TWD225053S - 擴散管 - Google Patents

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TWD225053S
TWD225053S TW111301057F TW111301057F TWD225053S TW D225053 S TWD225053 S TW D225053S TW 111301057 F TW111301057 F TW 111301057F TW 111301057 F TW111301057 F TW 111301057F TW D225053 S TWD225053 S TW D225053S
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never
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TW111301057F
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邱銘乾
莊家和
李國華
林書弘
古紹延
莊淳瑄
林心弘
葉博智
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家登精密工業股份有限公司
台灣積體電路製造股份有限公司
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Abstract

【物品用途】;本設計之擴散管係用於前開式晶圓載具中,並用於使氣體擴散。;【設計說明】;本案創作之擴散管係為一新穎獨特之設計,藉由獨特地設計的擴散管,可顯現出先前技藝未曾有過的視覺效果。
TW111301057F 2022-03-03 2022-03-03 擴散管 TWD225053S (zh)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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TWD215215S (zh) 2020-07-27 2021-11-11 日商國際電氣股份有限公司 基板處理裝置用氣體供給噴嘴

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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TWD215215S (zh) 2020-07-27 2021-11-11 日商國際電氣股份有限公司 基板處理裝置用氣體供給噴嘴

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