TWI662221B - 搖搖機台作業系統與方法 - Google Patents

Abstract

本發明提出一種搖搖機台作業系統與方法，其中該系統係包括：至少一身分訊息攜載單元、至少一料品訊息攜載單元、至少一第一機台訊息攜載單元、至少一第二機台訊息攜載單元、以及至少一可攜式電子裝置。特別地，在該可攜式電子裝置以其讀取單元讀取該些訊息攜載單元所攜載的基礎訊息之後，後端的中央監控系統便可以在確認操作人員是否具有機台操作權限以及該料品容置器所盛裝的料品之品名、批號、有效日期、與序號是否正確之後，允許操作人員操作第一機台與/或第二機台。如此方式，係能夠確保研磨液或其他化學液儲液桶之搖晃作業與相關紀錄皆在電子化的系統管理下進行，免除任何的紙本記錄，是以能夠有效避免任何人為操作異常或者以非符合標準作業程序的方式完成相關作業。

Description

搖搖機台作業系統與方法

本發明係關於半導體製程的技術領域，尤指一種搖搖機台作業系統與方法，用於協助積體電路製造廠(IC foundry)的操作人員能夠在後端的中央監控系統的監控下完成化學儲液桶(Chemical container)的定期搖晃作業(Shaking operation)。

化學機械研磨(Chemical Mechanical Polishing,CMP)目前已被廣泛地用於半導體IC製造程序之中的全面性平坦化製程。執行CMP製程時，必須將晶圓放置在一晶圓承載體(Carrier/Head)與表面鋪有拋光墊的一旋轉工作台之間。並且，以具有拋光墊的該旋轉工作台對晶圓執行全面性平坦化的過程中，一化學流體拋光液(Chemical mechanical polishing slurry)會經由一噴注管不斷地噴向晶圓表面。可想而知，拋光墊與化學流體拋光液(簡稱“研磨液”)為CMP製程之中的耗材，必須由現場操作人員定時或定期進行更換。

必須補充說明的是，研磨液主要是由研磨劑(Abrasive)、表面活性劑、PH緩衝膠、氧化劑、與防腐劑組成；其中，研磨劑的主成分通常為二氧化矽(SiO₂)奈米研磨顆粒、三氧化二鋁(Al₂O₃)奈米研磨顆粒、或氧化鈰(CeO₂)奈米研磨顆粒。然而，半導體IC製造廠的實務經驗指出，在完成儲液桶的入庫之後且經過一段時間的存放，未使用的研磨液容易發生奈米研磨顆粒之絮凝或團聚問題。因此，半導體IC製造廠的標準作業程序(SOP)係規定作業人員必須依據批號或料號而定期地檢驗每一桶儲液桶，進而在奈米研磨顆粒之絮凝或團聚現象出現之前以儲液桶搖搖機(Chemical container shaker)搖晃儲液桶。

然而，積體電路製造廠(IC foundry)所提供的實務經驗同時指出，目前使用的研磨液或其他化學液儲液桶之搖晃作業程序係存在著一個重大缺陷，說明如下。研磨液或其他化學液儲液桶之搖晃作業與歷史通常皆透過紙本記錄，且紙本記錄內容至少包括：操作人員姓名、操作人員工號、儲液桶料號(或品名)上機時間、執行儲液桶定期搖晃之操作時間、與下機時間等。然而，肇因於研磨液或其他化學液儲液桶之搖晃作業與紙本記錄同時由人力完成，一旦在執行程序的過程中發生人為操作異常或以非符合標準作業程序的方式完成相關作業，例如：操作人員以料號不符的研磨液或其他化學液儲液桶執行搖晃作業，類似這種的人為操作錯誤勢必導致積體電路製造廠(IC foundry)與其客戶的重大損失。

由上述說明可知，將研磨液或其他化學液儲液桶之搖晃作業與記錄同步電子化對於積體電路製造廠而言是亟迫切的。如此，積體電路製造廠的廠管便能夠透過中心控制系統而完整、全面性地監控研磨液或其他化學液儲液桶之搖晃作業的過程是否正確以及操作人員是否具備執行權限。有鑑於此，本案之發明人係極力加以研究創作，而終於研發完成本發明之一種搖搖機台作業系統與方法。

本發明之主要目的在於提供一種搖搖機台作業系統與方法，其中該系統係包括：至少一身分訊息攜載單元、至少一料品訊息攜載單元、至少一第一機台訊息攜載單元、至少一第二機台訊息攜載單元、以及至少一可攜式電子裝置。特別地，在該可攜式電子裝置以其讀取單元讀取該些訊息攜載單元所攜載的基礎訊息之後，後端的中央監控系統便可以在確認操作人員是否具有機台操作權限以及該料品容置器所盛裝的料品之品名、批號、有效日期、與序號是否正確之後，允許操作人員操作第一機台與/或第二機台。如此方式，係能夠確保研磨液或其他化學液儲液桶之搖晃作業與相關紀錄皆在電子化的系統管理下進行，免除任何的紙本記錄，是以能夠有效避免任何人為操作異常或者以非符合標準作業程序的方式完成相關作業。

為了達成上述本發明之主要目的，本案發明人係提供所述搖搖機台作業系統的一實施例，係包括：至少一身分訊息攜載單元，係設置於至少一操作人員身分卡之上； 至少一料品訊息攜載單元，係設置於至少一料品容置器之上，且該料品容置器係容置有一特定料品；至少一第一機台訊息攜載單元，係設置於至少一第一機台之上，且該第一機台係用以使用該特定料品；至少一第二機台訊息攜載單元，係設置於至少一第二機台之上，且該第二機台係用以預處理該特定料品；以及至少一可攜式電子裝置，係具有一讀取單元；其中，藉由該讀取單元，該可攜式電子裝置可透過讀取該料品訊息攜載單元的方式確認是否該料品容置器所容置的該特定料品需要以該第二機台對其執行預處理；其中，藉由該讀取單元，該可攜式電子裝置可透過讀取該身分訊息攜載單元的方式確認持有該操作人員身分卡之一操作人員是否具有操作該第一機台與該第二機台的權限；其中，藉由該讀取單元，該可攜式電子裝置可透過讀取該第一機台訊息攜載單元與該第二機台訊息攜載單元的方式確認該第一機台與該第二機台之運作狀態。

並且，為了達成上述本發明之主要目的，本案發明人係提供所述搖搖機台作業方法的一實施例，係包括以下步驟：(1)將至少一身分訊息攜載單元設置於至少一操作人員身分卡之上，將至少一料品訊息攜載單元設置於至少一料品容置器之上，並將至少一第一機台訊息攜載單元設置於至少一第一機台之上，並將至少一第二機台訊息攜載單元設置於至少一第二機台之上；其中，該料品容置器容置有一特定料品(例如：研磨液或其他化學液)，該 第一機台用以使用該特定料品，且該第二機台用以對該特定料品執行預處理；(2)提供至少一可攜式電子裝置，且該可攜式電子裝置具有一讀取單元；(3)提透過該可攜式電子裝置選擇執行一研磨液或其他化學液儲液桶搖晃作業；(4)藉由該讀取單元，該可攜式電子裝置透過讀取該身分訊息攜載單元的方式確認持有該操作人員身分卡之一操作人員是否具有操作該第一機台與該第二機台的權限；(5)提藉由該讀取單元，該可攜式電子裝置透過讀取該第二機台訊息攜載單元的方式確認該第二機台之運作狀態；(6)藉由該讀取單元，該可攜式電子裝置透過讀取該料品訊息攜載單元的方式確認該料品容置器所容置的該特定料品(研磨液或其他化學液)之複數個基礎訊息，至少包括：品名(料號)、批號、有效日期、與序號；以及(7)以該第二機台對該料品容置器所盛裝的該特定料品執行一預處理(即，執行研磨液或其他化學液儲液桶之搖晃作業)。

<本發明>

21‧‧‧身分訊息攜載單元

31‧‧‧料品訊息攜載單元

41‧‧‧第一機台訊息攜載單元

61‧‧‧第二機台訊息攜載單元

5‧‧‧可攜式電子裝置

CSRC‧‧‧中央監控系統

2‧‧‧操作人員身分卡

3‧‧‧料品容置器

4‧‧‧第一機台

6‧‧‧第二機台

51‧‧‧讀取單元

R‧‧‧收發裝置

7‧‧‧控制裝置

8‧‧‧電子權杖單元

<習知>

無

圖1係顯示本發明之一種搖搖機台作業系統的架構圖；圖2係顯示可攜式電子裝置的立體圖；圖3A與圖3B係顯示本發明之搖搖機台作業方法的流程圖； 圖4A係顯示可攜式電子裝置的螢幕的正視圖；以及圖4B係顯示可攜式電子裝置的螢幕的正視圖。

為了能夠更清楚地描述本發明所提出之一種搖搖機台作業系統及方法，以下將配合圖式，詳盡說明本發明之較佳實施例。

請參閱圖1，係顯示本發明之一種搖搖機台作業系統的架構圖。如圖1所示，本發明之搖搖機台作業系統係於架構組成上主要包括：至少一身分訊息攜載單元21、至少一料品訊息攜載單元31、至少一第一機台訊息攜載單元41、至少一第二機台訊息攜載單元61、至少一可攜式電子裝置5、與一中央監控系統CSRC。根據本發明之設計，該身分訊息攜載單元21係設置於一操作人員身分卡2之上。簡單地說，身分訊息攜載單元21用以攜載持有該操作人員身分卡2的一操作人員的基本資料，包括：姓名、工號、所屬單元、職級、與是否完成機台操作的資格考(Qualify)。特別說明的是，完成機台操作的資格考的操作人員才會被允許進行對第一機台4與第二機台6進行操作；另外，職級越高的操作人員被允許進行操作的機台之種類則越多。舉例而言，廠長、高級工程師、與主任工程師皆能夠對不同單位的機台進行操作，但操作人員(Operator,OP)僅被限制對其所屬單位的機台進行操作。

另一方面，該料品訊息攜載單元31被設置於對應的一料品容置器(Chemical container)3之上，且該料品容置器3係容置有一特 定料品。其中，該料品訊息攜載單元31攜載有關於該特定料品的複數個基礎訊息，包括：品名(或料號)、批號、有效日期、與序號。舉例而言，所述品名可用以顯示該特定料品為化學流體拋光液(Chemical mechanical polishing slurry)，而該料品容置器3則是用以盛裝所述化學流體拋光液(簡稱“研磨液”)或其他化學液的儲液桶。另一方面，該第一機台訊息攜載單元41與該第二機台訊息攜載單元61係分別設置於對應的第一機台4與第二機台6之上。根據本發明之設計，該第一機台4係用以使用該特定料品；舉例而言，該第一機台4為一研磨液或其他化學液供應系統。另一方面，該第二機台6則是用以對該特定料品進行一預處理，例如第二機台6為一儲液桶之搖搖機台(Chemical container shaker)。

由上述說明可知，單位“至少一”係用以表示所述四種訊息攜載單元(21,31,41,61)的數量為一個或多個。換句話說，這四種訊息攜載單元(21,31,41,61)的數量的確實數量係決定於該操作人員身分卡2、該料品容置器3、第一機台4、與該第二機台6的數量。另一方面，該可攜式電子裝置5係具有一讀取單元51。藉由該讀取單元51，可攜式電子裝置5可透過讀取該第一機台訊息攜載單元41與該第二機台訊息攜載單元61的方式確認第一機台4與第二機台6之運作狀態。並且，如圖1所示，可攜式電子裝置5係透過一收發裝置R而與一中央監控系統CSRC相互溝通，收發裝置R與可攜式電子裝置5間的通訊協定可以是無線通訊網路，包含WIFI、3G、4G、藍芽、Zigbee等，收發裝置R與中央監控系統CSRC間的通訊協定可以是無線通訊 網路或有線通訊網路，其中無線通訊網路包含WIFI、3G、4G、藍芽、Zigbee等。且該中央監控系統CSRC則透過一控制裝置7控制該第一機台4與該第二機台6的運作狀態，其中控制裝置7包含可編程式控制裝置(Programmable logic controller,PLC)或直接數位控制器(Direct Digital Controller,DDC)或對象鏈接與嵌入裝置(Object Linking and Embedding,OLE)或用於流程控制的OLE裝置(OLE for Process Control,OPC)其中之一。此處所稱所述運作狀態可為下列任一者：機台是否使用中或機台是否未被列為故障機台。因此，在完成該第一機台訊息攜載單元41與該第二機台訊息攜載單元61的讀取之後，可攜式電子裝置5便可自該中央監控系統CSRC得知該第一機台4與該第二機台6的類型、設定參數及其運作情況。此外，藉由該讀取單元51，該可攜式電子裝置5可進一步地透過讀取該身分訊息攜載單元21的方式確認持有該操作人員身分卡2的操作人員是否具有操作該第一機台4與第二機台6的權限。

特別說明的是，將料品容置器3裝上第一機台4(亦即，研磨液或其他化學液供應系統)之前，必須先透過讀取該料品訊息攜載單元31的方式確認該料品容置器3所容置的該特定料品的相關基礎訊息，藉以確保料品容置器3係於該特定料品處於正常狀態之下被裝入正確的該第一機台4之中。所述相關基礎訊息係包括但不限於：該特定料品的品名正確、該特定料品的批號未被禁用、該特定料品的批號具有入庫紀錄、該特定料品的保存日未超過有效日期、或該特定料品被定期地以該第二機台6執行預處理。在料品容置器3被確認屬於 正常狀態之後，則中央監控系統CSRC便會自動解除第一機台4的機櫃的櫃門，此時操作人員可以自該第一機台4取下已經耗盡該特定料品的該料品容置器3，並將新的料品容置器3裝入該第一機台4內。

值得注意的是，若該可攜式電子裝置5透過讀取該料品訊息攜載單元31的方式而確認該料品容置器3所盛裝的研磨液或其他化學液需要以該第二機台6對其執行預處理，則操作人員便會被系統限制，無法將該料品容置器3直接裝上該第一機台4。進一步地說明，操作人員必須先將該料品容置器3送至第二機台6處，以利用第二機台6完成該料品容置器3的預處理。此處所稱預處理指的是對研磨液或其他化學液的儲液桶(亦即，料品容置器3)執行搖晃作業(Shaking operation)。

雖然圖1係顯示該身分訊息攜載單元21、該料品訊息攜載單元31、該第一機台訊息攜載單元41、與該第二機台訊息攜載單元61皆為一維條碼(1D barcode)，然而不應以此限制所述訊息攜載單元(21,31,41,61)的實施態樣。於實際應用本發明之時，該身分訊息攜載單元21、該料品訊息攜載單元31、該第一機台訊息攜載單元41、與該第二機台訊息攜載單元61可為下列任一者：圖形、文字、字母、數字、一維條碼(1D barcode)、二維條碼(2D barcode)、漢信碼(Chinese-sensible code)、QR碼、矩陣條碼(Maxicode)、RFID標籤、NFC標籤、上述任兩者之組合、或上述任兩者以上之組合。

以一維條碼(1D barcode)為例，該料品訊息攜載單元31可利用Code 39條碼產生器製作，並使其攜載該料品容置器3所盛裝的該 特定料品之品名(料號)、批號、有效日期、與序號。值得特別說明的是，為了利於可攜式電子裝置5對於品名(料號)、批號、有效日期、與序號之清楚讀取，製作料品訊息攜載單元31的一維條碼之時，必須於相鄰兩個基礎訊息之間係插入有一訊息分隔符號(Central seperating character)，例如：%、$、/、~、！、@、#、^、&、*、(、)、-、_、|、{、}、？、<、>、\、[、]或+。

可想而知，對應於不同實施態樣的訊息攜載單元(21,31,41,61)，可攜式電子裝置5的讀取單元51可為下列任一者：RFID標籤讀取器、NFC標籤讀取器、影像辨識器、一維條碼讀取器、二維條碼讀取器、漢信碼讀取器、QR碼讀取器、矩陣條碼讀取器、或影像擷取器。若可攜式電子裝置5為智慧型手機、個人數位助理、筆記型電腦、平板電腦、智慧眼鏡、或智慧手錶，則可直接以可攜式電子裝置5內建的影像擷取模組作為該讀取單元51；如此，於該可攜式電子裝置5安裝一影像(或條碼)辨識軟體之後，便能夠藉由配合使用該讀取單元51與該影像辨識單元的方式，令可攜式電子裝置5完成該身分訊息攜載單元21、該料品訊息攜載單元31、該第一機台訊息攜載單元41、與/或該第二機台訊息攜載單元61之讀取。然而，有鑑於大部分的積體電路製造廠(IC foundry)皆禁止於廠內使用任何類型的智慧型電子裝置，搭載有條碼掃描器(即，讀取單元51)的個人數位助理(Digital personal assistant,PDA)便成為所述可攜式電子裝置5的最佳實施態樣。

繼續地參閱圖1，並請同時參閱圖2，係顯示可攜式電子裝置的立體圖。值得注意的是，雖然可攜式電子裝置5可以透過讀取身分訊息攜載單元21的方式確認持有該操作人員身分卡2之操作人員是否具有操作該第一機台4與第二機台6的權限，但是考慮到低職級的操作人員有可能借用高職級的廠長或工程師的操作人員身分卡2而妄加地操作第一機台4與/或第二機台6，本發明又於搖搖機台作業系統之中增設所謂的電子權杖單元(Electronic token unit)8；其中，該電子權杖單元8之中係儲存有一次性認證碼(One-time password,OTP)。特別地，於該可攜式電子裝置5完成該身分訊息攜載單元21的讀取之後，中央監控系統CSRC可透過可攜式電子裝置5要求操作人員提供與電子權杖單元8；之後，可攜式電子裝置5可透過存取所述一次性認證碼的方式，重複確認持有該操作人員身分卡2之該操作人員是否具有操作該第一機台4與第二機台6的權限，避免高職級的廠長或工程師的操作人員身分卡2被拿來胡亂操作第一機台4或第二機台6。本發明並不限制電子權杖單元8的實施態樣，如圖2所示，電子權杖單元8可以是：藍牙電子裝置、USB電子裝置、NFC標籤、或RFID標籤。並且，在可攜式電子裝置5自該電子權杖單元8之中完成所述一次性認證碼的存取之後，可攜式電子裝置5內部的一權杖碼產生單元(未圖示)會重新生成一組一次性認證碼，並寫入該電子權杖單元8之中，藉此方式提高第一機台4與第二機台6的操作權限。

如此，上述說明係已完整、清楚地介紹說明本發明之一種搖搖機台作業系統。接著，下文將繼續介紹說明本發明之一種搖搖機 台作業方法。請重複參閱圖2，並請同時參閱圖3A與圖3B，係顯示本發明之搖搖機台作業方法的流程圖。並且，請再同時參閱圖4A與圖4B，係顯示可攜式電子裝置的螢幕的正視圖。如圖2與圖3A所示，所述搖搖機台作業方法係首先執行步驟S1，將至少一身分訊息攜載單元21設置於至少一操作人員身分卡2之上，將至少一料品訊息攜載單元31設置於至少一料品容置器3之上，並將至少一第一機台訊息攜載單元41設置於至少一第一機台4之上，並將至少一第二機台訊息攜載單元61設置於至少一第二機台6之上；其中，該料品容置器3容置有一特定料品(例如：研磨液或其他化學液)，該第一機台4用以使用該特定料品，且該第二機台6用以對該特定料品執行預處理。

並且，於步驟S2之中，係提供至少一可攜式電子裝置5，且該可攜式電子裝置5具有一讀取單元51(例如：條碼掃描器)。本發明之搖搖機台作業方法係接著執行步驟S3，如圖4A的(a)圖所示，透過該可攜式電子裝置5選擇執行一搖搖機台作業。接著，於步驟S4之中，如圖4A的(b)圖所示，藉由該讀取單元51，該可攜式電子裝置5透過讀取該身分訊息攜載單元21的方式確認持有該操作人員身分卡2之一操作人員是否具有操作該第一機台4與該第二機台6的權限。繼續地，於步驟S5之中，如圖4A的(c)圖所示，藉由該讀取單元51，該可攜式電子裝置5可透過讀取該第二機台訊息攜載單元61的方式確認該第二機台6之運作狀態。此處所稱運作狀態可為下列任一者：機台是否使用中或機台是否未被列為故障機台。若該第二機台6處於非運行狀態或非異常狀態，則該操作人員被允許使用該第二機台6。

將該料品容置器3裝上該第二機台6之前，方法流程係先執行步驟S6。於步驟S6之中，如圖4A的(d)圖所示，藉由該讀取單元51，該可攜式電子裝置5透過讀取該料品訊息攜載單元31的方式確認該料品容置器3所容置的該特定料品(研磨液或其他化學液)之複數個基礎訊息，至少包括：品名(料號)、批號、有效日期、與序號。若透過該基礎訊息確認該料品容置器3的確必須使用第二機台6執行研磨液或其他化學液儲液桶之搖晃作業，則方法步驟便會接著執行步驟S7：以該第二機台6對該料品容置器3所盛裝的該特定料品執行一預處理(即，執行研磨液或其他化學液儲液桶之搖晃作業)。如圖4B的(a)圖所示，由於第二機台6的運作狀態係受到中央監控系統CSRC所控制，是以可攜式電子裝置5在讀取身分訊息攜載單元21與料品訊息攜載單元31之後，會收到中央監控系統CSRC所送出的預置訊號。此時，操作人員點按該預置訊號所顯示的確認鍵(例如：啟動確認鍵)之後，第二機台6便會執行完整的研磨液或其他化學液儲液桶之搖晃作業。

在順利完成步驟S7之後，如圖4B的(b)圖所示，可攜式電子裝置5會收到中央監控系統CSRC所送出的預置訊號，且該預置訊號會顯示研磨液或其他化學液儲液桶之搖晃作業已經順利完成之通知。相反地，如圖4B的(c)圖所示，若研磨液或其他化學液儲液桶之搖晃作業未順利完成或者突遭中斷，且該預置訊號也會相關警示通知。

本發明之搖搖機台作業方法係透過步驟S4確認持有該操作人員身分卡2之操作人員是否具有操作該第一機台4與該第二機台6的權限。然而，必須預先想到的是，低職級的操作人員有可能借用高職級的廠長或工程師的操作人員身分卡2而妄加胡亂地操作第一機台4或第二機台6，因此，本發明又於此搖搖機台作業方法之中增設步驟4A，其可插入於該步驟S4與該步驟S5之間。執行步驟4A之時，可攜式電子裝置5會要求與一電子權杖單元8(如圖2所示)相互溝通，以重複確認持有該操作人員身分卡2之該操作人員是否具有操作該第一機台4與該第二機台6的權限。簡單地說，可攜式電子裝置5可透過存取該電子權杖單元8之中的一次性認證碼的方式，重複確認持有該操作人員身分卡2之該操作人員是否具有操作該第一機台4與該第二機台6的權限，避免高職級的廠長或工程師的操作人員身分卡2被拿來胡亂操作該第一機台4或該第二機台6。

如此，上述係已完整且清楚地說明本發明之一種搖搖機台作業系統與方法；並且，經由上述可知本發明係具有下列之優點： (1)本發明提出一種搖搖機台作業系統，係包括：至少一身分訊息攜載單元21、至少一料品訊息攜載單元31、至少一第一機台訊息攜載單元41、至少一第二機台訊息攜載單元61、以及至少一可攜式電子裝置5。特別地，在該可攜式電子裝置5以其讀取單元51讀取該些訊息攜載單元(21,31,41,61)所攜載的基礎訊息之後，後端的中央監控系統CSRC便可以在確認操作人員是否具有機台操作權限以及該料品容置器3所盛裝的料品之品名、批號、有效日期、與序號 是否正確之後，允許操作人員操作第一機台4與/或第二機台6。如此方式，係能夠確保研磨液或其他化學液儲液桶之搖晃作業與相關紀錄皆在電子化的系統管理下進行，免除任何的紙本記錄，是以能夠有效避免任何人為操作異常或者以非符合標準作業程序的方式完成相關作業。

必須加以強調的是，上述之詳細說明係針對本發明可行實施例之具體說明，惟該實施例並非用以限制本發明之專利範圍，凡未脫離本發明技藝精神所為之等效實施或變更，均應包含於本案之專利範圍中。

Claims (10)

1. 一種搖搖機台作業系統，係包括：至少一身分訊息攜載單元，係設置於至少一操作人員身分卡之上；至少一料品訊息攜載單元，係設置於至少一料品容置器之上，且該料品容置器係容置有一特定料品；至少一第一機台訊息攜載單元，係設置於至少一第一機台之上，且該第一機台係用以使用該特定料品；至少一第二機台訊息攜載單元，係設置於至少一第二機台之上，且該第二機台係用以預處理該特定料品；以及至少一可攜式電子裝置，係具有一讀取單元；其中，藉由該讀取單元，該可攜式電子裝置可透過讀取該料品訊息攜載單元的方式確認是否該料品容置器所容置的該特定料品需要以該第二機台對其執行預處理；其中，藉由該讀取單元，該可攜式電子裝置可透過讀取該身分訊息攜載單元的方式確認持有該操作人員身分卡之一操作人員是否具有操作該第一機台與該第二機台的權限；其中，藉由該讀取單元，該可攜式電子裝置可透過讀取該第一機台訊息攜載單元與該第二機台訊息攜載單元的方式確認該第一機台與該第二機台之運作狀態。
2. 如申請專利範圍第1項所述之搖搖機台作業系統，其中，更包括：一中央監控系統，係透過一收發裝置與該可攜式電子裝置溝通，並透過一控制裝置監視與控制該第一機台與該第二機台的運作狀態。
3. 申請專利範圍第1項所述之搖搖機台作業系統，其中，該特定料品為一化學流體拋光液或其他化學液，該第一機台為一研磨液或其他化學液供應系統，且該第二機台為一儲液桶之搖搖機台。
4. 申請專利範圍第1項所述之搖搖機台作業系統，其中，該身分訊息攜載單元、該料品訊息攜載單元、該第一機台訊息攜載單元、與該第二機台訊息攜載單元皆可為下列任一者：圖形、文字、字母、數字、一維條碼(1D barcode)、二維條碼(2D barcode)、漢信碼(Chinese-sensible code)、QR碼、矩陣條碼(Maxicode)、RFID標籤、NFC標籤、上述任兩者之組合、或上述任兩者以上之組合。
5. 如申請專利範圍第1項所述之搖搖機台作業系統，其中，該可攜式電子裝置可為下列任一者：智慧型手機、個人數位助理、筆記型電腦、平板電腦、智慧眼鏡、或智慧手錶；該讀取單元可為下列任一者：RFID標籤讀取器、NFC標籤讀取器、影像辨識器、一維條碼讀取器、二維條碼讀取器、漢信碼讀取器、QR碼讀取器、或矩陣條碼讀取器。
6. 如申請專利範圍第1項所述之搖搖機台作業系統，其中，該讀取單元為一影像擷取器，且該可攜式電子裝置更具有一影像辨識單元；其中，藉由配合使用該讀取單元與該影像辨識單元，該可攜式電子裝置可完成該身分訊息攜載單元、該料品訊息攜載單元、該第一機台訊息攜載單元、與/或該第二機台訊息攜載單元之讀取。
7. 如申請專利範圍第1項所述之搖搖機台作業系統，其中，由該料品訊息攜載單元所攜載的該複數個基礎訊息係包括：品名、批號、有效日期、與序號，且相鄰兩個基礎訊息之間係插入有一訊息分隔符號(Central seperating character)。
8. 如申請專利範圍第1項所述之搖搖機台作業系統，其中，該運作狀態可為下列任一者：機台是否使用中或機台是否未被列為故障機台。
9. 如申請專利範圍第1項所述之搖搖機台作業系統，其中，更包括：一電子權杖單元(Electronic token unit)8，係用於與該可攜式電子裝置相互溝通；其中，於該可攜式電子裝置完成該身分訊息攜載單元的讀取之後，該電子權杖裝置係用於重複確認持有該操作人員身分卡之該操作人員是否具有操作該第一機台與該第二機台的權限。
10. 如申請專利範圍第7項所述之搖搖機台作業系統，其中，該訊息分隔符號可為下列任一者：%、$、/、~、！、@、#、^、&、*、(、)、-、_、|、{、}、？、<、>、\、[、]或+。