TW380080B - Wafer carrier head with inflatable bladder and attack angle control for polishing - Google Patents

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經濟部中央梯準局貝工消費合作社印製 Λ7 _____ H? 五、發明説明（1 ) —

JLA 發明領诚 本發明係關於拋光工具及於拋光過程控制晶圓取向之 方法及裝置。 相關拮術之說明 半導體處理之化學機械拋光（CMP)藉由從表面去除最 高點而拋光晶圓面。CMP系統可拋光未經處理及部份處 理晶圓。典型未處理晶圓為結晶矽或另一種可成形為接近 半圓形晶圓之半導體材料。當準備槪光之典型經過部份處 理晶圓有一層電介質頂層如玻璃，二氧化矽或氮化矽或導 電材料頂層如銅或鎢鋪於一或多層製作圖樣層上方而產生 高度約5000埃至10,000埃之局部凹凸部特徵。拋光使表面 之局部特徵光滑。理想上拋光後之表面於待由晶圓形成模 塊大小區域上方為平坦。目前拋光目標係希望於1 1 〇毫 米模塊區域上平面化使晶圓平面化至約3000埃公差。 第1圖示例說明已知之化學機械拋光系統〗〇〇，其包括 曰曰圓載架頭110其上安裝晶圓丨2〇，帶130載運拋光墊， 及支座140支承帶130於晶圓120下方。拋光過程中，拋光 墊噴灑或塗布以料漿’傳動系統15〇旋轉帶13〇故拋光墊牴 住晶圓120表面滑動。料漿之化學作用及料漿内粒子之機 械作用及拋光墊牴住晶圓12〇表面可由表面去除材料。為 了均勻去除晶圓120之最高點，晶圓12〇必須保持於拋光過 程平行拋光墊。但帶130之運動使晶圓12〇與拋光墊間產生 摩擦，造成扭矩而使晶圓12 0相對於抛光塾傾斜。傾斜晶 本紙張尺錢财國國家標準（CNS〉Α4規格（2!〇χ297公势) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 、1Τ

• I I -4- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ7 ___H7 五、發明説明（2 ) 圓120可導致不均勻拋光而使更多材料由晶圓12〇一邊被去 除。 美國專利案第5,593,344及5,558,568號敘述第1圖所示 系統且進一步說明流體承托器於載架頭110用於調整晶圓 120於帶130之攻入角。流體承托器允許調整頭使晶圓平行 抛光塾。為了避免傾斜，載架頭11〇之流體承托器之轉軸 係位於或接近於墊平面，故以承托器轉軸為軸之摩擦力產 生的扭矩接近零。攻入角調整轉軸位於墊平面對載架頭之 設計造成重大限制。 載架頭之另一考量處為拋光過程施加於晶圓（或拋光 塾）之壓力。為了拋光表面至半導體製程要求的公差，CMP 系統嘗試以均勻壓力施加拋光墊於晶圓。如此希望載架頭 110及支座140可施加壓力跨越晶圓120及跨越晶圓120下方 之帶130區。尋求晶圓載架頭可施加均勻壓力於晶圓，對 正晶圓面與拋光墊表面，防止拋光施加摩擦力於晶圓使晶 圓傾斜。 概述 根據本發明’載架頭夾持及旋轉拋光中之物件如晶圓 。一具體例中’載架頭包括一位置感測器可決定晶圓活動 卡盤或載架與聯結於傳動馬達之固定傳動構造之相對取向 (或其間夾角）。拋光機之控制系統使用來自感測器之測量 值選擇施加於卡盤之邊緣壓力而控制物件牴住拋光墊之攻 入角。安裝於载架頭之引動器或空氣汽缸施加緣壓力於卡 盤。連續改變緣壓力可改變傳動構造與卡盤之相對取向， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇Χ297公f ) . 裝 訂 -7.A (請先閏讀背面之注意事項再填寫本頁) Λ7

—______ HI 五、發明説明（3 ) .… 〜---- 但保持物件與拋光墊之相對取向。 使用«頭施城力或力於卡盤之方法係當載架頭停 靠時將待由卡盤夹持之物件坐落成牴住拋光墊。卡盤盘傳 動構造間之相對取向或夾角隨後經測定並記錄供稍後使用 。當載架頭與物件抛光過程旋轉時，控制I統連續監測卡 盤與傳動構造之相對取向，比較該取向與記錄之取向，及 視需要改變緣塵力而維持物件於拋光墊上的攻入角。因載 架頭旋轉，故最大緣壓力所在位置約略與載架頭旋轉同步 移動。藉由主動調塾緣壓力，載架頭可配合以非於物件與 拋光塾之接觸平面之軸為轴的扭矩，即使當卡盤係環繞該 軸自由旋轉亦如此。 載架頭包括具有凸部之傳動構造’各自於膜端有—滾 珠。傳動構造透過連桿附接於卡盤及透過插入卡盤之匹配 開口之凸部而附接於卡盤。滾珠接觸開口壁，故傳動構造 與卡盤以載架頭轉軸為軸共同旋轉。但連桿及凸部允許= 整傳動構造與卡盤間距及夾角。特別開口之徑向伸長及滾 珠曲率允許載架以通過卡盤及傳動板之平面之軸為軸做有 限範圍的旋轉。 經濟部中央標準局—工消费合作社印製 本發明之另一方面提供一種可充脹囊袋聯結至成形於 載架頭之傳動轴之導管。晶圓係安裝毗鄰囊袋，故來自導 管之壓力使囊袋膨脹並施加壓力於晶圓用以拋光。於傳動 軸之導管允許載架頭於囊袋充氣時旋轉。 麗'式之簡軍説明 第1圖顯示先前技術之化學機械拋光系統。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ7 H? 五、發明説明（4 ) — —' 第2圖顯示根據本發明之範例具體例之載架頭之放大 視圖。 第3圖為組裝時第2圖之載架頭_之.剖面.圖。 第4A及4B圖分別顯示第2圖.之、載架頭之傳動板之_透視 底視圖及剖面圖。 第5A及5B圖分別顯示第2、圖之載架頭之载架板之頂視 圖及剖面圖。 第6圖為根據本發明之具體例合併電路於载架頭用於 傳送資料至控制系统之方塊圖。 各圖使用相同參考編號指示類似或相同物項。 較佳具體例之詳細說明 根據本發明之態樣，拋光工具如化學機械拋光（CMp) 系統之載架頭有一傳動構造附有圓化凸部其齧合安裝有待 拋光晶圓或其它物件之卡盤或載架。凸部移轉扭矩由傳動 構ie至載条，故傳動構造及載架成一個單元旋轉，但凸部 之圓化允許載架相對於傳動構造之角向運動。如此載架頭 可藉由改變傳動板與載架板間之相對夾角而定向晶圓平行 拋光墊。例如透過傳動板之傳動軸施加於傳動構造與載架 間矽或囊袋之液壓或氣壓可使晶圓座落牴住拋光墊。另外 引動器可施加使晶圓座落牴住拋光墊所需力。根據本發明 之又方面，感測器決定當晶圓座落牴住拋光墊及載架頭 停靠時傳動構造與載架之相對取向。與此種取向晶圓平行 拋光墊。拋光墊運動過程中，控制系統監視傳動構造與載 架的相對取向，及作動定位器或引動器其施加壓力於載具 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4说格（210X297公#〉 (讀先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. --• Λ7 Λ7 經濟部中央標準局員工消費合作社印繁 ________ 五、發明説明（5 ) 或晶圓而保持晶圓平行拋光墊。 第2圖顯示根據本發明之具體例之載架頭2〇〇之放大視 圖。範例具體例中，載架頭200係以轉軸29〇為軸旋轉同時 夾持晶圓牴住活動中的拋光墊。載架頭可用於多種拋光用 途包括第1圖所示之已知CMP系統如系統1〇〇。晶圓載架 頭200也適合如同在審查中之美國專利申請案案號未知， 名稱「拋光系統包括流體靜力流體承托支座」，代理人檔 案編號M-5185-US及美國專利申請案案號未知，名稱「模 組化晶圓拋光裝置及方法」’代理人檔案編號M_5163_us 所述’二案併述於此以供參考。 載架頭200包括傳動板210，載架板230，夾具240及扣 ί哀250其典型係由金屬如鋁或不鏽鋼製成，被機製成為下 述形成。本發明之範例具體例中，板2丨〇 ’ 〇及夾具240 為6061-T6鋁製成及扣環250為塑膠如PpS製成。板21〇及 230包括四根連桿220之長槽，連桿附接傳動板21〇至載架 板230。為了附接傳動板21〇至載架板23〇，板21〇及23〇定 位成可使連桿220聯結於二板210及230之長槽與來自傳動 板210之凸部212於載架板230之關聯開口 232。連桿220有 細長開口 ’經此開口螺拴或螺釘拴入傳動板2丨〇及載架板 230。穿過連桿220之開口比傳動板21〇與晶圓載架23〇彼此 緊在紕鄰時二螺拴間距更長。軟蓋270係由纖維強化EpDM 製成（範例具體例）環繞板21 〇及2 3 0周邊滑動並封閉二板間 隙。蓋270為軟性而允許載架構板23〇移動遠離傳動板21〇 至附接螺釘於連桿220之細長開口之兩相對緣為止。晶圓 本紙張尺度適财，( CNS > A4規格（2丨G X 297公楚） ---：--·---1¾农------、?τ------i 我 f . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ7 ____ H? 五、發明説明（6 ) 載架頭之範例具體例中，連桿220為不鏽鋼製成，允許於 距離軸290約4·25吋半徑之傳動板21 〇與載架板23〇間之最 大距離為約0.25吋。 圓化凸部212偶爾於此處稱坐傳動軸承2 a係由傳動板 210延伸而於徑向方向齧合載架板230之細長開口232 ^凸 部212例如可壓迫球形滾珠軸承於附接於傳動板21〇之柱形 成。開口 232寬度約等於凸部212之滾珠部直徑。當傳動板 210以軸290為軸旋轉時，凸部212接觸載架板23〇之開口 232 兩邊且使傳動板210及載架板230呈一個單位旋轉。但凸部 212之圓化及開口 232之徑向伸長可使傳動板21〇與載架板 230間之相對夾角改變。例如載架板23〇一緣可緊鄰傳動板 210，而連;f干220允許載架板230之兩相對緣具傳動板21〇異 位。傳動板210與載架板23〇間夾角調整軸係遠離拋光過程 中晶圓或塾表面。 安裝於傳動板210上者為四個引動器215，其具有桿延 伸貝穿傳動板210而接觸載架板23〇。引動器215施加壓力 於載架板230而維持載架板23〇(或安裝於載架板23〇上之晶 圓）平行拋光塾。本發明之範例具體例巾，引動器215為空 氣汽缸如得自C〇mpact Air公司部件編號RU8xl4。引動器 215透過傳動板210之傳動軸214之導管皆連接至電源及/或 空亂壓力。傳動軸214附接傳動板21〇至傳動馬違，馬達具 有匹配導管及連接件用於維持載架頭2 〇 〇與拋光系統其餘 部份=載架頭200旋轉過程中之信號通訊或流體連通。各 引動益215可獨立控制，且，控制信號調整傳動板21〇相對 本紙張尺度適用中國®W"( cns ) · ·----裝·--^-----訂——，----7忒 I I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ7 ___ H? 五、發明説明（7 ) —_ 於載架板230旋轉。本發明之範例具體例中，控制電路如 下述安裝於載架板230，但此種控制另可安裝於傳動板21〇 或載架頭200外側。但控制電路安裝於外方需使更多信號 路由通過傳動軸214。 軟性囊袋260附接於載架板230底面，且如第3圖之示 例說明藉扣環250及夾具240爽持定位。範例具體例中，囊 袋260為EPDM(乙烯丙烯二烯單體）製成。安置定位時，載 架板230及囊袋260形成腔穴360，其除了開口33〇延伸貫穿 載架板230外皆可密封。開口 330導引流體或氣體加壓腔室 360使囊g 260充脹。拋光過程中，晶圓定位眺鄰囊袋mo 且位於阻擋晶圓滑動之扣環250周邊。當腔穴36〇被加壓時 ，囊袋260膨脹而將晶圓壓出不接觸抛光墊，此處晶圓約 與扣環250之底緣齊平。然後囊袋26〇於拋光過程施加壓力 於晶圓。理想上壓力跨越晶圓全區為均勻。 第4A及4B圖分別顯示傳動板2丨〇之範例具體例之透視 底視圖及剖面圖。第4A圖中虛線顯示之構造由傳動板21〇 底面不可見。由傳動板210底部可見之構造包括凹部44()， 凸部212，引動器孔410，長槽420及導管46〇。凹部44〇提 供導線軟管或聯結於導管460之管路空間。六個凸部212均 勻間隔於一個圓之圓周，圓半徑約為傳動板21〇半徑之半 且由傳動板210底方伸出齧合載架板23〇。引動器孔斗忉由 位於板210頂上之埋頭孔部41 5延伸貫穿傳動板21〇。引動 器215係安裝於埋頭孔部415，伸出推桿貫穿孔4ι〇而接觸 載架板230。長槽420其當頂板210係附接於底板23〇時接納 ： · ,1 裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ d. -10- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Λ7 ----___________ B? 五、發明説明（8 ) ^一〇 — 連桿220，其僅部份延伸貫穿板210。螺、栓孔422交又關聯 長槽420，及螺拴可防止連桿22〇滑脫出長槽42〇之外。 導管460延伸貫穿傳動板210之傳動軸214。傳動軸214 係用於拋光過程聯結於可旋轉載架頭2〇〇之傳動馬達。導 e 460可聯結於傳動馬達軸之匹配導管且允許氣體、流體 及電信號來回於載架頭2〇〇間。特別軟管315如第3圖所示 ，聯結一或多導管460至入口 33〇用於加壓腔穴36〇及充脹 囊袋260 ^本發明之替代具體例中，囊袋26〇包括分開腔室 其各自聯結於分開入口 33〇及分開導管46〇，故各腔室可被 充脹至不同壓力。但發現單一腔穴36〇足夠提供均勻壓力 至與囊袋360接觸的晶圓。範例具體例中，引動器2丨5為空 氣汽缸，一或多導管460提供加壓空氣給空氣汽缸。又有 其它導管460係用於聯結載架頭2〇〇之控制電路及/或感測 器於外部電路如電源及/或控制或電腦系統間之接線。另 一導管460可作為傳動板21〇與載架板23〇間之腔穴入口。 第5A及5B圖顯示載架板230之頂視平面圖及剖面圖。 由載架板230頂面可見徑向伸長開口 232,長槽52〇,凹部51〇 及530及入口 330。開口 232僅部份延伸通過載架板230且設 置成匹配來自傳動板2 10之凸部212之圖樣。長槽520於載 架板230附接於傳動板21 〇時可容納連桿220底部。螺栓孔 522之螺栓位於載架板230旁側可保持連桿220於長槽520内 部同時允許載架板230相對於傳動板210移動。入口 330通 過載架板230且提供與載架板230頂側腔穴360間之流體連 通0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公f ) -11 - ---.--,---裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

J 經濟部中央標準局—工消費合作社印裂 Λ7 __ H7 五、發明説明（9 ) 載架板230之頂面包括凹部510及530其分別用於安裂 感測器及電路於載架頭200。凹部510之感測器可測量載架 板230及傳動板210於多個（四個）位置之間距。測得之距離 可界定二板210與230間之相對取向及夾角。腔穴530之電 路可提供及作為資料通過之介面例如來自感測器之聚離測 量值傳送至控制系統之介面。控制系統與範例具體例為電 腦其可控制經由導管460進給至引動器（空氣汽缸）215之氣 壓。電腦系統執行之軟體可選擇適當壓力而保持載架板 230(或更正確言之’於載架板230下方之晶圓）平行拋光面 。特別於拋光工作開始時，晶圓位於載架板23〇下方，載 架頭調整至接觸拋光墊之拋光面。於載架頭2〇〇開始旋轉 刖’導管460加麼腔穴3.60及施加力或壓力於載架板23〇。 引動器215或腔穴310内部壓力將板210及230推開，腔穴360 内部壓力充脹囊袋260而使晶圓壓迫牴住拋光點。此種配 置中，凹部510之感測器可測量當晶圓妥當定位時亦即待 拋光面平行且接觸拋光墊表面時至載架板23〇之參考距離 。參考距離指示載架板230相對於拋光墊之定向其記錄於 控制系統。當載架頭200開始旋轉時，控制系統連續監控 感測器測量之距離，比較測量值與記錄之參考值，及產生 適每壓力或控制指號給引動器215。響應於此，引動器2】5 施加壓力其視需要移動載架板230相對於傳動板21〇而保持 晶圓（及板210)平行拋光面。 . 使用感測器做主動爽角㈣之優點為主動控制可於即 使摩擦造成載架頭23〇之扭矩時仍可維持晶圓平行拋光整 本纸張尺錢财@國家轉（CNS ) A4規格（210x7^5"7 ----：--.---~1裝—------訂—^---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -12- 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 Λ7 ______B7 ____________________ ' 五、發明説明（10 ) 表面。載架頭200允許載架板230相對於傳動板210轉動， 此處轉軸係位於板210與230間之平面。如此於拋光墊表面 之摩擦可產生環繞可能轉轴之非零扭矩。主動控制可避免 扭矩傾斜晶圓相對於拋光面。 第6圖顯示容納於載架頭200之電路600之方塊圖。電 路600包括位移感測器610及電路板620。感測器610為光學 感測器其可測量板210與230間距並產生可指示測量距離之 類比信號。第5圖之具體例中，凹部5 10之四個位移感測器 可提供四種距離測量值其共同指示載架板230相對於傳動 板210之定向。載架頭2〇〇也包括測量載架頭2〇〇或安裝於 載架頭200之晶圓之其它性質（例如溫度）之感測器6丨5。電 路板620包括電壓調節器680其可透過經傳動軸214連接至 外部電路之連接埠670接受電力。電壓調節器680對電路板 620及感測器610及615提供工作電壓Vcc。 電路板620之主要用途係將來自感測器61 〇及615之資 料轉成可使用最少數接線傳遞給外部控制系統的格式。為 了達成此項目的，電路板62〇包括放大器63〇，類比/數位 轉換器（AI)C)640，微控制器650，介面驅動器66〇及連接 埠670。若有所需，放大器63〇可放大來自感測器61〇及 之類比信號，ADC 640將類比信號轉成微控制器65〇用之 數位ΐ料信號。微控制器65〇控制資料流通過介面驅動器 660流至外部控制系統。範例具體例中，介面驅動器6⑼及 微控制器650可實施眾所周知之RS_232串聯介面用與外部 控制系統通訊。經由介面輸送之資料包括來自感測器61〇 尺 標準（CNS) Μ 規 - I 扑衣 訂 . ^，..^ (請先閲讀背面之注意事項再填{¾本頁) -13- Λ7 太、發明説明（11 ) ——一 及615之測量值及儲存於EEpR〇M 66〇之校正資訊。校正 資訊可於載架頭200製造過程中寫入，指示載架頭2〇〇及/ 或引動1§ 215之幾何及性能變化。外部控制系統可於決定 如何作動引動器215而保持晶圓平行拋光面使讀取及使用 校正資訊。 雖然已經參照特定具體例說明本發明，但該說明僅為 本發明之申請實例而不得視為限制性。特別雖然本發明之 範例具體例為CMP帶式拋光機之載架頭，但本發明之其 它具體例可用於其它拋光工具包括例如旋轉式拋光機。此 處揭示具體例之多種配合及特徵組合皆屬於隨附之申請專 利範圍界定之本發明之範圍。 I I,-I, II V -批衣 ^ J— Ί. n ~7 旅 C ί (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度逍用中國囷家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標隼局負工消費合作社印製 Λ7 Μ 7 五、發明説明（12 ) 元件標號對照 100...化學機械拋光系統 330."開口 110...載架頭 360...腔穴 12 0...晶(2 410...引動器孔 130…帶 41 5...埋頭孔部 140...支座 440...凹部 15 0...傳動系統 460...導管 200...載架頭 422...螺栓孔 210...傳動板 510，530...凹部 212...凸部 520...長槽 220...連桿 522...螺栓孔 230...載架板 600...電路 232…開口 610…位移感測器 240…夾具 620...電路板 250...扣環 61 5...感測器 214...傳動軸 630...放大器 215...引動器 640…類比/數位轉換器 270…蓋 650...微控制器 290…軸 6 6 0...介面驅動器 260···囊袋 670...連接琿 680··.電壓調節器 -----,---「裝------訂------1-, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ 297公釐） -15 -

Claims (1)

1. 經濟部中央榡隼局員Η消費合作社印製 A8 B8 C8 六、申請專利5 ~~~ ~ —·— ι·—種拋光工具用之載架頭，包含： " 一傳動構造； 一卡盤活動式安裝於傳動板上，卡盤包含一夾持 器用於夾持待拋光物件； ' -或多引動器接觸卡盤’其中引動器控制卡盤相 對於傳動構造之定向；及 感測器系統用於感測卡盤之定向。 2. 如申請專利第！項之載架頭，其中該傳動構造聯姓 .可旋轉載架頭之傳動系統，其中引動器之作動可保持 於載架頭旋轉過程中物件表面定位用於抛光。 3. 如申請專利範圍第！項之載架頭，其中卡盤至傳動構造 々活動安裝許可卡盤以抛光墊接觸物件 軸為軸旋轉。 側之 4·如申請專利範圍第丨項之載架頭，募進一步包含： -構造用於介於傳動構造與卡盤間形成密封腔穴 :及 一導管附接於該密封腔穴，其中通過導管之流加 壓封閉腔穴並提供壓力將卡盤推離傳動構造。 5·如申請專利範圍第！項之載架頭，其進_步包含一㈣ 電路安裝於載架頭上。 6. 如申請專利範圍第5項之載架頭，其中該控制電路及感 測器係安裝於卡盤上。 7. 如申請專利範圍第丨項之載架頭，其中 該卡盤包含一板其有複數開口；及 本紙張國家梯 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

   -16- 圍範 利請 中 ABCD 合凸4具有圓化部設置 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 於板之對應開口之—且齧合開口壁 8.如申請專利範圍第7項之載架頭，其中該 包括-滚珠於凸部末端。 ’、X。之化部 9·如申請專利範圍第1項之裁架頭 10.如申請專利範圍第！項之載架頭 測卡盤相對於傳動構造之定向。 —種拋光工具，其包含： 一拋光面； 一載架頭其包含： 一傳動構造； -卡盤活動式安震於傳動板上，該卡盤包含一夾 持器用於夾持待拋光物件； -或多？丨動ϋ接觸卡盤，其中該等引動器控制卡 盤相對於傳動構造之定向；及 感測器系統用於感測卡盤之定向.及 一控制系統聯結至感測器系統及引動器， 其中該控制系統接受來自感測器系統之測量值並 基於該測量值操作引動器而保持物件位置牴住拋光用 之抛光面。 12. —種拋光物件之方法，其包含： 女ι物件於卡盤上’其中該卡盤係活動式安裝於 傳動構造上； 施力於卡盤，故物件座落於拋光位置牴住拋光墊 其中該物件為晶圓。 其·中該感測器系統感 ------Ί裝— (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -17- 六、申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 當物件位於拋光位置時，決定卡盤相對於傳動構 造之定向； 旋轉卡盤；及 施力於卡盤而視需要改變卡盤相對於傳動構造 定向而維持物件於拋光位置。 13. 如申請專利範圍第12項之方法，其進一步包含： 測量當卡盤旋轉時卡盤相對於傳動構造之定向； 及 ° 分析定向測量值，其中 施力於卡盤包含施加根據分析選擇之力。 14. 如申請專利範圍第12項之方法’ &中施力於卡盤包含 作動引動器其施力於傳動構造與卡盤間口 15. —種載架頭，其包含： 一载架板其包含複數開口；及 一傳動板其包含複數凸部，各占部於凸邹末端有 :珠’各滾珠係設置於載架板之對應開口並發合開 16·ΠΠ範圍第〗5項之載架頭，其中該傳動板進— ^包含-傳動抽用於載架頭旋轉過程中安裳於傳動 之 馬 (請先閱讀背面之注^!^>項再填寫本頁) 裝- 訂 ______ -t ~I----- 如申請專利範圍第16項之载架 、員，其進一步包今— 性囊袋附接於載架板，其中一 ' Ψ 導管係設置於傕叙^ 聯結而施加壓力膨脹軟性囊袋。 、得動軸 (cm) A4*m 且 m m · 18- A8 B8 C8 D8

   申請專利範圍 18. 如申請專利範圍第17項之載⑪ 晶圓赴鄰軟性囊袋之構造， &纟包含夾持 於晶圓。 &之脹大施加壓力 19. 如申請專利範圍第15項之載架頭， 係設置於對中於載架頭轉轴中心之圓周邊開口 2〇·如申請專利範圍第19項之栽架頭 徑向方向伸長。 、中”亥專開口係於 21.—種載架頭，其包含： 一軟性囊袋； -傳動板其具有一傳動軸用於載架頭旋轉過程令 安裝於傳動馬達，其中-導管係設置於傳動轴並聯結 而施加壓力脹大軟性囊袋；及 之 一構造用於夾持晶圓牴住軟性囊袋，其中囊袋 脹大可施力於晶圓。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇 X 297公釐） -19-