TH3442A - กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำที่ผนึกปิดแน่นสนิท - Google Patents

กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำที่ผนึกปิดแน่นสนิท

Info

Publication number
TH3442A
TH3442A TH8501000500A TH8501000500A TH3442A TH 3442 A TH3442 A TH 3442A TH 8501000500 A TH8501000500 A TH 8501000500A TH 8501000500 A TH8501000500 A TH 8501000500A TH 3442 A TH3442 A TH 3442A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
glass
alloy
sealing
substrate
alloys
Prior art date
Application number
TH8501000500A
Other languages
English (en)
Inventor
3 ที่
เอ็ช บัตต์ นายเชลดอน
เจ ไพรเออร์ นายไมเคิล
เอ เอพเพลอร์ นายริชาร์ด
เอฟ สมิธ นายเอ็ดเวิร์ด
Original Assignee
นายดำเนิน การเด่น
โอลิน คอร์ปอเรชั่น
Filing date
Publication date
Application filed by นายดำเนิน การเด่น, โอลิน คอร์ปอเรชั่น filed Critical นายดำเนิน การเด่น
Publication of TH3442A publication Critical patent/TH3442A/th

Links

Abstract

การประดิษฐ์นี้มุ่งไปที่รูปแบบต่าง ๆ หลายชนิดของกล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำที่ผนึกปิดแน่นสนิท ( 50 ) รูปแบบหนึ่ง ขึ้นจากกับสเตรท ( 12'')ที่เป็นโลหะเจือของทองแดงชนิดที่ หนึ่ง ส่วนฝาครอบ ( 60 ) เป็นโลหะเจือของทองแดงชนิดที่สาม สารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 22'') ที่มีจุดหลอมเหลวต่ำ ถูก จักให้อยู่ในระหว่างส่วนฝาครอบ ( 60 ) และสวนซับสเตรท เพื่อผนึกเฟรมขา ( 52 ) ไว้ในระหว่างฝาครอบและซับสเตรท โลหะเจือของทองแดงชนิดที่สามทำให้แข็งขึ้นได้ด้วยการตกตะกอ นอละมีความต้านทานต่อการอ่อนตัวลงที่ดีเลิศที่อุณหภูมิการ ผนึกด้วยแก้วเมื่อเปรียบเทียบกับโลหะเจืออื่น ๆ ที่ใช้ทั่ว ไป ในอีกรูปแบบหนึ่งแผ่นประกบซ้อนมีแกนเป็นโลหะเจือของทอง แดงชนิดที่สาม และชั้นประกบผิวเป็นโลหะเจือของทองแดงที่มี อัตราการออกซิไดซ์ต่ำก็อาจใช้อย่างได้ประโยชน์สำหรับเป็นเฟ รมขา

Claims (23)

1.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 50 ) ที่แสดงคุณลักษณะโดย ส่วนซับสเตรท ( 12' ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง สว่นฝาครอบ ( 60 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สอง ส่วนเฟรมขาชนิดประกบ ( 52 ) ที่ประกอบด้วยชั้นแกน ( 54 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สามและขั้นนอกชั้นที่หนึ่ง ( 56 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิก ที่สี่ เฟรมขาชนิด ประกบ ( 52 ) ดัง กล่าวถูกจัดวางอยู่ในระหว่างส่วนซับสเตรท ดังกล่าวและส่วน ฝาครอบ ( 60 ) ดังกล่าว โลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่เสถียรต่อความ ร้อนและผนึกได้ด้วยแก้ว ซึ่งมีความต้านทานต่อการอ่อนตัวบ ที่ดีเลิศที่อุณหภูมิต่ำกว่าประมาณ 475 ? ซ เป็นระยะเวลา ที่ต้องการผนึกด้วยแก้ว และมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วย ความร้อยเป็นประมาณ 140 ถึงประมาณ 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ โลหะเจือชนิดที่สี่ดังกล่าวมีความต้านทานตาออกซิเดชัน และ มีความต้านทานต่อการอ่อนตัวลงที่ค่อนข้างเลว ที่อุณหภูมิ น้อยกว่าประมาณ 475 ? ซ เป็นระยะเวลาที่ต้องการผนึกด้วย แก้ว และมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อนที่เข้ากัน ได้กับโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าว และ แก้วยสำหรับผนึกที่จุดหลอมเหลวต่ำที่เลือกจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบเรต ตะกั่ว - สังกะสีโบเรต ตะกั่วโบ โรซิลิเกต และตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต แก้วสำหรับผนึก ดังกบ่าวมีสารเติมผสมเพื่อแปลงการขยายตัวดัวยความรอนของ แก้วสำหรับผนึกดังกล่าวที่ซ฿งสารปรกอบแก้วสำหรับผนึก ( 22' ) ที่ได้มีสัมประสิทธิการขยายตัวด้วย ความร้อนวึ่งเข้สาได้ กับโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สอง ที่สาม และที่สี่ดังกล่าว สารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 22 ' ) ดังกล่าวถูกจัดวางไว้ใน ระหว่างส่วนซับสเตรท ( 12' ) ดังกล่าวและส่วนฝาครอบ ( 60 ) ดังกล่าวเพื่อผนึกเฟรมขาชนิดปรกบ ( 52 ) ดังกล่าวไว้ใน ระหว่างส่วนซับสเทตรและส่วนฝาครอบ
2.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 50 ) ของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ที่แสดงคุณลักษณะที่ว่าโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวเลือกจาก กลุ่มที่ประกอบด้วยโลหะเจือของหลอมแดงที่ทำให้แข็งขึ้นได้ ด้วยการตกตะกอนที่รวมถึงโลหะเจือของทองแดงที่เบรริล เลียม โลหะเจือของทองแดงที่แมกนีเซียม - เซอร์โดเนียม โลหะเจือ ของทองแดงที่มีนิกเกิล - ฟอสฟอรัสโลหะเจือไปโพคอล ที่ทำให้ แข็งขึ้นได้ด้วยการตกตะกอนของทองแดง-นิกเกิล-ดีบุก โลหะ เจือของทองแดงที่ทำให้แข็งแกร่วขึ้นด้วยการกระจายเหล็กกล้า ไร้สนิมออสเตไนต์
3.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 2 ที่แสดง คุณลักษณะที่ว่าสารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 22' ) ดังกล่าว ยังประกอบต่อไปอีด้วยสารเติมผสมที่เป็นอนุภาคที่ไม่ละลาย เป็นส่วนใหญ่เพื่อเพิ่มสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อน ของโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สอง ที่สาม และที่สี่ดังกล่าว
4.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 3 ที่แสดง คุณลักษณะที่ว่าโลหะเจือชนิดที่สี่ดังกล่าวประกอบโดยพื้น ฐานด้วยอะลูมินัมตั้งแต่ประมาณ 1 % โดยน้ำหนักถึงประมาณ 12 % และทองดงที่โดยหลักแล้วเป็นส่วนที่เหลือ
5.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 2 ที่แสดง คุณลักษณะที่ว่าเฟรมขาชนิดประกบ ( 52 ) ดังกล่าวมีชั้นนอก ชั้นที่สอง ( 58 ) เป็นโลหะเจือชนิดที่สาม ที่ซึ่งชั้นแกน ดังกล่าวถูกจัดไว้ในระหว่างชั้นนอกชั้นที่หนึ่งและชั้นที่ สองดังกล่าว
6.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 70 ) ที่แสดงคุณลักษณะโดย ส่วนซับสเตรท ( 32' ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ส่วนซับสเตรท ( 36' ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สอง เฟรมขาชนิดประกบ ( 52' ) ที่ประกอบด้วยชั้นแกน ( 54' ) ที่ เป็นโลหะเจือชนิดที่สามและขั้นนอกชั้นที่หนึ่ง ( 58' ) ที่ เป็นโลหะเจือของทองแดงชนิดที่สี่ โลหะเจื่อชนิดที่สามดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่เสถียรต่อความ ร้อนและผนึกได้ด้วยแก้วซึ่งมีความต้านทานต่อการอ่อนตัวที่ ดีเลิศเป็นระยะเวลาที่ต้องการผนึกด้วยแก้วที่อุณหภูมิน้อย กว่าประมาณ 475 ? ซ และมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้านความ ร้อนประมาณ 140 ถึงประมาณ 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ และ โลหะเจือชนิดที่สีมีความต้านทานต่อออกซิเดชัน ดและมีความ ต้านทานต่อการอ่อนตัวที่ค่อนข้างเลวที่อุณหภูมิที่น้อยกว่า ประมาณ 475 ? ซ ( เป็นระยะเวลาที่ต้องการจะผนึกด้วยแก้ว และมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อนที่เข้าได้กับโลหะ เจือชนิดที่สาม ส่วนวงแหวนผนึก ( 34 ' ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่ห้า เฟรมขาชนิดประกบ ( 52 ' ) ดังกล่าวถูกจัดไว้ระหว่างส่วน ซับสเตรท ( 32 ' )ดังกล่าว และส่วนวงแหวนผนึก ( 34 ' ) ดัง กล่าว แก้วสำหรับผนึกที่มีจุดหลอมเหลวต่ำที่เลือกจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบเรตตะกั่ว - สังกะสีโบเรต ตะกั่ว โบ โรซิลิเกต แลกตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต แก้วสำหรับผนึกดัง กล่าวมีสารเติมเพื่อดัดแปลงการขยายตัวด้วยความร้อนของแก้ว สำหรับผนึกดังกล่าวที่ซึ่งสารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 40 ' ) ที่ได้มีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อยซึ่งเข้าได้ กับโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สอง ที่สาม ที่สี่ และที่ห้า ดังกล่าว สารประกอบแกวสำหรับผนึก ( 40 ') ดังกล่าวถูกจัด ให้อยู่ในระหว่าง ส่วนซับสเทตร ( 32') ดังกล่าวและส่วนวง แหวนผนึก ( 34') ดังกล่าวเพื่อผนึกเฟรมขาชนิดประกบ ( 52' ) ดังกล่าวไว้ระหว่างส่วนซับสเตรทและส่วนวงแหวนผนึก และ วิธีทาง ( 49 ' ) ที่เชื่อมผนึกส่วนวงแหวนผนึก (34') เข้า กับส่วนฝาครอบ ( 36') ดังกล่าวทีวึ่ง กล่องบรรจุ ( 70 ) ดังกล่าวจะถูกผนึกปิดแน่นสนิมมากพอ
7.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำของข้อถือสิทธิข้อที่ 6 ที่แสดง คุณลักษณะที่ว่าโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวเลือกจากกลุ่ม ที่ประกอบด้วยโลหะเตือของทองแดงที่ทำให้แข็งขึ้นได้ด้ยวการ ตกตะกอน ที่รวมถึงโลหะเจือของทองแดงที่มีเบริลเลียม โลหะ เจือของทองแดงที่มีแมกนีเซียม - เซอร์โคเนียม - โครเมียม โลหะเจือของทองแดงที่มีนิกเกิล-ฟอสฟอรัส โลหะเจือไปโบดอล ที่ทำให้แข็งขึ้นได้ด้วยการรกระกอนของทองแดง-นิกเกิล-ดีบุด โลหะเจือของทองแดงที่ทำให้แข็งแกร่งขึ้นด้วยการกระจาย และ เหล็กกล้ไร้สนิมออสเตไนต์
8.กล่องบรรจุสารกิ่งตัวนำ ( 70 ) ดังในข้อถือสทิธิข้อที่ 7 ที่แสดงคุณลักษณะที่ว่าสารประกอบแก้วสำหรับผนึกยังประกอบ ต่อไปด้วยสารเติมผสมที่เป็นอนุภาคที่ไม่ละลายเป็นส่วนใหญ่ เพื่อเพิ่มสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อนของสารประกอบ แก้วสำหรับผนึกที่ได้เพื่อให้เท่าเทียมกันโดยประมาณกับสัม ปะสิทธิ์การขยายตังด้วยความร้อนของโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สอง ที่สาม ทีสี่ และที่ห้าดังกล่าว
9.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 70 ) ดังในข้อถือสิทธิข้อ 7 ที่ซึ่งเฟรมขาชนิดประกบ ( 52') ดังกล่าวมีขั้นนอกชั้นที่ สอง ( 56')เป็นโลหะเจือชนิดที่สามที่ซึ่งชั้นแกน ( 54') ดังกล่าวถูกจัดวางให้อยู่ในระหว่างชั้นที่หนึ่งและชั้นที่ สองดังกล่าว
10.กระบวนการประกอบขึ้นเป็นชุดกล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 50 ) ที่แสดงคุณลักษณะโดยขั้นตอนของ การให้มีส่วนซับสเตรท ( 12') ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง การให้มีสว่นฝาครอบ ( 60 ) ที่เป็นโลหะดชนิดที่สอง การให้มีเฟรมขาชนิดประกบ ( 52 ) ที่โลหะเจือชนิดที่สาม เป็นชั้นแกร ( 54 ) และชั้นนอกชั้นที่หนึ่ง ( 56 ) ที่เป็น โลหะชนิดที่สี่ โลหะชนิดที่สามดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่ เสถียรต่อความร้อนผนึกได้ด้วยแก้วซึ่งมีความต้านทานต่อการ อ่อนตัวที่ดีเลิศที่อุณหภูมิน้อยกว่าประมาณ 475 ? ซ เป็น ระยะเวลาที่ต้องการ ที่จะผนึกด้วยแก้ว และมีสัมประสิทธิ์ การขยายตัวด้วยความร้อนประมาณ 140 ถึงประมาณ 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ โลหะเจือชนิดที่สี่ดังกล่าวเป็นชนิดต้านทานต่อ ออกซิเจน และมีความต้านทานต่อการอ่อนตัวที่ค่อนข้างเลวที่ อุณหภูมิน้อยกว่าประมาณ 475 ? ซ เป็นระยะเวลาที่ต้องการที่ จะผนึกด้วยแก้ว และมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อนที่เขาได้กับโลหะ เจือชนิดที่สามดังกล่าว การให้มีสารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 22') ที่มีจุดหลอมเหลว ต่ำ ที่แสดงคุณลักษณะที่ว่าแก้วสำหรับผนึกเลือจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบแรต ตะกั่ว-สังกะสีโบเรตตะกั่วโบโร ซิลิเกต และตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต สารเติมผสมที่จะดัด แปลงการขยายตัวด้วยความร้อน่ขแงแก้วสำหรับผนึกเพื่อให้สาร ประกอบแก้วสำหรับผนึกมีสัมปะสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อน เข้าได้กับโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สอง ที่สาม และที่สี่ ดังกล่าว การซินเตอร์ชันเคลือบที่เป็นสารประกอบแก้ว ( 22')ดังกล่าว ลงบนผิวสวนซับสเตรท และลงบนผิวส่วนฝาครอบ การจัดวางให้ผิวทีหนึ่งของชั้นแกนของเฟรมขา ( 52 ) ดัง กล่าวอยู่บนผิวของสว่นซับสเตรท ( 12')ที่ขั้นเคลือบดแก้ว ซินเตอร์อยู่ การทำให้ชุดประกอบของเฟรมขาดังกล่าวและส่วนซับวเตรทร้อน ขึ้นซึ่งดังนั้นชั้นเคลือบแก้วจะหลอมเหลวเกิดเป็นชั้นเค ลือยที่ต่อเนื่องซึ่งเชื่อมผนึกเฟรมขาเข้ากับส่วนซับสเตรท การติดอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ( 18') เข้ากับส่วนซับสเตรท การเชื่อมต่อลวดนำ ( 68 ) ระหว่างอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ( 18')และเฟรมขา ( 52 ) การจัดวางสว่นฝาครอบ ( 60 ) ดังกล่าว ลงบนผิวที่สอง ( 66 ) ของเฟรมขา และ การทำให้ส่วนซับสเตรท เหรมขา และส่วนฝาครอบร้อนเพื่อละลาย ชั้นเคลือบแก้วสว่นฝาครอบดังกล่าวและผนึกกล่าวบรรจุ ( 50 ) ดังกล่าวย่างแน่นสนิท
11.กระบวนการของข้อถือสิทธิข้อที่ 10 ที่แสดงคุณลักษณะโดย ขั้นตอนการเลือกโลหะเจือชนิดที่สมจากกลุ่มที่ประกอบด้วย โลหะเจือของทองแดงที่ทำให้แข็งขึ้นได้ด้วยการตกตะกอนที่รวม ถึงโลหะเจือของทองแดงที่เบริลเลียม โลหะเจือของทองแดงที่มี แมกนีเซียม-เซอร์เนียม-โดรเมียม โลหะเจือของทองแดงที่มี นิกเกิล-ฟอสฟอรัส โลหะเจือไปโนคลอที่ทำให้แข็งขึ้นได้ด้วย การตกตะกอนของทองแดง-นิกเกิล-ดีบุก โลหะเจือของทองแดงที่ทำ ให้แข็งแกร่งขึ้นด้วยการกระจาย และเหล็กกล้าไร้สนิมสเตไนต์
12.กระบวนการกรประกอบเป็นกลุ่มชุดกล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 70 ) ที่แสดงคุณลักษณะด้วยขั้นตอนของ การให้มีสวนซับสเตรท ( 32') ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง การให้มีส่วนฝาครอบ ( 36') ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สอง การให้มีเฟรมขาชนิดประกบ ( 52') ที่มีชั้นแกน ( 54') เป็น โลหะเจือชนิดที่สามและขั้นนอก ( 58') ที่เป็นโลหะเจือชนิด ที่สี่ โลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่เสถียร ต่อความร้อยและผนึกได้ด้วยแก้วซึ่งมีความต้านทานต่อการอ่อน ตัวที่ดีเลิศที่อุณหภูมิเสถียรต่อความร้อนและผนึกได้ด้วย แก้วซึ่งมีความต้านยทานต่อการตัวที่ดีเลิศที่อุณหภูมิน้อย กว่าประมาณ 475 ? ซ เป็นระยะเวลาที่ต้องการที่จะผนึกด้วย แก้วยและมีสัมปะสิทธิการขยายตัวด้วยความร้อนประมาณ 140 ถึง 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ โลหะเจือชนิดที่สี่นั้นต้านทาน ต่อออกซิเดชัน และมีความต้านทานการ อ่อนตัวลง ที่ค่อนข้าง เลวที่อุณหภูมิน้อยกว่าประมาณ 475 ? ซ เป็นระยะ เวลาที่ต้องการที่จะผนึกด้วยแก้วยและมีสัมประสิทธิ์การขยาย ตัวด้วยความร้อนที่เข้าได้กับโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าว การให้มีวงแหวนผนึก ( 34') ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่ห้า การใหมีสารประกบแก้วสำหรบผนึก ( 40 ') ที่จุดหลอมเหลวต่ำ ที่แสดงคุณลักษณะโดยแก้วสำหรับผนึกที่เลือกจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบเตต ตะกั่ว-ลังกะสีโบเรต ตะกั่วโบโร ซิลิเกต และตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต และสารเติมผสมที่จะ ดัดแปลงการขยายตัวด้วยความร้อนของแก้วสำหรับผนึกเพื่อที่ ว่าสารประกอบแก้วผนึกจะมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความ ร้อนซึ่งเข้าได้กับโลหะเจือเที่หนึ่ง ที่สอง ที่สาม ที่สี่ และ ที่ห้าดังกล่าว การวินเตอร์ชั้นเคลือบที่เป็นสารประกอบแก้วดังกล่าวลงบน ผิวของส่วนซับสเตรท ( 32') และลงผิวของวงแหวนผนึก ( 34') การจัดวางเฟรมยาชนิดประกบดังกล่าว ( 52') ให้อยู่ระหว่าง ผิวของสว่น ซับสเตรท ( 32') ดังกล่าว และผิวของวงแหวนผนึก ( 34') ที่ชั้นเคลือบแก้วซินเตอร์อยู่ การทำให้ชุดประกอบของเฟรมขาดังกล่าว ส่วนซับสเตรท และวง แหวรผนึกร้อนขึ้น ดังนั้นชั้น เคลือบแก้วจะละลายเนชั้น เคลือบที่ต่อเนื่องเป็นส่วนใหญ่ซึ่งผนึกเฟรมขสไว้ระหว่าง ส่วนซับสเตรท และวงแหวรผนึก การติดอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ( 44')เข้ากับส่วนซับสเตรท ( 32') การเชื่อมต่อลวดนำ ( 48') ระหว่างอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ( 44') และเฟรมขา (52') การจัดส่วนฝาครอบ ( 36') ดังกล่าวไว้บนผิวของวงแหวนผนึก และ การเชื่อมผนึกส่วนฝาครอบเข้ากับวงแหวนผนึกให้เป็นกล่อง บรรจุดังกล่าวที่ผนึกปิดแน่นสนิท
13.กระบวนการของข้อถือสิทธิข้อที่ 12 ที่แสดงคุณลักษณะโดย ขั้นตอนการเลือกโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยโลหะเจือที่ทำให้แข็งขึ้นได้ด้วยการตกตะกอนที่ รวมถึงโลหะเจือของทองแดงที่โบริลเลียม โลหะเจือของทองแดง ที่มีแมกนีเซียม-เซอร์โดเนียม -โครเมียม โลหะเจทอของทองแดง ที่นิกเกิล-ฟอสฟอรัส โลหะเจือไปโนคอลที่ทำให้แข็งขึ้นได้ ของทองแดง-นิดเกิล-ดีบุก โลหะเจือของทองแดงที่ทำให้แข็ง แกร่งขึ้นด้วยการกรจายและเหล็กกล้าไร้สนิมออสเตอไนต์
14.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 10 ) ที่แสดงคุณลักษณะโดย ส่วนซับสเตรท ( 12 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ส่วนฝาครอบ ( 14 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สอง เฟรมขา ( 20 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สามที่ถูกจัดให้อยู่ ในระหว่างส่วนซับสเตรทดังกล่าวและส่วนฝาครอบดังกล่าว โลหะ เจือชนิดที่สามดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่เสถียรต่อความร้อน และผนึกได้ด้วยแก้วซึ่งมีความต้านทนต่อการอ่อนตังลงที่ดี เลิศที่อุณหภูมิน้อยกว่าประมาณ 475 ? ซ เป็นระยะเวลาที่ ต้องการจะผนึกด้วยแก้วและมีสัมประสิทธิการขยายตัวด้วยความ ร้อนประมาณ 140 ถึงประมาณ 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ และ แก้วสำหรับผนึกที่มีจุดหลอมเหลวต่ำที่เลือกจากกลุ่มี่ ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบเรต ตะกั่ว-ลังกะสีโบเรต ตะกั่วโบโร ซิลิเกต และตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต แก้วสำหรับผนึกดัง กล่าวมีสารเติมผสมที่จะดัดแปลงการขยายตัวด้วยความร้อนของ แก้วสำหรับผนึกได้ซึ่งสารประกอบแก้วสำหรับนผนึก ( 22 ) ที่ ได้มีสัมปะสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อนซึ่งเข้าได้กับโลหะ เจือชนิดที่หนึ่ง ที่สองและที่สามดังกล่าว สารปะกอบแก้ว สำหรับผนึก ( 22 ) ดังกล่าวถูกจัดให้อยู่ในระหว่างส่วน ซับสเตรท ( 12 ) ดังกล่าวและส่วนฝาครอบ ( 14 ) ดังกล่าว สำหรับผนึกเฟรมขาชนิด ประกบ ( 20 ) ดังกล่าวไว้ระปว่างส่วน ซับสเตรท และฝาครอบ
15.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 10 ) ของข้อถือสิทธิข้อที่ 14 ที่แสดงคุณลักษณะที่ว่าโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวเลือกจาก กลุ่มที่ประกอบด้วยโลหะเจือของทองแดงที่ทำให้แข็งขึ้นได้ ด้วยการตกตะกอนที่รวมถึงโลหะเจือของทองแดงที่เบริลเลียม โลหะเจือของทองแดงที่แมกนีเซียม-เซอร์โดเนียม-โครเมียม โลหะเจือของทองแดงที่นิดเกิล-ฟอสฟอรัส โลหะเจือไปโนคอล ที่ ทำให้แข็งขึ้นได้ด้วยการตกตะกอนของทองแดง -นิกเกิล-ดีบุก โลหะเจือทองแดงที่ได้ทำให้แข็งแกร่งขึ้นด้วยการกระจาย และ เหล็กกล้าไร้สนิมออสเตไนต์
16.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 10 ) ดังข้อถือสิทธิข้อที่ 15 ที่แสดงคุณลักษณะที่วาสารดประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 22 ) ดัง กล่าวยังแสดงลักษณะต่อไปโดยสารเติมผสมที่ไม่ถูกละลายเป็น ส่วนใหญ่เพื่อเพิ่มสัมปะสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อนของ สารประกอบแก้วสำหรับผนึกที่ได้เพื่อให้เท่าเทียบกันโดย ประมาณกับสัมปะสิทธิ์การรขยายตัวด้วยความร้อนของโลหะเจือ ชนิดที่หนึ่ง ที่สอง และที่สามดังกล่าว
17.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 30 ) ที่แสดงคุณลักษณะโดย ส่วนซับสเตรท ( 32 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ส่วนฝาครอบ ( 36 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สอง เฟรมขา ( 38 ) ทีเป็นโลหะเจือชนิดที่สาม โลหะเจือที่สาม ดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่สถียรต่อความร้อยและผนึกได้ด้วย แก้วซึ่งมีความต้านทานต่อการอ่อนตัวลงที่ดีเลิศสำหรับระยะเวลาที่ต้องการจะผนึกด้วยแก้วที่อุณหภูมิน้อยกว่าประมาณ 475 ? ซ และมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยควาร้อนเป็นประมาณ 140 ถึง ประมาณ 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ และ ส่วนวงแหวนผนึก ( 34 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สี่ เฟรมขา ( 38 ) ดังกล่าวถูกจัดให้อยู่ในระยะในระหว่างส่วน ซับเสตรท ( 32 ) ดังกล่าวและส่วนวงแหวนผนึก ( 34 ) ดัง กล่าว แก้วสำหรับผนึกที่จุดหลอมเหลวต่ำที่เลือกจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบเรต ตะกั่ว-ลังกะสีโบเรต ตะกั่วโบโร ซิลิเกต และตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต แก้วสำหรับผนึกดัง กล่าวมีสารเติมผสมที่จะดัดแปลงการขยายตัวด้วยความร้อนของ แก้วสำหรับผนึกดังกล่าวซึ่งสารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 40 ) ที่ได้สัมปะสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อนซึ่งเข้าได้กับ โลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สาม และที่สี่ดังกล่าว สารประกอบ แก้วสำรหับผนึก ( 40 ) ดังกล่าวถูกจัดให้อยู่ในระหว่างส่วน ซับสเตรท ( 32 ) ดังกล่าว และสวนวงแหวนผนึด ( 34 ) ดัง กล่าวสำหรับผนึกเฟรมขา ( 38 ) ดังกล่าวไว้ในระหว่างส่วน ซับสเตรทและส่วนวงแหวรผนึก และ วิถีทาง ( 49 ) สำหรับเชื่อมผนึกส่วนวงแหวนผนึก ( 34 ) ดังกล่าวเข้ากับสว่นฝาครอบ ( 36 ) ดังกล่าวซึ่งกล่องบรรจุ ( 30 ) ดังกล่าวก็จะถูกผนึกอย่างแน่นสนิมมากพอ
18.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 30 ) ของข้อถือสิทธิข้อที่ 17 ที่แสดงคุณลักษณะที่ว่าโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวเลือกจาก กลุ่มที่ประกอบด้วยโลหะเจือของทองแดงที่ทำให้แข็งขึ้นได้ ด้วยการตกตะกอน ที่รวมถึงโลหะเจือของทองแดงที่เบริลเลียม โลหะเจือของทองแดงที่มีแมกนีเซียม-เซอร์โดเนียม-โครเมียม โลหะเจือของทองแดงที่มรนิกเกลิ-ฟอสฟอรัสโลหะเจือสไปโนคอล ที่ทำให้แข็งขึ้นได้ด้วยการตกตะกอนของทองแดง-นิกเกิล-ดีบุก โลหะเจือของทองแดงที่ทำให้แข็งแกร่งขึ้นด้วยการกระจาย และ เหล็กกล้าไร้สนิมออสเตไนต์
19.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 30 ) ของข้อถือสิทธิข้อที่ 18 ที่แสดงคุณลักษณะที่ว่าสารประกบอแก้วสำหรับผนึกดังกล่าวยัง ประกอบต่อไปด้วยสารเติมสารผสมที่เป็นอนาภคที่ไม่ถูกละลาย เป็น ส่วนให้ญ่เพื่อเพิ่มสัมประสิทธิ์การขยายตัสด้วยความ ร้อนของสารประกอบแก้วสำหรับผนึกได้ให้เท่าเทียมโดยประมาณ กับสัมประสิทธิการตัวด้วยความร้อนของโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สาม และที่สี่ดังกล่าว
20.กระบวนการประกอบเป็นชุดกล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 10 ) ที่แสดงคุณลักษณะโดยขั้นตอนของ การให้มีซับสเตรท ( 12 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง การให้มีฝาครอบ ( 14 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สอง การให้มีเหรมขา ( 20 ) ที่เป็นโลหะชนิดที่สาม โลหะเจือนิด ที่สามดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่เสถียรต่อความร้อนและผนึกได้ ด้วยแก้วซึ่งมีความต้านทานต่อการอ่อนตัวลงที่ดีเลิศที่ อุณหภูมิน้อยกว่า ประมาณ 475 ? ซ เป็นระยะเวลาที่ต้องการ ที่จะผนึกด่วยแก้วและที่สัมปะสิทธิการขยายตัวด้วยความร้อน ประมาณ 140 ถึงประมาณ 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ การให้มีสารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 22 ) ที่จุดหลอมเหลว ต่ำที่แสดงคุณลักษณะโดยแก้วสำหรับผนึกที่ได้เลือกจากกลุ่ม ที่ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบเรต ตะกั่ว-สังกะสสีโบเรต ตะกั่ว โบโรซิลิเกต และตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต และสารเติมผสม ที่จะดัดแปลงการขยายตัวด้วยความร้อยของแก้วสำหรับผนึกเพื่อ ที่ว่าสารประกบแกวสำหรับผนึกจะมีสัมประสิทธิ์การขยายตัว ด้วยความร้อนซึ่งเข้าได้กับโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สอง และที่สามดังกล่าว การซินเตอร์ชั้นเคลือยที่เป็นสารประกอบแก้ว ( 22 ) ดัง กล่าวลงบนผิวส่วนซับสเตรท ( 12 ) และลงบนผิวของสว่นฝาครอบ ( 14 ) การจัดให้ผิวที่หนึ่งของเฟรมขา ( 20 ) ดังกล่าวลงบนผิวขิง ส่วนซับสเตรท ( 12 ) ดังกล่าวที่ขั้นเคลือบแก้วซินเตอร์ อยู่ การทำให้สุประกอบของเฟรมขาดังกล่าวและส่วนซับสเตรทรร้อน ดังกล่าวนั้นชั้นเคลือบแก้วก็จะหลอมละลายเป็นชั้นเคลือบที่ ต่อเนื่องซึ่งเพื่อผนึกเฟรอมขาเข้ากับส่วนซับสเตรท การติดอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ( 18 ) เข้ากับส่วนซับสเตรท ( 12 ) การเชื่อมต่อลวดนำไว้ระหว่าง อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำและเฟรม ขา การจัดวางส่วนฝาครอบ ( 14 ) ดังกล่าวลงบนผวิที่สองของเฟรม ขา และ การทำให้ส่วนซับสเตรท เฟรมขา และส่วนฝาครอบดังกล่าวดัง กล่าวร้อนหลอมละลายชั้นเคลือบแก้วบนส่วนฝาครอบดังกล่าวและ ผนึกกล่องบรรจุ ( 10 ) ดังกล่าวอย่างแน่นสนิท
21.กระบวนการของข้อถือสิทธิข้อที่ 20 ที่แสดงคุณลักษณะ โดยขั้ตอนการเลือกโดยโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวจากกลุ่ม ที่ประกอบด้วยโลหะเจือของทองแดงที่ทำให้แข็งขึ้นได้ด้วยการ ตกตะกอน ที่รวมถึงโลหะเจือทองแดงที่เบริลเลียม โลหะเจือของ ทองแดงที่แมกนีเซียมเซอร์โดเนียม-โครเมียม โลหะเจือของทอง แดงที่นิดเกิล-ฟอสฟอรัสโลหะเจือสไปโนคอลที่ทำให้แข็งขึ้น ได้ด้วยการตกตะกอนของทองแดง-นิกเกิล-ดีบุก ลหะเจือของทอง แดงที่ทำให้แข็งแกร่งขึ้นด้วยการกระจาย และเหล็กกล้ไร้สนิม ออสเตไนต์
22.กระบวนการการประกอบเป็นชุดกล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 30 ) ที่แสดงคุณลักษณะโดยขั้นของ การให้มีส่วนซับสเตรท ( 32 ) ของโลหะเจือชนืกที่หนึ่ง การให้มีส่วนฝาครอบ ( 36 ) ของโลหะเจือชนิดที่สอง การให้มีเฟรมขา ( 38 ) ของโลหะเจือชนิดที่สาม โลหะเจือ ชนิดที่สามดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่เสถียรต่อคสามร้อนและ ผนึกได้ด้วยแก้วซึ่งมีความต้านทานต่อการอ่อนตัวลงที่ดีเลิศ ที่อหุณหภูมิน้อยกว่า ประมาณ 47.5? ซ เป็นระยะเวลาที่ต้อง การที่ผนึกด้วยแก้วและมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความ ร้อนประกอมาณ 140 ถึงประมาณ 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ การใหมีวงแหวนผนึก ( 34 ) ทีเป็นโลหะเจือชนิดที่ห้า การให้มีสารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 40 ) ที่จุดหลอมเหลว ต่ำที่แสดงคุณลักษณะโดยแก้วสำหรับผนึกที่เลือกจากลุ่มที่ ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบเรต ตะกั่ว-สังกะสีโบเรต ตะกั่วโบโร ซิลิเดต และตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต สารเติมผสมที่จะดัด แปลงการขยายตัวด้วยความร้อนของแก้วสำหรับผนึกเพื่อที่ว่า สารประกอบแก้วสำหรับผนึกมสัมประสิทธิทางขยายตัวด้วยความ ร้อนซึ่งเข้สได้กับโลหะเจือชนิดที่หนึ่งส่วน และที่สี่ดัง กล่าว การซินเตอร์สารเคลือบที่เป็นสารประกอบแก้ว ( 40 ) ดัง กล่าว ลงบนผิวส่วนซับสเตรท ( 32 ) และลงบนผิววงแหวนผนึก ( 34 ) การจัดวางเฟรมขา ( 38 ) ดังกล่าวไว้ระหว่างผิวขิงสว่น ซับสเตรท ( 32 ) ดังกล่าว และผิววงแหวนผนึก ( 34 ) ดัง กล่าวที่สารเคลือบที่เป็นแกวซินเตอร์อยู่ การทำให้ชุดประกอบของเฟรมขา ( 38 ) ส่วนซับสเตรท ( 32 ) และวงแหวนผนึก ( 34 ) ดังกล่าวร้อน ซึ่งสารเคลือบที่เป็น แก้วจะหลอมละลายไปเป็นชั้นเคลือบที่ต่อเนื่องซึ่งเพื่อ เชื่องผนึกเฟรมขาไว้ระหว่างส่วนซับสเตรท และวงแหวนผนึก การติดอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ( 44 ) เข้ากับส่วนซับสเตรท ( 32 ) การเชื่อมต่อลวดนำ ( 48 ) ระหว่างอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ( 44 ) และเฟรมขา ( 38 ) การจัดวางส่วนฝาครอบ ( 36 ) ดังกล่าวลงบนผวิที่สองของสง แหวนผนึก ( 34 ) และ การเชื่อมผนึกส่วนฝาครอบ ( 36 ) เข้ากับวงแหวนผนึก ( 34 ) ดังกล่าวเพื่อผนึกกล่องบรรจุดังกล่าวให้แน่นสนิท
23.กระบวนการของข้อถือสิทธิข้อที่ 22 ที่แสดงคุณลักษณะโดย ขั้นตอนการเลือกโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยโลหะเจือของทองแดงที่ทำหแข็งขึ้นได้ด้วยการตก ตะกอน ที่รวมถึงโลหะเจือของทองแดงที่เบริลเลียม โลหะเจือ ของทองแดงที่แมกนีเซียม-เซอร์โคเมียม-โครเมียม โลหะเจือของ ทองแดงที่มีนิกเกลิ-ฟอสฟอรัสโลหะเจือสไปโนคอลที่ทำให้แข็ง ขึ้นได้ด้วยการตกตะกอนของ ทองแดง-นิกเกิล-ดีบุก โลหะเจือ ของทองแดงที่ทำให้แข็งแกร่งขึ้นด้วยการกระจายและหล็กกล้า ไร้สนิมออสเตไนต์ (ข้อถือสิทธิ 23 ข้อ, 12 หน้า, 6 รูป)
TH8501000500A 1985-09-17 กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำที่ผนึกปิดแน่นสนิท TH3442A (th)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH3442A true TH3442A (th) 1986-08-01

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4291815A (en) Ceramic lid assembly for hermetic sealing of a semiconductor chip
US3697666A (en) Enclosure for incapsulating electronic components
EP0211618B1 (en) Integrated circuit package
US5023398A (en) Aluminum alloy semiconductor packages
US2100187A (en) Entrance insulation for electrical conductors
US4897508A (en) Metal electronic package
US4678358A (en) Glass compression seals using low temperature glass
US4704626A (en) Graded sealing systems for semiconductor package
US3392312A (en) Glass encapsulated electronic devices
US5155299A (en) Aluminum alloy semiconductor packages
US4801488A (en) Sealing glass composite
US4734755A (en) Alternating load stable switchable semiconductor device
US2863782A (en) Low-melting high-expansion glass
EP1383149B1 (en) Alloy type thermal fuse and wire member for a thermal fuse element
US4654752A (en) Terminal assembly and method of making terminal assembly
US4775647A (en) Sealing glass composite
US4752521A (en) Sealing glass composite
US4338486A (en) Housing for electrical and electronic components
CA1201211A (en) Hermetically sealed semiconductor casing
KR900002527B1 (ko) 밀봉용 유리 조성물 및 그 제조방법
NL179099B (nl) Elektrode-constructie, alsmede televisie opneembuis voorzien van een dergelijke elektrode-constructie.
US4818730A (en) Sealing glass composite
JPH0133278B2 (th)
US3528102A (en) Semiconductor header assembly and method of fabrication thereof
KR930010068B1 (ko) 기밀하게 밀봉된 반도체 패키지 및 그 제조 방법