TH72758A - เครื่องปรับสภาพแผ่นขัดแบบทำให้ฉนวนและวิธีการใช้เครื่องปรับสภาพแผ่นขัดเช่นนี้ - Google Patents
เครื่องปรับสภาพแผ่นขัดแบบทำให้ฉนวนและวิธีการใช้เครื่องปรับสภาพแผ่นขัดเช่นนี้Info
- Publication number
- TH72758A TH72758A TH501000512A TH0501000512A TH72758A TH 72758 A TH72758 A TH 72758A TH 501000512 A TH501000512 A TH 501000512A TH 0501000512 A TH0501000512 A TH 0501000512A TH 72758 A TH72758 A TH 72758A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- insulating pad
- pad conditioner
- electrode
- electrical insulation
- conditioning
- Prior art date
Links
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 claims abstract 6
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 claims abstract 5
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 2
Abstract
DC60 (09/05/48) กรรมวิธีการสร้างระนาบเวเฟอร์ด้วยเครื่องมือปรับสภาพซึ่งมีฉนวนไฟฟ้าที่ทำให้พื้นผิวขัดถู ของเครื่องมือปรับสภาพนี้เป็นฉนวนไฟฟ้า ฉนวนไฟฟ้าจะยืดอายุการใช้งานพื้นผิวขัดถูของ เครื่องมือปรับสภาพโดยการทำให้ระดับการกัดกร่อนที่ขับเคลื่อนโดยทางไฟฟ้าเคมีลดน้อยลง กรรมวิธีการสร้างระนาบเวเฟอร์ด้วยเครื่องมือปรับสภาพซึ่งมีฉนวนไฟฟ้าที่ทำให้พื้นผิวขัดถู ของเครื่องมือปรับสภาพนี้เป็นฉนวนไฟฟ้า ฉนวนไฟฟ้าจะยืดอายุการใช้งานพื้นผิวขัดถูของ เครื่องมือปรับสภาพโดยการทำให้ระดับการกัดกร่อนที่ขับเคลื่อนโดยทางไฟฟ้าเคมีลดน้อยลง
Claims (1)
1. ระบบการสร้างระนาบเวเฟอร์ซึ่งประกอบรวมด้วย แหล่งไฟฟ้าซึ่งมีอิเล็กโทรดที่หนึ่งและอิเล็กโทรดที่สอง แผ่นขัดมันซึ่งเชื่อมต่อกับอิเล็กโทรดที่หนึ่งดังกล่าว ตัวพาชิ้นงานซึ่งเชื่อมต่อกับอิเล็กโทรดที่สองดังกล่าว เครื่องมือปรับสภาพซึ่งประกอบรวมด้วยพื้นผิวขัดถูซึ่งปรับให้เหมาะกับภาวะแผ่นขัดมัน ดังกล่าว และ ฉนวนไฟฟ้าซึ่งจัดให้มีโครงแบบเพื่อแยกพื้นผิวขัดถูดังกล่าวออกจากอิเล็กโทรดที่หนึ่ง ดังกล่าวและอิเล็กโทรดที่สองดังกล่าวนี้เป็นอย่างน้อย 2แท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH72758A true TH72758A (th) | 2005-11-24 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| MY135125A (en) | Insulated pad conditioner and method of using same | |
| JP2007528299A5 (th) | ||
| TW366534B (en) | Method of electrochemical mechanical planarization | |
| CN201179578Y (zh) | 电解机械复合光整加工阴极 | |
| TW200505632A (en) | Conductive polishing pad with anode and cathode | |
| UA97126C2 (ru) | Процесс шлифования сапфирной основы | |
| WO2003001581A3 (en) | Methods and apparatus for electrical, mechanical and/or chemical removal of conductive material from a microelectronic substrate | |
| CN105548737A (zh) | 避雷器老化测试设备 | |
| MY145206A (en) | Apparatus for plating semiconductor wafers | |
| TW200507087A (en) | Apparatus and method for polishing semiconductor wafers using one or more polishing surfaces | |
| CN108444851B (zh) | 摩擦腐蚀电化学测试装置及方法 | |
| JP5130746B2 (ja) | 電池用溶接装置 | |
| TH72758A (th) | เครื่องปรับสภาพแผ่นขัดแบบทำให้ฉนวนและวิธีการใช้เครื่องปรับสภาพแผ่นขัดเช่นนี้ | |
| RU85164U1 (ru) | Соединитель рельсовый | |
| JP2013534734A5 (th) | ||
| WO2008094811A3 (en) | Method and system for pad conditioning in an ecmp process | |
| ES2191559A1 (es) | Modulo laser. | |
| DK1403981T3 (da) | Konnektor, hvori der i en lang periode kan opretholdes kontaktkraft | |
| EP2383773A3 (en) | Method of electrochemical-mechanical polishing of silicon carbide wafers | |
| CN217648158U (zh) | 一种电流变抛光用电极及抛光装置 | |
| DE602006008173D1 (de) | Für anbringung an einem substrat ausgelegte komponente und verfahren zum anbringen einer oberflächenangebrachten anordnung | |
| TW200720493A (en) | Electrochemical method for ecmp polishing pad conditioning | |
| CN204167314U (zh) | 防止样品静电损伤的装置 | |
| TW200720494A (en) | Ball contact cover for copper loss reduction and spike reduction | |
| RU2011144091A (ru) | Обеспечение прижимания для электронной схемы |