Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kenan CinarfiledCriticalKenan Cinar
Priority to TR2021/002811UpriorityCriticalpatent/TR2021002811U4/tr
Publication of TR2021002811U4publicationCriticalpatent/TR2021002811U4/tr
Buluş, kaynak işlemi sırasında ortama yayılan UV (UltraViole) ve IR (InfraRed-Kızılötesi) ışınlarını algılayan sensöre (1) sahip, koruyucu kask lambalarına, koruyucu baret lambalarına, kaynak maskesine entegre edilen ve kaynak kabinine, kaynak odasına veya kaynağın gerçekleştirileceği ortama harici olarak monte edilerek kullanılabilen otomatik açılıp kapanan aydınlatma sistemi ile ilgilidir
A lithographic apparatus having a contaminant trapping system, a contaminant trapping system, a device manufacturing method, and a method for improving trapping of contaminants in a lithographic apparatus