經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 五、發明説明（） 主要元件符號說 明： 2 流體釋放用強制致動閥 4 閥體 6 流入口 8 流出口 10,16 通道 12,18,40,50 閥室 14 波紋管 19 閥封 20 通道 22 閥蕊 24 閥桿 26 致動器活 塞 28 致動器閥 罩 30 開口 32,36,38 頂面 34 壓縮彈簧 42,52 0形環 44 内壁 46 端 47 端帽 48 相對端 54 螺旋銷 56 下内壁 1 1A- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 請 先 閲 讀 背 面 之 注Printed by the Employees' Cooperative of the Intellectual Property Bureau of the Ministry of Economy Chamber 14 Bellows 19 Valve seal 20 Channel 22 Valve core 24 Valve stem 26 Actuator piston 28 Actuator valve cover 30 Opening 32, 36, 38 Top surface 34 Compression spring 42, 52 0-ring 44 Inner wall 46 end 47 end Cap 48 Opposite end 54 Screw pin 56 Lower inner wall 1 1A- This paper size applies to China National Standard (CNS) A4 (210 X 297 mm) Please read the note on the back first
I 奢 A7 B7 經濟部中央橾準局負工消费合作社印製 五、發明説明 ( 1 ) 1 1 ( 發 明 範 « ) 1 1 本 發 明 偽 有 醑 於 — 種 應 用 於 加 懕 流 Η % 統 如 氣 艚 釋 放 1 1 % 統之 體 釋 放 用 強 制 致 動 閥 » 特 別 係 有 闞 於 種 使 請 1 先 1 m 波 紋 管 裝 置 俾 可 Μ 不 受 釋 放 流 體 壓 力 影 響 且 實 質 上 可 閲 1 I 獨 立 操 作 之 閥 門 〇 背 1 I 之 1 ( 發 明 背 景 ) 注 意 1 I 在 半 導 髓 製 造 業 及 其 他 產 業 的 操 作 中 9 m 氣 箱 通 常 被 事 項 再 1 ! 用 來 釋 放 高 纯 化 處 理 的 氣 鱷 至 一 使 用 點 的 位 置 > 此 — 位 f 本 裝 置 —- 般 亦 稱 之 為 設 備 位 置 Ο 此 種 m 氣 箱 包 括 高 m 化 處 頁 1 I 理 氣 艟 供 應 圓 筒 Μ 及 釋 放 氣 β 至 設 備 位 置 的 氣 髓 控 制 板 1 1 〇 為 了 從 事 高 純 化 氣 髑 的 搡 作 Ρ 纆 處 理 釋 放 至 設 備 位 置 1 1 的 氣 «8 必 須 低 污 染 否 則 即 使 百 萬 分 之 幾 的 不 纯 將 畲 1 訂 對 半 導 « Μ 及 其 他 高 純 化 產 品 的 功 能 產 生 負 面 影 響 〇 除 1 此 還 必 須 確 保 氣 級 控 制 板 搡 作 上 安 全 且 不 致 於 氣 漏 危 1 I 害 到 糖 氣 箱 播 作 貝 健 康 與 安 全 〇 氣 艚 控 制 板 必 須 在 維 持 1 氣 嫌 肫 度 輿 安 全 的 同 時 對 氣 想 施 以 一 定 之 m 力 並 釋 放 1 1 之 0 控 制 板 復 必 須 提 供 淨 化 功 能 俾 髄 氣 圃 苘 變 換 安 全 « | 9 且 不 致 於 有 污 染 之 虞 為 了 達 到 此 一 百 的 典 型 控 制 1 1 板 包 括 有 特 殊 ΙΗ 門 零 件 連 接 管 輿 m 接 硬 饅 其 中 < 1 1 高 纯 化 危 險 氣 體 的 觭 存 園 爾 與 氣 驩 控 制 板 的 入 □ 銜 接 » 1 I 而 出 □ 刖 η 由 — 遺 當 的 管 鑲 街 接 至 一 逢 程 反 應 器 0 1 1 習 知 技 術 有 很 不 同 類 型 的 閥 門 它 們 以 不 间 的 懕 力 釋 1 1 放 氣 Η 0 波 玟 管 型 Μ 門 使 用 在 純 度 及 / 或 安 全 特 別 重 1 I 要 的 埸 合 罾 如 遲 用 高 η 度 以 及 / 或 危 除 ( 腐 鈾 性 易 1 1 1 -3 - 1 1 1 本紙張尺度逋用中國國家榣準（CNS ) A4规格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印装 五、發明説明 ( 2 ) 1 1 焚 Λ 毒 性 等 ) 氣 Μ 的 半 導 II Η 及 其 他 高 科 技 產 業 〇 習 知 1 1 技 術 有 些 例 子 見 於 美 鼷 專 利 Nc .4 ,526 ,341 、 4. 634 , 099 1 1 Λ 4 . 687， 0 1 7 、4 ,712 ,576 > 4, 763 , 690和 4 .995 .58S 0 /•—V 請 1 先 1 習 知 技 術 其 閥 門 随 壓 力 調 整 的 密 封 力 ft 會 m 短 閥 封 的 閲 讀 1 壽 命 且 在 超 颸 之 下 不 安 全 〇 壓 力 彌 簧 用 來 頂 住 闢 封 並 將 背 面 1 I 之 J 賊 門 維 持 在 封 閉 位 置 ό —· 旦 施 >λ 流 進 的 m 力 » 此 一 流 進 注 意 1 | 的 壓 力 便 作 用 在 閬 封 匾 域 且 產 生 一 種 反 作 用 力 • 有 些 彌 事 項 再 1 簧 的 力 1 即 被 消 除 掉 0 閥 封 力 量 反 過 來 對 應 於 流 進 的 壓 填 寫 本 裝 力 0 造 意 諝 » 流 進 的 m 力 愈 大 « 將 閥 門 頂 持 在 封 閉 位 置 頁 I 的 力 量 躭 愈 小 Ο « 封 本 本 身 必 須 足 夠 敏 m 俾 在 高 壓 與 1 1 低 傾 向 力 量 時 提 供 積 極 的 密 封 效 果 且 必 須 夠 射 用 Μ 抗 1 1 拒 低 壓 力 高 頂 持 力 量 所 造 成 可 観 的 搞 m 力 量 0 假 如 液 進 1 訂 的 壓 力 不 小 心 埔 到 超 通 最 大 比 例 閥 門 便 可 能 掉 到 啟 開 1 位 置 造 成 不 安 全 0 美 鼷 專 利 4, 76 3 , 690 所 載 即 為 一 密 1 I 封 力 董 直 接 與 進 來 壓 力 成 正 比 超 m 之 下 會 失 去 封 閉 功 1 能 的 閥 鬥 〇 1 1 由 於 氣 動 致 動 器 的 大 小 問 Μ 習 知 技 術 的 高 壓 闊 門 — ·、，钃、 | 般 不 可 能 組 成 單 一 姐 件 〇 一 種 比 例 U 係 存 在 於 致 動 器 大 1 1 小 及 其 閩 門 壓 力 等 级 上 0 V 試 將 兩 傾 以 上 Μ 門 特 別 是 高 1 1 懕 Ν 門 姐 成 單 一 姐 件 極 有 可 能 減 少 潛 在 的 纯 度 安 全 度 1 I 與 棋 化 程 度 9 同 時 增 加 相 U 成 本 % 簠 量 製 造 與 安 裝 問 1 1 » 〇 因 此 ， 最 好 是 將 僱 別 閥 門 焊 接 在 一 起 0 而 不 是 將 它 1 | 他 們 組 成 單 一 組 件 • 〇 1 | 本 發 明 之 巨 的 黯 在 提 供 -4 種 不 受 流 體 流 龙壓力影響， 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 ( 3 ) 1 i 可 獨 立 有 效 理 作 之 流 流 體 釋 放 用 強 制 致 動 閥 〇 1 1 本 發 明 之 另 一 巨 的 皆 在 提 供 —* 種 設 有 波 玟 管 装 置 Κ 有 1 1 效 消 除 流 體 壓 力 俾 閥 門 糴 動 裝 置 不 受 流 體 流 進 壓 力 影 響 請 i I 可 獨 立 蓮 作 之 流 髏 釋 放 用 強 制 致 動 閥 〇 先 閲 讀 1 1 本 發 明 之 另 — 巨 的 Μ 在 提 供 —· 種 棰 m 用 於 霣 子 產 業 中 背 面 1 1 之 J 韆 放 高 純 度 氣 體 之 氣 體 釋 放 氣 動 閥 門 〇 注 意 1 [ 本 發 明 之 復 另 一 百 的 Μ 在 提 供 — 種 生 產 成 本 效 益 高 的 事 項 再 1 1 流 艚 釋 放 用 強 制 致 動 閥 〇 填 窝 本 裝 從 Μ 上 巨 的 本 發 明 將 詳 述 如 後 其 新 m 特 黏 將 特 別 頁 1 1 戢 於 誚 求 * 利 部 份 中 〇 1 1 本 發 明 係 有 Μ 於 — 種 流 «Β 釋 放 用 強 制 致 動 閥 包 括 至 1 1 少 —. 流 入 P 9 該 流 入 Ρ 與 - 内 有 波 纹 管 装 置 之 第 —. 閥 室 1 訂 相 通 » 至 少 -* 流 出 Ρ 該 流 出 □ 與 — 第 二 閥 室 相 通 — 1 職 接 該 第 —- 閥 室 至 第 二 閥 室 之 通 道 一 胆 寒 該 通 道 Μ 免 1 1 液 溢 流 在 兩 閥 室 之 間 之 可 動 装 置 該 可 動 裝 置 具 有 一 1 I 餳 向 力 it 將 其 維 持 在 第 — 位 置 Μ 阻 塞 該 通 道 當 相 對 於 1 1 僑 向 力 量 施 更 大 力 量 時 t 該 可 動 装 置 即 移 動 至 第 二 位 冰 I 置 Μ m 啟 該 通 道 該 波 紋 管 與 該 可 動 裝 置 m 接 $ 當 一 受 1 1 1 壓 液 K 流 入 第 一 閥 室 直 接 對 可 動 装 置 豳 W 力 1 令 其 移 1 1 m 至 第 二 位 置 時 9 該 受 m 流 « 會 使 波 故 管 装 置 收 嫌 » Μ 1 I 致 於 該 波 玟 管 裝 置 對 該 可 動 裝 置 雎 加 — 力 量 Μ 維 持 該 1 1 可 動 装 置 於 第 — 位 置 9 俾 受 壓 流 體 m 於 可 動 装 實 令 其 移 1 1 動 至 第 二 位 置 之 力 量 » 可 K Η 波 紋 管 裝 置 豳 於 可 動 裝 童 1 | 將 其 維 持 在 第 一 位 置 的 力 ft 1 有 » 消 除 > 當 嫌 於 可 動 裝 1 1 1 -5 - 1 1 1 本紙張尺度逋用中國BI家梯準（CNS ) A4規格（2丨OX297公釐） A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印装 五、發明説明（4 ) 1 置 上 的 力 量 大 於 m 向 力 董 時 * 可 動 裝 置 即 移 動 至 第 二 位 1 1 置以開放通道 9 且 令 流 嫌 可 Μ 不 受 受 壓 流 XI 的 影 響 9 在 1 兩 閥 室 之 間 流 動 〇 S 請 1 先 1 本 發 明 之 較 佳 寅 m 例 其 流 入 Ρ 之 位 置 令 流 進 且 流 至 閲 讀 1 1 第 一 閥 室 之 流 體 ， 導 引 至 波 纹 管 装 置 之 上 蝙 或 上 部 Ρ 而 背 ιέ 1 I 之 1 一 滾 出 Ρ 之 位 置 則 令 來 白 第 一 閬 室 的 流 體 在 波 玟 管 底 部 注 意 1 ί 釋 出 〇 如 此 將 使 流 體 在 波 纹 管 周 圃 流 動 Μ 防 流 滯 流 事 項 再 於 第 — 閬 室 並 確 保 被 釋 出 流 « 的 m 度 〇 填 寫 本 裝 m 然 流 體 可 Μ 是 氣 艚 或 液 H » ft 佳 的 流 卻 是 氣 體 〇 頁 1 I 鼷 動 闊 門 的 力 量 可 以 是 固 « 液 « 或 氣 Η m 加 在 闕 驅 1 1 動 装 置 上 的 任 — 力 量 〇 閥 門 可 以 與 其 他 類 似 之 Ν 門 併 成 1 1 —» 排閥門組Μ控制諸如氣嫌之淀髓在雔存榷 Λ 圓 筒 或 工 1 訂 作 地 點 之 間 流 動 〇 本 發 明 氣 艚 釋 放 用 氣 «Β 致 動 閾 的 優 黏 1 如 下 1 I a>提高纯度 • • 減 少 潮 溉 表 面 * 減 少 濟 洗 面 積 參 減 少 截 留 1 範 1 9 減 少 對 大 氣 的 密 封 (氣饅污染源）； 1 1 b)提高安全度 • 減 少 來 白 大 氣 密 封 櫬 械 達 接 焊 接 接 | 頭 等 因 素 所 造 成 的 洩 漏 可 能 性 Ο 1 1 C ) 極 小 的 滾 出 / 減 弱 體 積 以 及 1 1 d )成本效益 : 降 低 庫 存 必 要 性 » 降 低 裝 配 / 製 造 勞 力 1 I 及 油 化 系 统 設 計 與 £ 務 0 1 1 本 發 明 復 有 闞 於 一 種 提 供 流 鱺 η 放 系 統 之 方 法 » 其 中 1 1 進 入 流 入 口 與 釋 出 流 出 □ 的 受 壓 流 « 可 Μ _ — 不 受 流 «1 1 1 壓 力 彩 響 的 力 董 調 節 該 方 法 包 括 以 下 步 8K ： 1 1 1 _ 6 - 1 1 1 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS > A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印装 五、發明説明（5 ) 1 a>提供 一 密 閉 第 一 閥 室 Μ 容 納 流 進 的 流 Μ * 提 供 一 密 閉 1 1 第 二 閥 室 以 容 納 第 —— 閥 室 釋 出 的 流 體 » 復 提 供 一 介 於 1 1 該 第 一 閥 室 與 第 二 閥 室 之 通 道 9 請 1 先 1 b)提供可励閥封装置MU閉或鼷敢該通道並提供 一 傾 壓 閲 讀 1 装 置 Μ 維 持 該 可 動 閥 封 於 封 閉 位 置 f 背 ir 1 I 之 J C)於該第 一 閬 室 中 提 供 波 纹 管 銜 接 於 可 動 閥 封 上 » 俾 流 注 意 1 [ 進 的 流 應 直 接 施 力 於 波 紋 管 上 擊 令 可 動 閥 封 維 持 在 封 事 項 再 1 I 閉 位 置 » 同 時 * 流 進 的 潦 U 復 直 接 m 力 於 可 動 閥 封 上 填 窝 本 裝 開 放 該 通 道 並 選 揮 該 波 紋 管 > 俾 波 紋 管 施 於 可 動 閥 頁 1 I 封 的 力 量 等 於 或 大 於 藉 進 來 的 流 艚 直 接 豳 於 可 動 Μ 封 1 1 上 的 力 ft * 1 1 d)供應 — 流 進 的 受 壓 流 艚 至 第 —» 閥 室 以 及 —· m 別 施 於 可 1 订 動 閥 封 令 其 移 至 第 二 位 置 的 力 量 9 俾 該 流 進 的 受 壓 流 1 髖 從 第 一 閥 室 釋 流 至 第 二 閨 室 t 而 該 流 « 則 薄 一 施 於 1 I 可 動 封 的 儺 別 力 ft » 在不受流進受壓流體的影響之 1 1 下 f 持 鑛 流 動 或 停 止 〇 1 1 流 體 所 產 生 壓 力 的 有 效 消 除 令 諸 如 m 簧 等 傾 壓 装 置 對 I 移 動 器 僅 能 產 生 積 極 的 密 封 t 埴 將 造 成 偏 懕 装 置 在 級 積 1 I 上 可 觀 地 嫌 小 0 因 此 克 腋 m «Ε 裝 置 所 霱 的 致 動 力 量 能 1 1 夠 大 幅 減 少 〇 在 N 門 之 間 設 通 孔 或 通 道 即 可 將 數 個 閥 1 I 門 並 排 裝 組 0 每 一 個 閥 Ρ! 的 流 入 室 或 流 出 室 均 可 » 由 通 1 1 孔 與 一 共 用 的 通 道 相 通 f 俾 一 閥 門 的 一 m 通 孔 可 Μ 與 不 1 1 間 閥 P5 的 另 一 m ifi 孔 接 通 〇 如 此 ， 即 可 完 成 檯 多 不 间 的 1 I m 接 置 〇 1 1 1 -7 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家橾车（CNS ) A4規格（21〇Χ25>7公釐） 經濟部中央標準局貝工消费合作杜印袋 A7 B7 五、發明説明（6 ) 式之ffi翬說明 第1傾係本發明《«韉放用強制致動閬横切面剖視· 之一俩視; 第2画係第1 所示本發明流*釋放用強制致動閨於 封閉位置時横切面剖視鼷之一儼視·; 第3 _係第1 _所示，本發明流饑霉放用強制致動》 於開放位置時横剖面_之一侧視·。 發雎Μ撤明 如第1 所示，流艚釋放用強制致動閥2包括設有流 入口 6與流出口 8之閥《4 。流入口 6 »通道1〇輿設有 波纹管14之《室12連通，流出口 8薄通道16與W室18_ 接，通埴2 0位於W室1 2下纗輿闢室18建繾。Μ室U内之 閥芯22設有《封19,位於通道20上Μ阻塞通道20·侔防 止流《在被迫流«通道20闢口處畤潦入Μ室18，或在髑 封19從通道20開口處被隔開時·可令流體流動。閥芯22 固定於一閥桿24上，而«稈24則固定於一設在致動器W »28内之致動器活塞26上。致動器W罩28内之闋口 30允 許來自氣》、固《或液《裝置的外力與致動器活塞2β的 頂面32接觸，並令其輸向向下埋動，迫使鬬芯22將W封 19從閥室12的通埴20移開。為使Μ封19於*道20上維持 封閉位置，在活塞26頂面36與閥髓表面38之間投有壓鎺 彌簧34。壓鏞彌簧34最好邐揮一種對活塞26可垂直施以 頂设力量，俥Μ封19於種定狀戆可被迫封朗蠼道20者。 當諸如氣體之流艚力Μ被用來驅動活塞26畤，藉由設於 -8 - 本纸張尺度適Λ中·_家標率（CNS ) A4洗格（210X297公釐） .1^1 ^^1 m m (請先閲讀背面之注意事項再填寫本莧) 訂 經濟部中央樣準局負工消费合作社印製 A7 _ B7______ 五、發明説明（7 ) 活塞26內與致動器W罩28内壁接觸之一龜當的〇形》42 .氣體即可被保持在閥室40内。如第1 _所示，一嫌旋 銷54係用來防止W芯22在安裝時扭曲，復如第1 所示 ，«體4之下内壁♦限閥桿24 38»閬芯22向下移励的® 離。 波纹管14设在Μ室12内，一蠼46密封固定於一固設於 «體4上之鳙帽47上，其相對蟠48則固定於閥桿24上。 波紋管14係用來密封W難大氣或與鬭室50隔_，如麵所 示，一 0形環52係作為波紋管14隔離Η室50之輔助閥封 。因此，波紋管14内的壓力最好是大氣壓力或任何可欲 的壓力。波纹管14之设計可令受壓之流鼸如氣«等在疰 入H室12時產生一施於閥封19的力悬，同畤產生一造成 波紋管14收路的力量。旛於波紋管14之力量會迫使波纹 管14收鎗。由於波纹管14鏞部46係薄由鳙帽47固定於閥 級4上，因此，蠼部46保持不励。然而，波纹管14纗部 48係固定於Μ桿24並沿垂直方向邐勤迫使闊榫24向上， 俾閥封19阻塞通道20 ◊波纹管14在設計上係令流進的受 壓氣鱷向下施於Μ封19上的力量實質上等於收鑲波紋管 14旛於閨稈24上的力ft,俾潦進的流艚力最相對於閬封 19可Μ有效地消除。本發明為確保流進之流«力量可相 對於«封19有效消除而提供的較佳方法，在设計上，係 令波玟管14的有效面稹等於或稍大於W座的有效面稹。 Η座的有效面積係通道20的横切面積，而波纹管14的有 效面積大約等於外棰與内徑的中間直《平方而後乘Μ -9- 本纸張尺度埤用中_国家揲率（〇师）八4规格（210><297公釐> 一 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·I 奢 A7 B7 Printed by the Consumers ’Cooperative of the Central Bureau of Standards, Ministry of Economic Affairs. 5. Description of the Invention (1) 1 1 (Invention Model«) 1 1 The present invention is not applicable to — a kind of application which is used to increase the flow rate.艚 Release 1 1% Force-actuated valve for system release »In particular, it is necessary to use a 1 m bellows device. It is not affected by the pressure of the release fluid and can be read substantially. 1 I Independently operated valve 〇Back 1 of I (Background of the Invention) Note that 1 I is usually used for 9 m gas tanks in the semiconductor manufacturing and other industries. It is used to release highly purified gas crocodile to a point of use. > This — position f this device — generally also referred to as the equipment position ο This m gas tank includes a high-pressure unit Page 1 I gas supply cylinder M and release gas β to the equipment position Pith control board 1 1 〇 In order to perform high-purity gas operation, the gas released to the equipment position 1 1 «8 must be low-contamination, or even impurities of a few parts per million will be set to semi-conductor« Μ The functions of other high-purity products have a negative impact. In addition to 1, it is also necessary to ensure that the gas-level control board is safe and not leaky. 1 I is harmful to the health and safety of the sugar tank. While maintaining the safety of 1 Qi, it is necessary to apply a certain m force to the Qi and release 1 1 0. The control panel must provide a purification function. The gas garden is transformed to safety. «| 9 without the risk of pollution In order to achieve this one hundred typical control, the 1 1 board includes special I door parts, connecting pipes, and hard joints. Among them, <1 1 high-purity hazardous gas storage and gas control panels Into □ Connection »1 I and Out □ 刖 η is connected from — the old tube-mounted street to the one-way reactor 0 1 1 There are very different types of valves in the conventional technology. They are released with continuous force 1 1 Gas radon 0 wave tube type M gate is used in purity and / or safety is particularly important 1 I important couplings such as late use high η degree and / or hazardous (easy to decay uranium 1 1 1 -3-1 1 1 This paper uses the Chinese National Standard (CNS) A4 (210X297 mm) A7 B7 Printed by the Shellfish Consumer Cooperative of the Central Standards Bureau of the Ministry of Economic Affairs 5. Description of the invention (2) 1 1 Toxicity, etc.) Introduction II and other high-tech industries. 0 Knowing 1 1 Some examples of technology can be found in the US patents Nc. 4,526,341, 4.634, 099 1 1 Λ 4.67, 0 1,7, 4,712,576 > 4, 763, 690, and 4.995.58S 0 / • —V Please 1 First 1 Known technology, the sealing force ft of the valve with pressure adjustment will be short m The reading of the seal 1 is life-span and unsafe under super pressure. The pressure spring is used to stand against the seal and maintain the J-thief door on the back 1 I in a closed position. In this case, note that the pressure of 1 | will act on the seal plaque and generate a reaction force. • For some matters, the force of the spring 1 will be eliminated. 0 The force of the valve seal will in turn correspond to the pressure of the filling. 0 Creation 谞 »The greater the force of m flowing« The force of holding the valve in the closed position Page I The smaller the force ο «The seal itself must be sensitive enough 提供 Provide a positive seal at high pressure and 1 1 low inclination force The effect must be enough to shoot with M. Anti-low pressure 1 1 High pressure to resist low pressure High pressure force m 0 0 If the pressure of the liquid into the order is not careful, the valve to the maximum ratio of the ultra-pass may fall to open 1 Unsafe due to position 0 US Patent 4, 76 3, 690 is contained in a dense 1 I Feng Lidong is directly proportional to the incoming pressure, and the closing function will be lost below 1 m The valve bucket 0 1 1 due to pneumatic The size of the actuator is related to the high-pressure wide door of the conventional technology — · ,, 钃, | It is generally impossible to form a single sister. A ratio U system exists in the actuator's large 1 1 small and its Minmen pressure level. 0 V try to make the M gate with more than two tilts, especially high 1 1 懕 Ν The sister into a single piece is very likely to reduce the potential purity safety 1 I and the degree of chess 9 At the same time increase the phase U Cost% 簠 Volume manufacturing and installation problems 1 1 »〇 Therefore, it is better to weld the valve to 0 instead of 1 | they form a single component • 〇1 | the great faintness of the present invention is to provide -4 types that are not affected by the pressure of the fluid flow dragon, 1 1 1 1 1 1 paper Zhang Jiuying used the Chinese National Standards (CNS) A4 specification (210X297 mm) A7 B7 Printed by the Shellfish Consumer Cooperative of the Central Standards Bureau of the Ministry of Economic Affairs 5. Description of the invention (3) 1 i Can be used independently for effective release of fluids Forced actuation valve 〇1 1 Another giant of the present invention is provided— * a wave tube device K has 1 1 to effectively eliminate the fluid pressure. The valve actuation device is not affected by the pressure of the fluid flow. Mandatory actuated valve for release of the independent lotus made by the crossbow 0 Read 1 1 Another of the present invention-Giant M is providing-· 棰 m is used for the high-purity gas of J 1 in the back of the gardenia industry Releasing pneumatic valve 〇Note 1 [The present invention is another hundred of M. In providing-a kind of cost-effective production matters, then 1 1 forced release valve for flow release. It will be described in detail below. The new m special adhesive will be described in the special page 1 1 in the profit section. The present invention is based on the following: a kind of flow «Β release force actuated valve is included to 1 1 less- Inflow P 9 The inflow P is connected to-the first with a bellows device.-Valve room 1 is connected »at least-* Outflow P The outflow □ is connected to-the second valve room — 1 connected to the first-the valve room to The channel of the second valve chamber is cold, the channel M is free from the 1 1 mobile device that overflows between the two valve chambers. The mobile device has a 1 I sugar-directed force, it is maintained in the first position, M, the channel is blocked when the relative When 1 1 overseas Chinese applies more power to the force, t the movable device moves to the second ice, I sets M m to start the channel, and the bellows connects with the movable device m. When a 1 1 1 pressure liquid K flows into the first A valve chamber directly applies a force of 1 to the movable device to make it When moving 1 1 m to the second position 9 the current m «will cause the wave tube device to be suspected» Μ 1 I caused the wave tube device to increase the movable device — the force M maintains the 1 1 movable device at The first position 9 压 the pressure of the fluid m in the movable device causes it to move 1 1 to the force of the second position »can K Η bellows device 豳 in the movable device 1 | the force to maintain it in the first position ft 1 Yes »Elimination > When it comes to movable equipment 1 1 1 -5-1 1 1 This paper size uses China's BI standard (CNS) A4 size (2 丨 OX297 mm) A7 B7 Central Ministry of Economic Affairs Printed by the Industrial and Consumer Cooperatives V. Description of the invention (4) 1 The force on the set is greater than the force of the direction of the direction. * The movable device is moved to the second position 1 1 is set to open the channel 9 and the flow is not subject to pressure. Influence of XI 9 Flow between 1 two valve chambers 0S 1 First 1 The invention A better example is that the position where it flows into P causes the fluid flowing in and flowing to the reading 1 1 first valve chamber to be guided to the upper or upper part of the bellows device P and rolled 1 I 1 out of P The position is to make the fluid in the first white chamber to pay attention to the release of the bottom of the corrugated tube. 1 This will cause the fluid to flow around the bellows. The anti-stagnation matters will be placed in the first chamber and ensured to be released. The flow «m degree 〇 fill in the installation m, but the fluid M can be gas or liquid H» ft The best flow is gas 0 page 1 I The force of moving the wide door can be solid «liquid« or gas m The drive 1 1 on the moving device — the power 0 valve can be combined with other similar N doors 1 1 — »row valve group M control such as the suspicion of the pith in the cylinder or the work 1 customized location Between the flow of the gas 艚 release gas «Β The excellent adhesion of the moving threshold 1 is as follows 1 I a > Improve the purity • • Reduce the irrigated surface * Reduce the washing area and reduce the interception 1 Range 1 9 Reduce the seal to the atmosphere (the source of radon pollution); 1 1 b) Improve the safety • Reduce the possibility of leaks due to air-tight seals and welding joints | first-class factors Ο 1 1 C) Minimal roll-out / reduced volume and 1 1 d) Cost-effectiveness: Reduce the need for inventory »Reduce assembly / manufacturing Labor 1 I and petrochemical system design and service 0 1 1 The present invention has a method for providing a flow release system »wherein 1 1 enters the inlet and releases the pressure flow« 可 Μ _ — This method includes the following steps 8K: 1 1 1 _ 6-1 1 1 This paper size is in accordance with China National Standard (CNS > A4 size (210X297 (Mm) A7 B7 Printed by the Central Laboratories of the Ministry of Economic Affairs, Shellfish Consumer Cooperatives. 5. Description of the invention (5) 1 a > Provide a closed first valve chamber M to accommodate the incoming flow M * Provide a closed 1 1 second valve To accommodate the fluid released from the first-valve chamber »provide a channel between 1 1 the first valve chamber and the second valve chamber 9 please 1 first 1 b) provide exciting valve sealing device MU closed or dare to The channel provides a pressure reading 1 device M to maintain the movable valve seal in the closed position f back ir 1 I JC) in the first chamber to provide a bellows to connect to the movable valve seal »注意 流 Note 1 [进 的The flow should be directly applied to the bellows to keep the movable valve seal in the closed position. 1 I Closed position at the same time »At the same time, the flow of 潦 U is applied directly to the movable valve seal to fill the socket. This channel is opened and selected. The bellows > 俾 bellows application On the movable valve page 1 The force of the I seal is equal to or greater than the borrowed flow. The force directly on the movable M seal 1 1 is ft * 1 1 d) Supply — the pressure flow flowing into the — — valve chamber and — · M Do n’t apply the force to the 1st valve seal to move it to the second position 9 俾 The flowing pressured flow 1 The hip is discharged from the first valve chamber to the second boudoir t and the flow « Thin one is applied to the force of 1 I movable seal ft »Under the influence of 1 1 under the influence of flowing into the pressurized fluid f 1 hold the ore flow or stop 〇1 1 The effective elimination of the pressure generated by the fluid makes the tilting such as m spring etc. The pressure device can only produce a positive seal on the I mover. 埴 will cause the bias device to be significantly small on the level 1 I. Therefore, the gram armpit m «Ε device's actuating force can be greatly reduced. Set up through holes or channels between N gates to count Each valve 1 I door side-by-side assembly 0 Each valve P! Can be connected to the inflow chamber or the outflow chamber »It can be connected to a common channel by the port 1 1 f. One m port of a valve can be M and not 1 1 The other m ifi hole of the valve P5 is connected. In this way, you can complete the 1 I m connection. 1 1 1 -7-1 1 1 This paper is applicable to the Chinese National Car (CNS) A4 specification ( 21〇 × 25 > 7 mm) Shellfish consumer cooperation Du printed bag A7 B7 of the Central Bureau of Standards of the Ministry of Economic Affairs 5. Description of the invention (6) The first description of the formula is the invention of «forced actuation for release» Sectional cross-section view · One of the two views; The second drawing is the first one of the present invention shown in Figure 1 when the forced actuation of the flow * release is in a closed position. It is shown that the present invention is compulsorily actuated for release of H. vulgaris in the open position. Disappearance as shown in Figure 1. As shown in Figure 1, the forced release valve 2 for flow release includes a valve "4" provided with an inlet 6 and an outlet 8. The inflow port 6 »The passageway 10 is provided with a bellows 14 and the chamber 12 communicates with the outflow port 8 and the thin passageway 16 is connected to the W chamber 18_. The passage 20 is located at the bottom of the W chamber 12 and the chamber 18 is built. The valve core 22 in the Μ chamber U is provided with a "seal 19, which is located on the passage 20 and blocks the passage 20 · 侔 to prevent the flow." In the forced flow «the passage 20 opening into the Μ chamber 18, or at the seal 19 from When the opening of the channel 20 is partitioned, a fluid can flow. The spool 22 is fixed to a valve stem 24, and the stalk 24 is fixed to an actuator piston 26 provided in the actuator W »28. The mouth 30 in the actuator W cover 28 allows the external force from the gas, solid, or liquid device to contact the top surface 32 of the actuator piston 2β, and causes it to be forced downward to force the core 22 The W seal 19 is removed from the passage 20 of the valve chamber 12. In order to keep the M-seal 19 in the closed position on the * track 20, a compression spring 34 is cast between the top surface 36 of the piston 26 and the surface 38 of the valve pulp. It is preferable that the pressure spring 38 applies a vertical force to the piston 26, and seals 19 in a fixed shape, and can be forced to seal 20. When the force M such as the flow of gas is used to drive the piston 26, by setting at -8-this paper size is moderate _ house standard rate (CNS) A4 wash grid (210X297 mm) .1 ^ 1 ^^ 1 mm (please read the precautions on the back before filling in this card) Order printed by the Central Bureau of Standards, Ministry of Economic Affairs and Consumer Cooperatives A7 _ B7______ V. Description of the invention (7) Inside the piston 26 and the actuator W cover 28 The inner wall is in contact with one of the two O-shapes 42. The gas can be held in the valve chamber 40. As shown in Section 1_, a suspected pivot pin 54 is used to prevent the W core 22 from being twisted during installation. As shown in Section 1, «the inner wall under the body 4 ♦ the valve stem 24 38» the core 22 moves downward Excited ® off. The bellows 14 is provided in the M chamber 12, a 蠼 46 is sealed and fixed on a 鳙 cap 47 fixed on the body 4, and the 蟠 48 is fixed on the valve stem 24. The bellows 14 is used to seal the atmosphere or to be separated from the chamber 50. As shown in the figure, an O-ring 52 is used as an auxiliary valve seal for the bellows 14 to isolate the chamber 50. Therefore, the pressure in the bellows 14 is preferably atmospheric pressure or any desired pressure. The design of the bellows 14 can make the pressurized flow like air «and so on when entering the H chamber 12 produce a force suspension applied to the valve seal 19, and simultaneously generate a force that causes the bellows 14 to close. Force on the bellows 14 will force the bellows 14 to withdraw. Since the flange 46 of the bellows 14 is thin and fixed to the valve stage 4 by the flange 47, the flange 46 remains deenergized. However, the bellows 14 is fixed to the M rod 24 and presses the wide tenon 24 upwards in a vertical direction. The valve seal 19 blocks the passage 20. The bellows 14 is designed to direct the flowing compressed air The force applied on the M-seal 19 is substantially equal to the force ft of the bellows 14 on the bosom 24, and the flowing force is most effectively eliminated relative to the M-seal 19. The present invention provides a better method for ensuring that the flowing force «force can be effectively eliminated relative to« seal 19 ". In design, the effective surface 稹 of the corrugated tube 14 is equal to or slightly larger than the effective surface W of the W block. The effective area of the sley is the cross-sectional area of the channel 20, and the effective area of the corrugated tube 14 is approximately equal to the middle of the outer diameter and the inner diameter, "squared and then multiplied by M -9. 〇 Division) 8 specifications (210 > < 297 mm >) I (Please read the precautions on the back before filling this page)
、tT 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（8 ) 0.785 。因此，相等的活塞面積將會造成相同的流體排 量，而波紋管不管收嫌或伸張則會埴成相間的排量。 第2輿3 _堪示第1 _之流《釋放用強制致動閥，其 零件不僅相同，且.參考號《也相同。如第2圔所示， W門2係處於封閉位置。以此角度視之，壓嫌彌簧3 4對 活塞26施加一向上力1,活塞26随之迫使閥芯22向上遂 造成閥封19置於通道20上。如此將防Μ室12與Μ室18相 通。即使受懕流體注入流入口 6 ,流《的壓力也舍腌加 在閥封19與波玟管14上。根據本發明所提供的新顆波紋 管，收嫌波紋管14施加於《桿24並令其垂直移動的力量 ，相等於或略大於受壓流«豳加於閬封1 9的力量。因此 ，即使受壓流«注入流入口 6 ,亦不致於放WW封19。 開啟閥封19的唯一方法係向下施力於活塞26,如此，將 足Κ克腹颸嫌彌簧34作用於活塞26上的力量。如第3圓 所示，將一諸如氣動壓力之力量注入致動器Μ罩28之開 口 3 0内且其力量大於壓埔彈簧3 4的向上力量，即可令閥 桿24向下突伸並因此開啟«封19,如此，即可令諸如氣 «之流體從流入口 6流至流出口 8。 如第3圏所示，開啟閥門12之力量可因壓力、活塞面 積以及/或彌簧力量不同而不冏。 本發明之流《釋放用強制致動W最好設有一流入口與 一流出口，且波纹管在設計上最好令作用於波紋管之壓 力所釋出之向上力量恒等於或略大於豳加在Μ封上的向 下力量•俾不用驅動力曇•閥門不致於開放。 -10- 本纸張尺度適用中囑國家榣率（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） — -----·-- ^--裝------訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾隼局員工消费合作社印策 A7 B7 五、發明説明（9 ) 如第1 、2與3 II所示，一流入之受《流體將流進Μ 室12頂纗，經過波紋管14,然後在閥室12下嫌I排出，如 此，即可防止流«窩（fluid pocket)滯流於閥室12中， 並確保高純度流艚的釋出。 -11- 本紙張Xjt逍用中••家梯率（CNS ) Λ4规格（210X297公釐） m - - - - I - -^11 - --I —-I— -.- · - 1- -I— - - i (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)Printed by tT Printed by the Central Standards Bureau of the Ministry of Economic Affairs and Consumer Cooperatives A7 B7 V. Description of Invention (8) 0.785. Therefore, the same piston area will result in the same fluid displacement, while the bellows will be phase-displaced regardless of whether they are stretched or stretched. No. 2 _ Kanshi No. 1 _ of the "forced actuated valve for release, the parts are not only the same, and the reference number" is also the same. As shown in Section 2 (a), the W door 2 is in a closed position. Viewed from this angle, the pressure spring 38 exerts an upward force 1 on the piston 26, and the piston 26 then forces the valve core 22 upward to cause the valve seal 19 to be placed on the channel 20. In this way, the M prevention chamber 12 and the M chamber 18 are communicated. Even if the subject fluid is injected into the inflow port 6, the pressure of the flow is applied to the valve seal 19 and the corrugated tube 14. According to the new bellows provided by the present invention, the force exerted by the bellows 14 on the rod 24 and causing it to move vertically is equal to or slightly greater than the force exerted by the pressure flow «豳 on the seal 19. Therefore, even if the pressurized stream «injects into the inlet 6 of the stream, the WW seal 19 will not be placed. The only way to open the valve seal 19 is to apply a downward force to the piston 26, so that the force exerted on the piston 26 by the abdominal spring susceptible to the spring 34 is exerted. As shown in the third circle, injecting a force such as pneumatic pressure into the opening 30 of the actuator M cover 28 and its force is greater than the upward force of the pressure spring 34, the valve stem 24 can be protruded downward and Therefore, the «sealing 19» is opened, so that a fluid such as gas can flow from the inflow port 6 to the outflow port 8. As shown in Section 3, the force to open the valve 12 may not be reduced due to the difference in pressure, piston area, and / or the force of the reed spring. According to the invention, the "forced actuation for release W is preferably provided with a first-class inlet and a first-class outlet, and the bellows is preferably designed so that the upward force released by the pressure acting on the bellows is constant or slightly greater than The downward force on the M seal • No driving force required • The valve will not open. -10- The size of this paper is applicable to the Chinese National Standard (CNS) Α4 specification (210 × 297 mm) — ----- ·-^-installation ------ order (please read the note on the back first) Please fill in this page for further information.) Staff Consumer Cooperative Cooperative A7 B7 of the Central Government Bureau of the Ministry of Economic Affairs 5. Description of the Invention (9) As shown in Nos. 1, 2 and 3 II, one of the inflows is subject to the “fluid will flow into the top of the M chamber 12 Alas, it passes through the bellows 14 and is then discharged under the valve chamber 12, so that the fluid pocket can be prevented from stagnating in the valve chamber 12 and the release of high-purity flow can be ensured. -11- The paper Xjt is not in use •• Home Slope (CNS) Λ4 Specification (210X297 mm) m----I--^ 11---I —-I— -.- ·-1-- I—--i (Please read the notes on the back before filling this page)
經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 五、發明説明（） 主要元件符號說 明： 2 流體釋放用強制致動閥 4 閥體 6 流入口 8 流出口 10,16 通道 12,18,40,50 閥室 14 波紋管 19 閥封 20 通道 22 閥蕊 24 閥桿 26 致動器活 塞 28 致動器閥 罩 30 開口 32,36,38 頂面 34 壓縮彈簧 42,52 0形環 44 内壁 46 端 47 端帽 48 相對端 54 螺旋銷 56 下内壁 1 1A- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 請 先 閲 讀 背 面 之 注Printed by the Employees' Cooperative of the Intellectual Property Bureau of the Ministry of Economy Chamber 14 Bellows 19 Valve seal 20 Channel 22 Valve core 24 Valve stem 26 Actuator piston 28 Actuator valve cover 30 Opening 32, 36, 38 Top surface 34 Compression spring 42, 52 0-ring 44 Inner wall 46 end 47 end Cap 48 Opposite end 54 Screw pin 56 Lower inner wall 1 1A- This paper size applies to China National Standard (CNS) A4 (210 X 297 mm) Please read the note on the back first
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