TH36104A

TH36104A - Abrasive mixtures

Info

Publication number: TH36104A
Application number: TH9701004907A
Authority: TH
Inventors: โคดามา นายฮิโตชิ; อิโตะ นายมาซาโตกิ; ซูซูมูระ นายซาโตชิ
Original assignee: นายดำเนิน การเด่น; นายต่อพงศ์ โทณะวณิก; นายวิรัช ศรีเอนกราธา; นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
Filing date: 1997-12-01
Publication date: 1999-12-03

Abstract

DC60 (27/05/42) สารผสมสำหรับการขัดฟิล์มอะลูมินัม, ทองแดง หรือทังสเตนซึ่งประกอบด้วย น้ำและสาร ขัดที่ถูกคัดเลือกจากกลุ่มที่ ประกอบขึ้นด้วย ซิลิคอน ไดออกไซด์, อะลูมินัม ออกไซต์, ซี เรียม ออกไซด์, ซิลิคอน ไนไตรด์ และเซอร์โคเนียม ออกไซด์ และซึ่งยิ่งไปกว่านั้น ยังมีสารประกอบเหล็ก (III) ที่ถูกละ ลายในสารผสม ซึ่งสารประกอบเหล็ก (III) ถูกคัดเลือกจากกลุ่ม ที่ประกอบขึ้นด้วย เหล็ก (III) ไพโรฟอสเฟต, เหล็ก (III) ซิเตรต, เหล็ก (III) แอมโมเนียม ซิเตรต, เหล็ก (III) แอมโม- เนียม ออกซาเลต, เหล็ก (III) แอมโมเนียม ซัลเฟต, เหล็ก (III) เปอร์คลอเรต, เหล็ก (III) คลอไรด์, เหล็ก (III) ซัลเฟต และเหล็ก (III) ฟอสเฟต สารผสมสำหรับการขัดฟิล์มอะลูมินัม, ทองแดง หรือทังสเตนซึ่งประกอบด้วย น้ำและสารขัดที่ถูกคัดเลือกจากกลุ่มที่ ประกอบขึ้นด้วย ซิลิคอน ไดออกไซด์, อะลูมินัม ออกไซต์, ซี เรียม ออกไซด์, ซิลิคอน ไนไตรด์ และเซอร์โคเนียม ออกไซด์ และซึ่งยิ่งไปกว่านั้น ยังมีสารประกอบเหล็ก (III) ที่ถูกละ ลายในสารผสม ซึ่งสารประกอบเหล็ก (III) ถูกคัดเลือกจากกลุ่ม ที่ประกอบขึ้นด้วยเหล็ก (III) ไพโรฟอสเฟต, เหล็ก (III) ซิเตรต, เหล็ก (III) แอมโมเนียม ซิเตรต, เหล็ก (III) แอมโมเนียม ออกซาเลต, เหล็ก (III) แอมโมเนียม ซัลเฟต, เหล็ก (III) เปอร์คลอเรต, เหล็ก (III) คลอไรด์, เหล็ก (III) ซัลเฟต และเหล็ก (III) ฟอสเฟต DC60 (27/05/42) Polishing compound for aluminum, copper or tungsten films containing water and abrasives selected from the group. It is composed of silicon dioxide, aluminum oxide, cerium oxide, silicon nitride and zirconium oxide, and, moreover, There are also dissolved iron (III) compounds in the mixtures in which iron (III) compounds are selected from the group. Containing iron (III) pyrophosphate, iron (III) citrate, iron (III) ammonium citrate, iron (III) ammonium oxalate, iron (III) ammonia. M sulfate, iron (III) perchlorate, iron (III) chloride, iron (III) sulfate and iron (III) phosphate. Composites for polishing aluminum, copper or tungsten films, consisting of: Water and abrasive that were selected from the group It is composed of silicon dioxide, aluminum oxide, cerium oxide, silicon nitride and zirconium oxide, and, moreover, There are also dissolved iron (III) compounds in the mixtures in which iron (III) compounds are selected from the group. Containing iron (III) pyrophosphate, iron (III) citrate, iron (III) ammonium citrate, iron (III) ammonium oxalate, iron (III) ammonium sulfate, Iron (III) perchlorate, iron (III) chloride, iron (III) sulfate and iron (III) phosphate.

Claims

1. Mixture for the polishing of aluminum, copper or tungsten films, which contains Water and abrasive that were selected from the group It is composed of silicon dioxide, aluminum oxide, cerium oxide, silicon nitride and zirconium oxide, and, moreover, There are also dissolved iron (III) compounds in the mixtures in which iron (III) compounds are selected from the group. Containing iron (III) pyrophosphate, iron (III) citrate, iron (III) ammonium citrate, iron (III) ammonium oxalate, iron (III) ammonium sulfate, Iron (III) Tags: