TH62515A - ระบบของเลเซอร์ที่ใช้สองห้องซึ่งใช้ f2 ที่มีการเลือกแนว - Google Patents

Abstract

DC60 (08/10/45) ระบบของเลเซอร์ที่ใช้ก๊าซซึ่งเป็นมอคูลที่มีการสร้างอนุภาคต้นกำเนิดด้วยการฉีด ซึ่งสามารถผลิตเลเซอร์ที่มีการ สร้างพัลส์คุณภาพสูงขึ้นมาด้วยอัตราพัลส์ประมาณ 4,000 Hz หรือ มากกว่านี้และที่พลังงานพัลส์ประมาณ 5 mJ หรือมากกว่า นี้ ห้องคายประจุที่แยกกันจำนวนสอง ห้องถูกจัดเตรียมขึ้นมา โดยที่ห้องหนึ่งจะเป็นส่วนหนึ่งของมาสเตอร์ออสซิลเลเดอร์ ซึ่งผลิตลำแสง อนุภาคต้นกำเนิดที่มีแถบแคบมากซึ่งถูกขยายใน ห้องคายประจุที่สอง ห้องต่าง ๆ สามารถถูกควบคุม ได้ในลักษณะที่แยกกันซึ่งทำให้ มีการปรับปรุงพารามิเตอร์ของความยาวคลื่นให้เหมาะสมที่สุด ใน ลักษณะที่แยกกันในมาสเตอร์ออสซิลเลเตอร์และการปรับปรุงพา รามิเตอร์ของพลังงานพัลส์ให้ เหมาะสมที่สุดในห้องขยาย รูป ลักษณ์ที่พึงประสงค์ในระบบของเลเซอร์ที่ใช้ F2 ซึ่งถูกวาง โครงแบบ เพื่อให้เป็น MOPA และได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษ เพื่อใช้เป็นแหล่งกำเนิดแสงสำหรับการพิมพ์ ลิโธกราฟีของวงจร รวม ในรูปลักษณ์ของ MOPA ที่พึงประสงค์นั้น แต่ละห้องจะประกอบ ด้วยพัดลม สัมผัสผิวตัวเดียวซึ่งจะทำให้มีการไหลของก๊าซที่ เพียงพอที่จะทำให้สามารถทำงานได้ด้วยอัตราพัลส์ 4000 Hz หรือมากกว่านี้โดยการขจัดเศษวัสดุออกจากบริเวณที่มีการคาย ประจุในระยะเวลาที่น้อย กว่า 0.25 มิลลิวินาทีโดยประมาณ ระหว่างพัลส์ต่างๆ มาสเตอร์ออสซิลเลเตอร์ถูกติดตั้ง ด้วย แพ็กเกจสำหรับเลือกแนวเพื่อเลือกแนวสเป็กตรัมของ F2 ที่เข้มที่สุด ระบบของเลเซอร์ที่ใช้ก๊าซซึ่งเป็นมอคูลที่มีการสร้างอนุภาคต้นกำเนิดด้วยการฉีด ซึ่งสามารถผลิตเลเซอร์ที่มีการ สร้างพัลส์คุณภาพสูงชี้นมาด้วยอัตราพัลส์ประมาณ 4,000 Hz หรือ มากกว่านี้และที่พลังงานพัลส์ประมาณ 5 mJ หรือมากกว่า นี้ ห้องคายประจุที่แยกกันจำนวนสอง ห้องถูกจัดเตรียมขึ้นมา โดยที่ห้องหนึ่งจะเป็นส่วนหนึ่งของมาสเตอร์ออสซิลเลอดอร์ ซึ่งผลิตลำแสง อนุภาคต้นกำเนิดที่มีแถบแคบมากซึ่งถูกขยายใน ห้องคายประจุที่สอง ห้องต่าง ๆ สามารถถูกควบคุม ได้ในลัษณะที่แยกกันซึ่งทำให้ มีการปรับปรุงพารามิเตอร์ของความยาวคลื่นให้เหมาะสมที่สุด ใน ลักษณะที่แยกกันในมาสเตอร์ออสซิลเลเตอร์และการปรับปรุงพา รามอเตอร์ของพลังงานพัลส์ให้ เหมาะสมที่สุดในห้องขยาย รูป ลักษณ์ที่ถังประสงค์ในระบบของเลเซอร์ที่ใช้ F2 ซึ่งถูกวาง โครงแบบ เพื่อให้เป็น MOPA และได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษ เพื่อใช้เป็นแหล่งกำเนิดแสงสำหรับการพิมพ์ อีโธกราฟิของวงจร รวม ในรูปลักษณ์ของ MOPA ที่พึงประสงค์นั้น แต่ละห้องจะประกอบ ด้วยพัดลม สัมผัสผิวตัวเดียวซึ่งจะทำให้มีการไหลของก๊าซที่ เพียงพอที่จะทำให้สามารถทำงานได้ด้วยอัตราพัลส์ 4,000 Hz หรือมากกว่านี้โดยการขจัดเศษวัสดุออกจากบริเวณที่มีการคาย ประจุในระยะเวลาที่น้อย กว่า 0.25 มิลลิวินาทีโดยประมาณ ระหว่างพัลส์ต่าง ๆ มาสเตอร์ออสซิลเลเดอร์ถูกติดตั้ง ด้วย แพ็กเกจสำหรับเลือกแนวเพื่อเลือกแนวสเป็กตรัมของ F2 ที่เข้มที่สุด

Claims (77)

1. ระบบของเลเซอร์สำหรับคายประจุของก็าซ F2 ที่มีอัตราการทวนซ้ำสูงแบบ สองห้องซึ่งมีแถบที่แคบมากซึ่งประกอบด้วย A) หน่วยของเลเซอร์ที่หนึ่งซึ่งประกอบด้วย 1) ห้องคายประจุไฟฟ้าที่หนึ่งซึ่งมี a) ก๊าซที่ใช้สร้างเลเซอร์ชนิดที่หนึ่ง b) คู่ที่หนึ่งของอิเล็กโทรดที่ยาวออกซึ่งถูกเว้นระยะห่าง จากกันซึ่ง กำหนดขอบเขตให้กับย่านที่จะคายประจุไฟฟ้าที่ หนึ่ง 2) พัดลมที่หนึ่งเพื่อให้ก๊าซที่ใช้สร้างเลเซอร์ชนิดที่ หนึ่งในย่านที่จะคาย ประจุไฟฟ้าที่หนึ่งมีความเร็วของก๊าซ ที่เพียงพอเพื่อไล่ไอออนที่เกิดจากประจุที่คายออกมาให้หมด ไปหรือเกือบหมดไปจากย่านที่จะคายประจุไฟฟ้าที่หนึ่งดังกล่าวตามหลังแต่ละพัลส์ก่อนที่จะถึงพัลส์ ถัดไปในขณะที่ทำงานด้วยอัตราการทวนซ้ำในช่วง 4,000 พัลส์ ต่อวินาทีหรือมากกว่านี้ 3) ระบบของเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนที่หนึ่งซึ่งสามารถ ขจัดพลังงาน ความร้อนออกไปจากก๊าซที่ใช้สร้างเลเซอร์ชนิดที่ หนึ่งได้อย่างน้อย 16 kw B) หน่วยเลือกแนวสำหรับลดพลังงานภายนอกสเป็กดรัมของแนวที่ เลือกไว้ แนวเดียวให้เหลือน้อยที่สุด C) หน่วยของเลเซอร์ที่สองซึ่งประกอบด้วย 1) ห้องคายประจุไฟฟ้าที่สองซึ่งมี a) ก๊าซที่ใช้สร้างเลเซอร์ชนิดทีสอง b) คู่ที่สองของอิเล็กโทรดที่ยาวออกซึ่งถูกเว้นระยะห่าง จากกันซึ่ง กำหนดขอบเขตให้กับย่านที่จะคายประจุไฟฟ้าที่สอง 2) พัดลมที่สองเพื่อให้ก๊าซที่ใช้สร้างเลเซอร์ชนิดที่สอง ในย่านที่จะคาย ประจุไฟฟ้าที่สองมีความเร็วของก๊าซทีเพียงพอ เพื่อไล่ไอออนที่เกิดจากประจุที่คายออกมาให้หมด ไปหรือเกือบ หมดไปจากย่านที่จะคายประจุไฟฟ้าที่หนึ่งดังกล่าวตามหลัง แต่ละพัลส์ก่อนที่จะถึงพัลส์ ถัดไปในขณะที่ทำงานด้วยอัตรา การทวนซ้ำในช่วง 4,000 พัลส์ต่อวินาทีหรือมากกว่านี้ 3) ระบบของเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนที่สองซึ่งสามารถขจัด พลังงาน ความร้อนออกไปจากก๊าซที่ใช้สร้างเลเซอร์ชนิดที่สอง ได้อย่างน้อย 16 kw D) ระบบของกำลังพัลส์ซึ่งถูกวางโครงแบบเพื่อให้พัลส์ไฟฟ้า แก่อิเล็กโทรดคู่ ที่หนึ่งและอิเล็กโทรดคู่ที่สองอย่างเพียง พอที่จะผลิตพัลส์ของเลเซอร์ด้วยอัตราประมาณ 4,000 พัลส์ต่อ วินาทีด้วยพลังงานพัลส์ที่ได้รับการควบคุมอย่างถูกต้องแม่น ยำให้มีค่าเกิน 5 mJ โดย ประมาณ E) ระบบการวัดและควบคุมลำแสงเลเซอร์เพื่อวัดพลังงานพัลส์ ของพัลส์ต่าง ๆ ที่เป็นเอาต์พุดของเลเซอร์ซึ่งผลิตขึ้นโดย ระบบเลเซอร์ที่ใช้สองห้องและการควบคุมพัลส์ต่างๆ ที่ เป็น เอาต์พุตของเลเซอร์ดังกล่าวในชุดอุปกรณ์ควบคุมการป้อนกลับ และ โดยที่ลำแสงเลเซอร์ที่เป็นเอาต์พุตจากหน่วยของเลเซอร์ที่ หนึ่งดังกล่าวถูกนำ มาใช้ประโยชน์เป็นลำแสงอนุภาคต้นกำเนิด เพื่อใช้เป็นอนุภาคต้นกำเนิดให้กับหน่วยเลเซอร์ที่สอง

2. ระบบของเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยหน่วยของเลเซอร์ ที่หนึ่งดังกล่าวถูก วางโครงแบบให้เป็นมาสเตอร์ออส ซิลเลเดอร์และหน่วยของเลเซอร์ที่สองดังกล่าวถูกวางโครงแบบ ให้เป็นเครื่องขยายกำลัง

3. ระบบของเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 2 โดยที่ก๊าซที่ใช้ สร้างเลเซอร์ที่หนึ่งดังกล่าว ประกอบด้วยฟลูออรีนและนีออน

4. ระบบของเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 2 โดยที่ก๊าซที่ใช้ สร้างเลเซอร์ที่หนึ่งดังกล่าว ประกอบด้วยฟลูออรีนและฮีเลียม

5. ระบบของเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 2 โดยที่ก๊าซที่ใช้ สร้างเลเซอร์ที่หนึ่งและที่ สองดังกล่าวประกอบด้วยฟลูออรีน และก๊าซที่เป็นตัวกั้นระหว่างกลางซึ่งเลือกมาจากกลุ่มที่ ประกอบ ด้วยนีออน, ฮีเลียมหรือก๊าซที่ผสมกันของนีออนและ ฮีเลียม

6. ระบบของเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 2 โดยที่เครื่องขยาย กำลังดังกล่าวถูกวาง โครงแบบไว้เพื่อใช้กับเส้นทางผ่านของลำ แสงเดียวที่ผ่านย่านที่จะคายประจุไฟฟ้าที่สอง

7. ระบบของเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 2 โดยที่เครื่องขยาย กำลังดังกล่าวถูกวาง โครงแบบไว้เพื่อใช้กับเส้นทางผ่านหลาย เส้นทางที่ผ่านย่านที่จะคายประจุไฟฟ้าที่สอง

8. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 2 โดยที่มาสเตอร์ออสซิลเล เตอร์ดังกล่าวประกอบ ด้วยส่วนประกอบต่างๆ ทางออปติคอลซึ่งทำ ให้เกิดวิถีเรโซแนนซ์ซึ่งทำให้มีเส้นทางผ่านสองเส้น ทางที่ ผ่านย่านที่จะคายประจุไฟฟ้าที่หนึ่งดังกล่าว

9. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 2 โดยที่มาสเตอร์ออสซิลเล เตอร์ดังกล่าวประกอบ ด้วยส่วนประกอบต่างๆ ทางออปติคอลซึ่งทำ ให้เกิดวิถีเรโซแนนซ์ซึ่งทำให้มีเส้นทางผ่านสองเส้น ทางที่ ผ่านย่านที่จะคายประจุไฟฟ้าที่หนึ่งดังกล่าวและโดยที่ เครื่องขยายกำลังดังกล่าวประกอบด้วย ส่วนประกอบต่างๆ ทางออป ติคอลซึ่งทำให้มีเส้นทางผ่านของลำแสงหลายเส้นทางที่ผ่าน ย่านที่จะ คายประจุไฟฟ้าทีสองดังกล่าว

10. ระบบของเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 และในลำดับต่อไปจะ ประกอบด้วยแท่น ออปติคอลเพื่อรองรับออปติคของโพรงเร โซแนนซ์ของหน่วยเลเซอร์ที่หนึ่งดังกล่าวซึ่งไม่เกี่ยวข้อง กับห้องคายประจุไฟฟ้าที่หนึ่งดังกล่าว

11. ระบบของเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 10 โดยที่แท่นออปติ คอลดังกล่าวมีรูปทรง โดยทั่วไปเป็นรูปตัว U และกำหนดขอบเขต ให้กับโพรงรูปตัว U และโดยที่ห้องคายประจุไฟฟ้าที่ หนึ่งดัง กล่าวถูกติดตั้งไว้ภายในโพรงรูปตัว U ดังกล่าว

12. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 และในลำดับต่อไปจะประกอบ ด้วยแท่นออปติคอล ที่ติดตั้งไว้ตามแนวตั่งโดยมีห้องคายประจุ ไฟฟ้าที่หนึ่งและที่สองดังกล่าวติดตั่งไว้บนแท่น ออปติคอล ตามแนวตั้งดังกล่าว

13. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ห้องเลเซอร์กที่ หนึ่งและที่สองดังกล่าวจะ กำหนดวิถีการไหลของก็าซโดยมีาคตัด ขวาวที่ค่อยๆ เพิ่มขึ้นเมื่อเข้าหาปลายสายงานของอิเล็กโท รด ต่างๆ ดังกล่าวเพื่อให้สามารถฟื้นคืนแรงดันสถิตที่ลดลงไป คิดเป็นอัตราเปอร์เซ็นต์สูงซึ่งเกิดขึ้น ในย่านที่จะคาย ประจุไฟฟ้า

14. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 2 และโดยที่ห้องที่หนึ่งและ ที่สองดังกล่าวแต่ละห้อง ประกอบด้วยโครงสร้างของใบพัดซึ่ง อยู่ปลายสายงานของย่านที่จะคายประจุไฟฟ้าดังกล่าวเพื่อทำ ให้ความเร็วของก็าซที่อยู่ปลายสายงานของย่านที่จะคายประจุ ไฟฟ้าดังกล่าวอยู่ในระดับปรกติ

15. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่พัดลมที่หนึ่งดัง กล่าวและพัดลมที่สองดังกล่าว แต่ละอันเป็นพัดลมสัมผัสผิวและ แต่ละอันก็จะประกอบด้วยเพลาที่ขับเคลื่อนโดยมอเตอร์ DC แบบ ไม่มีแปรงจำนวนสองตัว

16. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 15 โดยที่มอเตอร์ดังกล่าว เป็นมอเตอร์ที่ระบาย ความร้อนด้วยน้ำ

17. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 15 โดยที่มอเตอร์ดังกล่าว แต่ละตัวประกอบด้วย สเตเตอร์และมอเตอร์ดังกล่าวแต่ละตัว ประกอบดัวยโรเตอร์แม่เหล็กที่บรรจุอยู่ในตลับแรงดันซึ่ง กั้นสเตเตอร์ดังกล่าวออกจากก็าซที่ใช้สร้างเลเซอร์ดังกล่าว

18. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่พัดลมที่หนึ่งและ ที่สองดังกล่าวแต่ละตัวเป็น พัดลมสัมผัสผิวซึ่งแต่ละตัวจะ ประกอบด้วยโครงสร้างของใบพัดซึ่งถูกกลึงแต่งขึ้นมาจากมูล ภัณฑ์ที่ เป็นอลูมินัมดังกล่าว

19. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 15 โดยที่โครงสร้างของใบพัด ดังกล่าวมีเส้นผ่า ศูนย์กลางภายนอกประมาณห้านิ้ว

20. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 19 โดยที่โครงสร้างของใบพัด ดังกล่าวประกอบด้วย องค์ประกอบต่าง ๆ ของใบพัดที่มีขอบนำหน้า ที่คม

21. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 15 โดยที่มอเตอร์ดัง กล่าวเป็นมอเตอร์แบบไม่มีตัว ตรวจรู้และยิ่งไปกว่านั้นยัง ประกอบด้วยเครื่องควบคุมมาสเตอร์มอเตอร์หลักสำหรับควบคุม มอเตอร์ ดังกล่าวตัวใดตัวหนึ่งและเครื่องควบคุมสเลฟมอเตอร์ สำหรับควบคุมมอเตอร์อีกตัวหนึ่ง

22. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 15 โดยที่พัดลมสัมผัสผิวดัง กล่าวแต่ละอันประกอบ ด้วยใบพัดซึ่งทำมุมกับเพลาดังกล่าวแต่ ละอัน

23. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ระบบของเครื่อง แลกเปลึ่ยนความร้อนที่เป็น ครีบแต่ละระบบมีการระบายความร้อน ด้วยน้ำ

24. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 23 โดยที่ระบบของ เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนแต่ละ ระบบประกอบด้วยเครื่องแลก เปลี่ยนความร้อนที่ระบายความร้อนด้วยน้ำจำนวนอย่างน้อยสี่ เครื่อง ที่แยกกัน

25. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 23 โดยที่ระบบของ เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนแต่ละ ระบบประกอบด้วยเครื่องแลก เปลี่ยนความร้อนอย่างน้อยหนึ่งเครื่องที่มีเส้นทางผ่านของ น้ำซึ่งมี ลักษณะเป็นท่อโดยที่เทอร์บูเลเตอร์อย่างน้อยหนึ่ง อันถูกจัดให้อยู่ในวิถีดังกล่าว

26. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 25 โดยที่ เครื่องแลกเปลึ่ยนความร้อนจำนวนสี่เครื่อง ดังกล่าวแต่ละ เครื่องประกอบด้วยเส้นทางผ่านของการไหลของน้ำที่มีลักษณะ เป็นท่อซึ่งบรรจุ เทอร์บูเลเตอร์ไว้

27. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ระบบกำลังพัลส์ดัง กล่าวประกอบด้วย ส่วนประกอบทางไฟฟ้าที่มีการระบายความร้อน ด้วยน้ำ

28. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 27 โดยที่ส่วนประกอบทาง ไฟฟ้าที่มีการระบาย ความร้อนด้วยน้ำดังกล่าวอย่างน้อยหนึ่ง ส่วนคือส่วนประกอบที่ทำงานด้วยไฟฟ้าแรงสูงเกิน 12,000 โวลด์

29. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 28 โดยที่ไฟฟ้าแรงสูงดัง กล่าวถูกแยกออกจากกราวด์ โดยใช้ตัวเหนึ่ยวนำที่มีน้ำสำหรับ ระบายความร้อนไหลผ่าน

30. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ระบบของกำลังพัลส์ ดังกล่าวประกอบ ด้วยกลุ่มของตัวเก็บประจุสำหรับอัดประจุที่ หนึ่งและวงจรการอัดพัลส์ที่หนึ่งสำหรับให้พัลส์ไฟฟ้าแก่ อิ เล็กโทรดคู่ที่หนึ่งและกลุ่มของตัวเก็บประจุสำหรับอัดประจุ ที่สองและวงจรการอัดพัลส์ที่สอง สำหรับให้พัลส์ไฟฟ้าแก่อิ เล็กโทรดคู่ที่สองและระบบการอัดประจุเรโซแนนซ์สำหรับอัด ประจุให้กลุ่ม ของตัวเก็บประจุสำหรับอัดประจุที่หนึ่ง และที่สองดังกล่าวซึ่งขนานกันมีแรงดันไฟฟ้าที่ถูกควบคุมไว้ อย่างถูกต้องแม่นยำ

31. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 30 โดยที่ระบบสำหรับอัด ประจุเรโซแนนซ์ดังกล่าว ประกอบด้วยวงจรดีคิวอิ้ง

32. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 30 โดยที่ระบบสำหรับอัด ประจุเรโซแนนซ์ดังกล่าว ประกอบด้วยวงจรปล่อยให้แรงดันไฟฟ้า ไหลออก

33. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 30 โดยที่ระบบสำหรับอัด ประจุเรโซแนนซ์ดังกล่าว ประกอบด้วยดีคิวอิ้งและวงจรปล่อยให้ แรงดันไฟฟ้าไหลออก

34. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ระบบกำลังพัลส์ดัง กล่าวประกอบด้วยระบบ สำหรับอัดประจุซึ่งประกอบด้วยแหล่งจ่าย กำลังอย่างน้อยสามชุดที่ถูกจัดเรียงในลักษณะขนานกัน

35. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่หน่วยเลือกแนวดัง กล่าวถูกจัดให้อยู่ปลาย สายงานของมาสเตอร์ออสซิลเลเตอร์ดัง กล่าว

36. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 35 โดยที่หน่วยเลือกแนวดัง กล่าวประกอบด้วยพริซึม มากกว่าหนึ่งอัน

37. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 36 โดยที่พริซึมมากกว่า หนึ่งอันดังกล่าวคือพริซึม จำนวนห้าอัน

38. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 36 โดยที่พริซึมมากกว่า หนึ่งอันดังกล่าวถูกจัดเรียงไว้ เป็นวงรอบเพื่อให้ลำแสง เลเซอร์จากหน่วยเลเซอร์ที่หนึ่งเลี้ยวเป็นมุม 360 ํ ก่อนที่จะเข้าไปใน หน่วยเลเซอร์ที่สอง

39. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งในลำดับต่อไปจะประกอบ ด้วยเลเซอร์สำหรับ วางแนวให้กับแสงที่มองเห็นได้

40. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่หน่วยเลือก แนวดังกล่าวประกอบด้วยเครื่อง กรอง Lyot

41. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ห้องคายประจุไฟฟ้า ที่หนึ่งดังกล่าวและห้อง คายประจุไฟฟ้าที่สองดังกล่าวประกอบ ด้วยหน้าต่างห้องที่ถูกกำหนดตำแหน่งเพื่อให้มุมตกกระทบ ของ ลำแสงเลเซอร์บนหน้าต่างดังกล่าวทุกมุมมีขนาดใหญ่กว่ามุมของ Brewster

42. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งในลำดับต่อไปจะประกอบ ด้วยวิถีทางสำหรับ บังคับทิศทางให้กับลำแสงที่ถูกผลิตขึ้นมา ในหน่วยเลเซอร์ที่หนึ่งดังกล่าว

43. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 2 โดยที่วิถีทางสำหรับบัง ตับทิศทางให้กับลำแสง ดังกล่าวประกอบด้วยวิถีทางสำหรับหมุน องค์ประกอบทางออปติคอลตามแกน

44. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 42 โดยวิถีทางสำหรับบังคับ ทิศทางให้กับลำแสง ประกอบด้วยวิถึทางสำหรับปรับแรงดันใน หน่วยเลือกแนวดังกล่าว

45. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ระบบเลเซอร์ดัง กล่าวประกอบด้วยตัวเชื่อม ต่อเอาต์พุทของพริซึมซึ่งบางส่วน จะกำหนดขอบเขตให้กับโพรงเรโซแนนซ์สำหรับหน่วยเลเซอร์ที่ หนึ่งดังกล่าวโดยที่ตัวเชื่อมต่อเอาท์พุตของพริซึมดังกล่าว ประกอบด้วยพื้นผิวสองแห่งโโดยที่พื้นผิว ที่หนึ่งถูกวาง แนวใหัทำมุมการสูญเสียที่เป็นมุมขนาดเล็กสำหรับการแยกขั้ว p และพื้นผิวที่สองซึ่ง ถูกจัดให้อยู่ในลักษณะตั้งฉากกับลำ แสงเลเซอร์จากหน่วยเล เซอร์ที่หนึ่ง

46. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งในลำดับต่อไปจะประกอบ ด้วย A) เครื่องควบคุมอุณหภูมิที่หนึ่งสำหรับควบคุมอุณหภูมิของ ก๊าซในห้องคาย ประจุไฟฟ้าที่หนึ่งดังกล่าว B) ระบบควบคุมอุณหภูมิของก๊าซชนิดที่หนึ่งโดยที่ระบบควบ คุมอุณหภูมิของ ก๊าซดังกล่าวประกอบด้วยอัลกอริธึมสำหรับควบ คุมเพื่อปรับอุณหภูมิของก๊าซเพื่อหลีกเลี่ยงปรากฎ การณ์ทาง เสียงในทางลบซึ่งเป็นผลจากคลื่นเสียงที่สะท้อนออกมา

47. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งในลำดับต่อไปนี้จะ ประกอบด้วย A) เครื่องควบคุมอุณหภูมิที่สองสำหรับควบคุมอุณหภูมิของ ก๊าซใน ห้องคาย ประจุไฟฟ้าที่สองดังกล่าว B) ระบบควบคุมอุณหภูมิของก๊าซชนิดที่สองโดยที่ระบบควบคุม อุณหภูมิของ ก๊าซดังกล่าวประกอบด้วยอัลกอริซึมสำหรับควบคุม เพื่อปรับอุณหภูมิของก๊าซเพื่อหลีกเลี่ยงปรากฎ การณ์ทาง เสียงในทางลบซึ่งเป็นผลจากคลื่นเสียงที่สะท้อนออกมา

48. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งในลำดับต่อไปนี้จะ ประกอบด้วยเครื่องกรอง ไนโตรเจน

49. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งในลำดับต่อไปนี้จะ ประกอบด้วยระบบการชำระ ล้างด้วยไนโตรเจนซึ่งประกอบด้วยมอคูล สำหรับชำระล้างที่ประกอบด้วยเครื่องควบคุมการไหลโดย ที่ เลเซอร์ดังกล่าวประกอบด้วยท่อระบายออกของการชำระล้างเพื่อ ส่งก๊าซสำหรับชำระล้างออกไป จากเลเซอร์ดังกล่าว

50. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งในลำดับต่อไปนี้จะ ประกอบด้วยหน่วยของซัตเตอร์ ที่ประกอบด้วยซัตเตอร์ที่ทำงาน ด้วยไฟฟ้าและมิเตอร์วัดกำลังไฟฟ้าซึ่งสามารถใส่ไว้ในวิถี ของลำแสง เอาต์พุตของเลเซอร์ได้ด้วยสัญลักษณ์คำสั่ง

51. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 51 ซึ่งในลำดับต่อไปนี้จะ ประกอบด้วยระบบของสิ่ง ปิดหุ้มลำแสงซึ่งประกอบด้วย A) ส่วนปิดผนึกของลำแสงอย่างน้อยหนึ่งส่วนโดยที่ส่วนปิด ผนึกของลำแสง ดังกล่าวประกอบด้วยหีบลมที่เป็นโลหะและ B) วิถีทางสำหรับชำระล้างเพื่อชำระล้างสิ่งปิดหุ้มลำแสง ดังกล่าวดัวยก๊าซ สำหรับชำระล้าง

52. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 51 โดยวิถีทางของสิ่งปิด หุ้มลำแสงดังกล่าว ประกอบด้วยวิถีทางสำหรับบังคับทิศทางการ ไหลเพื่อทำให้เกิดกระแสการไหลสำหรับชำระล้างที่ ขวางกับลำ แสงเลเซอร์ที่เกิดขึ้นในหน่วยของเลเซอร์ที่สองดังกล่าว

53. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 51 โดยที่ส่วนปิดผนึกของลำ แสงอย่างน้อยหนึ่งส่วน ดังกล่าวถูกวางโครงแบบเพื่อให้สามารถ ใส่ห้องเลเซอร์ดังกล่าวลงไปได้ง่าย

54. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 51 โดยที่ส่วนปิดผนึกของลำ แสงอย่างน้อยหนึ่งส่วน ดังกล่าวไม่มีอิลาสโตเมอร์รวมอยู่ ด้วย, ทำให้แยกส่วนที่มีการสั่นสะเทือนออกไปจากห้องดังกล่าว, ทำให้แยกขบวนลำแสงออกจากก๊าซต่างๆ ในบรรยากาศและทำให้ สามารถใส่ห้องเลเซอร์ดังกล่าว ลงไปได้โดยไม่มีข้อจำกัดโดย ไม่มีการรบกวนหน่วยเลือกแนวดังกล่าว

55. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 51 โดยที่ส่วนปิดผนึกของลำ แสงอย่างน้อยหนึ่งส่วน ดังกล่าวสามารถใช้กับสุญญากาศได้

56. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 55 โดยที่ส่วนปิดผนึกของลำ แสงอย่างน้อยหนึ่งส่วน ดังกล่าวคือส่วนปิดผนึกของลำแสงมาก กว่าหนึ่งส่วนและส่วนปิดผนึกดังกล่าวมากกว่าห นึ่งจะเป็น หีบ ลม สำหรับปิดผนึกที่มีลักษณะเรียบง่ายซึ่งถูกวางโครงแบบไว้ เพื่อให้สามารถใช้มือถอดออก ได้ง่าย

57. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ระบบการวัดค่าและ ควบคุมดังกล่าว ประกอบด้วยตัวแยกลำแสงหลักสำหรับแยกพัลส์ที่ เป็นเอาต์พุตที่คิดเป็นอัตราเปอร์เซ็นต์น้อย ออกไปจากหน่วย เลเซอร์ที่สองและวิถีทางออปติคสำหรับบังคับทิศทางให้กับบริเวณ ส่วนหนึ่ง ของอัตราเปอร์เซ็นต์เล็กน้อยดังกล่าวไปยังเครื่อง ตรวจจับพลังงานพัลส์ดังกล่าวและวิถีทางสำหรับ แยกโดดเดี่ยว เพื่อแยกปริมาตรที่ถูกกำหนดขอบเขตไว้อย่างน้อยบางส่วนโดย ตัวแยกลำ แสงหลัก ดังกล่าวและหน้าต่างของเครื่องตรวจจับพลังงานพัลส์ ดังกล่าวออกจากส่วนอื่นๆ ของระบบการวัด ค่าและควบคุมดัง กล่าวเพื่อกำหนดย่านที่ถูกแยกโดดเดี่ยวออกไป

58. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 57 ซึ่งในลำดับต่อไปจะ ประกอบด้วยวิถีทางสำหรับ ชำระล้างเพื่อชำระล้างย่านที่ถูก แยกโดดเดี่ยวดังกล่าวด้วยก๊าซสำหรับชำระล้าง

59. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ระบบดังกล่าวถูกวาง โครงแบบเพื่อให้ใช้ ระบบเลเซอร์ที่ใช้ KrF, ระบบเลเซอร์ที่ ใช้ ArF หรือระบบเลเซอร์ที่ใช้ F2 โดยมีการปรับเปลี่ยน เล็ก น้อย

60. ระบบเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ส่วนประกอบทั้ง หมดหรือเกือบทั้งหมด ถูกบรรจุไว้ในสิ่งปิดหุ้มของเลเซอร์แต่ ระบบดังกล่าวประกอบด้วยมอคูล AC/DC ซึ่งแยกออกจาก สิ่งปิด หุ้มไปอย่างเป็นรูปธรรม

61. ระบบเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ระบบของ กำลังพัลส์ดังกล่าวประกอบ ด้วยกลุ่มของตัวเก็บประจุ สำหรับอัตประจุที่เป็นมาสเตอร์ออสซิลเลเดอร์และกลุ่มของตัว เก็บประจุ สำหรับอัดประจุของเครื่องขยายกำลังและเครื่องอัด ประจุเรโซแนนซ์ซึ่งถูกวางโครงแบบเพื่อให้อัด ประจุให้กับ กลุ่มของตัวเก็บประจุสำหรับอัดประจุทั้งสองกลุ่มที่ขนานกัน

62. ระบบเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 61 โดยที่ระบบ กำลังพัลส์ดังกล่าวประกอบด้วย แหล่งจ่ายกำลังที่ถูกวางโครง แบบเพื่อให้จ่ายกำลังอย่างน้อย 2000V แก่ประจุเรโซแนนซ์ดัง กล่าว

63. ระบบเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งในลำดับต่อไปจะ ประกอบด้วยระบบ ควบคุมก๊าซเพื่อควบคุมความเข้มข้นของ F2 ใน ก๊าซที่ใช้สร้างเลเซอร์ชนิดที่หนึ่งเพื่อควบคุม พารามิเตอร์ ต่าง ๆ ของลำแสงของมาสเตอร์ออสซิลเลเตอร์

64. ระบบเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งในลำดับต่อไปจะ ประกอบด้วยระบบ ควบคุมก๊าซเพื่อควบคุมแรงดันก๊าซที่ใช้สร้าง เลเซอร์ในก๊าซที่ใช้สร้างเลเซอร์ชนิดที่หนึ่งดังกล่าว เพื่อ ควบคุมพารามิเตอร์ต่าง ๆ ของลำแสงของมาสเตอร์ออสซิลเลเดอร์

65. ระบบเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 2 ซึ่งในลำดับต่อไปจะ ประกอบด้วยเครื่อง ควบคุมกำหนดเวลาในการคายประจุเพื่อสั่ง ให้เริ่มคายประจุไฟฟ้าในเครื่องขยายกำลังดังกล่าว ระหว่าง 20 และ 60 นาโนวินาที หลักจากคายประจุไฟฟ้าในมาสเตอร์ออส ซิลเลเดอร์ดังกล่าวแล้ว

66. ระบบเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 2 ซึ่งในลำดับต่อไปจะ ประกอบด้วยเครื่อง ควบคุมการคายประจุซึ่งถูกโปรแกรมเพื่อที่ ในบางกรณีจะได้คายประจุตามกำหนดเวลาเพื่อหลีก เลี่ยงพลัง งานพัลส์ที่เป็นเอาต์พุตที่สำคัญใด ๆ

67. ระบบเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 66 โดยที่เครื่องควบคุม ดังกล่าวในบางกรณี ดังกล่าวถูกโปรแกรมเพื่อทำให้เกิดการคาย ประจุในเครื่องขยายกำลังดังกล่าวอย่างน้อย 20 นาโน วินาที ก่อนที่จะมีการคายประจุไนมาสเตอร์ออสซิลเลเตอร์ดังกล่าว

68. ระบบเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 1 ซึ่งในลำดับต่อไปจะ ประกอบด้วยหน่วยของ ตัวเพิ่มจำนวนพัลส์เพื่อเพิ่มช่วง ของพัลส์ต่าง ๆ ที่เป็นเอาต์พุตจากเลเซอร์ดังกล่าว

69. ระบบเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 68 โดยที่หน่วยของตัว เพิ่มจำนวนพัลส์ถูก จัดเรียงเพื่อให้รับลำแสงเลเซอร์ ของพัลส์ที่เป็นเอาต์พุตดังกล่าวและเพิ่มจำนวนพัลส์ต่อ วินาทีโดย ตัวประกอบอย่างน้อยหนึ่งตัวที่มีค่าเป็นสองเพื่อ ผลิตลำแสงพัลส์เป็นเอาต์พุตของตัวเพิ่มจำนวน พัลส์เพียงลำ แสงเดียวซึ่งประกอบด้วยพัลส์ที่มีจำนวนมากขึ้นโดยมีค่าความ เข้มลดลงอย่างเห็นได้ ชัดเมื่อเปรียบเทียบกับพัลส์ที่เป็น เอาต์พุตของเลเซอร์ และหน่วยของตัวเพิ่มจำนวนพัลส์ดังกล่าว ประกอบด้วย (1) ตัวแยกลำแสงที่หนึ่งซึ่งถูกจัดเรียงไว้ในลักษณะที่จะ แยกบริเวณส่วนหนึ่ง ของลำแสงเอาต์พุตดังกล่าวโดยที่ส่วนที่ ถูกแยกออกไปซึ่งกำหนดขอบเขตให้กับส่วนที่ถูกประวิง ออกไปและ ลำแสงเอาต์พุตที่กำหนดขนาดของลำแสงและการกระจายเชิงมุมที่ ตัวแยกลำแสงที่หนึ่ง ดังกล่าว (2) วิถีที่หนึ่งของการประวิงซึ่งเริ่มต้นและสิ้นสุดที่ ตัวแยกลำแสงที่หนึ่งดังกล่าว โดยวิถีที่หนึ่งของการประวิง ดังกล่าวประกอบด้วยกระจกสำหรับโฟกัสอย่างน้อยสองอันโดยที่ กระจกดังกล่าวถูกจัดเรียงเพื่อให้โฟกัสประวิงดังกล่าวที่ จุดโฟกัสภายในวิถีที่หนึ่งของการ ประวิงดังกล่าวและเพื่อส่งส่วนที่ถูกประวิงดังกล่าวกลับไ ปยังตัวแยกลำแสงที่หนึ่งดังกล่าวโดยมี ขนาดของลำแสงและการ กระจายเชิงมุมที่เท่ากับหรือเกือบจะ เท่ากับชนาดของลำแสงและการ กระจายเชิงมุมของลำแสงเอาต์พุต ที่ตัวแยกของลำแสงที่หนึ่งดังกล่าว

70. ระบบเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 69 โดยที่กระจกสำหรับ โฟกัสอย่างน้อย สองอันดับดังกล่าวเป็นกระจกทรงกลม

71. ระบบเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 69 ซึ่งในลำดับต่อไปจะ ประกอบด้วยวิถีที่ สองสำหรับประวิงซึ่งประกอบด้วยกระจกทรง กลมอย่างน้อยสองอัน

72. ระบบเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 69 โดยที่วิถีที่หนึ่ง สำหรับประวิงดังกล่าว ประกอบด้วยกระจกสำหรับโฟกัสจำนวนสี่ อัน

73. ระบบเลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 72 ซึ่งในลำดับต่อไปจะ ประกอบด้วยวิถีที่ สองสำหรับประวิงซึ่งเกิดขึ้นจากตัวแยกลำ แสงที่สองซึ่งถูกกำหนดให้อยู่ในวิถีที่หนึ่งสำหรับประวิง ดังกล่าว

74. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 69 โดยวิถีที่หนึ่งสำหรับ ประวิงดังกล่าวประกอบ ด้วยตัวแยกลำแสงที่สองและในลำดับต่อไป จะประกอบด้วยวิถีที่สองสำหรับประวิงซึ่งประกอบด้วย กระจก สำหรับโฟกัสอย่างน้อยสองอันโดยที่กระจกดังกล่าวถูกจัดเรียง เพื่อให้โฟกัสส่วนที่ถูกประวิง ดังกล่าวที่จุดโฟกัสภายใน วิถีที่หนึ่งของการประวิงดังกล่าวและเพื่อส่งส่วนที่ถูกป ระวิงดังกล่าวกลับ ไปยังตัวแยกลำแสงที่หนึ่งดังกล่าวโดยมี ขนาดของลำแสง และการกระจายเชิงมุมที่เท่ากับหรือเกือบ จะเท่ากับขนาดของลำ แสงและการกระจายเชิงมุมของลำแสงเอาต์พุตที่ตัวแยกของลำแสง ที่หนึ่ง ดังกล่าว

75. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 69 โดยที่ตัวแยกลำแสงที่ หนึ่งดังกล่าวถูกวาง โครงแบบเพื่อบังคับทิศทางให้ลำแสง เลเซอร์อยู่ในสองทิศทางเป็นอย่างน้อยโดยใช้คุณสมบัติทาง ออป ติคอลของการสะท้อนภายในที่ถูกหยุดไว้

76. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 69 โดยที่ตัวแยกลำแสงที่ หนึ่งดังกล่าวประกอบด้วย องค์ประกอบทางออปติคอลโปร่งใสจำนวน สองชุดซึ่งองค์ประกอบดังกล่าวแต่ละชุดจะมีพื้นผิวที่ แบน เรียบโดยที่องค์ประกอบทางออปติคอลดังกล่าวถูกกำหนดตำแหน่ง ให้มีพื้นผิวต่างๆ ดังกล่าว ขนานกันและถูกแยกออกจากกันเป็น ระยะที่น้อยกว่า 200 นาโนเมตร

77. เลเซอร์ตามข้อถือสิทธิที่ 69 โดยที่ตัวแยกลำแสงที่ หนึ่งดังกล่าวเป็นองค์ประกอบ ทางออปติคอลที่ไม่ถูกเคลือบ ซึ่งถูกวางแนวให้ทำมุมกับลำแสงเลเซอร์ที่เป็นเอาต์พุตดัง กล่าวเพื่อให้มี อัตราส่วนของการสะท้อน-การถ่ายโอนตามที่ ต้องการ