Claims (7)
1. แทนทาลัมเพนทอกไซด์ที่ประกอบด้วยส่วนสำคัญของอนุภาคที่มีขนาดอนุภาคเฉลี่ยน้อยกว่า 0.5 ไมครอน โดยมีความบริสุทธิ์สูงกว่า 99.99% และมีความสามารถในการไหลต่ำกว่า 50 วินาที ที่ช่องเปิดของเครื่องวัดการไหลขนาด 5.08 มม.1.Tantalum pentoxide containing a significant portion of particles with an average particle size of less than 0.5 microns, with a purity greater than 99.99% and a flow capacity of less than 50 s at the flow meter opening. Size 5.08 mm.
2. ผงแทนทาลัมเพนทอกไซด์ตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งมีลักษณะเฉพาะตรงที่ปริมาณรวมของสิ่งปนเปื้อน ที่ประกอบด้วยธาตุ Al,Ca,Cr,Co,Cu, Fe,Ni,Nb,Si,Ti,W,Zr,F และ S รวมกันทั้งหมดต่ำกว่า 50 ppm.2. Tantalum pentoxide powder according to claim 1, which is characterized by the total amount of contaminants. Elemental Al, Ca, Cr, Co, Cu, Fe, Ni, Nb, Si, Ti, W, Zr, F and S combined all below 50 ppm.
3. ผงแทนทาลัมเพนทอกไซด์ตามข้อถือสิทธิ 2 ซึ่งมีลักษณะเฉพาะตรงที่ปริมาณรวมของสิ่งปนเปื้อนนั้นต่ำกว่า 30 ppm.3. Tantalum pentoxide powder according to claim 2, which is characterized by the total contaminant content is below 30 ppm.
4. ผงแทนทาลัมเพนทอกไซด์ตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งมีลักษณะเฉพาะต่อไปอีกที่ปริมาณของฟลูออรีนจะไม่เกิน 20 ppm.4. Tantalum pentoxide powder according to claim 1, which is further characterized in that the fluorine content does not exceed 20 ppm.
5. ผงแทนทาลัมเพนทอกไซด์ตามข้อถือสิทธิ 4 ซึ่งมีลักษณะเฉพาะตรงที่ปริมาณฟลูออรีน มีไม่เกินกว่า 10 ppm.5. Tantalum pentoxide powder according to claim 4, which is characterized by the fluorine content. Not more than 10 ppm.
6. ผงแทนทาลัมเพนทอกไซด์ตามข้อถือสิทธิ 5 ซึ่งมีลักษณะเฉพาะตรงที่ปริมาณฟลูออรีน มีไม่เกิน 5 ppm.6. Tantalum pentoxide powder according to claim 5, which is characterized in that the fluorine content does not exceed 5 ppm.
7. ผงแทนทาลัมเพนทอกไซด์ตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งมีลักษณะเฉพาะต่อไปอีกที่มีพื้นที่ผิวจำเพาะมากกว่า 4 ม2/กรัม7. Tantalum pentoxide powder according to claim 1, which is further characterized, with a specific surface area greater than 4 m 2 / g.