TWI642948B - 靜電監控系統 - Google Patents

Abstract

一種靜電監控系統，適用於設置在一測試平台上，包含一靜電分析裝置、一靜電檢測裝置，及一接地檢測裝置。該靜電分析裝置包括一殼體，及一設置於該殼體中之控制電路。該靜電檢測裝置包括一靜電檢測組，用以將該控制電路與一人員電連接，以即時判斷該人員是否帶有靜電。該接地檢測裝置包括一接地檢測組，用以將該控制電路與測試平台電連接，以即時判斷該待測物是否接地。當該測試平台確實接地，且該人員也不帶靜電時，該控制電路控制該靜電分析裝置對外提供電源，以提供該人員適當的作業環境。

Description

靜電監控系統

本發明是有關於一種靜電監控系統，尤其是一種利用靜電手環進行監控之靜電監控系統。

積體電路是將電路、半導體、電晶體等多種電子元件微小化，製作於矽晶片上。而已經微小化的積體電路易會設計出靜電隔離及保護的結構，防止靜電轟擊積體電路而造成微小的電子元件損壞。

但是未完成製作之積體電路，未具有任何靜電隔離及保護的結構，因此在積體電路的製作環境，必須將環境中之設備(包含桌椅等物件)都必須進行接地，作業員也必須穿著低阻值的無塵衣，避免積體電路遭到靜電的破壞。

目前在積體電路的製造流程，有許多製程仍然無法自動化，必須依靠作業員的作業，在作業員之作業環境中的設備必須接地，其作業員的身體也必須接地，以避免產生靜電堆積。

目前的作業員並無法得知所使用之設備是否正確接地，在廠務應該將所有的設備正確接地之條件下，作業時只需要依據作業員的標準作業程序(SOP，Standard Operating Procedures)的規定，配戴靜電手環即可讓積體電 路在無靜電的條件下正常作業。

因此當環境設施的接地發生問題時，就有可能使設備或人員產生靜電。舉例來說，接地處的鎖設螺絲發生脫落，或是接地線受外力之拉扯而斷線的意外發生時，作業員無法得知任何警報資訊，不會停止積體電路的製造作業，就會使積體電路遭受靜電的破壞，而遭受重大損失。

因此，如何確認積體電路之製造環境中不會有靜電的產生，並在發現具有靜電產生的風險時，立即通知作業員停止作業，以避免積體電路在製作過程被靜電破壞，是相關技術人員亟需努力的目標。

有鑑於此，本發明之目的是在提供一種靜電監控系統，適用於設置在一測試平台上，該測試平台具有一靜電接地線，該靜電監控系統包含一靜電分析裝置、一靜電檢測裝置，及一接地檢測裝置。

該靜電分析裝置包括一殼體、一設置於該殼體中之控制電路、一設置於該殼體之電源輸入埠、一設置於該殼體之資訊顯示部、一設置於該殼體之靜電檢測連接埠，及一設置於該殼體之接地檢測連接埠，該控制電路與該電源輸入埠、該資訊顯示部、該靜電檢測連接埠，及該接地檢測連接埠電連接。

該靜電檢測裝置設置於該殼體，並包括一靜電檢測組，該靜電檢測組之一端可分離地設置於靜電檢測連接埠，另一端與一人員之肌膚連接，該控制電路藉由該 靜電檢測組取得該人員的人體阻抗，以判斷該人員是否帶有靜電。

該接地檢測裝置設置於該殼體，並包括一接地檢測組，該接地檢測組之一端與該接地檢測連接埠連接，另一端與該測試平台連接，該控制電路藉由該接地檢測組取得該靜電接地線的阻抗值，以判斷該測試平台是否接地。

本發明的又一技術手段，是在於上述之靜電檢測組具有一用以插設於該靜電檢測連接埠之插設端、一與該插設端連接之電位傳輸線、一與該電位傳輸線連接之靜電手環，及二設置於該靜電手環上之金屬片。

本發明的另一技術手段，是在於上述之接地檢測連接埠具有一量測點及一接地點，該接地檢測組具有一連接該量測點與該測試平台之量測線，及一將該接地點接地之接地線。

本發明的再一技術手段，是在於上述之靜電檢測組與該控制電路電連接，該控制電路與該接地點電連接，以使該靜電檢測裝置導走該人員身上的靜電。

本發明的又一技術手段，是在於上述之靜電分析裝置更包括一設置於該殼體中並與該電源輸入埠電連接之電源輸出埠，該控制電路具有一設置於該電源輸入埠與該電源輸出埠間之控制開關，當該控制電路判斷該人員身上阻抗高於一人員阻抗上限值，或該測試平台的阻抗高於一接地阻抗上限值時，會控制該控制開關斷路使該電源輸出埠無法對外輸出電源，當該控制電路判斷該人員身上 阻抗低於該人員阻抗上限值，以及該測試平台的阻抗低於該接地阻抗上限值時，會控制該控制開關電源短路使該電源輸出埠繼續對外輸出電源。

本發明的另一技術手段，是在於上述之靜電分析裝置更包括一用以提供該靜電分析裝置基準阻值之校正元件，及一設置於該殼體並與該控制電路電連接之用以對外發出警報之警報元件。

本發明的再一技術手段，是在於上述之靜電監控系統，更包含另一靜電分析裝置、另一靜電檢測裝置、另一接地檢測裝置，及一監控裝置，每一靜電分析裝置更包括一設置於該殼體之網路連接埠，該監控裝置包括一與每一靜電分析裝置之網路連接埠連接的監控伺服器，以與該複數靜電分析裝置進行資訊傳輸，當其中之一靜電分析裝置判斷該人員身上阻抗高於該人員阻抗上限值，或該測試平台的阻抗高於該接地阻抗上限值時，會發出一警報資訊給該監控伺服器，且該複數靜電分析裝置會持續將阻抗量測資訊儲存於該監控伺服器。

本發明的又一技術手段，是在於上述之監控伺服器具有一警報模組、一計時模組，及一數據輸出模組，該警報模組用以對外發出一警告訊息，該計時模組用以計算其中之一靜電分析裝置發出該警報資訊的時間，該數據輸出模組用以將所儲存任一靜電分析裝置之阻抗量測資訊對外傳輸。

本發明的另一技術手段，是在於上述之監控 伺服器更具有一警報數值設定模組，以分別對該複數靜電分析裝置進行該人員阻抗上限值，及該接地阻抗上限值的設定。

本發明的再一技術手段，是在於上述之監控伺服器更具有一即時顯示模組，及一歷史調閱模組，該即時顯示模組即時顯示該複數靜電分析裝置的量測資訊，該歷史調閱模組對外顯示儲存之資訊。

本發明之有益功效在於，該靜電分析裝置藉由該接地檢測裝置即時確認該測試平台是否正確接地，再藉由該靜電檢測裝置即時量測該人員是否帶有靜電。當該測試平台確實接地，且該人員也不帶靜電時，該靜電分析裝置之控制電路控制該電源輸出埠對外提供電源，以提供該人員適當之作業環境。

21‧‧‧測試平台

22‧‧‧靜電接地線

23‧‧‧人員

24‧‧‧靜電接地連接主線

3‧‧‧靜電分析裝置

31‧‧‧殼體

32‧‧‧控制電路

321‧‧‧電源開關

322‧‧‧控制開關

33‧‧‧電源輸入埠

34‧‧‧電源輸出埠

35‧‧‧資訊顯示部

36‧‧‧靜電檢測連接埠

37‧‧‧接地檢測連接埠

371‧‧‧量測點

372‧‧‧接地點

38‧‧‧網路連接埠

39‧‧‧校正元件

30‧‧‧警報元件

4‧‧‧靜電檢測裝置

41‧‧‧靜電檢測組

411‧‧‧插設端

412‧‧‧電位傳輸線

413‧‧‧靜電手環

414‧‧‧金屬片

5‧‧‧接地檢測裝置

51‧‧‧接地檢測組

511‧‧‧量測線

512‧‧‧接地線

6‧‧‧監控裝置

61‧‧‧監控伺服器

611‧‧‧警報模組

612‧‧‧計時模組

613‧‧‧數據輸出模組

614‧‧‧警報數值設定模組

615‧‧‧即時顯示模組

616‧‧‧歷史調閱模組

圖1是一裝置示意圖，說明本發明靜電監控系統之一第一較佳實施例的前視態樣；圖2是一裝置示意圖，說明該第一較佳實施例之後視態樣；圖3是一使用示意圖，說明該第一較佳實施例應用於一人員之態樣；圖4是一裝置示意圖，說明該第一較佳實施例之一控制開關；圖5是一裝置示意圖，說明該第一較佳實施例之一靜 電檢測裝置的接地態樣；圖6是一裝置示意圖，說明該第一較佳實施例應用於一測試平台之態樣；圖7是一裝置示意圖，本發明靜電監控系統之一第二較佳實施例；圖8是一裝置示意圖，說明該第二較佳實施例之靜電分析裝置的後視態樣；及圖9是一裝置示意圖，說明本發明靜電監控系統之較佳實施例之一第三較佳實施例。

有關本發明之相關申請專利特色與技術內容，在以下配合參考圖式之三個較佳實施例的詳細說明中，將可清楚地呈現。在進行詳細說明前應注意的是，類似的元件是以相同的編號來做表示。

參閱圖1、2、3、4、5、6，為本發明一種靜電監控系統之第一較佳實施例，包含一靜電分析裝置3、一靜電檢測裝置4，及一接地檢測裝置5。

該第一較佳實施例適用於設置在一測試平台21上，以判斷該測試平台21是否正確接地，該測試平台21為半導體作業環境中的設備或物件，舉例來說，半導體製程中所使用的儀器設備，或是半導體作業中所使用之桌子、椅子、架子、推車等物件，皆為該測試平台21的一種。

該測試平台21具有一靜電接地線22，該靜電接地線22為一條電線，該靜電接地線22之一端鎖設於該測 試平台21上，該靜電接地線22之另一端與一靜電接地連接主線24電連接，使該測試平台21可以進行接地。該靜電接地連接主線24設置於廠區中並確實進行接地，以提供廠區之設備或物件電連接，進一步將靜電導入大地。

一般來說接地的種類分為四種，分別為雷擊接地、系統接地、設備接地，及靜電接地。本發明之靜電接地線連接主線24為靜電接地，是負責將連接之設備或物件的靜電電荷導入大地。

該靜電分析裝置3包括一殼體31、一設置於該殼體31中之控制電路32、一設置於該殼體31之電源輸入埠33、一設置於該殼體31之電源輸出埠34、一設置於該殼體31之資訊顯示部35、一設置於該殼體31之靜電檢測連接埠36，及一設置於該殼體31之接地檢測連接埠37，該控制電路32與該電源輸入埠33、該電源輸出埠34、該資訊顯示部35、該靜電檢測連接埠36，及該接地檢測連接埠37電連接。

該控制電路32是一種電子電路控制器，可以取得外界之數位或類比的電子訊號進行運算，以作為自動控制之用。該電源輸入埠33連接市電，以使該控制電路32取得運行的電力。該控制電路32具有一設置於該殼體31之電源開關321，以控制該控制電路32運行與否。

該控制電路32更具有一設置於該電源輸入埠33與該電源輸出埠34間之控制開關322，令該控制電路32可以控制該電源輸出埠34是否對外輸出電力。較佳地，該 控制開關322是一種小電力控制大電力啟閉的電子元件，例如繼電器就是一種以小電力控制大電力的控制開關322。由於控制大電力輸出的技術手段已為業界所知悉，並廣泛運用於多種電子產品中，在此不再詳加贅述。

該資訊顯示部35是一種顯示元件，可以顯示該控制電路32需要輸出的資訊。較佳地，該資訊顯示部35顯示該靜電檢測裝置4及該接地檢測裝置5所量測之阻抗值，當該控制電路32發現問題時，也可以藉由該資訊顯示部35對外顯示。

該靜電檢測裝置4設置於該殼體31上，並包括一靜電檢測組41，該靜電檢測組41之一端可分離地設置於靜電檢測連接埠36，該靜電檢測組41之另一端與一人員23之肌膚連接，該控制電路32藉由該靜電檢測組41取得該人員23的人體阻抗，判斷該人員23是否帶有靜電。

該靜電檢測組41具有一用以插設於該靜電檢測連接埠36之插設端411、一與該插設端411連接之電位傳輸線412、一與該電位傳輸線412連接之靜電手環413，及二設置於該靜電手環413上之金屬片414，該二金屬片414彼此分離一段距離。較佳地，該二金屬片414是設置於該靜電手環413內表面上，以使其能與該人員23之手腕肌膚貼觸在一起。

於該第一較佳實施例中，該靜電檢測組41之插設端411具有二電極面，該電位傳輸線412具有二條電線，該電位傳輸線412之二電線的一端分別與該插設端411之二 電極面電連接，該電位傳輸線412之二電線的另一端分別與該二金屬片414電連接，該靜電檢測連接埠36中具有二分別與該控制電路32電連接之接觸片。實際實施時，該靜電檢測組41可以使用其它電連接的技術與該靜電檢測連接埠36進行連接，不應以此為限。

當該靜電檢測組41之插設端411插入該靜電檢測連接埠36時，該插設端411之二電極面分別與該靜電檢測連接埠36之二接觸片電連接，以使該控制電路32可以量測到該二金屬片414之間的阻抗，尤其是當該二金屬片414貼附於該人員23的手腕皮膚時，可量測到該人員23的人體阻抗。

該接地檢測裝置5設置於該殼體31，並包括一接地檢測組51，該接地檢測組51之一端與該接地檢測連接埠37連接，另一端與該測試平台21連接，該控制電路32藉由該接地檢測組51取得該測試平台21之靜電接地線22的阻抗值，以使該控制電路32判斷該測試平台21是否接地，用以確認該測試平台21是否具有蓄積靜電的風險。

該接地檢測連接埠37具有一量測點371及一接地點372，該接地檢測組51具有一連接於該量測點371與該測試平台21之間的量測線511，及一將該接地點372接地之接地線512。其中，該接地檢測組51之接地線512與該靜電接地線連接主線24電連接，以使該靜電分析裝置3接地。

接地檢測連接埠37之量測點371及接地點372分別與該控制電路32電連接，以使該控制電路32可以取 得該量測線511及該接地線512之間的阻抗值，尤其是當該量測線511與該測試平台21電連接，該接地線512與該靜電接地線連接主線24電連接，該控制電路32將可以取得該測試平台21及該靜電接地線22的阻抗值。

於該第一較佳實施例中，該控制電路32中會預存一人員阻抗上限值、一手環開路警告值、一手環短路警告值、一接地阻抗上限值，及一接地開路警告值。

該人員阻抗上限值是提供該控制電路32來判斷該人員23之人體阻抗是否太高，因為過高的人體阻抗會讓靜電電荷堆積於該人員23身上，即使將該人員23正確接地(例如，配戴接地手環)，也會因為人體阻抗過高而無法將靜電排除乾淨。

該手環開路警告值高於該人員阻抗上限值，主要是提供該控制電路32來判斷該靜電檢測組41之二金屬片414是否已於該人員23之手腕脫落，因為空氣的阻值高於人體阻值，可提供該控制電路32確認該靜電檢測裝置4是否配戴於該人員23之手腕上。

該手環短路警告值是提供該控制電路32來判斷該靜電檢測連接埠36是否正確插入該靜電檢測裝置4，因為人體並非良好的導體，具有一定的阻抗，因此當正確將該靜電檢測裝置4配戴於該人員23之手腕肌膚時，該控制電路32所取得之阻值，不可能趨近於零。當該靜電檢測裝制4所取得的阻抗趨近於零時，表示該靜電檢測連接埠36插入不正確的元件，或是該二金屬片有短路的狀況。

該接地阻抗上限值是提供該控制電路32來判斷該測試平台21之靜電接地線22是否正確連接該靜電接地線連接主線24，以確認該測試平台21是否正確接地，該測試平台21之靜電接地線22為一般的電線，如果該靜電接地線22與該測試平台21及該靜電接地線連接主線24的連接妥當，該控制電路32所取得之阻值應該趨近於零。

該接地開路警告值大於該接地阻抗上限值，主要是提供該控制電路32來判斷該靜電接地線22與該測試平台21及該靜電接地線連接主線24的連接端是否有脫落的狀況。

於該第一較佳實施例中，該人員阻抗上限值設定為10MΩ，該手環開路警告值設定為50MΩ，該手環短路警告值設定為800kΩ，該接地阻抗上限值設定為10Ω，該接地開路警告值設定為30Ω。

其中，當該靜電檢測裝置4所取得之阻抗值大於10MΩ(該人員阻抗上限值)時，或是當該接地檢測裝置5所取得之阻抗值大於10Ω(該接地阻抗上限值)時，該靜電分析裝置3會發出警報，必須分別等到該靜電檢測裝置4所取得之阻抗值小於8MΩ，以及該接地檢測裝置5所取得之阻抗值小於9Ω，該靜電分析裝置3才能取消所發出的警報，避免該靜電分析裝置3發出重複的警報。實際實施時，上述設定值的設定，應以實際狀況進行調整，不應以此為限。

當該控制電路32分析由該靜電檢測裝置4所取得之阻抗高於該人員阻抗上限值時，表示該人員23之人 體阻抗過高，具有累積靜電的風險；或者當該接地檢測裝置5所取得之阻抗高於該接地阻抗上限值時，表示該測試平台21的靜電接地線22發生問題，具有累積靜電的風險。該靜電分析裝置3之控制電路32將對外發佈警報，同時控制該控制開關322斷路以使該電源輸出埠34無法對外輸出電源，再於該資訊顯示部35上顯示該人員23的阻值過高，或是該測試平台21阻值過高的警報資訊。

除此之外，當該靜電檢測裝置4所量測之阻抗值大於該手環開路警告值時，或是當該靜電檢測裝置4所量測之阻抗值低於該手環短路警告值時，或是當該接地檢測裝置5所取得之阻抗值大於該接地開路警告值時，都表示靜電分析裝置3的監控發現問題，該人員23或該測試平台21皆無法進行積體電路的製程作業。

該靜電分析裝置3將對外發佈警報，同時將該電源輸出埠34的輸出電源切斷，並於該資訊顯示部35顯示相關的警報資訊。

上述所揭示之手環開路警告值、手環短路警告值，及接地開路警告值並非判斷該人員23及該測試平台21是否具有產生靜電的風險，實際實施時，該控制電路32的監控功能，應以實際狀況進行設計，不應以此為限。

當該靜電分析裝置3之控制電路32判斷該人員23身上阻抗低於該人員阻抗上限值，表示該人員23身上不會蓄積靜電，以及當該測試平台21的阻抗低於該接地阻抗上限值時，表示該測試平台21不會蓄積靜電。其中，該 靜電檢測裝置4所量測之阻抗值須高於手環短路警告值，以避免該靜電檢測連接埠36插入該靜電檢測裝置4以外的物品。

該控制電路32會控制該控制開關322電源短路以使該電源輸出埠34繼續對外輸出電源，以使該人員23可以進行積體電路的生產作業，該資訊顯示部35對外顯示該靜電檢測裝置4及該接地檢測裝置5的量測阻值。

發明人要強調的是，該靜電分析裝置3之電源輸出埠34可提供積體電路製程設備的電力，或者是提供該人員23作業時的照明電力，當該靜電分析裝置3或該接地檢測裝置5所取得之阻抗值不符合設定值時，不僅藉由該資訊顯示部35對外發佈警報資訊，該靜電分析裝置3更藉由該控制電路32之控制開關322，強制將該電源輸出埠34的電力切斷，以強制使該積體電路製程設備或該人員23停止作業，避免造成損失。

值得一提的是，該靜電檢測裝置4與該控制電路32電連接，該控制電路32與該接地點372電連接，以使該靜電檢測裝置4可以導走該人員23身上的靜電。其中，是將該靜電檢測組41的其中之一金屬片414與該接地檢測連接埠37的接地點372電連接，以導離該金屬片414所貼附之人員23身上的靜電，而該靜電檢測組41之另一金屬片414提供人體阻抗的量測電力。

參閱圖7、8，為本發明一種靜電監控系統的第二較佳實施例，該第二較佳實施例與該第一較佳實施例 大致相同，相同之處在此不再贅述，不同之處在於該靜電監控系統更包含一監控裝置6、另外至少一該靜電分析裝置3、另外至少一靜電檢測裝置4，及另外至少一接地檢測裝置5。

每一靜電分析裝置3更包括一設置於該殼體31並與該控制電路32電聯接之網路連接埠38，及一用以提供該靜電分析裝置3基準阻值之校正元件39，該監控裝置6包括一與每一靜電分析裝置3之網路連接埠38連接的監控伺服器61，以與該複數靜電分析裝置3進行資訊傳輸。

該複數靜電分析裝置3會將該人員23及該測試平台21阻抗量測資訊上傳，以儲存於該監控伺服器61中，當其中之一靜電分析裝置3之控制電路32判斷該人員23身上阻抗高於該人員阻抗上限值，或該測試平台21的阻抗高於該接地阻抗上限值時，會發出一警報資訊給該監控伺服器61。

較佳地，該複數靜電分析裝置3是以一分鐘的間隔時間，將量測的阻抗資訊儲存至該監控伺服器61中，當該控制電路32的監控發現問題時，即時將該警報資訊上傳至該監控伺服器61，實際實施時，所量測之阻抗資訊上傳的間隔時間，應以實際狀況為主，不應以此為限。

當該靜電分析裝置3之控制電路32判斷該人員23身上阻抗高於該人員阻抗上限值時，或是當該測試平台21的阻抗高於該接地阻抗上限值時，或是當該靜電檢測裝置4所取得之阻抗高於該手環開路警告值時，或是當該靜 電檢測裝置4所取得之阻抗低於該手環短路警告值時，或是當該接地檢測裝置5所取得之阻抗高於該接地開路警告值時，該靜電分析裝置3會發出該警報資訊給該監控伺服器61，以使該監控伺服器61了解該靜電分析裝置3所發生的問題。

實際實施時，該監控伺服器61也可以分析所取得的阻抗資訊是否發生問題，但是分析數據的功能會佔據該監控伺服器61的運轉效率，設計者可利用設備的運轉效能加以設計，不應以此為限。

該監控伺服器61具有一警報模組611、一計時模組612、一數據輸出模組613、一警報數值設定模組614、一即時顯示模組615，及一歷史調閱模組616。該監控伺服器61為一般設置於網路的伺服器，可接收指令加以運算後再對外發出指令，以提供其他電腦裝置連接以提供網路伺服服務，由於伺服器的技術手段已為業界所知悉，並廣泛運用於網路中，在此不再詳加贅述。

該警報模組611用以對外發出一警告訊息，較佳地，該警報模組611不僅可以利用網路將該警告訊息傳遞至其它的電腦裝置，更可以利用電信簡訊的技術，即時將該警告訊息推播至相關人員所攜帶的行動通訊裝置。

該計時模組612用以計算其中之一靜電分析裝置3發出該警報資訊的時間，當其中之一靜電分析裝置3發現所連接之靜電檢測裝置4或接地檢測裝置5的阻抗不符設定值時，會利用該網路連接埠38將警報資訊傳遞至該監 控伺服器61，該計時模組612分別對每一警報資訊計時，並於該警報資訊解除後結束計時，以得知該靜電分析裝置3解決問題的時間。

值得一提的是，當該靜電分析裝置3之控制電路32發現該靜電檢測裝置4所量測的阻值超出該手環開路警告值時，表示該人員23已經將該靜電檢測裝置4卸除，該人員23有可能是去用餐或如廁，該監控伺服器61之計時模組612針對該人員23離開的時間加以計時，以判斷該人員23離開的時間是否過久。

除此之外，當該人員23的人體阻抗超出該人員阻抗上限值時，或是該測試平台21之靜電接地線22的阻抗超出該接地阻抗上限值時，必須快速解決問題，該計時模組612是取得問題解決的時間。

較佳地，當該計時模組612的計時時間超出一設定時間時，可藉由該警報模組611對該人員23的主管發出警報資訊，以使主管前來了解該人員23或該測試平台21所發生的問題，並協助阻抗問題的解決，或是人員管理的問題。

該數據輸出模組613用以將所儲存任一靜電分析裝置3之阻抗量測資訊對外傳輸。較佳地，數據輸出模組613是使用以CSV的格式將儲存於該監控伺服器61的阻抗資訊對外輸出，CSV(Comma-Separated Values)是一種通用的檔案格式，被許多程式廣泛應用，其中，Excel程式就可以讀取CSV的檔案格式，再進一步製作成表格或分析 圖。

每一靜電分析裝置3中所使用的電子元件會存在著一些微小的差異，不同的靜電檢測裝置4之二金屬片414也會存在不同的氧化狀況，因此不同的靜電分析裝置3所量測的阻抗會有所不同。該監控伺服器61之警報數值設定模組614可以分別對不同的靜電分析裝置3進行該人員阻抗上限值、該手環開路警告值、該手環短路警告值、該接地阻抗上限值，及該接地開路警告值的設定，以使不同的靜電分析裝置3可以正確判斷，進一步保護積體電路不受靜電的破壞。

除此之外，該校正元件39為固定阻值的電阻元件，可分離地鎖設於該接地檢測連接埠37上。當需要校正該靜電分析裝置3時，先將該量測線511及該接地線512由該接地檢測連接埠37上卸除，再將該校正元件39之一端鎖於該量測點371，另一端鎖於該接地點372，該監控伺服器61可遠端操作校正作業，以使該複數靜電分析裝置3進行量測阻值的準位校正作業。

該即時顯示模組615用以即時顯示該靜電分析裝置3的量測資訊，該即時顯示模組615可於連接該監控伺服器61之電腦裝置的顯示螢幕，即時顯示出該複數靜電分析裝置3的阻值量測資訊。較佳地，該即時顯示模組615可對外提供該複數靜電分析裝置3的網路IP位址、裝置編號、裝置設置位置、該靜電檢測裝置4量測的阻值、該接地檢測裝置5量測的阻值，以及不同的告警訊息等資訊。

該歷史調閱模組616對外顯示儲存之資訊，較佳地，先利用電腦裝置選擇一個靜電分析裝置3，再選擇想要查看的起始時間及終止時間，該監控伺服器61之歷史調閱模組616將於該電腦裝置顯示該靜電分析裝置3儲存於該監控伺服器61中的歷史資訊。

參閱圖9，為本發明一種靜電監控系統的第三較佳實施例，該第三較佳實施例與該第一較佳實施例大致相同，相同之處在此不再贅述，不同之處在於該靜電分析裝置3更包括一設置於該殼體31並與該控制電路32電連接之用以對外發出警報之警報元件30。

較佳地，該警報元件30為設置於該殼體31之紅色LED警示燈，當該靜電分析裝置3之控制電路32發現該靜電檢測裝置4或該接地檢測裝置5所量測的阻抗不符合設定值時，不僅於該資訊顯示部35顯示該警報資訊，更利用該警報元件30對外發出閃爍的紅光，可以使遠方的管理人員即時發現閃爍的紅光，以前往該靜電分析裝置3協助問題的解決。

由上述說明可知，本發明靜電監控系統確實具有下列功效：

一、避免電子元件受靜電的破壞：

該靜電檢測裝置4可以準確量測該人員23的阻抗，該接地檢測裝置5可以準確量測該測試平台21之靜電接地線22的阻抗，以判斷該人員23及該測試平台21是否正確接地，避免產生靜電而破壞積體電路。

二、即時監控：

該監控伺服器61之即時顯示模組615可於電腦裝置的顯示螢幕即時顯示該複數靜電分析裝置3的電阻量測資訊，當該靜電分析裝置3發現量測的阻抗發生問題時，即時對外發出警報資訊。

三、避免積體電路遭受靜電破壞：

當該靜電檢測裝置4或該接地檢測裝置5所取得之阻抗值不符合設定值時，該靜電分析裝置3不僅藉由該資訊顯示部35對外發佈警報資訊，更藉由該控制電路32之控制開關322，強制將該電源輸出埠34的電力切斷，以強制使製程設備或該人員23停止作業，避免積體電路遭受靜電的破壞。

綜上所述，本發明之靜電分析裝置3能即時監控該人員23及該測試平台21的阻值，並於該人員23作業的同時，確認該人員23或該測試平台21是否有靜電累積的風險，有效避免積體電路的製造環境產生靜電。該監控伺服器61不僅可以即時取得複數靜電分析裝置3之靜電量測資訊，即發出的警報資訊，更可以利用該計時模組612對該警報資訊加以計時，確認發生問題的靜電分析裝置3是否立即修正問題。

除此之外，在該靜電檢測裝置4或該接地檢測裝置5所量測的阻抗值超出預設值時，不僅對外發佈警報資訊，該靜電分析裝置3更藉由該控制電路32的控制開關322，控制該電源輸出埠34停止對外輸出電力，強制阻止該 人員23繼續作業，避免積體電路遭受靜電破壞而造成損失，故確實可以達成本發明之目的。

惟以上所述者，僅為本發明之三個較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

Claims (9)

1. 一種靜電監控系統，適用於設置在一測試平台上，該測試平台具有一靜電接地線，該靜電監控系統包含：一靜電分析裝置，包括一殼體、一設置於該殼體中之控制電路、一設置於該殼體之電源輸入埠、一設置於該殼體之資訊顯示部、一設置於該殼體之靜電檢測連接埠、一設置於該殼體之接地檢測連接埠，及一設置於該殼體中並與該電源輸入埠電連接之電源輸出埠，該控制電路與該電源輸入埠、該資訊顯示部、該靜電檢測連接埠，及該接地檢測連接埠電連接，該控制電路具有一設置於該電源輸入埠與該電源輸出埠間之控制開關；一靜電檢測裝置，設置於該殼體，並包括一靜電檢測組，該靜電檢測組之一端可分離地設置於靜電檢測連接埠，另一端與一人員之肌膚連接，該控制電路藉由該靜電檢測組取得該人員的人體阻抗，以判斷該人員是否帶有靜電；及一接地檢測裝置，設置於該殼體，並包括一接地檢測組，該接地檢測組之一端與該接地檢測連接埠連接，另一端與該測試平台連接，該控制電路藉由該接地檢測組取得該靜電接地線的阻抗值，以判斷該測試平台是否接地；當該控制電路判斷該人員身上阻抗高於一人員阻抗上限值，或該測試平台的阻抗高於一接地阻抗上限值時，會控制該控制開關斷路以使該電源輸出埠無法對外 輸出電源，當該控制電路判斷該人員身上阻抗低於該人員阻抗上限值，以及該測試平台的阻抗低於該接地阻抗上限值時，會控制該控制開關電源短路以使該電源輸出埠繼續對外輸出電源。
2. 依據申請專利範圍第1項所述之靜電監控系統，其中，該靜電檢測組具有一用以插設於該靜電檢測連接埠之插設端、一與該插設端連接之電位傳輸線、一與該電位傳輸線連接之靜電手環，及二設置於該靜電手環上之金屬片。
3. 依據申請專利範圍第2項所述之靜電監控系統，其中，該接地檢測連接埠具有一量測點及一接地點，該接地檢測組具有一連接該量測點與該測試平台之量測線，及一將該接地點接地之接地線。
4. 依據申請專利範圍第3項所述之靜電監控系統，其中，該靜電檢測組與該控制電路電連接，該控制電路與該接地點電連接，以使該靜電檢測裝置導走該人員身上的靜電。
5. 依據申請專利範圍第4項所述之靜電監控系統，其中，該靜電分析裝置更包括一用以提供該靜電分析裝置基準阻值之校正元件，及一設置於該殼體並與該控制電路電連接之用以對外發出警報之警報元件。
6. 依據申請專利範圍第5項所述之靜電監控系統，更包含另一靜電分析裝置、另一靜電檢測裝置、另一接地檢測裝置，及一監控裝置，每一靜電分析裝置更包括一設置 於該殼體之網路連接埠，該監控裝置包括一與每一靜電分析裝置之網路連接埠連接的監控伺服器，以與該複數靜電分析裝置進行資訊傳輸，當其中之一靜電分析裝置判斷該人員身上阻抗高於該人員阻抗上限值，或該測試平台的阻抗高於該接地阻抗上限值時，會發出一警報資訊給該監控伺服器，且該複數靜電分析裝置會持續將阻抗量測資訊儲存於該監控伺服器。
7. 依據申請專利範圍第6項所述之靜電監控系統，其中，該監控伺服器具有一警報模組、一計時模組，及一數據輸出模組，該警報模組用以對外發出一警告訊息，該計時模組用以計算其中之一靜電分析裝置發出該警報資訊的時間，該數據輸出模組用以將所儲存任一靜電分析裝置之阻抗量測資訊對外傳輸。
8. 依據申請專利範圍第7項所述之靜電監控系統，其中，該監控伺服器更具有一警報數值設定模組，以分別對該複數靜電分析裝置進行該人員阻抗上限值，及該接地阻抗上限值的設定。
9. 依據申請專利範圍第8項所述之靜電監控系統，其中，該監控伺服器更具有一即時顯示模組，及一歷史調閱模組，該即時顯示模組即時顯示該複數靜電分析裝置的量測資訊，該歷史調閱模組對外顯示儲存之資訊。