TWI538726B - Chemical filters using acidic additives, and air purification methods - Google Patents

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Description

使用酸性添加劑的化學過濾器、及空氣淨化方法
本發明是關於一種化學過濾器(chemical filter)，該化學過濾器用來從空氣中除去在曝光製程有引起曝光障礙之虞的矽烷醇(silanol)化合物。
在半導體製造程序的曝光製程中，如六甲基二矽氮烷(HDMS)的二矽氮烷化合物，已知被使用為光阻黏著劑。HDMS例如做為氣體，以噴濺於晶圓表面，藉由使晶圓表面的氫氧基置換為三甲基矽烷醇基(trimethylsilanol)，使晶圓表面疏水化，並提升晶圓表面與光阻劑的黏著性。將HDMS水解為三甲基矽烷醇(TMS)會在曝光裝置內以氣體狀懸浮，但懸浮的TMS成為附著於鏡片等並產生霧的原因，有引起曝光障礙等之虞。
在進行曝光製程的曝光裝置的室內部，通常供給空氣，通過具有活性炭等吸附劑的化學過濾器。一般來說，TMS等的氣體狀雜質，藉由被化學過濾器除去，在室內部保持穩定的清淨度，防止曝光障礙等(參照例如專利文獻1)。
【專利文獻1】特開2008-181968號公報
但是，TMS是低分子量物質，由於以活性炭等吸附困難，且即使是吸附了也會立刻脫離，所以用具有一般吸附劑的化學過濾器，有效率地除去是困難的。因此，以往為了除去必要量的TMS，需要將化學過濾器增厚或多層化，並使用大量的活性炭。
本發明有鑑於上述問題點，提供一種除去矽烷醇化合物用化學過濾器，其目的為有效率地除去TMS等矽烷醇化合物。
關於本發明的矽烷醇化合物除去用的化學過濾器，其特徵為：具備由多孔質體所構成的許多吸附劑，許多吸附劑的至少一部分是添加有酸性物質的添加劑，以添加劑將空氣中含有的矽烷醇化合物二聚化，以吸附劑來吸附。
上述添加劑是無機酸或有機酸，包含從例如磷酸、膦酸(phosphonic acid)、硫酸、硝酸鹽、硫酸鹽以及有機酸所成群組中選擇者，較佳為包含從例如膦酸、硫酸氫鉀以及硫酸鋁所成群組中選擇者。另一方面，多孔質體，較佳為活性炭，又，添加劑的添加量，相對於多孔質體，較佳為12重量%以下。化學過濾器是由例如固定附著許多吸附劑的過濾基材所構成者。上述矽烷醇化合物為例如三甲基矽烷醇。
過濾基材是發泡體，且其室(cell)數較佳為8～13個/英吋，這種狀況，吸附劑的平均粒徑更佳為0.55～0.65mm。
關於本發明的化學過濾器，較佳為具備：第一過濾部，上述添加劑被添加於吸附劑；以及第二過濾部，上述添加劑未被添加於吸附劑。這些第一及第二過濾部沿著空氣通過方向，從上流側以該順序配置。
關於本發明的曝光裝置，是以上述化學過濾器淨化內部空氣者。
關於本發明的空氣淨化方法，其特徵為：使包含矽烷醇化合物的空氣通過具備由多孔質體所構成的許多吸附劑並且許多吸附劑的至少一部分添加有酸性物質的添加劑的化學過濾器，將矽烷醇化合物二聚化，以吸附劑使其二聚體吸附。
在本發明中，由於矽烷醇化合物是不易從化學過濾器脫離的二聚體，而被吸附於吸附劑，所以能提升化學過濾器除去矽烷醇化合物的效率。
以下，參照圖式來更詳細地說明關於本發明。
第一圖是顯示適用本發明的第一實施形態的化學過濾器的曝光裝置的概略圖。如第一圖所示，曝光裝置10是在其外部室11內部，設有內部室12與空氣循環路13的結構，在內部室12的內部配置有曝光本體部20。空氣循環路13是用來使內部室12內部的空氣循環的通路。在空氣循環路13的內部，設有：調溫調濕裝置14，將內部室12內部的空氣的溫度及濕度保持一定；以及內部化學過濾器15，用來淨化內部室12的空氣。
曝光本體部20具備：照明光學系統21、標線片(reticle)22、投影光學系統23以及晶圓台24，在晶圓台24上，載置有晶圓W。晶圓W是以下述一般式(1)所示，是以二矽氮烷化合物的光阻黏著劑將表面疏水化後，塗佈光阻劑者。
R3SiNHSiR3......(1)
在式(1)中，R是甲基、乙基等碳數1～3的烷基，但R之中的一部分也可以是氫原子或氟原子、氯原子等鹵素原子。做為該二矽氮烷化合物，在上述式(1)中，一般使用R全是甲基的六甲基二矽氮烷(HDMS)。
照明光學系統21，包含繼光鏡(relay lens)系統、聚光鏡(condenser lens)系統等，使從外部室11的外部設有的光源26射出的雷射光，入射至標線片22。標線片22是具有特定罩圖案的光罩，該罩圖案藉由投影光學系統23，成像於配置在晶圓台24上的晶圓W，對晶圓W進行曝光處理。
在空氣循環路13內部等設有圖未顯示的風扇，外部室11內部的空氣，以該風扇沿著固定路徑S循環。具體來說，空氣循環路13的空氣，藉由內部供給口16被供給至內部室12的內部，在內部室12內部循環，藉由內部排出口17排出至空氣循環路13。從內部排出口17排出的空氣，在空氣循環路13的內部，通過內部化學過濾器15以及調溫調濕裝置14，再次藉由內部供給口16，供給至內部室12的內部。又，內部室12內部的空氣，一部分藉由局部排出口18排氣至外部，且外部的空氣藉由外部供給口19供給至空氣循環路13內部。
調溫調濕裝置14被配置於內部供給口16的上流，從空氣循環路13供給至內部室12內部的空氣，被調溫調濕裝置14調節至一定濕度、一定溫度。又，在外部供給口19的上流，配置有外部化學過濾器25，來自外部的空氣，被外部化學過濾器25除去氣體狀污染物質，供給至空氣循環路13。
如第二圖所示，在空氣循環路13內部設有的內部化學過濾器15，具有由聚氨基甲酸酯泡沫(polyurethane foam)等發泡體所構成的三維網狀骨架結構，例如無數的吸附劑51被公知的黏結劑(binder)固著於呈墊(mat)狀的過濾基材50者。又，做為過濾基材50，代替發泡體，也可以使用由有機纖維或無機纖維所構成的纖維狀基材或蜂巢(honeycomb)結構體。本實施形態的內部化學過濾器15，以具有以下結構，是一種可有效率地除去後述的矽烷醇化合物的矽烷醇化合物除去用化學過濾器。
內部化學過濾器15的吸附劑51，是酸性物質的添加劑被添加於破碎狀、粉末狀、粒子狀(例如珠狀)等多孔質體的表面者。做為使用於吸附劑51的多孔質體，例如有活性炭、二氧化矽、沸石、氧化鋁、多孔質玻璃等能以物理性吸附來吸附氣體狀有機物的物，但這些之中較佳為活性炭。因為活性炭容易吸附後述的矽烷醇化合物或二矽氧烷化合物。
做為添加劑，使用選自無機酸及有機酸所成群組的酸性物質。這些無機酸、有機酸為例如以硫酸銅(II)(CuSO4)、硫酸鐵(II)(FeSO4)、硫酸鐵(III)(Fe2(SO4)3)、硫酸鋁(Al2(SO4)3)、硫酸氫鉀(KHSO4)來例示的硫酸鹽，以硝酸鐵(III)(Fe(NO3)3)、硝酸銀(AgNO3)、硝酸鋁(Al(NO3)3)、硝酸錳(II)(Mn(NO3)2)來例示的硝酸鹽，硫酸、磷酸、膦酸等無機酸、檸檬酸等有機酸。在這些之中，為了容易二聚化後述的矽烷醇化合物，較佳為使用膦酸、硫酸鋁、或即是硫酸氫金屬鹽的硫酸氫鉀，更佳為硫酸氫鉀。
吸附劑51為例如將多孔質體浸漬於添加劑水溶液，或將添加劑的水溶液以噴霧等方法散布於多孔質體，藉由使該水溶液附著於多孔質體表面後加熱乾燥，使添加劑支持於吸附劑51而獲得者。上述添加劑至多孔質體的添加量，相對於多孔質體(100重量%)，較佳為12重量%以下，更佳為4～9%。若添加劑的添加量過多，則多孔質體的表面被添加劑塞住，多孔質體的氣體吸附能力會低落，結果矽烷醇化合物的除去能力會低落，又，若添加量過少，則以吸附劑51將矽烷醇化合物二聚化的效率會低落，所以添加量較佳為上述範圍。
使用來做為過濾基材的聚氨基甲酸酯泡沫等發泡體，並沒有特別限定，但其室數較佳為8～13個/英吋。室數未滿8個/英吋時，無法附著足夠量的活性炭於發泡體，二聚化矽烷醇化合物的效率或吸附性能會低落。又，室數為14個/英吋以上時，空隙會太小，二聚化的效率變低，吸附劑不易添加於發泡體，更有增加壓力損失之虞。為了進一步提升二聚化的效率或除去效率，室數更佳為10～11個/英吋。
又，多孔質體是由活性炭等組成珠狀的多孔質體的狀況中，以上述室數為7～13個/英吋，同時多孔質體的平均粒徑為0.55～0.65mm程度，藉以保持吸附劑的附著量與空隙的均衡為良好者，可以充分地提高吸附性能與二聚化率兩者。又，平均粒徑是以JIS K 1474-5.4基準的乾式篩分法來測量者。又，室數是以目視來測量每一英吋的室數。
如上所述，晶圓W被以二矽氮烷化合物構成的光阻黏著劑，施加疏水化處理，又，室12內部保持一定的相對濕度。因此，在內部室12中，以二矽氮烷化合物的水解反應(參照反應式(2)')產生的化學式(2)的矽烷醇化合物會懸浮，在沿著一定路徑S循環的空氣中，包含矽烷醇化合物。
R3SiNHSiR3+2H2O→2R3SiOH+NH3......式(2)'
R3SiOH......(2)
矽烷醇化合物如式(2)所示，是僅具有一個SiOH基者。在式(2)中，R是甲基、乙基等碳數為1～3的烷基，R中的一部分可以是氫原子或氟原子、氯原子等鹵素原子。該矽烷醇化合物一般來說是HDMS的分解物，在式(2)中，R皆成為甲基的三甲基矽烷醇(TMS)。
矽烷醇化合物如下述式(3)所示，以脫水縮合被二聚化。如曝光裝置10內部，該脫水縮合反應在矽烷醇化合物低濃度下通常幾乎不會發生，但是在有添加上述添加劑的吸附劑下，就算是低濃度，以吸附劑的吸附作用以及添加劑的酸觸媒作用，該脫水縮合反應會容易發生。因此，矽烷醇化合物的至少一部分(通常一半以上程度)，在通過內部化學過濾器15時被二聚化，被化學變化為即是二聚體的二矽氧烷化合物。即是二聚體的二矽氧烷化合物由於比矽烷醇化合物的分子量大，所以比矽烷醇化合物容易被內部化學過濾器15的多孔質體吸附，且吸附後也難以脫離。
也就是說，內部化學過濾器15是藉由以添加劑將矽烷醇化合物積極地二聚化，能變得有效率地使矽烷醇化合物吸附於吸附劑51。由此，在本實施形態，由於以吸附劑51能有效率地除去矽烷醇化合物，所以能延長內部化學過濾器15的壽命。
2R3SiOH→R3SiOSiR3+H2O......式(3)
式(3)中，二矽氧烷化合物(R3SiOSiR3)一般來說是即為TMS的二聚體的六甲基二矽氧烷。
又，外部化學過濾器25，可以為具有與內部化學過濾器15同樣結構的化學過濾器，但也可以是未添加添加劑的活性炭等多孔質體固著於過濾基材而成的化學過濾器。當然，內部化學過濾器15也以吸附劑51除去矽烷醇化合物以及其二聚體以外的氣體狀雜質。又，在路徑S上，也可以設有其它種類的空氣過濾器。
第三圖顯示本發明的第二實施形態的化學過濾器的結構。在第一實施形態中，內部化學過濾器15是由一個化學過濾器構成，但在第二實施形態中，如第三圖所示，內部化學過濾器65是堆疊第一及第二化學過濾器66、67而構成。第一及第二化學過濾器66、67是沿著空氣通過方向S'，從上流側依序配置。
這種狀況，第一化學過濾器66具有同樣於第一實施形態的內部化學過濾器15的結構，是添加有酸性物質添加劑的無數吸附劑被固著於過濾基材50者。另一方面，第二化學過濾器67是未添加酸性物質添加劑的無數吸附劑被固著於過濾基材50者。
在本實施形態中，藉由設有兩個化學過濾器，矽烷醇化合物的除去率會更好。又，第二化學過濾器67，其流入空氣的矽烷醇化合物濃度極低，即使用酸添加的吸附劑，由於其二聚化效果低，所以使用無添加者。
又，第一化學過濾器66藉由添加添加劑於吸附劑，變得容易發生釋氣(Outgassing)，但這種釋氣會被第二化學過濾器67吸附除去。因此，在第一化學過濾器66，添加劑造成的釋氣被有效防止混入內部室12內部。
再者，第二實施形態中的第一及第二化學過濾器66、67是無數吸附劑被固著於不同的過濾基材50、50而構成，但如第四圖所示，也可以是由一個過濾基材50構成的化學過濾器70。這種狀況，添加添加劑的吸附劑被固著於化學過濾器70的上流側的部分(上流部分70A)，未添加添加劑的吸附劑被固著於下流側的部分(下流部分70B)。
又，在第一實施形態中，也可以混合添加添加劑的活性炭與未添加添加劑的活性炭雙方，固著於過濾基材50。再者，如第二實施形態，在第一及第二化學過濾器堆疊的狀況中，添加添加劑的活性炭也可以被固著於這些過濾器當中的任一者。
又，在第一及第二實施形態中，各化學過濾器也可以沒有吸附劑被固著於過濾基材，也可以是例如容器或箱中充填吸附劑者。例如在第二實施形態中，也可以將第一化學過濾器做為添加添加劑的吸附劑被充填於容器或箱中者，並且將第二化學過濾器做為未添加添加劑的吸附劑被固著於過濾基材者。
實施例
關於本發明，用以下實施例進一步詳細的說明，但本發明並不受限於以下實施例的結構。
[通氣實驗1]
通氣實驗1如第五圖所示，準備了圓柱80，其內部堆疊配置六層的化學過濾器83A～83F。做為化學過濾器83A～83F，是將未添加添加劑的活性炭固著於室數7個/英吋的氨基甲酸乙酯泡沫(urethane foam)而構成的GIGASORB L(商品名，NITTA股份有限公司製造)，採用直徑19mm、高20mm的圓柱狀物。圓柱80的空氣排出口82側連接於將調整空氣流量的閥84、計測通氣於圓柱的空氣流量的流量計85，以及用來使空氣通過圓柱80的泵86。最上流側的化學過濾器83A，使約450g/m2的TMS附著，做為TMS的產生源來使用。又，在本通氣實驗及以下所示的通氣實驗2～6中，做為活性炭，採用平均粒徑為0.64mm的珠狀活性炭。
在圓柱80，以10.2公升/分(面風速0.6公尺/秒)，使23℃空調的空氣通氣240小時。TMS的一部分被二聚化為六甲基二矽氧烷(以下略稱「D2」)，並且以空氣通氣，TMS乃至D2脫離化學過濾器83A，而流到下流側。
通氣結束後，將各化學過濾器83A～83F放入20ml的丙酮中，以超音波振動費2小時提取被吸附於各過濾器的氣體狀有機物，以GC-FID來測量被吸附於各過濾器83A～83F的TMS與D2的量。又，關於通氣前(0小時)的各化學過濾器83A～83F，做為空白處也一樣測量TMS與D2的重量。表1顯示關於各TMS及D2，各層的測量值與將全部吸附量做為100重量%時的各層吸附量比率(重量%)。
GC-FID的測量條件如下。
GC-FID：島津製作所公司製造，GC-2010
圓柱：Inert Cap 1MS內徑0.25mm長60m
圓柱溫度：40℃維持5分鐘後，以10℃/分鐘昇溫至280℃。其後，以280℃維持21分鐘。
搬運氣體：He　圓柱流量1.16 ml/分鐘
注入量：1.0μl　測量時間：50分鐘
從表1的結果可知，許多TMS脫離第一層的化學過濾器，脫離的TMS最多被吸附於第三層的化學過濾器。另一方面，許多D2被維持於第一層的化學過濾器，脫離的D2最多被吸附於第二層的化學過濾器。也就是說，可理解為TMS不易被吸附於化學過濾器，一旦吸附也容易脫離，但其二聚體(D2)容易被吸附於化學過濾器，一旦吸附者也不易從化學過濾器脫離。
[通氣實驗2]
在通氣實驗2中，如第六圖所示，準備第一～第七管部101～107以該順序連接而成的圓柱100。第一管部101構成空氣注入口，第七管部107構成空氣排出口。空氣排出口連接於調整空氣流量的閥108、計測通氣至圓柱100的空氣流量的流量計109，以及使空氣通氣至圓柱100的泵110。在圓柱100，配置化學過濾器111於第二管部102內部。化學過濾器111使TMS附著，做為TMS來使用。
第四管部104，使吸附劑112充填其內部，構成第一化學過濾器。在實施例1～14、比較例1、2中，使用使表2的添加劑添加於活性炭而成之物來做為吸附劑112。比較例3是除了未添加添加劑外，與實施例1～14同樣實施。在比較例4中，吸附劑112是使用GIGASORB R(NITTA股份有限公司製造)用的珠狀酸性離子交換樹脂。
在第六管部106的內部，堆疊六層的化學過濾器113A～113F，並設有吸附層113做為第二化學過濾器。做為通氣實驗2中的化學過濾器111、113A～113F，是採用在通氣實驗1所同樣使用的化學過濾器。
以泵110的吸氣，在圓柱100以面風速0.6m/秒(10.2公升/分鐘)，使溫度25℃、相對濕度55%的潔淨空氣通氣。以該通氣，TMS從化學過濾器111脫離，包含TMS的空氣從第二管部102流至下流側。通氣是將TMS的通氣濃度做為2000～3000ppb進行24小時。TMS以吸附劑的酸觸媒作用等，其一部分變化為D2。通氣結束後，相同於通氣實驗1，測量吸附劑112以及被吸附於各過濾器113A～113F的TMS與D2的重量，從其測量值求得被吸附於吸附劑112、吸附層113的各TMS與D2的總和，算出TMS與D2的的比率(重量%)。算出結果如表2所示。
又，在實施例1～11、13、14以及比較例1～2，相對於添加劑的活性炭的添加量為6重量%。又，實施例12中，相對於磷酸的活性炭的添加量為18重量%。
[通氣實驗3]
接下來，上述各實施例中，關於實施例4、7、9、10～13、比較例3、4，為了依實際的使用環境接近而檢證效果，如表3所示的TMS通氣濃度降低(51ppb以下)來實施通氣實驗3。通氣實驗3中，在通氣120小時後，測量被吸附於吸附層113的TMS與D2的比率。其結果如表3所示。又，在通氣實驗3中，通氣時間、通氣濃度以外的條件與通氣實驗2相同。
[通氣實驗4]
接下來，在通氣實驗3，關於到D2的變化率提高的實施例7、9、13，添加劑的添加量變更為3重量%、9重量%、12重量%(但是，實施例7是9重量%除外)，進行與通氣實驗3同樣的實驗。其結果如表4所示。又，在表4僅表示D2的比率。
從通氣實驗2、3可知，做為添加劑採用酸性物質的實施例1～13，相較於做為未添加活性炭或添加劑採用中性物質的比較例1～3，到D2的變化率會提高。又，將酸性離子交換樹脂做為吸附劑使用的比較例4，在通氣實驗2到D2的變化率良好，但在通氣實驗3，到D2的變化率顯著降低。根據該結果，酸性離子交換樹脂在實用的使用環境下，推測二聚化矽烷醇化合物的效果為低。又，從通氣實驗3的結果，硫酸鋁、硫酸氫鉀、膦酸，對於二聚化矽烷醇化合物的作用效果是優越的，又，從通氣實驗4可理解添加劑的添加量為12重量%以下，較佳為4～9重量%。
[通氣實驗5]
以用第七圖所示的實驗裝置的通氣實驗5，來實施實施例A、比較例B、C，確認了關於本發明的化學過濾器。
[實施例A]
如第七圖所示，準備從空氣流入側連接第一及第二管部121、122的圓柱120。與通氣實驗1同樣，閥123、流量計124、泵125連接於圓柱120的排出側。配置於恆溫恆濕槽137內部的TMS產生源以及化學過濾器136連接於圓柱120的空氣流入側。TMS產生源135，上部有開口，在內部3ml的TMS被注入內部容器138，將內部容器138配置於成為通氣路徑的一部分的外部容器139的內部而構成。
在第一管部121的內部，於室數13個/英吋的氨基甲酸乙酯泡沫，將做為吸附劑的硫酸氫鉀添加的活性炭所固著而成的一層化學過濾器，做為第一過濾器131來配置。硫酸氫鉀被添加於該吸附劑，相對於活性炭為8重量%。第一過濾器131的形狀、大小，與通氣實驗1的過濾器83A～83E一樣。又，將吸附劑無數灑在使黏結劑整個附著的氨基甲酸乙酯泡沫而均勻固著於所有泡沫。在第二管部122的內部，設有第二過濾器132，第二過濾器132是將在通氣實驗1的過濾器83A～83E同樣使用的GIGASORB L十層堆疊。
恆溫恆濕槽137內部的空氣，被維持在溫度23℃、相對濕度50%，以化學過濾器136除去空氣中的氣體成分而變成潔淨空氣，並且以一定比率含有在TMS產生源135被汽化的TMS之後，恆溫恆濕槽137內部的空氣再被送氣至圓柱120。在圓柱120空氣中含有的TMS，其一部分二聚化為D2之後，再以第一及第二化學過濾器131、132被收集。通氣是以10.2公升/分鐘、面風速0.6m/秒進行338小時。
通氣結束後，與通氣實驗1一樣，測量被吸附於過濾器131、132各層的TMS與D2的量。表5顯示TMS、D2各層的吸附量的測量值，以及各層的TMS+D2的總計吸附量。又，相對於各層總計吸附量的整個圓柱吸附量的比率，以%來表示吸附比率，各層的D2/(TMS+D2)以%來表示D2變化率。
[比較例A]
做為第一化學過濾器131的多孔質體，除了用未添加添加劑的活性炭外，與實施例A一樣地實施。
[比較例B]
做為第一化學過濾器的氨基甲酸乙酯泡沫，除了用室數7個/英吋者，與比較例A一樣地實施。
從通氣實驗5的結果可知，使用做為添加劑的酸性物質(硫酸氫鉀)的實施例A中，D2的變化率高，僅以第一化學過濾器，吸附比率會達到90%，成為提高除去性能者。另一方面，使用未添加添加劑的活性炭的比較例A、B中，D2變化率低，又，第二化學過濾器的第5～6層，吸附比率的總和達到90%，矽烷醇化合物的除去性能並不夠。
[通氣實驗6]
接下來，以通氣實驗6實施實施例B～F，來確認因室數的差異造成除去性能的不同。在通氣實驗6中，於外部容器139的內部，加上放入TMS的內部容器138，再配置兩個內部容器(不圖示)，這些內部容器除了各放入5ml的甲苯(Toluene)、10ml的十四烷(tetradecane)之外，採用與通氣實驗5相同的實驗裝置。也就是說在通氣實驗6中，在送氣至圓柱120的空氣，加上TMS，還含有被汽化的甲苯與十四烷。又，使用以下之物做為第一化學過濾器，並且通氣時間為168小時，除此之外，以通氣實驗5的相同條件來實施。
各實施例B、C、D、E中，使用室數為6個/英吋、8個/英吋、10個/英吋、11個/英吋之氨基甲酸乙酯泡沫，除此之外，採用與實施例A同樣的化學過濾器做為第一化學過濾器131。又，實施例F的第一化學過濾器131，與實施例A同樣，是室數13個/英吋。又，實施例B、C、D、E、F的吸附劑添加量，每個氨基甲酸乙酯泡沫600mmX300mm，各為745g、900g、1130g、1120g、980g。實施例B～F的結果由表8～12表示。
從上述結果可知，如實施例B的室數變少，則吸附劑的添加量會變少，除去效率低落，且D2變化率也會降低。另一方面，室數為8、10、11、13個/英吋的實施例C～F中，D2變化率為相對良好，除去效率也變得良好。
10．．．曝光裝置
11．．．外部室
12．．．內部室
13．．．空氣循環路
14．．．調溫調濕裝置
15．．．內部化學過濾器
16．．．內部供給口
17．．．內部排出口
18．．．局部排出口
19．．．外部供給口
20．．．曝光本體部
21．．．照明光學系統
22．．．標線片
23．．．投影光學系統
24．．．晶圓台
25．．．外部化學過濾器
26．．．光源
50．．．過濾基材
51．．．吸附劑
65．．．內部化學過濾器
66．．．第一化學過濾器(第一過濾部)
67‧‧‧第二化學過濾器(第二過濾部)
70‧‧‧化學過濾器
70A‧‧‧上流部分(第一過濾部)
70B‧‧‧下流部分(第二過濾部)
80、100、120‧‧‧圓柱
82‧‧‧空氣排出口
83A~83F‧‧‧化學過濾器
84、108、123‧‧‧閥
85、109、124‧‧‧流量計
86、110、125‧‧‧泵
101~107‧‧‧第一管部~第七管部
111‧‧‧化學過濾器
112‧‧‧吸附劑
113‧‧‧吸附層
113A~113F‧‧‧化學過濾器
121、122‧‧‧第一及第二管部
131‧‧‧第一過濾器
135‧‧‧TMS產生源
136‧‧‧化學過濾器
137‧‧‧恆溫恆濕槽
138‧‧‧內部容器
139‧‧‧外部容器
S‧‧‧路徑
S'‧‧‧方向
W‧‧‧晶圓
第一圖：顯示適用本發明的化學過濾器的曝光裝置的概略圖。
第二圖：顯示關於本發明的第一實施形態的化學過濾器的擴大圖。
第三圖：顯示關於第二實施形態的化學過濾器的斜視圖。
第四圖：顯示關於第二實施形態的變形例的化學過濾器的斜視圖。
第五圖：顯示用來實施通氣實驗1的圓柱的示意圖。
第六圖：顯示用來實施通氣實驗2～4的圓柱的示意圖。
第七圖：顯示在通氣實驗5中使用的實驗裝置的示意圖。
15．．．內部化學過濾器
50．．．過濾基材
51．．．吸附劑

Claims (11)

  1. 一種矽烷醇化合物除去用的化學過濾器，其特徵為：具備由多孔質體所構成的許多吸附劑，前述許多吸附劑的至少一部分，是添加有酸性物質的添加劑，以前述添加劑將空氣中含有的矽烷醇化合物二聚化，以前述吸附劑吸附；相對於前述多孔質體，前述添加劑的添加量為4~9重量%；且前述多孔質體為活性炭。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之化學過濾器，其中前述添加劑包含從磷酸、膦酸、硫酸、硝酸鹽、硫酸鹽以及有機酸所成群組中選擇者。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述之化學過濾器，其具備：前述添加劑被添加於前述吸附劑的第一過濾部、以及前述添加劑未被添加於前述吸附劑的第二過濾部，這些第一及第二過濾部沿著空氣通過方向，從上流側以該順序配置。
  4. 如申請專利範圍第1或2項所述之化學過濾器，其中前述添加劑包含從膦酸、硫酸氫鉀以及硫酸鋁所成群組中選擇者。
  5. 如申請專利範圍第1或2項所述之化學過濾器，其具備固著有前述許多吸附劑的過濾基材。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之化學過濾器，其中前述過濾基材為發泡體，且其室數為8~13個/英吋。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之化學過濾器，其中前述吸附劑的平均粒徑為0.55~0.65mm。
  8. 如申請專利範圍第1或2項所述之化學過濾器，其中前述矽烷醇化合物為三甲基矽烷醇。
  9. 如申請專利範圍第4項所述之化學過濾器，其中前述矽烷醇化合物為三甲基矽烷醇。
  10. 如申請專利範圍第8項所述之化學過濾器，其具備：前述添加劑被添加於前述吸附劑的第一過濾部、以及前述添加劑未被添加於前述吸附劑的第二過濾部；這些第一及第二過濾部沿著空氣通過方向，從上流側以該順序配置；該第一過濾部具備固著有前述許多吸附劑的過濾基材。
  11. 一種空氣淨化方法，其特徵為：使包含矽烷醇化合物的空氣通過具備由多孔質體構成的許多吸附劑並且前述許多吸附劑的至少一部分添加有酸性物質的添加劑的化學過濾器，將前述矽烷醇化合物二聚化，以前述吸附劑吸附；相對於前述多孔質體，前述添加劑的添加量為4~9重量%；且前述多孔質體為活性炭。
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