TWD190826S - 製程配管用氣體噴嘴的零件 - Google Patents

製程配管用氣體噴嘴的零件

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TWD190826S
TWD190826S TW106304243F TW106304243F TWD190826S TW D190826 S TWD190826 S TW D190826S TW 106304243 F TW106304243 F TW 106304243F TW 106304243 F TW106304243 F TW 106304243F TW D190826 S TWD190826 S TW D190826S
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gas nozzle
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Abstract

【物品用途】;本設計物品是一種零件,應用於製程配管中的氣體噴嘴。;【設計說明】;A-A端面剖視圖表示由左側視圖中A-A線所截取的端面剖視圖。標示B部之放大圖與標示C部之放大圖用以呈現A-A端面剖視圖中的B部與C部的外觀造型。;參考圖1為應用有本設計的零件30的一種氣體噴嘴,且參考圖2用以表示參考圖1的氣體噴嘴的剖視圖,其中多個零件30以螺紋連接40的方式連接在噴嘴左側單元10與噴嘴右側單元20之間。參考圖2更呈現噴嘴左側單元10與噴嘴右側單元20的外周表面上進一步套設有O形環50的態樣。;參考圖3表示出應用有本設計的零件30的氣體噴嘴安裝在製程配管60的態樣及其局部放大圖。另外,參考圖4表示應用有本設計的零件30的另一種氣體噴嘴安裝在製程配管60的態樣及其局部放大圖。在參考圖3與參考圖4中,排放氣體(製程氣體或是廢氣)可沿箭頭a方向在氣體噴嘴內流動。另外,噴射氣體可通過製程配管60上的噴射口70注入製程配管內,並沿箭頭b的方向在製程配管60的內周表面流動,使得排放氣體的反應後副產物不在製程配管60的內周表面累積。製程配管可安裝到各種設備,例如製作平面顯示器、發光二極體或是太陽能電池的設備,以作為傳送製程氣體或是廢氣的管道。

Description

製程配管用氣體噴嘴的零件
本設計物品是一種零件,應用於製程配管中的氣體噴嘴。
A-A端面剖視圖表示由左側視圖中A-A線所截取的端面剖視圖。標示B部之放大圖與標示C部之放大圖用以呈現A-A端面剖視圖中的B部與C部的外觀造型。
參考圖1為應用有本設計的零件30的一種氣體噴嘴,且參考圖2用以表示參考圖1的氣體噴嘴的剖視圖,其中多個零件30以螺紋連接40的方式連接在噴嘴左側單元10與噴嘴右側單元20之間。參考圖2更呈現噴嘴左側單元10與噴嘴右側單元20的外周表面上進一步套設有O形環50的態樣。
參考圖3表示出應用有本設計的零件30的氣體噴嘴安裝在製程配管60的態樣及其局部放大圖。另外,參考圖4表示應用有本設計的零件30的另一種氣體噴嘴安裝在製程配管60的態樣及其局部放大圖。在參考圖3與參考圖4中,排放氣體(製程氣體或是廢氣)可沿箭頭a方向在氣體噴嘴內流動。另外,噴射氣體可通過製程配管60上的噴射口70注入製程配管內,並沿箭頭b的方向在製程配管60的內周表面流動,使得排放氣體的反應後副產物不在製程配管60的內周表面累積。製程配管可安裝到各種設備,例如製作平面顯示器、發光二極體或是太陽能電池的設備,以作為傳送製程氣體或是廢氣的管道。
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