TW201805630A - 微流體裝置 - Google Patents
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Abstract
根據一範例,一微流體裝置可包括一具有一入口及一出口之運送通路,及複數個沿著該運送通路延伸之泵迴路。複數個泵迴路的各者可包括一第一分支,一第二分支,及一連接第一分支與第二分支之連接段。第一分支可包括一第一開口,且第二分支可包括一第二開口,其中第一開口及第二開口與運送通路呈直接流體聯通。泵迴路亦可各包括一位於第一分支中之致動器,其中泵迴路中的致動器將被啟動以引發一行波,該行波將流體從入口至出口運送經過運送通路。
Description
本發明係有關於微流體裝置。
微流體學係應用於包括工程、物理、化學、微科技及生物科技等多種不同學科。微流體學係涉及研究例如微升、皮升或奈升等小容積流體以及如何在諸如微流體裝置或晶片等不同微流體系統及裝置中操縱、控制及使用此等小容積流體。例如,微流體生物晶片(亦可稱為「晶片實驗室」)係使用在分子生物學的領域中以整合測定操作,以供諸如分析酵素及DNA、偵測生化毒素及病原體、診斷疾病等用途。
依據本發明之一實施例,係特地提出一種微流體裝置,其包含:一運送通路,其具有一入口及一出口;複數個泵迴路,其沿著該運送通路延伸,其中該等複數個泵迴路的各者包括:一第一分支,一第二分支,及一連接該第一分支與該第二分支之連接段,其中該第一分支包括一第一開口且該第二分支包括一第二開口,且其中該第一開口及該第二開口與該運送通路呈直接流體聯通;及一致動器,其位於該第一分支中,及其中該等複數個泵迴路中的致動器係將被啟動以引發一行波,該行波將該流體從該入口至該出口運送經過該運送通路。
為求簡單與繪示用途,本揭示主要參照其一範例作描述。在下文描述中提出許多特定細節,以供徹底瞭解本揭示。然而,將容易瞭解可以在不限於這些特定細節下實行本揭示。在其他案例中,並未詳細描述部分方法及結構以免不必要地模糊本揭示。本文的「一(a、an)」用語係意圖代表一特定元件的至少一者,「包括(include、including)」用語係指包括但不限於,且「以~為基礎」用語係指至少部分以~為基礎。
此外,應瞭解附圖所描繪的元件可包括額外的組件,並可移除及/或修改圖中所描述的部分組件而不脫離本文所揭露的元件之範圍。亦應瞭解圖中所描繪元件的可能未依照尺度繪製,因此元件可具有圖示者以外的不同尺寸及/或組態。
本文係揭露微流體裝置、亦可稱為泵,其包括一運送通路及複數個沿著運送通路延伸之泵迴路。泵迴路可各包括二個與運送通路呈流體聯通之開口,且流體可經過開口流動於泵迴路與運送通路之間。一致動器可位於泵迴路的各者中,使得致動器的啟動可引發一行波的一類比(analogue),其將造成流體從一方向至另一方向流過運送通路及泵迴路。行波(traveling wave)可被定義成其中流體在傳播方向作移動之波,且因此流體經過泵迴路及運送通路的運動可類似於一行波的運動。雖然流體經過泵迴路及運送通路的運動係可類比於行波,該運動在本文被描述成一行波。亦如本文所討論,不同特徵可被併入微流體泵中以利於流體運送經過微流體泵。
透過實行本文所揭露的微流體裝置(泵)及方法,流體可以一相對簡單且有效率方式被傳送或運送經過微流體通路。亦即,泵迴路中由致動器所引發的行波係可使流體能夠運送經過相對長的距離,而在微流體通路中並無差壓。此外,本文所揭露的微流體泵係可使流體能夠被運送經過微流體通路,而不需要複雜的設計或外部泵。
首先參照圖1,顯示一範例微流體泵100的簡化方塊圖。應瞭解圖1所描繪的微流體泵100可包括額外的組件,且可移除及/或修改本文所描述的部分組件,而不脫離本文所揭露的微流體泵100之範圍。微流體泵100在本文亦稱為一微流體運送裝置。
微流體泵100被描繪成包括一運送通路102,其可包括一入口104及一出口106。一般來說,微流體泵100可在入口104接收一流體並可將該流體運送至運送通路102的出口106。例如,微流體泵100可在入口104從一流體源接收流體並可將該流體運送至一位於出口106的測試區位。如本文更詳細地討論,微流體泵100可透過形成一經過微流體泵100的行波來運送流體。特別地,可經過複數個可沿著運送通路102延伸的泵迴路110來形成行波。泵迴路110在圖1被描繪成在入口104與出口106之間延伸於沿著運送通路102的完整距離。
泵迴路110的各者可包括一第一分支112、一第二分支114、及一連接段116。如圖所示,連接段116可為U形並可連接至第一分支112及第二分支114兩者。此外,第一分支112可包括一第一開口118,流體可經過其被接收至第一分支112中;及一第二開口120,流體可經過其從第二分支114被驅出。根據一範例,運送通路102及泵迴路110可經由任何適當的微製造程序形成於一矽材料、一以環氧樹脂為基礎的負光阻(諸如Su-8)、或類似物中。
一致動器122、在本文亦稱為泵,係被描繪成位於一各別的第一分支112中。因此,例如,來自運送通路102的流體可經過第一開口118被輸送至第一分支112中並可流動於致動器122上方。致動器122可透過施加壓力在各別泵迴路110中所含的流體上而利於流體流過泵迴路110。例如,致動器122可造成流體中引發一行波以造成流體流過泵迴路110。在一範例中,致動器122係為電阻器,其在(例如藉由一薄膜電晶體)被啟動時將產生足夠熱量以汽化電阻器周圍的流體而生成氣泡,氣泡將流體強迫推過泵迴路110,如箭頭124所示。在一實行方式中,致動器122可為一熱阻性元件,其可採用一熱阻器,熱阻器形成於一基體的一頂表面上的一氧化物層上,及一薄膜堆積體,薄膜堆積體施加在氧化物層頂上,其中薄膜堆積體包括一用以界定熱阻性元件的金屬層、傳導跡線及一鈍化層。
在另一實行方式中,致動器122可為壓電元件,其中電流可(例如藉由一場效電晶體)被選擇性施加至一壓電構件以使一隔膜偏向,其將流體強迫推過泵迴路110,如箭頭124所示。在另其他的實行方式中,致動器122可為其他形式之目前可取得或未來開發的致動器,諸如靜電驅動式薄膜、電流體力學脈衝泵、磁致伸縮性及類似的驅排裝置。
在本文所討論實行方式的任一者中,致動器122的啟動係可造成流體經過第二開口120從泵迴路110被驅出。此外,致動器122的啟動係可造成流體經過第一開口118被抽入泵迴路110中,如箭頭126所示。因此,例如在一依序配置中,藉由選擇性啟動致動器122,經過入口104初始所接收的流體係可被傳送或運送經過泵迴路110來到出口106。易言之,流體可藉由一波被傳送經過泵迴路110。根據一範例,為了確保流體從運送通路的入口104至出口106流過泵迴路110,泵迴路110可受到包圍,但第一開口118及第二開口120除外。亦即,泵迴路110皆不可包括一可經過其從微流體泵100射出流體之噴嘴。
根據一範例,泵迴路110具有約100×50μm2
至約200×100μm2
之間的橫剖面積。在另一範例中,泵迴路110可具有約10μm與約500μm之間的直徑/尺寸。「約 」用語可被定義成表示±2至±100μm。在其他範例中,橫剖面積可在此範圍外作變動。運送通路102的橫剖面積可大於泵迴路110的橫剖面積。例如,橫剖面積可為約200×50μm2
至約500×100μm2
之間。因此,例如,運送通路102可為相對地淺並可與泵迴路110的深度相比較,或顯著地比泵迴路110更深。
圖1中亦顯示一可控制致動器122的啟動之控制器130,及一可儲存用於控制器130的指令之記憶體132。雖未顯示,控制器130可電性連接至致動器122的各者。控制器130可控制致動器122何時經過電性連接被啟動。控制器130可與微流體泵100作整合,例如可設置於一與微流體泵100的共同底座上。在另一範例中,控制器130可與微流體泵100分離並可經過一有線或無線連接被連接至微流體泵100的底座。在後者範例中,控制器130可為一諸如智慧型手機、平板電腦、膝上型電腦、桌上型電腦或類似物等運算裝置的一控制器,例如cpu。
控制器130可包括一個處理單元或多重的處理單元,處理單元可產生控制信號用以導引致動器122的操作。為了本揭示的用途,「處理單元」用語應指一用以執行記憶體中所含的指令序列之目前開發或未來開發的裝置。指令序列的執行係可造成處理單元進行諸如產生控制信號等步驟。指令可從一唯讀記憶體(ROM)、一大量儲存裝置、或某其他永續儲存器被載入一隨機存取記憶體(RAM)中以供由處理單元執行。在其他範例中,硬配線電路可取代軟體指令或與軟體指令組合使用,以實行所描述的功能。例如,控制器130可實施成一特殊應用積體電路(ASIC)的部份。除非另外確切註明,控制器並不限於硬體電路及軟體的任何特定組合、或限於由處理單元所執行的指令之任何特定來源。
控制器130可進行或執行記憶體132中所含的指令。在操作中,控制器130可執行指令以產生用於致動器122的控制信號,以造成致動器122被啟動。例如,控制器130可產生控制信號以供致動器122以一預定次序被啟動,其將造成流體從入口104被運送至出口106。根據一範例,致動器122係可組群成原件(primitives),使得致動器122的群組可由相同控制信號所控制。在此範例中,原件的各者可包括約3個至約16個致動器之間的任一者。在一其中致動器122組群成四個致動器的原件之範例中,沿著運送通路102的範圍,一第一原件係可包括一第一致動器、一第五致動器、一第九致動器等,一第二原件係可包括一第二致動器、一第六致動器、一第十致動器等。在此範例中,致動器122係可組群成四個不同原件中的一者,且控制器130可輸出四個不同控制信號以控制致動器122的全部。
此外,控制器130可輸出控制信號,以根據其所組群至的原件來啟動致動器122。亦即,例如,控制器130可在一第一時間啟動第一原件中的致動器122,在一第二時間啟動第二原件中的致動器122,在一第三時間啟動第三原件中的致動器122,且在一第四時間啟動第四原件中的致動器122。控制器130亦可重覆此啟動序列,以根據其致動器122被指派至的原件來依序啟動致動器122。
現在參照圖2A-2C,分別顯示額外的範例微流體泵200-204的簡化方塊圖。圖2A-2C所描繪的微流體泵200-204係包括與上文就圖1描繪的微流體泵100討論者相同之許多特徵。因此,對於圖2A-2C所描繪的微流體泵200-204,將僅詳細地描述相異的特徵。
如圖2A所示,微流體泵200可包括複數個突件210,複數個突件210可例如在一延伸至圖面中的方向延伸運送通路102的厚度。突件210可等效地稱為柱、條柱、阻件或類似物,並可由與微流體泵200相同的一或多種材料形成。在任何方面,突件202可位於運送通路102中,以利於流體在運送通路102的一流方向從一個泵迴路110的第二開口120流到一相鄰的泵迴路110、例如下個泵迴路110的第一開口118。
根據一範例,且如圖2A所示,突件210可位於與泵迴路110的第二開口120相鄰。然而,在其他範例中,突件210可對稱地或不對稱地移位朝向泵迴路110的第一開口118,以改良經過微流體泵200之行波的單向性(uni-directionality)之效應。突件210亦在圖2A中被描繪成具有圓形橫剖面。然而,在其他範例中,突件210具有其他橫剖面形狀,例如卵形、矩形、三角形或類似物。此外,部分的突件210可相對於彼此具有不同形狀。
如圖2B所示,微流體泵202可包括位於泵迴路110的第二分支114中之複數個第二致動器220。在圖2B所示的範例中,第二致動器220可被致動以造成流體在與圖1及2A所示方向相反的方向被運送。亦即,第二致動器220的啟動可藉由造成流體流過泵迴路110而造成流體從一入口222至一出口224被運送經過泵迴路110,如箭頭226所示。在一方面中,藉由包括第二致動器220,經過微流體泵202的流體流係為可逆,使得一行波可形成為在圖1及2A中的行波之相反方向作移動。
雖未顯示,圖2A所示的微流體泵200中所描繪之突件210亦可設置於圖2B所描繪的微流體泵202中。
如圖2C所示,微流體泵204可包括形成於泵迴路110中的複數個孔230。例如,孔230可形成於泵迴路110的第二分支114上。根據一範例,孔230可代表一額外的微流體順應性(compliance)特徵並可修改行波的振幅及共振頻率,以改良經過泵迴路110的運送效率。在任何方面中,孔230可具有夠小尺寸以防止流體流出孔230外、但亦有夠大尺寸以修改局部順應性並改變行波的振幅與操作頻率。
雖然圖2A-2C被描繪成包括各種不同特徵,應瞭解可在一微流體泵202-204中採用各種特徵。例如,圖2C中描繪的微流體泵204亦可包括圖2A的微流體泵200中所描繪之突件210。同理,圖2C中描繪的微流體泵204亦可包括圖2B的微流體泵202中所描繪之第二致動器220。
現在參照圖3,顯示一範例微流體泵系統300的簡化方塊圖。應瞭解圖3描繪的微流體泵系統300可包括額外的組件,並可移除及/或修改本文所描述的部分組件,而不脫離本文所揭露的微流體泵系統300之範圍。
微流體泵系統300被顯示成包括一控制器302及一資料儲存器304。控制器302可與上文就圖1所描述及描繪的控制器130為相同。控制器302可因此為一運算裝置,一以半導體為基礎的微處理器,一中央處理單元(CPU),一特殊應用積體電路(ASIC),一可編程邏輯裝置(PLD),及/或其他硬體裝置。控制器302亦可從一電源或一電源供應器(未顯示)接收電力。資料儲存器304可為隨機存取記憶體(RAM),一電子可抹除可編程唯讀記憶體(EEPROM),一儲存裝置,一光碟片,或類似物。
微流體泵系統300亦可包括一電腦可讀儲存媒體310,其可與圖1所描繪的記憶體132為等效。電腦可讀儲存媒體310上係可儲存有可由控制器302執行之機器可讀指令312。更特別地,控制器302係可取回、解碼及執行指令312以啟動致動器。作為檢索及執行指令的一替代物或添加物,控制器302可包括一或多個電子電路,電子電路係包括用以進行指令312的功能之組件。
電腦可讀儲存媒體310係可為含有或儲存可執行指令之任何電子、磁性、光學或其他物理性儲存裝置。因此,電腦可讀儲存媒體310可例如為隨機存取記憶體(RAM),一電子可抹除可編程唯讀記憶體(EEPROM) ,一儲存裝置,一光碟片,及類似物。電腦可讀儲存媒體310係可為一非暫態機器可讀儲存媒體,其中「非暫態」用語並未涵蓋暫態傳播信號。
微流體泵系統300可進一步包括一含有複數個致動器322a-322m及324a-324m的微流體泵318,其中變數「m」代表大於一的整數值。微流體泵318可與圖1及2A-2C所描述之微流體泵的任一者為等效。同理,致動器322a-322m及324a-324m可與上文在圖1及2A-2C所討論的致動器122及/或第二致動器220為等效。控制器302可以指令312為基礎來啟動致動器322a-322m及324a-324m,以啟動致動器並造成流體被運送經過微流體泵318的一運送通路102。
根據一範例,致動器322a-322m及324a-324m可組群成各別的原件320a-320n,其中變數 「n」代表大於一的整數值並可能小於變數「m」。原件320a-320n的各者可包括彼此分開達一預定距離之致動器。例如,沿著運送通路102的範圍,一第一原件320a可包括第一致動器322a、第五致動器等;且沿著運送通路102的範圍,第二原件320n可包括第二致動器、第六致動器等。致動器322a-322m及324a-324m組群成原件320a-320n係可使控制器302能夠輸出較小數目的啟動信號,藉以造成流體被運送經過微流體泵318。
根據一範例,控制器302、資料儲存器304及電腦可讀儲存媒體310係可與例如設置於一共同底座上的微流體泵318作整合。在另一範例中,控制器302、資料儲存器304及電腦可讀儲存媒體310係可與供微流體泵318設置其上之底座呈分離。在後者範例中,控制器302、資料儲存器304及電腦可讀儲存媒體310係可為一諸如智慧型手機、膝上型電腦、平板電腦等運算裝置的部份,並可經過一無線或無線連接而與微流體泵318構成介面。此外,在此範例中,微流體泵318可具有一電源供應器或可從運算裝置接收電力。
對於圖4所描繪的方法400更詳細地討論各種可實行微流體泵系統300的方式。特別地,圖4描繪一用以運送一流體經過一微流體裝置之範例方法400。一般熟悉該技藝者應明瞭:方法400可代表一般化的繪示並可添加其他的操作或者可移除、修改或重新配置既有的操作,而不脫離方法400的範圍。
為了繪示用途,參照圖3所繪示的微流體泵系統300來描述方法400。然而,顯然應瞭解可實行具有其他組態的微流體泵系統以進行方法400,而不脫離方法400的範圍。
在方塊402,流體可被供應至一微流體泵318的一運送通路102之一入口104。微流體泵318亦可在本文稱作一微流體裝置。如本文所討論,微流體泵318可包括圖1及2A-2C所示的特徵。此外,可經過入口104供應一足量的流體以充填運送通路102及微流體泵318的泵迴路110。
在方塊404,複數個泵迴路110中的致動器122係可被啟動以造成供應至運送通路102中的流體從入口104被運送,經過運送通路102,且來到運送通路的出口106外。如上文所討論,一控制器302可執行指令312以根據一預定序列來啟動致動器122,其造成經過運送通路102及泵迴路110在流體中引發一行波。亦即,所引發的行波係可造成流體從運送通路102的一端被運送至運送通路102的另一端。
根據一範例,致動器122係組群成多重的原件中之一者,且控制器302可根據預定序列來啟動各別原件中之致動器122。
根據一其中微流體泵318包括第二致動器220之範例,例如如同圖2B所示,控制器302係可控制致動器122及第二致動器220以造成流體在一相反方向被運送。亦即,例如,控制器302可例如藉由停止啟動信號對於致動器122作供應而造成致動器122停止被致動。此外,控制器302可根據一預定序列將啟動信號供應至第二致動器220,以造成第二致動器220形成一行波,該行波相較於由致動器122所形成的行波而言以相反方向移動經過微流體泵318。
方法400中所提出的部分或全部操作係可被包含成為任何所欲的電腦可存取媒體中之程式或子程式。此外,方法400可藉由電腦程式實施,其可以主動及非主動兩者的多種不同形式存在。例如,其可以機器可讀指令、包括原始碼、目的碼、可執行碼或其他格式存在。上述任一者皆可實施在一非暫態電腦可讀儲存媒體上。
非暫態電腦可讀儲存媒體的範例係包括電腦系統RAM、ROM、EPROM、EEPROM、及磁性或光碟片或磁帶。因此瞭解:任何能夠執行上述功能的電子裝置皆可進行上文所列舉的功能。
雖然在本揭示整體內容作特定地描述,本揭示的代表性範例係在廣泛應用範圍上具有效用,上文討論並無意且不應被詮釋成限制性,而是被提供作為本揭示的形態之繪示性討論。
本文已經描述及繪示者係為本揭示的一範例及其部分變異。本文所用的用語、描述及圖式係被提出僅供繪示且無意作為限制。在本揭示的精神與範圍內可能具有許多變異,其意圖由下列申請專利範圍及其均等物被界定,其中除非另行指示,所有用語皆具有其最廣泛合理的意義。
100,200,202,204,318‧‧‧微流體泵
102‧‧‧運送通路
104,222‧‧‧入口
106,224‧‧‧出口
110‧‧‧泵迴路
112‧‧‧第一分支
114‧‧‧第二分支
116‧‧‧連接段
118‧‧‧第一開口
120‧‧‧第二開口
122,322a-322m,324a-324m‧‧‧致動器
124,126,226‧‧‧箭頭
130,302‧‧‧控制器
132‧‧‧記憶體
210‧‧‧突件
220‧‧‧第二致動器
230‧‧‧孔
300‧‧‧微流體泵系統
304‧‧‧資料儲存器
310‧‧‧電腦可讀儲存媒體
312‧‧‧機器可讀指令
320a-320n‧‧‧原件
400‧‧‧方法
402,404‧‧‧方塊
102‧‧‧運送通路
104,222‧‧‧入口
106,224‧‧‧出口
110‧‧‧泵迴路
112‧‧‧第一分支
114‧‧‧第二分支
116‧‧‧連接段
118‧‧‧第一開口
120‧‧‧第二開口
122,322a-322m,324a-324m‧‧‧致動器
124,126,226‧‧‧箭頭
130,302‧‧‧控制器
132‧‧‧記憶體
210‧‧‧突件
220‧‧‧第二致動器
230‧‧‧孔
300‧‧‧微流體泵系統
304‧‧‧資料儲存器
310‧‧‧電腦可讀儲存媒體
312‧‧‧機器可讀指令
320a-320n‧‧‧原件
400‧‧‧方法
402,404‧‧‧方塊
本揭示的特徵係藉由範例作繪示並在下列圖中不受限制,其中類似的編號代表類似的元件,其中:
圖1描繪一範例微流體泵的簡化方塊圖;
圖2A-2C分別顯示額外的範例微流體泵之簡化方塊圖;
圖3顯示一範例微流體泵系統的簡化方塊圖;
圖4顯示一用於運送一流體經過一微流體裝置之範例方法的流程圖。
100‧‧‧微流體泵
102‧‧‧運送通路
104‧‧‧入口
106‧‧‧出口
110‧‧‧泵迴路
112‧‧‧第一分支
114‧‧‧第二分支
116‧‧‧連接段
118‧‧‧第一開口
120‧‧‧第二開口
122‧‧‧致動器
124,126‧‧‧箭頭
130‧‧‧控制器
132‧‧‧記憶體
Claims (15)
- 一種微流體裝置,其包含: 一運送通路,其具有一入口及一出口; 複數個泵迴路,其沿著該運送通路延伸,其中該等複數個泵迴路的各者包括: 一第一分支、一第二分支、及一連接該第一分支與該第二分支之連接段,其中該第一分支包括一第一開口且該第二分支包括一第二開口,且其中該第一開口及該第二開口與該運送通路呈直接流體聯通;及 一致動器,其位於該第一分支中,及 其中該等複數個泵迴路中的該等致動器係將被啟動以引發一行波,該行波將該流體從該入口運送經過該運送通路而至該出口。
- 如請求項1之微流體裝置,其中該等複數個泵迴路受到包圍,但該第一開口及該第二開口除外。
- 如請求項2之微流體裝置,其中該等複數個泵迴路的各者不包括一噴嘴。
- 如請求項1之微流體裝置,其中該等複數個泵迴路中的該等致動器係組群成各別的原件,且其中一各別的原件中之該等致動器係被單一指令信號所啟動。
- 如請求項1之微流體裝置,其進一步包含: 複數個突件,其位於該運送通路中,以利於流體從一個泵迴路的該第二開口流到一相鄰的泵迴路之該第一開口。
- 如請求項5之微流體裝置,其中該等複數個突件係定位成與該等第二分支的該等第二開口相鄰。
- 如請求項1之微流體裝置,其中該等複數個泵迴路的各者進一步包含: 一第二致動器,其位於該第二分支中;及 其中該等複數個泵迴路中的該等第二致動器係將被啟動以引發一第二行波,該第二行波將該流體從該出口運送經過該運送通路而至該入口。
- 如請求項1之微流體裝置,其中該等複數個泵迴路的各者包括一孔以修改該行波的一振幅及操作頻率,其中該孔位於該第二分支上。
- 如請求項1之微流體裝置,其中該等複數個泵迴路的各者具有約10微米與約500微米之間的尺寸。
- 一種方法,其包含: 將一流體供應至一微流體裝置的一運送通路的一入口,該微流體裝置包含複數個泵迴路,該等複數個泵迴路的各者包括: 一第一分支、一第二分支、及一連接該第一分支與該第二分支之連接段,其中該第一分支包括一第一開口且該第二分支包括一第二開口,且其中該第一開口及該第二開口與該運送通路呈直接流體聯通;及 一致動器,其位於該第一分支中;及 啟動該等複數個泵迴路中的該等致動器以引發一行波,該行波將造成該流體從該入口被運送、經過該運送通路、且來到該運送通路的一出口外。
- 如請求項10之方法,其中該等複數個泵迴路中的該等致動器係組群成一第一原件及一第二原件中的一者,且其中啟動該等致動器之步驟係進一步包含:交替地啟動該第一原件中的該等致動器及該第二原件中的該等致動器。
- 如請求項10之方法,其中該等複數個泵迴路的各者係進一步包含一位於該第二分支中之第二致動器,該方法進一步包含: 停止該等致動器的啟動; 啟動該等複數個泵迴路中的該等第二致動器以包括一第二行波,該第二行波將造成該流體從該出口被運送、經過該運送通路、且來到該入口外,其中該第二行波在與該行波的一相反方向作移動。
- 一種微流體系統,其包含: 一微流體運送通路,其具有一入口及一出口; 一陣列的微流體迴路,其配置為與該微流體運送通路呈流體聯通且沿著該微流體運送通路,其中該等微流體迴路的各者不包括一噴嘴,且其中該等微流體迴路的各者包括: 一第一分支、一第二分支、及一連接該第一分支與該第二分支之連接段,其中該第一分支包括一第一通道且該第二分支包括一第二通道,且其中該第一通道及該第二通道與該運送通路呈直接流體聯通;及 一泵,其位於該第一分支中; 一控制器,以啟動該等複數個微流體迴路中的該等泵來引發一行波,該行波將該流體運送經過該運送通路及該等微流體迴路。
- 如請求項13之微流體系統,其中該等複數個微流體迴路中的該等泵係組群成複數個原件,且其中該控制器將啟動該等複數個原件。
- 如請求項13之微流體系統,其進一步包含: 複數個突件,其位於該微流體運送通路中,以利於經過該運送通路之流體流。
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