TWI505299B - 導電薄膜結構 - Google Patents

Description

導電薄膜結構

本揭露內容是有關於一種導電薄膜結構，且特別是有關於一種具有導電網眼圖案的導電薄膜結構。

目前主要的觸控感測裝置中，大多使用銦錫氧化物(ITO)薄膜製作透明導電感測層。然而，銦錫氧化物薄膜的製程溫度無法達到太高，因此其阻抗無法降至很低，所以當大面積的銦錫氧化物薄膜應用於大尺寸的感測裝置時，大面積的銦錫氧化物薄膜所產生的阻抗會無法與其對應的積體電路做搭配，高面電阻會使得感測裝置的感測靈敏性降低。再者，銦錫氧化物薄膜具有脆性，在彎曲時容易發生碎裂，不僅對其導電性會有不好的影響，也不適合應用於具有彎曲性的軟性裝置。此外，銦為稀有材料，價格高昂，亦不利於成本的管控。

因此，如何提供一種具有良好特性之觸控感測裝置的導電薄膜，乃為相關業者努力之課題之一。

本揭露內容係有關於一種導電薄膜結構。實施例之導電薄膜結構中，經由導電網眼圖案的導線的厚度不同於導電連接部的厚度之設計，使得導線和導電連接部具有不同的光穿透率 和反射率，進而改善整體的可視性。

根據本揭露內容之一實施例，係提出一種導電薄膜結構。導電薄膜結構包括一基板以及一導電網眼圖案(metal mesh)。導電網眼圖案設置於基板上。導電網眼圖案包含有複數條導線及複數個導電連接部，其中該複數個導電連接部將該複數條導線互相連接而構成該導電網眼圖案。導線具有一第一厚度，導電連接部具有一第二厚度，第一厚度不同於第二厚度。

根據本揭露內容之另一實施例，係提出一種觸控面板。觸控面板包括一基板以及一觸控電極。觸控電極設置於基板上。觸控電極係由一導電網眼圖案形成，導電網眼圖案包括複數條導線和複數個導電連接部，其中複數個導電連接部將複數條導線互相連接而構成導電網眼圖案。導線具有一第一厚度，導電連接部具有一第二厚度，第一厚度不同於第二厚度。

為了對本發明之上述及其他方面有更佳的瞭解，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下：

10‧‧‧導電薄膜結構

100‧‧‧基板

200‧‧‧導電網眼圖案

210‧‧‧導線

230‧‧‧導電連接部

T1‧‧‧第一厚度

T2‧‧‧第二厚度

W1‧‧‧第一寬度

W2‧‧‧第二寬度

2B-2B’‧‧‧剖面線

第1圖繪示本揭露內容一實施例之導電薄膜結構之上視圖。

第2A圖繪示本揭露內容一實施例之導電薄膜結構之局部上視圖。

第2B圖繪示沿第2A圖之剖面線2B-2B’之剖面示意圖。

根據本揭露內容之實施例，導電薄膜結構中，經由 導電網眼圖案的導線的厚度不同於導電連接部的厚度之設計，使得導線和導電連接部具有不同的光穿透率和反射率，進而改善整體的可視性。以下係參照所附圖式詳細敘述本揭露內容之實施例。圖式中相同的標號係用以標示相同或類似之部分。需注意的是，圖式係已簡化以利清楚說明實施例之內容，實施例所提出的細部結構僅為舉例說明之用，並非對本揭露內容欲保護之範圍做限縮。具有通常知識者當可依據實際實施態樣的需要對該些結構加以修飾或變化。

第1圖繪示本揭露內容一實施例之導電薄膜結構10之上視圖，第2A圖繪示本揭露內容一實施例之導電薄膜結構10之局部上視圖，第2B圖繪示沿第2A圖之剖面線2B-2B’之剖面示意圖。請參照第1~2B圖，導電薄膜結構10包括基板100以及導電網眼圖案(metal mesh)200。導電網眼圖案200設置於基板100上，導電網眼圖案200包括複數條導線210和複數個導電連接部230，其中複數個導電連接部230將複數條導線210互相連接而構成該導電網眼圖案200。導線210具有第一厚度T1，導電連接部230具有第二厚度T2，第一厚度T1不同於第二厚度T2。由於此兩者厚度T1和T2的不同，使得導線210和導電連接部230具有不同的光穿透率和反射率，進而改善整體的可視性。需注意的是，圖式中的第一厚度T1和第二厚度T2的尺寸比例並非按照實際產品等比例繪製，僅用以清楚說明實施例之內容，因此並非作為限縮本揭露內容之保護範圍之用。

實施例中，導電網眼圖案200可以經由例如是凹版印刷、灰階光罩或奈米壓印的方式製作而成，且可以採用平面式 製程或捲對捲製程。

在一實施例中，如2A圖的上視圖中所示，很可能因為製作過程中的顯影蝕刻不完全，使得導電連接部230的單位面積會大於導線210的單位面積，且導電連接部230的第二寬度W2會大於金屬導線210的第一寬度W1，因此導電連接部230會因為具有較大光反射面積而有可視性的問題。在一實施例中，導線210之寬度可為1~20微米(μm)，較佳為3~10微米(μm)。導電連接部230之寬度至少大於導線210之寬度的√2倍，且導電連接部230的平面形狀大致上為一邊緣內凹之矩形。本揭露內容之實施例係將導電連接部230的第二厚度T2小於金屬導線210的第一厚度T1，除了可以提高導電網眼圖案200的整體的光穿透率，更同時能降低導電網眼圖案200的反射率，使得導電網眼圖案200的顯色較不明顯，進而改善具有較大寬度的導電連接部200處之可視性的問題。換言之，相較於整體厚度(導電連接部230的厚度及導線210的厚度)全面一致且具有大面積導電連接部的導電網眼圖案，大面積導電連接部造成的開口率下降、光穿透率下降及高反射率的問題均可以獲得大幅的改善。

值得注意的是，在導電連接部230的第二厚度T2小於導線210的第一厚度T1的實施例中，導電連接部230的第二厚度T2亦應具有一最小值，並非可以無限制地減小。當導電連接部230的第二厚度T2小於導線210的第一厚度T1時，導電連接部230仍須保有一定的厚度使得金屬網200可具有預定的導電性。

一實施例中，導線210的第一厚度T1相對於導電 連接部230的第二厚度T2之比例例如是2：1~50：1的範圍之間。舉例來說，當導線210的第一厚度T1為200奈米(nm)，則導電連接部230的第二厚度T2可為4~100奈米(nm)。然實際應用時，第一厚度T1和第二厚度T2的數值範圍亦視應用狀況作適當選擇，並不以前述數值範圍為限。

一實施例中，導電連接部230的第二厚度T2例如是5~150奈米(nm)。

一實施例中，導線210的第一厚度T1和導電連接部230的第二厚度T2的差值例如是50~2000奈米(nm)。另一實施例中，以導電網眼圖案200的材質為銀金屬為例，當導線210的第一厚度T1為200奈米，導電連接部230的第二厚度T2例如可以是20~100奈米，此兩者的差值則是100~180奈米。然實際應用時，導電網眼圖案200的材質、第一厚度T1和第二厚度T2的數值範圍亦視應用狀況作適當選擇，並不以前述材質及數值範圍為限。

實施例中，導電網眼圖案200的材質係為導電性金屬。舉例來說，金屬網200的材質可以包括銀、銅、鋁和鉬等之至少其中之一。

實施例中，基板100例如是可撓式基板或玻璃基板。

一實施例中，本揭露內容所述之導電薄膜結構例如可應用於觸控面板，觸控面板包括一基板以及一觸控電極，觸控電極設置於基板上。實施例中，觸控電極例如是由前述之導電網眼圖案200形成，導電網眼圖案200的導線具有一第一厚度，導電網眼圖案200的導電連接部具有一第二厚度，第一厚度不同於 第二厚度。

以下就實施例作進一步說明。以下列出一實施例之導電網眼圖案200的材質、尺寸及模擬結果。然而以下之實施例僅為例示說明之用，而不應被解釋為本揭露內容實施之限制。

表1列示以銀金屬作為導電網眼圖案200的材質，令阻抗維持定值所得到的第二厚度T2相對於反射率的模擬結果。如表1所示的實施例中，導線210的第一寬度W1為8微米(μm)，交叉部分230的第二寬度W2為36微米，導線210的第一厚度T1為200奈米。

如表1所示，當導電連接部230的第二厚度T2下降時，反射率也會下降。舉例來說，當導電連接部230的厚度由 200奈米下降至20奈米，反射率可以由98.17%大幅下降至62.64%。換句話說，根據表1所述的模擬結果，實施例中，導電網眼圖案200的材質係為銀，第二厚度T2例如是20-100奈米，則導電連接部230均具有比導線210低的反射率。另一實施例中，導電網眼圖案200的材質係為銅，第一厚度T1例如是200奈米，第二厚度T2例如是30-80奈米，則導電連接部230可具有比導線210低的反射率。然實際應用時，第二厚度T2的數值範圍亦視應用狀況作適當選擇，例如根據導電網眼圖案200的材質及導線210採用的第一厚度T1，並不以前述數值為限。

再者，同樣令阻抗維持定值，導電金屬的面積和厚度大約成反比。舉例來說，當導電網眼圖案200的材質為銀，導線210的第一寬度W1為8微米，導電連接部230的第二寬度W2為36微米，導線210的第一厚度T1為200奈米，根據計算，面積為36x36平方微米的導電連接部230的第二厚度T2下降至大約20奈米時，可以具有與面積為8x8平方微米的金屬導線210匹配的阻抗。

綜上所述，在導電網眼圖案200的製作過程中，雖然可能因為製程中的顯影蝕刻不全而使得導電連接部230相較於導線210具有較大的面積，然而經由改變導電連接部230的第二厚度T2，仍可以令導電連接部230與導線210具有匹配的阻抗，並且達到具有良好的光穿透率及低反射率，進而具有良好的可視性。

綜上所述，雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常知識 者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾。因此，本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

10‧‧‧導電薄膜結構

100‧‧‧基板

200‧‧‧導電網眼圖案

210‧‧‧導線

230‧‧‧導電連接部

Claims (8)

1. 一種導電薄膜結構，包括：一基板；以及一導電網眼圖案(conductive mesh pattern)，設置於該基板上，其包括複數條導線和複數個導電連接部，其中該複數個導電連接部將該複數條導線互相連接而構成該導電網眼圖案，其中該些導線具有一第一厚度，該些導電連接部具有一第二厚度，該第一厚度大於該第二厚度。
2. 如申請專利範圍第1項所述之導電薄膜結構，其中該第一厚度相對於該第二厚度之比例係為2：1~50：1且不等於1。
3. 如申請專利範圍第1項所述之導電薄膜結構，其中該第一厚度和該第二厚度之差值係為50~2000奈米(nm)。
4. 如申請專利範圍第1項所述之導電薄膜結構，其中該第二厚度係為20~2000奈米(nm)。
5. 如申請專利範圍第1項所述之導電薄膜結構，其中該導線之寬度為1~20微米(μm)。
6. 如申請專利範圍第1項所述之導電薄膜結構，其中該導電連接部之寬度大於該導線之寬度的√2倍。
7. 如申請專利範圍第1項所述之導電薄膜結構，其中該導電連接部的平面形狀大致上為一邊緣內凹之矩形。
8. 一種觸控面板，包括：一基板；以及一觸控電極，設置於該基板上，其中該觸控電極係由一導電網眼圖案形成，該導電網眼圖案包括複數條導線和複數個導電連接部，其中該複數個導電連接部將該複數條導線互相連接而構成該導電網眼圖案，其中該導線具有一第一厚度，該導電連接部具有一第二厚度，該第一厚度大於該第二厚度。