TH59544B - Glass plates for magnetic plates and magnetic plates - Google Patents

Glass plates for magnetic plates and magnetic plates

Info

Publication number
TH59544B
TH59544B TH901004469A TH0901004469A TH59544B TH 59544 B TH59544 B TH 59544B TH 901004469 A TH901004469 A TH 901004469A TH 0901004469 A TH0901004469 A TH 0901004469A TH 59544 B TH59544 B TH 59544B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
disk
magnetic
glass
less
main surface
Prior art date
Application number
TH901004469A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH114256A (en
Inventor
เอดะ นายชินจิ
มาเอดะ นายทาคาชิ
มารุโมะ นายโยชิโนริ
อิโซโนะ นายฮิเดคิ
ทสึชิยะ นายฮิโรชิ
Original Assignee
นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร
นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง
นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์
โฮยา คอร์ปอเรชั่น
Filing date
Publication date
Application filed by นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร, นางสาวปัณณพัฒน์ เหลืองธาตุทอง, นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์, โฮยา คอร์ปอเรชั่น filed Critical นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร
Publication of TH114256A publication Critical patent/TH114256A/en
Publication of TH59544B publication Critical patent/TH59544B/en

Links

Abstract

DC60 (21/12/52) แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กซึ่งมีจำนวนตำหนิซึ่งอยู่ที่ผิวหน้าในระดับใกล้เคียงความ หยาบเฉลี่ยตามการคำนวน (Ra) เป็น 0.1nm ที่น้อยมากซึ่งเหมาะสมเป็นแผ่นแก้วสำหรับจานแม่ เหล็กความหนาแน่นการบันทึกสูงและวิธีการผลิตนั้น แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กของการ ประดิษฐ์นี้มีลักษณะจำเพาะ คือ ความหยาบเฉลี่ยตามคำนวณ (Ra) ที่ผิวหน้าหลักของแผ่น แก้วซึ่งได้วัดเป็นมุม 2ไมครอน*2ไมครอน ด้วยความละเอียด 256*256 พิกเซลโดยใช้กล้องจุลทรรศน์แรง อะตอมมีไม่เกิน 0.12nm จำนวนตำหนิที่ได้มีการตรวจจับเป็นขนาด 0.1ไมครอน ขึ้นไปกับไม่เกิน 0.6ไมครอน เมื่อมองจากด้านบนและมีความลึก 0.5nm ขึ้นไปและไม่เกิน 2nm ซึ่งได้มีการตรวจจับโดย ใช้การเลื่อนของความยาวคลื่นระหว่างคลื่นตกกระทบกับคลื่นสะท้อนเมื่อฉายแสงฮีเลียมนีออน เลเซอร์ขนาดความยาวคลื่น 632nm ที่ผิวหน้าหลักของแผ่นแก้วดังกล่าวพร้อมกับกวาดไปด้วยมี น้อยกว่า 10 ตำหนิต่อ 24 ตารางเซนติเมตรDC60 (21/12/09) A magnetic disc glass plate with a surface defect number close to the calculated average roughness (Ra) of 0.1nm is very small, suitable for high-density magnetic discs, and its fabrication method is as follows: The magnetic disc glass plate of the present invention has the characteristic that the calculated average roughness (Ra) on the main surface of the glass plate, measured at an angle of 2 microns * 2 microns with a resolution of 256 * 256 pixels using an atomic force microscope, is not more than 0.12nm. The number of defects detected is 0.1 microns or more and not more than 0.6 microns in size when viewed from above, and has a depth of 0.5nm or more and not more than 2nm, which is detected by using the wavelength shift between the incident and reflected waves when irradiated with a helium-neon laser of wavelength 632nm on the main surface of the glass plate and is scanned. There are less than 10 defects per 24 square centimeters.

Claims (9)

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :แก้ไข 20/03/2560All rights reserved which will not appear on the advertisement page: Edited 20/03/2017 1. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็ก สำหรับใช้ในจานแม่เหล็กที่จะถูกติดตั้งไว้กับฮาร์ดดิสก์ ไดรฟ์ที่มีหัวอ่าน DFH ที่ซึ่ง ความหยาบเฉลี่ยตามการคำนวณ (Ra) ที่ผิวหน้าหลักของแผ่นแก้วซึ่ง ได้วัดโดยใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมด้วยความละเอียด 256*256 พิกเซล ในสี่เหลี่ยม 2 ไมโครเมตร *2 ไมโครเมตร มี 0.12 นาโนเมตรหรือน้อยกว่านั้น ซึ่งตำหนิที่ถูกตรวจจับได้มีขนาด 0.1 ไมโครเมตร หรือมากกว่านั้น และ 0.3 ไมโครเมตร หรือน้อยกว่านั้น เมื่อทำการฉายแสงที่มี ความยาวคลื่น 405 นาโนเมตร ลงบนแผ่นแก้วที่มีขนาดจุดแสง 5 ไมโครเมตร และทำการตรวจจับ แสงที่กระจายตัวจากแผ่นแก้ว, จำนวนของตำหนิที่เกาะติดกับแผ่นแก้วเป็น 1 หรือน้อยกว่านั้น ต่อ 24 ซม.2 ตำหนิที่เหลือโดยไม่มีการเคลื่อนที่บนพื้นผิวของแผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กก่อนและ หลังการทำความสะอาดภายใต้สภาวะการแช่เป็นเวลา 200 วินาที ในสารละลายกรดซัลฟิวริกเจือ จาง ซึ่งถูกปรับเป็น pH4 แผ่นแก้วที่เป็นแผ่นไอโซโทรปิก, อัตราส่วน (Ra/Rv) ของความหยาบเฉลี่ย ตามการคำนวณ (Ra) ต่อ ความลึกของก้นที่ลึกสุด (Rv) ที่ผิวหน้าหลักของแผ่นแก้วเป็น 0.15 หรือ มากกว่านั้น1. Glass substrate for magnetic platters, for use in magnetic platters mounted on hard disk drives with DFH read heads, wherein the calculated average roughness (Ra) of the primary surface of the substrate, as measured using an atomic force microscope with a resolution of 256*256 pixels in a 2 μm*2 μm square, is 0.12 nm or less, and the detected defects are 0.1 μm or more, and 0.3 μm or less. When light of a wavelength of 405 nm is projected onto a glass substrate with a spot size of 5 μm and the light scattered from the substrate is detected, the number of defects adhered to the substrate is 1 or less per 24 cm2. The remaining defects without movement on the substrate surface are for magnetic platters before and After cleaning under immersion conditions for 200 s in dilute sulfuric acid solution adjusted to pH4, the isotropic glass plates, the ratio (Ra/Rv) of the calculated average roughness (Ra) to the deepest bottom depth (Rv) at the main surface of the glass plates is 0.15 or more. 2. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่ง แผ่นแก้วมีรูปทรงจานที่มีรูตรง กลางของแผ่นนั้นและที่อนุมานได้ว่าระยะทางจากศูนย์กลางถึงส่วนรอบวงด้านนอกเป็น 100%, ความแตกต่าง (Ra0- Ra1) ระหว่างความหยาบเฉลี่ยตามการคำนวณ (Ra0) ของพื้นผิวหลักในช่วง 80%หรือมากกว่านั้น และ 90%หรือน้อยกว่านั้น จากศูนย์กลาง และความหยาบเฉลี่ยตามการ คำนวณ (Ra1) ของพื้นผิวหลักในช่วง 10% หรือมากกว่านั้น และ 20% หรือน้อยกว่านั้น จากศูนย์ กลางเป็น 0.01 นาโนเมตร หรือน้อยกว่านั้น2. The glass disk for a magnetic disk according to claim 1, wherein the glass disk has a disk shape with a hole in the center of the disk and, wherein the distance from the center to the outer circumference is assumed to be 100%, the difference (Ra0-Ra1) between the calculated average roughness (Ra0) of the primary surface in the range of 80% or more and 90% or less from the center and the calculated average roughness (Ra1) of the primary surface in the range of 10% or more and 20% or less from the center is 0.01 nm or less. 3. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ที่ซึ่ง แผ่นแก้วมีผิวหน้าหลัก และ หน้าขอบ ผิวหน้าหลัก และหน้าขอบแต่ละชิ้นมีชั้นแรงบีบอัด, และ ชั้นแรงบีบอัดของพื้นผิวหลักมีความลึกซึ่งตื้นกว่าความลึกของชั้นแรงบีบอัดของหน้าขอบ3. The glass plate for a magnetic disk according to claim 1 or 2, wherein the glass plate has a main surface and a boundary surface, each of the main surface and boundary surfaces having a compression layer, and the compression layer of the main surface has a depth which is shallower than the depth of the compression layer of the boundary surface. 4. จานแม่เหล็ก ที่ซึ่ง อย่างน้อยชั้นแม่เหล็กถูกสร้างขึ้นบนแผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็ก ตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 34. A magnetic disk, wherein at least a magnetic layer is formed on a glass disk for the magnetic disk, according to any one of claims 1 to 3. 5. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 4 ที่ซึ่ง จานแม่เหล็กดังกล่าวเป็นสื่อแพท เทิร์นด์ซึ่งแทร็กบันทึกซึ่งอยู่ข้างเคียงกันถูกแยกออกจากกันทางแม่เหล็กเป็นอย่างน้อย5. The glass disk for a magnetic disk according to claim 4, wherein said magnetic disk is a patterned media in which adjacent recording tracks are separated by at least a magnetic field. 6. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็ก สำหรับใช้ในจานแม่เหล็กที่จะถูกติดตั้งไว้กับฮาร์ดดิสก์ ไดรฟ์ที่มีหัวอ่าน DFH ที่ซึ่ง ความหยาบเฉลี่ยตามการคำนวณ (Ra) ที่ผิวหน้าหลักของแผ่นแก้วซึ่ง ได้วัดโดยใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมด้วยความละเอียด 256*256 พิกเชล ในสี่เหลี่ยม 2 ไมโครเมตร *2 ไมโครเมตร มี 0.12 นาโนเมตรหรือน้อยกว่านั้น ซึ่งจำนวนตำหนิเว้าซึ่งถูกตรวจจับ เพื่อให้มีขนาด 0.1 ไมโครเมตร หรือมากกว่านั้น และ 0.6 ไมโครเมตร หรือน้อยกว่านั้นในมุมมอง ระนาบ และ ความลึก 0.5 นาโนเมตร หรือมากกว่านั้น และ 2 นาโนเมตร หรือน้อยกว่านั้น มีค่า น้อยกว่า 10 ต่อ 24 ซม.2, ตำหนิแต่ละจุดถูกตรวจจับโดยการใช้การเลื่อนความยาวคลื่นระหว่าง แสงตกกระทบและแสงสะท้อนเมื่อทำการฉายแสง และ การสแกนแสงเลเซอร์ฮีเลียม นีออนที่มี ความยาวคลื่น 632 นาโนเมตร ลงบนผิวหน้าหลักของแผ่นแก้ว, แผ่นแก้วเป็นโครงสร้างไอโซโทร ปิก, อัตราส่วน (Ra/Rv) ของความหยาบเฉลี่ยตามการคำนวณ (Ra) ต่อ ความลึกของก้นที่ลึกสุด (Rv) ที่ผิวหน้าหลักของแผ่นแก้วเป็น 0.15 หรือมากกว่านั้น6. Glass substrate for magnetic platters, for use in magnetic platters to be mounted on hard disk drives with DFH read heads, wherein the calculated average roughness (Ra) on the primary surface of the glass substrate, as measured using an atomic force microscope with a resolution of 256*256 pixels in a 2 μm*2 μm square, is 0.12 nm or less, wherein the number of concave defects detected to be 0.1 μm or more and 0.6 μm or less in the field of view plane, and depths of 0.5 nm or more and 2 nm or less, is less than 10 per 24 cm2, each defect is detected by applying a wavelength shift between Incident and reflected light when projecting and scanning a helium neon laser with a wavelength of 632 nm onto the main surface of a glass plate, the glass plate is isotropic in structure, the ratio (Ra/Rv) of the calculated average roughness (Ra) to the deepest bottom depth (Rv) at the main surface of the glass plate is 0.15 or more. 7. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 6 ที่ซึ่งแผ่นแก้วมีรูปทรงจานที่มีรูตรง กลางของแผ่นนั้นและที่อนุมานได้ว่าระยะทางจากศูนย์กลางถึงส่วนรอบวงด้านนอกเป็น 100%, ความแตกต่าง (Ra0- Ra1) ระหว่างความหยาบเฉลี่ยตามการคำนวณ (Ra0) ของพื้นผิวหลักในช่วง 80%หรือมากกว่านั้น และ 90%หรือน้อยกว่านั้น จากศูนย์กลาง และความหยาบเฉลี่ยตามการ คำนวณ (Ra1) ของพื้นผิวหลักในช่วง 10% หรือมากกว่านั้น และ 20% หรือน้อยกว่านั้น จากศูนย์ กลางเป็น 0.01 นาโนเมตร หรือน้อยกว่านั้น7. The glass disk for a magnetic disk according to claim 6, wherein the glass disk has a disk shape with a hole in the center of the disk and wherein the distance from the center to the outer circumference is assumed to be 100%, the difference (Ra0-Ra1) between the calculated average roughness (Ra0) of the primary surface in the range of 80% or more and 90% or less from the center and the calculated average roughness (Ra1) of the primary surface in the range of 10% or more and 20% or less from the center is 0.01 nm or less. 8. แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 6 หรือ 7 ที่ซึ่ง แผ่นแก้วมีผิวหน้าหลัก และ หน้าขอบ ผิวหน้าหลัก และหน้าขอบแต่ละชิ้นมีชั้นแรงบีบอัด, และ ชั้นแรงบีบอัดของพื้นผิวหลักมีความลึกซึ่งตื้นกว่าความลึกของชั้นแรงบีบอัดของหน้าขอบ8. The glass plate for a magnetic disk according to claim 6 or 7, wherein the glass plate has a main surface and a boundary surface, each of the main surface and boundary surface having a compression layer, and the compression layer of the main surface having a depth which is shallower than the depth of the compression layer of the boundary surface. 9. จานแม่เหล็ก ที่ซึ่ง อย่างน้อยชั้นแม่เหล็กถูกสร้างขึ้นบนแผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็ก ตามข้อใดข้อหนึ่งในข้อถือสิทธิที่ 6 ถึง 8 1 แผ่นแก้วสำหรับจานแม่เหล็กตามข้อถือสิทธิที่ 9 ที่ซึ่ง จานแม่เหล็กดังกล่าวเป็นสื่อ แพทเทิร์นด์ซึ่งแทร็กบันทึกซึ่งอยู่ข้างเคียงกันถูกแยกออกจากกันทางแม่เหล็กเป็นอย่างน้อย ------9. A magnetic disk, wherein at least a magnetic layer is formed on a glass disk for the magnetic disk, according to any one of claims 6 to 8. 1. The glass disk for the magnetic disk according to claim 9, wherein said magnetic disk is a patterned medium on which adjacent recording tracks are separated by at least a magnetic field. ------
TH901004469A 2009-09-30 Glass plates for magnetic plates and magnetic plates TH59544B (en)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH114256A TH114256A (en) 2012-05-31
TH59544B true TH59544B (en) 2017-12-20

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010108592A5 (en)
JP2010108591A5 (en)
MY186233A (en) Glass substrate for a magnetic disk and magnetic disk
JP4607139B2 (en) Write-once information recording medium and master substrate
CN102077279A (en) Substrate for magnetic disc and magnetic disc
CN1758346A (en) Optical information recording medium, reproducing method thereof, and manufacturing method thereof
JP2017130249A5 (en)
JP2006286158A (en) Magnetic recording medium and method for manufacturing the same
JP2010192109A5 (en)
TH59544B (en) Glass plates for magnetic plates and magnetic plates
TH114256A (en) Glass plates for magnetic plates and magnetic plates
JP6374426B2 (en) Magnetic disk substrate, magnetic disk, and magnetic disk drive device
JP2008305473A (en) Nanostructure manufacturing method and magnetic recording medium manufacturing method
JP2003296972A5 (en)
JP2010517202A5 (en)
CN101216674A (en) A Lithographic Method for Probe-Induced Surface Plasmon Resonance Coupling
TWI233110B (en) Magneto-optical recording medium
TH64830B (en) Plates for magnetic plates and their manufacturing methods
JP4687645B2 (en) Magnetic recording medium, magnetic recording / reproducing apparatus, and concave / convex depth inspection method for concave / convex pattern
WO2011162280A1 (en) Magnetic recording medium
JP2006099926A (en) Magneto-optical recording medium and layer structure
JP3787515B2 (en) Stamper for optical disk substrate and manufacturing method thereof
JP6034583B2 (en) Method for manufacturing glass substrate for information recording medium, and glass substrate for information recording medium
JP2013211069A5 (en) Method for manufacturing glass substrate for information recording medium, and glass substrate for information recording medium
CN101419807B (en) System, method, and apparatus for performing metrology on patterned media disks with test pattern areas