TH35073A - อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มกันสะท้อน และกลไกการทำให้ฟิล์มกันสะท้อนมีความหนาอย่างสม่ำเสมอ - Google Patents

Abstract

DC60 อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกซึ่งฟิล์มกันสะท้อน (13) ถูกเคลือบไว้บนพื้นผิวของวัสดุฐานที่ เป็นพลาสติก (10) ฟิล์มกันสะท้อน (13) เป็นฟิล์มหลายชั้นซึ่งถูกสร้างขึ้นโดยการสะสมชั้นที่หนึ่ง (131) ไว้บนด้านข้างของวัสดุฐานที่เป็นพลาสติกอย่างแท้จริง โดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มาก และชั้นต่อมา (132) โดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำ และในอีกทางหนึ่ง โดยการวางวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มาก และวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำเหล่านั้นเป็นชั้นๆ พื้นผิวของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสง (10) มีส่วนโค้ง และ จำนวนที่มากกว่าหนึ่งของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสง (10) ได้ถูดจัดวางไว้ในแนวนอนที่ตำแหน่งของวงกลม ร่วมศูนย์กลาง ในตัวยึดแผ่นวงกลม (26) ซึ่งถูกจัดวางไว้ในแนวนอน และสามารถหมุนได้ ระบบการ สะสมฟิล์มสปัตเตอร์ ประกอบด้วย เป้าหมาย (31) ที่หันหน้าไปทางพื้นผิวของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสง (10) แผ่นปรับความหนาทำหน้าที่เป็นชิ้นส่วนหน้ากาก (51,52) สำหรับการควบคุมความแตกต่างของ ความหนาของฟิล์มซึ่งถูกจัดวางไว้ในทิศทางที่สัมผัสส่วนขอบ และส่วนกึ่งกลางในตัวยึดนั้น และ ระหว่างเป้าหมาย (31) และตัวยึด (26) อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกซึ่งฟิล์มกันสะท้อน (13) ถูกเคลือบไว้บนพื้นผิวของวัสดุฐานที่เป็นพลาสติก (10) ฟิล์มกันสะท้อน (13) เป็นฟิล์มหลายชั้นซึ่งถูกสร้างขึ้นโดยการสะสมชั้นหนึ่ง (131) ไว้บนด้านข้างของวัสดุฐานที่เป็นพลาสติกอย่างแท้จริง โดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มาก และชั้นต่อมา (132) โดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำ และในอีกทางหนึ่ง โดยการวางวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มากและวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำเหล่านั้นเป็นชั้น ๆ พื้นผิวของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสง (10) มีส่วนโค้ง และจำนวนที่มากกว่าหนึ่งของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสง (10) ได้ถูดจัดวางไว้ในแนวนอนทีตำแหน่งของวงกลมร่วมศูนย์กลาง ในตัวยึดแผ่นวงกลม (26) ซึ่งถูกจัดวางไว้ในแนวนนอน และสามารถหมุนได้ ระบบการสะสมฟิล์มสปัตเตอร์ ประกอบด้วย เป้าหมาย (31) ที่หันหน้าไปทางพื้นผิวของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสง(10) แผ่นปรับความหนาทำหน้าที่เป็นชิ้นส่วนหน้ากาก (51,52) สำหรับการควบคุมความแตกต่างของความหนาของฟิล์มซึ่งถูกจัดวางไว้ในทิศทางที่สัมผัสกับขอบ และส่วนกึ่งกลางในตัวยึดนั้น ระหว่างเป้าหมาย (31) และตัวยึด (26)

Claims (1)

1.อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกซึ่งฟิล์มกันสะท้อนถูกเคลือบอย่างน้อยบนพื้นผิวหนึ่งของวัสดุฐานที่เป็นพลาสติก มีลักษณะเฉพาะคือ ฟิล์มกันสะท้อนดังกล่าวเป็นฟิล์มหลายชั้นที่ถูกสร้างขึ้นโดยการสะสมขั้นที่หนึ่งบนด้านของวัสดุฐานที่เป็นพลาสติกดังกล่าวอย่างแท้จริงโดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มาก และขชั้นต่อมาโดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำ และโดยอีกทางหนึ่งการวางวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มาก และวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำเหล่านั้นเป็นชั้น ๆ ฟิล์มกันสะท้อนถูกสร้างขึ้นเพื่อที่จะให้มีช่วงความยาวคลื่นหลักของ 480 ถึง 550 นาโนเมตร,ช่วงความบริสุทธิ์ในการกระตุ้นคือ 10 ถึง 30% และการสะท้อนแสง 0.7 ถึง 1.8% และซึ่งมีสีแทรกสอดที่เป็นสีเขียว 2. อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกของข้อถือสิทธิที่ 1 โดยที่ ความหนาของวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำดังกล่าวถูกจัดตำแหน่งให้อยู่ในบริเวณกลางของฟิล์มหลายชั้นดังกล่าวถูกทำให้หนาขึ้นอย่างสัมพันธ์กันเพื่อที่ว่าความแข็ง และความทนทานที่ต้องการสามารถถูกทำให้ได้มา 3. อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มสกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 1 มีลักษณะเฉพาะคือวัสดุที่มีการหักเหสแงได้มากดังกล่าวคือออกไซด์โลหะซึ่งถูกสร้างขึ้นโดยวิธีการสปัตเตอริ่งโดยการใช้เป้าหมายที่ถูกทำขึ้นจากสิ่งใดสิ่งหนึ่งของ Zr,Tiและ Ta หรือ จากอัลลอยของสอง หรือ มากกว่าสองชนิดของสิ่งเหล่านั้น และวัสดุที่มีกาหักเหแสงได้ต่ำดังกล่าว คือออกไซด์โลหะซึ่งถูกสร้างขึ้นโดยวิธีการสปัตเตอริงดดยการใช้เป้าหมายที่เป็น Si 4 อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มสกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 3 มีลักษณะพเฉพาะคือเป้ามหายดังกล่าวที่เป็นวัสดุที่มีการหักเหสแงได้มากดังกล่าวประกอบด้วย si 5. อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มสกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 3 มีลักษณะเฉพาะคือเป้าหมายที่เป็น Si ได้ถุกจัดไว้นอกจาก เป้าหมายดังกล่าวที่เป็นวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มากดังกล่าวเมื่อทำการสะสมวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มากดังกล่าวเพื่อที่จะสะสมที่มีการหักเหแสงได้มากดังกล่าวในฐานะฟิล์มผสมโดยการสปัตเตอริ่งกสองชนิดของเป้าหมายดังกล่าวในเวลาเดียวกัน 6. อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มสกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 1 มีลักษณะเฉพาะคือความหนารวามของฟิล์ม กันสะท้อนดังกล่าวถูกรวมอยู่ภายในช่วงของ 4800 ถึง 5800 อัสตรอง และ ความหนารวมของวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำดังกล่าวซึ่งอยู่ในนั้นคือ 3500 อังสตรอง หรือมากกว่านั้น 7. อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มสกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 1 มีลักษณะเฉพาะคือเมื่อวัสดุฐานที่เป็นพลาสติกดังกล่าวมีส่วนโค้ง ฟิล์มกันสะท้อนดังกล่าวได้ถูกสร้างขึ้นเป็นฟิล์มแถบกว้างเพื่อลดความไม่สม่ำเสมอของสีแทรกสอดซึ่งมีสาเหตุมาจากความแตกต่างของการกระจายตัวของความหนาซึ่งขึ้นอยู่กับส่วนโค้งในการสะสมผิล์มนั้นโดยวิธีการสปัตเตอริ่ง และการเปลี่ยนแปลงของสีแทรกสอดที่มีสาเหตุมาจากการตกกระทบทำมุมเอียง 8. อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มสกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่1 มีลักษณะเฉพาะคือวัสดุฐานที่เป็นพลาสติกดังกล่าวคือวัสดุฐานของเลนส์พลาสติกแว่นตา และฟิล์มกันสะท้อนดังกล่าวถูกสร้างขึ้นบนด้านทั้งสองของวัสดุฐานที่เป็นพลาติกดังกล่าว 9. อุปกรณ์เชิงแสงที่เป็นพลาสติกที่มีฟิล์มสกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่1 มีลักษณะเฉพาะคือฟิล์มกันสะท้อนดังกล่าวประกอบด้วย 10 ชั้น และความหนาของวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำดังกล่าวที่ชั้นที่หกซึ่งถูกจัดตำแหน่งไว้ตรงกลางถูทำให้เพิ่มขึ้น 1 0. เลนส์พลาสติกแว่นตาที่มีฟิล์มกันสะท้อนซึ่งฟิล์มกันสะท้อนดังกล่าวถูกเคลือบไว้บนวัสดุฐานที่เป้นพลาสติกโดยใช้วิธีการสปัตเตอริ่ง มีลักษณะเฉพาะคือ ฟิล์มกันสะท้อนดังกล่าวคือฟิล์มหลายชั้นซึ่งถูกสร้างขึ้นโดยการสะสมชั้นที่หนึ่งบนด้านข้างของวัสดุฐานที่เป็นพลาสติกโดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มาก และชั้นต่อไปโดยวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำและโดยอีกทางหนึ่ง การวางวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มาก และวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำเหล่านั้นเป็นชั้น ๆ และ ฟิล์มที่มีความหนามาของ SiO(2-x) ได้ถูกทำให้สะสมเป็นชั้นก่อนบำบัดบนวัสดุฐานที่เป็นพลาสติกดังกล่าวความหนาของฟิล์มที่มีความบางมากที่ค่าอยู่ภายในช่วง 15 ถึง 50 อังสตรอง 1 1. เลนส์พลาสติกแว่นตาที่มีฟิล์มกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 10 มีลักษณะเฉพาะคือวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มากดังกล่าวคือออกไซด์โลหะซึ่งถูกสร้างขึ้นโดยวีการสปัตเตอริ่งโดยการใช้เป้าหมายที่ถูกทำขึ้นจากสิ่งใดสิ่งหนึ่ง ของ Zr,Ti และ Ta หรือ จากอัลลอยของสอง หรือมากกว่าสองชนิดเของสิ่งเหล่านั้น และวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำดังกล่าวคือออกไซด์โลหะซึ่งถูกสร้างขึ้นโดยวิธีการสปัตเตอริ่งโดยการใช้เป้าหมายที่เป็น Si 1 2.เลนส์พลาสติกแว่นตาที่มีฟิล์มกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 11 มีลักษณะเฉพาะคือเป้าหมายดังกล่าวที่เป็นวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มากดังกล่าวประกบอด้วย Si 1 3.เลนส์พลาสติกแว่นตาที่มีฟิล์มกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 11 มีลักษณะเฉพาะคือเป้าหมายที่เป็น Si ได้ถูกจัดไว้นอกจาก เป้าหมายดังกล่าวที่เป็นวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มากดังกล่าว เมื่อทำการสะสมวัสดุที่มีการหักเหแสงได้มากดักงล่าวเพื่อที่จะสะสมที่มีการหักเหแสงได้มากดังกล่าวในฐานฟิล์มผสมโดยการสปัตเตอริงสองชนิดของเป้าหมายดังกล่าวในเวลาเดียวกัน 1 4. เลนส์พลาสติกแว่นตาที่มีฟิล์มกันสะท้อนตามข้อถือสิทธิที่ 10 มีลักษณะเฉพาะคือฟิล์มกันสะท้อนดังกล่าวประกอบด้วย 10 ชั้น และความหนาของวัสดุที่มีการหักเหแสงได้ต่ำดังกล่าวที่ชั้นที่หกที่ถูกจัดตำแหน่งไว้ตรงกลางถูกทำให้เพิ่มขึ้น 1 5. กลไกการปรับความหนาสำหรับการสะสมผิล์มสปัตเตอริ่งซึ่งถูกใช้ในระบบการสะสมฟิล์มสำหรับการสะสมฟิล์มบางบนพื้นผิวของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสงโดยวิธีการสปรัตเตอริ่ง มีลักษณะเฉพาะคือมันประกอบด้วยแผ่นปรับความหนาสำหรับการปรับความแตกต่างของความหนาของฟิล์มบางดังกล่าว 1 6. กลไกการปรับความหนาสำหรับการสะสมผิล์มสปัตเตอริ่งตามข้อถือสิทธิที่ 15 มีลักษณะเฉพาะคือ พื้นผิวของวัสดุเลนส์เชิงแสงมีส่วนโค้ง และจำนวนที่มากกว่าหนึ่งของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสงดังกล่าวถูกจัดวางไว้ในแนวนอนที่ตำแหน่งของวงกลมศูนย์กลางร่วมในตัวยึดแผ่นวงกลม ซึ่งถูกวางไว้ในแนวนอนและสามารถหมุนได้ ระบบการสะสมฟิล์มประกอบด้วยเป้าหมายที่หันเข้าหาพื้นผิวของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสงดังกล่าว และ แผ่นปรับความหนาดังกล่าวคือชิ้นส่วนหน้ากาก สำหรับการควบคุมความแตกต่างของความหนาของฟิล์มซึ่งถูกจัดวางไว้ในทิศทางที่สัมผัสส่วนเส้นรอบวง และส่วนกึ่งกลางในตัวยึดดังกล่าว และระหว่างเป้าหมายดังกล่าว และตัวยึดดัวกล่าว 1 7. กลไกการปรับความหนาสำหรับการสะสมผิล์มสปัตเตอริ่งตามข้อถือสิทธิที่ 16 มีลักษณะเฉพาะคือ เป้าหมายดังกล่าวถูกประกอบด้วยเป้าหมายด้านบน และด้านล่างที่หันตามลำดับไปยังด้านทั้งสองของวัสดุฐานเลนส์เชิงแสงดังกล่าว และ ชิ้นส่วนหน้ากากดังกล่าวถูกประกอบด้วยชิ้นส่วนหน้ากากสำหรับพื้นผิวเว้าซึ่งถูกจัดไว้ระหว่างเป้าหมายด้านบนดังกล่าว และตัวยึดดังกล่าว และชิ้นส่วนหน้ากากสำหรับ พื้นผิวนูนซึ่งถูกจัดไว้ระหว่างเป้าหมายด้านล่างดังกล่าว และตัวยึดดังกล่าว 1 8.กลไกการปรับความหนาสำหรับการสะสมผิล์มสปัตเตอริ่งตามข้อถือสิทธิที่ 17 มีลักษณะเฉพาะคือชิ้นส่วนหน้ากากดังกล่าวสำหรับพื้นผิวเว้านั้น ขนาดในทิศทางเส้นรอบวงของส่วนที่สอดคล้องกับตำแหน่งที่วัสดุฐานเลนส์เชิงแสงดังกล่างคงอยู่มีค่ามากกว่าขนาดในทิศทางเส้นรอบวงของส่วนที่เหลือ และคือที่ในชิ้นส่วนหน้ากากสำหรับพื้นผิวนูนนั้น ขนาดในทิศทางเส้นรอบวงของส่วนที่ สอดคล้องกับตำแหน่งที่ขอบระหว่างวัสดุฐานเลนส์เชิงแสงมีค่ามากกว่าขนาดในทิศทางเส้นรอบวงของส่วนที่เหลือ 1 9. กลไกการปรับความหนาสำหรับการสปัตเตอริ่งตามข้อถือสิทธิที่ 16 มีลักษณะเฉพาะคือชิ้นส่วนหน้ากากดังกล่าวรบกวนอนุภาคที่ฟุ้งออกมาจากส่วนที่ไม่กัดกร่อนซึ่งถูกสร้างขึ้นในเป้าหมายดังกล่าว