Claims (8)
1. เคลือบผิวชนิดแข็งแบบมีหลายชั้นที่ก่อรูปขึ้นมาบนพื้นผิวซับสเทรทที่ซึ่งความแตกต่าง ระหว่างปริมาณ Si และ/หรือ Mo โดยเฉลี่ยที่เป็น SiA และหรือ MoA ในชั้นที่ปริมาณ Si และ/หรือ Mo มากกว่า และปริมาณ Si และ/หรือ Mo โดยเฉลี่ยที่เป็น SiB และ/หรือ MoB ในชั้นที่มีปรมาณ Si และ/หรือ Mo น้อยกว่า จะเท่ากับ 0.2 ถึง 5% โดยอะตอม 2. เคลือบผิวชนิดแข็งตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่มีสารผสมซึ่งประกอบรวมด้วยส่วนประกอบ โลหะแทนที่โดย AlwTixMySiz ที่ซึ่ง M คือธาตุโลหะแทรนซิชันอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดของหมู่ 4a , 5a และ 6a ในตารางธาตุ w,x,y และ z แต่ละค่าจะสอดคล้องตามเงื่อนไข 20 น้อยกว่าหรือเท่ากับ w น้อยกว่าหรือเท่ากับ 50, 25 น้อยกว่าหรือเท่ากับ x 75, 2 น้อยกว่าหรือเท่ากับ y น้อยกว่าหรือเท่ากับ 20, 0.01 น้อยกว่าหรือเท่ากับ z น้อยกว่าหรือเท่ากับ 10 , w + x + y + z = 100 และ w น้อยกว่าหรือเท่ากับ x + y + z ตาม % โดยอะตอม และ ส่วนประกอบอโลหะซึ่งแทนโดย OaSbN100-a-b ที่ซึ่ง a และ b แต่ละค่าจะสอดคล้องตามเงื่อนไข 0.3 น้อยกว่าหรือเท่ากับ a น้อยกว่าหรือเท่ากับ 5 และ 0.1 น้อยกว่าหรือเท่ากับ b น้อยกว่าหรือเท่ากับ 5 ตาม % โดยอะตอม เคลือบผิวชนิดแข็งดังกล่าวมีสัมประสิทธิ์ของ แรงเสียดทานน้อยกว่า 0.4 หรือน้อยกว่านั้น และพันธะ Si-O อยู่ใกล้กับพื้นผิว ระนาบ (200) ของ เคลือบผิวชนิดแข็งดังกล่าวมีความสัมพันธ์แบบเฮเทอโร-เอพิทาเซียลกับระนาบ (100) ของซับสเทรท ดังกล่าว 3. เคลือบผิวชนิดแข็งตามข้อถือสิทธิที่ 2 ที่ซึ่ง M คือ Mo 4. เคลือบผิวชนิดแข็งตามข้อถือสิทธิที่ 2 หรือ 3 ข้อใดข้อหนึ่งซึ่งอัตราส่วนโดยอะตอมของ ปริมาณโดยรวมของธาตุอโลหะดังกล่าวต่อปริมาณโดยรวมของธาตุโลหะดังกล่าวจะมากกว่า 1.0 5. เคลือบผิวชนิดแข็งตามข้อถือสิทธิที่ 4 ซึ่งอัตราส่วนโดยอะตอมของปริมาณโดยรวมของ ธาตุอโลหะต่อปริมาณโดยรวมของธาตุโลหะเท่ากับ 1.02 ถึง 1.7 6. เคลือบผิวชนิดแข็งตามข้อถือสิทธิที่ 2 ถึง 5 ข้อใดข้อหนึ่งซึ่งพันธะ Si-O ดังกล่าวจะอยู่ ในช่วงของ 100 ถึง 105 eV ตาม ESCA 7. เคลือบผิวชนิดแข็งตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 6 ข้อใดข้อหนึ่งซึ่งมีอัตราส่วน Ib/Ia เท่ากับ 2.0 หรือมากกว่านั้น ที่ซึ่ง Ia และ Ib คือความเข้มสูงสุดของระนาบ (111) และ (200) ตามลำดับ ของ โครงสร้างแบบเฟสเซนเตอร์คิวบิกที่วัดโดยการเบนรังสีเอกซ์ ระนาบ (200) ดังกล่าวมีค่าคงที่ แลตทิซ แลมบ์ดา เท่ากับ0.4155 ถึง 0.4220 นาโนเมตร 8. เคลือบผิวชนิดแข็งประกอบรวมด้วยธาตุโลหะอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดที่เลือกมาจากกลุ่ม ที่ประกอบด้วยธาตุโลหะแทรนซิชันของหมู่ 4a,5a และ 6a ในตารางธาตุ Al , Si และ B (ธาตุโลหะ แทรนซิชันดังกล่าวอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดไม่สามารถละเว้นได้) และธาตุอโลหะอย่างน้อยที่สุดหนึ่ง ชนิดที่เลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วย S , O, N และ C ( S ไม่สามารถละเว้นได้ ) ค่าสูงสุดของพันธะ S-O บนพื้นผิวได้รับการตรวจพบในช่วง 167 ถึง 170 cV สเปกโทรสโกปีอิเลกตรอน 9. เคลือบผิวชนิดแข็งตามข้อถือสิทธิที่ 8 มีปริมาณ S เท่ากับ 0.1 ถึง 10% โดยอะตอม 1 0. เคลือบผิวชนิดแข็งที่ก่อรูปขึ้นมาบนพื้นผิวซับสเทรทโดยการพอกพูนด้วยไอทางฟิสิกส์ ซึ่งประกอบรวมด้วยธาตุโลหะอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดที่เลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วยธาตุโลหะ แทรนซิชันของหมู่ 4a, 5a และ 6a ในตารางธาตุ Al, Si และ B (ธาตุโลหะแทรนซิชันดังกล่าวอย่าง น้อยที่สุดหนึ่งชนิดไม่สามารถละเว้นได้) และธาตุอโลหะอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดที่เลือกจากกลุ่มที่ ประกอบด้วย S , O , N และ C (S ไม่สามารถละเว้นได้) โดยมีโครงสร้างแบบแท่ง ที่ซึ่งแกรนผลึกมี โครงสร้างแบบสมีหลายชั้นที่มีชั้นจำนวนหนึ่งซึ่งมีปริมาณ S แตกต่างกัน พร้อมด้วยมีบริเวณขอบที่ เป็นชั้นระหว่างกลางที่ซึ่งแถบโครงสร้างผลึกจะต่อเนื่อง โดยแต่ละชั้นมีความหนา 0.1 ถึง 100 นาโนเมตร 11. A hard, multi-layer coating formed on the substrate surface where the difference Between the average Si and / or Mo content of SiA and or MoA in layers where Si and / or Mo content is greater and the average Si and / or Mo content of SiB and / or MoB in layers with Si and / or Mo content / Or less Mo is equal to 0.2 to 5% by atoms. 2. Hard coating according to claim 1, containing a mixture of components. Metals replaced by AlwTixMySiz, where M is at least one of the transition metals of groups 4a, 5a, and 6a in the periodic table w, x, y, and z, each corresponding to the condition 20 less than or equal to w less than. Or equal to 50, 25 less than or equal to x 75, 2 less than or equal to y less than or equal to 20, 0.01 less than or equal to z less than or equal to 10, w + x + y + z = 100 and w less than or Equal to x + y + z with% by atoms and non-metal components represented by OaSbN100-ab, where each a and b are conditionally 0,3 less than or equal to a is less than or equal to 5 and 0.1 less than or equal to b less. Or equal to 5% by the solid atoms with a coefficient of The frictional force is 0.4 or less and the Si-O bond is close to the plane surface (200) of the hard coating.It has a hetero-epithacial relationship with the plane (100). 3. Hard coating according to claim 2, where M is Mo 4. hard coating according to claim 2 or 3, in which the atomic ratio of The total content of the aforementioned non-metallic elements to the total content of the aforementioned metal is greater than 1.0 5. Hard coating according to claim 4, where the atomic ratio of the total volume of Non-metallic elements to the total content of the metal are 1.02 to 1.7 6. Hard coatings according to any claim 2 to 5, the Si-O bond is in the range of 100 to 105 eV according to ESCA 7. Hard coatings according to any one of claim 1 to 6 having an Ib / Ia ratio of 2.0 or greater, where Ia and Ib are the maximum intensity of the planes (111) and (200), respectively, of the structure. The phase center cubic model measured by X-ray deflection. Such planes (200) have a lattice lambda constant of 0.4155 to 0.4220 nm. 8. A hard coating consists of metal elements such as At least one of the species is selected from the group. Containing group 4a, 5a and 6a metals in the periodic table Al, Si and B (at least one such transition metal element cannot be ignored) and at least one non-metallic element. The selected species was from the S, O, N, and C group (S cannot be ignored) .The maximum value of the SO bond on the surface was detected in the range of 167 to 170 cV electron spectroscopy 9. The hard coatings according to claim 8 have an S content of 0.1 to 10% with an atom of 1 0. Hard coatings formed on substrates by physical vapor impregnation. It is made up of at least one metal element chosen from a group of metal elements. Transition of groups 4a, 5a and 6a in the periodic table Al, Si and B (such transition metal elements like At least one type cannot be ignored) and at least one non-metallic element selected from a group containing S, O, N and C (S cannot be ignored), with a rod structure. Where Grand Crystal has A multilayered structure with a number of layers having different amounts of S with an edge that Is an intermediate layer where the crystalline bands are continuous Each layer has a thickness of 0.1 to 100 nm 1
1. เคลือบผิวชนิดแข็งตามข้อถือสิทธิที่ 10 มีพันธะ S-O 11. Hard coating according to claim 10, has an S-O 1 bond.
2. เคลือบผิวชนิดแข็งตามข้อถือสิทธิที่ 10 หรือ 11 ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งมีปริมาณ S คือ 0.1 ถึง 10% โดยอะตอม 12. Hard coating according to either Claim 10 or 11, where S content is 0.1 to 10% by atom 1.
3. เคลือบผิวชนิดแข็งตามข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 12 ข้อใดข้อหนึ่งซึ่งพื้นผิวได้รับการทำให้ แบนโดยการดำเนินการด้วยเครื่องจักรกล 13. Hard surface coating in accordance with any of Clause 1 to 12, where the surface is treated Flat by mechanical operation 1
4. วิธีการสำหรับการก่อรูปเคลือบผิวชนิดแข็งแบบมีหลายชั้นลงบนซับสเทรท เคลือบผิว ชนิดแข็งดังกล่าวประกอบไปด้วยธาตุโลหะอย่างน้อยที่สุดชนิดหนึ่งที่เลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบ ด้วยธาตุโลหะแทรนซิชันในหมู่ 4a , 5a และ 6a ในตารางธาตุ Al, Si และ B (ธาตุโลหะแทรานซิชัน ดังกล่าวอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดไม่สามารถละเว้นได้) และธาตุอโลหะอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดที่เลือก มาจากกลุ่มที่ประกอบด้วย S,O,N และ C (S ไม่สามารถละเว้นได้) และมีโครงสร้างแบบแท่งที่ ประกอบรวมด้วยเกรนผลึกแบบแท่งที่มีชั้นจำนวนหนึ่งซึ่งมีปริมาณ S แตกต่างกัน วิธีการดังกล่าว ประกอบรวมด้วยการจัดวางซับสเทรทดังกล่าวในช่องที่ประกอบรวมด้วยแหล่งการเกิดไอที่มีความ หนาแน่นของพลาสมาแตกต่างกัน และทำปฏิกิริยาสำหรับการพอกพูนด้วยไอทางฟิสิกส์ และนำ ซับสเทรทดังกล่าวเข้าใกล้กับแหล่งการเกิดไอแต่ละแหล่งอย่างสลับกัน ในขณะเดียวกันก็คงให้แก๊ส ทำปฏิกิริยาดังกล่าวอยู่ในสถานะพลาสมาและแหล่งการเกิดไอดังกล่าวอยู่ในสถานะกระตุ้นอย่าง พร้อมๆ กัน 14. The method for forming hard, multi-layer coatings onto the hard coated substrates consists of at least one metallic element selected from the composite group. With transition metal elements among 4a, 5a and 6a on the periodic table Al, Si and B (transition metal elements Such at least one cannot be ignored) and at least one of the selected non-metallic elements. Comes from a group consisting of S, O, N and C (S cannot be ignored) and has a bar structure that It consists of a number of layered crystalline grains with different amounts of S. It includes the placement of the substrates in a compartment containing a highly efficient vapor source. Different plasma densities And reacts for physical vapor deposition and brings the substrate alternately closer to each vaporization source. While keeping gas The reaction is in the plasma state and the source of vapor is simultaneously activated. 1
5. วิธีการสำหรับการก่อรูปเคลือบผิวชนิดแข็งแบบมีหลายชั้นตามข้อถือสิทธิที่ 14 ที่ซึ่ง แหล่งการเกิดไอดังกล่าวคือเป้าหมายสำหรับการชุบไอออนแบบจ่ายไฟฟ้าและเป้าหมายสำหรับการ ฉาบแบบแมกนีตรอน เป้าหมายทั้งสองได้รับการจัดวางอย่างพร้อมๆ กัน เพื่อดำเนินการชุบไอออน แบบจ่ายไฟฟ้าและฉาบแบบแมกนีตรอนอย่างต่อเนื่องและอย่างสลับกัน 15. Method for hard multi-layer coating formation according to claim 14, where the source of vapor generation is the target for electrolytic ion plating and the target for the Magnetron putty Both targets were simultaneously placed to perform ion plating. Power supply and magnetron continuous and alternating type 1
6. วิธีการสำหรับการก่อรูปเคลือบผิวชนิดแข็งแบบมีหลายชั้นตามข้อถือสิทธิที่ 15 ที่ซึ่ง ซับสเทรทดังกล่าวได้รับการจัดวางลงบนแท่น ซึ่งได้รับการทำให้หมุนเพื่อนำซับสเทรทดังกล่าวเข้า ใกล้กับเป้าหมายที่มีความหนาแน่นของพลาสมาแตกต่างกัน อย่างสลับกัน เพื่อการพอกพูนด้วยไอทาง ฟิสิกส์ 16. A method for forming a hard multi-layer coating according to claim 15, where the substrate is placed on the platform. Which has been rotated to bring the substrat into Close to a target with varying plasma densities alternately for physics vapor deposition 1
7. เครื่องมือมีเคลือบผิวชนิดแข็งตามที่กล่าวถึงในข้อถือสิทธิที่ 1 ถึง 13 ข้อใดข้อหนึ่ง 17.Tools have a hard-coated finish as described in Claims 1 through 13, Clause 1.
8. เครื่องมือผ่านการเคลือบผิวชนิดแข็งตามข้อถือสิทธิที่ 17 ที่ซึ่งชั้นระหว่างกลางที่ ประกอบรวมด้วยซับสเทรทอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดที่เลือกมาจากกลุ่มที่ประกอบด้วยไนไทรด์ คาร์โบไนไทรด์และบอโรไนไทรด์ของ Ti, โลหะผสมของ TiAl, Cr และ W ได้รับการก่อรูปไว้บน พื้นผิวของซับสเทรทดังกล่าว8. Equipment undergoes hard-coating according to claim 17, where the intermediate layer at Contains at least one substrate chosen from the nitride-containing group. Ti carbonitrides and boronitrides, TiAl, Cr and W alloys were formed on The surface of the substrates