TH43814B

TH43814B - Gas supply system

Info

Publication number: TH43814B
Application number: TH1001706A
Authority: TH
Original assignee: ซิลิคอน วอลเลย์ กรุ๊พ เธอร์มอล ซิสเท็มส์ แอลแอลซี
Filing date: 2000-05-16
Publication date: 2001-03-20

Abstract

การประดิษฐ์นี้จะจัดให้มีอุปกรณ์และวิธีการสำหรับแจกจ่ายก๊าซด้วยการป้อน หลายครั้ง เข้าไปยังห้อง 125 เพื่อแปรรูป สับสเตรต 115 ในรูปลักษณะหนึ่ง ระบบ 155 จะประกอบด้วย เครื่องฉีดก๊าซที่ผ่านกระบวนการ 190 สำหรับนำก๊าซที่ผ่าน กระบวน การเข้าไปยังห้อง 125 และชุดประกอบของเกราะ 200 ซึ่ง มีโครงของส่วนหุ้มกำบัง 210, 215 จำนวนหนึ่งที่อยู่ถัดไป จากเครื่องฉีดก๊าซที่ผ่านกระบวนการเพื่อลดการเกาะสะสม ของผล พลอยได้จากกระบวนการบนนั้น โครงของส่วนหุ้มกำบัง 210, 215 แต่ละอัน จะมีแผงกั้น 230 และท่อสำหรับวัด 240 ที่มีแถวลำ ดับของรู 245 ในนั้นเพื่อส่งมอบชีลด์ ก๊าซผ่านแผงกั้น ชีลด์ ก๊าซจะถูกป้อนไปยังท่อสำหรับวัด 240 โดยผ่านทางไหล 255 จำนวนหนึ่ง ซึ่งแต่ละทางมีตัวจำกัดค่าของกระแสการไหล 265 ที่มีลิ้นออริฟิส 270 ซึ่งถูก จัดขนาดเพื่อให้มีกระแสการไหล ที่เท่ากันของซีลด์ก๊าซจากโครงของส่วนหุ้มกำบัง 210, 215 แต่ละอัน ทางที่ดี ลิ้นออริฟิส 270 ควรจะถูกจัดขนาดเพื่อ ให้กระแสการไหลของ ชีลด์ก๊าซผ่านท่อสำหรับวัด 240 แต่ละท่อ คงที่ถึงแม้ว่าชีลด์ก๊าซจะถูกป้อนจากช่องจ่ายซึ่ง จะแปรผัน ในความดันหรือกระแสการไหล This invention will provide a device and method for gas distribution by multiple feeding into chamber 125 to process the substratum 115 in one form. Go through the process to enter room 125 and armor assembly 200, which houses a number of 210, 215 shield frames next to it. from a gas injection machine that has been processed to reduce the deposition of by-products from the process on it. Each shield frame 210, 215 has a 230 barrier and a 240 gauge tube with a sequence of 245 holes in it to deliver the shield. Gas is supplied through a shield shield. The gas is fed to the 240 measuring tube through a number of 255 flows, each of which has a 265 flow limiter with an Orifice 270 valve, which is sized to provide have a flow equal parts of the gas seal from the frame of each shield 210,215. Ideally, the Orifice 270 valve should be sized to let the flow of The gas shield passes through each 240 measuring tubes. Stable even if the gas shield is fed from outlets which vary in pressure or flow.

Claims

1. An armor assembly for a chemical vapor deposition system in which the armor assembly consists of the following components: (a) the frame of the shield. Which the structure of the cladding Each shield has a barrier. And guide pipes with an array of holes in them To deliver gas seals through barrier panels and (b) multiple flow routes. In which at least one flow is interlaced With each guide pipe To feed the gas shield to that section and (c) the limiter of the current flow in each flow, which the limiter of the current The flow has an orphe valve with cross-sectional area.