TWD243034S - 晶圓保持單元 - Google Patents

晶圓保持單元

Info

Publication number
TWD243034S
TWD243034S TW114304179F TW114304179F TWD243034S TW D243034 S TWD243034 S TW D243034S TW 114304179 F TW114304179 F TW 114304179F TW 114304179 F TW114304179 F TW 114304179F TW D243034 S TWD243034 S TW D243034S
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
view
holding unit
wafer holding
design
item
Prior art date
Application number
TW114304179F
Other languages
English (en)
Inventor
稲垣幸彦
Original Assignee
日商斯庫林集團股份有限公司 (日本)
日商斯庫林集團股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商斯庫林集團股份有限公司 (日本), 日商斯庫林集團股份有限公司 filed Critical 日商斯庫林集團股份有限公司 (日本)
Publication of TWD243034S publication Critical patent/TWD243034S/zh

Links

Abstract

【物品用途】;本案設計之物品係安裝於晶圓搬送裝置而使用者，即於晶圓搬送裝置中作為晶圓保持部發揮功能者。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。後視圖因與前視圖，仰視圖因與俯視圖，左側視圖因與右側視圖，分別相同顯示，故而省略。;本案設計係新穎且獨特之樣式，藉由獨特地設計晶圓保持單元，可顯現出先前技藝所未有之視覺效果。

Description

晶圓保持單元
本案設計之物品係安裝於晶圓搬送裝置而使用者，即於晶圓搬送裝置中作為晶圓保持部發揮功能者。
圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。後視圖因與前視圖，仰視圖因與俯視圖，左側視圖因與右側視圖，分別相同顯示，故而省略。
本案設計係新穎且獨特之樣式，藉由獨特地設計晶圓保持單元，可顯現出先前技藝所未有之視覺效果。
TW114304179F 2025-07-16 2025-09-11 晶圓保持單元 TWD243034S (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2025014215F JP1816793S (ja) 2025-07-16 2025-07-16 ウェハ保持ユニット
JP2025-014215 2025-07-16

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TWD243034S true TWD243034S (zh) 2026-02-11

Family

ID=98385194

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW114304179F TWD243034S (zh) 2025-07-16 2025-09-11 晶圓保持單元

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP1816793S (zh)
TW (1) TWD243034S (zh)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWD235077S (zh) 2023-01-19 2024-12-01 美商蘭姆研究公司 (美國) 用於基板處理系統的擋板

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWD235077S (zh) 2023-01-19 2024-12-01 美商蘭姆研究公司 (美國) 用於基板處理系統的擋板

Also Published As

Publication number Publication date
JP1816793S (ja) 2026-01-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWD232183S (zh) 鞋面
TWD208414S (zh) 扇輪之部分
TWD214977S (zh) 吸塵器
TWD222726S (zh) 自行車燈之部分
TWD234298S (zh) 自行車架
TWD214413S (zh) 包
TWD213100S (zh) 家具用的顯示裝置
TWD243034S (zh) 晶圓保持單元
TWD221769S (zh) 包裝用袋之部分
TWD219337S (zh) 瓶子
TWD206011S (zh) 包裝用膜
TWD213325S (zh) 吸塵器之部分
TWD216467S (zh) 包裝用袋之部分
TWD217491S (zh) 茶几的部分
TWD216498S (zh) 包
TWD241055S (zh) 顯示裝置
TWD222773S (zh) 送牌裝置之部分
TWD227896S (zh) 承板之部分
TWD242891S (zh) 羅盤之部分
TWD215058S (zh) 閥用閥體
TWD212095S (zh) 視訊裝置之部分
TWD239017S (zh) 錶殼
TWD223683S (zh) 桌子
TWD212118S (zh) 餐盒之部分
TWD221417S (zh) 輪椅骨架