TWD193038S - 顯示螢幕之圖形化使用者介面 - Google Patents

顯示螢幕之圖形化使用者介面

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TWD193038S
TWD193038S TW106307677F TW106307677F TWD193038S TW D193038 S TWD193038 S TW D193038S TW 106307677 F TW106307677 F TW 106307677F TW 106307677 F TW106307677 F TW 106307677F TW D193038 S TWD193038 S TW D193038S
Authority
TW
Taiwan
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view
enlarged front
display equipment
status
semiconductor manufacturing
Prior art date
Application number
TW106307677F
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English (en)
Inventor
中村貴正
鳥越恒男
Original Assignee
日商荏原製作所股份有限公司
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Abstract

【物品用途】;本物品為半導體製造機，用來進行半導體晶圓的處理，顯示機器部的顯示部，係具有使呈現在畫面上的圓形晶圓移動等，而能對於半導體製造機中的半導體晶圓的研磨、洗淨、乾燥等之處理工程的經過狀態一目瞭然的功能，「前視圖」、「顯示機器部之放大前視圖」、「變化狀態之顯示機器部的放大前視圖1」及「變化狀態之顯示機器部的放大前視圖2」的圖形圖，係能發揮監視前述半導體晶圓的處理工程的功能，利用觸控等來操作「前視圖」及「顯示機器部之放大前視圖」的圖形圖，藉此變化成在監視選擇畫面的「變化狀態之顯示機器部的放大前視圖1」，且利用觸控等來操作「變化狀態之顯示機器部的放大前視圖1」之上方的橫長矩形狀的圖形圖，藉此變化成用來選擇監視項目的目錄畫面之「變化狀態之顯示機器部的放大前視圖2」。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分；圖式中一點鏈線所圍繞者，係界定本案所欲主張之範圍，該一點鏈線本身為本案不主張設計之部分。

Description

顯示螢幕之圖形化使用者介面
本物品為半導體製造機，用來進行半導體晶圓的處理，顯示機器部的顯示部，係具有使呈現在畫面上的圓形晶圓移動等，而能對於半導體製造機中的半導體晶圓的研磨、洗淨、乾燥等之處理工程的經過狀態一目瞭然的功能，「前視圖」、「顯示機器部之放大前視圖」、「變化狀態之顯示機器部的放大前視圖1」及「變化狀態之顯示機器部的放大前視圖2」的圖形圖，係能發揮監視前述半導體晶圓的處理工程的功能，利用觸控等來操作「前視圖」及「顯示機器部之放大前視圖」的圖形圖，藉此變化成在監視選擇畫面的「變化狀態之顯示機器部的放大前視圖1」，且利用觸控等來操作「變化狀態之顯示機器部的放大前視圖1」之上方的橫長矩形狀的圖形圖，藉此變化成用來選擇監視項目的目錄畫面之「變化狀態之顯示機器部的放大前視圖2」。
圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分；圖式中一點鏈線所圍繞者，係界定本案所欲主張之範圍，該一點鏈線本身為本案不主張設計之部分。
TW106307677F 2017-06-29 2017-12-28 顯示螢幕之圖形化使用者介面 TWD193038S (zh)

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