TH95406B

TH95406B - Multipurpose organic solvent-based microelectronic cleaning acid mixture

Info

Publication number: TH95406B
Application number: TH301001013A
Authority: TH
Inventors: ฉู; วชิรพุทธคุณ นายประชา วชิรพุทธคุณ นายประสิทธิ์
Original assignee: วชิรพุทธคุณ นายประชา วชิรพุทธคุณ นายประสิทธิ์; อแวนเทอร์ เพอร์ฟอร์แมนซ์ แมทีเรียลส์
Filing date: 2010-01-14
Publication date: 2023-08-18

Abstract

DC60 (24/08/54) สารผสมเพื่อการทำความสะอาดสำหรับการทำความสะอาดอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ หรือนาโนอิเล็กทรอนิกส์ ซึ่งสารผสมเพื่อการทำความสะอาดนี้ประกอบรวมด้วย HF ที่เป็นกรด ชนิดเดียว และสารประกอบฟลูออไรด์ชนิดเดียวในสารผสม, ตัวทำละลายปฐมภูมิอย่างน้อยที่สุด หนึ่งชนิดซึ่งคัดเลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วยซัลโฟน และซีลีโนน, ตัวทำละลายร่วมพอลิไฮดรอกซิล- แอลคิล หรือแอริลแอลกอฮอล์อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดที่มีตำแหน่งเพื่อการเกิดสร้างสารเชิงซ้อน หรือ เพื่อการยึดเหนี่ยวกับไอออนโลหะ และน้ำ และอย่างเป็นทางเลือกแล้ว คือ สารประกอบสารยับยั้งการ กัดกร่อนชนิดกรดฟอสฟอนิกอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิด และไร้ซึ่งอะมีน, เบส หรือเกลืออื่นๆ สารผสมเพื่อการทำความสะอาดสำหรับการทำความสะอาดอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ หรือนาโนอิเล็กทรอนิกส์ ซึ่งสารผสมเพื่อการทำความสะอาดนี้ประกอบรวมด้วย HF ที่เป็นกรด ชนิดเดียว และสารประกอบฟลูออไรด์ชนิดเดียวในสารผสม, ตัวทำละลายปฐมภูมิอย่างน้อยที่สุด หนึ่งชนิดซึ่งคัดเลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วยซัลโฟน และซีลีโนน, ตัวทำละลายร่วมพอลิไฮดรอกซิล- แอลคิล หรือแอริลแอลกอฮอล์อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดที่มีตำแหน่งเพื่อการเกิดสร้างสารเชิงซ้อน หรือ เพื่อการยึดเหนี่ยวกัยไอออนโลหะ และน้ำ และอย่างเป็นทางเลือกแล้ว คือ สารประกอบสารยับยั้งการ กัดกร่อนชนิดกรดฟอสฟอนิกอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิด และไร้ซึ่งอะมีน, เบส หรือเกลืออื่นๆDC60 (24/08/54) Cleaning mixtures for cleaning microelectronic or nanoelectronic devices, comprising a single acidic HF and a single fluoride compound in the mixture, at least one primary solvent selected from the group including sulfones and selenones, at least one polyhydroxyl-alkyl or aryl alcohol co-solvent having sites for complexation or for binding metal ions and water, and optionally at least one phosphonic acid corrosion inhibitor compound, and free of amines, bases or other salts. Cleaning mixtures for cleaning microelectronic or nanoelectronic devices, comprising a single acidic HF and a single fluoride compound in the mixture, at least one primary solvent. One selected from the group consisting of a sulfone and a selenone, at least one polyhydroxyl-alkyl or aryl alcohol co-solvent having sites for complexation or for binding metal ions and water, and optionally at least one phosphonic acid corrosion inhibitor compound, and devoid of amines, bases or other salts.

Claims

1. The machine to manufacture the plastic cover for automobiles, according to this invention, consists of a high-pressure pump assembly, hydraulic cylinder (1) for pushing the attachment to the required area and there will be Set of recoil spring shock absorber (2) for pulling back the pressed part after being pressed and there will be a steel press attached to the plastic sheet before welding the upper part (3) the steel pressed against the plastic cover. Cars before connecting the surrounding undercarriage (4) Attach plastic before welding for supporting the overhead To the plastic sheet And the upper heating wire (5) the surrounding suspension heating wire (6) for