TW201638510A - 自閉氣體填充閥 - Google Patents

自閉氣體填充閥 Download PDF

Info

Publication number
TW201638510A
TW201638510A TW104112195A TW104112195A TW201638510A TW 201638510 A TW201638510 A TW 201638510A TW 104112195 A TW104112195 A TW 104112195A TW 104112195 A TW104112195 A TW 104112195A TW 201638510 A TW201638510 A TW 201638510A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
valve
sealing
hole
gas
diaphragm
Prior art date
Application number
TW104112195A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI560386B (zh
Inventor
Huan-Jan Chien
Po-Wen Chen
Original Assignee
Bueno Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bueno Technology Co Ltd filed Critical Bueno Technology Co Ltd
Priority to TW104112195A priority Critical patent/TW201638510A/zh
Publication of TW201638510A publication Critical patent/TW201638510A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI560386B publication Critical patent/TWI560386B/zh

Links

Landscapes

  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)

Abstract

本發明係一種無動力而能自動關閉的腐蝕氣體填充閥結構,例如,含有氟素氣體、鹵素氣體等;該閥的動作順序由外部設備的連動機構對該閥的壓盤進行按壓作動,使原本保持密閉的閥體打開並由供氣端對填充端進行氣體充填,當充填氣體達到預定的壓力時,閥體內的膜片受壓膨脹帶動閥軸向上移動而帶動閥塞產生密閉狀態,該密閉狀態係由氣壓源的高氣壓之壓力迫緊密閉;在使用於高腐蝕氣體條件下,該閥的接觸氣體的零件設計成可替換結構,並且在密封接觸面係由膜片膨脹成正壓密封機制,來減少密封面的衝擊並加大接觸面積以減少顆粒的產生而降低汙染風險。

Description

自閉氣體填充閥
本發明係關於一種以氟樹脂製造的氣體閥,尤指無外部動力而可以自閉的氣體填充閥,氟樹脂包含有PFA、ETFE、PTFE、PVDF、FEP、PCTFE等,用來滿足各種高腐蝕氣體填充需求,例如含氟素氣體、鹵素氣體,而且該閥的材料係完全使用非金屬材料,完全無金屬汙染的顧慮。
一般氣體的填充閥廣泛用來灌注氣體、填充生產設備的反應室、形成特定氣體環境等用途,但是,在高腐蝕氣體環境下就無法使用習之的金屬材料製成;而且密封面的密封機制也不可以有產生顆粒汙染的問題;加上氣體腐蝕常會造成密封座之密封面降低密封效果;而無使用外部動力來產生密封,例如外部氣壓,是為了利用氣壓源的壓力而能簡化閥結構並節約能源,所以,本發明係針對下列要求進行創新:
(1)高腐蝕氣體輸送,如氯氣、氫氟酸。
(2)無外部動力而可以自閉,簡化結構並節能。
(3)密封面不可以有顆粒產生而造成汙染。
(4)對外部環境完全無洩漏。
(5)容易替換受氣體腐蝕的零件。
目前習知技術用於氣體閥結構者,早期多為金屬結構,而為滿足電子零件的腐蝕清潔製程,遂有氟素材料製成的氣體閥,以下數個引 證案有金屬材料製程者。
引證案一 US 2013/0032600 A1-Valve for container filled with halogen gas or halogen compound gas
一種膜片閥之機構,用於高腐蝕氣體之填充於容器用閥,在閥室內的膜片能同時開或閉入口通道與出口通道,特別在描述閥座之密封結構,包含接觸面之表面積、表面粗糙度、閥座之接觸面曲率半徑等,係由膜片直接由活動柱塞迫緊密封,該活動柱塞由傳動軸驅動,可以是氣動、電動或手動之驅動方式,該膜片密封面需承受氣源側高壓氣體,膜片受柱塞直接迫緊在閥座上。
引證案二 US 5413311-Gas valve
一種膜片閥之機構,特別在描述閥座之密封結構,係由膜片直接由活動柱塞迫緊密封,該活動柱塞由傳動軸驅動,閥之膜片為金屬面上有一層鐵氟龍來增加密封性能;本引證案為金屬材質無法滿足本申請案所提出的問題需求。
引證案三 TW 201221811 A1-空氣操作閥
係由一種橫向連通之氣動膜片閥,用於高純度蝕刻藥液,特別有關閥部與閥座在靠合密封時衝擊會引起密封面材料剝離產生顆粒的問題,所以,空氣驅動機構的機構為創新重點,另外,密封座尺寸形狀及膜片閥塞密封之間的關係,該閥塞為膜片之一部分,由閥軸經由氣壓驅動,作上下往復運動,已達成閥之開關動作。本引證案特別著重於密封面之微粒產生。
引證案四 CN 201672112 U-一種然氣安全電磁閥
一種然氣安全自閉閥為金屬材料製成,一種具有電磁線圈、拉桿、膜片、活動磁鐵、閥心控制桿、連桿、活塞桿等零件,膜片固定在 拉桿上並隔位在閥體內的離活動磁鐵、閥心控制桿、連桿、活塞桿,使用時把拉桿向上提使膜片向上移動,並使附在閥心控制桿上的活動磁鐵吸引拉桿,而帶動連桿與活塞桿連動而開啟閥門密封墊能正常供氣,這時膜片成受氣源壓力而膨脹,管道失壓時膜片向下收縮,而使閥心控制桿向下移動,並切斷活動磁鐵與拉桿間的吸引力,而使驅動閥心控制桿向下驅動連桿與活塞桿而關閉閥門密封墊成停止供氣,氣壓過高時膜片過度膨脹活動磁鐵與拉桿間仍然吸住或切斷二者的吸引力,使驅動閥心控制桿驅動連桿與活塞桿而關閉閥門密封墊成停止供氣。
引證案五 EP0517631A1-Valve with metal diaphragm
一種膜片閥之膜面之剖面結構,特別在描述金屬膜面之剖面結構與閥座密封,係由柱塞之剖面結構來配合膜片來達成密封之功能。
引證案六 US6082705A-Membrane valve wherein the membrane is displaced by a combination of fluid flow and operation of a solenoid
一種空氣膜片調節閥結構,特別用在流量調節之用,利用電磁閥之軸心,來控制其膜片的高度來達到流量控制之目的。
引證案七 手動氣體填充閥3,其特點為:
1.結構為金屬材質,無法承受腐蝕氣體。
2.若此結構材料改為PTFE,閥座出口的密封座會受限於成形後尺寸精確度及耐磨性,使用一段時間後容易磨損而無法密封。
3.閥主軸無使用膜片密封,在使用腐蝕氣體下將無法密封。
4.只適合一般氣體用途。
習知之手動氣體填充閥3,請參考第七圖(A)、第七圖(B)所示,係由閥本體310、壓環320、閥軸330、密封球333、密封墊326、手盤340所構成; 閥本體310其上兩側邊裝設有入口部311、出口部312,其上各設有通氣孔313與緊鎖螺牙314;閥本體310中心具有不同尺寸同心的孔狀結構,分別有內軸孔315、密封孔316、螺牙孔317;其中壓環320安裝在螺牙孔317,密封墊326安裝在密封孔316內受壓環320迫緊,密封球333安裝在內軸孔315內,能隨氣體流動而浮動,並能在出口部312的通氣孔上因受壓而產生密封效果。
閥軸330穿過於壓環320的中心孔323,其一端為螺牙部331位於閥本體310外部,裝設有手盤340與固定螺帽343;中間部分由壓環320密封與固定;另一端為具有盤形結構的壓球部332位於內軸孔315內,用來把位於出口部312通氣孔密封的密封球333推開使氣體流動。
壓環320的中心孔323上設有凹槽322,裝設有O型環來對閥軸330密封與固定;其外環面為螺牙部321被緊鎖在螺牙孔317上並對密封墊326迫緊,使O型環達到密封效果並能固定閥軸330。
密封墊326位於密封孔316底部,受壓環320迫緊而能使O型環產生變形來蜜蜂穿過中心孔的閥軸330。
密封球333為軟質塑膠材料或橡膠材料製成,其直徑為空氣孔直徑的3倍以上,能隨氣體流動而上浮,當受壓在出口部312通氣孔產生密封效果時,其球面能與通氣孔的開口密合。
手盤340由中心螺孔341緊鎖在閥軸330的螺牙部331上,並由固定螺帽343緊鎖固定。
氣體填充準備時,當需要進行氣體充填時,氣瓶管線接頭由緊鎖螺牙314被固定在出口部312,氣源管線接頭由緊鎖螺牙314被固定在入口部311,並把手盤340往上拉,打開氣源側的密閉閥,這時手動氣體填充閥3內的密封球333上浮,並受壓在出口部312通氣孔產生密封氣源的氣體不會 外洩。
要氣體填充時,把手盤340往下按,這時手動氣體填充閥3內的密封球333被閥軸330的壓球部332向下推,密封球333離開密封狀態,氣體由入口部311的通氣孔流向內軸孔315,並經由內軸孔315與壓球部332的徑向間隙,再流向出口部312的通氣孔對氣瓶進行充填。
完成氣瓶充填,把手盤340往上拉,這時手動氣體填充閥3內的閥軸330之壓球部332向上拉,推密封球333被氣流向上推而浮動,密封球333受壓在出口部312通氣孔產生密封。
以上的數個引證案中,若把金屬材料改為氟素材料;則需求條件(1)高腐蝕氣體輸送,所有引證案都將符合;需求條件(2)無外部動力而可以自閉,簡化結構並節能,引證案四也有特定安全條件下的自動關閉功能,但其機構相對複雜且與氣體填充用途之需求不符,其他引證案也都無相關說明;需求條件(3)密封面不可以有顆粒產生而造成汙染,除了引證案一與引證案三有提出外,其餘引證案並未詳細說明;需求條件(4)對外部環境完全無洩漏,則引證案七的閥軸係使用O形環密封,將無法達到完全密封之需求;需求條件(5)容易替換受氣體腐蝕的零件,以上的引證案都可以更換膜片零件,但在密封座的腐蝕則缺乏進一步說明。
這些案例的不符合原因主要在用途需求與所欲解決的問題點有所不同,故無法有習用的解決方案來解答本發明的問題;本發明係針對上述5項需求進行創新,以下將針對創新內容做詳細說明。
本發明主要目的在於提供一種無外部動力而可以自閉的氣體填充閥。
耐腐蝕氣體閥用在輸送有腐蝕性氣體的開啟或關斷,但密封相關零件接觸腐蝕氣體必須更容易更換、維修,大部分閥體本身包含接頭,成本相對較高,如只需更換閥座成本即可大大降低,而且閥的密封性能也是不可輕易洩漏,而能延長閥的使用壽命與降低使用成本,不使用外部動力而能自動關閉也大幅解省氣體驅動費用,閥體內的密封面也需高潔淨的要求,減少顆粒之產生;以下將針對各項需求的創新對策做說明。
(1)高腐蝕氣體輸送,如氯氣、氫氟酸;本項需求的對策就是在接觸腐蝕氣體部份採用氟素材料。
(2)無外部動力而可以自閉,簡化結構並節能;自閉氣體填充閥打開部分係由設備的連桿機構做出按壓動作,在開啟下氣體進行填充,當氣體填充壓力開始上升到一定壓力下,閥內的膜片也受壓膨脹而帶動閥軸來關閉閥的閥塞,而氣源側與填充側的壓力差將閥賽以正壓方式迫緊在閥座,沒有使用外氣自然會節能。
(3)密封面不可以有顆粒產生而造成汙染;閥塞以平面被正壓差迫緊在閥座,不會產生任何顆粒也不會有汙染。
(4)對外部環境完全無洩漏;以膜片來做隔離才可以做到完全無洩漏。
(5)容易替換受氣體腐蝕的零件;重新設計閥座,使閥做成一獨立零件,在有腐蝕產生導致洩漏發生時可以更換,而閥體在較長使用時間下才需要更換,因為閥體的結構尺寸大且包含接頭成本相對高。
1‧‧‧自閉氣體填充閥
110‧‧‧閥本體
111‧‧‧入口部
112‧‧‧出口部
113‧‧‧通氣孔
114‧‧‧螺牙
115‧‧‧內軸孔
116‧‧‧密封孔
116a‧‧‧密封凹槽
116b‧‧‧階梯部
116c‧‧‧定位孔
118‧‧‧定位環
119‧‧‧緊鎖螺栓
120‧‧‧壓環
121‧‧‧螺牙部
122‧‧‧凹槽
123‧‧‧中心孔
124‧‧‧迫緊面
125‧‧‧內螺牙孔
126‧‧‧迫緊環面
127‧‧‧工具面
128‧‧‧空氣室
130‧‧‧閥軸
131‧‧‧端螺牙
133‧‧‧內螺牙孔
134‧‧‧呼吸槽
140‧‧‧壓盤
141‧‧‧上盤面
142‧‧‧中心螺孔
150‧‧‧柱塞
151‧‧‧上螺牙部
152‧‧‧下螺牙部
153‧‧‧膜片
153a‧‧‧密封環
154‧‧‧外環面
160‧‧‧閥塞
161‧‧‧螺牙孔
162‧‧‧密封環面
170‧‧‧密封座
171‧‧‧法蘭盤
172‧‧‧圓柱面
173‧‧‧凸環
174‧‧‧定位孔
175‧‧‧定位梢
176‧‧‧中心孔
177‧‧‧密封面
178‧‧‧容氣室
180‧‧‧上蓋
181‧‧‧螺牙孔
182‧‧‧定位凸環
183‧‧‧壓合面
3‧‧‧手動氣體填充閥
310‧‧‧閥本體
311‧‧‧入口部
312‧‧‧出口部
313‧‧‧通氣孔
314‧‧‧螺牙
315‧‧‧內軸孔
316‧‧‧密封孔
317‧‧‧螺牙孔
320‧‧‧壓環
321‧‧‧螺牙部
322‧‧‧凹槽
323‧‧‧中心孔
324‧‧‧迫緊面
325‧‧‧內軸孔
326‧‧‧密封墊
330‧‧‧閥軸
331‧‧‧螺牙部
332‧‧‧壓球部
333‧‧‧密封球
340‧‧‧手盤
341‧‧‧上盤面
342‧‧‧中心螺孔
343‧‧‧固定螺帽
第一圖(A):係本發明自閉氣體填充閥之零件組合圖。
第一圖(B):係本發明自閉氣體填充閥之剖面圖。
第二圖(A):係本發明之閥本體3D剖面圖。
第二圖(B):係本發明之閥本體剖面圖。
第三圖(A):係本發明之本體上蓋3D剖面圖。
第三圖(B):係本發明之本體上蓋剖面圖。
第四圖(A):係本發明之壓環3D剖面圖。
第四圖(B):係本發明之壓環剖面圖。
第五圖(A):係本發明之柱塞3D圖。
第五圖(B):係本發明之柱塞剖面圖。
第六圖(A):係本發明之閥密封座3D剖面圖。
第六圖(B):係本發明之閥密封座剖面圖。
第七圖(A):係習用技術之手動氣體填充閥組合圖,開啟。
第七圖(B):係習用技術之手動氣體填充閥剖面圖,關閉。
自閉氣體填充閥1,請參考第一圖(A)為零件組合圖(爆炸圖),第一圖(B)為剖面結構圖,係由閥本體110、壓環120、閥軸130、柱塞150附有膜片153、閥塞160、密封座170、本體上蓋180、壓盤140所構成;請參考第二圖(A)、第二圖(B)為閥本體110剖面圖,閥本體110為四方形塊狀結構,其上兩側邊裝設有入口部111、出口部112,其上各設有通氣孔113與緊鎖螺牙114;閥本體110中心具有不同尺寸同心的孔狀結構, 分別有內軸孔115、密封孔116、階梯部116b、定位環118;該入口側通氣孔113接到內軸孔,出口側通氣孔113接到密封孔;密封座170安裝在密封孔116內並在階梯部116b的定位孔116c定位,柱塞150安裝在內軸孔115內,能在密封座170上因受壓而產生密封效果;定位環118位於密封孔116的階梯部116b之外側,用其內徑面定位來安裝本體上蓋180;本體上蓋180係透過其四個角落的通孔與閥本體110四個角落的螺牙孔用螺栓119緊鎖迫緊,迫緊時密封座170的法蘭盤171會被固定在階梯部116b,而法蘭盤171的上下面會被同時迫緊來達到密封效果。
請參考第三圖為本體上蓋180剖面圖,本體上蓋180為四方形塊狀結構,其上四個角落的通孔用來穿過螺栓119緊鎖閥本體110,其中心孔為螺牙孔181用來安裝壓環120,其底面為壓合面183會壓合法蘭盤171的上平面,及其定位凸環182用來貼合定位環118。
請參考第四圖為壓環120剖面圖,壓環120的中心孔123上設有凹槽122裝設有O型環,用來固定閥軸130;其外環面為螺牙部121被緊鎖在螺牙孔117上;位於最下方為迫緊環面126,用來迫緊膜片153外環的密封環153a,使膜片153達到密封效果;並在其下端與膜片153之間形成空氣室128;上方的外環面設有工具耦合的工具部127,可以使用鈑手把壓環120向下鎖緊以迫緊密封環153a,或向上鬆開以更換零件。
請參考第一圖(B)剖面結構圖,閥軸130穿過於壓環120的中心孔123,其一端為螺牙部131位於閥本體110外部,裝設有壓盤140;中間部分穿中心孔123上的O型環來固定;另一端為內螺牙孔125,用來安裝具有膜片部153的柱塞150;閥軸130的外環面有軸向的呼吸槽(未圖示),在膜片153受氣體壓力而膨脹時用來排出空氣側的空氣。
請參考第五圖為柱塞150剖面圖,柱塞150為圓柱狀,其一端為上螺牙部151結合閥軸130的內螺牙孔125;另一端為下螺牙部152穿過閥密封座170的中心孔176,用來結合閥塞160的螺牙161,安裝在內軸孔115內;中間部分附有圓盤形膜片153,位在外環的密封環153a被壓環120的迫緊環面126迫緊在閥密封座170的密封面177上;下螺牙部152上方的154外環面位於閥密封座170中心的容氣室178內。
請參考第六圖為密封座170剖面圖,密封座170安裝於密封孔116內成圓柱狀;其上方側有法蘭盤171,法蘭盤171上設有定位孔174與定位梢175;中間的圓柱面172貼合密封孔116內徑,下方側設有凸環173用來耦合閥本體110之凹槽116a以同心定位;其中央設有容氣室178,其側邊設有通氣孔179,在定位下與出口部112的通氣孔113相連接,且其下方設有貫穿的中心孔176;當上蓋180與閥本體110緊鎖迫緊時,法蘭盤171被迫緊在階梯部116b而達到密封;當閥密封座170受壓環120迫緊時,密封環153a將被迫緊在法蘭盤171上,其迫緊力將連貫到閥本體110來達成密封;柱塞150的下部會穿過中心孔176,且其前端設有螺牙用來安裝閥塞160;在閥塞160螺牙孔161周圍之密封環面162將會貼合中心孔176周圍的密封面177。
請參考第一圖(B)剖面結構圖,閥塞160其直徑大於中心孔直徑,最佳實施例為2倍以上,能隨柱塞150而上下移動,當受壓在中心孔176周圍的密封面177時會產生密封效果。
請參考第一圖(B)剖面結構圖,壓盤140由中心螺孔141緊鎖固定在閥軸130的螺牙部131上,其上盤面141將承受設備的連桿機構向下按壓。
氣體填充準備時,當需要進行氣體充填時,先確保壓盤沒有被設備的連桿機構壓住,氣瓶管線接頭由緊鎖螺牙114被固定在出口部112, 氣源管線接頭由緊鎖螺牙114被固定在入口部111,打開氣源側的密閉閥,這時自閉氣體填充閥1內的膜片153受高壓氣體而膨脹閥塞160隨之而上移,並受壓在在中心孔176周圍的密封面177產生密封氣源的氣體不會持續外洩。
要氣體填充時,設備的連桿機構向下按壓,把壓盤140往下按一下,這時設備的連桿機構隨即分離,這時自閉氣體填充閥1內的閥塞160下移,閥塞160離開密封狀態,氣體由入口部111的通氣孔流向內軸孔115,並經由中心孔176與柱塞150的徑向間隙,再流向出口部112的通氣孔對氣瓶或反應室進行充填。
完成氣體充填,這時自閉氣體填充閥1內的柱塞150上的膜片部153,會承受氣體壓力而向上膨脹並把柱塞150向上拉,閥塞160上移並受壓在中心孔176周圍的密封面177產生密封。
重複以上步驟就可以進行反覆氣體填充作業。
【發明效果】
本發明的閥軸130、本體上蓋180、壓環120、壓盤140都可以使用耐腐蝕等級較低的非氟素材料,因為不直接接觸腐蝕氣體可以降低成本;鬆開緊鎖螺栓119後,用鈑手作用在工具面127把壓環120向上鬆開,就可以更換柱塞150附有膜片153、閥塞160、密封座170三個易受腐蝕零件。
本發明的閥軸130被固定在壓環120的中心孔,其中用來固定的O型環的壓緊量為低迫緊,當膜片153向上膨脹時,其外側的空氣容易從閥軸130外環面的軸向呼吸槽134,未圖示,向外排出,使膜片153在低壓力下就能順利膨脹,而且只需克服O型環帶來的摩擦力,當閥塞160隨柱塞150而向上移動,而壓合在中心孔176周圍的密封面177,此時閥塞160會承受氣源側的高壓而產生密封效果,而且閥塞160與密封面177為正面迫緊,不會產 生顆粒汙染。
本發明的外部完全無洩漏的機制有二:一是柱塞150附有膜片153,其密封環153a受迫緊環面126迫緊而密封;二是密封座170的上方側有法蘭盤171,當上蓋180與閥本體110緊鎖迫緊時,法蘭盤171被迫緊在階梯部116b而達到密封。
1‧‧‧自閉氣體填充閥
110‧‧‧閥本體
119‧‧‧緊鎖螺栓
120‧‧‧壓環
130‧‧‧閥軸
140‧‧‧壓盤
150‧‧‧柱塞
153‧‧‧膜片
160‧‧‧閥塞
170‧‧‧密封座
180‧‧‧上蓋

Claims (5)

  1. 一種自閉氣體填充閥,該自閉氣體填充閥用在高腐蝕氣體在氣瓶填充或製程設備之反應室填充,該自閉氣體填充閥接觸腐蝕氣體的零件係使用含氟樹脂材質製成,該自閉氣體填充閥包含有:一閥本體、一壓環、一閥軸、一柱塞附有膜片、一閥塞、一密封座、一上蓋、一壓盤;閥本體為四方形塊狀結構,四個角落的螺牙孔用螺栓緊鎖迫緊上蓋,其上兩側邊裝設有入口部與出口部,且各設有通氣孔與緊鎖螺牙;閥本體中心設有內軸孔、密封孔、階梯部及定位環,用來組裝其他零件;該入口側通氣孔接到內軸孔,出口側通氣孔接到密封孔;柱塞安裝在密封座的氣體室內,而其上的閥塞則安裝在內軸孔內,位於密封座的下方側,其膜片能在密封座上受壓而密封,閥塞也能因膜片膨脹而隨柱塞上移且受氣體壓力而密封;上蓋經由定位凸環與定位環內徑面耦合定位安裝於閥本體;迫緊時凸環的壓合面會把密封座的法蘭盤迫緊在階梯部而密封;其中心孔為螺牙孔用來安裝壓環;壓環的螺牙部被緊鎖在上蓋的螺牙孔;其中心孔上設有凹槽裝設有O型環,用來固定閥軸;其位於最下方為迫緊環面,用來迫緊膜片的密封環於密封座的法蘭盤上使膜片密封;閥軸中間部分穿中心孔來固定;有一端為內螺牙孔用來安裝具有膜片部的柱塞;密封座安裝於密封孔內成圓柱狀;其上方側有法蘭盤,並在階梯部定位及被迫緊密封;中間的圓柱面貼合密封孔內徑;其中央設有容氣室,其側邊設有通氣孔與出口部的通氣孔相連接;其下方設有貫穿的中心 孔,容許柱塞通過;法蘭盤被上蓋迫緊在階梯部而達到密封;壓環迫緊時將密封環迫緊在法蘭盤來達成密封;閥塞安裝於柱塞下部,能隨柱塞而上下移動,其密封環面貼合中心孔周圍的密封面時會產生密封效果;壓盤由中心螺孔緊鎖固定在閥軸的螺牙部上,其上盤面將承受設備的連桿機構向下按壓,使閥塞隨柱塞而向下移動而開啟自閉氣體填充閥;本發明的完全無洩漏的專利特徵有二:一是柱塞附有膜片,其密封環受迫緊環面迫緊而密封;二是密封座的法蘭盤受上蓋與閥本體緊鎖迫緊在階梯部而達到密封;本發明的可更換接觸腐蝕氣體零件的專利特徵有:可以更換柱塞附有膜片、閥塞、密封座三個易受腐蝕零件;本發明的可自動閉合的專利特徵有:膜片在承受填充氣體壓力膨脹使柱塞向上移動,而閥塞隨之上升而壓合在中心孔周圍的密封面,此時閥塞還會承受氣源側的高壓而產生密封效果;本發明的密封面不會產生顆粒汙染的專利特徵有:閥塞係由膜片承受充填氣壓上升而膨脹帶動,並由氣源側高壓正面壓合密封,閥塞不會沖擊密封座也不會產生顆粒汙染。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之一種自閉氣體填充閥,其中,閥塞其直徑大於中心孔直徑2倍以上。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之一種自閉氣體填充閥,其中,閥軸的外環面有軸向的呼吸槽,在膜片膨脹時能排出膜片上方的空氣。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之一種自閉氣體填充閥,其中,密封座的法蘭盤由定位梢在階梯部的定位孔定位。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之一種自閉氣體填充閥,其中,密封座下方側設有凸環用來耦合閥本體之凹槽以同心定位。
TW104112195A 2015-04-16 2015-04-16 自閉氣體填充閥 TW201638510A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW104112195A TW201638510A (zh) 2015-04-16 2015-04-16 自閉氣體填充閥

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW104112195A TW201638510A (zh) 2015-04-16 2015-04-16 自閉氣體填充閥

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201638510A true TW201638510A (zh) 2016-11-01
TWI560386B TWI560386B (zh) 2016-12-01

Family

ID=57850281

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104112195A TW201638510A (zh) 2015-04-16 2015-04-16 自閉氣體填充閥

Country Status (1)

Country Link
TW (1) TW201638510A (zh)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6736370B1 (en) * 2002-12-20 2004-05-18 Applied Materials, Inc. Diaphragm valve with dynamic metal seat and coned disk springs
US20050109973A1 (en) * 2003-11-21 2005-05-26 Glime William H. Valve diaphragm
US7370664B2 (en) * 2005-01-31 2008-05-13 Swagelok Company Flow control device
JP5054904B2 (ja) * 2005-08-30 2012-10-24 株式会社フジキン ダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁
JP5153898B2 (ja) * 2010-04-28 2013-02-27 セントラル硝子株式会社 ハロゲンガス又はハロゲン化合物ガスの充填容器用バルブ

Also Published As

Publication number Publication date
TWI560386B (zh) 2016-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2017167223A1 (zh) 阀芯组件及截止阀
JPS6411867B2 (zh)
EP1240450B1 (en) A shut-off valve assembly
CN203809717U (zh) 阀门
CN210601013U (zh) 一种带有活塞排气装置的杠杆浮球式疏水阀
JP2012026544A (ja) エアオペレートバルブ
CN212407652U (zh) 一种中间环形面密封型隔膜阀
CN105003680B (zh) 一种半球阀
KR101269692B1 (ko) 테프론라인더 버터플라이밸브 기밀구조
CN202451859U (zh) 高温高压中法兰密封阀门
CN2926698Y (zh) 固定球膜片式金属密封球阀
TW201638510A (zh) 自閉氣體填充閥
CN212804339U (zh) 一种密封效果好的管道用球阀阀体
CN103470790B (zh) 三偏心金属密封蝶阀
CN211039763U (zh) 一种高温高压硬密封球阀
CN106321918B (zh) 自闭气体填充阀
CN110566800A (zh) 一种带有活塞排气装置的杠杆浮球式疏水阀
KR20180027880A (ko) 파열디스크가 일체로 구비된 안전밸브
CN105570501A (zh) 一种新型气体稳压卸荷阀
CN203743599U (zh) 钢管冷挤压阀门
CN220646814U (zh) 一种防止关闭时杂质损坏密封面的阀门
JP2013108577A (ja) 吸排気弁
CN207437784U (zh) 一种装载阀
CN219639516U (zh) 一种气体隔膜阀
JPH0143574Y2 (zh)