TH9874B - กระบวนการและระบบที่ปรับปรุงให้ดีขึ้นสำหรับการแยกและการนำแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรกลับคืน - Google Patents

Abstract

DC60 (24/05/43) กระบวนการและระบบที่จะนำแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรอย่างน้อย หนึ่งชนิดกลับคืนจากของผสมแก๊สได้ถูกจัดหาให้ ในลักษณะหนึ่ง กระบวนการเกี่ยวกับการ ประดิษฐ์นี้ประกอบรวมด้วยการจัดหาของผสมแก๊ส ซึ่งประกอบด้วยแก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโร อย่างน้อยหนึ่งชนิด และแก๊สพาหะอย่างน้อยหนึ่งชนิด ของผสมแก๊สนั้นอยู่ ที่ความดันที่กำหนดไว้ล่วงหน้า การจัดหาเมมเบรนชนิดเลือกขนาดอย่างน้อยหนึ่งชนิดที่มี ด้านสารป้อนและด้านที่ซึมได้, การสัมผัสด้านสารป้อนของเมมเบรนอย่างน้อยหนึ่งชนิด กับของ ผสมแก๊สนั้น, การดึงของผสมแก๊สเข้มข้นซึ่งประกอบรวมด้วยแก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโรอย่างน้อยหนึ่งชนิดออกจากด้านสารป้อนของเมมเบรนเป็นกระแสที่ไม่มีการ ซึมที่ความดันหนึ่งซึ่งเท่ากับความดันที่กำหนดไว้ล่วงหน้าอย่างเห็นได้ชัด และการดึงของผสม แก๊สที่ลดปริมาณลงซึ่งประกอบอย่างที่ขาดไม่ได้ด้วยแก๊สพาหะอย่างน้อยหนึ่งชนิดออกจาก ด้านที่ซึมได้ของเมมเบรนนั้นเป็นกระแสที่ซึมได้ กระบวนการและระบบที่จะนำแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรอย่างน้อย หนึ่งชนิดกลับคืนจากของผสมแก๊สได้ถูกจัดหาให้ ในลักษณะหนึ่ง กระบวนการเกี่ยวกับการ ประดิษฐ์นี้ประกอบรวมด้วยการจัดหาของผสมแก๊ส ซึ่งประกอบด้วยแก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโร อย่างน้อยหนึ่งชนิด และแก๊สพาหะอย่างน้อยหนึ่งชนิด ของผสมแก๊สนั้นอยู่ ที่ความดันที่กำหนดไว้ล่วงหน้า การจัดหาเมมเบรนชนิดเลือกขนาดอย่างน้อยหนึ่งชนิดที่มี ด้านสารป้อนและด้านที่ซึมได้, การสัมผัสด้านสารป้อนของเมมเบรนอย่างน้อยหนึ่งชนิด กับของ ผสมแก๊สนั้น, การดึงสารผสมแก๊สเข้มข้นซึ่งประกอบรวมด้วยแก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโรอย่างน้อยหนึ่งชนิดออกจากด้านสารป้อนของเมมเบรนเป็นกระแสที่ไม่มีการ ซึมที่ความดันหนึ่งซึ่งเท่ากับความดันที่กำหนดไว้ล่วงหน้าอย่างเห็นได้ชัด และการดึงของผสม แก๊สที่ลดปริมาณลงซึ่งประกอบอย่างที่ขาดไม่ได้ด้วยแก๊สพาหะอย่างน้อยหนึ่งชนิดออกจาก ด้านที่ซึมได้ของเมมเบรนนั้นเป็นกระแสที่ซึมได้

Claims (7)

1. กระบวนการที่จะนำแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรชนิดหนึ่งเป็นอย่างน้อยกลับคืน จากของผสมแก๊สซึ่งประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ a) การจัดหาของผสมแก๊สชนิดหนึ่ง ซึ่งประกอบรวมด้วยแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์- ฟลูออโร อย่างน้อยหนึ่งชนิดและแก๊สพาหะอย่างน้อยหนึ่งชนิด ของผสมแก๊สดังกล่าวอยู่ที่ความดัน ที่หนึ่งและอุณหภูมิที่หนึ่ง b) การจัดหาเมมเบรนชนิดที่หนึ่งซึ่งมีด้านสารป้อนด้านหนึ่งและด้านที่ซึมได้ด้าน หนึ่ง และแสดงการซึมของแก๊สพาหะที่ชอบมากกว่าซึ่งมีความสามารถในการเลือก SEL ที่ระบุเป็น DcSc/DpSp ที่มากกว่า 1.0 ซึ่ง Dp เป็นความสามารถในการเลือกสภาพเคลื่อนที่ได้ของแก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโร Sp เป็นความสามารถในการเลือกสภาพละลายได้ของแก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโร Dc เป็นความสามารถในการเลือกสภาพเคลื่อนที่ได้ของแก๊สพาหะ Sc เป็นความสามารถในการเลือกสภาพละลายได้ของแก๊สพาหะ c) การสัมผัสด้านสารป้อนของเมมเบรนดังกล่าวกับของผสมแก๊สดังกล่าว d) การดึงของผสมแก๊สเข้มข้นซึ่งประกอบรวมด้วยอย่างที่ขาดไม่ได้ด้วยแก๊สชนิดสาร ประกอบเพอร์ฟลูออโรอย่างน้อยหนึ่งชนิดกลับคืนจากด้านสารป้อนของเมมเบรนดังกล่าวเพื่อเป็น กระแสที่ไม่มีการซึมชนิดที่หนึ่งที่ความดันซึ่งเท่ากับความดันที่หนึ่งดังกล่าวอย่างเห็นได้ชัด และ e) การดึงของผสมแก๊สที่ลดปริมาณลงซึ่งประกอบอย่างที่ขาดไม่ได้ด้วยแก๊สพาหะ อย่างน้อยหนึ่งชนิด กลับคืนจากด้านที่ซึมได้ของเมมเบรนดังกล่าวเพื่อเป็นกระแสซึมได้ชนิดที่หนึ่ง 2. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งอัตราส่วนของความสามารถในการเลือก "SEL" จะอยู่ ระหว่าง 5 และประมาณ 1,000 สำหรับแก๊สพาหะดังกล่าวชนิดใดชนิดหนึ่งอย่างน้อยหนึ่งชนิดต่อแก๊ส ชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรดังกล่าวชนิดใดชนิดหนึ่งอย่างน้อยหนึ่งชนิด 3. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งความดันที่หนึ่งถูกจัดหาให้โดยการอัดของ ผสมแก๊สดังกล่าวด้วยเครื่องอัดชนิดหนึ่ง 4. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 3 ซึ่งเครื่องอัดดังกล่าวปลอดจากน้ำมันและถูก ผนึกไว้ 5. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 3 ซึ่งของผสมแก๊สดังกล่าวถูกกระทำก่อนการ อัดเพื่อขจัดพวกสารประกอบที่เป็นอันตรายต่อเครื่องอัดนั้น 6. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สดังกล่าวถูกกระทำด้วยกระบวนการ กระทำล่วงหน้าก่อนที่จะเข้าไปทางด้านสารป้อนของเมมเบรนชนิดที่หนึ่งเพื่อขจัดสารต่างๆ ที่เป็น อันตรายสำหรับเมมเบรนนั้นก่อนการสัมผัสด้านสารป้อนของเมมเบรนนั้นกับของผสมแก๊สดังกล่าว 7. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 6 ซึ่งกระบวนการกระทำล่วงหน้าดังกล่าวถูก คัดเลือกได้จากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยการสลายตัวด้วยพลาสมา,การสลายตัวด้วยความร้อน,การสลายตัว แบบใช้ตัวเร่งปฏิกิริยา,การขัดถูก และการดูดซับ 8. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 7 ซึ่งกระแสของเสียจากกระบวนการกระทำล่วง หน้าดังกล่าวได้ถูกใช้เพื่อก่อกำเนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรต่างๆ 9. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งเมมเบรนชนิดที่หนึ่งดังกล่าวเป็นเมมเบรนชนิดเลือก ขนาดที่ชอบการซึมของแก๊สพาหะอย่างน้อยหนึ่งชนิด 1 0. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 9 ซึ่งเมมเบรนนั้นเป็นอสมมาตร 1 1. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 9 ซึ่งเมมเบรนดังกล่าวประกอบรวมด้วยพวกเส้นใยกลวง จำนวนมาก 1 2. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 11 ซึ่งด้านสารป้อนดังกล่าวของเมมเบรนประกอบรวมด้วย ด้านเจาะของเส้นใยกลวงจำนวนมากดังกล่าวแต่ละเส้น ขณะที่ด้านซึมได้อยู่ด้านนอกของเส้นใยกลวง แต่ละเส้น 1 3. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 9 ซึ่งเมมเบรนนั้นเป็นโพลิเมอร์เหมือนกระจกที่ทำด้วย โพลิเมอร์อย่างน้อยหนึ่งชนิดที่คัดเลือกได้จากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยโพลิอิมีด, โพลิเอมีด, โพลิเอมิด อิมีด, โพลิเอสเทอร์, โพลิคาร์บอเนต, โพลิซัลโฟน, โพลิอีเธอร์ซัลโฟน, อะโรแมติกโพลิเอสเทอร์ที่ แทนที่ด้วยอัลคิล, เซลลูโลสอะซีเทต, ฟลูออริเนเทดอะโรแมติกโพลิอิมีด, โพลิฟินิลีนออกไซด์ , ซัลโฟเนเทดโพลิฟีนิลีนออกไซด์,โพลิอีเธอร์อีเธอร์ซัลโฟน, โพลิอีเธอร์คีโตน, โคโพลีเมอร์ของสาร นั้น สิ่งผสมของสารนั้น และโพลิเมอร์ที่ถูกแทนที่ของสารนั้น 1 4. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 9 ซึ่งเมมเบรนนั้นเป็นเมมเบรนชนิดตะแกรงคาร์บอน 1 5. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 9 ซึ่งเมมเบรนนั้นเป็นเมมเบรนที่เคลือบด้วยซีโอไลต์ หรือเมมเบรนที่เติมด้วยซีโอไลต์ 1 6. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สดังกล่าวประกอบรวมด้วย กระแสปล่อยออกจากกระบวนการหนึ่งที่คัดเลือกได้จากกลุ่มซึ่งประกอบด้วย การกัดขึ้นรอย, การพอก พูนของไอสารเคมี และการทำความสะอาดถัง 1 7. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรถูกคัดเลือกได้ จากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยพวกฟลูออโรคาร์บอน, NF3, SF6 เฮโลจีโนคาร์บอน และของผสมของสาร นั้น 1 8. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 17 ซึ่งกระแสที่ไม่มีการซึมประกอบรวมด้วยของผสมของ แก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรที่คัดเลือกได้จากกลุ่มซึ่งประกอบด้วย SF6, C2F6, CHF3, CF4 และ NF3 1 9. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 18 ซึ่งการแยกแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรที่ ระเหยได้น้อยอย่างน้อยหนึ่งชนิดออกจากแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรที่ระเหยได้มากกว่าได้ ถูกกระทำโดยการควบแน่นในเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนซึ่งใช้ของเหลวช่วยทำให้เย็นที่อุณหภูมิ และอัตราการไหลที่ได้ผล 2 0. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งแก๊สพาหะอย่างน้อยชนิดหนึ่งถูกคัดเลือกได้จาก กลุ่มที่ประกอบด้วย Ar, N2, Kr, Xe, Ne, O2, He, H2, CO, CO2, H2O และของผสมของสารนั้น ซึ่งรวม ไปถึงอากาศ 2 1. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งเมมเบรนนั้นเป็นเมมเบรนชนิดเส้นใยกลวงซึ่ง ประกอบรวมด้วยแกนโพลิเมอร์และเปลือกนอก สภาพซึมได้ของโพลิเมอร์ของเปลือกนอกนั้นสำหรับสาร ประกอบเพอร์ฟลูออโรต่ำกว่าสำหรับไนโทรเจน 2 2. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สซึ่งถูกสัมผัสกับเมมเบรนนั้นประกอบ ด้วยส่วนประกอบชนิดแก๊สแต่ละชนิดซึ่งเป็นอันตรายสำหรับเมมเบรนนั้นน้อยกว่า 1% โดยปริมาตร 2 3. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สซึ่งถูกสัมผัสกับเมมเบรนนั้นประกอบรวม ด้วยส่วนประกอบชนิดแก๊สแต่ละชนิด ซึ่งเป็นอันตรายสำหรับเมมเบรนนั้นน้อยกว่า 10 ppm 2 4. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สซึ่งถูกสัมผัสกับเมมเบรนนั้นประกอบรวม ด้วยส่วนประกอบชนิดแก๊สแต่ละชนิด ซึ่งเป็นอันตรายสำหรับเมมเบรนนั้นน้อยกว่า 1 ppm 2 5. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สก่อนที่จะสัมผัสกับด้านป้อนของ เมมเบรนนั้นได้ถูกทำให้มีความดันหนึ่งซึ่งมีผลสำหรับการดำเนินการแยกแก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโร หรือของผสมแก๊สเพื่อจะนำกระแสที่ไม่มีการซึมซึ่งถูกทำให้เข้มข้นในสารชนิดสาร ประกอบเพอร์ฟลูออโรที่เทียบกับของผสมแก๊สนั้นกลับคืนมา 2 6. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งอัตราส่วนของความดันสัมบูรณ์ของด้านสารป้อน ต่อด้านที่ซึมได้จะอยู่ระหว่าง 2 และประมาณ 10 2 7. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งความดันที่หนึ่งของของผสมแก๊สที่การป้อนให้แก่ เมมเบรนนั้นอยู่ระหว่าง 105 พาสคาล ถึงประมาณ 2.0x10 7 พาสคาล 2 8. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สที่ลดปริมาณลงติดต่อแบบการไหลกับ ด้านของอุปกรณ์สุญญากาศที่มีความดันต่ำ 2 9. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มีการซึมชนิดที่ หนึ่งได้ถูกส่งไปทางด้านสารป้อนของเมมเบรนชนิดที่สอง เมมเบรนชนิดที่สองดังกล่าวซึ่งให้กระแส ที่ไม่มีการซึมชนิดที่สองที่เข้มข้นด้วยสารประกอบเพอร์ฟลูออโรมากกว่ากระแสที่ไม่มีการซึมชนิดที่ หนึ่งดังกล่าว กระบวนการดังกล่าวดำเนินต่อตลอดขั้นตอน N เมมเบรน 3 0. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่งจำนวนของขั้นตอนเอ็น คือ 2 เป็นอย่างน้อย และ อย่างน้อยส่วนหนึ่งของสิ่งซึมได้ของขั้นตอนหนึ่งน้อยกว่า N ได้ถูกขจัด และนอกจากนี้ อย่างน้อย ส่วนหนึ่งของสิ่งซึมได้ของขั้นตอนหนึ่งถูกนำกลับมาใช้ทางด้านสารป้อนของขั้นตอนทางตอนบน ใหม่ 3 1. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 30 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยการเพิ่มความดันของส่วนหนึ่ง ของสิ่งที่ซึมได้ของขั้นตอนที่ถูกหมุนเวียนกลับมาใช้ใหม่ก่อนการสัมผัสของมันกับขั้นตอนทางตอน บน 3 2. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 30 ซึ่งเมมเบรนชนิดที่สองมีอัตราส่วนของความสามารถ ในการเลือกสำหรับแก๊สพาหะซึ่งมากกว่าอัตราส่วนของความสามารถในการเลือกของเมมเบรนชนิด ที่หนึ่ง 3 3. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 30 ซึ่งเมมเบรนชนิดที่สองมีอัตราส่วนของความสามารถ ในการเลือกสำหรับแก๊สพาหะ ซึ่งน้อยกว่าอัตราส่วนของความสามารถในการเลือกของเมมเบรนชนิด ที่หนึ่งสำหรับแก๊สพาหะ 3 4. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่ง N จะมีช่วงตั้งแต่ 3 ถึง 10 3 5. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่งขั้นตอนของเมมเบรน N จะมีอยู่และได้ ดำเนินกระบวนการที่จุดปรับตั้งความเข้มข้นคงตัวสำหรับแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรชนิด หนึ่งหรือมากกว่าในกระแสที่ไม่มีการซึมสำหรับขั้นตอน N 3 6. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่งเมมเบรนชนิดที่สองมีอัตราส่วนของความสามารถ ในการเลือกสำหรับแก๊สพาหะซึ่งน้อยกว่าอัตราส่วนของความสามารถในการเลือกของเมมเบรนชนิด ที่หนึ่งสำหรับแก๊สพาหะ 3 7. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่งอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มี การซึมชนิดที่ N จากขั้นตอน N ได้ถูกใช้เป็นแก๊สกวาดทางด้านที่ซึมได้ของเมมเบรนก่อนหน้านี้อัน ใดอันหนึ่ง และ/หรือทางด้านที่ซึมได้ของขั้นตอน N ของเมมเบรน 3 8. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่งแต่ละขั้นตอนถูกดำเนินการที่จุดปรับตั้ง ความเข้มข้นคงตัวสำหรับแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรหนึ่งชนิดหรือมากกว่านั้นในแต่ละขั้น ตอนโดยการควบคุมตัวแปรในการทำงานของเมมเบรนอย่างน้อยหนึ่งชนิดที่คัดเลือกได้จากกลุ่มที่ ประกอบด้วยอัตราการไหล อัตราเร็วของแก๊สกวาด ความดันของสารป้อน อัตราส่วนความดัน ของทรานส์เมมเบรน และอุณหภูมิ 3 9. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งกระแสที่ไม่มีการซึมได้ถูกอัด และ/หรือถูกทำให้ เย็นลง และเก็บไว้ในอุปกรณ์สำหรับเก็บรักษาสำหรับการผ่านกระบวนการต่อไป 4 0. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สถูกได้มาจากกระบวนการการผลิตสาร และอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มีการซึมชนิดแรกถูกหมุนเวียนกลับมาใช้ในกระบวนการการ ผลิตสารนั้นใหม่ 4 1. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 40 ซึ่งส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มีการซึมซึ่ง ถูกหมุนเวียนนำกลับมาใช้ใหม่ถูกส่งไปสู่ถังเสิร์จก่อนการเข้าไปสู่กระบวนการซ้ำอีกหรือก่อนถูกส่ง ไปเก็บ 4 2. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งอย่างน้อยหนึ่งในบรรดาแก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโรของกระแสที่ไม่มีการซึมถูกแยกต่อไปจากสารประกอบเพอร์ฟลูออโรอื่นๆ ในกระแสที่ ไม่มีการซึมดังกล่าว 4 3. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 42 ซึ่งอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มีการซึมซึ่ง ประกอบอย่างที่ขาดไม่ได้ด้วย NF3 และ CF4 และได้ถูกส่งให้แก่ระบบการดูดซับ ซึ่ง NF3 ได้ถูกดูด ซับและ CF4 ไม่ถูกดูดซับ 4 4. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 42 ซึ่งอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มีการซึมซึ่ง ประกอบอย่างที่ขาดไม่ได้ด้วย CHF3 และ C3F6 และได้ถูกสัมผัสกับสารดูดซับ ด้วยเหตุนี้ CHF3 จึง น่าถูกดูดซับได้ดีกว่า 4 5. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 42 ซึ่งอย่างน้อยหนึ่งในพวกสารประกอบเพอร์ฟลูออโร ถูกแยกออกจากกระแสที่ไม่มีการซึมในระบบเมมเบรนซึ่งมีขั้นตอนการแยกด้วยเมมเบรนหนึ่งขั้น ตอนหรือมากกว่านั้น 4 6. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งอุณหภูมิชุดที่หนึ่งสำหรับของผสมแก๊สเมื่อมันเข้า ไปทางด้านสารป้อนของเมมเบรนจะอยู่ระหว่าง -40 ํซ. ถึง 120 ํซ. 4 7. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สถูกทำให้ร้อนจนถึงอุณหภูมิชุดที่สอง ก่อนการป้อนของผสมแก๊สให้แก่เมมเบรนนั้น อุณหภูมิชุดที่สองดังกล่าวซึ่งมีช่วงตั้งแต่ -40 ํ ถึง 120 ํ ซ. 4 8. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สนั้นถูกทำให้เย็นลงจนถึงอุณหภูมิชุดที่ สองก่อนการส่งของผสมแก๊สไปยังเมมเบรนนั้น อุณหภูมิชุดที่สองดังกล่าวมีช่วงตั้งแต่ -40 ถึง 120 ํซ. 4 9. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มี การซึมชนิดที่หนึ่งถูกใช้เป็นแก๊สกวาดทางด้านที่ซึมได้ของเมมเบรนนั้น 5 0. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งกระบวนการนั้นได้ถูกดำเนินการที่จุด ปรับตั้งความเข้มข้นคงตัวสำหรับแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรหนึ่งชนิดหรือมากกว่านั้นใน กระแสที่ไม่มีการซึมชนิดที่หนึ่งดังกล่าว 5 1. กระบวนการ ตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งกระแสที่ซึมได้ถูกหมุนเวียนนำกลับมาใช้ ใหม่กับกระบวนการนั้นหรือนำมาเก็บไว้ 5 2. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งเครื่องมือในการผลิตสารกึ่งตัวนำที่ เหมือนกันหรือต่างกันจำนวนส่วนมากได้ถูกจัดเรียงไว้ให้สัมพันธ์กับการไหลแบบขนานและเครื่อง มือแต่ละชนิดมีหน่วยการแยกด้วยเมมเบรนที่สอดคล้องกันที่ออกแบบไว้เฉพาะงาน หน่วยเมมเบรน ดังกล่าวซึ่งเหมือนกันหรือแตกต่างกัน 5 3. กระบวนการ ตามข้อถือสิทธิข้อ 52 ซึ่งมีเมมเบรนสำรองอยู่หนึ่งชนิด หรือมาก กว่านั้น ซึ่งยอมให้เมมเบรนชนิดหนึ่งหรือมากกว่าถูกใช้เป็นประโยชน์หรือไม่เช่นนั้นก็ทำให้เป็นทาง รอง 5 4. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มี การซึมจากขั้นตอนของเมมเบรนเริ่มแรกหนึ่งขั้นหรือมากกว่านั้น ได้ถูกกระทำเมื่อขจัดแก๊สชนิดที่ไม่ ใช่สารประกอบเพอร์ฟลูออโร และสารอื่นๆ ซึ่งอาจเป็นอันตรายต่อเมมเบรนนั้น 5 5. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งกระบวนการดังกล่าวถูกปฏิบัติการที่ อัตราการไหลของแก๊สพาหะคงตัว 5 6. กระบวนการที่จะนำกลับคืนอย่างน้อยหนึ่งชนิดของแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโร หรือของผสมแก๊สจากของผสมแก๊สซึ่งไหลจากกระบวนการผลิตสารกึ่งตัวนำซึ่งประกอบรวมด้วยขั้นตอน ของ : a) การให้ของผสมแก๊สที่หนึ่งซึ่งประกอบรวมด้วยอย่างน้อยแก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโรหนึ่งชนิด อย่างน้อยสารที่เป็นอันตรายต่อเมมเบรนโพลิเมอร์หนึ่งชนิด และอย่าง น้อยแก๊สพาหะหนึ่งชนิด b) การให้เมมเบรนชนิดโพลิเมอร์ดังกล่าวซึ่งมีด้านสารป้อนหนึ่งด้านและด้านที่ซึม ได้หนึ่งด้าน c) การกระทำล่วงหน้าสำหรับของผสมแก๊สที่หนึ่งดังกล่าวเพื่อจะลดความเข้มข้น ของสารดังกล่าวที่เป็นอันตรายต่อเมมเบรนชนิดโพลิเมอร์ดังกล่าว และการได้รับของผสมแก๊สที่ กระทำแล้ว; d) การสัมผัสด้านสารป้อนของเมมเบรนชนิดโพลิเมอร์ดังกล่าวกับของผสมแก๊สที่ กระทำแล้วดังกล่าว; e) การดึงของผสมแก๊สเข้มข้นซึ่งประกอบรวมด้วยแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโร อย่างน้อยหนึ่งชนิดที่มีความเข้มข้นสูงกว่าความเข้มข้นในของผสมแก๊สที่กระทำแล้ว, ออกจากด้าน สารป้อนของเมมเบรนชนิดโพลิเมอร์นั้นเป็นกระแสที่ไม่มีการซึมที่ความดันซึ่งเท่ากับความดันของ ของผสมแก๊สดังกล่าว; และ f) การดึงของผสมแก๊สที่ซึมได้ชนิดหนึ่งออกจากด้านที่ซึมได้ของเมมเบรนชนิดโพลิ เมอร์ดังกล่าวของผสมแก๊สที่ซึมได้ดังกล่าวมีแก๊สพาหะอยู่มาก 5 7. ระบบการผลิตสารกึ่งตัวนำซึ่งประกอบรวมด้วย : a) อย่างน้อยถังของเครื่องปฏิกรณ์หนึ่งหน่วยที่ปรับให้รับของผสมแก๊สซึ่ง ประกอบรวมด้วยแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรและแก๊สพาหะ ถังของเครื่องปฏิกรณ์ซึ่ง มีท่อแก๊สปล่อยออกจากเครื่องปฏิกรณ์ที่ติดกับที่นั่น; b) อย่างน้อยหนึ่งหน่วยการแยกด้วยเมมเบรนชนิดเลือกขนาดซึ่งมีด้านสารป้อนและ ด้านที่ซึมได้ เมมเบรนดังกล่าวที่ให้อย่างน้อยแก๊สพาหะหนึ่งชนิดที่เกี่ยวข้องกับแก๊สชนิดสารประกบ เพอร์ฟลูออโรอย่างน้อยหนึ่งชนิดผ่านได้ดีกว่า หน่วยเมมเบรนดังกล่าวที่เชื่อมต่อกับถังของ เครื่องปฏิกรณ์ดังกล่าวทางท่อปล่อยออกของเครื่องปฏิกรณ์นั้น หน่วยเมมเบรนดังกล่าวซึ่งมีท่อระบาย ที่ซึมได้ และท่อที่ไม่มีการซึม และ c) อุปกรณ์ที่จะนำกระแสที่ไม่มีการซึมอย่างน้อยหนึ่งส่วนกลับมาใช้ใหม่จากหน่วย เมมเบรนดังกล่าวกลับไปสู่ถังของเครื่องปฏิกรณ์อย่างน้อยหนึ่งหน่วย 5 8. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 57 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยอุปกรณ์ปฏิบัติการในการ ติดต่อแบบการไหลกับท่อปล่อยของเครื่องปฏิกรณ์ และหน่วยเมมเบรนนั้นอุปกรณ์ปฏิบัติการดังกล่าว เลือกได้จากกลุ่มที่ประกอบขึ้นด้วยการสลายตัวด้วยพลาสมา, การสลายตัวด้วยความร้อน, การขจัดด้วย การเร่งปฏิกิริยา, การขัดถู และการดูดซับ 5 9. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 57 ประกอบรวมด้วยหน่วยการแยกด้วยเมมเบรน ชนิดเลือกขนาดจำนวนมากได้จัดเรียงเป็นอนุกรม 6 0. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 59 ซึ่งอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ซึมได้ชนิดที่ หนึ่งจากหน่วยการแยกด้วยเมมเบรนชนิดที่หนึ่งได้ถูกระบายในท่อระบายและอย่างน้อยส่วนหนึ่งของ กระแสที่ซึมได้ทางตอนล่างจากหน่วยการแยกด้วยเมมเบรนทางตอนล่าง ได้ถูกหมุนเวียนกลับมาใช้ ใหม่ทางด้านสารป้อน ของเมมเบรนทางตอนบนในเครื่องมือที่จะนำกลับมาใช้ใหม่ 6 1. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 59 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยถังหน่วง หรือถังเสิร์จที่ วางตำแหน่งไว้ในท่อที่ไม่มีการซึม 6 2. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 57 ประกอบรวมด้วยหน่วยการแยกด้วยเมมเบรน ชนิดเลือกขนาดจำนวนมากได้ถูกจัดเรียงแบบขนาน 6 3. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 57 ซึ่งหน่วยเมมเบรนประกอบรวมด้วยท่อแก๊สกวาด 6 4. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 57 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยอุปกรณ์ที่เลือกจากกลุ่ม ประกอบด้วยอุปกรณ์เครื่องอัด, อุปกรณ์แลกเปลี่ยนความร้อน, เครื่องสูบแบบภาวะเยือกเย็น หรือ เครื่องสูบแบบสุญญากาศในท่อที่ไม่มีการซึม ซึ่งยอมให้ส่วนที่สองของกระแสที่ไม่มีการซึมถูกเก็บไว้ ในรูปที่ควบแน่นสำหรับการใช้ภายหน้า 6 5. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 57 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยอุปกรณ์หลังการปฏิบัติใน การติดต่อแบบการไหลกับท่อที่ไม่มีการซึม อุปกรณ์หลังการปฏิบัติดังกล่าวที่คัดเลือกได้จากกลุ่มที่ ประกอบด้วยการสลายตัวด้วยพลาสมา,การสลายตัวด้วยความร้อน,การขจัดด้วยตัวเร่งปฏิกิริยา,การขัด ถูและการดูดซับ 6 6. ระบบการผลิตสารกึ่งตัวนำซึ่งประกอบรวมด้วย : a) อย่างน้อยถังของเครื่องปฏิกรณ์หนึ่งอันที่ปรับให้รับของผสมแก๊สที่ ประกอบรวมด้วยแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรและแก๊สพาหะ ถังของเครื่องปฏิกรณ์ซึ่ง มีท่อแก๊สปล่อยออกจากเครื่องปฏิกรณ์ที่ติดกับที่นั้น; b) อุปกรณ์การอัดที่ตั้งไว้ในท่อปล่อยออกของเครื่องปฏิกรณ์เพื่อกดแก๊สปล่อยออก จากถังของเครื่องปฏิกรณ์ c) อย่างน้อยหน่วยการแยกด้วยเมมเบรนหนึ่งหน่วยที่มีด้านสารป้อนและด้านที่ซึม ได้ เมมเบรนดังกล่าวให้แก๊สพาหะอย่างน้อยหนึ่งชนิดผ่านได้และไม่ให้แก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโรอย่างน้อยหนึ่งชนิดผ่านอย่างเห็นได้ชัด หน่วยเมมเบรนดังกล่าวที่เชื่อมต่อเข้ากับ ถังของเครื่องปฏิกรณ์ดังกล่าวทางท่อปล่อยออกของเครื่องปฏิกรณ์ทางตอนล่างของอุปกรณ์อัด หน่วยเมมเบรนดังกล่าวที่มีท่อระบายที่ซึมได้ และท่อที่ไม่มีการซึมและเมมเบรนดังกล่าวซึ่งมีอัตรา ส่วนของความสามารถในการเลือก "SEL" มากกว่าประมาณ 1.0 สำหรับแก๊สพาหะดังกล่าวอย่างน้อย หนึ่งชนิดที่เกี่ยวข้องกับแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรดังกล่าวหนึ่งชนิดเป็นอย่างน้อยชนิดใด ชนิดหนึ่ง ซึ่ง SEL = [Dc] [Sc]/ [Dp] [Sp] ซึ่ง SEL เป็นอัตราส่วนของความสามารถในการเลือก Dp เป็นความสามารถในการเลือกสภาพเคลื่อนที่ได้ของแก๊ส ชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโร Sp เป็นความสามารถในการเลือกสภาพละลายได้ของแก๊ส ชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโร Dc เป็นความสามารถในการเลือกสภาพเคลื่อนที่ได้ของแก๊สพาหะ Sc เป็นความสามารถในการเลือกสภาพละลายได้ของแก๊สพาหะ d) อุปกรณ์ที่จะนำกระแสที่ไม่มีการซึมอย่างน้อยส่วนหนึ่งจากหน่วยเมมเบรนดัง กล่าวกลับมาใช้ใหม่โดยส่งกลับไปยังถังของเครื่องปฏิกรณ์อย่างน้อยหนึ่งหน่วย e) อุปกรณ์สำหรับปฏิบัติการล่วงหน้าในการติดต่อแบบการไหลกับหน่วยสำหรับ การเข้าไปของกระแสปล่อยออกของเครื่องปฏิกรณ์และหน่วยเมมเบรน อุปกรณ์สำหรับการปฏิบัติการ ล่วงหน้าดังกล่าวที่คัดเลือกได้จากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยการสลายตัวด้วยพลาสมา, การสลายตัวด้วย ความร้อน,การขจัดด้วยการเร่งปฏิกิริยา,การขัดถู และการดูดซับ f) หน่วยเมมเบรนซึ่งประกอบรวมด้วยท่อแก๊สกวาดในการติดต่อแบบการไหลกับท่อที่ ไม่มีการซึมและด้านที่ซึมได้ของเมมเบรน g) ถังหน่วงหรือถังเสิร์จในการติดต่อแบบการไหลกับท่อที่ไม่มีการซึม; และ h) เครื่องอัด, เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อน, เครื่องสูบชนิดภาวะเยือกเย็น หรือ สูญญากาศในการติดต่อแบบการไหลกับท่อที่ไม่มีการซึมทางตอนบนของถังเสิร์จ ซึ่งยอมให้กระแสที่ เต็มไปด้วยเพอร์ฟลูออโรคาร์บอนได้ถูกเก็บไว้ในรูปของเหลวสำหรับการใช้ภายหน้า 6 7. ระบบสำหรับการนำแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรกลับคืนจากของผสมแก๊ส ระบบนั้นซึ่งประกอบรวมด้วย : a) อุปกรณ์การปฏิบัติการเพื่อการทำให้เกิดของผสมแก๊สที่กระทำแล้วที่เหมาะ สำหรับการอัด b) เครื่องอัดสำหรับการอัดของผสมแก๊สที่กระทำแล้วเพื่อให้เกิดของผสมแก๊สอัด และ c) หน่วยการแยกด้วยเมมเบรนชนิดโพลิเมอร์เหมือนกระจกอย่างน้อยหนึ่งหน่วยซึ่ง มีด้านสารป้อนและด้านที่ซึมได้, เมมเบรนดังกล่าวที่ให้แก๊สพาหะอย่างน้อยหนึ่งชนิดผ่านได้และไม่ ให้แก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรอย่างน้อยหนึ่งชนิดผ่านอย่างเห็นได้ชัด หน่วยเมมเบรน ดังกล่าวที่เชื่อมต่อกับเครื่องอัดดังกล่าวทางท่อหนึ่ง หน่วยเมมเบรนดังกล่าวที่มีท่อระบายที่ซึมได้ และ ท่อที่ไม่มีการซึม 6 8. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 67 ซึ่งเมมเบรนชนิดโพลิเมอร์เหมือนกระจกดังกล่าว ที่ทำด้วยโพลิเมอร์อย่างน้อยหนึ่งชนิดที่คัดเลือกได้จากกลุ่มซึ่งประกอบด้วย โพลิอิมีด, โพลิเอมีด โพลิเอมิด-อิมีด, โพลิเอสเทอร์, โพลิคาร์บอเนต, โพลิซัลโฟน, โพลิอีธอร์ซัลโฟน, อะโรเมติดโพลิ- เอสเทอร์ที่แทนที่ด้วยอัลคิล, เซลลูโลสอะซีเทต, ฟลูออริเนเทดอะโรเมติกโพลิอีมีด, โพลิฟีนิลีน- ออกไซด์, ซัลโฟเนเทดโพลิฟินิลีนออกไซด์, โพลิอีเธอร์อีเธอร์ซัลโฟน, โพลิอีเธอร์คีโตน, โคโพลิเมอร์ของสารนั้น และสิ่งผสมของโพลิเมอร์ที่ถูกแทนที่ของสารนั้น 6 9. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 67 ซึ่งรวมไปถึงต่อไปด้วยเครื่องสูบสุญญากาศใน การติดต่อแบบการไหลกับท่อที่ไม่มีการซึม 7 0. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 67 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยหน่วยนำกลับคืนมา สำหรับนำส่วนหนึ่งเป็นอย่างน้อยของกระแสที่ไม่มีการซึมจากท่อที่ไม่มีการซึมดังกล่าวกลับคืนมา 7

1. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 67 ซึ่งประกอบต่อไปด้วยท่อหมุนเวียนกลับมาใช้ใหม่ สำหรับการหมุนเวียนส่วนหนึ่งเป็นอย่างน้อยของกระแสที่ไม่มีการซึมจากท่อที่ไม่มีการซึม ดังกล่าวกลับมาใช้ใหม่ 7

2. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 67 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยหน่วยการแยกของ เมมเบรนชนิดที่สองที่ปรับให้รับส่วนหนึ่งเป็นอย่างน้อยของกระแสที่ไม่มีการซึมเป็นการป้อนของ มันผ่านทางท่อที่ไม่มีการซึมดังกล่าว 7

3. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 72 ที่ปรับให้หมุนเวียนส่วนหนึ่งเป็นอย่างน้อยของ กระแสที่ซึมได้จากหน่วยเมมเบรนชนิดที่สองดังกล่าวมาใช้ใหม่กับสารป้อนของหน่วยเมมเบรนชนิด ที่หนึ่ง 7

4. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 72 ซึ่งรวมไปถึงต่อไปด้วยหน่วยการแยกด้วย เมมเบรนชนิดที่สามที่ปรับให้รับส่วนหนึ่งเป็นส่วนน้อยของกระแสที่ซึมได้จากหน่วยเมมเบรนชนิดที่ สองดังกล่าวเป็นสารป้อนของมัน 7

5. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 74 ซึ่งส่วนหนึ่งเป็นอย่างน้อยของกระแสที่ไม่มีการ ซึมจากหน่วยเมมเบรนชนิดที่สามดังกล่าวถูกปรับให้ถูกหมุนเวียนกลับมาใช้ใหม่กับสารป้อนของ หน่วยเมมเบรนชนิดที่หนึ่ง 7

6. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 72 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยอุปกรณ์ที่จะให้แก๊สกวาดไหล ไปสู่ด้านที่ซึมได้ของเมมเบรนชนิดที่สองดังกล่าวซึ่งแก๊สกวาดดังกล่าวประกอบรวมด้วยส่วนหนึ่งเป็น อย่างน้อยของกระแสที่ไม่มีการซึมจากหน่วยการแยกด้วยเมมเบรนชนิดที่สองดังกล่าว 7

7. ระบบสำหรับการนำแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรกลับคืนมาระบบนี้ประกอบรวม ด้วย a) อุปกรณ์การอัดที่ปรับให้อัดของผสมแก๊สที่มีแก๊สพาหะ และแก๊สชนิดสาร ประเภทเพอร์ฟลูออโร b) หน่วยการแยกด้วยเมมเบรนแบบเลือกขนาดอย่างน้อยหนึ่งหน่วย ซึ่งมีด้านการ ป้อนและด้านที่ซึมได้ เมมเบรนดังกล่าวซึ่งให้แก๊สพาหะอย่างน้อยหนึ่งชนิดซึมผ่านได้มากกว่า และ ไม่ให้แก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรอย่างน้อยหนึ่งชนิดผ่านอย่างเห็นได้ชัด หน่วยเมมเบรน ดังกล่าวในการติดต่อแบบการไหลกับอุปกรณ์การอัดดังกล่าว ท่อระบายที่ซึมได้และท่อที่ไม่มีการซึม c) อุปกรณ์ที่จะนำกระแสที่ไม่มีการซึมอย่างน้อยส่วนหนึ่งกลับมาใช้ใหม่จากหน่วย เมมเบรนดังกล่าวกลับไปยังแหล่งของของผสมแก๊สดังกล่าว; d) อุปกรณ์สำหรับการปฏิบัติต่อแก๊สที่วางตำแหน่งก่อนของผสมแก๊สจะเข้าไปสู่ หน่วยเมมเบรนนั้น อุปกรณ์สำหรับการปฏิบัติต่อแก๊สดังกล่าวที่คัดเลือกได้จากกลุ่มซึ่งประกอบ ด้วยการสลายตัวแบบพลาสมา,การสลายตัวด้วยความร้อน,การขจัดด้วยการเร่งปฏิกิริยา,การขัดถู และการดูดซับ e) หน่วยเมมเบรนซึ่งประกอบรวมด้วยท่อแก๊สกวาดในการติดต่อแบบการไหล ท่อที่ไม่ มีการซึม และด้านที่ซึมได้ของเมมเบรน f) ถังหน่วง หรือถังเสิร์จ ในการติดต่อแบบการไกลกับท่อที่ไม่มีการซึม g) อุปกรณ์ช่วยทำให้เป็นของเหลวที่คัดเลือกได้จากกลุ่มที่ประกอบด้วยเครื่องอัด, เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อน,เครื่องสูบชนิดภาวะเยือกเย็น และเครื่องสูบสุญญากาศในการติดต่อแบบ การไหลกับท่อที่ซึมไม่ได้ ซึ่งยอมให้กระแสที่เต็มไปด้วยเพอร์ฟลูออโรคาร์บอนได้ถูกเก็บไว้ในรูปที่ ควบแน่นสำหรับการใช้ภายหน้า