標資料。如此一來，當不同機台採用不同檔案格式或同一個機台針對不同量測資料的類型的量測採用不同的檔案格式時，可使用對應的格式檔以對所有機台的量測資料擷取出所需要的資料。

進一步而言，以下以一個資料解析裝置對一個機台所產生的測量資料進行分析以將產生的目標資料上傳至製造執行系統資料庫為例。

第3圖根據本發明的另一實施例繪示機台管理系統的示意圖。請參照第3圖，機台管理系統300包括兩個機台110、兩個資料解析裝置120以及製造執行系統資料庫130。資料解析裝置120可連接機台110與製造執行系統資料庫130。

首先，機台110可生產多個產品，並對多個產品進行檢測，以產生多個測量資料。在一些實施例中，機台110更可依據多個測量資料產生各產品的測量表格的檔案。

接著，資料解析裝置120可偵測多個測量資料的至少一資料格式。在一些實施例中，資料解析裝置120可接收由多個測量資料所產生的各產品的測量表格的檔案，並產生待解析檔案資料夾1201以儲存這些測量表格的檔案。此外，資料解析裝置120可對待解析檔案資料夾1201中的所有測量表格的檔案進行檔案格式分析，以判斷這些檔案的檔案格式。藉此，資料解析裝置120可產生檔案類型資料夾1203(1)~1203(S)、檔案源資料夾1205(1)~1205(S)、檔案隊列資料夾1207(1)~1207(S)、檔案目的資料夾1209(1)~1209(S)以及檔案解析失敗資料夾12011(1)~12011(S)，其中S為資料解析裝置120所分析出的檔案格式的數量對應的正整數，且檔案類型資料夾1203(1)~1203(S)分別對應一個檔案格式。

在一些實施例中，資料解析裝置120可依據上述分析出的S個檔案格式將待解析檔案資料夾1201中的所有測量表格的檔案傳送至檔案類型資料夾1203(1)~1203(S)分別連接的檔案源資料夾1205(1)~1205(S)。

在一些實施例中，資料解析裝置120可週期或非週期性地檢測檔案源資料夾1205(1)~1205(S)是否有未傳送至檔案隊列資料夾1207(1)~1207(S)的檔案。若有，資料解析裝置120可將檔案源資料夾1205(1)~1205(S)中的上述檔案傳送至檔案隊列資料夾1207(1)~1207(S)。

在一些實施例中，資料解析裝置120可週期或非週期性地對檔案隊列資料夾1207(1)~1207(S)中的所有檔案進行解析，以判斷出所有檔案的資料格式。在進一步的實施例中，資料解析裝置120可判斷檔案隊列資料夾1207(1)~1207(S)中的所有檔案對應的檔案格式、檔案內的格式以及檔案中的資料類別，以判斷所有檔案對應的至少一資料格式。

接著，資料解析裝置120可依據至少一資料格式從多個格式檔選擇至少一資料格式對應的至少一目標格式檔。在一些實施例中，資料解析裝置120可從製造執行系統資料庫130接收多個格式檔，並依據檔案隊列資料夾 1207(1)~1207(S)中的所有檔案對應的檔案格式、檔案內的格式以及檔案中的資料類別從多個格式檔選擇至少一資料格式對應的至少一目標格式檔，其中這些格示檔是預先從製造執行系統資料庫130接收的。

最後，資料解析裝置120可依據至少一目標格式檔從多個測量資料產生多個目標資料。在一些實施例中，資料解析裝置120可將解析成功的所有檔案(即，成功利用目標格式檔產生所需要的目標資料的檔案)傳送至檔案目的資料夾1209(1)~1209(S)。在另一些實施例中，資料解析裝置120可將解析失敗的所有檔案(即，無法利用目標格式檔產生所需要的目標資料的檔案)傳送至檔案解析失敗資料夾12011(1)~12011(S)。

在進一步的實施例中，資料解析裝置120可依據多個測量資料更新至少一目標格式檔，並將至少一目標格式檔傳送至製造執行系統資料庫130。

在進一步的實施例中，每當資料解析裝置120對檔案隊列資料夾1207(1)~1207(S)中的任一檔案解析成功，資料解析裝置120可立即將成功解析的檔案對應的至少一目標資料上傳至製造執行系統資料庫130。

在另一方面，以下還可以一個檔案伺服器對多個機台所產生的測量資料進行分析以將產生的目標資料上傳至製造執行系統資料庫為例。

第4圖根據本發明的另一實施例繪示機台管理系統的示意圖。請參照第4圖，機台管理系統400包括多個機台110(1)~110(M)、檔案伺服器120’以及製造執行系統資料庫130。檔案伺服器120’連接機台110(1)~110(M)與製造執行系統資料庫130。

首先，機台110(1)~110(M)可生產多個產品，並對多個產品進行檢測，以產生多個測量資料。在一些實施例中，機台110(1)~110(M)更可依據多個測量資料產生各產品的測量表格的檔案。

接著，檔案伺服器120’可偵測多個測量資料的至少一資料格式。在一些實施例中，檔案伺服器120’可接收由多個測量資料所產生的各產品的測量表格的檔案，並產生檔案類型資料夾1203以儲存這些測量表格的檔案。此外，資料解析裝置120可對待解析檔案資料夾1201中的所有測量表格的檔案進行檔案格式分析，以判斷這些檔案的檔案格式。藉此，資料解析裝置120可產生檔案源資料夾1205、檔案隊列資料夾1207、檔案目的資料夾1209以及檔案解析失敗資料夾12011。

在一些實施例中，檔案伺服器120’可週期或非週期性地檢測檔案源資料夾1205是否有未傳送至檔案隊列資料夾1207的檔案。若有，資料解析裝置120可將檔案源資料夾1205中的上述檔案傳送至檔案隊列資料夾1207。

在一些實施例中，檔案伺服器120’可週期或非週期性地對檔案隊列資料夾1207中的所有檔案進行解析，以產生出所有檔案的資料格式。在進一步的實施例中，檔案伺服器120’判斷檔案隊列資料夾1207中的所有檔案對應的檔案格式、檔案內的格式以及檔案中的資料類別，以判斷所有檔案對應的至少一資料格式。

接著，檔案伺服器120’可依據至少一資料格式從多個格式檔選擇至少一資料格式對應的至少一目標格式檔。在一些實施例中，檔案伺服器120’可從製造執行系統資料庫130接收多個格式檔，並依據檔案隊列資料夾1207中的所有檔案對應的檔案格式、檔案內的格式以及檔案中的資料類別從多個格式檔選擇至少一資料格式對應的至少一目標格式檔。

最後，檔案伺服器120’可依據至少一目標格式檔從多個測量資料產生多個目標資料。在一些實施例中，檔案伺服器120’可將解析成功的所有檔案(即，成功利用目標格式檔產生所需要的目標資料的檔案)傳送至檔案目的資料夾1209。在另一些實施例中，資料解析裝置120可將解析失敗的所有檔案(即，無法利用目標格式檔產生所需要的目標資料的檔案)傳送至檔案解析失敗資料夾12011。

在進一步的實施例中，檔案伺服器120’可依據多個測量資料更新至少一目標格式檔，並將至少一目標格式檔傳送至製造執行系統資料庫130。

在進一步的實施例中，每當檔案伺服器120’對檔案隊列資料夾1207中的任一檔案解析成功，檔案伺服器120’可立即將成功解析的檔案對應的至少一目標資料上傳至製造執行系統資料庫130。

綜上所述，本發明提出的機台管理系統可採用一種自動載入格式檔的技術，以讀取由不同或相同的裝置所產生的不同類型格式之檔案。換言之，本發明可因應不同或相同機台針對多個測試資料產生的不同的檔案格式，使用不同檔案格式對應的格式檔，以從多個測量資料產生所需要的所有目標資料。如此一來，當不同機台採用不同檔案格式或同一個機台針對不同量測資料的類型的量測採用不同的檔案格式時，可使用對應的格式檔以對所有機台的量測資料擷取出所需要的資料。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

100:機台管理系統

110(1)~110(M):機台

120(1)~120(N):資料解析裝置

130:製造執行系統資料庫

Claims

一種機台管理系統，包括：多個機台，用以生產多個產品，並對該些產品進行檢測，以產生多個測量資料；一製造執行系統資料庫，用以儲存多個格式檔，其中該些格式檔包括多個自定義函式，其中該些自定義函式包括多個函式編號、多個參數編號以及多個參數值；以及至少一資料解析裝置，連接該些機台與該製造執行系統資料庫，並用以：接收該些測量資料與該些格式檔，以偵測該些測量資料的至少一資料格式，依據該至少一資料格式、該些函式編號、該些參數編號以及該些參數值從該些格式檔選擇該至少一資料格式對應的至少一目標格式檔，以及依據該至少一目標格式檔從該些測量資料產生多個目標資料。
如請求項1所述之機台管理系統，其中該些格式檔包括多個固定參數以及多個動態參數，且該至少一資料解析裝置更用以：判斷該些格式檔中的該些自定義函式是否對應該至少一資料格式；以及當該些格式檔中的至少一者的至少一自定義函式對應於該至少一資料格式時，選擇該些格式檔中的該至少一者以產生該至少一目標格式檔。
如請求項2所述之機台管理系統，其中該至少一資料解析裝置更用以：依據該至少一目標格式檔中的至少一自定義函式從該些測量資料產生該些目標資料。
如請求項1所述之機台管理系統，其中該至少一資料解析裝置更用以：當依據該至少一目標格式檔從該些測量資料無法產生該些目標資料時，依據該些測量資料更新該至少一目標格式檔，並將該至少一目標格式檔傳送至該製造執行系統資料庫。
如請求項1所述之機台管理系統，其中該至少一資料解析裝置更用以：當依據該些設定檔從該些測量資料成功產生該些目標資料時，將該些目標資料傳送至該製造執行系統資料庫。
一種機台管理系統，包括：多個機台，用以生產多個產品，並對該些產品進行檢測，以產生多個測量資料；一製造執行系統資料庫，用以儲存多個格式檔，其中該些格式檔包括多個自定義函式，其中該些自定義函式包括多個函式編號、多個參數編號以及多個參數值；以及一檔案伺服器，連接該些機台，並用以：接收該些測量資料與該些格式檔，以偵測該些測量資料的至少一資料格式，依據該至少一資料格式、該些函式編號、該些參數編號以及該些參數值從該些格式檔選擇該至少一資料格式對應的至少一目標格式檔，其中該至少一目標格式檔包括至少一自定義函式，以及利用該至少一目標格式檔中的該至少一自定義函式從該些測量資料產生多個目標資料。
如請求項6所述之機台管理系統，其中該些格式檔包括多個固定參數以及多個動態參數，且該檔案伺服器更用以：判斷該些格式檔中的該些自定義函式是否對應該至少一資料格式；以及當該些格式檔中的至少一者的至少一自定義函式對應於該至少一資料格式時，選擇該些格式檔中的該至少一者以產生該至少一目標格式檔。
如請求項6所述之機台管理系統，其中該檔案伺服器更用以：依據該些自定義函式中的多個資料類別從該些測量資料擷取多個計算資料，並依據該些計算資料以利用該些自定義函式產生該些目標資料。
如請求項6所述之機台管理系統，其中該檔案伺服器更用以：當利用該至少一格式檔中的該至少一自定義函式從該些測量資料無法產生該些目標資料時，依據該些測量資料更新該至少一目標格式檔，並將該至少一目標格式檔傳送至該製造執行系統資料庫。
如請求項6所述之機台管理系統，其中該檔案伺服器更用以：當利用該至少一格式檔中的該至少一自定義函式從該些測量資料成功產生該些目標資料時，將該些目標資料傳送至該製造執行系統資料庫。