TW202112431A - 用於從氣流移除氣載分子污染物之系統及方法 - Google Patents

用於從氣流移除氣載分子污染物之系統及方法 Download PDF

Info

Publication number
TW202112431A
TW202112431A TW109144283A TW109144283A TW202112431A TW 202112431 A TW202112431 A TW 202112431A TW 109144283 A TW109144283 A TW 109144283A TW 109144283 A TW109144283 A TW 109144283A TW 202112431 A TW202112431 A TW 202112431A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
filter
stack
airborne
organic pollutants
filters
Prior art date
Application number
TW109144283A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI762084B (zh
Inventor
馬克 凡內特
約翰 高卓
猶根 M 羅伯特
Original Assignee
美商恩特葛瑞斯股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 美商恩特葛瑞斯股份有限公司 filed Critical 美商恩特葛瑞斯股份有限公司
Publication of TW202112431A publication Critical patent/TW202112431A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI762084B publication Critical patent/TWI762084B/zh

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
    • B01D53/0454—Controlling adsorption
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/346—Controlling the process
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0084—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours provided with safety means
    • B01D46/0086—Filter condition indicators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/42—Auxiliary equipment or operation thereof
    • B01D46/44—Auxiliary equipment or operation thereof controlling filtration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/56—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with multiple filtering elements, characterised by their mutual disposition
    • B01D46/62—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with multiple filtering elements, characterised by their mutual disposition connected in series
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/88—Replacing filter elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46—Removing components of defined structure
    • B01D53/72—Organic compounds not provided for in groups B01D53/48 - B01D53/70, e.g. hydrocarbons
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/75—Multi-step processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/81—Solid phase processes
    • B01D53/82—Solid phase processes with stationary reactants
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70908—Hygiene, e.g. preventing apparatus pollution, mitigating effect of pollution or removing pollutants from apparatus
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70991—Connection with other apparatus, e.g. multiple exposure stations, particular arrangement of exposure apparatus and pre-exposure and/or post-exposure apparatus; Shared apparatus, e.g. having shared radiation source, shared mask or workpiece stage, shared base-plate; Utilities, e.g. cable, pipe or wireless arrangements for data, power, fluids or vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/40—Nitrogen compounds
    • B01D2257/406—Ammonia
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/70—Organic compounds not provided for in groups B01D2257/00 - B01D2257/602
    • B01D2257/702—Hydrocarbons
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/70—Organic compounds not provided for in groups B01D2257/00 - B01D2257/602
    • B01D2257/702—Hydrocarbons
    • B01D2257/7022—Aliphatic hydrocarbons
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/70—Organic compounds not provided for in groups B01D2257/00 - B01D2257/602
    • B01D2257/702—Hydrocarbons
    • B01D2257/7027—Aromatic hydrocarbons
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2259/00—Type of treatment
    • B01D2259/40—Further details for adsorption processes and devices
    • B01D2259/40083—Regeneration of adsorbents in processes other than pressure or temperature swing adsorption
    • B01D2259/40084—Regeneration of adsorbents in processes other than pressure or temperature swing adsorption by exchanging used adsorbents with fresh adsorbents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2259/00—Type of treatment
    • B01D2259/40—Further details for adsorption processes and devices
    • B01D2259/41—Further details for adsorption processes and devices using plural beds of the same adsorbent in series
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2259/00—Type of treatment
    • B01D2259/40—Further details for adsorption processes and devices
    • B01D2259/414—Further details for adsorption processes and devices using different types of adsorbents
    • B01D2259/4141—Further details for adsorption processes and devices using different types of adsorbents within a single bed
    • B01D2259/4145—Further details for adsorption processes and devices using different types of adsorbents within a single bed arranged in series
    • B01D2259/4146—Contiguous multilayered adsorbents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2259/00—Type of treatment
    • B01D2259/40—Further details for adsorption processes and devices
    • B01D2259/414—Further details for adsorption processes and devices using different types of adsorbents
    • B01D2259/4141—Further details for adsorption processes and devices using different types of adsorbents within a single bed
    • B01D2259/4145—Further details for adsorption processes and devices using different types of adsorbents within a single bed arranged in series
    • B01D2259/4148—Multiple layers positioned apart from each other

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Atmospheric Sciences (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

本發明揭示從氣流移除分子污染物之系統及方法。該系統包括第一、第二及第三過濾器。該第一過濾器從穿過該第一過濾器之氣流移除有機污染物。該第二過濾器在該第一過濾器下游，與該第一過濾器物理及化學可交換且從輸出自該第一過濾器之氣流移除有機污染物。該第二過濾器下游之該第三過濾器與該第一過濾器或該第二過濾器不可交換。當偵測到第一位置之該第一過濾器變得耗盡時，該第一位置過濾器可經第二位置之該第二過濾器替換。在該第二過濾位置插入新過濾器。藉由該第二下游過濾器替換該耗盡第一過濾器降低成本及廢料，同時在該第二位置插入該新過濾器確保移除有機污染物。

Description

用於從氣流移除氣載分子污染物之系統及方法
本發明包括關於過濾器及其製造及使用方法之具體實例。特定言之，本發明包括關於不對稱過濾器及其製造及使用方法之具體實例。
為了從空氣過濾污染物，通常採用氣相過濾，典型地使用以各種方法製造之活性碳。對於嘗試關於氣載分子污染物（AMC）達成極高移除效率，串聯採用之多個過濾器堆疊為所需的。
一些已知空氣純化經設計以防止六甲基二矽氧烷（HMDSO）轉化為三甲基矽烷醇（TMS）。HMDSO在典型地用於移除氨（NH3）的酸性NH3過濾介質上轉化為TMS。TMS為低分子量/低沸點含Si AMC，其經由標準AMC過濾器快速遷移。HMDSO在含有活性碳吸附劑之介質上較佳地俘獲。然而，TMS可在193 nm及248 nm曝光工具光學器件中造成永久光學器件損傷。
其他已知空氣純化防止PGMEA轉化為乙酸。PGMEA在通常用於移除氨的酸性NH3過濾介質上轉化為乙酸。
Figure 02_image001
乙酸可在193 nm及248 nm微影蝕刻曝光工具中有助於抵抗製程變異及潛在材料腐蝕。缺點為一旦偵測到穿透，整個過濾器堆疊經替換，其中過濾器堆疊中之所有樹型過濾器經新過濾器替換。
圖1為習知對稱過濾器堆疊100之示意圖。對稱過濾器堆疊100包括三個過濾器，第一過濾器10、第二過濾器20及第三過濾器30。三個過濾器10、20、30中之每一者具有兩個層，移除有機物或酸或鹼之氣載污染物的介質層1及移除有機物或酸之氣載污染物之另一介質層2。如圖1中所示，第一過濾器10具有兩個介質層，移除有機物或酸或鹼之氣載污染物的介質層1及移除有機物或酸之氣載污染物的另一介質層2。類似地，第二過濾器20具有兩個介質層，移除有機物或酸或鹼之氣載污染物的介質層1及移除有機物或酸之氣載污染物的另一介質層2。第三過濾器30亦具有兩個介質層，移除有機物或酸或鹼之氣載污染物的介質層1及移除有機物或酸之氣載污染物的另一介質層2。
過濾器堆疊100為對稱的，因為第一、第二及第三過濾器10、20、30具有介質層之相同混合或配置。第一及第二過濾器10、20具有彼此對稱之過濾介質1、2，第二及第三過濾器20、30具有彼此對稱之過濾介質1、2，且第三及第一過濾器10、20具有彼此對稱之過濾介質1、2。在與酸性、移除NH3之介質接觸時，進入過濾器之HMDSO水解為TMS且TMS以揮發性有機AMC形式經由過濾器系統遷移。缺點為各過濾器10、20、30之雙介質層1、2並不有效地允許在與移除NH3之介質層接觸之前藉由有機物移除介質層移除HMDSO；因此，進入過濾器之HMDSO水解為TMS。藉由部分使用過濾器2取代耗盡過濾器1將使得HMDSO更可能進入過濾器且水解為TMS。
圖2為習知不對稱過濾器堆疊200之示意圖。不對稱構型有助於使歸因於酸性、移除NH3之介質之非所需化學反應最小化。不對稱過濾器堆疊200包括三個過濾器：第一過濾器210、第二過濾器220及第三過濾器230。3個過濾器210、220、230中之每一者各具有兩個介質層。第一過濾器210具有兩個過濾介質，移除有機物之介質層4及移除有機物之另一介質層4。第二過濾器220具有兩個介質層；移除有機物之介質層4及移除有機物或鹼之氣載污染物的另一介質層5。第三過濾器230具有兩個介質層，移除有機物或酸或鹼之氣載污染物的介質層1及移除有機物或鹼之氣載污染物的另一介質層5。過濾器堆疊200為不對稱的，因為第一、第二及第三過濾器210、220、230基於介質層差異不彼此對稱。210、220及230中之各過濾介質彼此不同。第一及第二過濾器210、220具有彼此不同之過濾介質，第二及第三過濾器220、230具有彼此不同之過濾介質，且第一及第三過濾器210、230具有彼此不同之過濾介質。
酸性、移除NH3之介質，諸如基於磺酸或羧酸之介質安置於最後三個過濾器層中，如圖2中所示。在習知不對稱過濾器堆疊200中，第二過濾器220中之第二介質層5及第三過濾器230中之第一及第二介質層5、1為酸性、移除NH3之介質層5、1。前三個移除HMDSO之介質4為第一過濾器210中之第一及第二介質層4及第二過濾器220中之第一介質層4。因此，HMDSO藉由前三個有機物移除介質層4（其可為基於碳之介質）俘獲，且防止形成TMS，同時亦移除揮發性鹼（胺）及酸。缺點為第一及第二過濾器210、220不可交換，因為其並不對稱。
因此，仍需要過濾器堆疊及具有該等過濾器之系統。亦需要一種製造該等過濾器堆疊之方法及使用該等過濾器從氣流移除污染物之方法。
本發明藉由提供可替換過濾器堆疊及藉由該可替換過濾器堆疊移除氣載分子污染物（AMC）之方法滿足此等及其他需求。
因此，本發明之一個態樣提供可替換過濾器堆疊。可替換過濾器堆疊包括第一、第二及第三過濾器。第一過濾器從穿過第一過濾器之氣流移除氣載有機污染物。第二過濾器在第一過濾器下游，與第一過濾器物理及化學可交換且從輸出自第一過濾器之氣流移除氣載有機污染物。第三過濾器在第二過濾器下游，與第一過濾器或第二過濾器不可交換且從輸出自第二過濾器之氣流移除鹼性氣載物。如以相同氣流速率及污染物輸入刺激在十億分之一小時內所量測，第一過濾器移除氣載有機污染物之初始容量及第二過濾器之該初始容量在+/-25%內，且第二過濾器具有足以准許與耗盡第一過濾器在可交換堆疊中交換的關於氣載有機污染物之容量。
本發明之第二態樣提供可替換過濾器堆疊。可替換過濾器堆疊包括第一、第二及第三過濾器。第一過濾器從穿過第一過濾器之氣流移除氣載有機污染物。第一過濾器已移除可偵測之氣載有機污染物。第二過濾器在第一過濾器下游，與第一過濾器物理及化學可交換且從輸出自第一過濾器之氣流移除氣載有機污染物。第二過濾器已移除相比於第一過濾器較少之氣載有機污染物。第三過濾器在第二過濾器下游，與第一過濾器或第二過濾器不可交換且從輸出自第二過濾器之氣流移除氣載鹼性污染物。
本發明之第三態樣提供一種替換包含第一、第二及第三過濾器之可替換過濾器堆疊中的過濾器之方法。該方法包括： i）   偵測來自穿過耗盡第一過濾器下游之第一過濾器之氣流之氣載有機污染物的穿透； ii） 移除耗盡第一過濾器且藉由第二過濾器在堆疊之第二位置替換耗盡第一過濾器，其中第一過濾器下游之第二過濾器與第一過濾器物理及化學可交換；且第三過濾器與第一過濾器或第二過濾器不可交換，且第三過濾器從輸出自第二過濾器之氣流移除氣載鹼性污染物；及 iii） 在第二位置插入另一第二初級過濾器，其位於現位於堆疊中之第一位置之第二過濾器下游，與現位於堆疊中之第一位置之第二過濾器物理及化學可交換，第二初級過濾器從輸出自現位於堆疊中之第一位置之第二過濾器中之過濾器的氣流移除氣載有機污染物。
包括併入本說明書中且構成本說明書之一部分的隨附圖式以說明且提供本發明之方法及系統之進一步理解。該等圖式連同描述一起用來解釋本發明之原理。預期一個具體實例之特徵可有益地併入其他具體實例中而無需另外復述。
本申請案主張2104年3月19日申請之名稱為System and Method for Removing Airborne Molecular Contaminants from Gas Streams之美國臨時申請案第61/955,577號之權益，該申請案之教示內容以全文引用之方式併入本文中。
在以下描述中，應瞭解，諸如「頂部（top）」、「底部（bottom）」、「向外（outward）」、「向內（inward）」及其類似者之術語為出於便利性之字語且不理解為限制性術語。現將詳細參考本發明之例示性具體實例，其在隨附圖式及實施例中經說明。通常關於圖式，應理解，該等說明係出於描述本發明之特定具體實例之目的且並不意欲將本發明限制於其中。
每當本發明之特定具體實例據稱包含一群組之至少一個要素及其組合或由其組成，應理解，該具體實例可包含該群組之要素中之任一者或由其組成，該等要素為單獨的或與彼群組之其他要素中之任一者組合。此外，當在任何組分中或式中發生一次以上任何變量時，其在每次出現時的定義獨立於其在每一其他出現時的定義。另外，取代基及/或變量之組合僅當此等組合產生穩定化合物時才為容許的。
參看圖3，根據本發明之一具體實例描述可替換不對稱堆疊300。可替換過濾器堆疊300包括第一過濾器310、第二過濾器320及第三過濾器330。在第一過濾位置之第一過濾器310從穿過第一過濾器310之氣流移除一或多種氣載有機污染物。在第二位置之第二過濾器320在第一過濾器下游，與第一過濾器物理及化學可交換且從輸出自第一過濾器310之氣流移除氣載有機污染物。在第三位置之第三過濾器330在第二過濾器320下游，與第一過濾器310或第二過濾器320不可交換且從輸出自第二過濾器320之氣流移除一或多種氣載鹼性污染物。在一具體實例中，如以相同氣流速率及污染物輸入刺激在十億分之一小時內所量測，第一過濾器310移除氣載有機污染物之初始容量及第二過濾器320之該初始容量在+/-25%內，且第二過濾器320具有足以准許與耗盡第一過濾器在可替換過濾器堆疊300中交換的關於氣載有機污染物之容量。
各過濾器310、320、330具有一或多個介質層。在一具體實例中，過濾器310、320、330包括兩個介質層。在一具體實例中，第一過濾器310包括兩個介質層2，其中兩個介質層2均移除有機物或酸之一或多種氣載污染物。第二過濾器320亦包括兩個介質層2，其中兩個介質層2均移除有機物或酸之一或多種氣載污染物。應瞭解，第一及第二過濾器310、320之具體實例可包括彼此對稱或各不相同之其他介質層。第三過濾器330具有兩個各不相同之介質層。第三過濾器330之兩個介質層為移除有機物或酸或鹼之氣載污染物的介質層1及移除弱酸或鹼之氣載污染物的介質層6。應瞭解，第三過濾器330之具體實例包括不同於第一及第二過濾器310、320中之介質層之其他介質層。亦應瞭解，過濾器堆疊可進一步包括其他過濾器且複數個過濾器可具有各種特徵。
可替換過濾器堆疊300為不對稱的，因為儘管第一及第二過濾器310、320基於介質層之對稱性或相似性為類似或可交換的，第三過濾器330不同於第一及第二過濾器310、320，因為第三過濾器330之介質層不同於第一及第二過濾器310、320之介質層。因此，可替換過濾器堆疊300為不對稱的，因為第三過濾器330不同於第一及第二過濾器310、320。
在一具體實例中，藉由第一過濾器310及第二過濾器320移除之氣載有機污染物包括諸如（但不限於）以下之氣載有機污染物：六甲基二矽氧烷（HMDSO）、丙二醇單甲醚乙酸酯（PGMEA）及甲苯，其為單獨的或呈其兩者或兩者以上之組合形式。應理解，具有可具有彼此不同或類似之各種特徵、移除複數種氣載有機污染物之第一過濾器310及第二過濾器320在本發明之範疇內且包含於其中。在一具體實例中，藉由第一過濾器310及第二過濾器320移除之氣載有機污染物包括HMDSO。在另一具體實例中，藉由第一過濾器310及第二過濾器320移除之氣載有機污染物包括PGMEA。在另一具體實例中，藉由第一過濾器310及第二過濾器320移除之氣載有機污染物包括甲苯。應瞭解，具體實例包括可具有彼此不同或類似之各種特徵、移除複數種氣載有機污染物之第一過濾器310及第二過濾器320。在一具體實例中，藉由第一過濾器310及第二過濾器320移除之該複數種有機污染物包括HMDSO及PGMEA。
在另一具體實例中，第一過濾器310移除氣載有機污染物且第二過濾器320移除相比於第一過濾器310較少之氣載有機污染物。在一特定具體實例中，第一過濾器310已移除可偵測之氣載有機污染物，諸如（但不限於）HMDSO或PGMEA，且第二過濾器320已移除相比於第一過濾器所偵測較少之有機污染物，諸如（但不限於）HMDSO或PGMEA。
在一具體實例中，藉由第三過濾器330移除之氣載鹼性污染物包括鹼，諸如（但不限於）氨、有機一級、二級或三級胺等，其為單獨的或呈其兩者或兩者以上之組合形式。應理解，具有可具有各種特徵的移除複數種氣載鹼性污染物之第三過濾器330在本發明之範疇內且包含於其中。在一特定具體實例中，藉由第三過濾器330移除之氣載鹼性污染物包括諸如氨之鹼。
在一具體實例中，可替換過濾器堆疊300進一步包括量測氣載污染物經由堆疊中之每一過濾器之穿透的監測機構，及堆疊入口處之入口堆疊監測器。一具體實例包括量測各過濾器下游氣體中之一或多個AMC濃度之四個監測機構：在第一過濾器310下游及第二過濾器320上游之第一內堆疊中之第一內堆疊監測器312，其量測氣載污染物從第一過濾器310之穿透；在第二過濾器320下游及第三過濾器330上游之第二內堆疊監測器322，其量測氣載污染物從第二過濾器320之穿透；在第一過濾器上游之堆疊入口處之入口堆疊監測器302及在第三過濾器330下游之堆疊出口處之出口堆疊監測器332。在一特定具體實例中，監測器包括感測器。參見例如專利申請案WO/2001/085308，其以全文引用的方式併入本文中。
本發明之一具體實例包括包含一或多個可替換過濾器堆疊300之氣櫃外殼。一特定具體實例包括在正面的堆疊於彼此頂部上之兩個平行過濾器堆疊300及在後面的2個其他過濾器堆疊300。各過濾器堆疊300具有一個出口過濾器及兩個上游過濾器，與第一最右過濾器可交換。儘管在氣櫃中描述有四個過濾器堆疊300，但不同尺寸之氣櫃中較小或較大數目之過濾器堆疊在本發明之範疇內。
本發明之優勢可包括諸如（但不限於）以下各者。
用於說明且非限制性地，將關於不對稱可替換過濾器堆疊300之本發明之具體實例及優勢與不對稱過濾器堆疊200及對稱過濾器堆疊100之習知堆疊進行比較。本申請人出乎意料地認識到堆疊中之最終兩個胺移除層或最終過濾器在正常使用期間具有從空氣移除胺或氨之足夠容量，且可能藉由有機物移除介質層2替換胺移除介質，諸如習知不對稱過濾器200中之第二過濾器220之介質5以使得第二過濾器320與第一過濾器310實質上相同。本申請人另外亦出乎意料地發現當第一過濾器310耗盡時，第一過濾器310可經來自堆疊300之部分使用第二過濾器320替換。第二過濾器320可藉由新過濾器在第二過濾位置經替換。
如圖1中所描繪，在習知對稱過濾器堆疊100中，所有三個過濾器10、20、30共用雙介質層（移除有機物或酸之介質層1及移除有機物或鹼（NH3 ）之介質層2）之相同混合或配置，其中各過濾器之雙對稱層並未在與移除NH3 之介質層接觸之前藉由有機層有效地移除HMDSO，使得HMDSO進入過濾器而水解為TMS。在第一過濾器之第二下游位置藉由部分使用第二過濾器二來取代耗盡第一過濾器將使得HMDSO更可能進入過濾器而水解為TMS。
相比於圖1之已知對稱過濾器堆疊100，本申請人之過濾器堆疊300之優勢包括當第一過濾器310耗盡時，能夠藉由來自過濾器堆疊300之部分使用第二過濾器320替換第一過濾器310。第二過濾器320可藉由新過濾器在第二過濾位置經替換。
本發明之具體實例亦包括替換不對稱可替換過濾器堆疊300中之過濾器之方法。
參看圖4，接下來描述替換不對稱可替換過濾器堆疊300中之過濾器310之本發明之一具體實例。圖4為替換不對稱可替換過濾器堆疊300中之過濾器之方法之一具體實例的流程圖。除非明確指出，否則該方法之步驟次序或頻率不受限。該方法包括偵測來自穿過耗盡第一過濾器下游之第一過濾器310之氣流的氣載有機污染物之穿透之步驟410。耗盡過濾器意謂當過濾器達到指定移除效率（RE）時。在一具體實例中，耗盡過濾器意謂當過濾器達到75%或75%以下之指定RE時。在另一具體實例中，耗盡過濾器意謂當過濾器達到70%或70%以下之指定RE時。在另一具體實例中，耗盡過濾器意謂當過濾器達到65%或65%以下之指定RE時。在另一具體實例中，耗盡過濾器意謂當過濾器達到60%或60%以下之指定RE時。應理解，調節各種參數設定以實現指定目標在本發明之範疇內且包含於其中。該等參數之實例包括RE、溫度、壓力及滯留時間。亦應理解，本發明不限於該等參數設定。在一特定具體實例中，本發明包括調節RE之參數設定以實現指定過濾目標。
步驟420包括移除耗盡第一過濾器310且在堆疊之第二位置藉由第二過濾器320替換耗盡第一過濾器310，其中第一過濾器下游之第二過濾器320與第一過濾器310物理及化學可交換；且第三過濾器與第一過濾器310或第二過濾器320不可交換，且第三過濾器330從輸出自第二過濾器之氣流移除氣載鹼性污染物。步驟430包括在第二位置插入另一第二初級過濾器320'，其位於現位於堆疊中之第一位置之第二過濾器下游，與現位於堆疊中之第一位置之第二過濾器物理及化學可交換，第二過濾器320'從輸出自現位於堆疊中之第一位置之第二過濾器中之過濾器之氣流移除氣載有機污染物。初級符號指示新過濾器。
在一具體實例中，當第一過濾器310達到70%之移除效率（RE）時，仍以100%至99%之RE操作之第二位置過濾器移動至第一位置且將新過濾器置於第二過濾位置。此對於各過濾器堆疊進行兩次（持續總共三個過濾週期）。
圖5為替換根據本發明之一具體實例之不對稱可替換過濾器堆疊300中之過濾器310之示意圖。當第一過濾器310達到指定移除效率（RE）時，移除第一過濾器310。仍以100%至99%之RE操作之第二位置之第二過濾器320移動至第一位置（如箭頭所指示）且將新的第二初級過濾器320'置於第二位置過濾器。可對於各過濾器堆疊重複該過程（持續總共三個過濾週期）。
該方法進一步包括偵測來自穿過現位於第一位置之第二過濾器320之氣流之氣載有機污染物之穿透；移除第一位置之耗盡第二過濾器320且藉由位於過濾器堆疊300之第二位置之第二初級過濾器320'替換位於第一位置之耗盡第二過濾器320，其中位於第一位置之過濾器下游之第二初級過濾器320'與第一過濾器310物理及化學可交換；及在位於第一位置之過濾器下游之第二位置插入另一新的第二雙重初級過濾器320''，其與位於過濾器堆疊300之第一位置之過濾器物理及化學可交換。特定言之，第二雙重初級過濾器320''與現位於過濾器堆疊300之第一位置之第二初級過濾器320'物理及化學可交換。第二雙重初級過濾器320''從輸出自第一過濾器之氣流移除氣載有機污染物。
本申請人出乎意料地認識到堆疊中之最終兩個胺移除層或最終過濾器在正常使用期間具有從空氣移除胺或氨之足夠容量且可能藉由有機物介質層替換胺移除介質，諸如習知不對稱過濾器200中之第二過濾器220之介質5以使得第二過濾器320與第一過濾器310實質上相同，且另外，當第一過濾器310耗盡時，可藉由來自堆疊300之部分使用第二過濾器320替換第一過濾器310。第二過濾器320可藉由新過濾器在第二位置經替換。
本發明之出乎意料的優勢包括諸如（但不限於）以下各者。介質及過濾器堆疊在有機污染物可能轉化為TMS、乙酸及甲酸之前移除有機污染物。位於第一過濾器310之第二下游位置之第二過濾器320可在第一過濾器310耗盡（如藉由穿透偵測）時替換第一過濾器310。藉由雙重有機污染物移除層2，第二過濾器320繼續移除有機污染物，該過濾器現作為位於三個過濾器堆疊300中之兩個其他過濾器上游之第一位置過濾器。 實施例
以下實施例說明本發明之具體實例之特徵且並不意欲將本發明限制於其中。
以三個過濾器堆疊構型在專用測試隧道中測試過濾器。資料收集需要在入口、內堆疊1（過濾器1下游）、內堆疊2（過濾器2下游）及出口處之AMC取樣。特定過濾器之移除效率（RE）定義為(1-出口濃度)/入口濃度之比。示例：在1000 ppb之入口濃度之情況下，300 ppb之出口濃度將為70% RE。
過濾器在分別為20℃±3℃及約40% RH之標準溫度及濕度條件下以0.5 m/s藉由1 ppm甲苯及氨中之每一者進行測試。
在第1週期中，三個過濾器310、320及330之過濾器堆疊300在1 ppm之刺激下評估甲苯及氨效能。當第一位置過濾器310達到70%移除效率（RE）時，其經以100%至99%之RE操作之第二位置過濾器320置換。隨後將新過濾器320'置放於第二位置。此為第2週期。第3週期為在重複第2週期時。換言之，當第一位置過濾器310達到70%移除效率（RE）時，其經以100%至99%之RE操作之第二位置過濾器320置換。隨後將新過濾器320'置放於第二位置。因此，在此3個週期中總共測試5個過濾器。測試及過濾器換出方案之示意圖展示於圖5中。
過濾器壽命以影線記號展示。當第一過濾器310達到70%移除效率（RE）時，將仍以100%至99%之RE操作之第二位置過濾器320移動至第一位置且將新過濾器320'置於位置2。此對於各過濾器堆疊進行兩次（持續總共三個過濾週期）。
圖6展示在不同移除效率下之位置1過濾器以ppb-h計之甲苯容量。圖6包括兩個新過濾器（藉由圓形及菱形展示）及兩個交換之過濾器（藉由方形及三角形展示）。圖6清楚地展示部分加載交換之過濾器之甲苯效能並非顯著不同於新過濾器，且從而幫助增加過濾器堆疊之容量。
表1展示在不同移除效率（RE）下關於甲苯之過濾器容量之資料。資料清楚表明就過濾器變化性限度內之所有RE值而言之類似效能。 表1 新過濾器及切換之過濾器形式之位置1過濾器之堆疊甲苯容量
描述 RE 下之 容量 （ppb-h ）
   99% 90% 70%
新過濾器1 150000 230000 290000
新過濾器2 150000 220000 280000
交換之過濾器1 130000 195000 250000
交換之過濾器2 160000 240000 310000
圖7展示在不同移除效率下在一個過濾週期（藉由黑色圓形展示）及三個過濾週期（藉由黑色方形展示）之後過濾器堆疊之甲苯容量。正如所料，當相比於1個過濾週期時，甲苯之堆疊效能對於3個過濾週期展示顯著較高值。 表2：一個及三個過濾週期之過濾器堆疊之堆疊甲苯容量。
描述 RE 下之 容量 （ppb-h ）
99% 97%
在1個過濾週期之後的堆疊下游 650000 700000
在3個過濾週期之後的堆疊下游 1200000 1300000
表2展示在99%及97%之兩個移除效率下之甲苯之過濾器容量。3過濾週期堆疊效能明顯地顯著高於1週期堆疊之效能，在兩個RE值下平均高出85%。
如本文在整個本說明書及申請專利範圍所用之近似類語言可應用於修飾可以許可的方式變化而不導致其相關的基本功能改變之任何定量或定性表示。因此，經諸如「約」之術語或數值範圍修飾之值不限於指定之精確值，且可包括不同於指定值之值。在至少一些情況下，近似類語言可對應於用於量測該值之儀器的精度。此外，「移除或吸附（removing or adsorbing）」可與術語組合使用，且包括改變量之氣載污染物移除且不限於指定之精確值，且可包括不同於指定值之值。
熟習此項技術者將顯而易見的是可在不背離本發明之精神或範疇的情況下在本發明之方法及系統中作出各種修改及變化。因此，希望本發明包括在所附申請專利範圍及其等效物之範疇內的修改及變化。
雖然已僅結合有限數目之態樣詳細描述本發明，但應理解，本發明不限於該等所揭示的態樣。確切而言，可修改本發明以併入迄今為止未描述但與申請專利範圍之範疇相稱之任何數目之變化、更改、替代或等效配置。另外，儘管已描述本發明之各種具體實例，但應理解，本發明之態樣可僅包括一些所描述之具體實例。因此，本發明不應視為受前述描述限制，而應視為僅受所附申請專利範圍之範疇限制。
1:有機物/酸/鹼 1:有機物/酸/鹼 1:有機物/酸/鹼 1:有機物/酸/鹼 1:有機物/酸/鹼 2:有機物/酸 2:有機物/酸 2:有機物/酸 2:有機物/酸 2:有機物/酸 2:有機物/酸 2:有機物/酸 4:有機物 4:有機物 4:有機物 5:有機物/鹼 5:有機物/鹼 6:弱酸/鹼 10:第1過濾器 20:第2過濾器 30:第3過濾器 100:對稱過濾器堆疊 110:入口 110:入口 110:入口 120:氣流 120:氣流 120:氣流 120:氣流 130:掃描器 130:掃描器 130:掃描器 200:不對稱過濾器堆疊 210:第1過濾器 220:第2過濾器 230:第3過濾器 300:不對稱過濾器堆疊 300:不對稱可替換過濾器堆疊 302:於入口處 310:第1過濾器 310:第一過濾器 312:內堆疊1 320:第2過濾器 320:第二過濾器 320':第二初級過濾器 320':第一新第二過濾器 320":第二雙重初級過濾器 320":第二新第二過濾器 322:內堆疊2 330:第3過濾器 330:第三過濾器 332:出口
圖1為習知對稱過濾器堆疊之示意圖； 圖2為習知不對稱過濾器堆疊之示意圖； 圖3為根據本發明之一具體實例之不對稱過濾器堆疊之示意圖； 圖4為替換根據本發明之一具體實例之不對稱可替換過濾器堆疊中之過濾器之方法之流程圖； 圖5為替換根據本發明之一具體實例之不對稱可替換過濾器堆疊中之過濾器之示意圖； 圖6展示根據本發明之一具體實例就位置1過濾器而言在不同移除效率下以ppb-h計之甲苯容量；及 圖7展示根據本發明之一具體實例在不同移除效率下在一個過濾週期及三個過濾週期之後的過濾器堆疊之甲苯容量。 為了便於理解，已使用相同參考數字在可能的情況下表示圖式中共有的相同元件。
1:有機物/酸/鹼
2:有機物/酸
2:有機物/酸
2:有機物/酸
2:有機物/酸
6:弱酸/鹼
110:入口
120:氣流
130:掃描器
300:不對稱過濾器堆疊
302:於入口處
310:第1過濾器
312:內堆疊1
320:第2過濾器
320':第一新第二過濾器
320":第二新第二過濾器
322:內堆疊2
330:第3過濾器
332:出口

Claims (10)

  1. 一種可替換過濾器堆疊，其包含： 一第一過濾器，其包含一介質層，其能夠從穿過該第一過濾器之一氣流移除係選自有機物及酸所構成之群組的氣載有機污染物； 一第二過濾器，其位於該第一過濾器下游，並與該第一過濾器在物理及化學性質上係可交換，且該第二過濾器包含一介質層，其能夠從輸出自該第一過濾器之該氣流移除係選自有機物及酸所構成之群組的氣載有機污染物；及 一第三過濾器，其位於該第二過濾器下游，其中該第三過濾器與該第一過濾器或該第二過濾器在物理及化學性質上係不可交換，且該第三過濾器包含一介質層，其能夠從輸出自該第二過濾器之該氣流移除一鹼；及 如以相同氣流速率及污染物輸入刺激在十億分之一小時內所量測，用以移除氣載分子有機污染物的該第一過濾器之一初始容量及該第二過濾器之一初始容量均在+/-25%內；且該第二過濾器具有足以准許與耗盡之一第一過濾器交換的用於處理氣載有機污染物之容量。
  2. 如請求項第1項之可替換過濾器堆疊，其中該等氣載有機污染物包含六甲基二矽氧烷。
  3. 如請求項第1項之可替換過濾器堆疊，其中該等氣載有機污染物包含丙二醇單甲醚乙酸酯。
  4. 如請求項第1項之可替換過濾器堆疊，其中該等氣載有機污染物包含甲苯。
  5. 如請求項第1項之可替換過濾器堆疊，其中該鹼包含氨。
  6. 如請求項第1項之可替換過濾器堆疊，進一步包含用以量測氣載污染物經由該堆疊中之該等過濾器中之每一者之穿透的四個監測機構，該四個監測機構包含：在該第一過濾器下游及該第二過濾器上游之一第一內堆疊中之一第一內堆疊監測器，其量測氣載污染物從該第一過濾器之穿透；在該第二過濾器下游及該第三過濾器上游之一第二內堆疊監測器，其量測氣載污染物從該第二過濾器之穿透；在該第一過濾器上游之該堆疊入口處之一入口堆疊監測器；及在該第三過濾器下游之該堆疊出口處之一出口堆疊監測器。
  7. 一種氣櫃，其包含至少一個如請求項第1項之過濾器堆疊。
  8. 一種可替換過濾器堆疊，其包含： 一第一過濾器，其包含一介質層，其能夠從穿過該第一過濾器之一氣流移除氣載有機污染物； 一第二過濾器，其位於該第一過濾器下游，並與該第一過濾器在物理及化學性質上可交換，其中該第二過濾器包含一介質層，其能夠從輸出自該第一過濾器之該氣流移除氣載有機污染物；及 一第三過濾器，其位於該第二過濾器下游，該第三過濾器包含能夠從輸出自該第二過濾器之該氣流移除一鹼之一第一介質層以及能夠從輸出自該第二過濾器之該氣流移除一鹼之一第二介質層，其中該第一介質層不同於該第二介質層，其中該第三過濾器與該第一過濾器或該第二過濾器係物理與化學性質上不可交換；及 如以相同氣流速率及污染物輸入刺激在十億分之一小時內所量測，用以移除氣載分子有機污染物的該第一過濾器之一初始容量及該第二過濾器之一初始容量均在+/-25%內；且該第二過濾器具有足以准許與耗盡之一第一過濾器交換的用於處理氣載有機污染物之容量。
  9. 如請求項第8項之可替換過濾器堆疊，其中該第一介質層移除氣載有機污染物及該鹼，且該第二介質層移除該鹼。
  10. 一種氣櫃，其包含至少一個如請求項第8項之過濾器堆疊。
TW109144283A 2014-03-19 2015-03-19 可替換過濾器堆疊及使用該堆疊之氣櫃 TWI762084B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201461955577P 2014-03-19 2014-03-19
US61/955,577 2014-03-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202112431A true TW202112431A (zh) 2021-04-01
TWI762084B TWI762084B (zh) 2022-04-21

Family

ID=52946809

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109144283A TWI762084B (zh) 2014-03-19 2015-03-19 可替換過濾器堆疊及使用該堆疊之氣櫃
TW104108762A TWI725934B (zh) 2014-03-19 2015-03-19 用於替換可替換過濾器堆疊之過濾器之方法

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104108762A TWI725934B (zh) 2014-03-19 2015-03-19 用於替換可替換過濾器堆疊之過濾器之方法

Country Status (4)

Country Link
US (2) US11020704B2 (zh)
EP (1) EP3119498B1 (zh)
TW (2) TWI762084B (zh)
WO (1) WO2015143133A1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015143133A1 (en) 2014-03-19 2015-09-24 Entegris, Inc. System and method for removing airborne molecular contaminants from gas streams
SE541920C2 (en) * 2017-10-01 2020-01-07 Absolent Ab Filter system with a layer comprising active carbon containing permeable bags
US10751659B2 (en) * 2018-07-31 2020-08-25 Applied Medical Technologies, Inc. Leakage detection for installed filters of a multi-filter containment enclosure apparatus
DE102018128963A1 (de) * 2018-11-19 2020-05-20 Mann+Hummel Gmbh Filterkörper, Filterelement und Filteranordnung

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2248072A1 (en) 1973-10-17 1975-05-16 Air Ind Caisson for a filter with several separate elements - allowing changing of an element witbout removal of complete internals
EP1357998B1 (en) * 2000-05-05 2014-12-03 Entegris, Inc. Filters employing both acidic polymers and physical-adsorption media
US6788085B2 (en) 2001-07-11 2004-09-07 International Business Machines Corporation Self-aligning wafer burn-in probe
US6620630B2 (en) 2001-09-24 2003-09-16 Extraction Systems, Inc. System and method for determining and controlling contamination
TWI417130B (zh) 2006-07-13 2013-12-01 Entegris Inc 過濾系統
US7875102B2 (en) * 2008-04-02 2011-01-25 Corning Incorporated Method for managing the use of flow-through monolithic sorbents for the sorption of a trace contaminant from a fluid stream
DE102009009143A1 (de) 2009-02-18 2010-08-19 Grimm Maschinenbau Gmbh Verfahren zum Entfernen von Schwefel aus einem Gas, insbesondere aus einem Biogas und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
JP5404730B2 (ja) 2011-10-05 2014-02-05 シャープ株式会社 フィルタ及び空気清浄機
CN202785838U (zh) 2012-08-13 2013-03-13 赵金奎 一种多功能净水器
TWM463140U (zh) 2013-06-25 2013-10-11 Peng Zi Yun 淨水器
WO2015143133A1 (en) 2014-03-19 2015-09-24 Entegris, Inc. System and method for removing airborne molecular contaminants from gas streams

Also Published As

Publication number Publication date
US20210031141A1 (en) 2021-02-04
US11980847B2 (en) 2024-05-14
TW201544163A (zh) 2015-12-01
EP3119498A1 (en) 2017-01-25
WO2015143133A1 (en) 2015-09-24
US11020704B2 (en) 2021-06-01
TWI725934B (zh) 2021-05-01
TWI762084B (zh) 2022-04-21
EP3119498B1 (en) 2023-05-31
US20170095771A1 (en) 2017-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11980847B2 (en) System and method for removing airborne molecular contaminants from gas streams
TWI515035B (zh) 可再生皺褶式過濾器媒介
US6610123B2 (en) Filtered mask enclosure
KR101249093B1 (ko) 반도체 공정 툴용 필터링 시스템
KR20120117697A (ko) 프로세스 제어 노브로서 연료 가스 온도를 사용한 여과 백하우스 내의 석탄 화력 발전소로부터의 수은 제거 개선 시스템 및 방법
JP2005193227A (ja) 濾過装置
JP6662837B2 (ja) フィルタ完全性評価用の改良されたエアロゾル試験
EP3400086B1 (en) Styrene-acrylonitrile fine fibers, filter media, recirculation filters, and methods
TW201929937A (zh) 使用功能性材料的空氣分子污染酸去除過濾器
Specifications Construction Materials
JP2016130510A (ja) 排ガスフィルタ
JP2007248229A (ja) 排気浄化機能付き微粒子測定装置
Braggin et al. Characterization of filter performance on contact-hole defectivity
TWM453530U (zh) 卡匣式濾網
WO2024048578A1 (ja) 酸性ガス吸着装置
Wu et al. Defect reduction in advanced lithography processes using a new dual functionality filter
US20200030733A1 (en) Filter with perforated separator plates
CN116459678A (zh) 一种纳滤膜孔径测定方法
Gregor Filtration-A Growth Market for Synthetic Fibers
WO2022146704A1 (en) Secondary statistical cutoff methodology for gas-liquid diffusion integrity testing