402687 A7 B7__ 五、發明說明（/ ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明涉及一種與頻率相關（相依）之振幅衰減探測 方法，其係有關一種藉由超音波振幅衰減來探測材料與結· 構物中之缺陷或損傷的非破壞性檢測方法。 以超音波技術（Ultrasonic technique)對材料與結構物 中的缺陷及損傷（damage)如裂紋（crack)，.孔洞（void)，以 及混凝土於施工不良之情況下所產生的honeycomb，進行 探測。目前在學術界及工業界應用較廣泛的非破壞性檢測 (Nondestructive Evaluation & Testing)方法，是以所量測得 的超音波穿越材料的時間延遲（time delay，△ t)，加以計 算出超音波於材料中的波速，再由波速估算材料的損傷狀 態。然而，由實驗結果已得知，超音波的波速對材料的損 傷狀態並不敏感。對混凝土而言，已有許多實驗結果與學 術性文章發表（Weng and Liu, 1999，Wu and Lin，1998， Selleck et al.，1998，Suraris and Fernando，1987)。Wu and Lin的實驗（1998)更是指出，當混凝土試樣在循環加載 (repeated loading)的壓力試驗中，直到壓應力達90%的破 壞強度前超音波波速並沒太明顯的改變。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另一可能的非破壞性檢測技術是量測超音波在穿越材 料時的能量耗散（表現在超音波的振幅衰減），來判斷材 料的損傷狀態。對於相同的材料而言’超音波在穿越有損 傷的材料時，其能量（振幅）會因其損傷（如裂縫，孔洞 )對能量所造成的散射（Scattering)使得超音波的振幅減小 。由於振幅對損傷的高度敏感性（high sensitivity)，許多研 究的目標皆是以如何有效地利用振幅所提供的數據加以作 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 402687 五、發明說明（2) 為材料損傷的研判。 然而，由於超音波振幅的強弱並不若P-wave波速屬--於材料性質（material property)，是故有許多的因素都將影 響到絕對振幅的大小（absolute amplitude magnitude)，如實 驗系統設置（system setting)，探傷探頭（transducer)所使用 之壓電材料（piezo-electrical material)探頭（transducer)的頻 譜反應（frequency spectrum response)以及對接觸型（contact-type)探頭 所施加 的壓力 （applied contact force)與接觸情況 (contact condition)。對上列參數而言，除接觸狀況外，其 它因素皆可有效地控制。然而，受測材料的表面接觸狀況 將被許多因素影響，如幾何形狀（geometric shape)，表面 光滑度（roughness)平整度（evenness)，耦合劑（couplant)的 選擇，以及超音波脈衝（pulse)與接觸面所形成的角度。上 列因素均會顯著地影響接觸面對超音波能量（振幅）的傳 遞係數（transmission coefficient)。由於上列因素並無法測 得並控制，因此我們並無法得知輸入（input)與輸出 (output)授測材料（tested material)的能量（振幅）“真值” (actual magnitude)。因此，對使用振幅的衰減（attenuation) 作為對料材損傷的評估的方法有了很大的限制與爭議。 為了克服上述的因難，Selleck et al. (1998)提出了將 受測材料（如混凝土）放置於水中受測的方法。此方法將 接觸面所產的影響移除，並以水作為耗和劑（couplant)， 固定其能量傳遞係數。控制其輸入能量的一致，並加以比 較其輸出能量（振幅），以判定損傷程度。Selleck et al. 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I — 7-^---j-------/w--------訂---1-----線 — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明說明（彡） 證明了振幅衰減對材料（如混凝土）的損傷敏感度遠超過 受波速的敏感度。 然而在實用的工程應用上，將受測材料置於水箱中受、 測並不實際，此法亦不符合經濟效益。另一在實驗發展中 的方法為雷射超音波（laser ultrasound)非破壞檢測技術， 此法藉由雷射的高能量，免除了接觸的問題（使用非接觸 型探頭（non-contact type transducers))，但是由於雷射的 高能量所產生的雜訊（noise)太大。使得此法目前仍於研究 階段中，並不具實用價值。 本發明提出一種與頻率相關（相依）之振幅衰減探測 方 法 (Frequency-dependent Amplitude attenuation Characteristics Technique，FACT)，是利用寬頻的超音波 探頭加以正規化（normalize)振幅之探測方法，以克服接觸 型探頭由於接觸狀況而產生對振幅之影響。本發明之方法 (FACT)亦可消除由不同系統設置（system setting)對振幅（ 能量）輸入/輸出的影響。換言之，吾人可用本發明之方 法對材料同一點進行測試，採用三種不同的系統設置’得 到三組不同的振幅。經過FACT後，吾人可以得到幾乎相 同對頻率序列（frequency sequence)的振幅衰減曲線’由此 可見 FACT是一種可以重覆（repeatability)及靠 (reliability)之方法。 對於損傷的試驗部份，吾人準備了兩組不同之混凝土 材料。一組為正常之試樣，另一組為損傷試樣，為模擬材 料中之損傷（如孔洞），吾人在混凝土調製時加入了 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .W-------—訂---1111 !線. 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（>) (體積）的保麗龍（Styrofoam)顆粒，其直徑約為4 mm。對 於此二組試樣，其波速差異約為1%，但FACT可顯示出--約20%以上的差異。由此可知本發明“與頻率相關（相 依）之振幅衰減探測方法”（FACT)為有效檢測材料損傷 之方法。 本發明“與頻率相關（相依）之振幅衰減探測方法，， (Frequency-dependent Amplitude attenuation Characteristics Technique)將可適用於（1)結構物中，混凝土之損傷檢測（2) 材料加工製成過程中之損傷探測（flaw detection)(3)半導體 晶片加工後之損傷探測（4)生物醫學中骨骼疏鬆之探測。 為使貴審查委員進一步瞭解前述目的及本發明之結 構特徵，茲附以圖式詳細說明如后： (一）圖式部分： 第一圖：係本發明之進行探頭頻譜與振幅校正的流程配置 示意圖。 第二圖：係本發明之在實驗中進行振幅衰減探測的流程配 置示意圖。 第三圖：係以不同的系統設置及三種不同的接觸狀況來檢 驗本發明之方法所得之結果示意圖。 第四圖：係本發明對3 / 8 ”非均勻介質尺寸（grain size)( 或骨材尺寸（aggregate size))正常與損傷試樣進行 測試所得之振幅衰減函數比較圖。 第五圖：係本發明對3 / 4 ” 非均勻介質尺寸（grain size)(或骨材尺寸（aggregate size))正常與損傷試 6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 厂|'--|卜|_^------/V--------訂..---T----線- * (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
402687 五、發明說明（<) 樣進行測試所得之撮幅衰減函數比較圏。 第六圖··係本發明對2，，非均 C請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) j 7丨頁尺寸（gram Slze)(或骨 材尺寸（aggregate size))正常與損傷試樣進行測試 所得之振幅衰減函數比較圖。 第七圖··係第二組試樣的P波波速測試結果比較圖。 第八圖：係、本發明對不同程度損傷試樣進行測試所得之振 幅衰減函數比較圖β x 表一：第一組試樣的基本資料表。 表二：第二組試樣的基本資料表。 表二：配合第三圖之三種檢驗系統設置資料表。 表四：以P波波速在正常與損傷試樣進行測試所得之結果 第一圖及第二圖顯示了在探頭直接頻譜與振幅校正與 超音波實驗量測過程的流程示意圖。 、 在第一圖中，其中： Υι(β〇=信號產生器的輸出振幅， Κρ=功率放大器的擴大因數， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 T(c〇=探頭函數， Y〇〇) =接收探頭的輸出振幅， Κα=前置放大器的擴大因數，
Ks =訊號調整器的放大因數，及 Yr(ct) =該訊號調整器所量測的振幅。 在第二圖中，其中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 五、發明說明（6) yi(c〇=信號產生器的輸出振幅， kP=功率放大器的擴大因數， c t =在傳遞側的接觸狀態係數， Cr=在接收側的接觸狀態係數， 〆(句=實際輸入該試樣中的振幅， %加)=實際由該試樣輸出的振幅， ka =前置放大器的擴大因數， k s =訊號調整器的放大因數，及 該訊號調整器所量測的振幅。 ’在任 經由上述的重新界定，我們可以得到： 該什算探頭直接超音波訊號振幅，(故 何參數设定下能夠被表示為：（如第一圖） yR(ar) = KsKATr(vj)T, {m)KpY, (m) ⑴ 在實驗測試中該實際輸入超音波訊號振幅， 在任何參數設定下能夠被表示為：（如第二圖） (2) yR(幻，依據實驗測試所 yf(^) = kpyI(m)T,(m)Cl 且該量測超音波訊號振幅 設定的參數能夠被表示為： y^) = KKCrTr{m)yR〇{m) ⑶
其中 Υ,Ο)，y ,〇)，Kp，k p，Ks，欠 及ka均是任意的常數且可被良好的控制。 K 該測式材料的衰減方程被定義為. (4) 402687五、發明說明（7 B7 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中夂(cr)=實際輸入該試樣中的振幅，％扭)=實際 由該試樣輸出的振幅。 由於Ct與Cr並不可得知，為了消除其中未知的係 數c t與c r，並找出A(CT)與Yr(q7)間的關係以下的公 式被假設： __^意系統設置下）實際量測超音波訊號振幅 (任意系統設置下）量測探頭直接標準校正振幅 = kskaCrTA^)yRn(m) yr (^) KsKaTr (m)TT (m)KpYT (m) ⑸ 且我們瞭解： y〇(m) = kpy^m)Tt{m)CiA(m) 其中Κι是一任意常數 因此，等式（5)可被重寫成： = hhSzijS^pyi iP)T, (m)CtA(m) _，..广"/〜八 ,州。（ ^ r ^KJAa；)Tt^KpKlMm、~ KsKaTr(m)Tt(i^IJ^ 一 s aLTkpCt Ά一、~^XIXA^--C^ = c^- y i (^) 、 ⑻ 在等式（8)中的c是一依據系統係數設定的任意常數 〇 對依頻率序列衰減技術執行正規化方法，我們對一被 選擇的頻率正規化等式⑻，因而， (6) ⑺ kskaCrTf(m)kpyi(m)Tt (CT)c( A(m (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· ---------線_
χ 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 40268? A7 _B7_ 五、發明說明（？） y〇(^) ^yR{^) ]ζ(σ\^ - cyr^ ⑼ 伽 *) y〇(m*) 1少 R〇*) YR(07)yR(m*) yf{m*) CYR{tu*) 其中k (ex)是以本發明之與頻率相關（相依）之振幅 衰減探測方法獲得關於相對振幅衰減的函數。該未知的常 數C在此過程中被消除。我們通常取最小的衰減頻率為 故*使得k(C7)的最大值等於1。 為了檢查本方法FACT的有效性，我們設計了兩組實 驗，以現有的超音波技術（波速量測法）及FACT作比較 〇 第一組 試樣（Batch A) 所有的混凝土試樣均遵照ASTM C31調製。所有水泥 的水灰比（water/cement ratio)為 57%。砂灰比（sand/cement ratio)為 2.36 : 1。 吾人將第一組試樣的混凝土分為二小組，N組及C 組，N組為正常的混凝土試樣（normal)，但每一個試體的 級配（aggregate)尺寸不同（size)。其變化為（0”，3/8”， 1/2”，3/4”及1 “）。故吾人共有5個試樣於N組中，編號 N0 〜N4。 C組試樣為控制對照組（comparison group)。其中亦含 有5個試樣，編號C0〜C4。C0為對照N0的試樣 (aggregate size 0”），但吾人對C0試樣加入佔試體積體4 %的保麗龍顆粒（Styrofoam particles)其尺寸約為3〜4 mm 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） —-'*----7-------ίΛ --------訂----------線· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明說明（^ ) ，依此類推，C1為N1的對照組（3/8，，），C2為N2的對照 組……等。 第二組試樣（Batch B) 本組試樣中共含有5個試體，編號DO〜D4。本組試 樣均為水泥砂漿試樣不含粒石級配（no aggregate)。其水灰 比為57%，砂灰比為2.36 : 1。吾人在DO至D4的試樣 中，逐量的增加保麗顆粒的含量。其中DO含0%，D1為 4%，D2 為 8%，D3 為 12%，D4 為 15%。
Batch A及Batch B的詳細描述如表一及表二。
Batch A及Batch B的實驗目的如下： (一） 在Batch A中，吾人希望顯示出由波速法及 FACT對材料在損傷（damage)狀態下的敏感性。Batch A含 有混凝土試樣有著不同的級配尺寸以及其對應的損傷試樣 〇 (二） 在Batch B中，吾人希望顯示出由波速法及 FACT對料材在不同程度的損傷下的敏感性。Batch B含 有水泥砂漿試樣含有不同程度的損傷。 以往的超音波無損探測（Ultrasonic Nondestructive Testing)只著重於超音波於材料中P波波速的測量，而捨 棄超音波振幅的測量。這是因為P波波速屬於材料性質 ，並不會隨著量測時的系統設置（system setting)及接觸表 面的狀況而改變，但對振幅（amplitude)而言，振幅會被系 統設置及表面接觸狀況，及探頭（transducers)的特性所顯 著的影響（affected significantly)。是故絕大多數的超音波 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 402687 五、發明說明（/ϋ) 探傷術都只量測P-wave的波速。然而，由於p_wave波速 的變化對損傷並不敏感（sensitive)，而振幅變化對損傷非 常敏感。所以至今使用超音波探傷術的研究及工程人員仍 面對此一兩難（dilemma):也就是量測技術（technique)的可 靠性（reliability)及可重複性（repeatability)。換言之，p_ wave wave velocity在量測上是可重複的，但對探傷而言 並不可靠也不敏感（sensitivity)。振幅的衰減（attenuati〇… 對損傷非常敏感但因其受諸多參數及系統設置影響，是故 並不可靠亦不可重複（repeatable)。是故，我們在此提出 FACT，與頻率相關（相依）之振幅衰減探測方法，以解 決上述問題（*上述題問已存在接觸型探頭超音波無損探 傷界20〜30年）。 實驗結果比較： (一） 在Batch A中，我們發現 (1) 超音波P-wave波速在材料中，對損傷及無損傷試 樣的變化極小，N0與C0之變化為3% (水泥砂漿試樣不 含任何骨材級配）。N1與Cl，N2與C2，·.·.,·至N4與 C4，其P-wave變化皆為1 %，如表四。 (2) 以FACT對材料作探傷，吾人發現FACT的特徵 曲線（characteristic curve)對損傷與無損傷的材料有極大的 差距。其變化為激發頻率的函數，其變為為3〇〜6〇%不 等（*可清楚的分辨出損傷及無損傷曲線），如第四圖及 第五圖及第六圖。 (二） 在BatchB中，我們發現 12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2ί^Γ297公爱） '^ ^-------/，^--------訂----------線豫 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 40^687 A7 __ - B7 五、發明說明（） (1) 超音波波速的變化對DO至D4而言為3%至i 〇 %之間，亦即以DO為100%，D1〜97%，D2〜94%，D3 〜91%，D4〜89%，如第七圖。 (2) 對振幅衰減而言’以FACT可得不同之頻率相關 (相依）之衰減曲線。吾人亦可清楚的分辨出其變化。亦 即損傷越多，其衰減特徵曲線越在下方（衰減越快），其 差別亦遠遠超出由P-Wave速度所量測所得之變化，如第 八圖。 FACT 之可重複性（repeatability)可靠性（reliability). 為了檢驗本法FACT的可重複性及可靠性，吾人設計 了一組實驗：以三種不同的系統設置（叮3訟111 setting)及三
種不同的接觸狀況（surface contact situation)來檢驗FACT 。其三種不同設置可將輸出能量（振幅）之差距放大至 10倍以上。換言之，對同一量測點而言，吾人將紀錄到 有10倍以上差距之振幅（或振幅衰減）。 然而，經過本發明與頻率相關（相依）之振幅衰減探 測方法（FACT )後，吾人得到了三條幾乎相同之曲線， 其最大之誤差對此三條曲線而言僅2%，由此可知， FACT 為一有效（effective)可靠（reliable)，可重複 (repeatable)之超音波無損探傷技術。 系統設置與結果如表三與第三圖。 13 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1·!---.1-------/1^--------訂---：------線· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)