Claims (15)
1. กรรมวิธีสำหรับแยกของผสม SF6/N2 หรือของผสม SF6 อากาศ,ซี่งนำของผสมมาสัมผัส ในการดูดซับอย่างน้อยหนี่งระยะกับ ไฮโดรโฟบิค ซีโอไลท์ที่มีอัตราส่วน SiO2/Al2O2 อย่างน้อย 80 และเส้นผ่าศูนย์กลางรูพรุนเป็น 4 ถึง 7 อังสตรอม (0.4 ถึง 0.7 นาโนเมตร) เพื่อดูดซับ SF6 และเพื่อ นำ N2 หรือ อากาศที่มี SF6 หายไปกลับคืนอย่างที่ควรใช้1. A process for separating SF6/N2 mixtures or SF6-air mixtures, in which the mixture is subjected to at least one adsorption period with a hydrophobic zeolite with a SiO2/Al2O2 ratio of at least 80 and a pore diameter of 4 to 7 angstroms (0.4 to 0.7 nm) to adsorb SF6 and to recover the N2 or air from which the SF6 has been lost as appropriate.
2. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะคือใช้ ไฮโดรโฟบิค ซีโอไลท์ที่มีเส้นผ่า ศูนย์กลางรูพรุนเป็น 5 ถึง 6.5 อังสตรอม (0.5 ถึง 0.65 นาโนเมตร)2. The process described in claim 1, which is characterized by the use of hydrophobic zeolites with a pore diameter of 5 to 6.5 angstroms (0.5 to 0.65 nanometers).
3. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะคือ ใช้ไฮโดรโฟบิค ซีโอไลท์ที่บด ละเอียดแล้ว3. The process specified in claim 1, which is characterized by the use of finely ground hydrophobic zeolites.
4. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะคือดำ เนินการดูดซับที่ความดันอย่าง มากที่สุด 5 บรรยากาศ (สัมบูรณ์)4. The process described in claim 1 is characterized by adsorption being performed at a maximum pressure of 5 atmospheres (absolute).
5. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะคือใช้ กรรมวิธีสำหรับแยก SF6 จาก แก๊สที่มี SF65. The procedure under claim 1, which is characterized by the use of a process for separating SF6 from gases containing SF6.
6. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะคือใช้ อากาศเสียที่มี SF6 หรือแก๊สเสีย, แก๊สเสียจากอุตสาหกรรม แมกนีเซียม, แก๊สที่ทำให้เป็นฉนวนจากแผ่นกระจกหน้าต่าง หรือ แก๊สตัวเติมจากยางรถยนต์6. The process under claim 1, which is characterized by the use of exhaust air containing SF6 or exhaust gases, industrial exhaust gases, magnesium, insulating gases from window panes, or filler gases from tires.
7. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะคือแยก ของผสมในการแยกด้วย เมมเบรนอย่างน้อยหนึ่งระยะก่อนจนได้รี เทนเททที่มี SF6 ในปริมาณที่เพิ่มขึ้น และเพอร์มิเอทที่มี SF6 ในปริมาณที่ลดลง และนำเพอร์มิเทสำหรับการแยกเพิ่มเติม ไปยังการดูดซับอย่างน้อยหนึ่ง ระยะมาสัมผัสกับไฮโดรโฟบิค ซี โอไลท์ที่มีอัตราส่วน SiO2 Al2O3, อย่างน้อย 80 และเส้นผ่า ศูนย์ กลางรูพรุน 4 ถึง 7 อังสตรอม (0.4 ถึง 0.7 นาโนเมตร) เพื่อดูดซับ SF6 อย่างที่ควรใช้7. The procedure under claim 1, characterized by the separation of the membrane separation mixture in at least one phase to obtain a retainate with increasing SF6 content and a permeate with decreasing SF6 content, and the subsequent permeate for further separation being subjected to at least one adsorption phase contact with a hydrophobic zeolite with a SiO2/Al2O3 ratio of at least 80 and a pore diameter of 4 to 7 angstroms (0.4 to 0.7 nm) for optimal SF6 adsorption.
8. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 หรือ 7. ซึ่งมีลักษณะคือ จุดเริ่มคือของผสม SF6/N2 ที่ ปริมาณ SF6 เป็น 5 ถึง 30% โดยปริมาตร หรือของผสม SF6/อากาศเป็น 0.5 ถึง 2%8. A process pursuant to claim 1 or 7, characterized by an starting point of an SF6/N2 mixture with an SF6 content of 5 to 30% by volume, or an SF6/air mixture of 0.5 to 2%.
9. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 7 หรือ 8. ซึ่งมีลักษณะ เฉพาะคือจัดให้มีการแยกด้วยเมมเบรน สองระยะหรือมากกว่า และ การดูดซับสองระยะหรือมากกว่า9. A procedure pursuant to claim 7 or 8, which is characterized by the provision of two or more membrane separation and two or more adsorption stages.
10. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 9. ซึ่งมีลักษณะเฉพาะคือ จัดให้มีการแยกด้วยเมมเบรนสอง ระยะ. ป้อนของการแยกด้วยเมมเบ รนระยะแรกไปยังการแยกด้วยเมมเบรนระยะที่สองเพื่อทำให้ได้ ของผสมที่มี SF6 ในปริมาณที่เพิ่มขึ้นที่เป็นรีเทนเททจาก การแยกด้วยเมมเบรนระยะที่สอง, นำเพอร์มิเอทของการแยก ด้วยเมมเบรนระยะที่สองกลับไปยังการแยกด้วยเมมเบรนระยะแรก ที่มี N2 หรืออากาศในปริมาณที่เพิ่มขึ้น และป้อนเพอร์มิเอท ของการแยด้วยเมมเบรนระยะแรกที่มี N2 หรือ อากาศในปริมาณสูง ไปยังแอดซอร์บเบอร์หนึ่งระยะ, สองระยะหรือมากกว่าเพื่อทำ ให้ได้ N2 หรือ อากาศที่มีปริมาณ SF6 ที่หายไปอย่างมาก10. The procedure described in claim 9 is characterized by the provision of a two-stage membrane separation. The permeate of the first-stage membrane separation is fed to the second-stage membrane separation to obtain a mixture with an increased amount of SF6 retained from the second-stage separation. The permeate of the second-stage membrane separation is then returned to the first-stage membrane separation with an increased amount of N2 or air, and the permeate of the first-stage membrane separation with high N2 or air content is fed to one, two, or more absorbers to obtain N2 or air with significantly lost SF6.
11. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 10, ซึ่งมีลักษณะเฉพาะคือ จัดให้มีแอดซอร์บเบอร์สองระยะ เพื่อทำให้ได้ N2 หรืออากาศ ที่มี SF6 น้อยกว่า 10 ส่วนต่อล้านส่วนที่ความดันที่อยู่ ล้อมรอบ11. The process pursuant to claim 10, which is characterized by the provision of a two-stage absorber to obtain N2 or air with less than 10 parts per million of SF6 at ambient pressure.
12. เครื่องสำเร็จสำหรับแยกของผสม SF6 N2, ซึ่งประกอบรวม ด้วยเมมเบรน 1, 2,3 ระยะหรือมากกว่าโดยมีเมมเบรนซึ่ง N2 คาร์ซึมได้ และแอดซอร์บเบอร์ 1, 2 ระยะหรือมากกว่า ที่มีเบด ของซีโอไลท์ที่มีอัตราส่วนของ SiO2Al2O2 อย่างน้อย 80 และ เส้นผ่าศูนย์กลางรูพรุน 4 ถึง 7 อังสตรอม 10.4 ถึง 0.7 นา โมเมตร)12. A complete apparatus for separating SF6/N2 mixtures, comprising a 1, 2, 3 or more stage membrane with N2 permeability and a 1, 2 or more stage absorber with a zeolite bed containing a SiO2Al2O2 ratio of at least 80 and a pore diameter of 4 to 7 Angstroms (10.4 to 0.7 nanometers).
13. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 12 ที่มีการแยกด้วยเมมเบรน 2 ระยะ และแอดซอร์บ เบอร์ 2 ระยะ, ซึ่งประกอบรวมด้วยท่อ สำหรับป้อนของผสมแก๊สที่จะนำมาแยกไปยังการแยกด้วย เมมเบรน ระยะแรก, ท่อเชื่อมต่อสำหรับรีเทนเททเพื่อการนำไปยังการแยก ด้วยเมมเบรนระยะที่สอง, ท่อเชื่อมต่อระหว่างการแยก ด้วยเมมเบรนระยะที่สอง และระยะแรกสำหรับนำเพอร์มิเอทของการ แยกด้วยเมมเบรนระยะที่สองไปยังการแยกด้วยเมมเบรนระยะแรก, ท่อสำหรับกำจัดรีเทนเททจาก การแยกด้วยเมมเบรนระยะที่สองที่มี SF6 ในปริมาณสูง, ท่อสำหรับป้อนเพอร์มิเอทของการแยก ด้วย เมมเบรนระยะแรกไปยังแอดซอร์บเบอร์ระยะแรก, ท่อสำหรับ ป้อน แก๊สที่ออกจากแอดซอร์บเบอร์ ระยะแรกไปยังแอดซอร์บเบอร์ระยะ ที่สอง และท่อสำหรับกำจัดแก๊สไนโตรเจนที่เกือบปราศจาก SF6 จากแอดซอร์บเบอร์ระยะที่สอง13. The process under claim 12, involving two-stage membrane separation and two-stage absorbers, includes a pipe for feeding the gas mixture to be separated to the first-stage membrane separation; a connecting pipe for retaining the retaining material to the second-stage membrane separation; a connecting pipe between the first and second-stage membrane separations for transferring the permeate of the second-stage membrane separation to the first-stage membrane separation; a pipe for removing retaining material from the second-stage membrane separation containing high levels of SF6; a pipe for feeding the permeate of the first-stage membrane separation to the first-stage absorber; a pipe for feeding the gas exiting the first-stage absorber to the second-stage absorber; and a pipe for removing near-SF6-free nitrogen gas from the second-stage absorber.
14. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 13, ซึ่งประกอบรวมด้วยการ แยกด้วยเมมเบรนระยะที่ สามโดยที่ท่อเชื่อมต่อสำหรับเพอร์มิ เอทของการแยกด้วยเมมเบรนระยะที่สามสำหรับเพอร์มิเอท ของการ แยกด้วยเมมเบรนระยะที่สามสำหรับการนำไปยังแอดซอร์บเบอร์, ท่อเชื่อมต่อสำหรับการ นำรีเทนเททของระยะที่สามไปยังการแยก ด้วยเมมเบรนระยะแรก, ท่อเชื่อมต่อสำหรับนำเพอร์มิเอท ของการ แยกด้วยเมมเบรนระยะแรกไปยังการแยกด้วยเมมเบรนระยะที่สาม และท่อเชื่อมต่อสำหรับ นำเพอร์มิเอทของการแยกด้วยเมมเบรน ระยะที่สองไปยังการแยกด้วยเมมเบรนระยะแรก14. The procedure under claim 13, which includes a third-stage membrane separation where a connecting tube for the permeate of the third-stage membrane separation is transferred to the absorber, a connecting tube for the transfer of the third-stage retainate to the first-stage membrane separation, a connecting tube for the transfer of the first-stage membrane separation permeate to the third-stage membrane separation, and a connecting tube for the transfer of the second-stage membrane separation permeate to the first-stage membrane separation.
15. กรรมวิธีตามข้อถือสิทธิข้อ 12 ถึง 14 ข้อใดข้อหนึ่งใน รูปแบบที่เคลื่อนที่ได้, ตัวอย่างเช่น สร้างบนบอร์ดของยาน พาหนะ15. Any of the processes under claims 12 through 14 in a movable form, for example, built on the board of a vehicle.