TWI245115B - Laser gas detection system - Google Patents

Description

1245115 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種雷射氣體感測系統，尤指一種應用於燃燒 系統，可同時量測混合氣體溫度和多種氣體濃度的雷射氣體感測 系統。 【先前技術】 對燃燒系統，例如汽電共生系統或燃煤電廠而言，燃料成本 幾乎佔整個系統的50%以上，屬於高耗能的產業。如何有效提升 系統的燃燒效率，將有助於減低經濟成本，並提升利潤。在煙氣 排放方面，燃燒系統被歸類為空氣固定污染源的主要來源。如何 降低污染源的排放量並符合日趨嚴格的排放標準，不僅影響著週 遭生活環境的品質，亦關係著相對應產業所必須額外支付的經濟 成本。 在眾多的燃燒產物之中，依據燃料種類與運作環境的不同， 中間產物和主要產物會以不同形式的化學結構反應生成，其中， 一氧化碳和氧氣的濃度是影響燃燒效率的主要兩種氣體；混合氣 體的溫度則是影響整體燃燒系統熱效率的主要參數。 習知氣體分析儀器在價格與性能方面，有著極大的落差。詳 言之，在單一氣體分析儀方面，例如一氧化碳分析儀，雖然僅能 針對單一氣體分子有所反應，但是，在量測精確度方面，卻能達 到幾個ppm或0·01 %解析能力；在多種氣體分析儀方面，雖然能 滿足同時量測多種氣體分子濃度的需求，但是，在量測的精確度 方面卻非常的不準確。 不論是前述單一或多種氣體分析儀，習知技術幾乎都是利用 薄膜的化學接觸原理量測待測氣體的濃度。這種化學原理量測的 技術，必須透過取樣孔或是取樣棒，經由後端幫浦抽氣的方式， 將氣體抽引至分析儀器進行後續的分析。唯習知技術存在以下若 1245115 干缺點，包括··（1)無法量測反應氣體的真實溫度；（2)取樣孔屬於 非侵入式的方式，抽引的氣體無法忠實反應空間中不同氣體的濃 度分佈；（3)取樣棒屬於侵入式的方式，雖然能呈現濃度在空間中 的分佈情形，但是其破壞流場的方式，亦可能改變原有的氣體成 分與濃度分佈等。這種種的因素，導致習知單一或多種氣體分析 儀在價格與性能的取捨方面，確實產生相當程度的衝擊。 對於燃燒系統而言，燃燒效率的最佳化調整，除了能達到節 約能源的效果之外，額外經濟成本亦會伴隨著降低許多，從而節 省之經濟成本一年幾乎可高達新台幣數百萬元。 【發明内容】 本發明之目的在提供一種雷射氣體感測系統，可同時量測混 合氣體溫度和多種氣體濃度，能兼顧在降低設備成本和分析檢測 精確度的嚴格要求之外，亦能衍生能源效率提升的額外經濟利潤 及達成環境品質監控診斷的需求。 達到上述目的之雷射氣體感測系統，包含： 二極體雷射，用於發射雷射光束； 光纖偶合器，用於將前述二極體雷射所發射之光束分成第一 及第二兩道光束； 第一分光器，位於待側區域之後端； 一對第一及第二準直鏡，設於前述待側區域之對向兩端，該 第一準直鏡用於使前述第一光束準直穿透前述待測區域之後並 由第二準直鏡聚焦進入前述第一分光器； 第一光感應器，用於接收來自於前述第一分光器的訊號； 第二分光器，用於接收前述第二光束； 第二光感應器，用於接收來自於前述第二分光器的訊號； 濾光鏡，設置於前述第二分光器及第二光感應器之間，用於 監控前述二極體雷射的波長變動範圍；及 1245115 資料處理裝置，用於接收來自於前述第一光感應器及第二光 感應器之訊號並比較光能量差，同時量測前述待測區域中之混合 氣體溫度和多種氣體濃度。 較佳者，前述第一光感應器、第二光感應器及濾光鏡配置數 量至少為一個且數量係相等。 較佳者，前述二極體雷射及光纖偶合器之間、前述光纖偶合 器及第一準直鏡之間、前述第二準直鏡及第一分光鏡之間、前述 光纖偶合器及第二分光器之間，係分別藉由光纖連接，以侷限二 極體雷射光的行進路徑於該光纖中。 較佳者，前述第一光感應器所接收之訊號係藉由訊號傳輸線 傳輸至前述資料處理裝置。 較佳者，中前述第二光感應器所接收之訊號係藉由訊號傳輸 線傳輸至前述資料處理裝置。 較佳者，前述二極體雷射為具備較大變動波長範圍的單一二 極體雷射。 較佳者，前述二極體雷射為多個窄波長變動範圍的二極體雷 射。 較佳者，前述資料處理裝置包括軟體和硬體兩部分，該軟體 包括Beer-Lambert Relation分析氣體溫度和濃度的流程與步驟、 訊號輸入/輸出介面驅動連結、外部操作按鍵的驅動和液晶顯示面 板的數據顯示等；該硬體包括數位訊號處理晶片、整合電路板及 訊號輸入/輸出介面。 本發明之前述目的或特徵，將依據後附圖式加以詳細說明， 惟需明瞭的是，後附圖式及所舉之例，祇是做為說明而非在限制 或縮限本發明。 【實施方式】 由於近年來光纖通訊的蓬勃發展，再加上光纖系統具備高相 1245115 容性、低成本等特性，光纖規格的可調式二極體雷射已經成為氣 體感測技術的主要應用場合。藉由適當的雷射光源波長選擇與調 整，以可調式二極體雷射為主的感㈣器即可作為同時監測各種氣 體的濃度、溫度、壓力和流量等性能參數，提供使用端作為決策 的參考依據。使用光纖傳送线，單-雷射和光錢器可以同時 檢測多個狀態，對於系統而言，可以大幅度的減低支出成本、維 修費用和不定期校正的需求。 根據光譜學的分析資料顯示，雷射光波長範圍介於i 和2.0//m之間，幾乎可以偵測到大部份的氣體分子，包括c〇、 〇h、h2o、no、cha C02等。現今商業化高品質雷射裝置的光 波長範圍約分佈於0.63" m至2.0//m之間，已經大部份涵蓋上 述氣體分子。舉例而言，氧氣(〇2)的量測大部份使用波長為 的A1GaAs雷射；水蒸汽旧2〇)的量測大部份使用波長介於 # m矛1.39 // m之間的inGaAsP雷射。這些二極體雷射裝置 具有快速反應時間、高感應度和光機電相容的特性，適合作為感 測器的主要能量來源。 “ 據此，本發明採用非侵入式的二極體雷射光譜吸收為核心原 里—藉由§的雷射光源波長選擇與調整，利用光纖系統具備高 相谷I*生與n可橈性的特性，提供同時且即時量測混合氣體溫度和 多種不同氣體濃度的功能。 以下將藉由具體實施例，詳述本發明。 、一明參考第一圖，本發明之雷射氣體感測系統ι〇包含：可調 極體雷射n、第—光纖12A、第二光纖12B、第三光纖12C、 弟四光纖12D、光纖偶合器13、第—準直鏡14A、第二準直鏡 14B ^第一分光器15、複數個第一光感應器μ、第二分光器I?、 ，應岫述第一光感應器16數量之濾光鏡per〇t etal〇n)、 對應則渡光鏡18數量之第二光感應器19、對應前述第一光感 1245115 =μ數量之第一訊號傳輸、線2〇a、對應前述第二光感應器υ 婁里之第二訊號傳輸線20B及資料處理裝置3〇。 ㈣可调式二極體雷射n的波長可決定欲偵測氣體的種類 α此“依雷射光波長，可以選擇具備較大變動波長範圍的單一二 ^體雷射，或是選擇多個窄波長變動範®的二極體雷射；前述^ 、，、截12Α用於連接可調式二極體雷身子^及光纖偶合器⑴前 述^二光纖12B用於連接光纖偶合器13及第一準直鏡i4A;前 2準直鏡14A及第二準直鏡14B係分置於待側區域4〇之氣 月豆流經路徑（如圖中箭頭所指之方向）中而呈相對之配置，其間之 距離為L;前述第三光纖12C用於連接第二準直鏡i4B及第—分 2器15;前述複數個第一光感應器16係對應於第一分光鏡。刀 :述第一訊號傳輸線2〇A係連接對應之第一光感應器Μ至資料 =理f置3〇 ;前述第四光纖12D用於連接光纖偶合$ 13及第二 刀光:17,别述第二光感應器19係對應於第二分光器17且兩者 之，:有一濾光鏡18 ;及，前述第二訊號傳輸線2〇b係連接對應 之第一光感應器19至前述資料處理裝置3〇。 “依據前述第-光纖12A、第二光纖12β、第三光纖Μ及第 光、截12D之配置’可使可調式二極體雷射u藉由光纖的協 助，侷限光的行進路徑於光纖中，以避免光受到外在環境的干 擾丄惟獨在待測區域4〇中，光才會行進於開放空間並與氣體分 子交互作用產生光譜吸收能量的行為。 前述光纖偶合器13的功能係將二極體雷射u發射之一道光 束，依照一定的比例，將光能量分成分別由第二光纖i2B、第三 光纖12C傳輸之穿透光束（第一光束）和由第四光纖⑽傳輸之灸 考光束（第二光束）。 〆 *前述穿透光束藉由第-準直鏡14A的運作，使該雷射光準直 穿透待測區域40,再藉由待測區域4〇後端的第二準直鏡14B將 1245115 光線聚焦於光纖12 C之中並進入第一分光器15與第一光感應器 16。前述第一分光器15的功能是將雷射光還原成不同波長之後 使之進入第一光感應器16。前述第一光感應器16則將接收的訊 號經由第一訊號傳輸線20A傳送至後端之資料處理裝置30。前述 一對準直鏡14A、14B的功能主要是協助雷射光在開放空間中行 經待側區域40之距離L時，保持雷射光的準直性，避免光的擴 散效應。 前述參考光束藉由第二分光器17將雷射光還原成不同波 長，並穿透濾光鏡18之後再進入第二光感應器19。前述第二光 感應器19將接收的訊號經由第二訊號傳輸線20傳送至後端資料 處理裝置30。前述濾光鏡18的功能為監控二極體雷射11的波長 變動範圍。前述第二光感應器19則用於量測雷射光的起始能量。 前述資料處理裝置30包括軟體31和硬體32兩部分，請參看第 二圖，該軟體3 1包括Beer-Lambert Relation分析氣體溫度和濃度 的流程與步驟、訊號輸入/輸出介面驅動連結、外部操作按鍵的驅 動和液晶顯示面板的數據顯示等；該硬體32包括數位訊號處理 晶片、整合電路板及訊號輸入/輸出介面等。藉由資料處理裝置 30接收來自於前述穿透光束及參考光束，並加以比較光能量差， 即可同時量測前述待測區域40中混合氣體溫度和多種氣體濃度。 以下將進一步說明本發明之氣體分子吸收雷射原理、氣體溫 度量測、氣體分子濃度量測及使用之HITRAN資料庫。 氣體分子吸收雷射原理 依據雷射光波吸收原理，當雷射光通過氣體分子時，氣體分子會因為 吸收特定波長的光能量，使得雷射光束的能量強度因而降低。雷射光束能 量降低的程度與雷射光的行進路徑、氣體溫度等因素息息相關。因此，其 1245115 關係式稱之為Beer-Lambert Law，可表示為 I, =I〇,xexp[-kv/xPxL].................................................................................. 其中，‘和L分別代表雷射光通過氣體分子前後的光源能量強度；、代表 氣體分子的光譜吸收係數；P代表氣體分子的分壓；L代表雷射光的行進路 徑。以下表一所示為Beer-Lambert’sLaw參數的定義與單位。 表一 雷射光源入射強度 I, 雷射光源通過氣體後之強度 光譜吸收係數 cm^atm'1 P 待測氣體分壓 atm V 特定頻率 -1 cm L 雷射光穿透氣體行進路徑 cm 光譜吸收係數為line strength function和line shape function的乘積，亦即 kK = S(T，v)x 彡v〇)................................................................................... (2) '代表光譜線中心(Line-center)的頻率。在特定雷射光波長時，iine strength function為溫度的函數，iine shape function為溫度和壓力的函數。 此外，雷射光的穿透率(Transmittance，Tt)定義為

結合式(1)、式(2)與式(3)且將關係式取自然對數值，則 (3) 1245115 也)=1η ί ΌPxL = -S(T，V)X♦ -')xPxL w 根據過去許多學者的分析方法顯示，視線法(une_of_sight)搭配

Beer-Lambef’s Law是__作為啊分析氣_溫度和减濃度的方 法般而5 ’採用視線法至少需要兩條鄰近且不互相重疊的吸收強度光 譜線，才能_量_目的。HITRAN資料庫在這方面提供相當完整的氣 體吸收光譜線的相關資料。 表二為一般氣體分子吸收雷射光譜的吸收強度與頻率的關係曲線表， 其中，％、v2分別代表相鄰光譜線中心之特定吸收光譜線的頻率。 對紅外線吸收光譜而言，吸收光譜線的吸收強度代表氣體分子旋轉 (Rotational)量子能階和振動(Vibrational)量子能階的躍遷(Transition)所需吸 收的能量。 表

12 1245115 當吸收強度發生於光譜頻^時，其氣體吸收光能 量強度可表示成 ln(jt，J=ln ~- --S(t?v01)x^v ~v〇j)xPxL.................................. (5) δ吸收強度發生於光譜頻率^時，其氣體吸收光能量強度可表示成 ln(Tt，J=lnJ^,-S(T，、2M"()，2)xI>XL...............................................(6) 氣體溫度量測 選定苓考·度和料射相為ΤγΚ)和ρ/_)，貞彳μτμν資料庫 將可提t、光.a吸收頻率於％、^日㈣1—血_值，分別表示成s(t〇，〜)和 s(T〇^〇,2) 〇 此外，在特定頻率時，同一種氣體分子於不同溫度條件，其U的ngth function可以表示成

xexp

S(T) = S(T〇)x^x X

hcE" ~~r~ χ ί丄丄1Ιτ'ΐ； ⑺

一中Q(T)代表溫度丁時的配分函數办池丨㈤脇比如)；匕代表蒲朗克常數； 代表光速，E"代表氣體低能階能量(Lower state energy) ; k代表波茲曼常 數。以下表三所列為關係式⑺各項參數的值和單位。 13 1245115

表, 二 h 蒲朗克常數 6.6260755x10'% J-S C 光速 3xl08 m/s 氣體低能階能量 cm'1 k 波茲曼常數 1.380658xl〇·23 J/K 因此’在溫度為T、吸收頻率為κ、V2時，個別Hne strength function可 表示成 S(T5v01) = S(T0?v01)x^xf^

T xexp hcE： f 1 1 -x k T T〇 1〇，丨 ⑻ 1-exp he To S(t^c,2) = s(T05v0j2)x^x^ \ hcE， ’1 1 丫 χ exp y --X k 1-exp

he _ __· T ：V0,2 (9) 1 - exp he T〇 0,2 ❿ 當雷射光波長小於2.5//m且氣體溫度小於2500K時，關係式(9)的最 後一個項目可以忽略不計。因此，將關係式(8)和關係式(9)相除，則得到

he T

-X (Ε;、Ε;)χ Τ Ί； 關係式(10)等號的左邊為實驗量測值，等號右邊除了溫度丁之外，其餘 參數皆為已知值。因此，氣體的溫度值Τ即可經由關係式(10)的運算而得到。 14 1245115 氣體分子濃度量測 田氣脱的/皿度畺測完成之後，line strength在該溫度時的強度即可經由 關係式⑺⑻或(9)得到。應用Beer-LambertLaw量測氣體分子濃度時，除 了 lme strength fimcti〇n分析之外，另一個決定因子為丨丨⑽的 分析。lme shape fonction的作用主要是藉由透過數學運算式的方式，將量測 儀器(如光電二極管或是光譜分析儀等)所量測到的資料訊號予以程式化，便 利後續的解讀與分析。 依據過去的相關文獻顯示，描述吸收光譜線的line shape &η(^〇η的關 ® 係函數相當的多種，包括 Ben-Reuven line shape、DC)ppleHine shape、 line shape > Lorentzian line shape > Sub-Lorentzian line shape > VanVleck屬isskopf line shape、Voigt line shape 和 G麵―^ 這九種關係函數的適用範圍和適用條件不盡然相同，採用這些關係函數時 必須依據應用環境的條件做進一步的選擇。 對於吸收光譜線而言，Lorenztian fimction、Gaussi〇n functi〇n 和 v〇igt _ function是三個被採用作為修正(Fitting)實驗數據的關係函數。這三個關係 函數的形式描述如下： (1) Lorenztian function 當氣體壓力約為-大氣壓或稍微高於一大氣麼時，此函數適用於分 析當時的吸收光譜資料。 (2) Gaussion function 當氣體壓力低於lOOmbar時，都卜勒效應⑽⑽㈣飯收影響光 譜線的增頻(Broadening)現樣，此函數適用於分析當時的吸收光譜資料。 15 1245115 (3) Voigt function

Voigt flmction 為 Lorenztian fiinction 和 Gaussion function 的迴旋 (Convolution)積分結果，因此，適用於上述兩種關係函數的條件。v〇igt function也是多數文獻採用分析資料的關係函數。

Voigt function的原始方程式為 v(a，x)=f£a-;V-y)2dy...........................................................................(11) 其中，a稱為voigt parameter，該值的量測顯現碰撞和都卜勒增寬之間的影 響關係，其定義為 (12) a.Vhi2x^c

△ v/D 其中，Δ vc為碰撞半寬帶(Collision full width at half max.)。A vD為都卜勒半 寬帶(0(^匕如1〜丨(^1^11也11^.)。碰撞半寬帶為壓力和溫度的函數，其 關係式為

Avc =2/xPabs................................................................................................〇3) 其中，办為碰撞增寬(Collision-broadening)參數，為溫度的函數；Pabs為環境 的壓力。都卜勒半寬帶為溫度的函數，其關係式為 丄 △ = 7· 162 X10 X — X νη................ ................ (14) VM； …· .........................v y 其中，T為環境溫度；Μ為待測氣體分子的分子量；v。為吸收光譜線的中 心線頻率(Line-center frequency)。此外，關係式(11)之參數X，定義為 16 ...............................(15) 1245115 x = 2jhax^..............................

△ vD 其中 ，v-v。為吸收光譜線中心線頻率分赌形。依據上述的分析，倘若_ parametera遠小於1時，則關係式(11)的結果可以簡化為 /(a,x) = e' ：Χ" ......(16) line shape 不論採用何種line shape function做為分析工具，通常會將 function 常態化(Normalization)，亦即 line φ(ν-ν0)άν = l........................ (17) 其中，外-v。）為修正的voigt function，稱之v〇igtpr〇me，其關係式為 沴(卜 v(a，x).................. 將關係式(11)〜(16)和關係式⑺代入關係式⑷並重新整理之，則可求得 氣體分子的分壓P，亦即

In L〇,^ …（18) 將氣體分子的分壓(P)無境的壓力(Pabs)取其比值，g卩可轉氣體分子 的莫耳比，進一步可換算成氣體分子的濃度。 HITRAN資料庫 表四為侧HAWKS料，將HITRAN f料庫巾，，魏在各個波 17 1245115 長日^的吸收光谱資料部份圖表，其中]Vi=7代號為氧氣。由表中資料顯示， 包括光的波長、頻率、吸收強度、氣體碰撞半寬、氣體低能階能量等參數， 皆能提供計算特定溫度下，氣體分子吸收特定波長能量的吸收強度，如關 係式(7)所示。 ansofodo-sSJ JEJ§3 ^6sal蒼 A,

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表四 表五所示為氧氣在波長範圍為0.7629/ηη至0.7596//m之間的吸收光 譜強度與波長分佈關係圖表，由表中的吸收強度資料顯示，氧氣在雷射光 波長約為0.761//m時，顯現相對較強的吸收能力。 表六所示為一氧化碳的吸收光譜強度與波長的關係。 水蒸汽吸收雷射光波長的吸收強度如表七所示。 因此，透過HITRAN資料庫的搜尋，將可幫助偵測特定氣體分子時， 遥疋相對較強強吸收光譜能力的波長，除了能提升訊號強度之外，對於後 績氣體分子濃度的量測與換算亦能提高其準確度。 18 1245115 (ς UI3*a>Ilscul>/一 1113)^96^^)^^1131111 1.00E-23 r 9.00E-24 -8.00E-24 -7.00E-24 -6.00E-24 -5.00E-24 -4.00E-24 -3.00E-24 -2.00E-24 -1.00E-24 - 0.7629 0.7623 0.7615 0.7611 0.7607 0.7604 0.7602 0.7600 0.7599 0.7598 0.7597 0.7597 0.7596 0.7596 wavelength (μτη) 表五 (<〔E31V 一 S3)

1.5997 1.5985 1.5976 1.5966 1.5958 1.5936 1.5927 1.5864 1.5819 1.5801 1.5788 1.5780 1.5711 1.5629 1.5592 wavelengtii (inn) 表六 19 1245115

表七 如上所述，比較本案與習知技術的主要差異如下，可知本案 確實具有優異性及可專利性： ， 1、 原理分析：習知技術採用化學接觸原理的方式，僅能分 析氣體的濃度；本案採用Beer-Lambert Relation的吸收光譜原 理，能同時分析氣體的溫度與濃度。 2、 取樣氣體代表性：習知技術採用抽氣孔或取樣棒抽引氣 體，屬於侵入式干涉流場的方式，無法忠實反應氣體濃度的分 佈；本案採用雷射光直接穿透待測區域，屬於非侵入式且無干擾 流暢的方式，能反應氣體濃度的分佈情形 3、 系統校正需求：習知技術的分析儀器在使用前必須先經 過標準氣體的校正程序，才能進行後續的取樣分析；本案因為採 用雷射光的關係，不同的氣體分子對特定波長的雷射具有吸收特 定能量的行為，因此，無須透過任何標準氣體的校正程序，即能 1245115 準確的分析氣體的濃度與溫度。 4、光纖的使用· 所具有之高戶準·省知技術並未利用光纖。本案利用雷射光 θ. 2 ^ Γ又準直性及採用光纖作為光行進路徑的傳輸媒介，藉 Ά阿相*性與可撓性，可以省卻昂貴的光學元件，達到任 意改變光打進路徑的需求，並簡化系統的複雜程度。

21 1245115 【圖式簡单說明】 第一圖係顯示本發明之雷射氣體感測系統之系統配置圖。 第二圖係顯示本發明之資料處理裝置之方塊圖。 [主要元件符號對照說明] ίο…雷射氣體感測系統 11…可調式二極體雷射 12A…第一光纖 12B···第二光纖 12C···第三光纖 12D…第四光纖 13…光纖偶合器 14A…第一準直鏡 14B· ••第- 二準直鏡 15··· 第一 分光器 16··· 第一 光感應器 17··· 第二 分光器 18··· 濾光 鏡 19··· 第二 光感應器 20A…第， 一訊號傳輸線 20B· ••第- 二訊號傳輸線 30…資料處理裝置 22

Claims (1)

1245115 拾、申請專利範圍： 1、一種雷射氣體感測系統，包含·· 二極體雷射，用於發射雷射光束； 光纖偶合器’用於將前述二極體雷射所發射之光束分成第 一及第二兩道光束； 第一分光器，位於待側區域之後端； 一對第一及第二準直鏡，設於前述待側區域之對向兩端， 该第一準直鏡用於使前述第一光束準直穿透前述待測區域之 後並由第二準直鏡聚焦進入前述第一分光器； 第一光感應器’用於接收來自於前述第一分光器的訊號； 第二分光器，用於接收前述第二光束； 第二光感應器，用於接收來自於前述第二分光器的訊號； 濾光鏡’設置於前述第二分光器及第二光感應器之間，用 於監控前述二極體雷射的波長變動範圍；及 一貧料處理裝置，用於接收來自於前述第一光感應器及第二 光感應器之訊號並比較光能量差，同時量測前述待測區域中之 作匕合氣體溫度和多種氣體濃度。 2 ★如申凊專利範圍第1項所述之雷射氣體感測系統，其中前述 第-光感應器、第二光感應器及濾光鏡配置數量 數量係相等。 且 一士申明專利範圍第1項所述之雷射氣體感測系統，其中前述 二極體雷射及光纖偶合器之間、前述光纖偶合器及第二準直鏡 =間、可，第二準直鏡及第—分光鏡之間、前述光纖偶合器及 分光器之間，係分別藉由光纖連接，以侷限二極體雷 的行進路徑於該光纖中。 疋 4申請專利範圍帛i項所述之雷射氣體感測系統，其中前求 $〜光感應ϋ所接收之訊號係藉由訊號傳輪線傳輪至前述^ 23 !245115 料處理裝置。 第如帛1項所述之#射氣體感測in中一 f 弟-先感應器所接收之訊號係藉由 ，、中則述 料處理裝置。 ’别、'泉傳輪至前述資 6 如申請專利範圍第i項所述之雷射氣體 二 為具備較大變動波長範圍的單-二極二:中前述 二極體雷射為多個窄波長變動範_二極體中前述 、=r=:r射-感二-前述 匕枯#人體和硬體兩部分， Beer-Lambert Relati〇n分析氣體 、w卓人體包括 號輸入/輸出介面驅動連4 '皿又σ/辰又的流程與步驟、訊 板的數據顯示等;該硬連體 及訊號輸入/輸出介面。 °號處理曰曰片、整合電路板

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