TW202232045A - 掃描式自混合干涉系統及感測器 - Google Patents

Abstract

本發明描述用於量測物件之深度及/或速度的自混合干涉儀（SMI）裝置及技術。該等SMI裝置及技術可用於眼球追蹤。一SMI感測器之一光源發射相干光，該相干光藉由一掃描模組引導至一目標位置。量測一或多個SMI信號。該一或多個SMI信號係由該SMI感測器回應於自該目標位置接收之回饋光而產生的。該回饋光為照明該目標位置之該相干光之一部分。

Description

掃描式自混合干涉系統及感測器

本揭示內容大體上係關於光學件，且尤其係關於光學感測。

已開發出多種電及光學感測器以量測近接度及/或距離。為了提高感測器準確性，可使用陣列感測器，其中陣列中之感測器定位於不同位置處。然而，增加感測器之數目增加了產品之處理及電力成本，以及增加了架構複雜性且增加了產品之所需大小及重量。

在一個具體實施例中，本發明提供一種眼球追蹤裝置，其包含：自混合干涉儀（SMI），其包括：紅外光光源，其包括被配置以發射相干紅外光之光學腔；及光感測器，其與該紅外光光源光學耦接；以及掃描模組，其被配置以將該相干紅外光引導至動眼框位置，其中該SMI之該光感測器被配置以回應進入該紅外光光源之該光學腔的回饋光而產生SMI信號，該回饋光為從該動眼框位置接收回的該相干紅外光之一部分。

在另一個具體實施例中，本發明提供一種感測器，其包含：自混合干涉儀（SMI），其包括被配置以發射相干光之光源；以及掃描模組，其被配置以將該相干光引導至複數個目標位置，其中該SMI亦包括光感測器，其被配置以回應於從該複數個目標位置接收回之回饋光而產生複數個SMI信號。

在另一個具體實施例中，本發明提供一種眼球追蹤方法，其包含：啟動自混合干涉儀（SMI）之紅外光光源以發射相干紅外光；藉由掃描模組將該相干紅外光引導至動眼框位置；以及量測由該SMI回應於從該動眼框位置接收回之回饋紅外光而產生的SMI信號，其中該回饋紅外光為該相干紅外光之一部分。

本文描述掃描式自混合干涉之具體實例。在以下描述中，闡述了許多特定細節，以便提供對具體實例之透徹理解。然而，所屬技術領域中具有通常知識者將認識到，可在無特定細節中之一或多者的情況下或藉由其他方法、組件、材料等實踐本文中所描述之技術。在其他情況下，未詳細展示或描述熟知結構、材料或操作以避免混淆某些態樣。

貫穿本說明書對「一個具體實例」或「一具體實例」之提及意謂結合該具體實例所描述之特定特徵、結構或特性包括於本發明之至少一個具體實例中。因此，片語「在一個具體實例中」或「在一具體實例中」貫穿本說明書在各處之出現未必皆指同一具體實例。此外，可在一或多個具體實例中以任何合適方式組合該等特定特徵、結構或特性。

在本揭示內容之態樣中，可見光可被定義為具有大致380 nm - 700 nm之波長範圍。非可見光可被定義為具有在可見光範圍外之波長的光，諸如紫外光及紅外光。紅外光具有大致700 nm - 1 mm之波長範圍。紅外光可包括近紅外光。在本揭示內容之態樣中，近紅外光可被定義為具有大致700 nm - 1.4 µm之波長範圍。

在本揭示內容之一些實施方案中，術語「近眼」可被定義為包括被配置以在利用近眼裝置時被置放於距離使用者之眼球50 mm內的元件。因此，「近眼光學元件」或「近眼系統」將包括被配置以置放於距離使用者之眼球50 mm內的一或多個元件。

在本揭示內容之態樣中，術語「透明」可被定義為具有大於90%的光透射率。在一些態樣中，術語「透明」可被定義為具有大於90%之可見光透射率的材料。

自混合干涉技術包括自光源（例如，雷射）發射相干光且回應於由光源之光學腔接收之回饋光而產生SMI信號。典型地，自混合干涉儀（SMI）包括光源（例如，雷射）及經光學耦接以自光源之光學腔接收光學信號之光感測器（例如，光電二極體）。雖然SMI用作感測器以對特定位置之深度及/或速度量測進行取樣，但在複數個位置之上產生多個樣本可為有利的。此可允許物件之較佳映射且增大量測之準確性。然而，增加系統中SMI感測器之數目產生增加之架構複雜性且增加了電力及處理成本。

其中可使用一或多個SMI感測器之一些情境亦可對重量及大小需求敏感。在頭戴式裝置之特定情境中，複數個SMI感測器可能顯現為不利地影響頭戴式裝置之使用者之視場的遮擋。此外，用以操作複數個SMI感測器之電佈線可能不利地影響使用者之視場。

本揭示內容之具體實例包括使用與SMI感測器配對之掃描模組（例如，微機電系統掃描儀）來產生物件之複數個點之SMI信號的感測系統、方法及裝置。掃描模組可以相對高掃描頻率（例如，1 kHz或更大）操作以產生與物件之複數個點對應的許多SMI信號。自SMI信號計算之速度及/或深度量測提供物件之較佳映射及增加之準確性。此感測技術之一個特定情境為諸如頭戴式顯示器（HMD）之頭戴式裝置中之眼球追蹤。在此情境中，所揭示之感測技術不一定需要外部攝影機以出於眼球追蹤之目的而對眼球進行成像。在一些情境中，自SMI感測器產生之速度及/或深度量測係藉由來自眼球追蹤攝影機之影像資料擴增以產生頭戴式裝置之使用者之眼球的眼球資料。相較於其他解決方案，實施本揭示內容之感測系統、感測器及/或方法增加了感測準確性，同時降低了硬體及軟體架構之複雜性。結合圖1至圖7更詳細地描述此等及其他具體實例。

圖1說明根據本揭示內容之具體實例的包括掃描模組及自混合干涉儀（SMI）的實例頭戴式裝置100。頭戴式裝置100包括耦接至臂111A及111B之框架114。鏡片121A及121B安裝至框架114。鏡片121可為與頭戴式裝置100之特定穿戴者匹配的處方鏡片，或非處方鏡片。所說明之頭戴式裝置100被配置以穿戴於頭戴式裝置之使用者的頭部上或周圍。

頭戴式裝置100之框架114及臂111可包括頭戴式裝置100之支撐硬體。由於頭戴式裝置包括電子件，因此頭戴式裝置100可被視為「電子眼鏡」。頭戴式裝置100可包括以下中之任一者：處理邏輯、用於發送及接收資料之有線及/或無線資料介面、圖形處理器，以及用於儲存資料及電腦可執行指令之一或多個記憶體。在一個具體實例中，頭戴式裝置100可被配置以接收有線電力。在一個具體實例中，頭戴式裝置100被配置以由一或多個電池供電。在一個具體實例中，頭戴式裝置100可被配置以經由有線通信通道接收包括視訊資料之有線資料。在一個具體實例中，頭戴式裝置100被配置以經由無線通信通道接收包括視訊資料之無線資料。

在頭戴式裝置100被配置有用於將影像呈現至使用者之眼球的近眼顯示器時，頭戴式裝置100可為頭戴式顯示器（HMD）。在圖1中，每一鏡片121包括波導150以將由顯示器130產生之顯示光引導至動眼框區域以供頭戴式裝置100之穿戴者觀看。顯示器130可包括LCD、有機發光二極體（OLED）顯示器、微型LED顯示器、量子點顯示器、微微投影儀或矽上液晶（LCOS）顯示器以用於將顯示光引導至頭戴式裝置100之穿戴者。在一些實施方案中，不同於圖1中所說明之實例實施方案的近眼顯示架構當然可用作替代方案。

鏡片121對使用者來說可呈現為透明的以促進擴增實境或混合實境，其中使用者可觀看來自其周圍之環境的場景光，同時亦接收藉由波導150引導至其眼球之顯示光。因此，鏡片121可被視為（或包括）光學組合器。在一些具體實例中，顯示光僅引導至頭戴式裝置100之穿戴者之一隻眼球中。在具體實例中，顯示器130A及130B兩者經包括以分別將顯示光引導至波導150A及150B中。

圖1之實例頭戴式裝置100包括攝影機147。攝影機147可包括互補金氧半導體（CMOS）影像感測器。接收窄頻紅外波長之紅外濾光器可置放於影像感測器之上，因此其對窄頻紅外波長敏感，同時拒絕可見光及窄頻外之波長。發射窄頻波長之紅外照明器（未說明），諸如紅外LED或垂直腔面射型雷射（VCSEL），可經定向以藉由窄頻紅外波長照明動眼框區域。在一個具體實例中，紅外光為近紅外光。在一實施方案中，近紅外光以850 nm為中心。攝影機147可安裝於頭戴式裝置100之邊撐器之內部上。在一些實施方案中，由攝影機147捕獲之眼球之影像可用於眼球追蹤目的。攝影機147可直接對眼球進行成像或藉助於包括於鏡片121B中之光學組合器（未說明）對眼球進行成像，該光學組合器將（由使用者之眼球反射或散射之）紅外光引導至攝影機147。

圖1之實例頭戴式裝置100包括實例場內元件133及實例場外元件135。場內元件133將在頭戴式裝置100之使用者之視場（FOV）中，因為元件133包括於鏡片121B中。場外元件135將在頭戴式裝置100之使用者之FOV外。本揭示內容之SMI感測器及系統可具有場內元件及/或場外元件。雖然未具體說明，但SMI感測硬體亦可與鏡片121A相關聯。儘管攝影機147以及元件133及135僅在頭戴式裝置100之一側上說明，但其當然可在頭戴式裝置100之另一側上（例如，在鏡片121A附近）重複以促進頭戴式裝置100之穿戴者的兩個眼球之成像。

圖2A說明根據本發明之態樣的包括與掃描模組230耦接的SMI感測器240的實例SMI實施方案200。雖然SMI實施方案200可用於多種情境中，但在針對眼球280之眼球追蹤的近眼感測之情境中說明本揭示內容之一些實例說明。SMI實施方案200說明掃描模組230及SMI感測器240可與透明或半透明光學元件221耦接。舉例言之，光學元件221可包括於圖1之鏡片121中。光學元件221可將場景光295自頭戴式裝置100之使用者之環境傳遞（傳輸）至眼球280。圖2A亦說明在其中頭戴式裝置亦為HMD的實施方案中，光學元件221可將顯示光296傳遞至眼球280以將包括於顯示光296中之影像呈現至HMD之使用者之眼球280。

掃描模組230可為能夠沿著一或多個軸線231斜側及/或傾斜的一維（1D）或二維（2D）掃描模組。掃描模組230可包括微機電系統（MEMS）掃描儀。掃描模組230可具有在0.1 kHz與50 kHz之間的掃描頻率。在一些實施方案中，掃描模組230之掃描頻率可允許掃描模組230每秒將相干光290引導至120或更多個動眼框位置。在一實施方案中，掃描頻率為10 kHz。在一實施方案中，掃描頻率為100 kHz。掃描模組230可包括諧振掃描儀技術或準靜態掃描儀技術。掃描模組230可利用部署在用於顯示器之微鏡技術中的類似MEMS技術。

掃描模組230與SMI感測器240耦接。舉例言之，SMI感測器240可接合至掃描模組230之可移動部分，因此掃描模組230能夠沿著一或多個軸線231移動SMI感測器240。SMI感測器240包括光源（例如，近紅外雷射）及光感測器（例如，光電二極體）。光源可為發射紅外光之紅外光光源。光源可為發射近紅外光之近紅外光光源。光源發射相干光。光源可為雷射。

圖3說明根據本發明之態樣的可用作SMI感測器240之實例SMI感測器340的分解視圖。圖3說明與移動SMI感測器340之掃描模組330耦接的SMI感測器340。掃描模組330可包括掃描模組230之特徵。掃描模組330被配置以沿著軸線331斜側及沿著軸線332傾斜以提供2D掃描功能性。SMI感測器340之分解視圖（由對角虛線指示）展示SMI感測器340包括光源310及光感測器360。實例光感測器360說明為光電二極體，但光感測器360可為替代光電感測器。

光源310包括由兩個反射元件（例如，反射表面312及314）界定之腔316（例如，光學腔，其可為雷射腔）。在一些具體實例中，反射元件為分佈式布拉格反射器。在一些具體實例中，光源310可為雷射源，諸如垂直腔面射型雷射（VCSEL）或垂直外腔面射型雷射（VECSEL）。

光學腔316用於產生相干光390，並且光源310經定位以朝向物件380輸出相干光390之至少部分。表面312為半反射的（例如，表面312為部分反射及部分透射鏡）。舉例言之，表面314之反射率大於表面312之反射率（例如，表面314具有100%、99.99%、99.9%、99%、98%、97%、96%、95%、90%或前述值中之任兩者之間的區間的反射率，並且表面312具有99.99%、99.9%、99%、98%、97%、96%、95%、90%或前述值中之任兩者之間的區間的反射率）。在一些組態中，表面312具有至少0.01%、0.1%、1%或前述值中之任兩者之間的區間的透射率。表面312將朝向腔316內之表面312傳播的光之部分反射回表面314，並且透射朝向光學腔316內之表面312傳播的光之部分（例如，表面312被配置以將在腔316內部產生的光之至少部分反射回腔316中且透射在腔316內部產生的光之至少部分）。透射光自光源310發射為相干光390。SMI感測器340（且因此SMI感測器340之光源310）被配置以（例如，經定位以）經由表面312接收自物件380返回的相干光之至少部分作為回饋光392。物件380將入射相干光390之部分反射或散射回表面312作為回饋光392。回饋光392可沿著被視為入射至給定目標位置上的相干光390之反向光學路徑的光學路徑傳播。回饋光392進入光源310之光學腔316且干涉光學腔316內部之相干光之產生，從而導致所產生相干光之強度的調變。

經調變相干光394（例如，具有經調變強度之相干光）自光源310輸出（例如，自腔316輸出），並且經調變相干光394之至少部分由光感測器360接收及偵測。光感測器360被配置以基於經調變相干光394之經偵測強度（例如，經調變強度）而產生一或多個SMI信號363。關於物件380之移動資訊（例如，眼球280之瞳孔之移動）之資訊可藉由分析由光感測器360產生之經調變相干光394或一或多個SMI信號363來判定。舉例言之，可回應於由光感測器360之光電二極體回應於經調變相干光394而產生的電流來產生SMI信號363。

此量測技術被稱為「自混合干涉」，其中相干光（例如，雷射光束）自目標（例如，諸如眼球之目標物件）反射回光源（例如，雷射腔）中，並且反射光干涉以及調變在光源內部產生之相干光（例如，調變由光源產生之光的功率及/或強度）。關於目標之位置及/或移動資訊可自（例如，基於、使用）經調變相干光之強度或功率量測判定。自混合干涉亦被稱為「回饋干涉」、「感應調變干涉」及「反向散射調變干涉」。

SMI感測器340（且因此SMI感測器340之光源310）被配置以（例如，經定位以）經由表面312朝向物件380輸出相干光390。在本揭示內容之一些情境中，物件380可為頭戴式裝置之使用者之眼球或動眼框區域。SMI感測器340（且因此SMI感測器340之光源310）亦被配置以（例如，經定位以）經由表面312接收自物件380返回的相干光之至少部分作為回饋光392。物件380將入射相干光390之部分反射或散射回表面312作為回饋光392。由於表面314為半反射的（例如，部分反射及部分透射鏡），因此在腔316內部產生之相干光之至少部分經由表面314自光源310朝向光感測器360輸出。光感測器360被配置以（例如，經定位以）經由表面314接收（例如，偵測）自光源310輸出之經調變相干光394之至少部分，並且基於經調變相干光394之經偵測強度（例如，經調變強度）而產生一或多個SMI信號363。

圖3之實例系統300包括被配置以自SMI感測器340之光感測器360接收一或多個SMI信號363的處理邏輯350。系統300可視情況包括用於捕獲物件380之影像的攝影機370。攝影機370可包括CMOS影像感測器且經定位以對物件380進行成像。處理邏輯350可被配置以自攝影機370接收影像資料373，其中影像資料373包括物件380之影像。在其中物件380為眼球280之一些實施方案中，影像資料373為眼球影像資料且處理邏輯350被配置以自攝影機370接收眼球影像資料。處理邏輯350可接著回應於接收SMI信號363及眼球影像資料373而產生資料353。因此，影像資料373可用於擴增SMI信號363以產生包括關於物件380之位置及/或移動資訊的資料353。在一些實施方案中，不使用攝影機370且在無來自攝影機370之影像資料373的情況下產生資料353。在物件380為眼球280時，影像資料373為眼球影像資料373且資料353為眼球資料353。

在圖3之實例說明中，處理邏輯350被配置以藉助於通信通道X1啟動光源310。舉例言之，啟動光源310可包括藉由電流或電壓接通光源310及/或調變光源310。在圖3中，處理邏輯350亦被配置以藉助於通信通道X2調整掃描模組330。

在操作中，處理邏輯350可驅動掃描模組330以調整掃描模組330以移動SMI感測器340，使得光源310將相干光390引導至第一目標位置381。在目標380為眼球時，第一目標位置381可為第一動眼框位置且光源310可為產生相干紅外光之紅外光光源。相干光390之部分由物件380反射及/或散射且進入光學腔316。光感測器360回應於第一經調變相干光394而產生第一SMI信號363。影像資料373可在與光源310用相干光390照明第一目標位置381重疊的時段中由攝影機370產生。處理邏輯350回應於第一SMI信號363及第一影像資料373而產生第一資料353，其中在第一時段期間捕獲第一SMI信號363及第一影像資料373。

在第一時段之後的第二時段中，處理邏輯350可驅動掃描模組330以調整掃描模組330以移動SMI感測器340，使得光源310將相干光390引導至第二目標位置382。光感測器360回應於第二經調變相干光394而產生第二SMI信號363。第二影像資料373可在與光源310用相干光390照明第二目標位置382重疊的時段中由攝影機370產生。處理邏輯350回應於第二SMI信號363及第二影像資料373而產生第二資料353，其中在第二時段期間捕獲第二SMI信號363及第二影像資料373。

因此，系統300被配置以在第一時段內產生第一目標資料353以量測目標位置381，在第二時段內產生第二目標資料353以量測目標位置382，以及繼續光柵掃描掃描模組330，使得SMI感測器340針對物件380之每一目標位置（例如，目標位置383及384）產生SMI信號363。藉由以高掃描頻率（例如，1 kHz或更多）進行掃描，物件380之準確移動及/或位置資料可藉由每秒量測數百個目標位置而產生。在眼球追蹤之情境中，目標位置381、382、383及384可為動眼框位置381、382、383及384。

圖2A說明掃描模組230可經調整以移動SMI感測器240以將相干光290引導至動眼框位置281，以藉由量測自動眼框位置281反射及/或散射之回饋光292而產生動眼框位置281之第一SMI信號。回饋光292可沿著被視為入射至給定動眼框位置上的相干光290之反向光學路徑的光學路徑傳播。在第二時段時，圖2B說明掃描模組230可經調整以移動SMI感測器240以將相干光291引導至動眼框位置282，以藉由量測自動眼框位置282反射及/或散射之回饋光293而產生動眼框位置282之第二SMI信號。當然，此過程可經重複以將掃描模組230光柵掃描至複數個動眼框位置以針對每一動眼框位置量測回饋光（及產生對應SMI信號363）。

圖4A說明根據本發明之態樣的包括被配置以移動SMI感測器440以藉助於反射元件427將相干光490引導至動眼框位置281之掃描模組430的SMI實施方案400。SMI感測器440與掃描模組430耦接，使得掃描模組430移動SMI感測器440以將相干光490引導至不同動眼框位置。SMI感測器440可包括SMI感測器240及/或340之特徵。掃描模組430可為能夠沿著一或多個軸線431斜側及/或傾斜的一維（1D）或二維（2D）掃描模組。掃描模組430可具有掃描模組230及/或330之特徵。

反射元件427被配置以自SMI感測器440之光源接收相干光490且將相干光490重新引導至動眼框位置281。反射元件427亦被配置以自動眼框位置281接收回饋光492且將回饋光492重新引導至SMI感測器440之光源之光學腔，使得SMI感測器440可產生關於動眼框位置281之SMI信號。回饋光492可沿著被視為入射至給定動眼框位置上的相干光490之反向光學路徑的光學路徑傳播。

SMI實施方案400包括包括反射元件427之透明或半透明光學元件421。舉例言之，反射元件427可為經調諧以反射相干光490之波長的鏡、半鏡像表面、全像反射器或繞射光柵。舉例言之，光學元件421可包括於圖1之鏡片121中。光學元件421可將場景光295自頭戴式裝置100之使用者之環境傳遞（傳輸）至眼球280。圖4A亦說明在其中頭戴式裝置亦為HMD的實施方案中，光學元件421可將顯示光296傳遞至眼球280以將包括於顯示光296中之影像呈現至HMD之使用者之眼球280。

圖4A說明掃描模組430可經調整以移動SMI感測器440以引導相干光490反射離開反射元件427以照明動眼框位置281，以藉由量測自動眼框位置281反射及/或散射之回饋光492而產生動眼框位置281之第一SMI信號。在第二時段時，圖4B說明掃描模組430可經調整以移動SMI感測器440以將相干光491引導至動眼框位置282，以藉由量測自動眼框位置282反射及/或散射之回饋光493而產生動眼框位置282之第二SMI信號。當然，SMI實施方案400可經驅動以繼續沿著一或多個軸線431調整掃描模組430以照明眼球280之不同動眼框位置以產生對應於不同動眼框位置之SMI信號。

圖5A及圖5B說明根據本發明之態樣的具有包括反射元件527以將自SMI感測器540接收之相干光590重新引導至動眼框位置之掃描模組530的SMI實施方案500。在SMI實施方案500中，SMI感測器540為靜止的且掃描模組530之反射元件527提供掃描功能性。因此，SMI感測器540被配置以將相干光590指向至反射元件527，並且掃描模組530被配置以藉由調整反射元件527以將由SMI感測器540之光源發射之相干光590引導至動眼框位置281來將相干光590引導至動眼框位置281。當然，在沿著一或多個軸線531調整掃描模組530時，掃描模組530可將相干光590引導至不同動眼框位置。SMI感測器540可包括SMI感測器240及/或340之特徵。掃描模組530可為能夠沿著一或多個軸線531斜側及/或傾斜的一維（1D）或二維（2D）掃描模組。掃描模組530可包括掃描模組230之特徵。掃描模組530可與光學元件521耦接。

掃描模組530被配置以移動反射元件527以自SMI感測器540之光感測器接收相干光590且將相干光590重新引導至動眼框位置281。藉由進行此操作，反射元件527亦經定位以自動眼框位置281接收回饋光592且將回饋光592重新引導至SMI感測器540之光源之光學腔，使得SMI感測器540可產生關於動眼框位置281之SMI信號。回饋光592可沿著被視為入射至給定動眼框位置上的相干光590之反向光學路徑的光學路徑傳播。

舉例言之，反射元件527可為經調諧以反射相干光590之波長的鏡、半鏡像表面、全像反射器、可變形鏡或繞射光柵。舉例言之，光學元件521可包括於圖1之鏡片121中。光學元件521可將場景光295自頭戴式裝置100之使用者之環境傳遞（傳輸）至眼球280。圖5A亦說明在其中頭戴式裝置亦為HMD的實施方案中，光學元件521可將顯示光296傳遞至眼球280以將包括於顯示光296中之影像呈現至HMD之使用者之眼球280。

圖5A說明掃描模組530可經調整以移動反射元件527以重新引導相干光590反射離開反射元件527以照明動眼框位置281，以藉由量測自動眼框位置281反射及/或散射之回饋光592而產生動眼框位置281之第一SMI信號。第一SMI信號係由SMI感測器540之光感測器（例如，光感測器360）產生的。在第二時段時，圖5B說明掃描模組530可經調整以移動反射元件527以將相干光591重新引導至動眼框位置282，以藉由量測自動眼框位置282反射及/或散射之回饋光593而產生動眼框位置282之第二SMI信號。第二SMI信號係由SMI感測器540之光感測器產生的。當然，SMI實施方案500可經驅動以繼續沿著一或多個軸線531調整掃描模組530以照明眼球280之不同動眼框位置以產生對應於不同動眼框位置之SMI信號。

圖6A及圖6B說明根據本發明之態樣的具有包括反射元件627以經由波導621將自SMI感測器640接收之相干光690重新引導至不同動眼框位置之掃描模組630的SMI實施方案600。在SMI實施方案600中，SMI感測器640為靜止的且掃描模組630之反射元件627提供掃描功能性。因此，SMI感測器640被配置以將相干光690指向至反射元件627，並且掃描模組630被配置以藉由調整反射元件627以將由SMI感測器640之光源發射之相干光690引導至波導621之第一輸出光柵626來將相干光690引導至動眼框位置281。第一輸出光柵626將相干光690引導至第一動眼框位置281。在圖6A之所說明實施方案中，波導621將相干光690約束在波導621內，直至輸出光柵626將相干光690向外耦接至動眼框位置281。舉例言之，波導621可使用全內反射（TIR）或使用鏡像或部分鏡像表面來將相干光690約束在波導621。波導621可包括相干光690傳播通過之透明折射材料。波導621可包括具有高於周圍介質之折射率的折射率的透明折射材料以促進TIR。相干光690及回饋光692可反射離開波導621之邊界，同時在波導621中傳播，如圖6A及6B中所說明。

SMI感測器640可包括SMI感測器240及/或340之特徵。SMI感測器640可在併有SMI實施方案600之頭戴式裝置的使用者之FOV之場外。掃描模組630可為能夠沿著一或多個軸線631斜側及/或傾斜的一維（1D）或二維（2D）掃描模組。掃描模組630可包括掃描模組230之特徵。掃描模組630亦可在併有SMI實施方案600之頭戴式裝置的使用者之FOV之場外。

舉例言之，反射元件627可為經調諧以反射相干光690之波長的鏡、半鏡像表面或繞射光柵。舉例言之，波導621可包括於圖1之鏡片121中。波導621可將場景光295自頭戴式裝置100之使用者之環境傳遞（傳輸）至眼球280。圖6A亦說明在其中頭戴式裝置亦為HMD的實施方案中，波導621可將顯示光296傳遞至眼球280以將包括於顯示光296中之影像呈現至HMD之使用者之眼球280。

掃描模組630被配置以移動反射元件627以自SMI感測器640之光感測器接收相干光690且經由輸出光柵626將相干光690重新引導至動眼框位置281。藉由進行此操作，反射元件627亦經定位以自動眼框位置281接收回饋光692且將回饋光692重新引導至SMI感測器640之光源之光學腔，使得SMI感測器640可產生關於動眼框位置281之SMI信號。回饋光692可沿著被視為入射至給定動眼框位置上的相干光690之反向光學路徑的光學路徑傳播。因此，回饋光692可按彼次序傳播通過第一輸出光柵626，傳播通過波導621，反射離開反射元件627，並且接著進入SMI感測器640之光源之光學腔。

圖6A說明掃描模組630可經調整（在第一時段期間）以移動反射元件627以將相干光690重新引導至波導621之第一輸出光柵626以照明動眼框位置281，以藉由量測自動眼框位置281反射及/或散射之回饋光692而產生動眼框位置281之第一SMI信號。第一SMI信號係由SMI感測器640之光感測器（例如，光感測器360）產生的。在第二時段時，圖6B說明掃描模組630可經調整以移動反射元件627以將相干光691重新引導至波導621之第二輸出光柵628以照明動眼框位置282，以藉由量測自動眼框位置282反射及/或散射之回饋光693而產生動眼框位置282之第二SMI信號。第二SMI信號係由SMI感測器640之光感測器產生的。雖然實例波導621僅說明有兩個實例輸出光柵，但所屬技術領域中具有通常知識者應瞭解，許多不同輸出光柵可能包括於波導621中，其中每一不同輸出光柵對應於將相干光引導至不同動眼框位置。因此，可沿著一或多個軸線231調整掃描模組630以藉由將相干光引導至複數個輸出光柵當中之特定輸出光柵來將相干光自SMI感測器640之光感測器引導至複數個動眼框位置。此將產生對應於不同動眼框位置之複數個SMI信號。複數個SMI信號可用於判定眼球之位置及/或移動資訊。

圖7說明根據本發明之態樣的實例SMI眼球追蹤過程700。過程區塊中之一些或全部在過程700中出現的次序不應被認為限制性的。實情為，受益於本揭示內容之所屬領域中具有通常知識者將理解，過程區塊中之一些可以未說明之多種次序執行，或甚至並行地執行。在一些實施方案中，處理邏輯（例如，處理邏輯350）可執行眼球追蹤過程700之過程快中之一些或全部。

在過程區塊705中，自混合干涉儀（SMI）之紅外光光源經啟動以發射相干紅外光。舉例言之，SMI感測器340之光源310可為發射相干紅外光390之紅外光光源。舉例言之，處理邏輯350可藉由將啟動信號驅動至通信通道X1上來啟動紅外光光源。處理邏輯350可併入至SMI實施方案200、400、500或600中之任一者中。

在過程區塊710中，藉由掃描模組（例如，掃描模組230、330、430、530或630）將相干紅外光引導至動眼框位置（例如，動眼框位置281）。

在過程區塊715中，量測SMI信號。由SMI（例如，SMI感測器340）回應於自動眼框位置接收回之回饋紅外光（例如，回饋光392）而產生SMI信號（例如，SMI信號363）。回饋紅外光為相干紅外光之部分。

在過程700之實施方案中，SMI與掃描模組耦接，並且藉由掃描模組將相干紅外光引導至動眼框位置包括調整掃描模組以移動SMI以將SMI之相干紅外光引導至動眼框位置。

在一些實施方案中，掃描模組包括反射元件且SMI被配置以將相干紅外光指向至反射元件。藉由掃描模組將相干紅外光引導至動眼框位置可包括調整反射元件以將SMI之相干紅外光重新引導至動眼框位置。

藉由掃描模組將相干紅外光引導至動眼框位置可包括將相干紅外光引導至近眼波導之特定輸出光柵。舉例言之，SMI實施方案600包括包括輸出光柵626及628之近眼波導621。

在偵測物件（例如，物件380）之深度及/或速度量測之情境以及偵測眼球280之深度及/或速度量測之情境中論述本揭示內容之實施方案。所屬技術領域中具有通常知識者瞭解，關於物件380所描述之SMI技術可用於感測眼球280，並且關於感測眼球280所描述之SMI技術可更通常應用於感測其他物件。此外，雖然未具體說明，但SMI實施方案100、200、400、500及600可包括處理邏輯（例如，處理邏輯350）及視情況選用之攝影機（例如，攝影機370）以執行關於不同實施方案所描述之掃描及量測功能。處理邏輯可包括於頭戴式裝置（例如，頭戴式裝置100）中以在頭戴式裝置中實施SMI眼球追蹤技術。應進一步瞭解，描述發射紅外光光源之紅外光光源的本揭示內容之實施方案可為發射近紅外光之近紅外光光源。舉例言之，本揭示內容中所描述之光源中之一些可發射以850 nm或940 nm為中心之相干近紅外光。

本發明之具體實例可包括人工實境系統或可結合人工實境系統來實施。人工實境係在呈現給使用者之前已以某一方式調整之實境形式，其可包括例如虛擬實境（VR）、擴增實境（AR）、混合實境（MR）、混雜實境或其某一組合及/或衍生物。人工實境內容可包括完全產生內容或與所捕獲之（例如，真實世界）內容組合之所產生內容。人工實境內容可包括視訊、音訊、觸覺回饋或其某一組合，並且其中之任一者可在單一通道中或在多個通道中呈現（諸如，對觀看者產生三維效應之立體聲視訊）。另外，在一些具體實例中，人工實境亦可與用於例如在人工實境中創造內容及/或另外用於人工實境中（例如，在人工實境中執行活動）之應用、產品、配件、服務或其某一組合相關聯。提供人工實境內容之人工實境系統可實施於各種平台上，包括連接至主機電腦系統之頭戴式顯示器（HMD）、獨立式HMD、行動裝置或計算系統，或能夠將人工實境內容提供至一或多個觀看者之任何其他硬體平台。

本揭示內容中之術語「處理邏輯」（例如，350）可包括一或多個處理器、微處理器、多核心處理器、特殊應用積體電路（Application-specific integrated circuit；ASIC）及/或場可程式化閘陣列（Field Programmable Gate Array；FPGA）以執行本文中所揭示的操作。在一些具體實例中，記憶體（未說明）經整合至處理邏輯中，以儲存用以執行操作之指令及/或儲存資料。處理邏輯亦可包括類比或數位電路系統，以執行根據本揭示內容之具體實例的操作。

本揭示內容中所描述之「記憶體（memory或memories）」可包括一或多個揮發性或非揮發性記憶體架構。「記憶體（memory或memories）」可為以任何方法或技術實施以用於儲存諸如電腦可讀取指令、資料結構、程式模組或其他資料等資訊的抽取式及非抽取式媒體。實例記憶體技術可包括RAM、ROM、EEPROM、快閃記憶體、CD-ROM、數位多功能光碟（digital versatile disk；DVD）、高清晰度多媒體/資料儲存磁碟或其他光學儲存器、盒式磁帶、磁帶、磁碟儲存器或其他磁性儲存裝置，或可用於儲存資訊以供計算裝置存取之任何其他非傳輸媒體。

網路可包括任何網路或網路系統，諸如但不限於以下：對等式網路；區域網路（LAN）；廣域網路（WAN）；公用網路，諸如網際網路；專用網路；蜂巢網路；無線網路；有線網路；無線及有線組合網路；以及衛星網路。

通信通道（例如，通信通道X1及X2）可包括或利用IEEE 802.11協定、藍芽、串列周邊介面（SPI）、內積體電路（I2C）、通用串聯埠（USB）、控制器區域網路（CAN）、蜂巢資料協定（例如，3G、4G、LTE、5G）、光學通信網路、網際網路服務提供者（ISP）、對等式網路、區域網路（LAN）、廣域網路（WAN）、公用網路（例如，「網際網路」）、專用網路、衛星網路或以其他方式經由一或多個有線或無線通信路由。

計算裝置可包括桌上型電腦、膝上型電腦、平板電腦、平板手機、智慧型手機、功能型手機（feature phone）、伺服器電腦或其他。伺服器電腦可在遠端位於資料中心中或在本端儲存。

就電腦軟體及硬體而言描述上文所解釋之過程。所描述之技術可構成體現於有形或非暫時性機器（例如，電腦）可讀取儲存媒體內之機器可執行指令，該等機器可執行指令在由機器執行時將使得機器執行所描述之操作。另外，過程可體現於硬體內，諸如特殊應用積體電路（「ASIC」）或其他。

有形非暫時性機器可讀取儲存媒體包括提供（即，儲存）資訊之任何機構，該資訊呈可由機器（例如，電腦、網路裝置、個人數位助理、製造工具、具有一或多個處理器集合之任何裝置等）存取之形式。舉例言之，機器可讀取儲存媒體包括可記錄/非可記錄媒體（例如，唯讀記憶體（ROM）、隨機存取記憶體（RAM）、磁碟儲存媒體、光學儲存媒體、快閃記憶體裝置等）。

本發明之所說明具體實例的以上描述（包括發明摘要中所描述之內容）並不意欲為詳盡的或將本發明限於所揭示之精確形式。雖然本文中出於說明性目的描述本發明之特定具體實例及實例，但如所屬技術領域中具有通常知識者將認識到，在本發明之範圍內，各種修改係可能的。

根據以上詳細描述，可對本發明作出此等修改。在以下申請專利範圍中所使用之術語不應被視為將本發明限於本說明書中所揭示之特定具體實例。實情為，本發明之範圍應完全由以下申請專利範圍來判定，該申請專利範圍將根據申請專利範圍解釋之已確立原則來解釋。

100:頭戴式裝置/SMI實施方案 111A:臂 111B:臂 114:框架 121A:鏡片 121B:鏡片 130A:顯示器 130B:顯示器 133:場內元件/元件 135:場外元件/元件 147:攝影機 150A:波導 150B:波導 200:SMI實施方案 221:光學元件 230:掃描模組 231:軸線 240:SMI感測器 280:眼球 281:動眼框位置/第一動眼框位置 282:動眼框位置 290:相干光 291:相干光 292:回饋光 293:回饋光 295:場景光 296:顯示光 300:系統 310:光源 312:反射表面/表面 314:反射表面/表面 316:腔/光學腔 330:掃描模組 331:軸線 332:軸線 340:SMI感測器/感測器 350:處理邏輯 353:資料/眼球資料/第一資料/第二資料/第一目標資料/第二目標資料 360:光感測器 363:SMI信號/第一SMI信號/第二SMI信號 370:攝影機 373:影像資料/眼球影像資料/第一影像資料/第二影像資料 380:物件/目標 381:第一目標位置/目標位置/動眼框位置 382:第二目標位置/目標位置/動眼框位置 383:目標位置/動眼框位置 384:目標位置/動眼框位置 390:相干光/相干紅外光 392:回饋光 394:經調變相干光/第一經調變相干光/第二經調變相干光 400:SMI實施方案 421:光學元件 427:反射元件 430:掃描模組 431:軸線 440:SMI感測器 490:相干光 491:相干光 492:回饋光 493:回饋光 500:SMI實施方案 521:光學元件 527:反射元件 530:掃描模組 531:軸線 540:SMI感測器 590:相干光 591:相干光 592:回饋光 593:回饋光 600:SMI實施方案 621:波導/近眼波導 626:第一輸出光柵/輸出光柵 627:反射元件 628:第二輸出光柵/輸出光柵 630:掃描模組 631:軸線 640:SMI感測器 690:相干光 691:相干光 692:回饋光 693:回饋光 700:過程/眼球追蹤過程 705:過程區塊 710:過程區塊 715:過程區塊 X1:通信通道 X2:通信通道

參考以下圖描述本發明之非限制性及非詳盡性的具體實例，其中除非另外指定，否則本案通篇的各種圖式中，相同參考編號指相同部分。

[圖1]說明根據本揭示內容之態樣的包括掃描模組及自混合干涉儀（SMI）之實例頭戴式裝置。

[圖2A]及[圖2B]說明根據本揭示內容之態樣的包括與掃描模組耦接之SMI感測器的實例SMI實施方案。

[圖3]說明根據本揭示內容之態樣的實例SMI感測器之分解視圖。

[圖4A]及[圖4B]說明根據本揭示內容之態樣的包括被配置以移動SMI感測器以藉助於反射元件將相干光引導至動眼框（eyebox）位置之掃描模組的SMI實施方案。

[圖5A]及[圖5B]說明根據本揭示內容之態樣的具有包括反射元件以將自SMI感測器接收之相干光重新引導至動眼框位置之掃描模組的SMI實施方案。

[圖6A]及[圖6B]說明根據本揭示內容之態樣的具有包括反射元件以經由波導將自SMI感測器接收之相干光重新引導至不同動眼框位置之掃描模組的SMI實施方案。

[圖7]說明根據本揭示內容之態樣的實例SMI眼球追蹤過程。

200:SMI實施方案

221:光學元件

230:掃描模組

231:軸線

240:SMI感測器

280:眼球

281:動眼框位置/第一動眼框位置

290:相干光

292:回饋光

295:場景光

296:顯示光

Claims (20)

1. 一種眼球追蹤裝置，其包含： 自混合干涉儀（SMI），其包括： 紅外光光源，其包括被配置以發射相干紅外光之光學腔；及 光感測器，其與該紅外光光源光學耦接；以及 掃描模組，其被配置以將該相干紅外光引導至動眼框位置，其中該SMI之該光感測器被配置以回應進入該紅外光光源之該光學腔的回饋光而產生SMI信號，該回饋光為從該動眼框位置接收回的該相干紅外光之一部分。
2. 如請求項1之眼球追蹤裝置，其中該SMI與該掃描模組耦接，並且其中該掃描模組被配置以藉由調整該掃描模組來移動該SMI以將由該SMI之該紅外光光源所發射之該相干紅外光引導至該動眼框位置而將該相干紅外光引導至該動眼框位置。
3. 如請求項2之眼球追蹤裝置，其進一步包含： 反射元件，其被配置以從該SMI之該光感測器接收該相干紅外光且將該相干紅外光重新引導至該動眼框位置，其中該反射元件亦被配置以從該動眼框位置接收該回饋光且將該回饋光重新引導至該紅外光光源之該光學腔。
4. 如請求項1之眼球追蹤裝置，其中該掃描模組包括反射元件，並且該SMI被配置以將該相干紅外光指向至該掃描模組之該反射元件，並且其中該掃描模組被配置以藉由調整該反射元件以將由該SMI之該紅外光光源發射之該相干紅外光重新引導至該動眼框位置來將該相干紅外光引導至該動眼框位置。
5. 如請求項1之眼球追蹤裝置，其進一步包含： 波導，其被配置以從該掃描模組接收該相干紅外光，其中該波導包括第一輸出光柵以將該相干紅外光引導至該動眼框位置，並且其中該掃描模組亦被配置以將該相干紅外光引導至該波導之第二輸出光柵以照明第二動眼框位置。
6. 如請求項5之眼球追蹤裝置，其中該掃描模組被配置以在第二時段期間將該相干紅外光引導至該第二輸出光柵，該第二時段是在該掃描模組將該相干紅外光引導至該第一輸出光柵之第一時段之後。
7. 如請求項1之眼球追蹤裝置，其中該掃描模組被配置以在第二時段期間將該相干紅外光引導至一第二動眼框位置，該第二時段是在該掃描模組將該相干紅外光引導至該動眼框位置之第一時段之後。
8. 如請求項1之眼球追蹤裝置，其進一步包含： 透明光學元件，其將可見光傳遞至該動眼框位置，其中該掃描模組與該透明光學元件耦接。
9. 如請求項1之眼球追蹤裝置，其中該掃描模組被配置以每秒將該相干紅外光引導至120個或更多個動眼框位置。
10. 如請求項1之眼球追蹤裝置，其進一步包含： 處理邏輯，其被配置以從該光感測器接收該SMI信號，其中該處理邏輯進一步被配置以在眼球存在於動眼框中時產生包括眼球之深度或速度量測的眼球資料。
11. 如請求項10之眼球追蹤裝置，其中該處理邏輯被配置以從經定位以對該眼球進行成像之攝影機接收眼球影像資料，並且其中由該處理邏輯產生之該眼球資料是回應於該SMI信號及該眼球影像資料而產生的。
12. 如請求項1之眼球追蹤裝置，其中該掃描模組被配置以將該相干紅外光引導至第二動眼框位置，其中該SMI之該光感測器被配置以回應於進入該紅外光光源之該光學腔的第二回饋光而產生第二SMI信號，該第二回饋光為從該第二動眼框位置接收回的該相干紅外光之一部分。
13. 一種感測器，其包含： 自混合干涉儀（SMI），其包括被配置以發射相干光之光源；以及 掃描模組，其被配置以將該相干光引導至複數個目標位置， 其中該SMI亦包括光感測器，其被配置以回應於從該複數個目標位置接收回之回饋光而產生複數個SMI信號。
14. 如請求項13之感測器，其中該SMI與該掃描模組耦接，並且其中該掃描模組被配置以藉由調整該掃描模組以移動該SMI以將由該SMI之該光源發射之該相干光引導至該複數個目標位置來將該相干光引導至該複數個目標位置。
15. 如請求項13之感測器，其中該掃描模組包括反射元件，並且該SMI被配置以將該相干光指向至該反射元件，並且其中該掃描模組被配置以藉由調整該反射元件以將由該SMI之該光源發射之該相干光重新引導至該複數個目標位置來將該相干光引導至該複數個目標位置。
16. 如請求項13之感測器，其進一步包含： 波導，其被配置以從該掃描模組接收該相干光，其中該波導包括第一輸出光柵以將該相干光引導至該複數個目標位置中之第一目標位置，並且其中該掃描模組亦被配置以將該相干光引導至該波導之第二輸出光柵，照明該複數個目標位置中之第二目標位置。
17. 一種眼球追蹤方法，其包含： 啟動自混合干涉儀（SMI）之紅外光光源以發射相干紅外光； 藉由掃描模組將該相干紅外光引導至動眼框位置；以及 量測由該SMI回應於從該動眼框位置接收回之回饋紅外光而產生的SMI信號，其中該回饋紅外光為該相干紅外光之一部分。
18. 如請求項17之方法，其中該SMI與該掃描模組耦接，並且其中藉由該掃描模組將該相干紅外光引導至該動眼框位置包括調整該掃描模組以移動該SMI以將該SMI之該相干紅外光引導至該動眼框位置。
19. 如請求項17之方法，其中該掃描模組包括反射元件，並且該SMI被配置以將該相干紅外光指向至該反射元件，並且其中藉由該掃描模組將該相干紅外光引導至該動眼框位置包括調整該反射元件以將該SMI之該相干紅外光重新引導至該動眼框位置。
20. 如請求項17之方法，其中藉由該掃描模組將該相干紅外光引導至該動眼框位置包括將該相干紅外光引導至近眼波導之特定輸出光柵。

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