TH3442A - กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำที่ผนึกปิดแน่นสนิท - Google Patents
กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำที่ผนึกปิดแน่นสนิทInfo
- Publication number
- TH3442A TH3442A TH8501000500A TH8501000500A TH3442A TH 3442 A TH3442 A TH 3442A TH 8501000500 A TH8501000500 A TH 8501000500A TH 8501000500 A TH8501000500 A TH 8501000500A TH 3442 A TH3442 A TH 3442A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- glass
- alloy
- sealing
- substrate
- alloys
- Prior art date
Links
Abstract
การประดิษฐ์นี้มุ่งไปที่รูปแบบต่าง ๆ หลายชนิดของกล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำที่ผนึกปิดแน่นสนิท ( 50 ) รูปแบบหนึ่ง ขึ้นจากกับสเตรท ( 12'')ที่เป็นโลหะเจือของทองแดงชนิดที่ หนึ่ง ส่วนฝาครอบ ( 60 ) เป็นโลหะเจือของทองแดงชนิดที่สาม สารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 22'') ที่มีจุดหลอมเหลวต่ำ ถูก จักให้อยู่ในระหว่างส่วนฝาครอบ ( 60 ) และสวนซับสเตรท เพื่อผนึกเฟรมขา ( 52 ) ไว้ในระหว่างฝาครอบและซับสเตรท โลหะเจือของทองแดงชนิดที่สามทำให้แข็งขึ้นได้ด้วยการตกตะกอ นอละมีความต้านทานต่อการอ่อนตัวลงที่ดีเลิศที่อุณหภูมิการ ผนึกด้วยแก้วเมื่อเปรียบเทียบกับโลหะเจืออื่น ๆ ที่ใช้ทั่ว ไป ในอีกรูปแบบหนึ่งแผ่นประกบซ้อนมีแกนเป็นโลหะเจือของทอง แดงชนิดที่สาม และชั้นประกบผิวเป็นโลหะเจือของทองแดงที่มี อัตราการออกซิไดซ์ต่ำก็อาจใช้อย่างได้ประโยชน์สำหรับเป็นเฟ รมขา
Claims (23)
1.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 50 ) ที่แสดงคุณลักษณะโดย ส่วนซับสเตรท ( 12' ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง สว่นฝาครอบ ( 60 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สอง ส่วนเฟรมขาชนิดประกบ ( 52 ) ที่ประกอบด้วยชั้นแกน ( 54 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สามและขั้นนอกชั้นที่หนึ่ง ( 56 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิก ที่สี่ เฟรมขาชนิด ประกบ ( 52 ) ดัง กล่าวถูกจัดวางอยู่ในระหว่างส่วนซับสเตรท ดังกล่าวและส่วน ฝาครอบ ( 60 ) ดังกล่าว โลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่เสถียรต่อความ ร้อนและผนึกได้ด้วยแก้ว ซึ่งมีความต้านทานต่อการอ่อนตัวบ ที่ดีเลิศที่อุณหภูมิต่ำกว่าประมาณ 475 ? ซ เป็นระยะเวลา ที่ต้องการผนึกด้วยแก้ว และมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วย ความร้อยเป็นประมาณ 140 ถึงประมาณ 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ โลหะเจือชนิดที่สี่ดังกล่าวมีความต้านทานตาออกซิเดชัน และ มีความต้านทานต่อการอ่อนตัวลงที่ค่อนข้างเลว ที่อุณหภูมิ น้อยกว่าประมาณ 475 ? ซ เป็นระยะเวลาที่ต้องการผนึกด้วย แก้ว และมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อนที่เข้ากัน ได้กับโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าว และ แก้วยสำหรับผนึกที่จุดหลอมเหลวต่ำที่เลือกจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบเรต ตะกั่ว - สังกะสีโบเรต ตะกั่วโบ โรซิลิเกต และตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต แก้วสำหรับผนึก ดังกบ่าวมีสารเติมผสมเพื่อแปลงการขยายตัวดัวยความรอนของ แก้วสำหรับผนึกดังกล่าวที่ซ฿งสารปรกอบแก้วสำหรับผนึก ( 22' ) ที่ได้มีสัมประสิทธิการขยายตัวด้วย ความร้อนวึ่งเข้สาได้ กับโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สอง ที่สาม และที่สี่ดังกล่าว สารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 22 ' ) ดังกล่าวถูกจัดวางไว้ใน ระหว่างส่วนซับสเตรท ( 12' ) ดังกล่าวและส่วนฝาครอบ ( 60 ) ดังกล่าวเพื่อผนึกเฟรมขาชนิดปรกบ ( 52 ) ดังกล่าวไว้ใน ระหว่างส่วนซับสเทตรและส่วนฝาครอบ
2.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 50 ) ของข้อถือสิทธิข้อที่ 1 ที่แสดงคุณลักษณะที่ว่าโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวเลือกจาก กลุ่มที่ประกอบด้วยโลหะเจือของหลอมแดงที่ทำให้แข็งขึ้นได้ ด้วยการตกตะกอนที่รวมถึงโลหะเจือของทองแดงที่เบรริล เลียม โลหะเจือของทองแดงที่แมกนีเซียม - เซอร์โดเนียม โลหะเจือ ของทองแดงที่มีนิกเกิล - ฟอสฟอรัสโลหะเจือไปโพคอล ที่ทำให้ แข็งขึ้นได้ด้วยการตกตะกอนของทองแดง-นิกเกิล-ดีบุก โลหะ เจือของทองแดงที่ทำให้แข็งแกร่วขึ้นด้วยการกระจายเหล็กกล้า ไร้สนิมออสเตไนต์
3.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 2 ที่แสดง คุณลักษณะที่ว่าสารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 22' ) ดังกล่าว ยังประกอบต่อไปอีด้วยสารเติมผสมที่เป็นอนุภาคที่ไม่ละลาย เป็นส่วนใหญ่เพื่อเพิ่มสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อน ของโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สอง ที่สาม และที่สี่ดังกล่าว
4.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 3 ที่แสดง คุณลักษณะที่ว่าโลหะเจือชนิดที่สี่ดังกล่าวประกอบโดยพื้น ฐานด้วยอะลูมินัมตั้งแต่ประมาณ 1 % โดยน้ำหนักถึงประมาณ 12 % และทองดงที่โดยหลักแล้วเป็นส่วนที่เหลือ
5.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำดังในข้อถือสิทธิข้อที่ 2 ที่แสดง คุณลักษณะที่ว่าเฟรมขาชนิดประกบ ( 52 ) ดังกล่าวมีชั้นนอก ชั้นที่สอง ( 58 ) เป็นโลหะเจือชนิดที่สาม ที่ซึ่งชั้นแกน ดังกล่าวถูกจัดไว้ในระหว่างชั้นนอกชั้นที่หนึ่งและชั้นที่ สองดังกล่าว
6.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 70 ) ที่แสดงคุณลักษณะโดย ส่วนซับสเตรท ( 32' ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ส่วนซับสเตรท ( 36' ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สอง เฟรมขาชนิดประกบ ( 52' ) ที่ประกอบด้วยชั้นแกน ( 54' ) ที่ เป็นโลหะเจือชนิดที่สามและขั้นนอกชั้นที่หนึ่ง ( 58' ) ที่ เป็นโลหะเจือของทองแดงชนิดที่สี่ โลหะเจื่อชนิดที่สามดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่เสถียรต่อความ ร้อนและผนึกได้ด้วยแก้วซึ่งมีความต้านทานต่อการอ่อนตัวที่ ดีเลิศเป็นระยะเวลาที่ต้องการผนึกด้วยแก้วที่อุณหภูมิน้อย กว่าประมาณ 475 ? ซ และมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้านความ ร้อนประมาณ 140 ถึงประมาณ 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ และ โลหะเจือชนิดที่สีมีความต้านทานต่อออกซิเดชัน ดและมีความ ต้านทานต่อการอ่อนตัวที่ค่อนข้างเลวที่อุณหภูมิที่น้อยกว่า ประมาณ 475 ? ซ ( เป็นระยะเวลาที่ต้องการจะผนึกด้วยแก้ว และมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อนที่เข้าได้กับโลหะ เจือชนิดที่สาม ส่วนวงแหวนผนึก ( 34 ' ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่ห้า เฟรมขาชนิดประกบ ( 52 ' ) ดังกล่าวถูกจัดไว้ระหว่างส่วน ซับสเตรท ( 32 ' )ดังกล่าว และส่วนวงแหวนผนึก ( 34 ' ) ดัง กล่าว แก้วสำหรับผนึกที่มีจุดหลอมเหลวต่ำที่เลือกจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบเรตตะกั่ว - สังกะสีโบเรต ตะกั่ว โบ โรซิลิเกต แลกตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต แก้วสำหรับผนึกดัง กล่าวมีสารเติมเพื่อดัดแปลงการขยายตัวด้วยความร้อนของแก้ว สำหรับผนึกดังกล่าวที่ซึ่งสารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 40 ' ) ที่ได้มีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อยซึ่งเข้าได้ กับโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สอง ที่สาม ที่สี่ และที่ห้า ดังกล่าว สารประกอบแกวสำหรับผนึก ( 40 ') ดังกล่าวถูกจัด ให้อยู่ในระหว่าง ส่วนซับสเทตร ( 32') ดังกล่าวและส่วนวง แหวนผนึก ( 34') ดังกล่าวเพื่อผนึกเฟรมขาชนิดประกบ ( 52' ) ดังกล่าวไว้ระหว่างส่วนซับสเตรทและส่วนวงแหวนผนึก และ วิธีทาง ( 49 ' ) ที่เชื่อมผนึกส่วนวงแหวนผนึก (34') เข้า กับส่วนฝาครอบ ( 36') ดังกล่าวทีวึ่ง กล่องบรรจุ ( 70 ) ดังกล่าวจะถูกผนึกปิดแน่นสนิมมากพอ
7.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำของข้อถือสิทธิข้อที่ 6 ที่แสดง คุณลักษณะที่ว่าโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวเลือกจากกลุ่ม ที่ประกอบด้วยโลหะเตือของทองแดงที่ทำให้แข็งขึ้นได้ด้ยวการ ตกตะกอน ที่รวมถึงโลหะเจือของทองแดงที่มีเบริลเลียม โลหะ เจือของทองแดงที่มีแมกนีเซียม - เซอร์โคเนียม - โครเมียม โลหะเจือของทองแดงที่มีนิกเกิล-ฟอสฟอรัส โลหะเจือไปโบดอล ที่ทำให้แข็งขึ้นได้ด้วยการรกระกอนของทองแดง-นิกเกิล-ดีบุด โลหะเจือของทองแดงที่ทำให้แข็งแกร่งขึ้นด้วยการกระจาย และ เหล็กกล้ไร้สนิมออสเตไนต์
8.กล่องบรรจุสารกิ่งตัวนำ ( 70 ) ดังในข้อถือสทิธิข้อที่ 7 ที่แสดงคุณลักษณะที่ว่าสารประกอบแก้วสำหรับผนึกยังประกอบ ต่อไปด้วยสารเติมผสมที่เป็นอนุภาคที่ไม่ละลายเป็นส่วนใหญ่ เพื่อเพิ่มสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อนของสารประกอบ แก้วสำหรับผนึกที่ได้เพื่อให้เท่าเทียมกันโดยประมาณกับสัม ปะสิทธิ์การขยายตังด้วยความร้อนของโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สอง ที่สาม ทีสี่ และที่ห้าดังกล่าว
9.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 70 ) ดังในข้อถือสิทธิข้อ 7 ที่ซึ่งเฟรมขาชนิดประกบ ( 52') ดังกล่าวมีขั้นนอกชั้นที่ สอง ( 56')เป็นโลหะเจือชนิดที่สามที่ซึ่งชั้นแกน ( 54') ดังกล่าวถูกจัดวางให้อยู่ในระหว่างชั้นที่หนึ่งและชั้นที่ สองดังกล่าว
10.กระบวนการประกอบขึ้นเป็นชุดกล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 50 ) ที่แสดงคุณลักษณะโดยขั้นตอนของ การให้มีส่วนซับสเตรท ( 12') ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง การให้มีสว่นฝาครอบ ( 60 ) ที่เป็นโลหะดชนิดที่สอง การให้มีเฟรมขาชนิดประกบ ( 52 ) ที่โลหะเจือชนิดที่สาม เป็นชั้นแกร ( 54 ) และชั้นนอกชั้นที่หนึ่ง ( 56 ) ที่เป็น โลหะชนิดที่สี่ โลหะชนิดที่สามดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่ เสถียรต่อความร้อนผนึกได้ด้วยแก้วซึ่งมีความต้านทานต่อการ อ่อนตัวที่ดีเลิศที่อุณหภูมิน้อยกว่าประมาณ 475 ? ซ เป็น ระยะเวลาที่ต้องการ ที่จะผนึกด้วยแก้ว และมีสัมประสิทธิ์ การขยายตัวด้วยความร้อนประมาณ 140 ถึงประมาณ 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ โลหะเจือชนิดที่สี่ดังกล่าวเป็นชนิดต้านทานต่อ ออกซิเจน และมีความต้านทานต่อการอ่อนตัวที่ค่อนข้างเลวที่ อุณหภูมิน้อยกว่าประมาณ 475 ? ซ เป็นระยะเวลาที่ต้องการที่ จะผนึกด้วยแก้ว และมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อนที่เขาได้กับโลหะ เจือชนิดที่สามดังกล่าว การให้มีสารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 22') ที่มีจุดหลอมเหลว ต่ำ ที่แสดงคุณลักษณะที่ว่าแก้วสำหรับผนึกเลือจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบแรต ตะกั่ว-สังกะสีโบเรตตะกั่วโบโร ซิลิเกต และตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต สารเติมผสมที่จะดัด แปลงการขยายตัวด้วยความร้อน่ขแงแก้วสำหรับผนึกเพื่อให้สาร ประกอบแก้วสำหรับผนึกมีสัมปะสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อน เข้าได้กับโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สอง ที่สาม และที่สี่ ดังกล่าว การซินเตอร์ชันเคลือบที่เป็นสารประกอบแก้ว ( 22')ดังกล่าว ลงบนผิวสวนซับสเตรท และลงบนผิวส่วนฝาครอบ การจัดวางให้ผิวทีหนึ่งของชั้นแกนของเฟรมขา ( 52 ) ดัง กล่าวอยู่บนผิวของสว่นซับสเตรท ( 12')ที่ขั้นเคลือบดแก้ว ซินเตอร์อยู่ การทำให้ชุดประกอบของเฟรมขาดังกล่าวและส่วนซับวเตรทร้อน ขึ้นซึ่งดังนั้นชั้นเคลือบแก้วจะหลอมเหลวเกิดเป็นชั้นเค ลือยที่ต่อเนื่องซึ่งเชื่อมผนึกเฟรมขาเข้ากับส่วนซับสเตรท การติดอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ( 18') เข้ากับส่วนซับสเตรท การเชื่อมต่อลวดนำ ( 68 ) ระหว่างอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ( 18')และเฟรมขา ( 52 ) การจัดวางสว่นฝาครอบ ( 60 ) ดังกล่าว ลงบนผิวที่สอง ( 66 ) ของเฟรมขา และ การทำให้ส่วนซับสเตรท เหรมขา และส่วนฝาครอบร้อนเพื่อละลาย ชั้นเคลือบแก้วสว่นฝาครอบดังกล่าวและผนึกกล่าวบรรจุ ( 50 ) ดังกล่าวย่างแน่นสนิท
11.กระบวนการของข้อถือสิทธิข้อที่ 10 ที่แสดงคุณลักษณะโดย ขั้นตอนการเลือกโลหะเจือชนิดที่สมจากกลุ่มที่ประกอบด้วย โลหะเจือของทองแดงที่ทำให้แข็งขึ้นได้ด้วยการตกตะกอนที่รวม ถึงโลหะเจือของทองแดงที่เบริลเลียม โลหะเจือของทองแดงที่มี แมกนีเซียม-เซอร์เนียม-โดรเมียม โลหะเจือของทองแดงที่มี นิกเกิล-ฟอสฟอรัส โลหะเจือไปโนคลอที่ทำให้แข็งขึ้นได้ด้วย การตกตะกอนของทองแดง-นิกเกิล-ดีบุก โลหะเจือของทองแดงที่ทำ ให้แข็งแกร่งขึ้นด้วยการกระจาย และเหล็กกล้าไร้สนิมสเตไนต์
12.กระบวนการกรประกอบเป็นกลุ่มชุดกล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 70 ) ที่แสดงคุณลักษณะด้วยขั้นตอนของ การให้มีสวนซับสเตรท ( 32') ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง การให้มีส่วนฝาครอบ ( 36') ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สอง การให้มีเฟรมขาชนิดประกบ ( 52') ที่มีชั้นแกน ( 54') เป็น โลหะเจือชนิดที่สามและขั้นนอก ( 58') ที่เป็นโลหะเจือชนิด ที่สี่ โลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่เสถียร ต่อความร้อยและผนึกได้ด้วยแก้วซึ่งมีความต้านทานต่อการอ่อน ตัวที่ดีเลิศที่อุณหภูมิเสถียรต่อความร้อนและผนึกได้ด้วย แก้วซึ่งมีความต้านยทานต่อการตัวที่ดีเลิศที่อุณหภูมิน้อย กว่าประมาณ 475 ? ซ เป็นระยะเวลาที่ต้องการที่จะผนึกด้วย แก้วยและมีสัมปะสิทธิการขยายตัวด้วยความร้อนประมาณ 140 ถึง 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ โลหะเจือชนิดที่สี่นั้นต้านทาน ต่อออกซิเดชัน และมีความต้านทานการ อ่อนตัวลง ที่ค่อนข้าง เลวที่อุณหภูมิน้อยกว่าประมาณ 475 ? ซ เป็นระยะ เวลาที่ต้องการที่จะผนึกด้วยแก้วยและมีสัมประสิทธิ์การขยาย ตัวด้วยความร้อนที่เข้าได้กับโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าว การให้มีวงแหวนผนึก ( 34') ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่ห้า การใหมีสารประกบแก้วสำหรบผนึก ( 40 ') ที่จุดหลอมเหลวต่ำ ที่แสดงคุณลักษณะโดยแก้วสำหรับผนึกที่เลือกจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบเตต ตะกั่ว-ลังกะสีโบเรต ตะกั่วโบโร ซิลิเกต และตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต และสารเติมผสมที่จะ ดัดแปลงการขยายตัวด้วยความร้อนของแก้วสำหรับผนึกเพื่อที่ ว่าสารประกอบแก้วผนึกจะมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความ ร้อนซึ่งเข้าได้กับโลหะเจือเที่หนึ่ง ที่สอง ที่สาม ที่สี่ และ ที่ห้าดังกล่าว การวินเตอร์ชั้นเคลือบที่เป็นสารประกอบแก้วดังกล่าวลงบน ผิวของส่วนซับสเตรท ( 32') และลงผิวของวงแหวนผนึก ( 34') การจัดวางเฟรมยาชนิดประกบดังกล่าว ( 52') ให้อยู่ระหว่าง ผิวของสว่น ซับสเตรท ( 32') ดังกล่าว และผิวของวงแหวนผนึก ( 34') ที่ชั้นเคลือบแก้วซินเตอร์อยู่ การทำให้ชุดประกอบของเฟรมขาดังกล่าว ส่วนซับสเตรท และวง แหวรผนึกร้อนขึ้น ดังนั้นชั้น เคลือบแก้วจะละลายเนชั้น เคลือบที่ต่อเนื่องเป็นส่วนใหญ่ซึ่งผนึกเฟรมขสไว้ระหว่าง ส่วนซับสเตรท และวงแหวรผนึก การติดอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ( 44')เข้ากับส่วนซับสเตรท ( 32') การเชื่อมต่อลวดนำ ( 48') ระหว่างอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ( 44') และเฟรมขา (52') การจัดส่วนฝาครอบ ( 36') ดังกล่าวไว้บนผิวของวงแหวนผนึก และ การเชื่อมผนึกส่วนฝาครอบเข้ากับวงแหวนผนึกให้เป็นกล่อง บรรจุดังกล่าวที่ผนึกปิดแน่นสนิท
13.กระบวนการของข้อถือสิทธิข้อที่ 12 ที่แสดงคุณลักษณะโดย ขั้นตอนการเลือกโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยโลหะเจือที่ทำให้แข็งขึ้นได้ด้วยการตกตะกอนที่ รวมถึงโลหะเจือของทองแดงที่โบริลเลียม โลหะเจือของทองแดง ที่มีแมกนีเซียม-เซอร์โดเนียม -โครเมียม โลหะเจทอของทองแดง ที่นิกเกิล-ฟอสฟอรัส โลหะเจือไปโนคอลที่ทำให้แข็งขึ้นได้ ของทองแดง-นิดเกิล-ดีบุก โลหะเจือของทองแดงที่ทำให้แข็ง แกร่งขึ้นด้วยการกรจายและเหล็กกล้าไร้สนิมออสเตอไนต์
14.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 10 ) ที่แสดงคุณลักษณะโดย ส่วนซับสเตรท ( 12 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ส่วนฝาครอบ ( 14 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สอง เฟรมขา ( 20 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สามที่ถูกจัดให้อยู่ ในระหว่างส่วนซับสเตรทดังกล่าวและส่วนฝาครอบดังกล่าว โลหะ เจือชนิดที่สามดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่เสถียรต่อความร้อน และผนึกได้ด้วยแก้วซึ่งมีความต้านทนต่อการอ่อนตังลงที่ดี เลิศที่อุณหภูมิน้อยกว่าประมาณ 475 ? ซ เป็นระยะเวลาที่ ต้องการจะผนึกด้วยแก้วและมีสัมประสิทธิการขยายตัวด้วยความ ร้อนประมาณ 140 ถึงประมาณ 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ และ แก้วสำหรับผนึกที่มีจุดหลอมเหลวต่ำที่เลือกจากกลุ่มี่ ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบเรต ตะกั่ว-ลังกะสีโบเรต ตะกั่วโบโร ซิลิเกต และตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต แก้วสำหรับผนึกดัง กล่าวมีสารเติมผสมที่จะดัดแปลงการขยายตัวด้วยความร้อนของ แก้วสำหรับผนึกได้ซึ่งสารประกอบแก้วสำหรับนผนึก ( 22 ) ที่ ได้มีสัมปะสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อนซึ่งเข้าได้กับโลหะ เจือชนิดที่หนึ่ง ที่สองและที่สามดังกล่าว สารปะกอบแก้ว สำหรับผนึก ( 22 ) ดังกล่าวถูกจัดให้อยู่ในระหว่างส่วน ซับสเตรท ( 12 ) ดังกล่าวและส่วนฝาครอบ ( 14 ) ดังกล่าว สำหรับผนึกเฟรมขาชนิด ประกบ ( 20 ) ดังกล่าวไว้ระปว่างส่วน ซับสเตรท และฝาครอบ
15.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 10 ) ของข้อถือสิทธิข้อที่ 14 ที่แสดงคุณลักษณะที่ว่าโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวเลือกจาก กลุ่มที่ประกอบด้วยโลหะเจือของทองแดงที่ทำให้แข็งขึ้นได้ ด้วยการตกตะกอนที่รวมถึงโลหะเจือของทองแดงที่เบริลเลียม โลหะเจือของทองแดงที่แมกนีเซียม-เซอร์โดเนียม-โครเมียม โลหะเจือของทองแดงที่นิดเกิล-ฟอสฟอรัส โลหะเจือไปโนคอล ที่ ทำให้แข็งขึ้นได้ด้วยการตกตะกอนของทองแดง -นิกเกิล-ดีบุก โลหะเจือทองแดงที่ได้ทำให้แข็งแกร่งขึ้นด้วยการกระจาย และ เหล็กกล้าไร้สนิมออสเตไนต์
16.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 10 ) ดังข้อถือสิทธิข้อที่ 15 ที่แสดงคุณลักษณะที่วาสารดประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 22 ) ดัง กล่าวยังแสดงลักษณะต่อไปโดยสารเติมผสมที่ไม่ถูกละลายเป็น ส่วนใหญ่เพื่อเพิ่มสัมปะสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อนของ สารประกอบแก้วสำหรับผนึกที่ได้เพื่อให้เท่าเทียบกันโดย ประมาณกับสัมปะสิทธิ์การรขยายตัวด้วยความร้อนของโลหะเจือ ชนิดที่หนึ่ง ที่สอง และที่สามดังกล่าว
17.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 30 ) ที่แสดงคุณลักษณะโดย ส่วนซับสเตรท ( 32 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ส่วนฝาครอบ ( 36 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สอง เฟรมขา ( 38 ) ทีเป็นโลหะเจือชนิดที่สาม โลหะเจือที่สาม ดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่สถียรต่อความร้อยและผนึกได้ด้วย แก้วซึ่งมีความต้านทานต่อการอ่อนตัวลงที่ดีเลิศสำหรับระยะเวลาที่ต้องการจะผนึกด้วยแก้วที่อุณหภูมิน้อยกว่าประมาณ 475 ? ซ และมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยควาร้อนเป็นประมาณ 140 ถึง ประมาณ 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ และ ส่วนวงแหวนผนึก ( 34 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สี่ เฟรมขา ( 38 ) ดังกล่าวถูกจัดให้อยู่ในระยะในระหว่างส่วน ซับเสตรท ( 32 ) ดังกล่าวและส่วนวงแหวนผนึก ( 34 ) ดัง กล่าว แก้วสำหรับผนึกที่จุดหลอมเหลวต่ำที่เลือกจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบเรต ตะกั่ว-ลังกะสีโบเรต ตะกั่วโบโร ซิลิเกต และตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต แก้วสำหรับผนึกดัง กล่าวมีสารเติมผสมที่จะดัดแปลงการขยายตัวด้วยความร้อนของ แก้วสำหรับผนึกดังกล่าวซึ่งสารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 40 ) ที่ได้สัมปะสิทธิ์การขยายตัวด้วยความร้อนซึ่งเข้าได้กับ โลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สาม และที่สี่ดังกล่าว สารประกอบ แก้วสำรหับผนึก ( 40 ) ดังกล่าวถูกจัดให้อยู่ในระหว่างส่วน ซับสเตรท ( 32 ) ดังกล่าว และสวนวงแหวนผนึด ( 34 ) ดัง กล่าวสำหรับผนึกเฟรมขา ( 38 ) ดังกล่าวไว้ในระหว่างส่วน ซับสเตรทและส่วนวงแหวรผนึก และ วิถีทาง ( 49 ) สำหรับเชื่อมผนึกส่วนวงแหวนผนึก ( 34 ) ดังกล่าวเข้ากับสว่นฝาครอบ ( 36 ) ดังกล่าวซึ่งกล่องบรรจุ ( 30 ) ดังกล่าวก็จะถูกผนึกอย่างแน่นสนิมมากพอ
18.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 30 ) ของข้อถือสิทธิข้อที่ 17 ที่แสดงคุณลักษณะที่ว่าโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวเลือกจาก กลุ่มที่ประกอบด้วยโลหะเจือของทองแดงที่ทำให้แข็งขึ้นได้ ด้วยการตกตะกอน ที่รวมถึงโลหะเจือของทองแดงที่เบริลเลียม โลหะเจือของทองแดงที่มีแมกนีเซียม-เซอร์โดเนียม-โครเมียม โลหะเจือของทองแดงที่มรนิกเกลิ-ฟอสฟอรัสโลหะเจือสไปโนคอล ที่ทำให้แข็งขึ้นได้ด้วยการตกตะกอนของทองแดง-นิกเกิล-ดีบุก โลหะเจือของทองแดงที่ทำให้แข็งแกร่งขึ้นด้วยการกระจาย และ เหล็กกล้าไร้สนิมออสเตไนต์
19.กล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 30 ) ของข้อถือสิทธิข้อที่ 18 ที่แสดงคุณลักษณะที่ว่าสารประกบอแก้วสำหรับผนึกดังกล่าวยัง ประกอบต่อไปด้วยสารเติมสารผสมที่เป็นอนาภคที่ไม่ถูกละลาย เป็น ส่วนให้ญ่เพื่อเพิ่มสัมประสิทธิ์การขยายตัสด้วยความ ร้อนของสารประกอบแก้วสำหรับผนึกได้ให้เท่าเทียมโดยประมาณ กับสัมประสิทธิการตัวด้วยความร้อนของโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สาม และที่สี่ดังกล่าว
20.กระบวนการประกอบเป็นชุดกล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 10 ) ที่แสดงคุณลักษณะโดยขั้นตอนของ การให้มีซับสเตรท ( 12 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง การให้มีฝาครอบ ( 14 ) ที่เป็นโลหะเจือชนิดที่สอง การให้มีเหรมขา ( 20 ) ที่เป็นโลหะชนิดที่สาม โลหะเจือนิด ที่สามดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่เสถียรต่อความร้อนและผนึกได้ ด้วยแก้วซึ่งมีความต้านทานต่อการอ่อนตัวลงที่ดีเลิศที่ อุณหภูมิน้อยกว่า ประมาณ 475 ? ซ เป็นระยะเวลาที่ต้องการ ที่จะผนึกด่วยแก้วและที่สัมปะสิทธิการขยายตัวด้วยความร้อน ประมาณ 140 ถึงประมาณ 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ การให้มีสารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 22 ) ที่จุดหลอมเหลว ต่ำที่แสดงคุณลักษณะโดยแก้วสำหรับผนึกที่ได้เลือกจากกลุ่ม ที่ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบเรต ตะกั่ว-สังกะสสีโบเรต ตะกั่ว โบโรซิลิเกต และตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต และสารเติมผสม ที่จะดัดแปลงการขยายตัวด้วยความร้อยของแก้วสำหรับผนึกเพื่อ ที่ว่าสารประกบแกวสำหรับผนึกจะมีสัมประสิทธิ์การขยายตัว ด้วยความร้อนซึ่งเข้าได้กับโลหะเจือชนิดที่หนึ่ง ที่สอง และที่สามดังกล่าว การซินเตอร์ชั้นเคลือยที่เป็นสารประกอบแก้ว ( 22 ) ดัง กล่าวลงบนผิวส่วนซับสเตรท ( 12 ) และลงบนผิวของสว่นฝาครอบ ( 14 ) การจัดให้ผิวที่หนึ่งของเฟรมขา ( 20 ) ดังกล่าวลงบนผิวขิง ส่วนซับสเตรท ( 12 ) ดังกล่าวที่ขั้นเคลือบแก้วซินเตอร์ อยู่ การทำให้สุประกอบของเฟรมขาดังกล่าวและส่วนซับสเตรทรร้อน ดังกล่าวนั้นชั้นเคลือบแก้วก็จะหลอมละลายเป็นชั้นเคลือบที่ ต่อเนื่องซึ่งเพื่อผนึกเฟรอมขาเข้ากับส่วนซับสเตรท การติดอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ( 18 ) เข้ากับส่วนซับสเตรท ( 12 ) การเชื่อมต่อลวดนำไว้ระหว่าง อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำและเฟรม ขา การจัดวางส่วนฝาครอบ ( 14 ) ดังกล่าวลงบนผวิที่สองของเฟรม ขา และ การทำให้ส่วนซับสเตรท เฟรมขา และส่วนฝาครอบดังกล่าวดัง กล่าวร้อนหลอมละลายชั้นเคลือบแก้วบนส่วนฝาครอบดังกล่าวและ ผนึกกล่องบรรจุ ( 10 ) ดังกล่าวอย่างแน่นสนิท
21.กระบวนการของข้อถือสิทธิข้อที่ 20 ที่แสดงคุณลักษณะ โดยขั้ตอนการเลือกโดยโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวจากกลุ่ม ที่ประกอบด้วยโลหะเจือของทองแดงที่ทำให้แข็งขึ้นได้ด้วยการ ตกตะกอน ที่รวมถึงโลหะเจือทองแดงที่เบริลเลียม โลหะเจือของ ทองแดงที่แมกนีเซียมเซอร์โดเนียม-โครเมียม โลหะเจือของทอง แดงที่นิดเกิล-ฟอสฟอรัสโลหะเจือสไปโนคอลที่ทำให้แข็งขึ้น ได้ด้วยการตกตะกอนของทองแดง-นิกเกิล-ดีบุก ลหะเจือของทอง แดงที่ทำให้แข็งแกร่งขึ้นด้วยการกระจาย และเหล็กกล้ไร้สนิม ออสเตไนต์
22.กระบวนการการประกอบเป็นชุดกล่องบรรจุสารกึ่งตัวนำ ( 30 ) ที่แสดงคุณลักษณะโดยขั้นของ การให้มีส่วนซับสเตรท ( 32 ) ของโลหะเจือชนืกที่หนึ่ง การให้มีส่วนฝาครอบ ( 36 ) ของโลหะเจือชนิดที่สอง การให้มีเฟรมขา ( 38 ) ของโลหะเจือชนิดที่สาม โลหะเจือ ชนิดที่สามดังกล่าวเป็นโลหะเจือที่เสถียรต่อคสามร้อนและ ผนึกได้ด้วยแก้วซึ่งมีความต้านทานต่อการอ่อนตัวลงที่ดีเลิศ ที่อหุณหภูมิน้อยกว่า ประมาณ 47.5? ซ เป็นระยะเวลาที่ต้อง การที่ผนึกด้วยแก้วและมีสัมประสิทธิ์การขยายตัวด้วยความ ร้อนประกอมาณ 140 ถึงประมาณ 180 x 10-7 ซม / ซม / ? ซ การใหมีวงแหวนผนึก ( 34 ) ทีเป็นโลหะเจือชนิดที่ห้า การให้มีสารประกอบแก้วสำหรับผนึก ( 40 ) ที่จุดหลอมเหลว ต่ำที่แสดงคุณลักษณะโดยแก้วสำหรับผนึกที่เลือกจากลุ่มที่ ประกอบด้วยแก้วตะกั่วโบเรต ตะกั่ว-สังกะสีโบเรต ตะกั่วโบโร ซิลิเดต และตะกั่ว-สังกะสีโบโรซิลิเกต สารเติมผสมที่จะดัด แปลงการขยายตัวด้วยความร้อนของแก้วสำหรับผนึกเพื่อที่ว่า สารประกอบแก้วสำหรับผนึกมสัมประสิทธิทางขยายตัวด้วยความ ร้อนซึ่งเข้สได้กับโลหะเจือชนิดที่หนึ่งส่วน และที่สี่ดัง กล่าว การซินเตอร์สารเคลือบที่เป็นสารประกอบแก้ว ( 40 ) ดัง กล่าว ลงบนผิวส่วนซับสเตรท ( 32 ) และลงบนผิววงแหวนผนึก ( 34 ) การจัดวางเฟรมขา ( 38 ) ดังกล่าวไว้ระหว่างผิวขิงสว่น ซับสเตรท ( 32 ) ดังกล่าว และผิววงแหวนผนึก ( 34 ) ดัง กล่าวที่สารเคลือบที่เป็นแกวซินเตอร์อยู่ การทำให้ชุดประกอบของเฟรมขา ( 38 ) ส่วนซับสเตรท ( 32 ) และวงแหวนผนึก ( 34 ) ดังกล่าวร้อน ซึ่งสารเคลือบที่เป็น แก้วจะหลอมละลายไปเป็นชั้นเคลือบที่ต่อเนื่องซึ่งเพื่อ เชื่องผนึกเฟรมขาไว้ระหว่างส่วนซับสเตรท และวงแหวนผนึก การติดอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ( 44 ) เข้ากับส่วนซับสเตรท ( 32 ) การเชื่อมต่อลวดนำ ( 48 ) ระหว่างอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ( 44 ) และเฟรมขา ( 38 ) การจัดวางส่วนฝาครอบ ( 36 ) ดังกล่าวลงบนผวิที่สองของสง แหวนผนึก ( 34 ) และ การเชื่อมผนึกส่วนฝาครอบ ( 36 ) เข้ากับวงแหวนผนึก ( 34 ) ดังกล่าวเพื่อผนึกกล่องบรรจุดังกล่าวให้แน่นสนิท
23.กระบวนการของข้อถือสิทธิข้อที่ 22 ที่แสดงคุณลักษณะโดย ขั้นตอนการเลือกโลหะเจือชนิดที่สามดังกล่าวจากกลุ่มที่ ประกอบด้วยโลหะเจือของทองแดงที่ทำหแข็งขึ้นได้ด้วยการตก ตะกอน ที่รวมถึงโลหะเจือของทองแดงที่เบริลเลียม โลหะเจือ ของทองแดงที่แมกนีเซียม-เซอร์โคเมียม-โครเมียม โลหะเจือของ ทองแดงที่มีนิกเกลิ-ฟอสฟอรัสโลหะเจือสไปโนคอลที่ทำให้แข็ง ขึ้นได้ด้วยการตกตะกอนของ ทองแดง-นิกเกิล-ดีบุก โลหะเจือ ของทองแดงที่ทำให้แข็งแกร่งขึ้นด้วยการกระจายและหล็กกล้า ไร้สนิมออสเตไนต์ (ข้อถือสิทธิ 23 ข้อ, 12 หน้า, 6 รูป)
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH3442A true TH3442A (th) | 1986-08-01 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4291815A (en) | Ceramic lid assembly for hermetic sealing of a semiconductor chip | |
| US3697666A (en) | Enclosure for incapsulating electronic components | |
| EP0211618B1 (en) | Integrated circuit package | |
| US5023398A (en) | Aluminum alloy semiconductor packages | |
| US2100187A (en) | Entrance insulation for electrical conductors | |
| US4897508A (en) | Metal electronic package | |
| US4678358A (en) | Glass compression seals using low temperature glass | |
| US4704626A (en) | Graded sealing systems for semiconductor package | |
| US3392312A (en) | Glass encapsulated electronic devices | |
| US5155299A (en) | Aluminum alloy semiconductor packages | |
| US4801488A (en) | Sealing glass composite | |
| US4734755A (en) | Alternating load stable switchable semiconductor device | |
| US2863782A (en) | Low-melting high-expansion glass | |
| EP1383149B1 (en) | Alloy type thermal fuse and wire member for a thermal fuse element | |
| US4654752A (en) | Terminal assembly and method of making terminal assembly | |
| US4775647A (en) | Sealing glass composite | |
| US4752521A (en) | Sealing glass composite | |
| US4338486A (en) | Housing for electrical and electronic components | |
| CA1201211A (en) | Hermetically sealed semiconductor casing | |
| KR900002527B1 (ko) | 밀봉용 유리 조성물 및 그 제조방법 | |
| NL179099B (nl) | Elektrode-constructie, alsmede televisie opneembuis voorzien van een dergelijke elektrode-constructie. | |
| US4818730A (en) | Sealing glass composite | |
| JPH0133278B2 (th) | ||
| US3528102A (en) | Semiconductor header assembly and method of fabrication thereof | |
| KR930010068B1 (ko) | 기밀하게 밀봉된 반도체 패키지 및 그 제조 방법 |