การประดิษฐ์ในที่นี้เป็นการจัดเตรียมแท่นยึดติดแผ่นวัสดุ 13 ที่นำมาใช้สำหรับติดแผ่นวัสดุ S ลงบนพื้นผิวด้านบนของเวเฟอร์ที่เป็นสารกึ่งตัวนำ W แท่นยึดติดแผ่นวัสดุ 13 ดังกล่าวประกอบด้วย แท่นภายนอก 51 และแท่นภายใน 52 โดยที่แท่นภายนอก 51 และแท่นภายใน 52 ดังกล่าวจะถูกจัดไว้ ในลักษณะที่เคลื่อนที่ได้ในทิศตามแนวตั้งโดยอาศัยหุ่นยนต์แกนเดียว 54, 56 อย่างละหนึ่งอันและแท่น ภายใน 52 ก็จะถูกจัดเตรียมไว้ในลักษณะที่เคลื่อนที่ไปได้พร้อมกับแท่นภายนอก 51 ดังกล่าวในทิศตาม แนวตั้งเมื่อมีการขยับแท่นภายนอก 51 ดังกล่าวไปในทิศตามแนวตั้ง The invention here provides a 13-plate mounting bracket that is used for attaching S-plates to the upper surface of W semiconductor wafers.The 13-plate mounting brackets consist of an external platform 51 and Internal plinth 52, where the external plinth 51 and the internal plinth 52 are arranged. In such a way that it can be moved in the vertical direction by one of the 54, 56 single-axis robots, and the inner platform 52 is provided in a movable manner with the external platform 51 in the direction Vertically, when the above 51 external platform is moved in the vertical direction
Claims (1)
1. แท่นยึดติดแผ่นวัสดุสำหรับติดแผ่นวัสดุลงบนพื้นผิวด้านบนของวัตถุที่มีลักษณะคล้าย เพลตโดยอาศัยการกดด้วยลูกกลิ้งสำหรับกดโดยที่แผ่นวัสดุดังกล่าวถูกป้อนออกมาจากหน่วยป้อนแผ่น วัสดุออกซึ่งประกอบด้วย แท่นภายในสำหรับรองรับวัตถุที่มีลักษณะคล้ายเพลตดังกล่าวและ แท่นภายนอกซึ่งถูกจัดเตรียมไว้ให้อยู่รอบแท่นภายในดังกล่าว โดยที่แท่นภายในดังกล่าวจะเคลื่อนที่ไปในทิศตามแนวตั้งในลักษณะที่สอดคล้องกับความ หนาของวัตถุที่มีลักษณะคล้ายเพลตดังกล่าวโดยมีพื้น1. A sheet holder for attaching a sheet of material onto the top surface of a similar object. Plate by pressing with the pressing roller, where the sheet is fed from the sheet feeding unit. Output material which consists of An internal platform for supporting such plate-like objects; and An external platform, which was arranged around such an internal platform. Where the internal platform will move in the vertical direction in accordance with The thickness of the plate-like object with a