TW517042B - A control system for an electrostatically-driven microelectromechanical device - Google Patents

Description

五、發明說明（1) 對照參考資料 本申請案之內容已由本發明人發表於IEEE Optical MEM S 2001，Okinawa，Japan，2001 年 9 月 27 〜29 日， 命名爲 ”A Novel Capacitance Control Design of Tunable Capacitor Using Multiple Electrostatic Driving Electrodes(利用多塊靜電驅動電極板之可調諧電容器的 電容控制設計）”，以及發表於IEEE-Nano Tech. 2001， Maui，Hawaii，USA，2001 年 10 月 28 〜30 曰，命名爲 ’’A Novel Control Design of Stepping Micro mirror Using Multiple Electrostatic Driving Electrodes(利用多塊靜電 驅動電極板之步進微反射鏡的控制設計）’’，其將結合於 本文中供參考。 發明背景 發明領域 本發明有關一種靜電驅動微機電裝置之控制系統，更 特別地，有關一種利用多塊電極板來控制靜電驅動式微 機電裝置之控制系統，其係藉選擇電極板圖案及相對應 驅動電壓之組合來驅動微機電裝置。 習知技術說明 近年來，整合微電子，微結構及微光學組件成爲機電 系統（Micro-Electro-Mechanical System，簡稱 MEMS)之 相關硏究日益增加，而以光學，射頻爲主之微機電系統 (Optical MEMS/RF MEMS)之硏究，爲的就是要發展下一 代光電/通訊科技的各式關鍵零組件，而由於利用微機電 517042 五、發明說明（2) 技術所發表出來的裝置可應用的範圍相當寬廣，相對的 商業產値亦具有十足的潛力，其中之主要原因乃在於利 用微機電技術所設計開發之系統，不僅可使系統整體之 體積縮小及性能提昇，而且在半導體製程的成批製造之 特性上，更能使生產成本降低，使其可符合未來消費性 產品及加工技術以環保及經濟性爲設計考量之發展趨勢 ，因此也成爲次世代製造技術（Next Generation M a n u f a c t u r i n g T e c h η ο 1 o g y)中最受重視的關鍵性發展技 術之一。 微機電系統在從微感測器及微致動器的發展到光學通 訊及無線式通訊以及到最近之生物科技的發展中處處可 見到其扮演重要的角色，例如廣泛地使用於微波及毫米 波之應用中，其中使用射頻（RF)系統VCO(電壓控制之 振盪器）電路中之最主要元件之一的可調諧電容器而 MEMS爲主之電容器則可避免在高頻時高的功率損耗。 大致地，靜電致動法係視爲微機電系統之最平常的驅動 方法，因爲藉靜電力所驅動之微機電系統往往具有操作 頻率高及消耗功率低之優點，因此，在微機電系統設計 中，長久以來大量地應用靜電力，諸如微致動器，微感 測器，微光學組件，微波開關，及微流體元件等皆可見 到類似的硏究。 習知地，靜電驅動之微機電系統通常利用兩平行板之 間固定的重疊面積和偏壓來產生所企望的靜電力’在一 固定偏壓下，重疊的面積越大，產生的致動力越大，然 -4- 517042 五、 發明說明 ( 3) 而 致 動 力 與 偏 壓 之 間 具 有 闻 度 的 非 線 性 關 係 ， 造 成 整 個 系 統 在 實 用 化 的 階 段 中 ， 控 制 的 設 計 十 分 困 難 且 不 易 造 成 亦 即 習 知 之 靜 電 驅 動 法 的 非 線 性 轉 移 曲 線 常 限 制 了 實 用 性 〇 此 外 爲 了 各 式 應 用 的 伞生 m 確 度 要 求 5 往 往 需 要 更 新 的 系 統 設 計或 尋 求 更 毕主 m 確 的 電 路 設 計 僅 管 如 此 亦 常 無 法 符合 高 伞主 m 確 度 的 要 求 因 此 5 不 僅 降 低 了 微 機 電 系 統 實 用 化 之 可 行 性 Μ 形 之 間 也 增 加 了 許 多 開 發 的 成本 〇 因 而 有 必 要 發 展 出 一 種 控 制 系 統 來 改 善 上 述 習 知 技 術 之 非線 性 關 係 之 問 題 ， 使 得 微 機 電 系 統 上 之 非 線 性 元 件 可 依 據 不 同 的 應 用 而 可 行 地 獲 得 諸 如 線 性 (Π ne ar )驅 丨動 5 數 位 式 (d igital)驅動及: 混合式（h y b r i d〕 丨驅 動 方 式 等 之 主 要 驅 動 特 性 ， 藉 此 7 能 在 電 路 具 有 有 限 m 確 度 的 先 天 限 制 下 ， 符 合 更 多 局 ψ主 m 確 度 要 求 的 微 機 電 系 統 之 應 用 領 域 〇 發 明 槪 述 因 此 爲 了 克 服 上 述 問 題 ， 本 發 明 之 的 在 於 提 供 一 種 利 用 多 塊 電 極 板 來 控 制 靜 電 驅 動 式 微 機 電 裝 置 之 系 統 其 可 藉 C巳B 迸 擇 電 極 板 圖 案 及 相 對 應 驅 動 電 壓 之 組 合 來 驅 動 微 機 電 裝 置 5 使 得 裝 置 內 之 非 線 性 元 件 可 依 據 不 同 的 應 用 獲 得 可 預 期 之 諸 如 線 性 驅 動 數 位 式 驅 動 及 混合 式 的 驅 動 特 性 ， 而 改 善 微 機 電 裝 置 之 精 確 度 〇 爲 達 成 上 述 S 的 根 據 本 發 明 之 — 觀 點 5 提 供 有 —* 種 靜 電 驅 動 微 機 電 裝 置 之 控 制 系 5· 統 包 含 可 移 動 板 517042 五、 發明說明 ( 4〕 藉 一 靜 電 力 予 以 致 動 用 於 產 生 旋 轉 及 平 移 動 作 ; 多 塊 靜 電 驅 動 電 極 板 用 於 藉 施 加 驅 動 電 壓 產 生 靜 電 力 9 —^ 切 換 矩 陣 電 路 y 具 有 電 性切 換 組 件 j 用 於切 換 多 塊 靜 電 驅 動 電 極 板 以 及 — 控 制 器 用 於 確 定 靜 電 驅 動 微 機 電 裝 置 之 操 作 特 性 及 透 過 切 換 矩 陣 電 路 選 擇 電 極 圖 案 0 進 —^ 步 地 根 據 本 發 明 之 上 述 觀 點 ， 其 中 上 述 可 .移 動 板 係 —* 微 機 械 懸 吊 元 件 0 又 進 —* 步 地 根 據 本 發 明 之 上 述 觀 點 ， 其 中 上 述 多 塊 靜 電 驅 動 電 極 板係 微 機 械 固 定板 以 及 該 多 塊 靜 電 驅 動 電 極 板 之 各 電 極 板 具 有矩 形 y 圓 形 及 多 邊 形 之 形狀 9 且 具 有相 等 或 不 同 的 面 積 〇 再 進 一 步 地 ， 根 據 本 發 明 之 上 述 觀 點 > 其 中 上 述 切 換 矩 陣 電 路 之 電 性切 換 組 件 包 含 繼 電 器 類 比 式 開 關 ， 及 電 晶 體 陣 列 0 仍 進 —^ 步 地 5 根 據 本 發 明 之 上 述 觀 點 ， 其 中 上 述 控 制 器 具 有 一 處 理 單 元 伴 隨 相 關 連 之 週 邊 電 路 其 中 處 理 單 元 爲 微 處 理 益 而 相 關 連 之 週 C鱼 邊 電 路 爲 記 憶 體 單 元 〇 又 進 一 步 地 j 根 據 本 發 明 之 上 述 觀 點 其 中 上 述 操 作 特性係 微 機 電 裝 置 之 轉 移 特 性 包含 微 機 電 裝 置 之 輸 出 參 數 的 物 理 量 及 所 施 加 之 直 流 電 壓 〇 又 進 — 步 地 ， 根 據 本 發 明 之 上 述 觀 點 ， 其 中 上 述 電 極 圖 案 係 由 CBB 培 擇 白 多 塊 靜 電 驅 動 電 極 板 之 電 極 板 所 形 成 以 便 建 構 -- 產 生 靜 電 力 之 區 域 〇 如 上 述 5 利 用 根 據 本 發 明 靜 6 - 電 驅 動 微 機 電 裝 置 之 控 制 #

517042 五、發明說明（5) 系統所驅動之微機電裝置將具有下列功效： 1. 微機電裝置之驅動特性可根據不同需求之應用而設 計，例如線性化驅動，數位式驅動，及最佳化驅動，等； 2. 藉由設計電極板之數目多寡可以控制微機電裝置的 操作精確度；及 3. 配合最佳化的控制方式，可使微機電裝置在有限精 確度的電源供應之限制下，取得預期精確度之性能表現。 圖式簡單說明 本發明之上述與其他目的，特性及優點將從下文結合 附圖之本發明實施例的詳細說明中呈更明顯，其中 第1圖係一示意圖，顯示一用於改善調諧範圍之槪念 性靜電致動之可調諧電容器模型； 第2圖係一透視圖，顯示根據本發明實施例一之具有 多塊電極板之可調諧電容器； 第3圖係一圖表，顯示用於根據本發明實施例一之具 有多塊電極板之可調諧電容器的作業空間及控制設計的 曲線； 第4圖係一圖表，顯示用於根據本發明實施例一之具 有多塊電極板之可調諧電容器之利用MGAs的模擬結果； 第5圖係一示意圖，顯示用於諸如步進微反射鏡之本 發明實施例二之來自靜電力之轉矩，其表示不僅電極板 之數目而且電極板之位置將確定最後的輸出轉矩； 第6圖係一圖表，顯示用於根據本發明實施例二之具 有多塊電極板之步進微反射鏡裝置的作業空間及控制設 517042 五、發明說明（6 ) 計的曲線；以及 第7圖係一圖表，顯示用於根據本發明實施例二之具 有多塊電極板之步進微反射鏡裝置之利用MG As的模擬 結果。 較佳嘗施例之詳細說明 (貫施例一^ ) 第1圖係一示意圖，顯示一用於改善調諧範圍之槪念 性靜電致動之可調諧電容器模型。如第1圖中所示，由 彈簧懸吊式電極板E!(即，上方驅動電極板）及固定式電 極板E3(即，底部電極板）所形成之可變電容C可藉E! 與E2電極板間之電壓降所產生之靜電力予以調諧。 參閱第2圖之顯示根據本發明實施例一之具有多塊電 極板之可調諧電容器。藉分割底部電極板上之原始驅動 電極板爲如第2圖中所描繪之多塊電極板，其中E i爲上 方驅動電極板，E2及E3爲底部固定式電極板，則系統 方程式將給定如下式=

Icc =

⑴ (2) 其中k爲彈簧常數，ε〇爲空氣之介電常數，V爲電極板 間之所施加電壓，d爲電極板之初始間隙，Α爲電極板 之重疊面積，以及X爲上方懸吊電極板E!之位移，而 j = 0，l，…，N，爲E2j之數目。 進一步地，若E2上之多塊電極板的面積係均等地分 517042 五、發明說明（7) 割時，則方程式（1)將呈 其中Μ爲可用來施加控制電壓之多塊電極板的總數。藉 變化用於所設計之電容器之多塊電極板的總數，則在電 容與所施加電壓間的作業空間會因而變化。第1表列出 從一單一電極板到多塊電極板之電容器的轉移特性。 517042 五、發明說明（8) 電極板的數目 電糊對所動口《Μ 4 (^§400um*100um ) 0.075 0.07 ^•0-^65 容。.〇« (pfT3 0,05 0.45' η • / •…·ν.〆〆· ° 0 5 10 Τ5 .20 25 30 電壓(V) 80(^g40um*50um) (各區2峨電極板） 0.07 0.065 電 0.06 容 0.055 (Ρ%〇5 0.045 __ CX04 丨 5 10 15 2Ρ 25 30 35 40 電壓(V) I 1 160(各 20um*50um) (各區40塊電極板） 0.07 CL065 電α〇6 容 01055 (P^〇J〇5 0.045 画 1 0.04^ 〇 5 10 15 . 20 25 30 35 40 電壓(V) 320 (各20um*25um) (各區80塊電極板） 0.07 0X565 電 〇1〇€ α〇4ϊ 0.04 0 5 10 t 5 20 25 30 3 5 40 電壓(V) 第 1 表具有多塊電極板之電額的梧性 -10- 517042 五、發明說明（9) 明顯地，從第1表中可觀察到所施加之電壓（V)與電 容（pf)間之關係從單一非線性曲線擴展到一串列之非線 性曲線。依據該等特性，本發明提出了根據上方電極板 E!之大小所均勻分割之多塊矩形電極板的控制設計，藉 線性地變化上方電極板與底部電極板間之間隙可獲得相 對應之施加電壓與多塊電極板之數目。因此，藉適當地 切換所設計之電極板則該電容器將產生所企望之多段式 電容。 此處，吾人可界定所切換之此電極板的地區爲可控制 的作業空間Rc。在此作業空間之內，可根據所企望之應 用來設計及製造電容器的轉移特性。 如上述地，作業空間Rc將確定不同組合之電極板及 所施加電壓之方式。須注意的是，若需要一代表多段位 移之特性曲線以用於特定系統之設計時，則可在作業空 間Rc中發現所施加電壓及多塊矩形電極板組合的可行 方式。藉考慮第1表中所給定之具有1 6 0塊電極板的實 例，第3圖係說明三種控制設計之方式，亦即，線性驅 動，數位驅動，及混合式驅動之控制設計方式。亦即， 第3圖係顯示根據本發明之具有多塊電極板之可調諧電 容器的作業空間及控制設計的曲線。 在從方程式（2)轉移電容位移特性之後，將施加以誤差 函數E最小化爲主之電極選擇演算式而搜尋電極數目之 個別組合，亦即，藉由如下式所示之電極選擇演算式： -11- 517042 五、發明說明（10) ^Elj (d2 -χ)2 (4) 其中M = 4，8，12，··.（即，電極板之數目），第2表顯示 三種不同實例之控制設計方式之多塊電極板之性能的搜 尋結果。 所企望電容 設計電壓 電極數目 所計算電容 誤差 0.05 1 pF 23 V 144 0.05098pF 〇 . 0 3 9 % (線性） 0.06 1 pF 28 V 1 32 0.06025Pf 1 . 2 3 % (線性） 0.065pF 28 V 13 6 0.06421Pf 1 . 2 2 % (數位） 第2表 多塊電極板之性能 進一步地 ，藉考慮諸如VCO之實際應用，其中vco 電容的準確性係可調諧電容器之最重要的項目 。採用以 修正基因演算式（MGAs)爲主之最佳化方式而給定固定之 電容及有限解析度的供應電壓（例如，0.1伏特），則第3 表列出MG As之初始參數及第4圖顯示利用MG As之兩 個收歛的最佳化方式。 -12- 517042 五、發明說明（1!) 染色體位元 16 總體數目 50 產生數目 100 混合GA’s操作員 是 啓發式適用功能 是 外來操作因數 是 自行調整參數 是 交疊率 90% 變化率 3% 第3表 MGAs之初始參數 爲說明所提出之控制設計，將使用微機電系統設計之 商業模擬工具（IntelliSuite™軟體）來確認上述所得之結 果。藉建構所設計之靜電可調諧電容器系統，給定第4 表中所示之材料特性及設計參數以及施加所計算之電壓 而獲得獲得該可調諧電容器之位移的模擬結果，具有此 結果則可計算出兩平行電極板間的電容，第5表係比較 利用IiitelliSuite™軟體之FEM模擬及三個特定實例所產 生之分析結果。 -13- 517042 五、發明說明（12) 材料參數 數値 楊氏模數（Young’s Modulus) 1 6 9 Gp a 波松比（Poisson ratio) 0.42 介電常數（Perrittivity) 8.854 * 1 012F/m 旋臂樑寬度，厚度 2 μηι 旋臂樑長度 3 0 0 μ m 初始間隙（d^dO 1 8.5 μιη ? 2 0 μηι Ae3 300χ300μηι2 第4表模擬參數 所企望 電容 所施加 電壓 所施加電壓 電極 數目 電容FEM模 擬及誤差 (與設計比較） 電容FEM模 擬及誤差 (與原理比較） 0.063pF 29 28.7763 128 C=0.0622 C = 0.0608 誤差=1 .27% 誤差=3.49% 0.05 9ρ 28 28.1955 128 C = 0.0567 C = 0.05 83 誤差=2.3 7 % 誤差=1.19% 0.06 5 pF 30 29.8482 120 C = 0.063 C = 0.062 誤差=3.0 2 % 誤差=4.62% 第5表 所設計與IntelliSiiite™模擬結果間之比較 須注意的是，對於1 60塊電極板之例子而言，準確度 之誤差百分比在5%以下而解析度到達0.002pf。最後， 爲了改善該可調諧電容器之準確度及解析度。進一步地 -14- 517042 五、發明說明（13) ’吾人分割該等電極板爲更小的面積，如第6表中所示 地，當驅動電極板之數目從1塊增加爲320塊時，則所 企望與實際電容間之準確度的變化會從1 %降低至 0.03 6%。 所施加電壓 28v 所企望電容 0 .056pF N 1 80 160 320 V (理想値) 28.2265 28.2265 27.99418 Μ 根據所 60 120 244 電容（pF) 施加電壓 0.05544 0.05544 0.05602 準確度 1% 1% 0.03 6% 第6表 根據本發明之控制設計的性能（驅動電極 板之數目從1增至320) 根據本發明之利用多塊靜電驅動電極板之電容控制設 計已描述於上文中，且初步之結果亦已透過FEM模擬法 予以確認。具有上述方法，可調諧電容器裝置可擁有諸如線 性’數位，或混合式之不同驅動控制特性，而且可以特定之 解析度來準確地控制電容的變化。 (實施例二） 在本發明另一實施例之微反射鏡模型中，吾人擴充多塊靜 電驅動電極板的靜電及彈性原理之推論。第7表列表出微反 射鏡之作業空間，其係從一單塊驅動電極板到多塊電極板所 產生的，其中已觀察到非線性特性。 -15- 517042

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0000 (00·) 0ΟΓ0) ,tnlv-1^gg 〇；£ gz oz CA}lltf 右Ό观 a ¥ s s) ΠΠΜ i -16- 517042 五、發明說明（15) 藉使用此作業空間，微反射鏡之轉移特性可根據所企望之 應用予以設計。如第6圖所示，吾人提出該三種實際地可實 現之控制方式，亦即，線性，數位，及混合式設計於此來當 作描繪之實例，透過用於控制設計之合適的電極板選擇演算 式，可獲得電極板與位置之個別組合。第8表列出用於3x3 電極板實例之所選擇圖案。 角度 設計電壓 (係數） 計算電壓 電壓誤差 (%) 電極板 形狀 0.3度 (線性） 20V 232 19.967 0.165 1;: F 丨 I 1 .5度 (數位） 50V 22 1 50.177 0.353 Π y >·. 0.8度 (混合式） 42.222V 320 42.504 0.663 第8表3x3電極圖案 此外，藉考慮諸如光學切換或光學資料儲存之其中角 度準確性係步進微反射鏡裝置（stepping micromirror device) 的最重要項目，此處，採用以有效之修正基因演算式（MGAs) 爲主之最佳化控制方式而給定固定之角度及有限解析度的供 應電壓（例如，〇.5伏特），則第9表列出MGAs之初始參數 以及第7圖顯示利用MGAs之兩個收歛的最佳化方式。 -17- 517042 五、發明說明（ie) 染色體位元 28 總體數目 20 產生數目 100 混合GA’s操作員 是 啓發式適用功能 是 外來操作因數 是 自行調整參數 是 交疊率 9 0% 變化率 8% 第9表MGAs之初始參數 第10表係比較使用IntelliSuite™之FEM模擬法於該 3個特定例之數値分析結果。明顯地，對於3 x3電極板 之例子而言，準確度之誤差百分比在7%以下解析度到 達0.2度。進一步地，吾人分割該等電極板爲更小的面 積，如第1 1表中所示地，當驅動電極板之數目從1增 加爲7x7時，則所企望與實際角度間之準確度的變化會 從5%降低至0.0006%。 -18- 517042 五、發明說明（17) 所企望 角度 施加電壓 (設計値） 施加電壓 (計算値） (w】，w2, W3) FEM模擬旋轉角 度及誤差百分比 (設計之施加電壓） FEM模擬旋轉角 度及誤差百分比 (計算之施加電壓） 0.9度 (混合式） 6 1.5 61.505 10 1 0=0.926, 誤差=2.92% 0 = 0.926, 誤差=2.9 2 % 1.5度 (數位） 50 50.177 22 1 0=1.589, 誤差=5.9 5 % Θ= 1 .604, 誤差=6.90% 3.0度 (線性） 55 55.234 203 0=2.828, 誤差=5.73% 0=2.904, 誤差=3.19% 第10表 所設計與IntelliSuite™軟體方式之比較表 -19- 517042 五、發明說明（18) 39.4444444444444 00 f i 1，7,3,5,7,6,7 39.4444952443 0.0001% 1.79999 (Ν 6,5,0,6,6,6 39.4438081035 0.0016% 1.80009 ΓΜ 5,5,5,4,4 0.0101% 1.80052 3?1Λ4 39.4640162873 0.0496% 1.79735 (Ν m 2,2,3 39.4035094265 0.1038% 1.80552 (Ν (Ν r—Η 38.8215747557 1.5791% 1.88803 i Γ4 Ϊ—< r—Μ 視情況而定 電極之數目 施加之電壓 所企望之角度 理論電壓 電壓誤差 致動之角度 卜xl>fflaiiii I芻1[0鎰^__錳画乐純~帐煺忘炎私运WSRH粼件職嗥漱一一搬 -20- 517042 五、發明說明（19) 在上述例子中，作業空間會整個地藉增加電極板之數 目而膨脹，且當電極板之位置從原始中心線移開時，上 述方式之範圍的斜率亦會增加。須注意的是，不僅電極 板的數目而且電極板的位置將確定步進微反射鏡裝置的 作業空間範圍Rc，此一現象可從第5圖中予以解說，該 圖不僅顯示出電極板之數目將確定最終之輸出轉矩，而 且顯示出電極板之位置亦將確定最終之輸出轉矩。 如上述地，根據本發明之利用多塊靜電驅動電極板之 步進微反射鏡裝置的控制設計已描述於上文中，且初步 之結果亦已透過FEM模擬法予以確認。具有上述方法， 微反射鏡裝置能產生具有特定解析度之相似於類比式 (analog-like)之行爲供實際之應用來使用。 雖吾人已在上文中詳細地描述本發明之若干較佳實施 例，但該等實施例僅係描繪性而非限制性。應注意的是 ，種種修正及變化可由熟習於本項技術之人士根據上文 中之教示予以完成而不會背離附錄申請專利範圍中所界 定之本發明的精神及範疇。 符號之說明 C 可變電容 Ει 懸吊式電極板（上方電極板） E2，E3，Ex，Ey，Ez 固定式電極板（底部電極板） Rc 作業空間 k 彈簧常數 ε〇 空氣之介電常數

-21- 517042 五、發明說明（20) V 電 極 板 間 所 施 加 的電壓 d 電 極 板 之 初 始 間 隙 A 電 極 板 之 重 疊 面 積 X 位 移 Μ 電 極 板 之 數 § -22-

Claims (1)

1. 517042 六、申請專利範圍 1 · 一種多塊靜電驅動電極板之控制系統，包含： 一可移動板，藉一靜電力予以致動，用於產生旋轉及 平移動作； 多塊靜電驅動電極板，用於藉施加驅動電壓產生該靜 電力； 一切換矩陣電路，具有電性切換組件，用於切換該多 塊靜電驅動電極板；以及

   一控制器，用於確定靜電驅動微機電裝置之操作特性 及透過切換矩陣電路選擇電極圖案。 2 ·如申請專利範圍第1項之控制系統，其中該可移動板係 一微機械懸吊元件。 3 ·如申請專利範圍第1項之控制系統，其中該多塊靜電驅 動電極板係微機械固定板。 4.如申請專利範圍第1項之控制系統，其中該多塊靜電驅 動電極板具有矩形，圓形及多邊形之形狀，以及具有相 等或不同的面積。

   5 ·如申請專利範圍第1項之控制系統，其中該切換矩陣電 路之該電性切換組件包含繼電器，類比式開關，及電晶 體陣列。 6·如申請專利範圍第！項之控制系統，其中該控制器具有 一處理單元，伴隨相關連之週邊電路。 7·如申請專利範圍第6項之控制系統，其中該處理單元係 一微處理器，以及該相關連之週邊電路係一記憶體單元。 8 .如申請專利範圍第i項之控制系統，其中該等操作特性 •23- 517042 六、申請專利範圍 係曰亥试機電裝置之轉移特性，該轉移特性包含物理量及 施加之電壓。 9.如申請專利範圍第8項之控制系統，其中該物理量係該 微機電裝置之輸出參數，以及該施加之電壓係直流（DC) 電壓。 1 〇·如申請專利範圍第1項之控制系統，其中該等電極圖案 係由選擇自多塊靜電驅動電極板之電極板所形成，以便 建構一產生該靜電力之區域。 -24-